JP2005328047A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 帯電粒子のビームを発生させる帯電粒子源と、
   複数のブランク開口部を有するマルチアパーチャ・プレートであって、それぞれのブランク開口部が、第１の状態と第２の状態との間で、ブランク信号によって制御可能な偏向電極を含み、前記第１の状態において、前記ブランク開口部を通って放射する前記帯電粒子のビームの粒子が、所定の経路に沿って進み、前記第２の状態において、前記ブランク開口部を通って放射する前記帯電粒子のビームの粒子が、前記所定の経路を外れて偏向される、マルチアパーチャ・プレートとを備えた帯電粒子ビーム露光装置であって、
   前記ブランク開口部の複数のグループは、それぞれのグループが複数のブランク開口部を有するように形成され、それぞれのグループの前記ブランク開口部は、互いに電気的に接続され、共通のグループ・ブランク信号によって制御されることを特徴とする帯電粒子ビーム露光装置。
2. 異なる数のブランク開口部を有する少なくとも２つのグループのブランク開口部が形成されている請求項１に記載の帯電粒子ビーム露光装置。
3. 前記少なくとも２つのグループのそれぞれのブランク開口部の数が、２の累乗に共通の整数を乗じた数に対応している請求項２に記載の帯電粒子ビーム露光装置。
4. 一つのグループを除いて全グループのブランク開口部の数が、２の累乗に共通の整数を乗じた数に対応している請求項２に記載の帯電粒子ビーム露光装置。
5. それぞれのグループの前記ブランク開口部が、互いに直接的に近接配置されている請求項１〜４のいずれかに記載の帯電粒子ビーム露光装置。
6. それぞれのグループのブランク開口部の対が、電気遅延素子によって電気的に接続されている請求項１〜５のいずれかに記載の帯電粒子ビーム露光装置。
7. 前記電気遅延素子が、ブランク開口部の前記偏向電極を制御するための前記ブランク信号を生成するように構成されている請求項６に記載の帯電粒子ビーム露光装置。
8. 前記ブランク開口部を通って放射し、かつ、前記所定の経路を外れて偏向される前記帯電粒子のビームの粒子が入射するように配置された吸収面をさら備えた請求項１〜７のいずれかに記載の帯電粒子ビーム露光装置。
9. ウェハを取り付けるためのウェハ・ステージと、前記ブランク開口部を通って放射し、前記ウェハ・ステージに取り付けられたウェハ上の所定の経路に沿って進む前記帯電粒子のビームの粒子を方向づけるように構成される帯電粒子光学系とをさらに備えた請求項１〜８のいずれかに記載の帯電粒子ビーム露光装置。