JP2004253659A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】トレンチ形成用レジストパターンの寸法制御性を向上させる。
【解決手段】Cu配線1を覆う層間絶縁膜2内に、Cu配線1に接続するビアホール3を形成する。電気分解によりビアホール3内に導電性高分子4を埋め込む。層間絶縁膜2上に写真製版によりレジストパターン5を形成し、レジストパターン5をマスクとしたエッチングによりビアホール3に接続するトレンチ6を形成する。その後、レジストパターン5および導電性高分子4を除去する。
【選択図】 図1
【解決手段】Cu配線1を覆う層間絶縁膜2内に、Cu配線1に接続するビアホール3を形成する。電気分解によりビアホール3内に導電性高分子4を埋め込む。層間絶縁膜2上に写真製版によりレジストパターン5を形成し、レジストパターン5をマスクとしたエッチングによりビアホール3に接続するトレンチ6を形成する。その後、レジストパターン5および導電性高分子4を除去する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法に係り、特にデュアルダマシン構造の形成方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、ビアホール(接続孔)とトレンチ(配線溝)とを一体形成するデュアルダマシンプロセスにより、半導体デバイスの配線構造が形成されている。トレンチよりも先にビアホールを開口するビアファースト法では、トレンチファースト法と比較し、ビアホールに対するトレンチの重ね合わせがずれた場合の開口マージンを確保できるというメリットがある(例えば、特許文献1参照)。
しかし、ビアファースト法では、トレンチ形成用のエッチングによりCu配線にエッチングダメージを与えないために、以下のように、ビアホールをレジスト、有機ARC等の埋め込み材で埋め込む必要がある。
【0003】
図5は、従来の半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
先ず、図5(a)に示すように、Cu配線1を覆うように層間絶縁膜2を形成する。次に、図5(b)に示すように、写真製版とエッチングにより、層間絶縁膜2内にビアホール3を形成する。そして、図5(c)に示すように、ビアホール3内を含む層間絶縁膜2上に埋め込み材21を回転塗布法等により形成する。
次に、図5(d)に示すように、埋め込み材21のエッチバックを行う。そして、図5(e)に示すように、層間絶縁膜2上にレジストパターン22を形成する。さらに、図5(f)に示すように、レジストパターン22をマスクとしたエッチングによりトレンチ23を形成する。
次に、図5(g)に示すように、レジストパターン22と埋め込み材21とを除去する。その後、トレンチ23およびビアホール3内に、Cu等の配線材料を埋め込むことにより、配線構造を形成していた。
【0004】
【特許文献1】
特開2002−203898号公報 (第2頁)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の方法では、埋め込み材21を回転塗布法により形成していたため、埋め込み材21のエッチバックを行う必要があった。
しかしながら、エッチバック工程における埋め込み材21の膜厚制御を精度良く行うことは難しく、図6(a)に示すように、基板面内で埋め込み材21の高さが変わってしまい、これに伴ってトレンチ形成用のレジスト22の高さが変わってしまうという問題があった。
この状態で写真製版を行うと、図6(b)に示すように、レジストパターン22の開口幅Aに差が生じてしまい、これによりトレンチ配線の寸法が変動してしまうという問題があった。
【0006】
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたもので、トレンチ形成用レジストパターンの寸法制御性を向上させることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体装置の製造方法は、デュアルダマシン構造を有する半導体装置の製造方法であって、
下地配線を覆う層間絶縁膜内に、該下地配線に接続するビアホールを形成する工程と、
前記ビアホール内に、電気分解により導電性高分子を形成する工程と、
前記導電性高分子を形成した後、前記層間絶縁膜上にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとしたエッチングにより、前記ビアホールに接続するトレンチを形成する工程と、
を含むことを特徴とするものである。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図中、同一又は相当する部分には同一の符号を付してその説明を簡略化ないし省略することがある。
