JP2003338507A - Mis型半導体装置およびその製造方法 - Google Patents

Mis型半導体装置およびその製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】MIS型トランジスタの短チャネル効果の抑制
および、ゲートのフリンジング容量を小さくして、信号
遅延の高速化を可能とすることにある。 【解決手段】MIS型トランジスタに対して、高い誘電
率を有する絶縁膜でサイドウォールスペーサを形成し、
これを導入端として不純物拡散層領域を形成する。高誘
電率のサイドウォールスペーサの側壁は高駆動電流を達
成するために必要な最適膜厚(5から15nm)とし、
その外側のサイドウォールスペーサは誘電率の小さい絶
縁膜(シリコン酸化膜)で構成する。 【効果】短チャネル効果を十分に抑制し、かつソース・
ドレイン寄生抵抗の抑制が達成される。さらに、寄生容
量を低く抑えることができるるため、高い駆動能力を同
時に達成することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置および
その製造方法に関し、特に超微細MIS型半導体装置の
大動作電流化、超高速動作化に関する。
【0002】
【従来の技術】超高密度半導体装置を構成する絶縁ゲー
ト型電界効果トランジスタ、特にMIS型電界効果トラ
ンジスタ(以降、単にMISFETと略記する)の高性
能化はスケーリング則に基づき使用電源電圧の低下と寄
生容量低減メリットを達成すべく、トランジスタ面積の
低減とゲート寸法の微細化により達成されて来た。しか
し、ゲート寸法が小さくなると短チャネル効果が生じ、
閾値電圧が変動する。上記超微細MISにおいては、こ
のゲート電極長の微細化に伴う短チャネル効果低減のた
めに、ソース拡散層、およびドレイン拡散層の浅接合化
が推し進められている。上記のようにソース拡散層、お
よびドレイン拡散層の浅接合化を行ったMISFETで
も、ゲート長が100nm以下程度まで素子の微細化が進む
と、不純物を活性化するために行う熱処理工程中の不純
物拡散によって生じる、ゲートとソース/ドレイン拡散
層間のオーバーラップ領域のために、実効チャネル長の
確保が難しく、耐圧が低下し短チャネル効果の抑制が困
難になる。
【0003】この問題を解決するためには、例えば特開
平7−245391に記載されているように、ゲート電
極の側壁に第1のサイドウォールスペーサを設けた後
に、ゲート電極および第1のサイドウォールスペーサを
マスクとして、不純物を導入しNまたはPのソース
拡散層、およびドレイン拡散層領域を形成することで、
大きい実効ゲート長を確保する構造が有効である。ま
た、ソース/ドレイン寄生抵抗の増大を抑制する手段と
しては、例えば特開平5−3206に記載されているよ
うに、第1のサイドウォールスペーサを酸化膜よりも誘
電率の高い材料にし、ゲート電極がNまたはP領域
に及ぼす電界を強くすることで、第1のサイドウォール
スペーサ下部の寄生抵抗を緩和することにより駆動電流
を高めることが有効である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
7−245391に記載された構造においては、ゲート
電極端のNまたはP領域の不純物濃度は、通常のゲ
ート電極のみをマスクとして拡散層領域を形成した場合
に比べて低くなるため、ソース/ドレイン寄生抵抗が大
きくなり、駆動能力が劣化するという欠点がある。
【0005】また、特開平5−3206に記載された構
造は、ゲート電極とソース/ドレイン拡散層領域とが、
互いにオーバーラップしない部分を形成した“オフセッ
トゲート構造”に限定されたものである。オフセットゲ
ート構造の場合、オフセット領域のチャネル抵抗が非常
に高抵抗なため、たとえ第1のサイドウォールスペーサ
に誘電率の高い材料を使用しても、十分な駆動電流を得
ることは困難である。
【0006】さらに、上述のごとくサイドウォールスペ
ーサ材料すべての誘電率を高くすると、ゲートのフリン
ジング容量が大きくなり、これによって信号遅延が顕著
になるという問題があった。上記のように、従来の技術
では短チャネル効果の抑制と高駆動力との両立は困難で
あった。
【0007】本発明は、上記従来の課題に鑑みてなされ
たものであり、その目的は、短チャネル効果の抑制と、
高駆動能力とを両立するのに優れたMIS型半導体装置
およびその製造方法を提供することにある。さらに、ゲ
ートのフリンジング容量を小さくして、信号遅延の高速
化を可能とするMIS型半導体装置およびその製造方法
を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、MIS型半導
体装置のソース拡散層、およびドレイン拡散層構造の最
適条件の検討において、上記新現象を見出した結果に基
づく。その詳細について以下に示す。
【0009】図3は、第1のサイドウォールスペーサに
用いる絶縁膜材料の比誘電率を変化させた場合の、トラ
ンジスタの駆動電流と寄生抵抗の変化を計算により求め
たものである。各値は、シリコン酸化膜(比誘電率=
3.9)の値を用いて規格化してある。比誘電率が大き
くなるほど、上記した効果により寄生抵抗は減少し、駆
動電流は増大する。
【0010】一方、図4に第1のサイドウォールスペー
サに用いる絶縁膜材料の比誘電率を変化させた場合のト
ランジスタ遅延と寄生容量の変化を求めたものである。
各値は、図3同様シリコン酸化膜(比誘電率=3.9)の
