JP2001256608A - 磁気ヘッド及び磁気記憶再生装置 - Google Patents

磁気ヘッド及び磁気記憶再生装置

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JP2001256608A
JP2001256608A JP2000070265A JP2000070265A JP2001256608A JP 2001256608 A JP2001256608 A JP 2001256608A JP 2000070265 A JP2000070265 A JP 2000070265A JP 2000070265 A JP2000070265 A JP 2000070265A JP 2001256608 A JP2001256608 A JP 2001256608A
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Tomoki Funayama
山 知 己 船
Masatoshi Yoshikawa
川 将 寿 吉
Takashi Koizumi
泉 隆 小
Akio Hori
昭 男 堀
Yuichi Osawa
沢 裕 一 大
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 軟磁性層に起因するノイズを抑制でき、効率
の低下を改善できる垂直磁気記録用の磁気ヘッド及びこ
れを用いた磁気記憶再生装置を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 記録ヘッドの主磁極の中心とリターンヨ
ークの中心とを結ぶ線と主磁極と前記リターンヨークの
対向する端部同士を結ぶ線とのなす角をθ１とし、記録
ヘッドの主磁極の中心とリターンヨークの中心とを結ぶ
線と前記再生ヘッドの主磁極の中心とリターンヨークの
中心とを結ぶ線とのなす角をθ２とした時に、θ２＞θ
１となるように構成されたことを特徴とする。この構成
によれば、記録時と再生時において媒体を流れる磁束の
方向が記録の際に磁束が流れた方向と重なることはな
く、その結果として、両者が重なる時に発生するバルク
ハウゼンノイズや再生効率の低下などの問題を解消する
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッド及び磁
気記憶再生装置に関する。より詳細には、本発明は、垂
直磁気記録方式において低ノイズで効率の良い記録・再
生が可能な記録・再生一体型の磁気ヘッド及びこれを用
いた磁気記憶再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ハードディスク装置（ＨＤＤ）などの磁
気記録装置は、近年において急速に小型・高密度化が進
んでおり、今後さらに高密度化されることが見込まれて
いる。磁気記録において高密度化を行うには、記録トラ
ック幅を狭くして記録トラック密度を高めるとともに、
記録トラックの長手方向の記録密度すなわち「線記録密
度」を高める必要がある。
【０００３】しかしながら、いわゆる面内記録方式（長
手記録方式）においては、記録密度が高くなるにつれて
反磁界が大きくなり、再生出力が低下したり、安定な記
録が行えなくなるという問題が顕著になる。これらの問
題を改善するものとして垂直記録方式が提案されてい
る。垂直記録方式は記録媒体面に対して略垂直方向に磁
化して記録するものであり、面内記録方式と比較すると
記録密度を高めても反磁界の影響が少なく、再生出力の
低下等が抑制されるという利点を有する。
【０００４】面内記録、垂直記録ともに、従来は媒体に
記録された信号の再生にはインダクティブヘッドが用い
られていたが、高密度化に伴い記録トラック幅が狭くな
り記録された磁化の大きさが小さくなっても、十分な再
生信号出力が得られるよう、磁気抵抗効果（magnetores
istance effect）を用いた再生感度の高いＡＭＲ（anis
otropic magnetoresistive）ヘッドが開発され、シール
ド型再生ヘッドとして用いられるようになった。また最
近では巨大磁気抵抗効果（giant magnetoresistance ef
fect）を応用した、さらに感度の高いスピンバルブ型Ｇ
ＭＲヘッドが用いられるようになり、さらに高い再生感
度の期待されるトンネル磁気抵抗効果（tunneling magn
etoresistance effect：ＴＭＲ）を用いた磁気ヘッドの
開発と実用化のための研究が進められている。このよう
に再生感度の高い磁気ヘッドが開発され、それらを用い
ることによって、ごく小さい記録ビットサイズであって
も記録信号の再生が可能になってきた。
【０００５】ところで、記録トラックの長手方向の密度
である線記録密度を高めるためには、磁気ヘッドのギャ
ップを狭くする必要がある。しかしながら、従来の上記
磁気抵抗効果を用いた磁気ヘッドではヘッドギャップ内
に磁気抵抗効果素子を入れている。このため磁気抵抗効
果素子の大きさはＡＭＲヘッドであっても、またスピン
バルブＧＭＲヘッドであっても、３０ｎｍ程度の大きさ
を必要とし、シールドとの絶縁を考慮するとシールド間
は１００ｎｍ以上を必要とする。このため、従来の型式
の磁気ヘッドにおいては、ヘッドギャップを狭めること
ができるのは１００ｎｍ程度が限度となる。したがって
線記録密度を高める上で大きな制約が生じている。
【０００６】そこで、磁気ヘッドのギャップ内には磁気
抵抗効果素子を入れずにヘッドギャップを十分狭めるこ
とができるようにし、記録磁化からの磁束をヘッドギャ
ップ部より取り込み、磁気ヨークによって磁気ヘッド内
に導いて磁気ヘッドの後部に配置された磁気抵抗効果素
子に伝達することによって、この磁気抵抗効果素子から
再生信号を得る型式、すなわち「ヨーク型」の磁気抵抗
効果型磁気ヘッドが望まれる。このヨーク型磁気ヘッド
であればヘッドギャップを十分に小さくできるので、再
生の分解能が向上し、高い線記録密度に対応できると期
待される。またトラック密度に関しても、従来型では磁
気抵抗効果素子の両端にセンス電流を供給するために設
置するリードの間隔で再生トラック幅を規定するが、ヨ
ーク型の場合はヨーク膜の膜厚でトラック幅を規定でき
るので、従来型に比べて狭トラック化が容易である。こ