【0009】
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1による半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。詳細には、ビアファースト法を用いたデュアルダマシン構造の形成方法を説明するための図である。
【0010】
先ず、図1(a)に示すように、基板(図示省略)上に下地配線(下層配線)1であるCu配線を形成し、Cu配線1を覆うように基板全体に層間絶縁膜2を形成する。
次に、図1(b)に示すように、層間絶縁膜2上に写真製版によりレジストパターン(図示省略)を形成した後、このレジストパターンをマスクとしたエッチングにより、層間絶縁膜2内にCu配線1上面に接続するビアホール3を形成する。その後、レジストパターンを除去する。
【0011】
次に、図1(c)に示すように、電気分解により導電性高分子4をビアホール3内にのみ形成する。この電気分解の時間を調節することにより、導電性高分子4の埋め込みを層間絶縁膜2の上面でストップさせる。ここで、導電性高分子4は、例えば、アニリン系、ピロール系又はチオフェン系のポリマーのような導電性ポリマーである。ピロール系のポリマーは、0.14mol/lのピロールモノマーと0.05mol/lのp−トルエンスルホン酸塩とを、電解液であるプロピレンカーボネート溶液中で電気分解することにより形成される。
【0012】
次に、図1(d)に示すように、層間絶縁膜2上に、写真製版によりトレンチ形成用のレジストパターン5を形成する。このとき、層間絶縁膜2上面と導電性高分子4上面とは同じ高さであり、基板面内において導電性高分子4上面の高さは同じであるため、従来のようにエッチバックを行う必要はない。このため、導電性高分子4上面の高さ制御困難性に起因して、レジスト膜厚が変わるという問題や、レジストパターンの寸法が変動してしまうという問題は起こらない。
【0013】
そして、図1(e)に示すように、レジストパターン5をマスクとして層間絶縁膜2及び導電性高分子4をエッチングすることにより、上層配線用のトレンチ6を形成する。
【0014】
次に、図1(f)に示すように、レジストパターン5と導電性高分子4とを除去する。その後、トレンチ6およびビアホール3内に、Cu等の配線材料を埋め込むことにより、デュアルダマシン構造が形成される。
【0015】
以上説明したように、本実施の形態1では、ビアホール3の形成後に、該ビアホール3内に電気分解により導電性高分子4を埋め込むようにした。導電性高分子4はビアホール3内にのみ埋め込まれ、層間絶縁膜2上に形成されないため、従来のように埋め込み材のエッチバックを行う必要がない。よって、従来よりも製造工程数を減らすことができ、半導体装置の製造コストを低減することができる。
また、導電性高分子4のエッチバック量の制御が不要となるため、エッチバック量の不均一性に起因するトレンチ形成用レジストパターン5の寸法バラツキを低減することができる。すなわち、トレンチ形成用レジストパターン5の寸法制御性が向上する。本発明者により、0.14μmのライン/スペースパターンのラインパターンの寸法バラツキが、従来の0.14±0.02μmから0.14±0.01μmに低減可能となったことを確認した。この寸法制御性に優れたレジストパターン5を用いることにより、トレンチ6のパターンを精度良く形成することができ、高精度にデュアルダマシン構造を形成することができる。
【0016】
なお、本実施の形態1では、層間絶縁膜2上面と導電性高分子4上面とが同一面(同一の高さ)となるように、ビアホール3内に導電性高分子4を埋め込んだが、電気分解の時間等の条件を制御することにより導電性高分子4の上面位置(埋め込み高さ)を容易に制御可能である。
また、電気分解により得られた導電性高分子4をエッチバックして、ビアホール3における導電性高分子4の埋め込み高さを容易に下げることも可能である。
【0017】
次に、本実施の形態1の変形例について説明する。
図2は、本実施の形態1の変形例を説明するための工程断面図である。
本変形例と実施の形態1とは概略同じであるが、本変形例では、図2(c)に示すようにビアホール3内に導電性高分子4を電気分解により形成した後、図2(d)に示すように層間絶縁膜2及び導電性高分子4上に有機ARC(anti−reflective coating)8を形成する。その後、図2(e)に示すように、有機ARC8上にトレンチ形成用のレジストパターン5を形成する。このとき、有機ARC8を、写真製版によりレジストパターン5を形成する際の反射防止膜として用いることができる。このため、実施の形態1よりも更にレジストパターン5の寸法制御性を向上させることができ、トレンチ6のパターンを精度良く形成することができる。
【0018】
実施の形態2.
