JP2004015047A - 強誘電体メモリトランジスタおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明による強誘電体メモリトランジスタは、ソース領域、ゲート領域およびドレイン領域を有する基板と、ゲート領域上に位置するゲートスタックと、基板とゲートスタック上に位置するパッシベーション酸化物層と、ソース領域、ドレイン領域およびゲートスタックそれぞれへのコンタクトを形成するためのメタライゼーションとを備える。ゲートスタックは、第1のHigh−kカップと第2のHigh−kカップとを含むHigh−k絶縁体素子と、High−k絶縁体素子にカプセル化された強誘電体素子と、High−k絶縁体素子の上部に位置する上部電極とを含む。
【選択図】 図4
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、メモリ保持時間の長い1トランジスタ強誘電体RAMの製造に関し、詳細には、High−k誘電体にカプセル化された強誘電体素子を有する強誘電体RAMに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の1トランジスタ金属−強誘電体−酸化物−半導体(MFOS)ゲートスタックは、上部電極と、強誘電体層と、酸化物層とを備える。このようなデバイスはプログラミングされた後、電子または正孔が、上部電極から強誘電体層内へと流れ、強誘電体層内でトラップされ得る。トラップ電荷の極性は、分極電荷の極性と異なる。これらのトラップ電荷が分極電荷を補償するため、メモリウィンドウが小さくなる。この結果、トランジスタのメモリ保持特性が劣化する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、リーク電流にともなうトランジスタのメモリ保持特性が劣化しない不揮発性強誘電体メモリデバイスを提供することである。
【0004】
本発明の別の目的は、High−k誘電体にカプセル化された強誘電体素子を備えた強誘電体メモリセルを提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明による強誘電体メモリトランジスタは、ソース領域、ゲート領域およびドレイン領域を有する基板と、該ゲート領域上に位置するゲートスタックと、
該基板と該ゲートスタック上に位置するパッシベーション酸化物層と、該ソース領域、該ドレイン領域および該ゲートスタックそれぞれへのコンタクトを形成するためのメタライゼーションとを備え、該ゲートスタックは、第1のHigh−kカップと第2のHigh−kカップとを含むHigh−k絶縁体素子と、該High−k絶縁体素子にカプセル化された強誘電体素子と、該High−k絶縁体素子の上部に位置する上部電極とを含み、これにより上記目的を達成する。
【0006】
前記High−k絶縁体素子は、HfO2と、ZrO2と、HfZrOXとからなる材料群から選択される材料から形成されてもよい。
【0007】
前記High−k絶縁体素子の厚さは、約2nm〜10nmの範囲であってもよい。
【0008】
前記強誘電体素子は、PGOと、PZTと、BTOと、SBTOと、SBTNとからなる材料群から選択された材料から形成されてもよい。
【0009】
前記強誘電体素子の厚さは、約100nm〜600nmの範囲であってもよい。
【0010】
前記上部電極は、銅と、アルミニウムと、イリジウムと、プラチナとからなる材料群から選択された材料から形成されてもよい。
【0011】
本発明による強誘電体メモリトランジスタを製造する方法は、a)ソース領域、ゲート領域、ドレイン領域および酸化物素子分離領域を形成する工程を包含する基板を調整する工程と、b)該基板上に犠牲酸化物層を堆積する工程と、c)該犠牲酸化物層上にゲート置換ホルダ層を堆積する工程と、d)該ゲート領域上に位置する該ゲート置換ホルダ層および該犠牲酸化物層をマスクして、該ソース領域、該ドレイン領域および該酸化物素子分離領域上の該ゲート置換ホルダ層および該犠牲酸化物層を除去する工程と、e)該ゲート置換ホルダ層の約2倍の厚さまで、該工程a)〜d)によって得られた構造上に酸化物層を堆積する工程と、f)該ゲート置換ホルダ層の高さまで該工程a)〜e)で得られた構造を平滑化する工程と、g)該ゲート領域上にある該ゲート置換ホルダ層および該犠牲酸化物層を除去し、ゲート置換ホルダ構造を形成する工程と、h)該工程a)〜g)によって得られた構造上にHigh−k絶縁体層を堆積し、第1のHigh−kカップを形成する工程と、i)該第1のHigh−kカップを強誘電体材料で充填し、強誘電体素子を形成する工程と、j)該酸化物層の上面まで該強誘電体素子を平滑化する工程と、k)該工程a)〜j)で得られる構造上にさらなるHigh−k絶縁体層を堆積し、該強誘電体素子上に第2のHigh−kカップを形成する工程と、l)該第2のHigh−kカップ上に上部電極を堆積し、ゲート電極およびゲートスタックを形成する工程と、m)該工程a)〜l)によって得られる構造上にパッシベーション酸化物層を堆積する工程と、n)該パッシベーション酸化物層をエッチングして、該ソース領域、該ドレイン領域および該ゲートスタックそれぞれへのコンタクトバイアを形成する工程と、o)該工程a)〜n)によって得られる構造をメタライゼーションする工程とを包含し、これにより上記目的を達成する。
