JP2006048869A - 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 - Google Patents
薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006048869A JP2006048869A JP2004231312A JP2004231312A JP2006048869A JP 2006048869 A JP2006048869 A JP 2006048869A JP 2004231312 A JP2004231312 A JP 2004231312A JP 2004231312 A JP2004231312 A JP 2004231312A JP 2006048869 A JP2006048869 A JP 2006048869A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- thin film
- magnetic
- pole layer
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/312—Details for reducing flux leakage between the electrical coil layers and the magnetic cores or poles or between the magnetic cores or poles
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
- G11B5/3133—Disposition of layers including layers not usually being a part of the electromagnetic transducer structure and providing additional features, e.g. for improving heat radiation, reduction of power dissipation, adaptations for measurement or indication of gap depth or other properties of the structure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
【解決手段】 磁極層10が引張応力を有している場合に、その磁極層10に対して下方向において隣接している絶縁層9が引張応力を有すると共に、上方向において隣接しているギャップ層12が同様に引張応力を有するように、薄膜磁気ヘッドを構成する。絶縁層9およびギャップ層12のそれぞれの引張応力に基づく力学的影響を受けて磁極層10の引張応力が維持されるため、記録直後に磁気弾性効果の影響を受けて磁極層10中に残留した磁束が非記録時において外部へ漏れにくくなるように、その磁極層10の磁区構造が適正化される。これにより、記録媒体に記録済みの情報が意図せずに消去されることが生じにくくなる。
【選択図】 図3
Description
Claims (20)
- 磁束を発生させる薄膜コイルと、
媒体進行方向に移動する記録媒体に対向する記録媒体対向面から後方に向かって延在すると共に前記薄膜コイルにおいて発生した磁束を前記記録媒体に向けて放出し、全体において引張応力を有する磁極層と、
前記磁極層を埋設することにより周囲から磁気的に分離し、少なくとも一部において引張応力を有する非磁性層と
を備えたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 前記磁極層が、前記記録媒体の記録トラック幅を規定するものであり、
前記非磁性層が、前記媒体進行方向における第1の方向において前記磁極層に隣接する第1の非磁性層部分と、その第1の方向と反対側の第2の方向において前記磁極層に隣接する第2の非磁性層部分と、前記記録トラック幅方向における第3の方向において前記磁極層に隣接する第3の非磁性層部分と、その第3の方向と反対側の第4の方向において前記磁極層に隣接する第4の非磁性層部分とを含んで構成されている
ことを特徴とする請求項1記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記第1の非磁性層部分および前記第2の非磁性層部分のみが、引張応力を有している
ことを特徴とする請求項2記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記第3の非磁性層部分および前記第4の非磁性層部分のみが、引張応力を有している
ことを特徴とする請求項2記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記第1の非磁性層部分、前記第2の非磁性層部分、前記第3の非磁性層部分および前記第4の非磁性層部分の全てが、引張応力を有している
ことを特徴とする請求項2記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記非磁性層のうちの引張応力を有する少なくとも一部が、スパッタリング法を使用して成膜されたときに圧縮応力を有すると共にCVD(Chemical Vapor Deposition )法を使用して成膜されたときに引張応力を有する材料を含んで構成されている
ことを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記非磁性層のうちの引張応力を有する少なくとも一部が、酸化アルミニウム(AlOx )または窒化アルミニウム(AlN)を含んで構成されている
ことを特徴とする請求項6記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記磁極層が、正の磁歪係数を有する材料を含んで構成されている
ことを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記磁極層が、鉄(Fe)およびコバルト(Co)を含む合金を含んで構成されている
ことを特徴とする請求項8記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記磁極層が、前記記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁束を放出するように構成されている
ことを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。 - 磁束を発生させる薄膜コイルと、媒体進行方向に移動する記録媒体に対向する記録媒体対向面から後方に向かって延在すると共に前記薄膜コイルにおいて発生した磁束を前記記録媒体に向けて放出する磁極層と、前記磁極層を埋設することにより周囲から磁気的に分離する非磁性層とを備えた薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、
全体において引張応力を有するように、前記磁極層を形成する第1の工程と、
少なくと一部において引張応力を有するように、前記非磁性層を形成する第2の工程と
を含むことを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 前記磁極層により前記記録媒体の記録トラック幅が規定されるようにし、
前記第2の工程において、前記媒体進行方向における第1の方向において前記磁極層に隣接する第1の非磁性層部分と、その第1の方向と反対側の第2の方向において前記磁極層に隣接する第2の非磁性層部分と、前記記録トラック幅方向における第3の方向において前記磁極層に隣接する第3の非磁性層部分と、その第3の方向と反対側の第4の方向において前記磁極層に隣接する第4の非磁性層部分とを含むように、前記非磁性層を形成する
ことを特徴とする請求項11記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 前記第2の工程において、前記第1の非磁性層部分および前記第2の非磁性層部分のみが引張応力を有するように、前記非磁性層を形成する
