JPH03142702A - 垂直磁気記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、オフトラック特性に優れたリング型磁気ヘッ
ドを用いた垂直磁気記録装置に係り、特にその媒体対向
面の形状に関する。

〔従来の技術〕

垂直磁気記録は、１９７０年代の半ばに岩崎俊−氏によ
って考案されて以来、その本質的な高密度記録特性故に
注目を集め、実用化に向けて盛んに研究開発が続けられ
ている。従来からの磁気記録は主に媒体の面内磁化を記
録されるデータに対応させるものである。媒体上の記録
トラックの進行方向の磁化の向きを交互に変えることで
データの記録を実現するものである。この従来からの記
録方式は、また、長手記録方式ともいわれる。この長手
記録方式では、磁化方向の反転が情報を担っている。従
って、トラックの単位長さ当りの情報量を増やしていく
ことでこの磁化反転の数は増す。従って、磁化反転から
磁化反転までの磁化領域の長さは小さくなり、これに伴
って媒体のこの長手方向の反磁界が強くなる。記録密度
が上がって、磁化領域の長さが短くなると反磁界が働き
記録した状態を維持しにくくなる。例えば、記録された
状態が変動して磁化反転位置の変動などを引き起こしや
すくなる。このために、長手方向記録は本質的に高密度
記録において次第に不利になるものである。一方の垂直
磁気記録においては、媒体上で情報を担う磁化の方向が
媒体面に垂直である。このために、垂直記録では長手方
向記録とは逆に記録密度が低いときには媒体表面に磁化
の表れるエネルギー的には不安定な状態になる一方、高
記録密度領域では、媒体膜厚に対する磁化領域の幅が小
さくなることで反磁界の大きさが小さくなるだけでなく
、隣接する逆向きの磁化領域の表面磁化同士が相互に結
合することで磁気的にはむしろ安定になる。このように
、垂直磁気記録方式はその本来から高密度記録に適した
記録方式である。垂直磁気記録の実現の一端は、優れた
垂直異方性を有した磁気記録媒体材料の出現が担ってい
る。すなわち、原理的に磁性膜の膜厚方向の反磁界は強
く、磁性体をこの方向に磁化することは困難である。と
ころが、ＣｏＣｒ合金などの材料は特異に膜厚方向の磁
気異方性が強く、これを用いることで垂直磁気記録の実
現性が増した。

このような垂直磁気記録媒体を用いて、情報を記録再生
するために従来とは異なった観点で記録再生ヘッドが検
討されてきている。すなわち、従来のリングヘッドでは
２つの対向する磁極間に発生する漏れ磁界で媒体に情報
記録している。これに対して、垂直記録では２つの磁極
を必要とせずに、媒体に垂直な磁界を発生する単一の磁
極によって記録するシングルボール型ヘッド（ＳＰＴ）
がある。これは、媒体表面に細い磁性体を近づけて置き
、その磁性体にコイルを巻き、これに電流を通流するこ
とで発生する磁界によって媒体を磁化するものである。

媒体をはさんで反対側に磁性体を置くことで、上述のコ
イルで発生した磁界を媒体に垂直な方向に向けることが
でき、垂直磁界を強化することができる。ＳＰＴには、
コイルを配置する磁極との組合せによって、磁性媒体に
面した磁極にコイルを巻く主磁極励磁型と、媒体の基板
面裏面側に置いた補助磁極にコイルを巻き、発生する磁
界を主磁極によって集束させる補助磁極励磁型がある。

しかしながら、これらのシングルポール型ヘッドでは媒
体の両面に媒体をはさむように磁極を配置しなければな
らず装置の構成が複雑になる。さらに、基板の両面に磁
性体の記録媒体が有れば両面を同時に磁化してしまうと
いう難点が有った。

磁気ディスク装置の記憶容量を大きくする上では、ハー
ドディスク装置でも、フロッピーディスク装置では、従
来の磁気ディスク装置同様に磁気ディスクの両面を記録
領域とすることが望まれる。このためには、磁気ディス
クの片面からアクセスすることが必要で、これに適した
Ｗ型のヘッドが考案された。この場合には、補助磁極が
主磁極の両側で、媒体の同じ面に有る。さらに、記録効
率を上げるために、主磁極、補助磁極が閉磁路を構成す
ることが望ましく、垂直媒体の裏面に面内に異方性の有
るＦｅＮｉなとの裏打ち層を設け、媒体。

