JPS62172515A - ベリ−ドサ−ボ方式用薄膜磁気ヘツド - Google Patents

ベリ−ドサ−ボ方式用薄膜磁気ヘツド

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JPS62172515A
JPS62172515A JP1312086A JP1312086A JPS62172515A JP S62172515 A JPS62172515 A JP S62172515A JP 1312086 A JP1312086 A JP 1312086A JP 1312086 A JP1312086 A JP 1312086A JP S62172515 A JPS62172515 A JP S62172515A
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JP
Japan
Prior art keywords
servo
data
magnetic head
transducer
yoke
Prior art date
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Pending
Application number
JP1312086A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideo Tanaka
英男 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP1312086A priority Critical patent/JPS62172515A/ja
Publication of JPS62172515A publication Critical patent/JPS62172515A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/596Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following on disks

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は磁気ディスク装置のトラック追従サーボ方式に
関し、特にベリードサーボ方式に用いられる薄膜磁気ヘ
ッドに関する。
(従来の技術) 従来、磁気ディスク装置はサーボ面サーボ方式が主流と
なっているが、このサーボ面サーボ方式はサーボディス
クとデータディスクが別々の磁気ディスク板上に配置さ
れ、サーボディスク上に配置されたサーボ用磁気ヘッド
によりサーボ信号を再生し、該サーボ信号を用いて、他
の磁気ディスクのデータトラックへデータ用磁気ヘッド
を位置決めする方式である。又、最近の磁気ディスク装
置では、ヘッド位置決め精度を上げるためにデータ面サ
ーボ方式が種々検討されているが、特にデータ面サーボ
方式として、データ面の一部分を使用するセクターサー
ボ方式、データ情報そのも ゛のを使用する方式、およ
び磁気2重層ディスクを用い、下層磁性膜をサーボ情報
媒体とし、その情報を使用するベリードサーボ方式等が
検討されている。
(発明が解決しようとする問題点) 前記サーボ面サーボ方式においてはサーボ用磁気ヘッド
とデータ用磁気ヘッドが別々の磁気ディスク板上に配置
されている為に周囲の温度の相違により磁気ヘッド位置
決め精度の劣化を生じる恐れがあった。特に該サーボ面
サーボ方式では高トラツク密度になるに従って、磁気ヘ
ッドの位置決め誤差は増大し、高トラツク密度化が困難
で高記録密度を実現することが難しい等の問題点を有し
ていた。
次に前記セクターサーボ方式は1トラツクをセクターに
分けて、部分的にサーボ情報を挿入する方式であるが、
サーボ情報が入力される部分以外はトラック・サーボが
出来ない問題点を有していた。
従って、高トラツク密度ではヘッド位置決め精度が不十
分である。
更に、データ情報そのものをサーボ情報として使用する
サーボ方式はデータ情報自身を使用するために、データ
情報の出力エンベロープが変動するとそれに伴ってヘッ
ド位置決め誤差を生じる問題点を有している。又、磁気
2重層ディスクを使用するサーボ方式は、上層をデータ
情報に使用し、下層をサーボ情報に使用するもので、1
つのデータヘッドによりデータ及びサーボ情報を同時に
検出し、分離して使用する為位置決め誤差が小さい。
しかし、この磁気2重層媒体を用いたベリードサーボ方
式においては1つのデータ用磁気ヘッドにより、データ
情報及びサーボ情報を同時に検出する場合、再生時にお
けるデータ情報とサーボ情報の分離はフィルターにより
簡単に行なわれるが、記録時には、サーボ情報を検出す
るために記録回路にフィルターやバイアス回路が必要と
なり、かなり複雑な回路構成となり、サーボ情報のS/
N(信号対雑音比)を劣化させるばかりでなく、回路系
のコストも高くなるという問題点を有している。これを
解決するためにベリードサーボ方式用薄膜磁気ヘッドと
して同一スライダーの2つのレール上の一方にデータ用
トランスデユーサ、もう一方のレールにサーボ用トラン
スデユーサを配置し、データ用トランスデユーサを分離
し、記録時のS/Nの劣化を防止する方法がある。この
様なベリードサーボ方式はデータ信号とサーボ信号の情
報は同一方向に記録されているために、サーボ用又はデ
ータ用磁気ヘッドはそれぞれデータ及びサーボ信号両方
の信号を再生し、相互に干渉を生じやすく、ディスク・
ヘッド系のパラメータのマージンに制約を受けるという
問題点があった。この問題点を解決する方法として磁気
2重層ディスクに記録されるデータ信号とサーボ信号の
磁化方向が直交する様にそれを再生する磁気ヘッドとし
て実用新案登録願昭51−64384号に第2図に示す
様なベリードサーボ方式用薄膜ヘッドが提案されている
。第2図において、21、22.23.30.32.3
4はサーボ用電極端子、31.33゜24は磁気抵抗効
果素子、25はスライダー、26.29はデータ用電極
端子、27はコイル、28は上ポール、35はデータ層
、36は保護膜、37はサーボ層をそれぞれ示す。第2
図の様なベリードサーボ方式用薄膜ヘッドは、サーボ用
磁気抵抗効果トランデューサーとデータ用記録再生トラ
ンスデユーサとがスライダーの直交する面にそれぞれ別
個に形成しなければならない。このことは、一度に多数
のエレメントを作製出来ないことを意味し、1個のヘッ
ドごとにエレメントを作製しなければならず、製造コス
トは非常に高くなるという問題点があった。
さらにサーボ用エレメントとデータ用記録再生エレメン
トとがトラック方向に物理的距離をもつために、その分
サーマルオフトラックを生じるという問題点があった。
