JP5698952B2 - 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5698952B2 JP5698952B2 JP2010237570A JP2010237570A JP5698952B2 JP 5698952 B2 JP5698952 B2 JP 5698952B2 JP 2010237570 A JP2010237570 A JP 2010237570A JP 2010237570 A JP2010237570 A JP 2010237570A JP 5698952 B2 JP5698952 B2 JP 5698952B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic recording
- layer
- recording medium
- mask layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/855—Coating only part of a support with a magnetic layer
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
また、同一トラック内のデータ領域を更に分割した、いわゆるパターンドメディアを製造しようとする試みもある。
(1)磁気的に分離した磁気記録パターンを有する磁気記録媒体の製造方法であって、非磁性基板上に磁性層を形成する工程と、前記磁性層の上に磁気記録パターンを形成するためのカーボンから成るマスク層を形成する工程と、前記磁性層の前記マスク層に覆われていない部位に水素化カーボンイオンを含むイオンビームを照射し前記磁性層に非磁性体である炭化コバルトを形成する工程と、前記マスク層を除去する工程と、をこの順で有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
(2)前記マスク層に覆われていない部位における前記磁性層中の全コバルト量のうち、80原子%以上を炭化コバルトとすることを特徴とする(1)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(3)前記イオンビームが、ハロゲンを含まないことを特徴とする(1)または(2)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(4)(1)ないし(3)のいずれかに記載の製造方法により得られた磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドと具備してなることを特徴とする磁気記録再生装置。
なお、本実施形態の磁気記録媒体は、非磁性基板の表面に軟磁性層、中間層、磁気パターンが形成された磁性層、保護膜を積層した構造を有し、さらに表面には潤滑膜が形成されている。もっとも、非磁性基板及び磁性層以外は適宜設けて構わない。
通常、磁性層2を形成する方法としてはスパッタ法を用いるが、適宜の方法で構わない。
本実施形態で使用する非磁性基板1としては、Alを主成分とした例えばAl−Mg合金等のAl合金基板や、通常のソーダガラス、アルミノシリケート系ガラス、結晶化ガラス類、シリコン、チタン、セラミックス、各種樹脂からなる基板など、非磁性基板であれば任意のものを用いることができる。中でもAl合金基板や結晶化ガラス等のガラス製基板又はシリコン基板を用いることが好ましい。
また、これら基板の平均表面粗さ(Ra)は、1nm以下であることが好ましく、0.5nm以下であることがより好ましく、0.1nm以下であることが最も好ましい。
また、記録層は使用する磁性合金の種類と積層構造に合わせて、十分なヘッド出入力が得られるように形成すればよい。
記録層の膜厚は、再生の際に一定以上の出力を得るためにはある程度以上の厚さであることが必要であり、一方で記録再生特性を表す諸パラメーターは出力の上昇とともに劣化するのが通例であるため、最適な膜厚に設定する必要がある。
本願発明ではマスク層3としてカーボンを用いる。また、マスク層3はスパッタリング法、またはCVD法により成膜することができるが、より緻密性の高いマスク層3を成膜するためにはCVD法を用いることが特に好ましい。
マスク層3の膜厚が5nmより薄い場合は、マスク層3の角部が丸まった形状となり、磁性層2に対する加工精度が低下してしまう。また、後述する工程Fにおいて、レジスト層4とマスク層3を透過したイオンが磁性層2に侵入して、磁性層2のパターニング精度を悪化させてしまう。
一方、マスク層3が40nmよりも厚くなると、後述する工程Eにおいて、マスク層3をエッチングする際、エッチングに要する時間が長くなってしまい、生産性が低下する。また、マスク層3をエッチングする際の残渣が磁性層2表面に残留しやすくなってしまう。
この際、レジスト層4に磁気記録パターンのネガパターンを転写した後の、レジスト層4のネガパターンに対応する部位11の厚さlを、0〜10nmの範囲内とするのが好ましい。
レジスト層4の部位11の厚さlをこの範囲とすることにより、マスク層3のエッチング工程(工程E)において、マスク層3のエッジの部分のダレを無くし、マスク層3のミリングイオンに対する遮蔽性を向上させ、また、マスク層3による磁気記録パターン形成特性を向上させることができる。
ここでいう放射線とは、熱線、可視光線、紫外線、X線、ガンマ線等の広い概念の電磁波である。また、放射線照射により硬化性を有する材料とは、例えば、熱線に対しては熱硬化樹脂、紫外線に対しては紫外線硬化樹脂である。
0.3keVより小さいと、水素化カーボンイオンの注入深さが低下することとなり、不都合がある。また、3.5keVより大きいと、マスク耐性不良となって不都合となる。
保護膜9としては、炭素(C)、水素化炭素(HxC)、窒素化炭素(CN)、アルモファスカーボン、炭化珪素(SiC)等の炭素質層やSiO2、Zr2O3、TiNなど、通常用いられる保護膜材料を用いることができる。
ただし、保護膜9の膜厚は10nm未満とする必要がある。保護膜9の膜厚が10nmを超えるとヘッドと磁性層2との距離が大きくなり、十分な出入力信号の強さが得られなくなるからである。
なお、本実施形態でいう磁気的に分離した磁気記録パターンとは、磁気記録媒体を表面側から見た場合、磁性層2が非磁性化した領域12により分離された状態を指す。すなわち、磁気記録媒体の表面側から見て、磁性層2が、領域12に形成された非磁性体である炭化コバルトにより分離されていれば、磁性層2の底部において分離されていなくともよく、磁気的に分離した磁気記録パターンの概念に含まれる。
この中で特に、磁気的に分離した磁気記録パターンが、磁気記録トラック及びサーボ信号パターンである、いわゆる、ディスクリート型磁気記録媒体に適用するのが、その製造における簡便性から好ましい。
さらに、マスク層3に用いるカーボンは、反応性ガスを用いたドライエッチングが容易であるため、ドライエッチングした際(工程G)の、残留物を減らし、磁気記録媒体表面の汚染を減少させることができる。
図2に示す磁気記録再生装置は、上述した磁気記録媒体21と、これを記録方向に駆動する媒体駆動部22と、記録部と再生部からなる磁気ヘッド23と、磁気ヘッド23を磁気記録媒体21に対して相対運動させるヘッド駆動部24と、磁気ヘッド23への信号入力と磁気ヘッド23からの出力信号再生を行うための記録再生信号処理手段を組み合わせた記録再生信号系25とを具備して構成されている