裏打ち層、主磁極、補助磁極で閉磁路を構成するもので
ある。

一方、この間従来の長手記録方式に用いられてきたリン
グ型ヘッドも、ギャップエッヂに強い垂直磁界成分を持
っているので、これを利用して垂直真方性を有した記録
媒体を用いることで垂直記録を行なうことができる。

薄膜磁気ヘッドは、例えば、特開昭５５−８４０１９号
に示されるように、非磁性基板上に、ヘッド完成時には
磁極となる磁性膜、ギャップを形成する非磁性膜、記録
電流を流すための導体膜、および導体を他の部分から絶
縁するための絶縁膜などを順次、所望の形状となるよう
にパターニングしながら、積み重ねるようにして記録再
生部分を形成し、しかる後に基板を切断して個々のスラ
イダーに切り離し、回転する媒体上に浮揚するのに適し
た形状に加工して磁気ヘッドを得るものである。

情報の記録される媒体上のトラック幅はギャップ部を介
して対向する上下の磁極部の幅で決まるものである。

従来は、上下の磁極先端部の幅を、それぞれの磁極を構
成する磁性膜をエツチングなどのフォトリソグラフィー
技術を用いて所望の磁極の幅を有する形状にパターニン
グして決めている。従来、上記磁極は下部磁極からずれ
ることの無いように、一般に上部磁極の幅を下部磁極の
幅よりも狭くして、上述の様にパターニングをしていた
。

このようなリング型記録ヘッドを用いて垂直異方性を有
した記録媒体に記録した、媒体上の記録磁化状態を、磁
気光学効果を用いて観察した結果が、垂直磁気記録国際
会議予稿集（ＰＭＲＣ″８９゜Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ
　ｏｆ　Ｐｅｒｐａｎｄｉｃｕｌａｒ　Ｍａｇｎｅｔｉ
ｃＲｅｃｏｒｄｉｎｇ　Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ　’８９
　、　ｐ　ｐ　、　Ｌ　５７ｓ′１６１）に示されてい
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来例では、薄膜磁気ヘッドは、ヘッド完成後基板
を切断し、浮上に適したスライダー形状に加工するもの
である。ヘッド素子は完成したスライダーの後端に位置
し、ヘッド形成時の下部磁性膜は磁気ディスク上を先行
する磁極となる。

方、上部磁性膜は後続する磁極となる。垂直異方性を強
く持った媒体にリング型磁気ヘッドを用いて記録すると
、記録媒体上の磁化パターンは、リング型ヘッドの上下
の磁性膜の媒体対向面の形状特にその幅の影響を強く受
ける。特に、上下の磁極幅が異なって下部の幅が広い場
合には記録時に媒体が最後に経験する磁界分布において
トラック端部で上部磁極による磁化部分がトラック内側
に有るために、トラック端部で上部磁極によって磁化さ
れずに逆向きに磁化されたままの領域が残ることが垂直
磁気記録国際会議予稿集（Ｐ　Ｍ　ＲＣ’　８９　、Ｐ
ｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ　ｏｆ　Ｐｅｒｐｅｎｄｉｃｕｌ
ａｒ　ＭａｇｎｅｔｉｃＲｅｃｏｒｄｉｎｇ　Ｃｏｎｆ
ｅｒｅｎｃｅ　’８９　、　ｐ　ｐ　、　１５７〜１６
１）に示されている。このために再生時にヘッドの位置
が媒体上の情報トラックに対してずれると、トラック端
部での磁化反転の位置がトラック中央のそれに対してず
れているために、再生ヘッドのギャップと媒体上の磁化
分布との間にはずれを生ずることとなり、出力波形のピ
ークの移動を生じ、波形は非対称となり、出力の減少を
生じるという、オフトラック特性の損なわれたものとな
る。再生波形の半値幅も増加し、高周波特性を損なわれ
ていると考えられる。