れらのことにより、特にヨーク型の磁気ヘッドは今後の
高記録密度化に十分対応できると期待できる。
【０００７】一方、ＨＤＤ用の磁気ヘッドを構成するた
めには書き込み用の記録ヘッドも必要である。膜厚でト
ラック幅を規定できるプラナー型ヘッドの場合記録ヘッ
ドにおいても同様の利点はあるが、起磁力を生み出すコ
イルの設置が非常に難しいものとなる。磁極の上下を通
すようにコイルを設置する必要があるがその製造工程は
複雑なものとなるだけでなく、コイルのターン数を増や
すことも容易ではない。これらを回避するためにコイル
を基板面内に作成することも可能であるがその場合再生
ヘッドを基板の側面に作成せねばならず、工程はより複
雑なものとなってしまう。
【０００８】また、特に垂直記録方式の場合、記録およ
び再生効率を上げるために磁化記録層の下に「軟磁性裏
打ち層」を設けた２層膜構成の記録媒体ディスクが提案
されている。このような媒体を用いると磁気ヘッドと軟
磁性裏打ち層との磁気的相互作用により磁気ヘッド先端
での減磁界を減少させることができることから、記録時
にはより大きな発生磁界が得られ、再生時にもより大き
な再生信号を得ることができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような軟
磁性裏打ち層を有する２層記録媒体を用いた垂直磁気記
録方式においては、軟磁性裏打ち層に起因してノイズが
発生するという問題がある。これは、軟磁性裏打ち層の
磁化状態の変化により生じるものであり、典型的なもの
としては、磁壁移動に伴うバルクハウゼンノイズ（Bark
hausen noise）がそれに当たる。
【００１０】また、さらには記録する際に、比較的強い
磁束が裏打ち層を通ることからその場所の磁化状態が乱
され、再生時のノイズ発生原因となる。これは特に記録
密度が高く、再生ヘッドとして高感度な磁気抵抗効果素
子を用いるような場合、記録ビットサイズが小さいこと
から記録層が発生する磁束量も小さくなり、ノイズの影
響が増加し、結果再生時のＳ／Ｎが小さくなってしまう
という問題が発生する。
【００１１】また、記録磁極の残留磁化により、記録ヘ
ッドの主磁極、軟磁性裏打ち層、リターンヨークで、記
録動作時に比べれば小さい磁界ではあるが磁気回路が常
に形成されている。記録時にはより強い磁界を発生する
ので問題ないが、再生時は起磁力の源が記録層の記録ビ
ットのみとなり、特に高記録密度になればなるほどビッ
トサイズが小さくなり発生する磁束が小さくなることか
ら、記録磁極の残留磁化の影響がより顕著となり再生効
率を低下させる原因となる。
【００１２】本発明は、かかる課題の認識に基づいてな
されたものである。すなわち、その目的は、軟磁性層に
起因するノイズを抑制でき、効率の低下を改善できる垂
直磁気記録用の磁気ヘッド及びこれを用いた磁気記憶再
生装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の磁気ヘッドは、記録ヘッドと再生ヘッドと
を備えた垂直磁気記録方式の磁気ヘッドであって、前記
記録ヘッドの主磁極の中心とリターンヨークの中心とを
結ぶ線と前記主磁極と前記リターンヨークの対向する端
部同士を結ぶ線とのなす角をθ１とし、前記記録ヘッド
の前記主磁極の中心と前記リターンヨークの中心とを結
ぶ線と前記再生ヘッドの主磁極の中心とリターンヨーク
の中心とを結ぶ線とのなす角をθ２とした時に、θ２＞
θ１となるように構成されたことを特徴とする。
【００１４】ここで、記録ヘッドの「主磁極」とはコイ
ルに電流を流すことによって生じる磁束を用いてある決
められたトラック幅に媒体に記録を行う部分であり、
「リターンヨーク」とは磁気回路を形成するために設け
られているもので、通常は主磁極よりも媒体対抗面側に
広い面積を有するものである。
【００１５】また、再生ヘッドの場合も基本的には記録
ヘッドの場合と同様であるが、「主磁極」と「リターン
ヨーク」がほぼ同形状の場合も多くまとめて「ヨーク」
と表現されている場合も多い。その場合は便宜上どちら
かを主磁極、もう一方をリターンヨークと解釈して上記
の定義を用いるものとする。
【００１６】また、再生ヘッドがシールド型の場合は磁
気抵抗効果素子そのものが主磁極に相当し、シールドが
リターンヨークに相当する。
【００１７】本発明の磁気ヘッドを用いて軟磁性裏打ち
層と垂直記録層からなる垂直磁気記録媒体に記録を行う
と、軟磁性裏打ち層の記録ヘッドの主磁極とリターンヨ
ークの中心を結ぶ線に対し±θ１の範囲に磁束が流れ
る。次に、この場所を再生ヘッドで読み出しを行うと、
その際に軟磁性裏打ち層を流れる磁束の方向が記録の際
に磁束が流れた方向と重なることはない。
【００１８】その結果として、両者が重なる時に発生す
るバルクハウゼンノイズや再生効率の低下などの問題を
解消することができる。
【００１９】また、θ２がおおむね９０°となるように
本発明の磁気ヘッドを構成すると、再生ヘッドの心臓部
である磁気抵抗効果素子と面積の大きく形状が複雑な記
録ヘッド励磁用コイルがともに同一面内方向、具体的に
は基板面内方向に形成できることから作製プロセスが簡
易なものになるだけでなく、上記の効果は記録動作時に
磁束が流れた方向と直交する方向に磁束が流れるように
再生させた場合が擬似的に磁化困難軸方向に磁束を流す
ことになるのでバルクハウゼンノイズの抑制効果がもっ
とも高くなる。
【００２０】また、再生ヘッドの主磁極の中心とリター
ンヨークの中心とを結ぶ線がおおむね媒体に形成される
記録トラックの長手方向に平行になるように構成する
と、以下の理由により再生時の効率を上げることができ
る。
【００２１】すなわち、記録を行う際そのビットサイズ
の規定は主磁極の形状と媒体ディスクの回転速度と書き
込み電流の周波数により決まり、記録効率は主磁極の中
心とリターンヨークの中心を結ぶ線がトラックの方向に
対しどちらを向いていようがあまり関係なく、トラック
幅方向に向いていても良く、充分な磁束量をコイルから
供給できかつ主磁極の形状を最適化すれば達成できる。
一方、再生を行う場合は記録されているビットサイズに
合わせて形状を決めることで分解能を規定できるが、一
般にトラック幅＞ビット長であるので、主磁極の中心と
リターンヨークの中心を結ぶ線がトラック長手方向、す