値を用いて規格化してある。比誘電率が大きくなるほ
ど、寄生容量は増大する。しかし、比誘電率を増大させ
た場合、寄生容量が増大する効果よりも駆動電流が増大
する効果の方が大きいため、トランジスタ遅延は比誘電
率が大きくなるほど小さくなる。すなわち、第1のサイ
ドウォールスペーサに用いる絶縁膜材料の比誘電率が大
きくなるほどトランジスタの高速動作が可能になる。
【0011】図5は、第1に用いるサイドウォールスペ
ーサの幅を変化させた場合の、駆動電流の変化を示した
ものである。第1に用いるサイドウォールスペーサの幅
が増大するとともに駆動電流は増大する。そして、サイ
ドウォールスペーサの幅が7nm近傍で駆動電流は最大
となる。さらにサイドウォールスペーサの幅を増大し、
サイドウォールスペーサの幅が15nmを越えるように
なると駆動電流は一定値を示すようになる。
【0012】本発明は、MIS型半導体装置のソース拡
散層、およびドレイン拡散層構造の最適条件の検討にお
いて、上記新現象を見出した結果に基づく。本発明は上
記目的を達成するためになされたMIS型半導体装置お
よびその製造方法であり、第1の導電型を有する半導体
基板上に形成されたゲート絶縁膜と、そのゲート絶縁膜
上面に設けられたゲート電極と、ゲート電極の側壁およ
びゲート電極の外周部に延在する半導体基板表面に接す
るように形成された第1のサイドウォールスペーサと、
ゲート電極および第1のサイドウォールスペーサをマス
クとして、第1の導電型と反対の導電型を有する第1の
不純物を半導体基板に導入し、形成された第1の不純物
領域と、第1のサイドウォールスペーサの側壁に積層し
て形成された第2のサイドウォールスペーサと、ゲート
電極、第1および第2のサイドウォールスペーサをマス
クとして、半導体基板に第1の不純物を導入し、形成さ
れた第1の不純物領域よりも高い不純物濃度を有する第
2の不純物領域とを備え、第1のサイドウォールスペー
サは、所定の幅でゲート絶縁膜より高い比誘電率を有
し、第1の不純物領域は、その一端がゲート電極の底辺
下に位置することを特徴とするMIS型半導体装置であ
る。
【0013】さらに、第2のサイドウォールスペーサ
は、第1のサイドウォールスペーサより低い比誘電率誘
電率を有する。
【0014】または、第2のサイドウォールスペーサ
は、シリコン酸化膜で形成されている。
【0015】さらに、第1のサイドウォールスペーサの
所定の幅は、5乃至15nmであることを特徴とする。
【0016】第1のサイドウォールスペーサは、窒化シ
リコン、シリコン、酸化アルミニウム、酸化タンタル、
酸化チタン、酸化ジルコニウムおよび酸化ハフニウムの
いずれかの材料から選択されることを特徴とする。
【0017】または、第1のサイドウォールスペーサと
半導体基板上およびゲート電極間に絶縁膜が形成されて
いることを特徴とする。
【0018】また、第1のサイドウォールスペーサは、
半導体基板上に延在した薄膜よりなることを特徴とす
る。
【0019】さらに、本発明に係る半導体装置の製造方
法は、第1の導電型を有する半導体基板上にゲート絶縁
膜を形成し、ゲート絶縁膜上面にゲート電極を設ける工
程と、ゲート電極の側壁およびゲート電極の外周部に延
在する半導体基板表面に接するように、所定の幅でゲー
ト絶縁膜より高い比誘電率を有する材料を堆積し、第1
のサイドウォールスペーサを形成する工程と、ゲート電
極および第1のサイドウォールスペーサをマスクとし
て、第1の導電型と反対の導電型を有する第1の不純物
を前記半導体基板に導入し、第1の不純物領域を形成す
る工程と、第1のサイドウォールスペーサの側壁に絶縁
材料を積層し、第2のサイドウォールスペーサを形成す
る工程と、ゲート電極、第1および第2のサイドウォー
ルスペーサをマスクとして、半導体基板に第1の不純物
を導入し、第1の不純物領域よりも高い不純物濃度を有
する第2の不純物領域を形成する工程と、その一端がゲ
ート電極の底辺下に位置するように第1の不純物領域を
熱処理する工程とを具備することを特徴とする。
【0020】さらに、第2のサイドウォールスペーサ
は、第1のサイドウォールスペーサの比誘電率より低い
絶縁材料を用いることを特徴とする。
【0021】第2のサイドウォールスペーサは、シリコ
ン酸化膜からなることを特徴とする。
【0022】あるいは、第1のサイドウォールスペーサ
は、膜厚が一定な薄膜を用いて形成することを特徴とす
る。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施の形態により
さらに詳細に説明する。理解を容易にするため、図面を
用いて説明し、要部は他の部分よりも拡大して示されて
いる。各部の材質、導電型、および製造条件等は本実施
の形態の記載に限定されるものではなく、各々多くの変
形が可能であることは言うまでもない。
【0024】図1は本発明の一実施の形態に係るMIS
型トランジスタの完成断面図である。また、その製造工
程を図2を用いて説明する。
【0025】図2に示すように、シリコン基板1上にゲ
ート絶縁膜3およびポリシリコンからなるゲート電極4
を形成する(図2(a)参照)。次に、シリコン酸化膜よ
りも誘電率の大きい絶縁膜、例えば、窒化シリコン膜や
酸化チタン膜等をCVD法(Chemical Vap
or Deposition)等により堆積し、この絶
縁膜をエッチバックしてゲート電極の側壁に第1のサイ
ドウォールスペーサ5を形成する。この時、デバイスの
信頼性を確保するため、第1のサイドウォールスペーサ