ことを特徴とする請求項12記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 前記第2の工程において、前記第3の非磁性層部分および前記第4の非磁性層部分のみが引張応力を有するように、前記非磁性層を形成する
ことを特徴とする請求項12記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 前記第2の工程において、前記第1の非磁性層部分、前記第2の非磁性層部分、前記第3の非磁性層部分および前記第4の非磁性層部分の全てが引張応力を有するように、前記非磁性層を形成する
ことを特徴とする請求項12記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 前記第2の工程において、CVD(Chemical Vapor Deposition )法を使用して、スパッタリング法を使用して成膜されたときに圧縮応力を有すると共にCVD法を使用して成膜されたときに引張応力を有する材料を含むように、前記非磁性層のうちの引張応力を有する少なくとも一部を形成する
ことを特徴とする請求項11ないし請求項15のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 酸化アルミニウム(AlOx )または窒化アルミニウム(AlN)を含むように、前記非磁性層のうちの引張応力を有する少なくとも一部を形成する
ことを特徴とする請求項16記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 前記第1の工程において、正の磁歪係数を有する材料を含むように、前記磁極層を形成する
ことを特徴とする請求項11ないし請求項17のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 鉄(Fe)およびコバルト(Co)を含む合金を含むように、前記磁極層を形成する
ことを特徴とする請求項18記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 記録媒体と、この記録媒体に磁気的処理を施す薄膜磁気ヘッドとを搭載した磁気記録装置であって、
前記薄膜磁気ヘッドが、
磁束を発生させる薄膜コイルと、
前記記録媒体に対向する記録媒体対向面から後方に向かって延在すると共に前記薄膜コイルにおいて発生した磁束を前記記録媒体に向けて放出し、全体において引張応力を有する磁極層と、
前記磁極層を埋設することにより周囲から磁気的に分離し、少なくとも一部において引張応力を有する非磁性層と
を備えたことを特徴とする磁気記録装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004231312A JP2006048869A (ja) | 2004-08-06 | 2004-08-06 | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 |
US11/187,017 US7576950B2 (en) | 2004-08-06 | 2005-07-22 | Perpendicular magnetic recording head utilizing tensile stress to optimize magnetic pole layer domain structure |
CNB2005100918245A CN100570714C (zh) | 2004-08-06 | 2005-08-06 | 薄膜磁头及其制造方法、以及使用该薄膜磁头的磁记录装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004231312A JP2006048869A (ja) | 2004-08-06 | 2004-08-06 | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006048869A true JP2006048869A (ja) | 2006-02-16 |
Family
ID=35757130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004231312A Pending JP2006048869A (ja) | 2004-08-06 | 2004-08-06 | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7576950B2 (ja) |
JP (1) | JP2006048869A (ja) |
CN (1) | CN100570714C (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009073087A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7684148B2 (en) * | 2006-06-16 | 2010-03-23 | International Business Machines Corporation | Magnetic head with a conductive underlayer above substrate |
US8222087B2 (en) | 2006-12-19 | 2012-07-17 | HGST Netherlands, B.V. | Seed layer for a heat spreader in a magnetic recording head |
US8169739B2 (en) * | 2009-09-15 | 2012-05-01 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Perpendicular magnetic write head |
US9099108B2 (en) | 2011-07-06 | 2015-08-04 | Seagate Technology Llc | Magnetically biased write pole |
US9099116B2 (en) | 2013-08-28 | 2015-08-04 | HGST Netherlands, B.V. | Stiff discrete insert array for thermal PTR management with desired induced stress state that reduces tendency for write pole erasure |
US9934811B1 (en) | 2014-03-07 | 2018-04-03 | Western Digital (Fremont), Llc | Methods for controlling stray fields of magnetic features using magneto-elastic anisotropy |
KR102352809B1 (ko) * | 2017-03-31 | 2022-01-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 이를 포함하는 표시 장치 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61192011A (ja) | 1985-02-20 | 1986-08-26 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
JP2721540B2 (ja) | 1989-03-27 | 1998-03-04 | アルプス電気株式会社 | 薄膜磁気ヘッド |
JPH04168615A (ja) | 1990-11-01 | 1992-06-16 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘッドとその製造方法 |