なわちビット長方向にある場合が、構造として最も小さ
くすることができる。
【００２２】記録密度が高くなればなるほどビットサイ
ズが小さくなり発生する磁束量も小さくなることから再
生効率を上げるためには主磁極とリターンヨークの距離
をできるだけ小さくすることが望ましい。主磁極の中心
とリターンヨークの中心を結ぶ線がトラック長手方向に
沿うように形成すれば分解能の規定と高効率化を同時に
達成できる。
【００２３】加えて、記録ヘッド主磁極と再生ヘッド主
磁極が共用されるように構成すると記録トラックと再生
トラックの位置ずれを回避でき高記録密度化に非常に有
利な構造となる。それは、記録ヘッドと再生ヘッドの主
磁極が別々に並んで配置されている場合、スキュー角が
変わると記録ヘッドと再生ヘッドのトラック位置ずれが
生じてしまう。これらを回避するために通常記録トラッ
ク幅を再生トラック幅よりも広く取ることでスキュー角
が変わっても問題ないようにしているが、その場合結局
トラック幅を広げなければならず高記録密度化に際して
の問題となっている。
【００２４】従って、記録の主磁極と再生の主磁極が同
じであればスキュー角が変わってもトラック位置ずれが
生じることはなく、記録トラックを広げる必要はないた
め、最小のトラック幅とすることができるのでトラック
密度が上がり結果記録密度が向上するのである。
【００２５】また本発明の垂直磁気記録方式の磁気記憶
再生装置は、上述した本発明のいずれかの磁気ヘッドを
備え、特に、軟磁性裏打ち層を用いた垂直２層媒体と組
み合わせることにより優れた記録再生特性が実現され
る。
【００２６】この磁気記憶再生装置は、前述したいずれ
かの磁気ヘッドが形成されているスライダ、そのスライ
ダを支えるかつ媒体とスライダとの距離を適切に保つた
めのサスペンション、ヘッドの位置決めを行う駆動部、
媒体ディスク、媒体ディスクを回転させる駆動部などか
らなる。
【００２７】この磁気記憶再生装置での記録は、記録ヘ
ッドのコイルに電流を流し磁束を発生させ、主磁極に収
束した磁束を用いて媒体ディスクに書き込みを行う。そ
の際記録層を通り抜けた磁束は軟磁性裏打ち層を通りリ
ターンヨークに帰還して磁気回路が形成されることで記
録効率が向上する。再生は記録されている記録ビットか
らの磁束を再生ヘッド主磁極で吸い込み、センサーであ
る磁気抵抗効果素子、リターンヨークおよび裏打ち層を
通って記録ビットへ帰還することで磁気回路が形成され
ることで効率よく再生できる。再生信号は磁気抵抗効果
素子を磁束が通過した際の抵抗変化として検出されるも
のである。
【００２８】さらに、反強磁性膜／軟磁性膜の積層膜を
軟磁性裏打ち層として用いると、さらに優れた磁気記憶
再生装置が構成できる。本発明の磁気ヘッドと組み合わ
せた場合記録時と再生時で軟磁性裏打ち層を流れる磁束
の方向が異なることになる。軟磁性裏打ち層が磁気異方
性を有している場合、方向により透磁率が異なることか
ら記録・再生のどちらかで効率が落ちることになってし
まう。また軟磁性裏打ち層に磁壁が発生していると、磁
気ヘッドがその磁壁を通過する際ノイズが発生する。ま
たヘッド位置決め用あるいはディスク回転用のモーター
から発生する外乱磁界により軟磁性裏打ち層の磁壁が移
動することによってもノイズが発生してしまう。したが
って軟磁性裏打ち層として磁壁が発生せず、磁気的に等
方な膜であることが望まれる。そこで反強磁性膜／軟磁
性膜の積層膜を裏打ち層に用いると反強磁性膜と軟磁性
膜間の交換結合により磁壁の発生を抑制し、かつ磁気的
に等方な膜とすることが可能となる。このような特性の
膜は反強磁性膜と軟磁性膜を成膜する際、回転磁界を印
可するかまたは成膜後回転磁界中で熱処理することによ
り得ることができる。したがって本発明の磁気ヘッドと
反強磁性膜／軟磁性膜を裏打ち層として用いた垂直２層
媒体とを組み合わせた磁気記憶再生装置は記録密度が高
くなってもノイズの影響が押さえられた優れた磁気記憶
再生装置となる。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について詳細に説明する。
【００３０】（第１の実施の形態）まず、本発明の第１
の実施の形態として、記録ヘッドと再生ヘッドの基本的
な配置関係について説明する。
【００３１】図１は、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッ
ドの要部構成を表す概念図である。すなわち、同図は、
磁気ヘッドを媒体対向面から眺めた斜視図であり、アル
ミナコートされたアルチック（Ａｌ２Ｏ３／ＴｉＣ）基
板７の上に記録ヘッド８と再生ヘッド９とが形成された
ものを表す。
【００３２】記録ヘッド８は、ＮｉＦｅなどの磁性材料
からなる記録用主磁極１、Ｃｕなどの導電体からなる励
磁用のコイル３、磁路穴を介して記録用主磁極１と接続
されたＮｉＦｅなどの磁性材料からなるリターンヨーク
２から構成されている。
【００３３】再生ヘッド９は、ＮｉＦｅなどの磁性材料
からなる再生用主磁極４，再生用リターンヨーク５、お
よびそれらを橋渡しするように配置された磁気抵抗効果
素子６、さらに同図においては省略したが磁気抵抗効果
素子６にセンス電流を供給する目的で磁気抵抗効果素子
６の両側に配置されたＣｕなどの導電体からなるリード
から構成されている。
【００３４】図２は、記録ヘッド８と再生ヘッド９との
位置関係を表す媒体対抗面側から見た平面図である。図
示したように、記録ヘッドの主磁極１と、再生ヘッドの
主磁極４及びリターンヨーク５が、記録トラックＴに沿
って配置されている。
【００３５】ここで、記録ヘッド８の主磁極１の中心と
リターンヨーク２の中心とを結ぶ線をＬ１とする。ま
た、主磁極１とリターンヨーク２との対向する端部１Ａ
と２Ａとを結ぶ線をＬ２とする。そして、線Ｌ１と線Ｌ
２とのなす角をθ１とする。
【００３６】一方、再生ヘッド９の主磁極４の中心とリ
ターンヨーク５の中心とを結ぶ線をＬ３とし、線Ｌ１と
線Ｌ３とのなす角をθ２とする。
【００３７】このように定義した場合に、本発明の磁気
ヘッドは、θ２＞θ１となるように構成される。
【００３８】このヘッドを用いて軟磁性裏打ち層と垂直
記録層からなる垂直磁気記録媒体に記録を行うと、軟磁
性裏打ち層において、記録ヘッドの主磁極とリターンヨ
ークの中心を結ぶ線に対し±θ１の範囲に磁束が流れ