本発明の目的は上述の問題点を除去した磁気ディスク装
置のトラック追従サーボ方式に用いられるベリードサー
ボ方式用薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
(問題点を解決するための手段) 本発明は磁気2重層ディスクのサーボ層にデータ信号磁
化方向と直交して、半径方向に1トラックピッチを磁化
反転間隔として記録されたサーボパターンを有する磁気
2重層ディスクを用いたベリードサーボ方式に適用され
るベリードサーボ方式用薄膜磁気ヘッドにおいて、該サ
ーボパターンを再生する半径方向にヨークのギャップを
もつヨーク付磁気抵抗効果素子のサーボ用トランスデュ
ーサと円周方向にギャップをもつ誘導型のデータ用トラ
ンスデユーサとが保護膜を介して積層されて配置された
ことを特徴とするベリードサーボ方式用薄膜磁気ヘッド
である。
本発明のベリードサーボ方式用薄膜磁気ヘッドは第1図
に示す様にスライダー1を構成する非磁性基板上に磁気
抵抗効果素子2とサーボ用電極端子3を形成し、該磁気
抵抗効果素子2とサーボ用電極端子3の上に薄い絶縁層
を被覆し、該絶縁層の上に面内に対向したギャップ9を
有する様にヨーク8を形成し、さらに該ヨーク8の上に
保護膜を形成した後、該保護膜の上に、サーボ再生用ヨ
ークギャップ9の上に重なる様にデータ用トランスデユ
ーサの下ボール10を形成し、該下ポール上に絶縁層を
介してコイル12を形成し、さらに該コイル12の上に
絶縁層を介して上ボール13を形成して、データ用トラ
ンスデユーサを形成する。該上ポール13の上に再び保
護膜を形成した後、このウェーハを加工、研摩、アッセ
ンブリーを行なうことによりベリードサーボ用薄膜磁気
ヘッドを製作する。スライダ1にはA120aTiC,
5iC−8iC,非磁性フェライト、石英、チタン酸バ
リウム等の材料が用いられ、磁気抵抗効果素子にはNi
Fe、 CoNi等の合金、保護膜や絶縁層には、Al
2O3、SiO2、レジスト等、サーボ用電極端子3や
データ用電極端子4にはCu、Al、 Au、ヨーク8
やデータ用トランスデユーサの上下ポールにはパーマロ
イ膜、Co系アモルファス膜、センダスト、フェライト
等が適する。
(作用) 前記の様に同一スライダー・同一個所に積層されて実装
されたデータ用トランスデユーサとサーボ用トランスデ
ユーサを有するベリードサーボ方式薄膜磁気ヘッドは、
サーボ用トランスデユーサにより再生され、サーボ用ア
ンプにより増幅され、そしてサーボ制御回路により処理
されたサーボ信号により制御されるモータ(ボイスコイ
ルモータ、直流サーボモータ)に結合しているので、磁
気ヘッドのトラック位置決めは同一のディスク面上のサ
ーボ信号と同一の磁気ヘッドスライダ−を用いて行なわ
れる。従って、サーボ用トランスデユーサとデータ用ト
ランスデユーサは同一スライダー・同一個所に積層され
であるために熱膨張によるヘッド位置決め誤差は生じる
ことがなく、磁気2重層ディスクを用いているために常
時トラックサーボを行なうことができ、サーボ信号のエ
ンベロープは一定で安定であり、さらにデータ信号をサ
ーボ信号は相互に干渉しない様に動作するので、トラッ
ク位置決め精度が大幅に向上する。以下本発明の実施例
を図面を用いて具体的に説明する。
(実施例) 第1図は本発明のベリードサーボ方式用薄膜磁気ヘッド
の一実施例の構成図である。本発明のベリードサーボ方
式用薄膜磁気ヘッドはAl2O3を被覆したA1zOs
TiC基板の上に膜厚400人のNiFeと100OA
のTi膜を蒸着法で形成し、ケミカルエツチングにより
磁気抵抗効果素子2を形成し、磁気抵抗効果素子2の両
端にCu及びAuのサーボ用電極端子3をメッキ法及び
スパッタ法で形成し、該磁気抵抗効果素子2とサーボ用
電極端子3の上に1000人のAl2O3膜の絶縁層を
スパッタ法により形成し、該絶縁層の上に面内に対向し
た0、3pmのSiO2のサーボ再生用ヨークギャップ
9を有する様に膜厚3pmのNiFeヨーク8をスパッ
タ法及びイオンミリング法により形成して、サーボ用ト
ランスデユーサを形成し、さらに該ヨーク8の上に膜厚
20pmのAl2O3保護膜をスパッタ法により形成し
た後、該保護膜の上にサーボ再生用ヨークギャップ9と
同一の位置にデータ用トランスデユーサの下ポール10
として、膜厚2pmのパーマロイメッキ膜を形成し、該
下ボール10の上にAl2O3及びレジストの絶縁層を
スパッタ法及びスピンコード法により形成し、該絶縁層
の上にコイル12及びデータ用電極端子をメッキ法によ
り形成し、その上にレジストの絶縁層をスピンコード法
により形成し、該絶縁層の上に上ポール13として膜厚
211mのパーマロイメッキ膜を形成した後、該上ボー
ルの上に膜30pmのAl2O3の保護膜14をスパッ
タ法により形成し、その後、加工、研摩、アッセンブリ
ーによりベリードサーボ方式用薄膜磁気ヘッドを製作し
た。
(発明の効果) 前述の様にサーボ信号磁化とデータ信号磁化を直交させ
、さらに、サーボ信号を半径方向にヨークのギャップを
もつ磁気抵抗効果素子のサーボ用トランスデユーサによ
り再生し、サーボ信号磁化から生じる磁束を検出し、デ
ータ信号を円周方向にギャップをもつ誘導型のデータ用
トランスデユーサにより記録再生する様にしたためにサ
ーボ信号とデータ信号の干渉がほとんどなく、従来のサ
ーボ信号磁化とデータ信号磁化とが同方向の場合に比較
して、磁気ヘッドのトラック位置決め精度は2倍向上し
た。さらにサーボ用トランス′デューサとデータ用トラ
ンスデユーサが同一スライダー同一個所に積層されて実
装されているので、サーマルオフトラックを考慮する必
要がなく、又磁気2重層を用いているので、常時サーボ
信号を検出し、トラックサーボが行なわれ、サーボ信号
は一定の出力で安定であった。さらに、同一基板上に多
数のエレメントを同時に形成することが出来るために製
造コストは、大幅に安(なった。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のベリードサーボ方式用薄膜磁気ヘッド
と磁気2重層ディスクの構成図を示し、第2図は従来例
を示す。 第1図において、1はスライダー、2は磁気抵抗効果素
子、3はサーボ用電極端子、4はデータ用電極端子、5
はジンバル、8はヨーク、9はサーボ再生用ギャップ、
10は下ボール、11はデータ用記録再生ギャップ、1
2はコイル、13は上ボール、14は保護膜、又第2図
において、21.22.23.30.32.34はサー
ボ用電極端子、31.33.24は磁気抵抗効果素子、
25はスライダー、26.29はデータ用電極端子、2
7はコイル、28は上ボール、35はデータ層、36は
保護膜、37はサーボ層をそれぞれ示す。 7゛1

