JP2004178794A5

JP2004178794A5 -

Info

Publication number: JP2004178794A5
Application number: JP2003392062A
Authority: JP
Filing date: 2003-11-21
Publication date: 2006-12-28

Description

さらに図２Ａに示されるように、軟磁性体支持層２１５をディスク基板２０５およびＮｉＰ層２１０の上に配置して、垂直磁気記録に関連する適切な磁気特性を達成する。一実施形態において、軟磁性体支持層２１５は、鉄−コバルト−ニッケル（ＦｅＣｏＮｉ）である。軟磁性体支持層２１５に使用できる他の物質としては、銅−ニッケル（ＣｏＦｅ）ニッケル−鉄（ＮｉＦｅ）、およびその合金が挙げられる。軟磁性体支持層、および軟磁性体支持層を製造するのに使用できる物質については、磁気記録ディスクの技術分野においてよく知られているため、詳細な説明は省略する。

図３に示されるアディティブ法は、軟磁性体支持層３１５の上に配置されるエンボス可能層３２０のスタンピングおよびエッチングに関して、図２に示されるサブトラクティブ法と類似している。図３Ａに示されるように、この処理は、ディスク基板３０５上に配置されるＮｉＰ層３１０から開始される。基板物質によってはディスク基板３０５のメッキを必要としないこともあるが、ＮｉＰ層３１０を使用すると、パターニング処理時に基板３０５に機械的なサポートを与えることができる。上述したように、ディスク基板３０５は、例えば金属（例えばアルミニウム）、金属合金およびガラスなどを含むいくつかの物質で構成される。軟磁性体支持層３１５は、ディスク基板３０５およびＮｉＰ層３１０の上に配置される。軟質支持層３１５は、一実施形態では、鉄−コバルト−ニッケル（ＦｅＣｏＮｉ）から構成される。一実施形態では、その上に軟磁性体支持層３１５を配置する前にＮｉＰ層３１０を研磨かつ／または粗面化する。あるいは、ＮｉＰ層が使用されない場合は、ディスク基板３０５を研磨かつ／または粗面化する。

この点から以降、２つの代替的な方法を用いて、ＮｉＰ層６１０の上に軟磁性体支持層６２０を形成することができる。図６Ｆに示されるように、隆起ゾーン（６２１、６２３）を覆い、窪みゾーン（６２２、６２４、６２６）を埋める軟磁性体支持層物質をＮｉＰ層６１０にメッキまたは堆積させる。軟磁性体支持層物質は、一実施形態では、鉄−コバルト−ニッケル（ＦｅＣｏＮｉ）であってもよい。次いで、図６Ｇに示されるように、軟磁性体支持層６２０を平坦化かつ研磨して、滑らかなディスク層を形成する。あるいは、図６Ｈに示されるように、窪みゾーン（６２２、６２４、６２６）を軟磁性体支持層物質で埋めて、実質的に隆起ゾーン（６２１、６２３）と同等の高さとする。軟磁性体支持層物質を平坦化かつ研磨して、滑らかで、ゾーン毎のムラがない面を設ける。次いで、図６Ｉに示されるように、隆起ゾーン（６２１、６２３）および埋められた窪みゾーン（６２２、６２４、６２６）上に追加的な軟磁性体支持層物質を堆積させて、軟磁性体支持層６２０を形成する。続いて、軟磁性体支持層６２０を再び平坦化かつ研磨する。一実施形態では、図６Ｇおよび６Ｉにおいて形成される軟磁性体支持層６２０を粗面化する。上述の粗面化技術のいずれかを用いて、軟磁性体支持層６２０の粗面化を行うことができる。代替的な実施形態では、ディスク基板６０５は、（例えば、ディスク基板がガラスで構成される場合は）その上にＮｉＰ層６１０が配置されていなくてもよい。そのように、図６Ａから６Ｉに関して上述した同じ方法を用いて、離散トラック記録パターンをディスク基板６０５（不図示）上に形成することができる。

Claims

基板の上に軟磁性体支持層を配置するステップと、
軟磁性体支持層上に離散トラック記録パターンを形成するステップと、
軟磁性体支持層を離散トラック記録パターン上に一様に保持するステップと、
磁性記録層を上記軟磁性体支持層上に配置するステップと、
上記磁性体支持層上に上記磁性記録層を永久に保持するステップとから構成される記録ディスクの製造方法。
垂直記録ディスクを製造する方法であって、
層上に離散トラック記録パターンを形成するステップと、
層の上に軟磁性体支持層を配置し、離散トラック記録パターン上に連続した軟磁性体支持層を形成するステップと、
上記の連続した軟磁性体支持層の上に磁性記録層を配置するステップと、
上記の連続した軟磁性体支持層上に磁性記録層を永久に保持するステップとから構成される方法。
基板と、
磁性記録層と、
基板と磁性記録層の間に配置され、離散トラック記録パターンを有し、離散トラック・パターンを通じて連続する軟磁性体支持層とを備えた垂直磁気記録ディスク。
軟磁性体支持層内でのトラック間分離を確保する手段と、
ディスク基板の上に軟磁性体支持層を配置する手段とを備えた垂直磁気記録ディスク。
スピンドルと、
スピンドルに結合されたディスクであって、ディスク基板、磁性記録層、および基板と磁性記録層の間に配置された軟磁性体支持層を有し、離散トラック記録パターンが軟磁性体支持層により形成され、軟磁性体支持層は離散トラック記録パターンを通じて連続するディスクとを備えたディスク・ドライブ。
基板と、
磁性記録層と、
基板と磁性記録層の間に配置され、粗面化された表面を有する軟磁性体支持層とを備えた垂直磁気記録ディスク。