る。次に、この記録箇所において再生ヘッドで読み出し
を行うと、その際に軟磁性裏打ち層を流れる磁束の方向
が記録の際に磁束が流れた方向と重なることはない。こ
こで、両者の方向が重なると、記録動作時に磁束が流れ
た方向は擬似的に磁化容易方向となりその方向の保磁力
が増加するため、バルクハウゼンノイズが発生しやすく
なるという問題が生ずる。また、特に記録動作では再生
時に比べて強い磁束が流れ、軟磁性裏打ち層が磁気的飽
和に近づく。一度飽和近くまで磁化された方向の透磁率
は一般に減少するので再生時にその方向に磁束が流れる
と、透磁率が低いことから効率が低下してしまう。
【００３９】これに対して、本発明の磁気ヘッドにおい
ては、記録ヘッドと再生ヘッドの配置関係を前述の如き
範囲に限定することにより、磁束の方向を記録時と再生
時とでずらすことができる。その結果として、上述の問
題を回避でき、記録動作に伴うノイズの発生や効率の低
下が抑制され、優れた記録再生特性を得ることができ
る。
【００４０】ここで、図１及び図２に例示したようにθ
２がおおむね９０°となる磁気ヘッドを形成する工程
は、以下の如くである。
【００４１】まず、アルミナコートされたアルチック基
板７上にまず記録主磁極１、再生主磁極４、再生リター
ンヨーク５となるＮｉＦｅなどの磁性膜を、記録トラッ
ク幅相当の膜厚となるようにスパッタ法などにより成膜
する。次に、その上にフォトレジストを塗布し、露光・
現像によりパターンを形成する。このフォトレジストを
マスクにして磁性膜をイオンミリング法によりエッチン
グする。さらに、フォトレジストを残したままアルミナ
などの絶縁膜を磁性膜とほぼ同じ膜厚だけ成膜し、レジ
ストを除去することで磁性膜上のアルミナを除去（リフ
トオフ）する。
【００４２】さらにアルミナを成膜し、ＣＭＰ（chemic
al mechanical polishing）により平坦化する。その際
数十ｎｍのアルミナを残し、主磁極・リターンヨークと
磁気抵抗効果素子との絶縁膜とする。その上に磁気抵抗
効果膜を成膜し、通常のフォトリソグラフィー工程によ
りパターン化する。その後Ｃｕ等の導電膜を成膜し、フ
ォトリソグラフィー工程により再生素子電極および記録
ヘッド励磁用コイル３を形成する。さらにアルミナを成
膜し、先ほどパターン化したコイルの中央に磁路穴を形
成する。そして記録ヘッドのリターンヨーク２となるＮ
ｉＦｅなどの磁性膜を成膜し、フォトリソグラフィー工
程によりパターン化する。最後に、保護膜となるアルミ
ナを成膜し、再生リード・記録コイルの電極取り出し用
にスルーホールを形成し、メッキにより図示しない電極
を形成する。
【００４３】なお、再生ヘッドの主磁極４とリターンヨ
ーク５間の形成は、特に媒体対向面側について以下のよ
うに形成しても良い。まず初めに、磁性膜を成膜する前
にＣｕなどの導電膜を成膜しておく。その後、前述した
場合と同様に磁性膜を形成しパターニングを行うが、主
磁極４とリターンヨーク５間はその際形成しないでお
く。ＣＭＰ前にアルミナを成膜した段階で、アルミナご
とＦＩＢ（focused ionbeam：収束イオンビーム）によ
り０．１μｍ以下の間隔となるように磁性膜を切り、メ
ッキによりＣｕなどの非磁性膜をＦＩＢで切った部分に
埋め込む。その後のＣＭＰ以降の工程はは前述と同じ方
法で形成する。
【００４４】このように、θ２がおおむね９０°となる
ように本発明の磁気ヘッドを構成する場合には、基板の
主面上に構成要素を順次積層形成することができる。つ
まり、基板の端面に対する膜付けやパターニングをする
ことなく形成でき、プロセス工程やコストが削減でき
る。
【００４５】なお、図１及び図２においては、θ２が略
９０°である場合を例示したが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、θ２＞θ１なる条件が満たされれ
ば、上述した各種の効果を得ることができる。
【００４６】次に、本実施形態の磁気ヘッドの変型例に
ついて説明する。
【００４７】図３は、本実施形態の変型例における記録
ヘッド８と再生ヘッド９との位置関係を表す媒体対抗面
側から見た平面図である。本変型例においては、記録ヘ
ッドの主磁極１とリターンヨーク２、及び再生ヘッドの
主磁極４が記録トラックＴに沿って配置されている。
【００４８】本変型例の場合も、記録ヘッド８の主磁極
１の中心とリターンヨーク２の中心とを結ぶ線Ｌ１と、
主磁極１とリターンヨーク２との対向する端部１Ａと２
Ａとを結ぶ線Ｌ２のなす角をθ１とし、記録ヘッド８の
主磁極１の中心とリターンヨーク２の中心を結ぶ線Ｌ１
と再生ヘッド９の主磁極４の中心とリターンヨーク５の
中心とを結ぶ線Ｌ３とのなす角をθ２とした時、θ２＞
θ１となるように構成されている。
【００４９】本変型例においても、記録ヘッドと再生ヘ
ッドの配置関係を前述の如き範囲に限定することによ
り、磁束の方向を記録時と再生時とでずらすことができ
る。その結果として、上述の問題を回避でき、記録動作
に伴うノイズの発生や効率の低下が抑制され、優れた記
録再生特性を得ることができる。
【００５０】（第２の実施の形態）次に、本発明の第２
の実施の形態として、本発明の磁気ヘッドを２層構成の
垂直記録媒体に対して用いた具体例について説明する。
【００５１】図４は、本実施形態にかかる垂直磁気記録
用磁気ヘッド及び磁気記録媒体の要部構成を表す斜視図
である。すなわち、同図は、記録ヘッド８と再生ヘッド
９が、媒体ディスク１３上に配置された状態を表す。媒
体ディスク１３は、媒体基板１０の上に、軟磁性裏打ち
層１１と垂直記録層１２が積層された２層構成を有す
る。媒体ディスク１３には、記録トラック１４が形成さ
れる。そして、再生ヘッド９は、その主磁極４の中心と
リターンヨーク５の中心とを結ぶ線が、記録トラック１
４に対して概ね平行となるように配置されている。これ
に対して、記録ヘッド８は、その主磁極１とリターンヨ
ーク２の中心を結ぶ線がおおむねトラック１４に直交す
るように配置されている。つまり、記録時には、主磁極
１とリターンヨーク２により形成される磁気回路は、記
録トラック１４に対して直交する方向となる。これに対
して、再生時には、主磁極４とリターンヨーク５により
形成される磁気回路は、記録トラック１４に対して平行