図3は、本発明の実施の形態2による半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
先ず、前述した実施の形態1の製造方法と同様にして、Cu配線1上に層間絶縁膜2を形成し、この層間絶縁膜2内にビアホール3を形成する(図3(a),(b)参照)。
【0019】
次に、図3(c)に示すように、ビアホール3内及び層間絶縁膜2上に、反射防止膜の機能を有する導電性高分子9を形成する。ここで、導電性高分子9は、例えば、アントラセン誘導体のようなKrFエキシマレーザの波長を吸収するものである。
【0020】
次に、図3(d)に示すように、例えばKrFエキシマレーザを光源として用いた写真製版により、導電性高分子9上にレジストパターン5を形成する。ここで、写真製版を行う際に、レジスト下層に反射防止膜として機能する導電性高分子9が存在することにより、レジストパターン5の寸法制御性が向上する。また、電気分解により形成された導電性高分子9は優れた平坦性を有しているため、従来のようにエッチバックを必要としない。
【0021】
そして、図3(e)に示すように、レジストパターン5をマスクとして層間絶縁膜2及び導電性高分子9をエッチングすることにより、上層配線用のトレンチ6を形成する。
次に、図3(f)に示すように、レジストパターン5と導電性高分子9とを除去する。その後、トレンチ6およびビアホール3内に、Cu等の配線材料を埋め込むことにより、デュアルダマシン構造が形成される。
【0022】
以上説明したように、本実施の形態2では、電気分解時間等を制御することによりビアホール3内及び層間絶縁膜2上に導電性高分子9を形成し、この導電性高分子9に反射防止膜の機能を持たせた。これにより、導電性高分子9を、トレンチ形成用レジストパターン5を形成する際の反射防止膜として用いることができる。従って、レジストパターン5の寸法制御性を向上させることができる。また、従来のように埋め込み材をエッチバックする必要がないため製造工程数を減らすことができ、半導体装置の製造コストを低減することができる。
【0023】
実施の形態3.
図4は、本発明の実施の形態3による半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
先ず、図4(a)に示すように、基板上に複数のCu配線11,12を形成し、これらのCu配線11,12を覆うように基板全体に層間絶縁膜2を形成する。そして、写真製版及びエッチングにより、Cu配線11,12に接続するビアホール13,14を形成する。続いて、ビアホール13内を含むデュアルダマシン構造を形成しない領域を覆い、且つ、デュアルダマシン構造を形成する領域に開口を有するマスク15としてのレジストパターンを形成する。
【0024】
次に、図4(b)に示すように、レジストパターン15で覆われていないビアホール14内にのみ、電気分解により導電性高分子16を形成する。
【0025】
次に、図4(c)に示すように、有機溶剤を用いてレジストパターン15を除去する。ここで、この有機溶剤に対して導電性高分子16は不溶であるため、レジストパターン15のみが選択的に除去される。
【0026】
次に、図4(d)に示すように、ビアホール14内を含む層間絶縁膜2上に、写真製版によりトレンチ形成用のレジストパターン17を形成する。
【0027】
次に、図4(e)に示すように、レジストパターン17をマスクとして層間絶縁膜2及び導電性高分子16をエッチングすることにより、上層配線用のトレンチ18を形成する。そして、レジストパターン17と導電性高分子16とを除去する。その後、ビアホール13並びにトレンチ18及びビアホール14内にCu等の配線材料を埋め込むことにより、配線構造が形成される。
【0028】
以上説明したように、本実施の形態3では、複数のビアホール13,14のうちでトレンチを形成しないビアホール13をレジストパターン15で覆った後で、該レジストパターン15で覆われていないビアホール14内に電気分解により導電性高分子16を形成した。よって、複数のビアホールの中で埋め込み材の埋め込みが必要なビアホールに、マスクを用いて選択的に導電性高分子を埋め込むことができる。
【0029】
なお、本実施の形態3では、ビアホールが2つ形成された場合について説明したが、それ以上形成されていてもよい。
【0030】
【発明の効果】
本発明によれば、トレンチ形成用レジストパターンの寸法制御性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1による半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図2】本発明の実施の形態1の変形例を説明するための工程断面図である。
【図3】本発明の実施の形態2による半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図4】本発明の実施の形態3による半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図5】従来の半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図6】従来の製造方法におけるレジストパターンの寸法変動を示す図である。
【符号の説明】