本発明は、この様な垂直異方性を強く枠った媒体にリン
グ型磁気ヘッドを用いて記録する垂直磁気記録装置にお
いて、オフトラック特性を改善し、ヘッドの位置決めマ
ージンを増し、結果として高トラツク密度を可能とする
高記録密度垂直磁気記録装置を提供することが目的であ
る。

〔課題を解決するための手段〕

上記問題点は、垂直異方性を強く持った媒体にリング型
磁気ヘッドを用いて記録する垂直磁気記録装置において
、リング型磁気ヘッドの対向する磁極のうちの記録時に
トレーリング側となる磁極の幅をリーディング側の磁極
に同じか、若しくは、広くすることで解決される。

本発明は磁性体の磁化方向が媒体表面に垂直ないわゆる
垂直異方性を有した磁気記録媒体と、部に磁気ギャップ
を有する磁気回路を形成する磁性体と、一部が磁気回路
と交差する所定の巻回数の導体と、導体と磁気回路を構
成する磁性体との間を絶縁する絶縁膜とを具備した磁気
ヘッドいわゆるリング型記録ヘッドを備えた磁気記録装
置において、前記磁気ヘッドが記録及び再生時に、磁気
記録媒体上の情報記録領域トラック上を後続する上記磁
性体の媒体に対向する表面上での磁性体いわゆるトレー
リング側の磁極の幅を、磁気記録媒体上の情報記録領域
トラック上を先行する上記磁性体の媒体に対向する表面
上での磁性体いわゆるリーディング側の磁極の幅よりも
広くすることを特徴とする垂直磁気記録装置である。

また、本発明の垂直磁気記録装置はリング型記録ヘッド
を、下部磁性体と、下部磁性体上に一端は下部磁性体の
一端に接し他端は下部磁性体の他端と磁気ギャップを介
して対向し、これによって下部磁性体と共に一部に磁気
ギャップを有する磁気回路を形成する上部磁性体と、一
部が青磁性体間を通り磁気回路と交差する所定の巻回数
の導体と、導体と青磁性体間を絶縁する絶縁膜とを具備
し、これらが非磁性基板上に電気導体、絶縁体。

磁性体を積み重ねるように蒸着、メッキ、および、エツ
チングなどの薄膜技術により基板上に積層形成される薄
膜磁気ヘッドとし、記録及び再生時に、磁気記録媒体上
の情報記録領域トラック上を後続する上記磁性体の媒体
に対向する表面上での磁性体の幅を、磁気記録媒体上の
情報記録領域トラック上を先行する上記磁性体の媒体に
対向する表面上での磁性体の幅よりも広くすることを特
徴とすることが好ましい。

本発明に用いる薄膜磁気ヘッドは、ヘッド完成後に該磁
気ヘッドを担持するスライダーとなる基板上に形成した
下部磁性膜を、媒体の情報記録領域トラック上を先行す
る磁極とし、上部磁性膜を後続する磁極とすることを特
徴とする。

また本発明の垂直磁気記録装置は、磁性体の磁化方向が
媒体表面に垂直な磁気記録媒体を基板上に膜面内の特定
の方向に磁化方向の向きやすい異方性を有した磁性体の
裏打ち層となる膜の上に設けた２層の磁性膜とすること
を特徴とすることが好ましい。

本発明は磁性体の磁化方向が媒体表面に垂直な磁気記録
媒体の磁性膜を１層の磁性膜とすることを特徴とする垂
直磁気記録装置である。

さらに本発明は該磁気ヘッドを、記録と再生の機能を分
離した磁気ヘッドにおける記録専用ヘッドとし、記録時
にヘッド磁性体の媒体に対向する表面上での磁性体の幅
を、別に設ける再生ヘッドの一対の磁極の内の幅の広い
磁極の幅よりも広くすることを特徴とする垂直磁気記録
装置である。

またさらに本発明は該磁気ヘッドを、記録と再生の機能
を分離した磁気ヘッドにおける記録専用ヘッドとし、記
録時にヘッド磁性体の媒体に対向する表面上での磁性体
の幅を、別に設ける再生専用の磁気抵抗効果ヘッドの磁
極の幅よりも広くすることを特徴とする垂直磁気記録装
置である。