を堆積する前に、例えば650℃でライト酸化を行い、
シリコン基板1およびゲート電極4表面を極薄膜のシリ
コン酸化膜で被覆しても良い。続いて、これをマスクと
して所定導電型の不純物をイオン注入し不純物拡散層領
域6を形成する(図2(b)参照)。次に、第1のサイド
ウォールスペーサより誘電率の小さい絶縁膜、例えばシ
リコン酸化膜をCVD法等により堆積し、同様にしてこ
の絶縁膜をエッチバックして第2のサイドウォールスペ
ーサ7を形成する。その後、これをマスクとしてイオン
注入して、高濃度の不純物が導入されてなる第2の不純
物領域8を形成する(図2(c)参照)。
【0026】続いて、アニールより不純物の活性化処理
を行う。上記の処理は、例えば1000℃1秒程度で行
うが、できる限り処理時間を短くし、熱履歴を短くする
ことで、不純物の拡散を抑制するのが望ましい。しかる
後、拡散層領域8およびゲート電極4の表層に金属シリ
サイド層9を形成する。このシリサイド層は、例えば、
チタンシリサイド、コバルトシリサイド、ニッケルシリ
サイド等の金属シリサイドからなる。金属シリサイド層
を形成したの地、層間絶縁膜10、さらにはドレインお
よびソース電極を含む配線用電極11を所望の回路方式
に従って形成する(図2(d)参照)。
【0027】上記実施の形態によれば、第1のサイドウ
ォールスペーサ5をマスクとして第1の不純物拡散層領
域6を形成するので、拡散層領域のチャネルの横方向へ
の広がりを抑制でき、実効チャネル長を大きく確保する
ことが出来る。このため、素子を微細化し、従来に比べ
ゲート長を短くしても、短チャネル効果を抑制できる。
【0028】また、ゲート電極3の側壁のうち、内側の
側壁は高い誘電率を有した絶縁膜を用いているので、こ
の第1のサイドウォールスペーサ下の基板にかかる電界
が非常に強くなるため、第1のサイドウォールスペーサ
下の不純物領域を十分に反転させることができる。この
ため、ゲートとソース/ドレイン拡散層間のオーバーラ
ップ領域が少なくなっても、寄生抵抗の増大を抑制でき
るため、十分な駆動電流を流すことができる。これによ
り、短チャネル効果の抑制と、高駆動能力とを両立する
ことができる。
【0029】図3は、第1のサイドウォールスペーサに
用いる絶縁膜材料の比誘電率を変化させた場合の、トラ
ンジスタの駆動電流と寄生抵抗の変化を計算により求め
たものである。各値は、シリコン酸化膜(比誘電率=
3.9)の値を用いて規格化してある。比誘電率が大き
くなるほど、上記した効果により寄生抵抗は減少し、駆
動電流は増大する。
【0030】一方、図4に第1のサイドウォールスペー
サに用いる絶縁膜材料の比誘電率を変化させた場合のト
ランジスタ遅延と寄生容量の変化を求めたものである。
各値は、図3同様シリコン酸化膜(比誘電率=3.9)の
値を用いて規格化してある。比誘電率が大きくなるほ
ど、寄生容量は増大する。しかし、比誘電率を増大させ
た場合、寄生容量が増大する効果よりも駆動電流が増大
する効果の方が大きいため、トランジスタ遅延は比誘電
率が大きくなるほど小さくなる。すなわち、第1のサイ
ドウォールスペーサに用いる絶縁膜材料の比誘電率が大
きくなるほどトランジスタの高速動作が可能になる。
【0031】上述したように、第1のサイドウォールス
ペーサ5は窒化シリコン膜や酸化チタン膜等の絶縁膜を
エッチバックしたものであり、そのサイドウォールスペ
ーサ幅は絶縁膜の堆積膜厚によって制御する。そして、
第1のサイドウォールスペーサの幅は、第1の不純物拡
散層領域6のチャネルへの横方向の広がりを抑制するも
のであり、その膜厚は、厳密には不純物をイオン注入す
る際のイオン注入エネルギーをドーズ量等の条件や、そ
の後のアニール工程による熱拡散を含めて設定する必要
がある。短チャンネル効果の抑制の観点からは、第1の
サイドウォールスペーサの幅は、大きくすることが望ま
しいが、寄生容量の観点からは出来る限り小さくするこ
とが望ましい。
【0032】またこの時、N型トランジスタの第1の不
純物拡散層領域6の形成で一般的に用いられるAsイオ
ンと、P型トランジスタの不純物拡散層領域6の形成で
一般的に用いられるBイオンとでは拡散係数が異なるた
め、N型トランジスタとP型トランジスタでは、その最
適値は異なる。以上の事柄を考慮して、第1のサイドウ
ォールスペーサ幅の最適値を設定する必要がある。
【0033】図5は、第1に用いるサイドウォールスペ
ーサの幅を変化させた場合の、駆動電流の変化を示した
ものである。第1に用いるサイドウォールスペーサの幅
が増大するとともに駆動電流は増大する。そして、サイ
ドウォールスペーサの幅が7nm近傍で駆動電流は最大
となる。さらにサイドウォールスペーサの幅を増大し、
サイドウォールスペーサの幅が15nmを越えるように
なると駆動電流は一定値を示すようになる。以上の観点
から、サイドウォールスペーサの幅には最適値があり、
第1に用いるサイドウォールスペーサの幅は5から15
nmで形成することが望ましい。
【0034】次に、第2の実施の形態について、第5図
に基づいて説明する。第2の実施の形態は、例えば15
nm以上のサイドウォールスペーサ幅を設定する必要が
ある場合のMIS型トランジスタの完成断面図である。
【0035】前述の第1の実施の形態と同様に、シリコ
ン基板1上にゲート絶縁膜3およびポリシリコンからな
るゲート電極4を形成する。次に、シリコン酸化膜より
も誘電率の大きい絶縁膜、例えば、窒化シリコン膜、シ
リコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化タンタル膜、酸化
チタン膜、酸化ジルコニウム膜および酸化ハフニウム膜
等をCVD法等により堆積し、この絶縁膜をエッチバッ
クしてゲート電極の側壁に第1のサイドウォールスペー
サ5を,例えば5から15nm形成する。この時、デバ
イスの信頼性を確保するため、第1のサイドウォールス
ペーサを堆積する前に、例えば650℃でライト酸化を
行い、シリコン基板1およびゲート電極4表面を極薄膜
のシリコン酸化膜で被覆しても良い。
【0036】次に誘電率の低い絶縁膜、シリコン酸化膜
を堆積し、この絶縁膜をエッチバックして第2のサイド
ウォールスペーサ12を形成する。この第1および第2
のサイドウォールスペーサをマスクとして所定導電型の
不純物をイオン注入し不純物拡散層領域6を形成する。
次に、同様にしてシリコン酸化膜をCVD法等により堆
積し、この絶縁膜をエッチバックして第3のサイドウォ
ールスペーサ14を形成する。その後、これをマスクと
してイオン注入して、高濃度の不純物が導入されてなる
第2の不純物領域8を形成する。続いて、例えば100
0℃1秒程度のアニールにより不純物の活性化処理を行
う。しかる後、拡散層領域8およびゲート電極4の表層
に金属シリサイド層9を形成する。このシリサイド層
は、例えば、チタンシリサイド、コバルトシリサイド、
ニッケルシリサイド等の金属シリサイドからなる。金属
シリサイド層を形成した後、層間絶縁膜10、さらには
ドレインおよびソース電極を含む配線用電極11を所望
の回路方式に従って形成する。
【0037】上記第2の実施の形態によれば、第1の実
施の形態よりも、より実効チャネル長を大きく確保する
ことができるため、短チャネル効果をより効果的に抑制
することができる。さらに、ゲート電極3の内側の側壁
には高い誘電率を有した絶縁膜を用いているので、高い
駆動電流を同時に確保できる。しかも、高い誘電率を有
したサイドウォールスペーサの使用を必要最小限にとど
め、残りの部分は誘電率の小さい絶縁膜(シリコン酸化
膜)用いてサイドウォールスペーサを形成しているの
で、寄生容量の増大も抑制することができる。
【0038】図7は本発明による第3の実施の形態を示
した図で、前記第1の実施の形態において、絶縁膜のエ
ッチバックにより形成した第1のサイドウォールスペー
サ5を用いる代わりに、第1の薄膜13を用い、以下前
記第1の実施の形態に基づいてトランジスタを製造し
た。上記第1の薄膜13は、シリコン酸化膜よりも誘電
率の大きい絶縁膜、例えば、窒化シリコン膜や酸化チタ
ン膜等をCVD法等により堆積したものである。この第
1の薄膜13は、第1の不純物拡散層領域6のチャネル
への横方向の広がりを抑制するものであり、そのサイド
ウォールスペーサ幅は絶縁膜の堆積膜厚によって制御す
る。
【0039】以上のように、第1の薄膜13を用いた本
実施の形態においても、トランジスタの短チャネル効果
を抑制でき、かつ、駆動能力を高くすることができる。
【0040】図8は本発明による第4の実施の形態を示
した図で、前記第2の実施の形態において、絶縁膜のエ
ッチバックにより形成した第1のサイドウォールスペー
サ5および第2のサイドウォールスペーサ12を用いる
代わりに、第1の薄膜13および第2の薄膜14を用い
て、以下前記第2の実施の形態に基づいてトランジスタ
を製造した。上記第1の薄膜13は、シリコン酸化膜よ
りも誘電率の大きい絶縁膜、例えば、窒化シリコン膜や
酸化チタン膜等をCVD法等により堆積したものであ
る。また、第2の薄膜14は誘電率の低い絶縁膜、シリ
コン酸化膜を堆積して形成した。
【0041】この第1の薄膜13および第2の薄膜14
は、第1の不純物拡散層領域6のチャネルへの横方向の
広がりを抑制するものである。そのサイドウォールスペ
ーサ幅はそれぞれの絶縁膜の堆積膜厚によって制御す
る。この時、すでに上述した通り、誘電率の高い絶縁膜
である第1の薄膜13の膜厚は、5から15nmとし、
残りは誘電率の低い絶縁膜の堆積膜厚によって、設定サ
イドウォールスペーサ幅に調整することが望ましい。
【0042】上記実施の形態によれば、第1の実施の形
態よりも、より実効チャネル長を大きく確保することが
できるため、短チャネル効果をより効果的に抑制するこ
とができる。さらに、ゲート電極3の内側の側壁には高
い誘電率を有した絶縁膜を用いているため、高い駆動電
流を同時に確保できる。しかも、高い誘電率を有したサ
イドウォールスペーサの使用を必要最小限にとどめ、残
りの部分は誘電率の小さい絶縁膜(シリコン酸化膜)用
いてサイドウォールスペーサを形成しているので、寄生
容量の増大も抑制することができる。
【0043】以上のように、第1の薄膜13および第2
の薄膜14を用いた本実施の形態においても、トランジ
スタの短チャネル効果を抑制でき、かつ、駆動能力を高
くすることができる。
【0044】図9は本発明による第5の実施の形態を示
した図で、この発明を用いて、N型およびP型両トラン
ジスタを同一基板上に製造する実施例の形態である。こ
の図9は、前述した第1の実施例の形態と従来の方法を
組み合わせることによって、N型とP型トランジスタの
実効ゲート長をそれぞれ独立に設定できる半導体装置の
製造方法である。
【0045】シリコン基板1にPウェル領域20、Nウ
ェル領域21および素子分離用のフィールド酸化膜2を
形成後、ゲート絶縁膜22およびポリシリコンからなる
ゲート電極23および24を形成する。この状態で、N