1 下地配線(Cu配線)、 2 層間絶縁膜、 3 ビアホール、 4 導電性高分子、 5 レジストパターン、 6 トレンチ、 8 有機ARC、 9 導電性高分子、 11,12 下地配線(Cu配線)、 13,14 ビアホール、 15 マスク(レジストパターン)、 16 導電性高分子、 17レジストパターン、 18 トレンチ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法に係り、特にデュアルダマシン構造の形成方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、ビアホール(接続孔)とトレンチ(配線溝)とを一体形成するデュアルダマシンプロセスにより、半導体デバイスの配線構造が形成されている。トレンチよりも先にビアホールを開口するビアファースト法では、トレンチファースト法と比較し、ビアホールに対するトレンチの重ね合わせがずれた場合の開口マージンを確保できるというメリットがある(例えば、特許文献1参照)。
しかし、ビアファースト法では、トレンチ形成用のエッチングによりCu配線にエッチングダメージを与えないために、以下のように、ビアホールをレジスト、有機ARC等の埋め込み材で埋め込む必要がある。
【0003】
図5は、従来の半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
先ず、図5(a)に示すように、Cu配線1を覆うように層間絶縁膜2を形成する。次に、図5(b)に示すように、写真製版とエッチングにより、層間絶縁膜2内にビアホール3を形成する。そして、図5(c)に示すように、ビアホール3内を含む層間絶縁膜2上に埋め込み材21を回転塗布法等により形成する。
次に、図5(d)に示すように、埋め込み材21のエッチバックを行う。そして、図5(e)に示すように、層間絶縁膜2上にレジストパターン22を形成する。さらに、図5(f)に示すように、レジストパターン22をマスクとしたエッチングによりトレンチ23を形成する。
次に、図5(g)に示すように、レジストパターン22と埋め込み材21とを除去する。その後、トレンチ23およびビアホール3内に、Cu等の配線材料を埋め込むことにより、配線構造を形成していた。
【0004】
【特許文献1】
特開2002−203898号公報 (第2頁)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の方法では、埋め込み材21を回転塗布法により形成していたため、埋め込み材21のエッチバックを行う必要があった。
しかしながら、エッチバック工程における埋め込み材21の膜厚制御を精度良く行うことは難しく、図6(a)に示すように、基板面内で埋め込み材21の高さが変わってしまい、これに伴ってトレンチ形成用のレジスト22の高さが変わってしまうという問題があった。
この状態で写真製版を行うと、図6(b)に示すように、レジストパターン22の開口幅Aに差が生じてしまい、これによりトレンチ配線の寸法が変動してしまうという問題があった。
【0006】
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたもので、トレンチ形成用レジストパターンの寸法制御性を向上させることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体装置の製造方法は、デュアルダマシン構造を有する半導体装置の製造方法であって、
下地配線を覆う層間絶縁膜内に、該下地配線に接続するビアホールを形成する工程と、
前記ビアホール内に、電気分解により導電性高分子を形成する工程と、
前記導電性高分子を形成した後、前記層間絶縁膜上にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとしたエッチングにより、前記ビアホールに接続するトレンチを形成する工程と、
を含むことを特徴とするものである。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図中、同一又は相当する部分には同一の符号を付してその説明を簡略化ないし省略することがある。
【0009】
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1による半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。詳細には、ビアファースト法を用いたデュアルダマシン構造の形成方法を説明するための図である。
【0010】
先ず、図1(a)に示すように、基板(図示省略)上に下地配線(下層配線)1であるCu配線を形成し、Cu配線1を覆うように基板全体に層間絶縁膜2を形成する。
次に、図1(b)に示すように、層間絶縁膜2上に写真製版によりレジストパターン(図示省略)を形成した後、このレジストパターンをマスクとしたエッチングにより、層間絶縁膜2内にCu配線1上面に接続するビアホール3を形成する。その後、レジストパターンを除去する。
【0011】
次に、図1(c)に示すように、電気分解により導電性高分子4をビアホール3内にのみ形成する。この電気分解の時間を調節することにより、導電性高分子4の埋め込みを層間絶縁膜2の上面でストップさせる。ここで、導電性高分子4は、例えば、アニリン系、ピロール系又はチオフェン系のポリマーのような導電性ポリマーである。ピロール系のポリマーは、0.14mol/lのピロールモノマーと0.05mol/lのp−トルエンスルホン酸塩とを、電解液であるプロピレンカーボネート溶液中で電気分解することにより形成される。
【0012】