〔作用〕

記録時にトレーリング側となる磁極の幅を、リーディン
グ側のよれよりも広くすることで、垂直異方性を強く持
った媒体上の磁化パターンはトラック端部までほぼ一様
にすることができ、再生時にヘッドの位置が媒体上の情
報トラックに対してずれても、出力波形にピークの移動
を生じたり。

波形の非対称性の増加、出力の減少などを低減すること
ができる。

上記従来例で、垂直異方性を強く持った媒体にリング型
磁気ヘッドを用いて記録した時に、記録媒体上の磁化パ
ターンが、リング型ヘッドの上下の磁性膜の媒体対向面
の形状特にその幅の影響を強く受けて、特に、上下の磁
極幅が異なって下部の幅が広い場合にはトラック端部で
逆向きに磁化され領域が残ることは、このような組合せ
では、上下の磁極はそれぞれ単磁極として働いており、
単磁極ヘッドが２組、媒体進行方向に並んで、しかも逆
極性に働いていると考えられる。すなわち、先行する磁
極の幅で一旦記録された後に、後続の磁極で逆方向に反
転されて媒体上の記録磁化パターンが決まっていく、媒
体上のトラック上の磁化パターンは、後続の磁極の幅で
決まることとなる。

従って、後続の磁極の幅を広くすることが有効となる。

〔実施例〕

以下図面を参照して、本発明の一実施例について説明す
る。

第１図は１本発明によって構成された垂直磁気記録装置
の概要を示す図である。第１図において。

垂直磁気記録装置は、例えばＣｏＣｒ合金などの垂直異
方性を有した磁性膜を基板表面に設けた磁気ディスク１
０４と、例えばＦｅＮｉなとの磁性薄膜を用いた記録再
生に用いるリング型磁気ヘッド１０５と該ヘッド１０５
を担持して、回転軸１０２のまわりで回転する該磁気デ
ィスク１０４上に浮上させるスライダーと、該スライダ
ーを支持するバネと、磁気ディスク１０４を回転するモ
ータ１０３．ヘッド１０５を該磁気ディスク１０４上の
所望のトラック上に制御回路の制御により位置決めする
キャリッジ１０６．ボイスコイル１０７゜マグネット１
０８、以上の装置を配置支持するベース１０１、以上の
装置を納める容器、以上の各部の動作を制御する制御部
、コンピュータなどの上位装置と情報の送受をするライ
ト／リード回路。

インターフェース回路等からなるものである。

第１＠において、薄膜磁気ヘッド１０５は、例えば、特
開昭５５−８４０１９号に示されるように、非磁性基板
上に、ヘッド完成時には磁極となる磁性膜、ギャップを
形成する非磁性膜、記録電流を流すための導体膜、およ
び導体を他の部分から絶縁するための絶縁膜などを順次
、所望の形状となるようにパターニングしながら、積み
重ねるようにして記録再生部分を形威し、しかる後に基
板を切断して個々のスライダーに切り離し１回転する媒
体１０４上に浮揚するのに適した形状に加工して磁気ヘ
ッド１０５を得るものである。

第１図において、磁気ディスク１０４は、例えばＣｏＣ
ｒなとの垂直異方性を有する磁性体をアルミニウムやガ
ラスなどの基板上に、塗布あるいは鍍金法やスパッタ法
などの方法で薄膜状に形成したものである。磁性膜の下
にはＦｅＮｉなどの面内に磁気異方性のある下地磁性膜
を設けることもできるものである。

第２図は、本発明によるリング型磁気ヘッド１０５を磁
気ディスク１０４上に浮上させるときの記録媒体対向面
４０側から見た斜視図である。

第２図において、非磁性基板１上に形成された下部磁極
４のギャップ対向辺での幅にたいして、上部磁極１０の
ギャップ対向辺での幅が広いものとなっている。第３図
は、第２図のｎ−ｎ’で切った断面図である。第２図の
本発明によるリング型磁気ヘッド１０５の構造を第３図
により説明する。