型トランジスタに対して、ゲート電極23をマスクとし
て所定導電型の不純物をイオン注入しN型の不純物拡
散層領域25を形成する。
【0046】次に、シリコン酸化膜よりも誘電率の大き
い絶縁膜、例えば、窒化シリコン膜や酸化チタン膜等を
CVD法等により堆積し、この絶縁膜をエッチバックし
てゲート電極23および24の側壁に第1のサイドウォ
ールスペーサ28を形成する。この状態で、P型トラン
ジスタに対して、ゲート電極24、第1のサイドウォー
ルスペーサ28をマスクとして所定導電型の不純物をイ
オン注入しP型の不純物拡散層領域26を形成する。
【0047】次に、第1のサイドウォールスペーサ27
および28より誘電率の小さい絶縁膜、例えばシリコン
酸化膜をCVD法等により堆積し、同様にしてこの絶縁
膜をエッチバックして第2のサイドウォールスペーサ3
0および32を形成する。この状態で、N型トランジス
タに対して、ゲート電極23および第1のサイドウォー
ルスペーサ27および第2のサイドウォールスペーサ3
0をマスクとして所定導電型の不純物をイオン注入しN
型の不純物拡散層領域31を形成する。続いて、P型
トランジスタに対して、ゲート電極24および第1のサ
イドウォールスペーサ28および第2のサイドウォール
スペーサ32をマスクとして所定導電型の不純物をイオ
ン注入しP型の不純物拡散層領域33を形成する。続
いて、アニールより不純物の活性化処理を行う。上記の
処理は、例えば1000℃1秒程度で行うが、できる限
り処理時間を短くし、熱履歴を短くすることで、不純物
の拡散を抑制するのが望ましい。しかる後、拡散層領域
31、33およびゲート電極23および24の表層に金
属シリサイド層34を形成する。このシリサイド層は、
例えば、チタンシリサイド、コバルトシリサイド、ニッ
ケルシリサイド等の金属シリサイドからなる。金属シリ
サイド層を形成した後、層間絶縁膜35、さらにはドレ
インおよびソース電極を含む配線用電極36を所望の回
路方式に従って形成する。
【0048】以上のように、N型トランジスタは、ゲー
ト電極23をマスクとして所定導電型の不純物をイオン
注入しN型の不純物拡散層領域25を形成し、P型ト
ランジスタは、ゲート電極24、第1のサイドウォール
スペーサ28をマスクとして所定導電型の不純物をイオ
ン注入しP型の不純物拡散層領域26を形成すること
で、N型とP型トランジスタの実効ゲート長をそれぞれ
独立に設定できる製造方法を提供することができる。さ
らに、ゲート電極24の内側の側壁には高い誘電率を有
した絶縁膜を用いているため、高い駆動電流を同時に確
保できる。しかも、高い誘電率を有したサイドウォール
スペーサの使用を必要最小限にとどめ、残りの部分は誘
電率の小さい絶縁膜(シリコン酸化膜)用いてサイドウ
ォールスペーサを形成しているので、寄生容量の増大も
抑制することができる。なお、上記第5の実施の形態例
では、従来の方法でN型トランジスタを、第1の実施例
の形態でP型トランジスタを製造したが、従来の方法で
P型トランジスタを、第1の実施例の形態でN型トラン
ジスタを製造することもできる。
【0049】図10は本発明による第6の実施の形態を
示した図で、この発明を用いて、N型およびP型両トラ
ンジスタを同一基板上に製造する実施例の形態である。
この図9は、前述の第1および第2の実施例の形態を組
み合わせることによって、N型とP型トランジスタをそ
れぞれ独立に設計できる半導体装置の製造方法である。
【0050】シリコン基板1にPウェル20、Nウェル
領域21および素子分離用のフィールド酸化膜2を形成
後、ゲート絶縁膜3およびポリシリコンからなるゲート
電極23および24を形成する。次に、シリコン酸化膜
よりも誘電率の大きい絶縁膜、例えば、窒化シリコン膜
や酸化チタン膜等をCVD法等により堆積し、この絶縁
膜をエッチバックしてゲート電極23および24の側壁
に第1のサイドウォールスペーサ27および28を形成
する。この時、デバイスの信頼性を確保するため、第1
のサイドウォールスペーサを堆積する前に、例えば65
0℃でライト酸化を行い、シリコン基板1およびゲート
電極23および24の表面を極薄膜のシリコン酸化膜で
被覆しても良い。この状態で、N型トランジスタに対し
て、ゲート電極23および第1のサイドウォールスペー
サ27をマスクとして所定導電型の不純物をイオン注入
しN型の不純物拡散層領域25を形成する。
【0051】次に、第1のサイドウォールスペーサ27
および28より誘電率の小さい絶縁膜、例えばシリコン
酸化膜をCVD法等により堆積し、同様にしてこの絶縁
膜をエッチバックして第2のサイドウォールスペーサ2
9および37を形成する。この状態で、P型トランジス
タに対して、ゲート電極24、第1のサイドウォールス
ペーサ28および第2のサイドウォールスペーサ29を
マスクとして所定導電型の不純物をイオン注入しP
の不純物拡散層領域26を形成する。
【0052】次に、第1のサイドウォールスペーサ27
および28より誘電率の小さい絶縁膜、例えばシリコン
酸化膜をCVD法等により堆積し、同様にしてこの絶縁
膜をエッチバックして第3のサイドウォールスペーサ3
0および32を形成する。この状態で、N型トランジス
タに対して、ゲート電極23および第1のサイドウォー
ルスペーサ27、第2のサイドウォールスペーサ37お
よび第3のサイドウォールスペーサ30をマスクとして
所定導電型の不純物をイオン注入しN型の不純物拡散
層領域31を形成する。
【0053】続いて、P型トランジスタに対して、ゲー