次に、図1(d)に示すように、層間絶縁膜2上に、写真製版によりトレンチ形成用のレジストパターン5を形成する。このとき、層間絶縁膜2上面と導電性高分子4上面とは同じ高さであり、基板面内において導電性高分子4上面の高さは同じであるため、従来のようにエッチバックを行う必要はない。このため、導電性高分子4上面の高さ制御困難性に起因して、レジスト膜厚が変わるという問題や、レジストパターンの寸法が変動してしまうという問題は起こらない。
【0013】
そして、図1(e)に示すように、レジストパターン5をマスクとして層間絶縁膜2及び導電性高分子4をエッチングすることにより、上層配線用のトレンチ6を形成する。
【0014】
次に、図1(f)に示すように、レジストパターン5と導電性高分子4とを除去する。その後、トレンチ6およびビアホール3内に、Cu等の配線材料を埋め込むことにより、デュアルダマシン構造が形成される。
【0015】
以上説明したように、本実施の形態1では、ビアホール3の形成後に、該ビアホール3内に電気分解により導電性高分子4を埋め込むようにした。導電性高分子4はビアホール3内にのみ埋め込まれ、層間絶縁膜2上に形成されないため、従来のように埋め込み材のエッチバックを行う必要がない。よって、従来よりも製造工程数を減らすことができ、半導体装置の製造コストを低減することができる。
また、導電性高分子4のエッチバック量の制御が不要となるため、エッチバック量の不均一性に起因するトレンチ形成用レジストパターン5の寸法バラツキを低減することができる。すなわち、トレンチ形成用レジストパターン5の寸法制御性が向上する。本発明者により、0.14μmのライン/スペースパターンのラインパターンの寸法バラツキが、従来の0.14±0.02μmから0.14±0.01μmに低減可能となったことを確認した。この寸法制御性に優れたレジストパターン5を用いることにより、トレンチ6のパターンを精度良く形成することができ、高精度にデュアルダマシン構造を形成することができる。
【0016】
なお、本実施の形態1では、層間絶縁膜2上面と導電性高分子4上面とが同一面(同一の高さ)となるように、ビアホール3内に導電性高分子4を埋め込んだが、電気分解の時間等の条件を制御することにより導電性高分子4の上面位置(埋め込み高さ)を容易に制御可能である。
また、電気分解により得られた導電性高分子4をエッチバックして、ビアホール3における導電性高分子4の埋め込み高さを容易に下げることも可能である。
【0017】
次に、本実施の形態1の変形例について説明する。
図2は、本実施の形態1の変形例を説明するための工程断面図である。
本変形例と実施の形態1とは概略同じであるが、本変形例では、図2(c)に示すようにビアホール3内に導電性高分子4を電気分解により形成した後、図2(d)に示すように層間絶縁膜2及び導電性高分子4上に有機ARC(anti−reflective coating)8を形成する。その後、図2(e)に示すように、有機ARC8上にトレンチ形成用のレジストパターン5を形成する。このとき、有機ARC8を、写真製版によりレジストパターン5を形成する際の反射防止膜として用いることができる。このため、実施の形態1よりも更にレジストパターン5の寸法制御性を向上させることができ、トレンチ6のパターンを精度良く形成することができる。
【0018】
実施の形態2.
図3は、本発明の実施の形態2による半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
先ず、前述した実施の形態1の製造方法と同様にして、Cu配線1上に層間絶縁膜2を形成し、この層間絶縁膜2内にビアホール3を形成する(図3(a),(b)参照)。
【0019】
次に、図3(c)に示すように、ビアホール3内及び層間絶縁膜2上に、反射防止膜の機能を有する導電性高分子9を形成する。ここで、導電性高分子9は、例えば、アントラセン誘導体のようなKrFエキシマレーザの波長を吸収するものである。
【0020】
次に、図3(d)に示すように、例えばKrFエキシマレーザを光源として用いた写真製版により、導電性高分子9上にレジストパターン5を形成する。ここで、写真製版を行う際に、レジスト下層に反射防止膜として機能する導電性高分子9が存在することにより、レジストパターン5の寸法制御性が向上する。また、電気分解により形成された導電性高分子9は優れた平坦性を有しているため、従来のようにエッチバックを必要としない。
【0021】
そして、図3(e)に示すように、レジストパターン5をマスクとして層間絶縁膜2及び導電性高分子9をエッチングすることにより、上層配線用のトレンチ6を形成する。
次に、図3(f)に示すように、レジストパターン5と導電性高分子9とを除去する。その後、トレンチ6およびビアホール3内に、Cu等の配線材料を埋め込むことにより、デュアルダマシン構造が形成される。
【0022】
以上説明したように、本実施の形態2では、電気分解時間等を制御することによりビアホール3内及び層間絶縁膜2上に導電性高分子9を形成し、この導電性高分子9に反射防止膜の機能を持たせた。これにより、導電性高分子9を、トレンチ形成用レジストパターン5を形成する際の反射防止膜として用いることができる。従って、レジストパターン5の寸法制御性を向上させることができる。また、従来のように埋め込み材をエッチバックする必要がないため製造工程数を減らすことができ、半導体装置の製造コストを低減することができる。
【0023】
実施の形態3.