非磁性基板１はヘッド完成時には回転する記録媒体１０
４上に浮上するのに適したスライダー形状に加工されて
、通常スライダーの後端部分にヘッドは位置している。

従って、記録媒体上の一点では、始めに下部磁性ＷＡ４
がその上を先行して通り、次に上部磁性膜１０が後続し
て通過していくことになる。第２図において、薄膜磁気
ヘッドは下部磁性膜４と上部磁性膜ｌＯとは記録媒体対
向面４０側で非磁性絶縁層６を介して対向し、記録媒体
対向面４０の反対側の他端７０では上部ならびに下部磁
性膜４，１０が重なって接続されて磁気的に一体となっ
た磁性層間にコイル８が挾まれて形成される。第２図お
よび第３図において、コイル８は非磁性絶縁膜６．絶縁
層７によって下部及び上部磁性膜４，１０から電気的に
絶縁されている。第３図において、ｇＱは磁気ギャップ
長、ｇｄはギャップ深さを示し、９０は記録磁界を示し
、９１は上部及び下部磁性膜が対向する磁気ギャップ内
にあって記録には直接は寄与しない磁界を示す。

第４図は、本発明による垂直磁気記録装置に用いるリン
グ型磁気ヘッドの作製の一部の概要を示す図である。

第２図の本発明によるリング型磁気ヘッド１０５の構造
を第４図により説明する。始めに、第４図（Ａ）に示す
ように、従来と同様に、非磁性基板１上に磁極片の一方
となる磁性層４が附着される。

基板ｌは、磁性層４の附着が良好なように研磨。

洗浄されたものである。ヘッド完成時には、例えば、回
転する磁気ディスク上に自ら浮揚してヘッド素子を支持
するスライダーを構成するものである。磁性層４の素材
はパーマロイなどである。

形成した磁性層４上に、フォトレジスト層３を塗布、磁
極先端の所望のトラック幅に対応した幅を持つ形状にパ
ターニングして残す。

次に、このパターニングされたフォトレジスト層３を基
板ｌ、および、下部磁性層４上に附着せしめた状態で加
熱処理を行うと、第４図（Ｂ）に示すように、このレジ
ストＭ３の側面３１は、加熱処理前のほとんど基板１に
対して垂直の状態から変形して、基板１に対して緩やか
な角度を成すようになり、上記トラックの両外側部分で
のレジスト膜厚は中心部３２で膜厚に対して小さくなる
しかる後に、この基板に加速したイオンを衝突させて行
うイオンミリング加工を施すと、フォトレジスト３の被
っていない磁性層が取り除かれ、磁極片の一方の下部磁
極４が形成される。また、この加工において、上記フォ
トレジスト３とフォトレジスト３に覆われていない上記
磁性層２は同時にそれぞれの上部より取り除かれる。パ
ターニングして加熱処理されたフォトレジスト層３の厚
さは次第に減少して、上記トラックの両外側部分でのレ
ジスト膜厚の小さい部分ではフォトレジスト層３の取り
除かれた後、引き続いて磁性層２が取り除かれる。この
時、フォトレジスト層の厚さに応じて磁性層の除去され
る厚さは異なり、フォトレジスト層３の薄い部分ではよ
り多くの磁性層が取り除かれる。この後、下部磁極４上
に残ったフォトレジスト層５（第４図（Ｃ））は、通常
に用いられる方法、例えば溶剤を用いる方法によって基
板上から取り除かれる。この加工の結果、第４図（Ｄ）
に示すように取られた下部磁極片４は。

所望の幅を有し、しかもその両端部においては基板に対
して９０度より小さな角度を有するものとなる。

以上述べたようにして形成された薄膜磁気ヘッドでは、
第３図に示す磁気ギャップ１１を介して下部磁極と対向
する上部磁極の一辺はトラック幅に対して直角な方向に
なり、さらに、先行する磁極となる下部磁極に対して幅
の広いものとなる。

この結果、記録媒体が記録時に最後に経験するヘッド磁
界分布の流出端の形状がトラック幅に対して垂直なもの
となると共に、その幅は、下部磁極の流出端での磁界分
布の幅に対して幅の広いものとなる。