な方向となる。従って、第１実施形態に関して前述した
ように、記録動作に伴うノイズの発生や効率の低下が抑
制され、優れた記録再生特性を得ることができる。
【００５２】さらに、実施形態によれば、記録媒体とし
て、軟磁性裏打ち層１１と垂直記録層１２とが積層され
た２層構成のものを用いることにより、効率良く磁気回
路を形成することができる。
【００５３】図５は、本実施形態において記録・再生を
実施する際の磁気回路を表す断面図である。同図（ａ）
に表したように、記録の際には、記録ヘッドの主磁極１
に収束した磁束は軟磁性裏打ち層１１を通りリターンヨ
ーク２に帰還して磁気回路が形成されることで記録効率
が向上する。また、同図（ｂ）に表したように、再生の
際には、記録層１２に記録されている記録ビットからの
磁束を再生ヘッド主磁極４で吸い込み、センサーである
磁気抵抗効果素子６、リターンヨーク５および裏打ち層
１１を通って記録ビットへ帰還することで磁気回路が形
成されることで効率よく再生できる。
【００５４】ここで、各部の具体的な構成について例示
すると、記録ヘッド８は、ＮｉＦｅなどの磁性材料から
なる記録用主磁極１、Ｃｕなどの導電体からなる励磁用
のコイル３、磁路穴を介して記録用主磁極１と接続され
たＮｉＦｅなどの磁性材料からなるリターンヨーク２か
ら構成されている。
【００５５】再生ヘッド９は、ＮｉＦｅなどの磁性材料
からなる再生用主磁極４，再生用リターンヨーク５、お
よびそれらを橋渡しするように配置された磁気抵抗効果
素子６、図示は省略したが磁気抵抗効果素子６にセンス
電流を供給する目的で磁気抵抗効果素子６の両側に配置
されたＣｕなどの導電体からなるリードから構成されて
いる。
【００５６】さて具体的なサイズであるが、１００Ｇｂ
ｐｓｉ（gigabit per square inch）の面記録密度を得
るために、トラック密度を１００ｋＴＰＩ(kilo-track
perinch)、線記録密度を１０００ｋＢＰＩ(kilo-bit pe
r inch)とした。この場合、トラック幅は約０．２μ
ｍ、ビット長は約０．０３μｍである。したがって、再
生ヘッド９の主磁極とリターンヨークの距離は、これを
トラック幅方向とするときは最低でも約０．２μｍとな
るのに対し、ビット長方向すなわちトラック長手方向の
場合約０．０３μｍ程度となり、約一桁小さい値で済
む。したがってビットサイズが小さく、発生する磁束量
が小さくても構成される磁気回路の長さが短いために磁
気抵抗が小さく、漏れ磁束の量が減るため充分な効率を
稼ぐことができる。
【００５７】（第３の実施の形態）次に、本発明の第３
の実施の形態として、記録ヘッドの主磁極と再生ヘッド
の主磁極とが共通化された構成について説明する。
【００５８】図６は、本実施形態にかかる垂直磁気記録
用磁気ヘッドの要部構成を表す概念図である。すなわ
ち、同図（ａ）は、媒体対向面から眺めた斜視図であ
り、同図（ｂ）は、媒体対向面からみた平面図である。
【００５９】アルミナコートされたアルチック基板７上
に、記録ヘッド８と再生ヘッド９とが形成されている。
記録ヘッド８は、ＮｉＦｅなどの磁性材料からなる記録
用主磁極１、Ｃｕなどの導電体からなる励磁用のコイル
３、磁路穴を介して記録用主磁極１と接続されたＮｉＦ
ｅなどの磁性材料からなるリターンヨーク２から構成さ
れている。
【００６０】再生ヘッド９は、記録ヘッド８の主磁極１
と兼用された主磁極４，再生用リターンヨーク５、およ
びそれらを橋渡しするように配置された磁気抵抗効果素
子６、図示は省略したが磁気抵抗効果素子６にセンス電
流を供給する目的で磁気抵抗効果素子６の両側に配置さ
れたＣｕなどの導電体からなるリードから構成されてい
る。
【００６１】図６（ｂ）に表したように、記録ヘッド８
の主磁極１の中心とリターンヨーク２の中心とを結ぶ線
Ｌ１と主磁極１の端部とリターンヨーク２の端部とを結
ぶ線Ｌ２とのなす角をθ１とし、記録ヘッド８の主磁極
１の中心とリターンヨーク２の中心を結ぶ線Ｌ１と再生
ヘッド９の主磁極４の中心とリターンヨーク５の中心と
を結ぶ線Ｌ３とのなす角をθ２とした時、θ２＞θ１と
なるように、かつθ２がおおむね９０°となるように構
成されている。
【００６２】従って、第１実施形態に関して前述したよ
うに、記録動作に伴うノイズの発生や効率の低下が抑制
され、優れた記録再生特性を得ることができる。
【００６３】さらに、本実施形態においては、記録ヘッ
ド主磁極１と再生ヘッド主磁極４とが共通化されてい
る。この結果として、記録時と再生時で、媒体ディスク
１３の内周部分から外周部分までのどの場所においても
トラック位置の「ずれ」が生じることはなく、したがっ
て記録トラック幅を広めに取る必要がないためトラック
ピッチを詰めることができる。
【００６４】（第４の実施の形態）次に、本発明の第４
の実施の形態として、基板面に対して下向きに記録ヘッ
ドと再生ヘッドとを配列した磁気ヘッドについて説明す
る。
【００６５】図７は、本実施形態にかかる垂直磁気記録
用磁気ヘッドの構成を表す概念図である。すなわち、熱
酸化シリコン基板７の基板面に対して下向きに、記録ヘ
ッド８と再生ヘッド９とが形成されている。
【００６６】記録ヘッド８は、ＮｉＦｅあるいはＣｏＦ
ｅ−Ａｌ２Ｏ３などの磁性材料からなる記録用主磁極１
と、Ｃｕなどの導電体からなる励磁用のコイル３と、補
助磁極２４を介して記録用主磁極１と接続されたＮｉＦ
ｅあるいはＣｏＦｅ−Ａｌ２Ｏ３などの磁性材料からな
るリターンヨーク２から構成されている。
【００６７】再生ヘッド９は、ＮｉＦｅあるいはＣｏＦ
ｅ−Ａｌ２Ｏ３などの磁性材料からなる再生用主磁極４
と、再生用リターンヨーク５と、それらを橋渡しするよ
うに配置された磁気抵抗効果素子６と、図示は省略した
が磁気抵抗効果素子６にセンス電流を供給する目的で磁
気抵抗効果素子６の両側に配置されたＣｕなどの導電体
からなるリードから構成されている。
【００６８】なお、図７においては、便宜上、記録ヘッ
ド８と再生ヘッド９がそれぞれ基板７の主面上に形成さ
れているように表したが、実際は、これらが基板７の内
部に埋め込まれ、主磁極１及び４やリターンヨーク２及
び５の先端が媒体対向面に近接して形成されるようにし
ても良い。
【００６９】本実施形態におけるひとつの特徴は、磁極
１及び４、リターンヨーク２及び５がそれぞれ基板７の