磁気記録媒体21の記録トラックを磁気的に不連続に加工したことによって、従来はトラックエッジ部の磁化遷移領域の影響を排除するために再生ヘッド幅を記録ヘッド幅よりも狭くして対応していたものを、両者をほぼ同じ幅にして動作させることができる。これにより十分な再生出力と高いSNRを得ることができるようになる。
また、この磁気ヘッド23の浮上量を0.005μm〜0.020μmと、従来より低い高さで浮上させると、出力が向上して高い装置SNRが得られ、大容量で高信頼性の磁気記録装置を提供することができる。更に、最尤復号法による信号処理回路を組み合わせるとさらに記録密度を向上できる。
HD用ガラス基板をセットした真空チャンバをあらかじめ1.0×10−5Pa以下に真空排気した。ここで使用したガラス基板はLi2Si2O5、Al2O3−K2O、Al2O3−K2O、MgO−P2O5、Sb2O3−ZnOを構成成分とする結晶化ガラスを材質とし、外径65mm、内径20mm、平均表面粗さ(Ra)は2オングストロームである。
続いて、マスク層の上に、レジストをスピンコート法により塗布し、レジスト層を形成した。レジストには、紫外線硬化樹脂であるノボラック系樹脂を用いた。また膜厚は60nmとした。
なお、マスク層を設けない磁気記録媒体を用いた予備実験により、このイオン注入による記録層に含まれるCoの炭化で記録層の飽和磁化(Ms)が注入前の0.8%となることを確認した。
製造された磁気記録媒体は、SNRが13.8dB、3T−squashが89 %でありRW特性に優れ、また、ヘッド浮上特性も安定していた。すなわち、磁気記録媒体表面の平滑性が高く、磁性層のトラック間の非磁性部による分離特性が優れていた。
Claims (3)
- 磁気的に分離した磁気記録パターンを有する磁気記録媒体の製造方法であって、
非磁性基板上に磁性層を形成する工程と、
前記磁性層の上に磁気記録パターンを形成するためのカーボンから成るマスク層を形成する工程と、
前記磁性層の前記マスク層に覆われていない部位に水素化カーボンイオンを含むイオンビームを照射し、前記磁性層に非磁性体である炭化コバルトを形成して、磁気的に分離した磁気記録パターンを形成する工程と、
前記マスク層を除去する工程と、をこの順で有し、
前記マスク層に覆われていない部位における前記磁性層中の全コバルト量のうち、80原子%以上を炭化コバルトとすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 前記イオンビームが、ハロゲンを含まないことを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項1または請求項2に記載の製造方法により得られた磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドと具備してなることを特徴とする磁気記録再生装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010237570A JP5698952B2 (ja) | 2010-10-22 | 2010-10-22 | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 |
US13/276,976 US8486486B2 (en) | 2010-10-22 | 2011-10-19 | Method of manufacturing magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing device |
CN201110320471.7A CN102456358B (zh) | 2010-10-22 | 2011-10-20 | 磁记录介质的制造方法和磁记录再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010237570A JP5698952B2 (ja) | 2010-10-22 | 2010-10-22 | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012089220A JP2012089220A (ja) | 2012-05-10 |
JP5698952B2 true JP5698952B2 (ja) | 2015-04-08 |
Family
ID=45972847
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010237570A Expired - Fee Related JP5698952B2 (ja) | 2010-10-22 | 2010-10-22 | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8486486B2 (ja) |
JP (1) | JP5698952B2 (ja) |
CN (1) | CN102456358B (ja) |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05205257A (ja) | 1992-01-28 | 1993-08-13 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体 |
JP2004164692A (ja) | 2002-11-08 | 2004-06-10 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
US20050036223A1 (en) | 2002-11-27 | 2005-02-17 | Wachenschwanz David E. | Magnetic discrete track recording disk |
US7147790B2 (en) | 2002-11-27 | 2006-12-12 | Komag, Inc. | Perpendicular magnetic discrete track recording disk |
JP4076889B2 (ja) * | 2003-03-26 | 2008-04-16 | Tdk株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
US7531248B1 (en) * | 2004-12-22 | 2009-05-12 | Seagate Technology Llc | Perpendicular recording magnetic media having a granular magnetic recording layer and an amorphous soft underlayer |
US7161753B2 (en) | 2005-01-28 | 2007-01-09 | Komag, Inc. | Modulation of sidewalls of servo sectors of a magnetic disk and the resultant disk |