【0012】
前記High−k絶縁体層を堆積し、第1のHigh−kカップを形成する工程g)は、HfO2と、ZrO2と、HfZrOXとからなる材料群からHigh−k絶縁体材料を選択する工程を包含してもよい。
【0013】
前記High−k絶縁体層を堆積し、第1のHigh−kカップを形成する工程g)は、High−k材料層を約2nm〜10nmの厚さに堆積する工程を包含してもよい。
【0014】
前記第1のHigh−kカップを強誘電体材料で充填する工程h)は、PGOと、PZTと、BTOと、SBTOと、SBTNとからなる材料群から強誘電体材料を選択する工程を包含してもよい。
【0015】
前記第1のHigh−kカップを強誘電体材料で充填する工程h)は、該第1のHigh−kカップを該強誘電体材料で約100nm〜600nmの厚さに充填する工程を包含してもよい。
【0016】
前記第2のHigh−kカップ上に上部電極を堆積し、ゲート電極およびゲートスタックを形成する工程k)は、銅と、アルミニウムと、イリジウムと、プラチナとからなる材料群から上部電極材料を選択する工程を包含してもよい。
【0017】
前記ゲート置換ホルダ層を堆積する工程c)は、窒化シリコンとポリシリコンとからなる材料群から選択された材料層を堆積する工程を包含してもよい。
【0018】
本発明の上記解決手段および目的は、本発明の原理を素早く理解できるように設けられている。以下に示す発明の好適な実施の形態の詳細な説明を添付の図面とともに参照することによって、本発明をより完全に理解することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】
(関連出願)
本願は、2001年3月28日に出願された、Hsuらの「MFOS memory transistor and method of fabricating same」と称する米国特許出願第09/820,039号に関連する。
【0020】
図1は、従来のトランジスタ10の模式図を示す。従来のトランジスタ10は、例えば、金属−強誘電体−酸化物−半導体(MFOS)トランジスタ、または、金属−強誘電体−絶縁体−半導体(MFIS)トランジスタ等の典型的な最新のトランジスタである。
【0021】
トランジスタ10は、ソース領域14と、ドレイン領域16と、ゲート領域18とを有する基板12と、ゲート領域18上のゲートスタック20とを備える。
【0022】
ゲートスタック20は、High−k絶縁体22と、強誘電体素子24と、上部電極26とを有する。従来技術では、High−k絶縁体22は、強誘電体素子24の下および周りに配置されている。この構造は、パッシベーション酸化物28で覆われる。パッシベーション酸化物28は、ソース領域14用の金属コンタクト30と、ゲートスタック20用の金属コンタクト32と、ドレイン領域16用の金属コンタクト34を設けるために、内部に形成されたバイアを有する。
【0023】
ゲートスタック20は、金属−強誘電体薄膜−絶縁体上シリコン基板(MFIS)を含む。High−k絶縁体22は、高誘電率および低リーク電流を有している。このようなHigh−k絶縁体22は、HfO2、ZrO2、または、HfZrOX等の材料から選択され得る。強誘電体素子24は、鉛ゲルマニウム酸化物Pb5Ge3O11(PGO)、Pb(Zr,Ti)O3(PZT)、SrBi2Ta2O9(BTO)、SrBa2Ta2O9(SBTO)、および、SrBi2(Ta1−XNbX)2O9(SBTN)からなる材料群から選択される。上部電極は、銅、アルミニウム、イリジウムまたはプラチナから形成され得る。このような構造を強誘電体キャパシタと呼ぶ。
【0024】
図2は、図1の強誘電体キャパシタを低閾値電圧状態にプログラミングし、ゲートを接地電位にした後の、メモリ保持時の電荷と電界分布とを示す。矢印36はHigh−k絶縁体22にかかる電圧VOXを表す。矢印38は強誘電体(FE)素子24にかかる電圧VFEを表す。参照符号40は、ゲートスタック20の上部における電圧V0を表す。これは、High−k絶縁体22および強誘電体素子24に電圧が印加された状態である。High−k絶縁体22にかかる電圧の大きさは、強誘電体素子24にかかる電圧の大きさに等しいが、方向は逆である。強誘電体素子24にかかる電圧を減分極電圧と呼ぶ。
【0025】
VFE=VOX=V00 (1)
V00=QR/(COX+CFE) (2)
ここで、QRは強誘電体素子24の電荷であり、COXはHigh−k絶縁体22のキャパシタンスであり、CFEは強誘電体素子24のキャパシタンスである。
【0026】
正孔または電子が、High−k絶縁体22から強誘電体素子(強誘電体薄膜)24へと流れることはできない。しかしながら、上部電極26には多数の電子および正孔が存在する。次に、上部電極26からの正孔が強誘電体素子24においてトラップされる現象を説明する。
【0027】