主面に対して略垂直に形成されていることである。
【００７０】このような磁気ヘッドの具体的な形成方法
は、以下の如くである。
【００７１】まず、熱酸化シリコン基板７上に、図示は
省略したがＣｕなどの金属膜からなる下地膜を成膜す
る。その上に記録主磁極１、記録リターンヨーク２、再
生主磁極４、再生リターンヨーク５をそれぞれ構成する
ＮｉＦｅあるいはＣｏＦｅ−Ａｌ２Ｏ３などの磁性膜を
スパッタ法により成膜する。その際に、まず再生リター
ンヨーク５の先端のＬ字型に折れ曲がっている薄い部分
５Ａに相当する厚さだけ成膜する。そして、その上にフ
ォトレジストを塗布し、露光・現像によりまず再生主磁
極４、再生リターンヨーク５の間隙をあけるためのパタ
ーンを形成する。このフォトレジストをマスクにして磁
性膜をイオンミリング法またはＲＩＥ（反応性イオンエ
ッチング）法によりエッチングする。なお、再生ヘッド
の主磁極４とリターンヨーク５との間隙は、ＦＩＢによ
り形成しても良い。
【００７２】次に、メッキ法によりこの間隙をＣｕによ
り埋める。レジストを除去した後さらに磁性膜を積み上
げ、その上にフォトレジストを塗布し、露光・現像によ
りパターンを形成する。このフォトレジストをマスクに
して磁性膜をイオンミリング法またはＲＩＥ（reactive
ion etching：反応性イオンエッチング）法によりエッ
チングする。フォトレジストを残したままアルミナなど
の絶縁膜を磁性膜とほぼ同じ膜厚だけ成膜し、レジスト
を除去することで磁性膜上のアルミナを除去（リフトオ
フ）する。
【００７３】さらに、アルミナを成膜し、ＣＭＰにより
平坦化する。その際数十ｎｍのアルミナを残し、再生主
磁極・リターンヨークと磁気抵抗効果素子との絶縁膜と
する。その上に磁気抵抗効果膜を成膜し、通常のフォト
リソグラフィー工程によりパターン化する。その後、Ｃ
ｕ等の導電膜を成膜し、フォトリソグラフィー工程によ
り再生素子電極および記録ヘッド励磁用コイル３を形成
する。さらに、アルミナを成膜し、先ほどパターン化し
たコイルの中央および記録リターンヨーク２上にに磁路
穴を形成する。そして記録ヘッドの補助磁極２４となる
ＮｉＦｅなどの磁性膜を成膜し、フォトリソグラフィー
工程によりパターン化する。そして、保護膜となるアル
ミナを成膜し、再生リード・記録コイルの電極取り出し
用にスルーホールを形成し、メッキにより図示しない電
極を形成する。
【００７４】最後に、アルミナでオーバーコートし電極
部を頭出しした後、金パッドを形成する。そして熱酸化
シリコン基板７および下地膜をウエットエッチング法で
取り除き、磁気ヘッドの媒体対向面を露出させる。
【００７５】このように、本発明の磁気ヘッドを構成す
る場合、基板の端面に対する膜付けやパターニングを施
すことなく形成でき、プロセス工程やコストが削減でき
る。さらに、このヘッドを用いて軟磁性裏打ち層と垂直
記録層からなる垂直磁気記録媒体に記録再生を行うと、
記録動作に伴うノイズの発生や効率の低下が抑制され、
優れた記録再生特性を得ることができる。
【００７６】（第５の実施の形態）次に、本発明の第５
の実施の形態として、本発明の磁気ヘッドを搭載した磁
気記憶再生装置について説明する。図１乃至図７に関し
て説明した本発明の磁気ヘッドは、例えば、記録再生一
体型の磁気ヘッドアセンブリに組み込まれ、磁気記憶再
生装置に搭載することができる。
【００７７】図８は、このような磁気記憶装置の概略構
成を例示する要部斜視図である。すなわち、本発明の磁
気記憶再生装置１５０は、ロータリーアクチュエータを
用いた形式の装置である。同図において、垂直記録用媒
体ディスク１３は、スピンドル１８に装着され、図示し
ない駆動装置制御部からの制御信号に応答する図示しな
いモータにより矢印Ａの方向に回転する。媒体ディスク
１３は、媒体ディスク１３に格納する情報の記録再生を
行うヘッドスライダ１５は、薄膜状のサスペンション１
６の先端に取り付けられている。ここで、ヘッドスライ
ダ１５は、例えば、前述したいずれかの実施の形態にか
かる磁気ヘッドをその先端付近に搭載している。
【００７８】媒体ディスク１３が回転すると、ヘッドス
ライダ１５の媒体対向面（ＡＢＳ）は媒体ディスク１３
の表面から所定の浮上量をもって保持される。
【００７９】サスペンション１６は、図示しない駆動コ
イルを保持するボビン部などを有するアクチュエータア
ーム１５５の一端に接続されている。アクチュエータア
ーム１５５の他端には、リニアモータの一種であるボイ
スコイルモータ１５６が設けられている。ボイスコイル
モータ１５６は、アクチュエータアーム１５５のボビン
部に巻き上げられた図示しない駆動コイルと、このコイ
ルを挟み込むように対向して配置された永久磁石および
対向ヨークからなる磁気回路とから構成される。
【００８０】アクチュエータアーム１５５は、スピンド
ル１８の上下２箇所に設けられた図示しないボールベア
リングによって保持され、ボイスコイルモータ１５６に
より回転摺動が自在にできるようになっている。
【００８１】図９は、アクチュエータアーム１５５から
先の磁気ヘッドアセンブリをディスク側から眺めた拡大
斜視図である。すなわち、磁気ヘッドアッセンブリ１６
０は、例えば駆動コイルを保持するボビン部などを有す
るアクチュエータアーム１５５を有し、アクチュエータ
アーム１５５の一端にはサスペンション１６が接続され
ている。
【００８２】サスペンション１６の先端には、図１乃至
図７に関して前述したいずれかの磁気ヘッドを具備する
ヘッドスライダ１５が取り付けられている。サスペンシ
ョン１６は信号の書き込みおよび読み取り用のリード線
１６４を有し、このリード線１６４とヘッドスライダ１
５に組み込まれた磁気ヘッドの各電極とが電気的に接続
されている。図中１６５は磁気ヘッドアッセンブリ１６
０の電極パッドである。
【００８３】以上説明したような磁気記憶再生装置は、
複数の媒体ディスクを備えたものとすることもできる。
【００８４】図１０は、複数の媒体ディスクを有する磁
気記憶再生装置の要部構成を表す概念図である。すなわ
ち、同図の磁気記憶再生装置は、第１乃至第４の実施形
態に関して前述したいずれかの磁気ヘッドが搭載されて
いるスライダ１５、そのスライダ１５を支えるサスペン
ション１６、スピンドル１８、媒体ディスク１３、媒体