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 磁気2重層ディスクのサーボ層にデータ信号磁化方向と
    直交して、半径方向に1トラックピッチを磁化反転間隔
    として記録されたサーボパターンを有する磁気2重層デ
    ィスクを用いたベリードサーボ方式に適用されるベリー
    ドサーボ方式用薄膜磁気ヘッドにおいて、該サーボパタ
    ーンを再生する半径方向にヨークのギャップをもつヨー
    ク付磁気抵抗効果素子のサーボ用トランスデューサと円
    周方向にギャップをもつ誘導型のデータ用トランスデュ
    ーサとが保護膜を介して積層されて配置されたことを特
    徴とするベリードサーボ方式用薄膜磁気ヘッド。
JP1312086A 1986-01-23 1986-01-23 ベリ−ドサ−ボ方式用薄膜磁気ヘツド Pending JPS62172515A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1312086A JPS62172515A (ja) 1986-01-23 1986-01-23 ベリ−ドサ−ボ方式用薄膜磁気ヘツド

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JP1312086A JPS62172515A (ja) 1986-01-23 1986-01-23 ベリ−ドサ−ボ方式用薄膜磁気ヘツド

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JPS62172515A true JPS62172515A (ja) 1987-07-29

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ID=11824294

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JP1312086A Pending JPS62172515A (ja) 1986-01-23 1986-01-23 ベリ−ドサ−ボ方式用薄膜磁気ヘツド

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Cited By (7)

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