ト電極24および第1のサイドウォールスペーサ28、
第2のサイドウォールスペーサ29および第3のサイド
ウォールスペーサ32をマスクとして所定導電型の不純
物をイオン注入しP型の不純物拡散層領域33を形成
する。
【0054】続いて、アニールより不純物の活性化処理
を行う。上記の処理は、例えば1000℃1秒程度で行
うが、できる限り処理時間を短くし、熱履歴を短くする
ことで、不純物の拡散を抑制するのが望ましい。しかる
後、拡散層領域31、33およびゲート電極23および
24の表層に金属シリサイド層34を形成する。このシ
リサイド層は、例えば、チタンシリサイド、コバルトシ
リサイド、ニッケルシリサイド等の金属シリサイドから
なる。金属シリサイド層を形成した後、層間絶縁膜3
5、さらにはドレインおよびソース電極を含む配線用電
極36を所望の回路方式に従って形成する。
【0055】以上のように、N型トランジスタは、ゲー
ト電極23および第1のサイドウォールスペーサ27を
マスクとして所定導電型の不純物をイオン注入しN
の不純物拡散層領域25を形成し、P型トランジスタ
は、ゲート電極24、第1のサイドウォールスペーサ2
8および第2のサイドウォールスペーサ29をマスクと
して所定導電型の不純物をイオン注入しP型の不純物
拡散層領域26を形成することで、第5の実施例の形態
よりもより広範囲にN型とP型トランジスタの実効ゲー
ト長をそれぞれ独立に設定できる製造方法を提供するこ
とができる。さらに、ゲート電極23および24の内側
の側壁には高い誘電率を有した絶縁膜を用いているた
め、高い駆動電流を同時に確保できる。しかも、高い誘
電率を有したサイドウォールスペーサの使用を必要最小
限にとどめ、残りの部分は誘電率の小さい絶縁膜(シリ
コン酸化膜)用いてサイドウォールスペーサを形成して
いるので、寄生容量の増大も抑制することができる。な
お、上記第6の実施の形態例では、第1の実施例の形態
でN型トランジスタを、第2の実施例の形態でP型トラ
ンジスタを製造したが、第2の実施例の形態でP型トラ
ンジスタを、第1の実施例の形態でN型トランジスタを
製造することもできる。
【0056】図11は本発明による第7の実施の形態を
示した図で、前記第5の実施の形態において、絶縁膜の
エッチバックにより形成した第1のサイドウォールスペ
ーサ27および28を用いる変わりに、第1の薄膜42
および44を用い、以下前記第5の実施の形態に基づい
てトランジスタを製造した。上記第1の薄膜42および
44は、シリコン酸化膜よりも誘電率の大きい絶縁膜、
例えば、窒化シリコン膜や酸化チタン膜等をCVD法等
により堆積したものである。
【0057】以上のように、N型トランジスタは、ゲー
ト電極23をマスクとして所定導電型の不純物をイオン
注入しN型の不純物拡散層領域25を形成し、P型ト
ランジスタは、ゲート電極24、第1の薄膜44をマス
クとして所定導電型の不純物をイオン注入しP型の不
純物拡散層領域26を形成することで、前記第5の実施
の形態例同様、N型とP型トランジスタの実効ゲート長
をそれぞれ独立に設定できる製造方法を提供することが
できる。さらに、ゲート電極24の内側の側壁には高い
誘電率を有した絶縁膜を用いているため、高い駆動電流
を同時に確保できる。しかも、高い誘電率を有したサイ
ドウォールスペーサの使用を必要最小限にとどめ、残り
の部分は誘電率の小さい絶縁膜(シリコン酸化膜)用い
てサイドウォールスペーサを形成しているので、寄生容
量の増大も抑制することができる。なお、上記第7の実
施の形態例では、従来の方法でN型トランジスタを、第
3の実施例の形態でP型トランジスタを製造したが、従
来の方法でP型トランジスタを、第3の実施例の形態で
N型トランジスタを製造することもできる。
【0058】図12は本発明による第8の実施の形態を
示した図で、前記第6の実施の形態において、絶縁膜の
エッチバックにより形成した第1のサイドウォールスペ
ーサ27および28、第2のサイドウォールスペーサ2
9および37を用いる変わりに、第1の薄膜42および
44、第2の薄膜45および47を用いて、以下前記第
6の実施の形態に基づいてトランジスタを製造した。上
記第1の薄膜42および44は、シリコン酸化膜よりも
誘電率の大きい絶縁膜、例えば、窒化シリコン膜や酸化
チタン膜等をCVD法等により堆積したものである。ま
た、第2の薄膜45および47は誘電率の低い絶縁膜、
シリコン酸化膜を堆積して形成したものである。
【0059】以上のように、N型トランジスタは、ゲー
ト電極23および第1の薄膜42をマスクとして所定導
電型の不純物をイオン注入しN型の不純物拡散層領域
25を形成し、P型トランジスタは、ゲート電極24、
第1の薄膜44および第2の薄膜45をマスクとして所
定導電型の不純物をイオン注入しP型の不純物拡散層
領域26を形成することで、第6の実施例の形態よりも
より広範囲にN型とP型トランジスタの実効ゲート長を
それぞれ独立に設定できる製造方法を提供することがで
きる。さらに、ゲート電極23および24の内側の側壁
には高い誘電率を有した絶縁膜を用いているため、高い
駆動電流を同時に確保できる。しかも、高い誘電率を有
したサイドウォールスペーサの使用を必要最小限にとど
め、残りの部分は誘電率の小さい絶縁膜(シリコン酸化
膜)用いてサイドウォールスペーサを形成しているの
で、寄生容量の増大も抑制することができる。なお、上
記第8の実施の形態例では、第3の実施例の形態でN型