JPH0536026A (ja) * | 1991-07-26 | 1993-02-12 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
JPH0714120A (ja) | 1992-09-09 | 1995-01-17 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 異なる磁気歪定数領域を伴う薄膜ヘッド |
JPH06243427A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-09-02 | Sanyo Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
JP3375009B2 (ja) | 1993-07-07 | 2003-02-10 | ティーディーケイ株式会社 | 薄膜磁気ヘッド |
JPH10334412A (ja) * | 1997-06-04 | 1998-12-18 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 |
JP2000150233A (ja) | 1998-09-03 | 2000-05-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁性膜とその製造方法 |
JP2000235911A (ja) | 1998-12-14 | 2000-08-29 | Fujitsu Ltd | 磁性材料およびそれを用いた磁気ヘッド並びに磁気記録装置 |
JP2000331310A (ja) | 1999-05-19 | 2000-11-30 | Read Rite Smi Kk | 薄膜磁気ヘッド並びにその製造方法 |
US6342311B1 (en) * | 1999-10-08 | 2002-01-29 | Seagate Technology, Inc. | High magnetic moment seed layer materials for writer pole tips |
JP2002170209A (ja) | 2000-11-28 | 2002-06-14 | Tdk Corp | 薄膜ヒートシンクおよびその製造方法 |
JP2004185742A (ja) | 2002-12-04 | 2004-07-02 | Tdk Corp | 薄膜磁気ヘッド |
-
2004
- 2004-08-06 JP JP2004231312A patent/JP2006048869A/ja active Pending
-
2005
- 2005-07-22 US US11/187,017 patent/US7576950B2/en active Active
- 2005-08-06 CN CNB2005100918245A patent/CN100570714C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009073087A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060028763A1 (en) | 2006-02-09 |
CN1746978A (zh) | 2006-03-15 |
US7576950B2 (en) | 2009-08-18 |
CN100570714C (zh) | 2009-12-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3892023B2 (ja) | 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 | |
JP4116913B2 (ja) | 垂直磁気記録ヘッドおよび磁気記録装置 | |
JP4286208B2 (ja) | 垂直記録用磁気ヘッドとその製造方法及びそれを用いた磁気ディスク装置 | |
JP4061139B2 (ja) | 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法 | |
US6636390B2 (en) | Magnetic head and magnetic recording and reproducing system | |
US20100172054A1 (en) | Perpendicular magnetic write head, method of manufacturing the same and method of forming magnetic layer pattern | |
US11211082B1 (en) | Magnetic head including spin torque oscillator | |
US7576950B2 (en) | Perpendicular magnetic recording head utilizing tensile stress to optimize magnetic pole layer domain structure | |
US7764464B2 (en) | Thin film magnetic head having solenoidal coil and method of manufacturing the same | |
JP2003317211A (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 | |
JP2004086961A (ja) | 磁気ヘッド及び磁気記録装置 | |
JP2004022004A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
JP4160784B2 (ja) | 垂直磁気ヘッドおよび垂直磁気記録再生装置 | |
JP3943337B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
US7583472B2 (en) | Thin film magnetic head, method of manufacturing the same, and magnetic recording apparatus | |
JP2006120224A (ja) | 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 | |
JP2004362661A (ja) | 磁気ヘッド | |
JP2005182897A (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
US20060176614A1 (en) | Thin film magnetic head, method of manufacturing the same, and magnetic recording apparatus | |
JP2003242612A (ja) | フラックスガイド型素子、及び、それを有するヘッド並びにドライブ | |
JP2004164715A (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
JP2008305448A (ja) | 垂直磁気記録ヘッド及びその製造方法 | |
JP2008192269A (ja) | 磁気リード・ヘッド及びその製造方法 | |
JP2006309846A (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 | |
JP2005285228A (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070731 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090521 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090819 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091021 |