記録時に媒体−が最後に経験するヘッド磁界の分布の形
が、トラック幅方向に対して垂直な形になるために、媒
体上に形成される磁化反転の形状もトラック幅方向に対
して垂直な形になるものと考えられる。さらに、記録時
に媒体が最後に経験するヘッド磁界の分布の幅が直前に
経験する下部磁極の幅よりも広いことから、磁気ディス
ク上のトラック上での磁化反転の形状がトラック幅方向
に−様になる。従来のように上部磁極の幅に対して、株
磁極の幅が広い場合には、垂直磁気記録国際会議予稿集
（Ｐ　Ｍ　ＲＣ’　８９　、　Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ
　ｏｆＰｅｒｐｅｎｄｉｃｕｌａｒ　Ｍａｇｎｅｔｉｃ
　Ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ　Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ’８９．
ｐｐ、１５７〜１６１）に示されているように、磁気デ
ィスク上のトラック端部で、磁化反転の位置のずれを生
じる。磁化反転の形状の形がトラック幅方向にたいして
ずれたり、湾曲したり、傾斜していると、再生時にヘッ
ド位置がずれると、再生ヘッドのギャップと媒体上の磁
化反転部分との間にずれや、傾斜が生じる。傾斜してい
る場合には、例えば、西用正明著ｒａｔ気記録の理論」
７９〜８０頁に述べられているように、ギャップ傾斜損
失が発生する。また、磁化反転の形状の形がトラック幅
方向にたいしてずれていると、再生波形のずれや広がり
を生じ、従って、上記のように磁化反転の形状がトラッ
ク幅方向に対して−様な、垂直な形になることで、ヘッ
ドの位置ずれの有るときの損失を低減することができる
。

以上の様に作製したリング型磁気ヘッドを用いて、垂直
異方性を有した磁気ディスクに記録することで、ディス
ク状のトラックの磁化パターンはトラック端部まで−様
なものとすることができ、再生時に再生ヘッドが情報ト
ラックからずれたときに生ずる出力の低下などのオフト
ラック損失を低減することができる。

以上、本発明では、磁気ディスクとして下地膜を備えた
垂直異方性膜を基板上に作製した２層膜を取り上げたが
、下地膜のない単層の磁性膜を基板上に作製したもので
も、同様に記録することができる。

また、その他の効果として、下部磁極片４の両端部での
角度が鈍角となるために、このかど部分において起こり
がちな、導体コイルの厚さが局部的に薄くなり、導体抵
抗値を増やしてしまうことや、最悪においては断線を招
くことを避けることができる。

また、更に従来のように上部磁性層でトラック幅を決め
る場合には、導体や絶縁体厚さによって増した素子高さ
のためにフォトマスクと基板との距離が大きくなるため
にトラック幅の加工精度が悪かったが、本発明による構
造の薄膜磁気ヘッドの製造においては、トラック幅の大
きさを左右する下部磁性層の幅を平滑な基板上で決める
ために。

トラック幅の加工精度が良くなるという効果がある。

以上の説明では、上部磁極として断面が略矩形状のもの
を取り上げたが、その他の実施例としては、ギャップ対
向面において、対向する下部磁極の幅よりも広ければ、
断面が台形状であっても差し支えない。

さらに、本発明の狙いである。再生時のオフトラック特
性を改善するには、上述の構造の薄膜磁気ヘッドであっ
て、上部磁極の幅を下部磁極の基板に接続した下部の最
も幅の広い部分の幅と等しくすることが望ましい。

さらに、本発明の狙いである。再生時のオフトラック特
性を改善するには、磁気記録装置において記録再生機能
を二つのことなるヘッドに分けた構成とし、再生ヘッド
の一対の磁極の内の幅の広い側の磁極の幅よりも、記録
ヘッドの磁極の狭い側の磁極の幅を同じか、あるいは、
これより広くすることが有効である。

以上の説明では、本発明による磁気ヘッドとして、導体
コイルに１巻線のものをとりあげたが、多巻数のコイル
を有する構造にも同様に本発明の手法を適用できる。ま
た、ギャップ材と導体コイルとの間にさらに絶縁層を設
けることで、ギャップ材には導電性の非磁性材を用いる
ことができる。

