JP2003255166A - 立体光導波路、その製造方法、光モジュール、および光伝送システム - Google Patents

立体光導波路、その製造方法、光モジュール、および光伝送システム

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石田　　薫
Tsuguhiro Korenaga
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の立体光導波路は、調整が複雑で高コス
トであった。 【解決手段】 導波路２および反射面１３を有する導波
路基板１を少なくとも含む、複数のレンズ基板３、１
０、アイソレータ基板８、波長多重フィルタ７６などの
平板型光基板が積層されて構成された立体光導波路であ
って、その複数の平板型光基板どうしは、少なくとも二
つの平板型光基板に一体的に成型されたマーカ１０１で
位置決めされ、導波路２に導入された光が反射面１６で
反射され、レンズ基板３、１０、アイソレータ基板８を
通る立体光導波路。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光デバイスを高機
能化するための、立体光導波路、その製造方法、光モジ
ュール、および光伝送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、立体光導波路を形成する場合、例
えば導波路内を進行してきた光を導波路に対して垂直に
出力するためには、図２６に示すように、波長多重（Ｗ
ＤＭ）フィルタなどの平板フィルタ１００６を、平板型
導波路１００１に斜めに形成した溝１００２に挿入し
て、上記平板フィルタ１００６から反射または透過され
た光を空間的に配置された受光素子１００８、レンズ
系、別の平板型光導波路などに方向付けることにより立
体光導波路を形成していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような立
体光導波路では、それぞれの導波路、レンズ系における
空間的な調整が非常に困難であった。例えば、平板型光
導波路内に平板型の波長多重フィルタを挿入する場合、
波長多重フィルタを支持するための溝の作製は非常に精
密に行う必要があり、また、その溝に波長多重フィルタ
を挿入した後も、さらに精密な波長多重フィルタの微細
な位置決めのための調整作業が必要となる。
【０００４】従って、このような立体光導波路にさらに
アイソレータ等の光デバイスを挿入して高機能化を図ろ
うとすると、調整箇所が増えるためにコスト高となって
いた。
【０００５】本発明は、上記の課題を鑑み、複雑な調整
が必要とされず、低コストな立体光導波路、その製造方
法、光モジュール、または光伝送システムを提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】第１の本発明（請求項１
に対応）は、少なくとも平板型光導波路を有する平板型
光基板と、レンズ層、アイソレータ層、またはフィルタ
層を有する平板型光基板とが積層されて構成された立体
光導波路である。
【０００７】第２の本発明（請求項２に対応）前記平板
型導波路、および前記レンズ層、アイソレータ層、また
はフィルタ層が、成型ガラスに一体的に成型された平板
型光基板である、第１の本発明の立体光導波路である。
【０００８】第３の本発明（請求項３に対応）は、前記
平板型光導波路に反射面が成型され、光が前記レンズ
層、前記アイソレータ層、または前記フィルタ層を通
る、第１または第２の本発明の立体光導波路である。
【０００９】第４の本発明（請求項４に対応）は、さら
に受光素子、または発光素子を備えた、第３の本発明の
立体光導波路である。
【００１０】第５の本発明（請求項５に対応）は、前記
平板型光基板どうしは、少なくとも２つの平板型光基板
に一体成型されたマーカで位置決めされた、第１〜４の
本発明のいずれかの本発明の立体光導波路である。
【００１１】第６の本発明（請求項６に対応）は、平板