図3aは、電荷トラップを説明するための模式図を示す。正孔は、図3aに示されるように上部電極26から強誘電体素子24へと移動し得る。この現象を金属−強誘電体−金属(MFM)キャパシタのリーク電流と呼ぶ。正孔はHigh−k絶縁体22中を流れることはできない。なぜなら、High−k絶縁体22と強誘電体素子24との界面の電位バリア、および、High−k絶縁体22にかかる電界の方向が強誘電体素子24にかかる電界の方向と異なるためである。
【0028】
図3bは、電荷トラップを説明するための別の模式図を示す。図3aを参照して説明したように、強誘電体素子24からHigh−k絶縁体22へと流れることができない正孔は、図3bに示されるように、強誘電体素子24中にトラップされたままとなる。この場合、VFEおよびVOXはともに0に等しくなる。強誘電体素子24中にトラップされた正孔は、強誘電体素子24中の分極した電子を補償する。これによって、メモリトランジスタのメモリウィンドウは減少し、デバイスのメモリ特性は劣化する。メモリトランジスタを高閾値電圧状態にプログラミングした場合は、電荷と電圧の方向は変化するが、電子の流れおよびトラップ機構は上述した通りである。
【0029】
図4は、本発明による強誘電体メモリトランジスタ50の模式図を示す。本発明の強誘電体メモリトランジスタ50によれば、図1〜3を参照して説明したリーク電流にともなうメモリ保持の劣化をなくすために、強誘電体薄膜と上部電極との間にさらなる絶縁体を用いている。
【0030】
トランジスタ50は、ソース領域54と、ドレイン領域56と、ゲート領域58とを有する基板52と、ゲートスタック60とを備える。ゲートスタック60は、強誘電体素子64をカプセル化するHigh−k絶縁体62と、上部電極66とを有する。基板52は、酸化物分離領域(酸化物素子分離領域)90を有する。
【0031】
High−k絶縁体62は、第1のHigh−kカップ(または、単に下部)62Lと、第2のHigh−kカップ(または、単に上部)62Uとを含む。第1のHigh−kカップ62Lは、強誘電体素子64とシリコン基板52との間に配置され、強誘電体素子64の側面を囲む。第2のHigh−kカップ62Uは、強誘電体素子64と上部電極66との間に配置されている。このようにして、強誘電体素子64は、High−k絶縁体62(第1のHigh−kカップ62Lおよび第2のHigh−kカップ62U)によってカプセル化される。この構造は、シリコン酸化物層96およびパッシベーション酸化物68で覆われる。このパッシベーション酸化物68は、ソース領域54用の金属コンタクト70と、ゲートスタック60用の金属コンタクト72と、ドレイン領域56用の金属コンタクト76とを設けるために、内部に形成されたバイアを有する。ゲートスタック60は、金属−強誘電体薄膜−絶縁体上シリコン基板(MFIS)を含む。
【0032】
High−k絶縁体62は、高誘電率および低リーク電流を有する。このようなHigh−k絶縁体62は、HfO2、ZrO2、または、HfZrOXからなる材料群から選択され得る。強誘電体素子64は、鉛ゲルマニウム酸化物Pb5Ge3O11(PGO)、Pb(Zr,Ti)O3(PZT)、SrBi2Ta2O9(BTO)、SrBa2Ta2O9(SBTO)、および、SrBi2(Ta1−XNbX)2O9(SBTN)からなる材料群から選択される。上部電極は、銅、アルミニウム、イリジウムまたはプラチナからなる材料群から形成され得る。
【0033】
図5は、本発明による強誘電体メモリトランジスタの状態を示す。詳細には、図5は、強誘電体メモリトランジスタを低閾値電圧にプログラミングし、ゲート電圧を接地電位に戻した後の、電界の方向および電荷分布を示す。強誘電体素子64にかかる電圧78(VFE)は、第1のHigh−kカップ62Lにかかる電圧(矢印76のVOX1)と、第2のHigh−kカップ62Uにかかる電圧(矢印80のVOX2)との和に等しい。強誘電体素子64の電界の方向は、第1のHigh−kカップ62Lおよび第2のHigh−kカップ62Uの電界の方向と逆になる。従来技術に見られた通常のリーク電流にともなう劣化機構は、この構造には存在しない。これは、2つの絶縁体(第1および第2のHigh−kカップ62L、62U)中に自由キャリアが存在せず、この電界分布における電流キャリアが強誘電体素子64へと流れるのを防ぐためである。矢印82は、上部電極66の上部における電圧V0を表す。本発明の構造におけるメモリ劣化が生じる唯一の原因は、減分極電界である。
【0034】
本発明の強誘電体メモリトランジスタを高閾値電圧状態にプログラミングすると、強誘電体素子64、および、第1および第2のHigh−kカップ62L、62Uともに電荷および電界の方向が変化する。この場合も、メモリ保持特性の劣化を引きこし得る、リーク電流にともなう電荷トラップは存在しない。
【0035】
図6〜図10を参照して、本発明による強誘電体メモリトランジスタの製造方法を説明する。
【0036】
図6は、本発明による強誘電体メモリトランジスタの製造方法における一工程を示す。基板52は、ウェルイオン注入および浅トレンチ素子分離を含む基板調整のための任意の最新技術によって調整される。ウェルイオン注入により、基板52には、ソース領域54およびドレイン領域56を有する活性領域と、ゲート領域58とが形成される。素子分離法は、メモリトランジスタの周囲に広がる酸化物分離領域90を形成する工程を包含する。
【0037】