以上の説明では、本発明による磁気ヘッドの上部磁極の
形状として、磁気ギャップ対向面の平坦な構造をとりあ
げたが、製造過程における制約から微小な湾曲２段差が
生じても、第５図に示すように、記録時に媒体が最後に
経験する書き込み磁界の等磁界線の形状は変化少なく問
題にならない。

以上の説明では、本発明による磁気ヘッドの下部磁極の
形状として、概略台形状のものをとりあげたが、製造過
程における制約から概略矩形になっても、第５図に示す
ように、記録時に媒体が最後に経験する書き込み磁界は
上部磁極の形状に強く依存して決まるので問題にならな
い。

以上の説明では、本発明による磁気ヘッドとして薄膜磁
気ヘッドを取り上げたが、後続側となる磁極の幅が広け
れば、フェライト等を削りだして作るヘッドであっても
差し支えない。

〔発明の効果〕

本発明によれば、薄膜磁気ヘッドの書き込み時に媒体が
最後に経験する磁界分布の形状を、それ以前に経験する
磁界の広がりよりも広くすることができ、また、トラッ
ク幅に対して直角にすることができる。さらに媒体上の
磁化反転領域の形状をトラック幅に対して垂直で、−様
なものとすることができ、再生波形のピークの拡がりや
波形の非対称性の増加、高密度での出力の低下等を防止
するこ・とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による垂直磁気ディスク装置の概要を
示す図、第２図は、本発明による薄膜磁気ヘッドの媒体
摺動面側から見た磁極の様子を示す図、第３図は、第２
図におけるｎ−ｍ’部分での断面を示す図、第４図は薄
膜磁気ヘッドの製造方法の一部を示す図である。 ■・・・非磁性基板、２・・・磁性層、３・・・フォト
レジスト層、４・・・下部磁極片、６・・・非磁性絶縁
層、８・・・導体コイル、９・・・絶縁層、１０・・・
上部磁極片。 ４０・・・浮上面、１０１・・・ベース、１０２・・・
スピンドル、１０３・・・モーター　１０４・・・磁気
ディスク、１０５・・・薄膜磁気ヘッド、１０６・・・
キャリッジ、茅 ３ 呂 ０

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、垂直異方性を有した磁性媒体とリング型記録ヘッド
   とを組合せた磁気記録装置において、前記リング型記録
   ヘッドのトレーリング側の磁極の幅をリーディング側の
   磁極の幅よりも広くすることを特徴とする垂直磁気記録
   装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記リング型記録
   ヘッドを非磁性基板上に電気導体、絶縁体、磁性体を積
   み重ねるように蒸着、メッキ、および、エッチングなど
   の技術を利用して製造される薄膜磁気ヘッドとし、媒体
   の情報トラック上を先行する磁極にたいして、後続する
   磁極のトラック幅を広くしたことを特徴とする垂直磁気
   記録装置。 ３、特許請求の範囲第２項において、ヘッド完成後に該
   ヘッドを担持するスライダーとなる基板上に形成した下
   部磁性膜を、媒体の情報トラツク上を先行する磁極とし
   、上部磁性膜を後続する磁極とすることを特徴とする薄
   膜磁気ヘッド。 ４、特許請求の範囲第１項において、垂直異方性を有し
   た磁性媒体を基板上に面内に異方性を有した裏打ち層の
   上に設けた２層磁性膜とすることを特徴とする垂直磁気
   記録装置。５、特許請求の範囲第１項において、垂直異
   方性を有した磁性媒体を磁性膜を１層の磁性膜とするこ
   とを特徴とする垂直磁気記録装置。 ６、特許請求の範囲第１項において、該磁気ヘッドを、
   記録再生の機能を分離した薄膜磁気ヘッドにおける記録
   ヘッドとし、該ヘッドのトレーリング側の磁極の幅を、
   別に設ける再生ヘッドの一対の磁極の内の幅の広い磁極
   の幅よりも広くしたことを特徴とする垂直磁気記録装置
   。