型光導波路を有する複数の平板型光基板が積層されて構
成された立体光導波路を製造する方法であって、前記少
なくとも二つの平板型光基板を成型する際、マーカも同
時にそれぞれ成型しておき、前記平板型光基板を前記マ
ーカを利用して位置決めすることにより積層する、立体
光導波路の製造方法である。
【００１２】第７の本発明（請求項７に対応）は、前記
マーカは凹または凸形状であって、前記平板型光基板を
積層した後、光を前記マーカに照射させて、光を前記マ
ーカに反射または透過させることによって前記平板型光
基板を位置決めする、第６の本発明の立体光導波路の製
造方法である。
【００１３】第８の本発明（請求項８に対応）は、前記
マーカの底面が斜め、散乱面、またはレンズ面に成型さ
れている、第７の本発明の立体光導波路の製造方法であ
る。
【００１４】第９の本発明（請求項９に対応）は、電気
入力端子と、前記電気入力端子を有した発光素子と、前
記発光素子から発せられた光を伝達する第３の本発明の
立体光導波路と、前記立体光導波路を伝達された光を出
力する光出力端子と、を備える送信用光モジュールであ
る。
【００１５】第１０の本発明（請求項１０に対応）は、
光入力端子と、前記光入力端子を有した第３の本発明の
立体光導波路と、前記立体光導波路を介して伝達された
光を受光する受光素子と、前記受光素子に接続された電
気出力端子と、を備える受信用光モジュールである。
【００１６】第１１の本発明（請求項１１に対応）は、
電気入力端子と、少なくとも平板型導波路を有する平板
型光基板、アイソレータを有する平板型光基板、および
波長多重フィルタを有する平板型光基板、が積層されて
構成された立体光導波路と、前記電気入力端子を有し前
記立体光導波路に接続された発光素子と、前記立体光導
波路に接続された受光素子と、前記受光素子に接続され
た電気出力端子と、前記立体光導波路に接続された光入
出力端子と、を備え、前記電気入力端子から入力された
電気信号を光信号に変換して前記光入出力端子から送信
し、前記光入出力端子で受信した光信号を電気信号に変
換して前記電気出力端子に出力する、送受信用光モジュ
ール。
【００１７】第１２の本発明（請求項１２に対応）は、
第９の本発明の送信用光モジュールと、前記送信用光モ
ジュールに接続される光ファイバケーブルと、前記光フ
ァイバケーブルに接続される第１０の本発明の受信用光
モジュールと、を備える送受信用光伝送システムであ
る。
【００１８】第１３の本発明（請求項１３に対応）は、
第１１の本発明の送受信用光モジュールと、前記送受信
用光モジュールに接続される光ファイバケーブルと、を
備える光送受信用光伝送システムである。
【００１９】
【発明の実施の形態】（実施の形態１）図１に本発明の
実施の形態１の立体光導波路の断面構成を示す。
【００２０】本発明の平板型導波路を有する平板型光基
板としての導波路基板１は、成型ガラスで成型され、そ
の上面に本発明の平板型光導波路である導波路２が成型
されている。導波路２の端部には、ミラーなどにより作
製された本発明の反射面である反射面１３が成型されて
いる。そして、導波路基板１の上面には、本発明のレン
ズ層を有した平板型光基板であるレンズ基板３が積層さ
れている。レンズ基板３には、レンズ４が一体的に成型
ガラスで成型されている（以下のレンズ基板も同様）。
【００２１】レンズ基板３の上部には、偏向子５、ファ
ラデー回転子６、および偏向子７がこの順に積層され、
本発明のアイソレータ層を有した平板型光基板であるア
イソレータ基板８が成型されている。そして、アイソレ
ータ基板８の上面には、成型ガラスでレンズ９が一体的
に成型された本発明のレンズ層を有する平板型光基板で
あるレンズ基板１０が積層されている。レンズ基板１０
の上部には、本発明の平板型光導波路である導波路基板
１１が積層されている。導波路基板１１もまた、成型ガ
ラスで成型されている。
【００２２】そして、導波路基板１１には、本発明の平
板型光導波路である導波路１２がその下部に成型されて