トランジスタを、第4の実施例の形態でP型トランジス
タを製造したが、第4の実施例の形態でP型トランジス
タを、第3の実施例の形態でN型トランジスタを製造す
ることもできる。
【0060】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
MIS型トランジスタに対して、高い誘電率を有する絶
縁膜でサイドウォールスペーサを形成し、これを導入端
として不純物拡散層領域を形成するので、短チャネル効
果を十分に抑制し、かつソース・ドレイン寄生抵抗の抑
制が達成されるため、高い駆動能力を同時に達成するこ
とができる。この時、高誘電率のサイドウォールスペー
サの側壁は高駆動電流を達成するために必要な最適膜厚
のみ(5から15nm)とし、その外側のサイドウォー
ルスペーサは誘電率の小さい絶縁膜(シリコン酸化膜)
で構成するので、寄生容量を低く抑えることができる。
この結果、微細MIS型トランジスタの高速動作が可能
になる。
【0061】また、N型トランジスタとP型トランジス
タによって構成されたMIS型半導体装置に関して、N
型トランジスタとP型トランジスタの実効ゲート長をそ
れぞれ独立に設計して同一基板上に形成可能な製造方法
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による第1の実施の形態によるMIS型
電界効果トランジスタの完成断面図。
【図2】第1の実施の形態によるMIS型電界効果トラ
ンジスタの製造工程を説明する図。
【図3】サイドウォールスペーサ材料に用いる絶縁膜の
比誘電率と駆動電流および寄生抵抗の関係を示す図。
【図4】サイドウォールスペーサ材料に用いる絶縁膜の
比誘電率とトランジスタ遅延および寄生容量の関係を示
す図。
【図5】サイドウォールスペーサ材料の膜厚とトランジ
スタの駆動電流との関係を示す図。
【図6】本発明による第2の実施の形態によるMIS型
電界効果トランジスタの完成断面図。
【図7】本発明による第3の実施の形態によるMIS型
電界効果トランジスタの完成断面図。
【図8】本発明による第4の実施の形態によるMIS型
電界効果トランジスタの完成断面図。
【図9】本発明による第5の実施の形態によるMIS半
導体装置の完成断面図。
【図10】本発明による第6の実施の形態によるMIS
半導体装置の完成断面図。
【図11】本発明による第7の実施の形態によるMIS
半導体装置の完成断面図。
【図12】本発明による第8の実施の形態によるMIS
半導体装置の完成断面図。
【符号の説明】
1…半導体基板、又はP導電型ウエル領域、2…フィー
ルド酸化膜、3…ゲート絶縁膜、4…ゲート電極、5…
第1のサイドウォールスペーサ、6…第1の不純物領域
(N-またはP-)、7…第2のサイドウォールスペー
サ、8…第2の不純物領域(N+またはP+)、9…金属
シリサイド層、10…層間絶縁膜、11…金属電極、1
3…第1の薄膜、14…第2の薄膜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5F048 AA07 AC01 AC03 BA01 BB01 BB05 BB08 BC01 BC06 BE03 BF06 BF16 DA24 DA25 DA27 DA29 DA30 5F140 AA05 AA10 AA21 AB03 BA01 BF04 BF11 BF18 BG09 BG10 BG11 BG12 BG14 BG34 BG49 BG52 BG53 BH15 BJ08 BJ11 BJ27 BK02 BK13 BK21 BK34 CB01 CB08 CF04

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第1の導電型を有する半導体基板上に形成
    されたゲート絶縁膜と、 前記ゲート絶縁膜上面に設けられたゲート電極と、 前記ゲート電極の側壁に接し、前記ゲート電極の外周部
    に延在する半導体基板表面上に形成された第1のサイド
    ウォールスペーサと、 前記ゲート電極および第1のサイドウォールスペーサを
    マスクとして、前記第1の導電型と反対の導電型を有す
    る第1の不純物を前記半導体基板に導入し、形成された
    第1の不純物領域と、 前記記第1のサイドウォールスペーサの側壁に積層して
    形成された第2のサイドウォールスペーサと、 前記ゲート電極、第1および第2のサイドウォールスペ
    ーサをマスクとして、前記半導体基板に前記第1の不純
    物を導入し形成された前記第1の不純物領域よりも高い
    不純物濃度を有する第2の不純物領域とを備え、 前記第1のサイドウォールスペーサは、所定の幅で前記
    ゲート絶縁膜より高い比誘電率を有し、 前記第1の不純物領域は、その一端が前記ゲート電極の
    底辺下に位置することを特徴とするMIS型半導体装
    置。
  2. 【請求項2】前記第2のサイドウォールスペーサは、前
    記第1のサイドウォールスペーサより低い比誘電率誘電
    率を有することを特徴とする請求項1に記載のMIS型
    半導体装置。
  3. 【請求項3】前記第2のサイドウォールスペーサは、シ
    リコン酸化膜で形成されていることを特徴とする請求項
    1に記載のMIS型半導体装置。
  4. 【請求項4】前記第1のサイドウォールスペーサの所定
    の幅は、5乃至15nmであることを特徴とする請求項
    1に記載のMIS型半導体装置。
  5. 【請求項5】前記第1のサイドウォールスペーサは、窒