JP2006309841A (ja) | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Tdk Corp | 磁性パターン形成方法、磁気記録媒体、磁気記録再生装置 |
JP4585476B2 (ja) * | 2006-03-16 | 2010-11-24 | 株式会社東芝 | パターンド媒体および磁気記録装置 |
JP5383050B2 (ja) * | 2008-01-11 | 2014-01-08 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 |
JP5105248B2 (ja) * | 2008-08-26 | 2012-12-26 | 富士電機株式会社 | 凹凸パターンの形成方法およびパターンドメディア型磁気記録媒体の製造方法 |
JP2010123173A (ja) * | 2008-11-18 | 2010-06-03 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 |
JP5427441B2 (ja) * | 2009-03-11 | 2014-02-26 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
CN102598131B (zh) * | 2009-11-04 | 2016-04-13 | 应用材料公司 | 用于图案化的磁盘媒体应用的等离子体离子注入工艺 |
-
2010
- 2010-10-22 JP JP2010237570A patent/JP5698952B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-10-19 US US13/276,976 patent/US8486486B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-10-20 CN CN201110320471.7A patent/CN102456358B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102456358B (zh) | 2014-12-10 |
US8486486B2 (en) | 2013-07-16 |
CN102456358A (zh) | 2012-05-16 |
JP2012089220A (ja) | 2012-05-10 |
US20120099222A1 (en) | 2012-04-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008135092A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法、及び磁気記録再生装置 | |
US8250736B2 (en) | Method for manufacturing a magnetic recording medium | |
JP2007226862A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法、及び磁気記録再生装置 | |
JP5478251B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP4843825B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP5398163B2 (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法、並びに磁気記録再生装置 | |
JP4634354B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP5244380B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP5186345B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2010140544A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録媒体、並びに磁気記録再生装置 | |
JP5427441B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP5334865B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP5383050B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP5412196B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP5698952B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
WO2010058548A1 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP4821780B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP2010140541A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録媒体、並びに磁気記録再生装置 | |
JP2011054254A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP2010152978A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法、並びに磁気記録再生装置 | |
JP2011023081A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP2010165398A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP2011138593A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
WO2011087078A1 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
JP2010146603A (ja) | 磁気記録媒体、磁気記録再生装置および磁気記録再生装置の信号処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130919 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140624 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140825 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150120 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5698952 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |