JP5247231B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
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Description
HD用ガラス基板をセットした真空チャンバをあらかじめ1.0×10-5Pa以下に真空排気した。ここで使用したガラス基板はLi2Si2O5、Al2O3−K2O、Al2O3−K2O、MgO−P2O5、Sb2O3−ZnOを構成成分とする結晶化ガラスを材質とし、外径65mm、内径20mm、平均表面粗さ(Ra)は2オングストローム(単位:Å、0.2nm)である。
実施例および比較例で製造した磁気記録媒体を80℃、湿度80%の環境下のオーブンに720時間保持した後の保磁力とSNRの変化を調べた。表1に評価結果を示す。
2 軟磁性層および中間層
3 磁性体領域
4 非磁性化層
5 保護膜
21 筐体
22 磁気記録媒体
23 スピンドルモータ
24 磁気ヘッド
25 ヘッドアクチュエータ
26 回転軸
27 ボイスコイルモータ
28 ヘッドアンプ回路
30 磁気記録媒体
L 非磁性部幅
W 磁性部幅
B 磁気記録再生装置
Claims (11)
- 磁気的に分離した磁気記録パターンを有する磁気記録媒体の製造方法において、
非磁性基板上に連続した記録層を形成した後、この記録層の上にPt、Ru、Pdの群から選ばれた何れか1種以上の材料からなるマスク層を形成し、その後、記録層の表面でマスク層に覆われていない箇所を、反応性プラズマ、もしくは当該反応性プラズマ中に生成した反応性イオンにさらし、該箇所の記録層を非晶質化して磁気特性を改質する磁気特性改質工程により、磁気的に分離した磁気記録パターンを形成する、ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 上記磁気特性改質工程は、改質した記録層の磁化量を当初の75%以下とする、請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 上記反応性プラズマは、酸素ガスを導入して生成した酸素イオンを含有するプラズマである、請求項1または2に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 上記反応性プラズマは、ハロゲンおよびハロゲンイオンを含有する、請求項1から3の何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 上記記録層でハロゲンおよびハロゲンイオンにさらした箇所は、記録層を構成する物質のハロゲン化物を実質的に含まない、請求項4に記載の磁気録媒体の製造方法。
- 上記反応性プラズマは、酸素および酸素イオン、並びにハロゲンおよびハロゲンイオンを含有する、請求項4または5に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 上記磁気特性改質工程は、記録層の表面でマスク層に覆われていない箇所を、酸素および酸素イオンを含有する反応性プラズマにさらす第1の工程と、その後その箇所をハロゲンおよびハロゲンイオンを含有する反応性プラズマにさらす第2の工程とを有する、請求項4から6の何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 上記磁気特性改質工程の前に、記録層の表面でマスク層に覆われていない箇所にイオン注入を行う、請求項1から7の何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 上記イオン注入するイオンは、アルゴンイオンまたは窒素イオンである、請求項8に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 上記ハロゲンイオンは、CF4、SF6、CHF3、CCl4、KBrの群から選ばれた何れか1種以上のハロゲン化ガスを反応性プラズマ中に導入して形成したハロゲンイオンである、請求項4から9の何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 上記ハロゲンイオンはFイオンである、請求項4から9の何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008127816A JP5247231B2 (ja) | 2008-05-15 | 2008-05-15 | 磁気記録媒体の製造方法 |
PCT/JP2009/059098 WO2009139477A1 (ja) | 2008-05-15 | 2009-05-11 | 磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
US12/992,831 US8802188B2 (en) | 2008-05-15 | 2009-05-11 | Method for manufacturing magnetic recording medium, magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing apparatus |
TW098115720A TW201009827A (en) | 2008-05-15 | 2009-05-12 | Method for production of magnetic recording medium, magnetic recording medium and magnetic recording and reproduction device |
CN2009801273840A CN102099858A (zh) | 2008-05-15 | 2009-05-15 | 磁记录介质的制造方法、磁记录介质和磁记录再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008127816A JP5247231B2 (ja) | 2008-05-15 | 2008-05-15 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009277296A JP2009277296A (ja) | 2009-11-26 |
JP5247231B2 true JP5247231B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=41318835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008127816A Expired - Fee Related JP5247231B2 (ja) | 2008-05-15 | 2008-05-15 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8802188B2 (ja) |
JP (1) | JP5247231B2 (ja) |
CN (1) | CN102099858A (ja) |
TW (1) | TW201009827A (ja) |