図4は、本発明の実施の形態3による半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
先ず、図4(a)に示すように、基板上に複数のCu配線11,12を形成し、これらのCu配線11,12を覆うように基板全体に層間絶縁膜2を形成する。そして、写真製版及びエッチングにより、Cu配線11,12に接続するビアホール13,14を形成する。続いて、ビアホール13内を含むデュアルダマシン構造を形成しない領域を覆い、且つ、デュアルダマシン構造を形成する領域に開口を有するマスク15としてのレジストパターンを形成する。
【0024】
次に、図4(b)に示すように、レジストパターン15で覆われていないビアホール14内にのみ、電気分解により導電性高分子16を形成する。
【0025】
次に、図4(c)に示すように、有機溶剤を用いてレジストパターン15を除去する。ここで、この有機溶剤に対して導電性高分子16は不溶であるため、レジストパターン15のみが選択的に除去される。
【0026】
次に、図4(d)に示すように、ビアホール14内を含む層間絶縁膜2上に、写真製版によりトレンチ形成用のレジストパターン17を形成する。
【0027】
次に、図4(e)に示すように、レジストパターン17をマスクとして層間絶縁膜2及び導電性高分子16をエッチングすることにより、上層配線用のトレンチ18を形成する。そして、レジストパターン17と導電性高分子16とを除去する。その後、ビアホール13並びにトレンチ18及びビアホール14内にCu等の配線材料を埋め込むことにより、配線構造が形成される。
【0028】
以上説明したように、本実施の形態3では、複数のビアホール13,14のうちでトレンチを形成しないビアホール13をレジストパターン15で覆った後で、該レジストパターン15で覆われていないビアホール14内に電気分解により導電性高分子16を形成した。よって、複数のビアホールの中で埋め込み材の埋め込みが必要なビアホールに、マスクを用いて選択的に導電性高分子を埋め込むことができる。
【0029】
なお、本実施の形態3では、ビアホールが2つ形成された場合について説明したが、それ以上形成されていてもよい。
【0030】
【発明の効果】
本発明によれば、トレンチ形成用レジストパターンの寸法制御性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1による半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図2】本発明の実施の形態1の変形例を説明するための工程断面図である。
【図3】本発明の実施の形態2による半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図4】本発明の実施の形態3による半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図5】従来の半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図6】従来の製造方法におけるレジストパターンの寸法変動を示す図である。
【符号の説明】
1 下地配線(Cu配線)、 2 層間絶縁膜、 3 ビアホール、 4 導電性高分子、 5 レジストパターン、 6 トレンチ、 8 有機ARC、 9 導電性高分子、 11,12 下地配線(Cu配線)、 13,14 ビアホール、 15 マスク(レジストパターン)、 16 導電性高分子、 17レジストパターン、 18 トレンチ。
Claims (6)
- デュアルダマシン構造を有する半導体装置の製造方法であって、
下地配線を覆う層間絶縁膜内に、該下地配線に接続するビアホールを形成する工程と、
前記ビアホール内に、電気分解により導電性高分子を形成する工程と、
前記導電性高分子を形成した後、前記層間絶縁膜上にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとしたエッチングにより、前記ビアホールに接続するトレンチを形成する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の製造方法において、
前記導電性高分子は、アニリン系、ピロール系又はチオフェン系のポリマーであることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の製造方法において、
前記導電性高分子は、前記層間絶縁膜上にも形成され、前記レジストパターンを形成する工程で用いられる露光光を吸収することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項3に記載の製造方法において、
前記露光光がKrFエキシマレーザ光であり、
前記導電性高分子がアントラセン誘導体を含有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の製造方法において、
前記導電性高分子を形成した後、前記層間絶縁膜及び前記導電性高分子上に反射防止膜を形成する工程を更に含み、
前記反射防止膜上に前記レジストパターンを形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1から5の何れかに記載の製造方法において、
前記ビアホールを形成する工程では、複数のビアホールが形成され、
前記導電性高分子の形成に先立って、前記複数のビアホールのうち前記導電性高分子を形成しないビアホールをマスクする工程を更に含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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