次いで、ソース領域54、ドレイン領域56、ゲート領域58および酸化物分離領域90上に犠牲ゲート酸化物層(犠牲酸化物層)92を約2nm〜5nmの範囲の厚さに成長させる。犠牲ゲート酸化物層92上に窒化シリコン層94を約100nm〜600nmの範囲の厚さに堆積する。ゲート領域58上の窒化シリコン層94および犠牲ゲート酸化物層92をマスクして、ソース領域54、ドレイン領域56および酸化物分離領域90上の窒化シリコン層94および犠牲ゲート酸化物層92を除去する。これにより、ゲート領域58上に窒化シリコン層94からなるゲート置換ホルダが残る。窒化シリコン層の代わりにポリシリコンを用いてもよい。
【0038】
なお、図6において、ソース領域54、ドレイン領域56および酸化物分離領域90上の犠牲ゲート酸化物層92を除去したが、犠牲ゲート酸化物層92を除去せず、シリコン酸化物層96とともに用いてもよい。
【0039】
活性領域(ソース領域54およびドレイン領域56)は、LDD、ハロー、および、所望ならばこの時点においてN+またはP+イオン注入を含むソース/ドレイン注入によって調整され得る。このようにして図6に示される構造が得られる。
【0040】
図7は、本発明による強誘電体メモリトランジスタの製造方法における一工程を示す。シリコン酸化物層96を約200nm〜1200nmの範囲の厚さに堆積する。このシリコン酸化物層96の厚さは、好ましくは、ゲート置換ホルダの厚さの約2倍である。この構造は、シリコン酸化物層96を平坦化するために、CMPによって平滑化される。この平坦化は、窒化シリコン層94(すなわち、ゲート置換ホルダ)の高さで停止される。このようにして、図7に示される構造が得られる。
【0041】
図8は、本発明による強誘電体メモリトランジスタの製造方法における一工程を示す。図8に示されるように、この構造はエッチングされ、窒化シリコン層94(ゲート置換ホルダ層)が除去される。その結果、ゲート置換ホルダ構造800が形成される。窒化シリコン層94(ゲート置換ホルダ層)は、好ましくは、ウェットエッチプロセスによってエッチングされる。次いで、この構造全体が、BHFによってエッチングされ、ゲート領域58にある犠牲ゲート酸化物層92が除去される。
【0042】
その後、この構造全体にゲート絶縁体62が堆積される。ゲート絶縁体62は、上述したように、HfO2、ZrO2、または、HfZrOXからなる材料群から選択され得る。ゲート絶縁体62は、上述のHigh−k絶縁体であり得る。その厚さは、約2nm〜10nmの範囲である。ゲート領域58に相当するシリコン基板52と接触し、かつ、ゲート置換ホルダ構造800の壁を覆うゲート絶縁体62の部分を62Lと特定する。部分62Lは、本明細書において第1のHigh−kカップまたはHigh−k下部と呼ばれる。
【0043】
図9は、本発明による強誘電体メモリトランジスタの製造方法における一工程を示す。強誘電体薄膜(強誘電体素子)64が、ゲート置換ホルダ構造800を充填するように堆積される。強誘電体薄膜64は、PGO、PZT、BTO、SBTOまたはSBTN等からなる材料群から選択された材料であり得る。このようにして、強誘電体薄膜64が第1のHigh−kカップ62Lによって形成された「カップ」を充填する。
【0044】
次いで、強誘電体薄膜64は平滑化される。この平滑化は、シリコン酸化物層96の高さで停止する。この平滑化は、化学的機械的研磨(CMP)によって、または、任意の周知の平坦化エッチバックプロセスによって達成され得る。このようにして、図9に示される構造が得られる。
【0045】
図10は、本発明による強誘電体メモリトランジスタの製造方法における一工程を示す。後にHigh−k絶縁体の別の部分62U(本明細書においてHigh−k上部または第2のHigh−kカップと呼ぶ)となるさらなるHigh−k絶縁体は、約2nm〜10nmの範囲の厚さにCVDによって、図9に示される構造上に堆積される。選択されたさらなるHigh−k絶縁体材料は、低リーク電流特性を有する。その後、上部電極66が、さらなるHigh−k絶縁体上に形成される。上部電極は、アルミニウム、銅、プラチナまたはイリジウムからなる材料群から選択される。
【0046】
上部電極およびさらなるHigh−k絶縁体をエッチングして、図10に示される上部電極66および第2のHigh−kカップ62Uを形成し、制御ゲート電極およびゲートスタック60が形成される。このようにして、強誘電体素子64は、High−k絶縁体62(第1のHigh−kカップ62Lおよび第2のHigh−kカップ62U)によってカプセル化される。パッシベーション酸化物層68(図4)はCVDによって堆積される。この構造をエッチングして、コンタクトバイアを形成し、金属化する。その結果、図4に示される構造が得られる。
【0047】
上述してきたように、長時間メモリ保持特性を有する強誘電体メモリトランジスタを製造する方法およびシステムが開示された。上掲の特許請求の範囲に規定される発明の範囲内でこれらのさらなる修正および改変が為され得ることを理解されたい。
【0048】
【発明の効果】