WO (1) | WO2009139477A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090199768A1 (en) * | 2008-02-12 | 2009-08-13 | Steven Verhaverbeke | Magnetic domain patterning using plasma ion implantation |
US8551578B2 (en) * | 2008-02-12 | 2013-10-08 | Applied Materials, Inc. | Patterning of magnetic thin film using energized ions and thermal excitation |
US8535766B2 (en) * | 2008-10-22 | 2013-09-17 | Applied Materials, Inc. | Patterning of magnetic thin film using energized ions |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR0138251B1 (ko) * | 1991-02-05 | 1998-05-15 | 다니이 아끼오 | 자기기록매체 및 그 제조방법 |
JPH05205257A (ja) | 1992-01-28 | 1993-08-13 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体 |
JPH06131658A (ja) * | 1992-10-21 | 1994-05-13 | Sony Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
US6168845B1 (en) * | 1999-01-19 | 2001-01-02 | International Business Machines Corporation | Patterned magnetic media and method of making the same using selective oxidation |
JP3886802B2 (ja) | 2001-03-30 | 2007-02-28 | 株式会社東芝 | 磁性体のパターニング方法、磁気記録媒体、磁気ランダムアクセスメモリ |
JP2004164692A (ja) | 2002-11-08 | 2004-06-10 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
US7147790B2 (en) | 2002-11-27 | 2006-12-12 | Komag, Inc. | Perpendicular magnetic discrete track recording disk |
US20050036223A1 (en) | 2002-11-27 | 2005-02-17 | Wachenschwanz David E. | Magnetic discrete track recording disk |
US7161753B2 (en) | 2005-01-28 | 2007-01-09 | Komag, Inc. | Modulation of sidewalls of servo sectors of a magnetic disk and the resultant disk |
JP2006286159A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-19 | Canon Inc | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP2006309841A (ja) | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Tdk Corp | 磁性パターン形成方法、磁気記録媒体、磁気記録再生装置 |
JP2007149155A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体、その作製方法、及び磁気ディスク装置 |
GB2433362B (en) * | 2005-12-16 | 2008-04-09 | Ingenia Technology Ltd | Modification of magnetic materials |
JP2007213716A (ja) | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体製造方法 |
WO2007108462A1 (ja) * | 2006-03-20 | 2007-09-27 | Ulvac, Inc. | エッチング方法 |
JP2007329340A (ja) * | 2006-06-08 | 2007-12-20 | Canon Inc | 接続孔の形成方法及び磁性デバイスの製造方法 |
US20090201722A1 (en) * | 2008-02-12 | 2009-08-13 | Kamesh Giridhar | Method including magnetic domain patterning using plasma ion implantation for mram fabrication |
-
2008
- 2008-05-15 JP JP2008127816A patent/JP5247231B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-05-11 US US12/992,831 patent/US8802188B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-05-11 WO PCT/JP2009/059098 patent/WO2009139477A1/ja active Application Filing
- 2009-05-12 TW TW098115720A patent/TW201009827A/zh unknown
- 2009-05-15 CN CN2009801273840A patent/CN102099858A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009139477A8 (ja) | 2011-06-09 |
JP2009277296A (ja) | 2009-11-26 |
TW201009827A (en) | 2010-03-01 |
US20110109992A1 (en) | 2011-05-12 |
WO2009139477A1 (ja) | 2009-11-19 |
CN102099858A (zh) | 2011-06-15 |
US8802188B2 (en) | 2014-08-12 |
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