駆動部１７などからなる。なお、図１０においては、３
枚の媒体ディスク１３の両面にそれぞれスライダ１５が
設けられた構成を例示したが、本発明はこれには限定さ
れず、媒体ディスクやスライダの数は、適宜決定するこ
とができる。
【００８５】図１１は、スライダ１５に搭載された磁気
ヘッド部と、それに対向する媒体ディスク１３の要部拡
大断面図である。媒体ディスク１３は、ガラス基板１
０、Ｔａなどの非磁性金属からなる下地膜２１、ＣｏＺ
ｒＮｂなどの軟磁性膜からなる裏打ち層１１、ＣｏＣｒ
などからなる記録層１２、Ｃなどからなる保護膜２０か
ら構成される。ここで、下地膜２１は、その上に形成さ
れる裏打ち層１１および記録層１２の結晶配向性を向上
させる目的で設けられている。また、保護膜２０は、ス
ライダ１５と媒体ディスク１３との摩耗による劣化を防
止する目的で設けられている。
【００８６】記録層１２への記録は、記録ヘッド８のコ
イル３に電流を流し磁束を発生させ、補助磁極１９によ
り磁束を主磁極１に導くと同時に収束させることで主磁
極先端の磁界強度を強めながら、書き込みを行う。その
際、記録層１２を通り抜けた磁束は裏打ち層１１を通り
リターンヨーク２に帰還し、補助磁極１９へと繋がるこ
とで磁気回路が形成される。
【００８７】再生は、記録層１２に記録されている記録
ビットからの磁束を再生ヘッド主磁極４で吸い込み、セ
ンサーである磁気抵抗効果素子６、リターンヨーク５お
よび裏打ち層１１を通って記録ビットへ帰還することで
磁気回路が形成される。再生信号は磁気抵抗効果素子６
を磁束が通過した際の抵抗変化として検出されるもので
ある。
【００８８】（第６の実施の形態）次に、本発明の第６
の実施の形態として、本発明の磁気ヘッドと３層構成の
垂直記録媒体とを用いた磁気記憶再生装置について説明
する。
【００８９】図１２は、本実施形態にかかる磁気記憶再
生装置の磁気ヘッド部とそれに対向する媒体ディスク１
３の拡大断面図である。本実施形態の媒体ディスク１３
は、ガラス基板１０、Ｔａなどの非磁性金属からなる下
地膜２１、ＰｔＭｎなどからなる反強磁性膜２３および
ＮｉＦｅなどの軟磁性膜２２の２層膜からなる裏打ち層
１１、ＣｏＣｒなどからなる記録層１２、Ｃなどからな
る保護膜２０から構成される。すなわち、媒体ディスク
１３の要部は、反強磁性膜２３、軟磁性膜２２及び記録
層１２を積層した「３層構成」を有する。
【００９０】なお、下地膜２１は、その上に形成される
裏打ち層１１および記録層１２の結晶配向性を向上させ
る目的で設けられている。また、保護膜２０は、スライ
ダ１５と媒体ディスク１３との摩耗による劣化を防止す
る目的で設けられている。
【００９１】記録層１２への記録は、記録ヘッド８のコ
イル３に電流を流し磁束を発生させ、補助磁極１９によ
り磁束を主磁極１に導くと同時に収束させることで主磁
極先端の磁界強度を強めながら、書き込みを行う。その
際記録層を通り抜けた磁束は裏打ち層１１を通りリター
ンヨーク２に帰還し、補助磁極１９へと繋がることで磁
気回路が形成される。再生は、記録層１２に記録されて
いる記録ビットからの磁束を再生ヘッド主磁極４で吸い
込み、センサーである磁気抵抗効果素子６、リターンヨ
ーク５および裏打ち層１１を通って記録ビットへ帰還す
ることで磁気回路が形成される。再生信号は磁気抵抗効
果素子６を磁束が通過した際の抵抗変化として検出され
るものである。
【００９２】なお、本実施例の磁気ヘッドでは、記録ヘ
ッド主磁極１と再生ヘッド主磁極４とが共用されている
ので、媒体ディスク１３の内周部分から外周部分までの
どの場所においてもトラック位置ずれが起きずに記録再
生が行える。また裏打ち層１１に反強磁性膜２３／軟磁
性膜２２の２層膜を用いていることから、裏打ち層に起
因したノイズの発生はなく記録再生とも効率よく行え
る。
【００９３】さらに、本実施形態においては、裏打ち層
１１として、反強磁性膜２３／軟磁性膜２２の積層膜を
用いることにより、より優れた磁気記憶再生装置を構成
できる。すなわち、本発明の磁気ヘッドを用いる場合、
記録時と再生時で軟磁性裏打ち層を流れる磁束の方向が
異なる。軟磁性裏打ち層が磁気異方性を有している場合
は、方向により透磁率が異なることから記録・再生のど
ちらかで効率が落ちることになってしまう。また、軟磁
性裏打ち層に磁壁が発生していると、磁気ヘッドがその
磁壁を通過する際にノイズが発生する。また、ヘッド位
置決め用あるいはディスク回転用のモーターから発生す
る外乱磁界により軟磁性裏打ち層の磁壁が移動すること
によっても、ノイズが発生してしまう。したがって、軟
磁性裏打ち層として磁壁が発生せず、磁気的に等方な膜
であることが望まれる。
【００９４】これに対して、本実施形態においては、裏
打ち層１１として反強磁性膜２３／軟磁性膜２２の積層
膜を用いることにより、反強磁性膜２３と軟磁性膜２２
の間の交換結合により磁壁の発生を抑制し、かつ磁気的
に等方な膜とすることが可能となる。このような特性の
膜は反強磁性膜と軟磁性膜を成膜する際、回転磁界を印
加するか、または成膜後回転磁界中で熱処理することに
より得ることができる。したがって、本発明の磁気ヘッ
ドと反強磁性膜２３／軟磁性膜２２を裏打ち層として用
いた３層構成媒体とを組み合わせた磁気記憶再生装置
は、記録密度が高くなってもノイズの影響が押さえられ
た優れた磁気記憶再生装置となる。
【００９５】以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施
の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの
具体例に限定されるものではない。例えば、記録ヘッド
や再生ヘッドの磁極やリターンヨークの形状や材質に関
しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することによ
り本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができ
る。
【００９６】また、本発明において用いることができる
垂直磁気記録方式としては、記録媒体の主面に対して記
録ビットの磁化方向が正確に垂直なもののみには限定さ
れない。すなわち、記録ビットの磁化方向が垂直方向か
らある程度傾斜したものについても、本発明を同様に適