上述してきたように、本発明による強誘電体メモリトランジスタは、ソース領域、ゲート領域およびドレイン領域を有する基板と、ゲート領域上に位置するゲートスタックと、基板とゲートスタック上に位置するパッシベーション酸化物層と、ソース領域、ドレイン領域およびゲートスタックそれぞれへのコンタクトを形成するためのメタライゼーションとを備える。ゲートスタックは、第1のHigh−kカップと第2のHigh−kカップとを含むHigh−k絶縁体素子と、High−k絶縁体素子にカプセル化された強誘電体素子と、High−k絶縁体素子の上部に位置する上部電極とを含む。強誘電体素子が、High−k絶縁体によってカプセル化されているので、電子または正孔が上部電極から強誘電体素子へと流れない。したがって、メモリ保持特性を劣化させる、リーク電流に伴う電荷トラップは起こり得ない。これにより、強誘電体メモリトランジスタのメモリ保持特性は劣化しない。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のトランジスタ10の模式図
【図2】図1の強誘電体キャパシタを低閾値電圧状態にプログラミングし、ゲートを接地電位にした後の、メモリ保持時の電荷と電界分布図
【図3a】電荷トラップを説明するための模式図
【図3b】電荷トラップを説明するための別の模式図
【図4】本発明による強誘電体メモリトランジスタ50の模式図
【図5】本発明による強誘電体メモリトランジスタの状態図
【図6】本発明による強誘電体メモリトランジスタの製造方法における一工程
【図7】本発明による強誘電体メモリトランジスタの製造方法における一工程
【図8】本発明による強誘電体メモリトランジスタの製造方法における一工程
【図9】本発明による強誘電体メモリトランジスタの製造方法における一工程
【図10】本発明による強誘電体メモリトランジスタの製造方法における一工程
【符号の説明】
50 強誘電体メモリトランジスタ
52 基板
54 ソース領域
56 ドレイン領域
58 ゲート領域
60 ゲートスタック
62 High−k絶縁体
62L 第1のHigh−kカップ
62U 第2のHigh−kカップ
64 強誘電体素子
66 上部電極
68 パッシベーション酸化物
70、72、74 金属コンタクト
90 酸化物分離領域
96 シリコン酸化物
Claims (13)
- ソース領域、ゲート領域およびドレイン領域を有する基板と、
該ゲート領域上に位置するゲートスタックと、
該基板と該ゲートスタック上に位置するパッシベーション酸化物層と、
該ソース領域、該ドレイン領域および該ゲートスタックそれぞれへのコンタクトを形成するためのメタライゼーションと
を備えた強誘電体メモリトランジスタであって、
該ゲートスタックは、
第1のHigh−kカップと第2のHigh−kカップとを含むHigh−k絶縁体素子と、
該High−k絶縁体素子にカプセル化された強誘電体素子と、
該High−k絶縁体素子の上部に位置する上部電極と
を含む、強誘電体メモリトランジスタ。 - 前記High−k絶縁体素子は、HfO2と、ZrO2と、HfZrOXとからなる材料群から選択される材料から形成される、請求項1に記載の強誘電体メモリトランジスタ。
- 前記High−k絶縁体素子の厚さは、約2nm〜10nmの範囲である、請求項1に記載の強誘電体メモリトランジスタ。
- 前記強誘電体素子は、PGOと、PZTと、BTOと、SBTOと、SBTNとからなる材料群から選択された材料から形成される、請求項1に記載の強誘電体メモリトランジスタ。
- 前記強誘電体素子の厚さは、約100nm〜600nmの範囲である、請求項1に記載の強誘電体メモリトランジスタ。
- 前記上部電極は、銅と、アルミニウムと、イリジウムと、プラチナとからなる材料群から選択された材料から形成される、請求項1に記載の強誘電体メモリトランジスタ。
- 強誘電体メモリトランジスタを製造する方法であって、
a)ソース領域、ゲート領域、ドレイン領域および酸化物素子分離領域を形成する工程を包含する基板を調整する工程と、
b)該基板上に犠牲酸化物層を堆積する工程と、
c)該犠牲酸化物層上にゲート置換ホルダ層を堆積する工程と、
d)該ゲート領域上に位置する該ゲート置換ホルダ層および該犠牲酸化物層をマスクして、該ソース領域、該ドレイン領域および該酸化物素子分離領域上の該ゲート置換ホルダ層および該犠牲酸化物層を除去する工程と、
e)該ゲート置換ホルダ層の約2倍の厚さまで、該工程a)〜d)によって得られた構造上に酸化物層を堆積する工程と、
f)該ゲート置換ホルダ層の高さまで該工程a)〜e)で得られた構造を平滑化する工程と、
g)該ゲート領域上にある該ゲート置換ホルダ層および該犠牲酸化物層を除去し、ゲート置換ホルダ構造を形成する工程と、
h)該工程a)〜g)によって得られた構造上にHigh−k絶縁体層を堆積し、第1のHigh−kカップを形成する工程と、
i)該第1のHigh−kカップを強誘電体材料で充填し、強誘電体素子を形成する工程と、
j)該酸化物層の上面まで該強誘電体素子を平滑化する工程と、
k)該工程a)〜j)で得られる構造上にさらなるHigh−k絶縁体層を堆積し、該強誘電体素子上に第2のHigh−kカップを形成する工程と、
l)該第2のHigh−kカップ上に上部電極を堆積し、ゲート電極およびゲートスタックを形成する工程と、
m)該工程a)〜l)によって得られる構造上にパッシベーション酸化物層を堆積する工程と、