    化シリコン、シリコン、酸化アルミニウム、酸化タンタ
    ル、酸化チタン、酸化ジルコニウムおよび酸化ハフニウ
    ムのいずれかの材料から選択されることを特徴とする請
    求項1に記載のMIS型半導体装置。
  6. 【請求項6】前記第1のサイドウォールスペーサと前記
    半導体基板上およびゲート電極間に絶縁膜が形成されて
    いることを特徴とする請求項1に記載のMIS型半導体
    装置。
  7. 【請求項7】前記第1のサイドウォールスペーサは、前
    記半導体基板上に延在した薄膜よりなることを特徴とす
    る請求項1に記載のMIS型半導体装置。
  8. 【請求項8】第1の導電型を有する半導体基板上に形成
    されたゲート絶縁膜と、 前記ゲート絶縁膜上面に設けられたゲート電極と、 前記ゲート電極の側壁に接し、前記ゲート電極の外周部
    に延在する半導体基板表面上に形成された第1のサイド
    ウォールスペーサと、 さらに、前記記第1のサイドウォールスペーサの側壁に
    積層して形成された第2のサイドウォールスペーサと、 前記ゲート電極、第1および第2のサイドウォールスペ
    ーサをマスクとして、前記第1の導電型と反対の導電型
    を有する不純物を前記半導体基板に導入し、形成された
    第1の不純物領域と、 前記記第2のサイドウォールスペーサの側壁に積層して
    形成された第3のサイドウォールスペーサと、 前記ゲート電極、第1、第2および第3のサイドウォー
    ルスペーサをマスクとして、前記半導体基板に前記不純
    物を導入し、形成された前記第1の不純物領域よりも高
    い不純物濃度を有する第2の不純物領域とを備え、 前記第1のサイドウォールスペーサは、所定の幅で前記
    ゲート絶縁膜より高い比誘電率誘電率を有し、 前記第1の不純物領域は、その一端が前記ゲート電極の
    底辺下に位置することを特徴とするMIS型半導体装
    置。
  9. 【請求項9】前記第2および第3のサイドウォールスペ
    ーサは、前記第1のサイドウォールスペーサより低い比
    誘電率を有することを特徴とする請求項8に記載のMI
    S型半導体装置。
  10. 【請求項10】前記第1のサイドウォールスペーサの所
    定の幅は、5乃至15nmであることを特徴とする請求
    項8に記載のMIS型半導体装置。
  11. 【請求項11】前記第1のサイドウォールスペーサは、
    前記半導体基板上に延在した薄膜よりなり、 前記第2のサイドウォールスペーサは、前記第1のサイ
    ドウォールスペーサ表面上に積層された薄膜よりなるこ
    とを特徴とする請求項8に記載のMIS型半導体装置。
  12. 【請求項12】前記第1の導電型をp型とするn型MO
    Sおよび前記第1の導電型をn型とするp型MOSを含
    むMIS型半導体装置において、 前記n型MOSまたはp型MOSの少なくとも一方が、
    前記第1のサイドウォールスペーサを有することを特徴
    とする請求項1に記載のMIS型半導体装置。
  13. 【請求項13】第1の導電型を有する半導体基板上にゲ
    ート絶縁膜を形成し、 前記ゲート絶縁膜上面にゲート電極を設ける工程と、 前記ゲート電極の側壁に接し、前記ゲート電極の外周部
    に延在する半導体基板表面上に、所定の幅で前記ゲート
    絶縁膜より高い比誘電率を有する材料を堆積し、第1の
    サイドウォールスペーサを形成する工程と、 前記ゲート電極および第1のサイドウォールスペーサを
    マスクとして、前記第1の導電型と反対の導電型を有す
    る第1の不純物を前記半導体基板に導入し、第1の不純
    物領域を形成する工程と、 前記記第1のサイドウォールスペーサの側壁に絶縁材料
    を積層し、第2のサイドウォールスペーサを形成する工
    程と、 前記ゲート電極、第1および第2のサイドウォールスペ
    ーサをマスクとして、前記半導体基板に前記第1の不純
    物を導入し、前記第1の不純物領域よりも高い不純物濃
    度を有する第2の不純物領域を形成する工程と、 その一端が前記ゲート電極の底辺下に位置するように前
    記第1の不純物領域を熱処理する工程とを具備すること
    を特徴とするMIS型半導体装置の製造方法。
  14. 【請求項14】前記第2のサイドウォールスペーサは、
    前記第1のサイドウォールスペーサの比誘電率より低い
    絶縁材料を用いることを特徴とする請求項13に記載の
    MIS型半導体装置の製造方法。
  15. 【請求項15】前記第2のサイドウォールスペーサは、
    シリコン酸化膜からなることを特徴とする請求項13に
    記載のMIS型半導体装置の製造方法。
  16. 【請求項16】前記第1のサイドウォールスペーサは、
    窒化シリコン、シリコン、酸化アルミニウム、酸化タン
    タル、酸化チタン、酸化ジルコニウムおよび酸化ハフニ
    ウムのいずれかの材料から選択されることを特徴とする
    請求項13に記載のMIS型半導体装置の製造方法。
  17. 【請求項17】前記第1のサイドウォールスペーサは、
    膜厚が一定な薄膜を用いて形成することを特徴とする請
    求項13に記載のMIS型半導体装置の製造方法。
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