用して同様の効果を得ることができる。
【００９７】さらに、本発明の磁気記憶再生装置は、特
定の記録媒体を定常的に備えたいわゆる固定式のもので
も良く、一方、記録媒体が差し替え可能ないわゆる「リ
ムーバブル」方式のものでも良い。
【００９８】その他、本発明の実施の形態として上述し
た磁気ヘッド及び磁気記憶再生装置を基にして、当業者
が適宜設計変更して実施しうるすべての磁気ヘッド及び
磁気記憶再生装置も同様に本発明の範囲に属する。
【００９９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気ヘッ
ドを用いることにより、記録動作を行うことによる軟磁
性裏打ち層に起因して発生するノイズを抑制し、効率よ
く記録再生を行うことが可能となる。
【０１００】また、本発明の磁気記憶再生装置によれ
ば、ノイズの少ない高効率な垂直磁気記録再生が可能と
なり、産業上のメリットは多大である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかる垂直磁気記録
用磁気ヘッドの概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態の垂直磁気記録用磁気ヘ
ッドにおける記録ヘッドと再生ヘッドの位置関係を説明
する平面図である。
【図３】本発明の変型例の磁気ヘッドにおける記録ヘッ
ドと再生ヘッドの位置関係を説明する平面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態にかかる垂直磁気記録
用磁気ヘッドの媒体ディスク上のトラックとの位置関係
を示す斜視図である。
【図５】本発明の第２実施形態の垂直磁気記録用磁気ヘ
ッドの記録時、再生時の磁束の流れを示す断面図であ
る。
【図６】本発明の第３の実施形態にかかる垂直磁気記録
用磁気ヘッドの要部構成を表す概念図である。すなわ
ち、同図（ａ）は、媒体対向面から眺めた斜視図であ
り、同図（ｂ）は、媒体対向面からみた平面図である。
【図７】本発明の第４の実施形態にかかる磁気ヘッドの
要部構成を表す斜視図である。
【図８】本発明の第５の実施形態にかかる磁気記憶再生
装置の概略構成を示す概念図である。
【図９】アクチュエータアーム１５５から先の磁気ヘッ
ドアセンブリをディスク側から眺めた拡大斜視図であ
る。
【図１０】複数の媒体ディスクを有する磁気記憶再生装
置の要部構成を表す概念図である。
【図１１】本発明の第５の実施形態にかかる磁気記憶再
生装置の磁気ヘッド部および媒体ディスク部分の概略構
成を示す拡大断面図である。
【図１２】本発明の第６の実施形態にかかる磁気記憶再
生装置の磁気ヘッド部および媒体ディスク部分の概略構
成を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
１ 記録ヘッド主磁極 ２ 記録ヘッドリターンヨーク ３ コイル ４ 再生ヘッド主磁極 ５ 再生ヘッドリターンヨーク ６ 磁気抵抗効果素子 ７ 基板 ８ 記録ヘッド ９ 再生ヘッド １０ 媒体基板 １１ 裏打ち層 １２ 記録層 １３ 媒体ディスク １４ トラック １５ スライダ １６ サスペンション １７ 媒体駆動用モーター １８ ヘッド駆動用モーター １９ 補助磁極 ２０ 保護膜 ２１ 下地膜 ２２ 軟磁性膜 ２３ 反強磁性膜 ２４ 補助磁極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 5/39 Ｇ１１Ｂ 5/39 ５Ｄ０９３ 5/667 5/667 (72)発明者 小 泉 隆 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１ 株式会 社東芝研究開発センター内 (72)発明者 堀 昭 男 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１ 株式会 社東芝研究開発センター内 (72)発明者 大 沢 裕 一 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１ 株式会 社東芝研究開発センター内 Ｆターム(参考） 5D006 CA03 CA05 CA06 DA03 DA08 FA09 5D033 AA01 BA07 BA51 BB01 BB43 5D034 AA02 BA02 BA16 BA18 BB12 CA04 5D054 AA08 AB11 BA07 BB34 5D091 AA08 CC11 DD03 5D093 AA03 AB03 AD01 AD03 BB01

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】記録ヘッドと再生ヘッドとを備えた垂直磁
    気記録方式の磁気ヘッドであって、 前記記録ヘッドの主磁極の中心とリターンヨークの中心
    とを結ぶ線と前記主磁極と前記リターンヨークの対向す
    る端部同士を結ぶ線とのなす角をθ１とし、前記記録ヘ
    ッドの前記主磁極の中心と前記リターンヨークの中心と
    を結ぶ線と前記再生ヘッドの主磁極の中心とリターンヨ
    ークの中心とを結ぶ線とのなす角をθ２とした時に、θ
    ２＞θ１となるように構成されたことを特徴とする磁気
    ヘッド。
  2. 【請求項２】前記θ２が略９０°であることを特徴とす
    る請求項１記載の磁気ヘッド。
  3. 【請求項３】前記再生ヘッドの前記主磁極の中心と前記
    リターンヨークの中心とを結ぶ線が、記録媒体に形成さ
    れる記録トラックの長手方向に対して略平行であること
    を特徴とする請求項１または２に記載の磁気ヘッド。
  4. 【請求項４】請求項１〜３のいずれか１つに記載の磁気
    ヘッドを備え、垂直磁気記録媒体に磁気的情報を記録し
    または垂直磁気記録媒体に記録されている磁気的情報を
    再生することを特徴とする磁気記憶再生装置。
  5. 【請求項５】垂直磁気記憶媒体をさらに備え、 前記垂直磁気記憶媒体は、反強磁性膜と軟磁性膜と垂直
    記録膜の積層を含むことを特徴とする請求項４記載の磁
    気記憶再生装置。
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