n)該パッシベーション酸化物層をエッチングして、該ソース領域、該ドレイン領域および該ゲートスタックそれぞれへのコンタクトバイアを形成する工程と、
o)該工程a)〜n)によって得られる構造をメタライゼーションする工程とを包含する、方法。 - 前記High−k絶縁体層を堆積し、第1のHigh−kカップを形成する工程g)は、HfO2と、ZrO2と、HfZrOXとからなる材料群からHigh−k絶縁体材料を選択する工程を包含する、請求項7に記載の方法。
- 前記High−k絶縁体層を堆積し、第1のHigh−kカップを形成する工程g)は、High−k材料層を約2nm〜10nmの厚さに堆積する工程を包含する、請求項7に記載の方法。
- 前記第1のHigh−kカップを強誘電体材料で充填する工程h)は、PGOと、PZTと、BTOと、SBTOと、SBTNとからなる材料群から強誘電体材料を選択する工程を包含する、請求項7に記載の方法。
- 前記第1のHigh−kカップを強誘電体材料で充填する工程h)は、該第1のHigh−kカップを該強誘電体材料で約100nm〜600nmの厚さに充填する工程を包含する、請求項7に記載の方法。
- 前記第2のHigh−kカップ上に上部電極を堆積し、ゲート電極およびゲートスタックを形成する工程k)は、銅と、アルミニウムと、イリジウムと、プラチナとからなる材料群から上部電極材料を選択する工程を包含する、請求項7に記載の方法。
- 前記ゲート置換ホルダ層を堆積する工程c)は、窒化シリコンとポリシリコンとからなる材料群から選択された材料層を堆積する工程を包含する、請求項7に記載の方法。
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Cited By (1)
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US7008833B2 (en) * | 2004-01-12 | 2006-03-07 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | In2O3thin film resistivity control by doping metal oxide insulator for MFMox device applications |
US6995025B2 (en) * | 2004-06-21 | 2006-02-07 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Asymmetrical programming ferroelectric memory transistor |
KR100642635B1 (ko) * | 2004-07-06 | 2006-11-10 | 삼성전자주식회사 | 하이브리드 유전체막을 갖는 반도체 집적회로 소자들 및그 제조방법들 |
US7378286B2 (en) * | 2004-08-20 | 2008-05-27 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Semiconductive metal oxide thin film ferroelectric memory transistor |
US7339813B2 (en) * | 2004-09-30 | 2008-03-04 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Complementary output resistive memory cell |
KR100890609B1 (ko) * | 2006-08-23 | 2009-03-27 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | 강유전체, 그 제조방법, 및 그 강유전체를 포함하는 반도체 캐패시터와 mems 디바이스 |
CN101894844B (zh) * | 2010-06-04 | 2012-05-09 | 清华大学 | 基于金属氧化物气相沉积铁电动态随机存储器及制备方法 |
DE102012205977B4 (de) * | 2012-04-12 | 2017-08-17 | Globalfoundries Inc. | Halbleiterbauelement mit ferroelektrischen Elementen und schnellen Transistoren mit Metallgates mit großem ε sowie Herstellungsverfahren |
KR102616129B1 (ko) * | 2016-02-26 | 2023-12-21 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 멀티 레벨 강유전체 메모리 장치 및 그 제조방법 |
CN105788864B (zh) * | 2016-02-29 | 2017-12-08 | 湘潭大学 | 一种提高pzt铁电薄膜负电容的方法 |
CN106898644B (zh) * | 2017-01-23 | 2019-07-30 | 西安电子科技大学 | 高击穿电压场效应晶体管及其制作方法 |
US10784362B2 (en) | 2017-10-30 | 2020-09-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
CN109801977A (zh) * | 2019-01-28 | 2019-05-24 | 中国科学院微电子研究所 | 存储器 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2812388B2 (ja) * | 1988-01-18 | 1998-10-22 | 富士通株式会社 | Soi半導体装置の製造方法 |
US5144390A (en) * | 1988-09-02 | 1992-09-01 | Texas Instruments Incorporated | Silicon-on insulator transistor with internal body node to source node connection |
EP0478799B1 (en) * | 1990-04-24 | 1996-12-04 | Ramtron International Corporation | Semiconductor device having ferroelectric material and method of producing the same |
US5384729A (en) * | 1991-10-28 | 1995-01-24 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor storage device having ferroelectric film |
US5499207A (en) * | 1993-08-06 | 1996-03-12 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor memory device having improved isolation between electrodes, and process for fabricating the same |
US6413883B1 (en) * | 1996-03-04 | 2002-07-02 | Symetrix Corporation | Method of liquid deposition by selection of liquid viscosity and other precursor properties |
US5731608A (en) * | 1997-03-07 | 1998-03-24 | Sharp Microelectronics Technology, Inc. | One transistor ferroelectric memory cell and method of making the same |
US5942776A (en) * | 1997-03-07 | 1999-08-24 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Shallow junction ferroelectric memory cell and method of making the same |
JP3281839B2 (ja) * | 1997-06-16 | 2002-05-13 | 三洋電機株式会社 | 誘電体メモリおよびその製造方法 |
TW396454B (en) * | 1997-06-24 | 2000-07-01 | Matsushita Electrics Corporati | Semiconductor device and method for fabricating the same |
US6251763B1 (en) * | 1997-06-30 | 2001-06-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and method for manufacturing same |
KR100269309B1 (ko) * | 1997-09-29 | 2000-10-16 | 윤종용 | 고집적강유전체메모리장치및그제조방법 |
US5907762A (en) * | 1997-12-04 | 1999-05-25 | Sharp Microelectronics Technology, Inc. | Method of manufacture of single transistor ferroelectric memory cell using chemical-mechanical polishing |
KR100399886B1 (ko) * | 1998-07-02 | 2004-02-11 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 메모리 소자의 커패시터 형성 방법 |
US6048740A (en) * | 1998-11-05 | 2000-04-11 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Ferroelectric nonvolatile transistor and method of making same |
US6197668B1 (en) * | 1998-11-06 | 2001-03-06 | Advanced Micro Devices, Inc. | Ferroelectric-enhanced tantalum pentoxide for dielectric material applications in CMOS devices |
JP2000252372A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-14 | Sharp Corp | 半導体メモリ装置及びその製造方法 |
US6140672A (en) * | 1999-03-05 | 2000-10-31 | Symetrix Corporation | Ferroelectric field effect transistor having a gate electrode being electrically connected to the bottom electrode of a ferroelectric capacitor |
DE60042811D1 (de) * | 1999-06-04 | 2009-10-08 | Seiko Epson Corp | Herstellungsverfahren für eine ferroelektrische Speichervorrichtung |
DE19931125A1 (de) * | 1999-07-06 | 2001-01-25 | Infineon Technologies Ag | Ferroelektrischer Transistor |
DE19940381A1 (de) * | 1999-08-25 | 2001-04-05 | Infineon Technologies Ag | Ferroelektrischer Transistor und Verfahren zu dessen Herstellung |
US6303502B1 (en) * | 2000-06-06 | 2001-10-16 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | MOCVD metal oxide for one transistor memory |
JP3627640B2 (ja) * | 2000-09-22 | 2005-03-09 | 松下電器産業株式会社 | 半導体メモリ素子 |
US6392280B1 (en) * | 2000-10-19 | 2002-05-21 | Advanced Micro Devices, Inc. | Metal gate with PVD amorphous silicon layer for CMOS devices and method of making with a replacement gate process |
US6602720B2 (en) * | 2001-03-28 | 2003-08-05 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Single transistor ferroelectric transistor structure with high-K insulator and method of fabricating same |
-
2002
- 2002-06-04 US US10/164,785 patent/US6531325B1/en not_active Expired - Fee Related
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2003
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- 2003-05-22 EP EP03253199A patent/EP1369926A3/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015045592A1 (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-02 | 株式会社 東芝 | 半導体装置および誘電体膜 |
JP2015065251A (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 株式会社東芝 | 半導体装置および誘電体膜 |
US9691973B2 (en) | 2013-09-25 | 2017-06-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and dielectric film including a fluorite-type crystal |
Also Published As
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