いる。そして、導波路１２の端部には、ミラーなどによ
り成型された本発明の反射面である反射面１４が成型さ
れている。反射面１３、レンズ４、レンズ９、反射面１
４は、上下方向で整列するように位置合わせがされて配
置されている。その位置合わせの方法については後述す
る。また、反射面１３は、水平方向からの光を垂直方向
に進行させるように角度付け（４５°傾斜）がされてい
る。また反射面１４は、垂直方向からの光を水平方向に
進行させるように角度付け（４５°傾斜）がされてい
る。また、各基板は、それぞれ紫外線硬化性接着剤など
により接着されている。
【００２３】なお、ここで上下方向、水平（左右）方向
は、図１の上下方向、水平（左右）方向と一致するとし
て説明している（以下の説明でも同様）。
【００２４】このような立体光導波路を製造するときに
は、上述のように反射面１３を有する導波路基板１とレ
ンズ４を有するレンズ基板３と、レンズ基板３とレンズ
９を有するレンズ基板１０と、およびレンズ基板１０と
反射面１４を有する導波路基板１１とをそれぞれ正確に
位置合わせする必要がある。図１１〜１２は、このよう
な位置合わせの方法を説明する図である。
【００２５】まず、図１１（ａ）に示すような凹型のマ
ーカ１０１を成型ガラスにプレス加工することにより各
基板（導波路基板１、レンズ基板３、レンズ基板１０、
導波路基板１１）と一体的に成型する。図１１（ａ）に
示すように、このマーカ１０１は、４５°に角度付けさ
れた底面１０２を有している。
【００２６】次に、図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を参
照しながら、導波路基板１とレンズ基板３とを例にし
て、これらの基板を位置合わせをする工程について説明
する。
【００２７】上記のように角度付けされた底面１０２
は、各基板の長手方向に対して同じ向きに成型されてい
る。また各基板に成型されたマーカ１０１どうしの水平
位置は、各基板の長手方向（以下Ｘ方向という）、その
基板の面内でＸ方向に直交する方向（以下Ｙ方向とい
う）、各基板が積層される方向（上下方向、すなわちＸ
方向、およびＹ方向に直交する方向、以下Ｚ方向とい
う）に所定の間隔が設けられて決定される。例えば、図
１２に示すように、導波路基板１に成型されるマーカ１
０１と、レンズ基板３に成型されるマーカ１０１とは各
基板のＹ方向においては同位置で、Ｘ方向においては所
定の間隔ａが、Ｚ方向には所定の間隔ｃが設けられて各
基板が積層される。
【００２８】図１２（ａ）に示すように、導波路基板１
を下方に設置し、レンズ基板３を導波路基板１の上方に
紫外線硬化性接着剤を介して設置する。そして、平行光
線を放射する光源１０５を導波路基板１の下方に設置
し、レンズ基板３の上方、および積層された基板の側方
にＣＣＤカメラ等の受光装置１０６を設置する。次に、
光源１０５から平行光線を照射すると、マーカ１０１が
存在する部分においては、その底面１０２において、照
射された平行光線の一部が反射され、積層された基板の
側部に設置された受光装置１０６に到達する。そして、
マーカ１０１が無い部分は、照射された平行光線が全部
透過してレンズ基板３の上方に設置された受光装置１０
６に到達する。
【００２９】図１２（ｂ）は、このようにしてレンズ基
板３の上方に設置された受光装置１０６から得られた像
を示す。ここで、像１０８は、導波路基板１に成型され
たマーカ１０１に対応し、像１０７は、レンズ基板３に
成型されたマーカ１０１に対応し、それぞれ周囲部分よ
りも暗い部分として受光装置１０６に映し出される。そ
して、像１０７と像１０８のＹ方向位置が一致し、像１
０７と像１０８とのＸ方向への間隔が所定の間隔ａにな
るように、導波路基板１とレンズ基板３とを水平方向に
移動させることによって調整する。
【００３０】図１２（ｃ）は、上記のようにして積層さ
れた基板の側方に設置された受光装置１０６から得られ
た像を示す。ここで像１１６は、レンズ基板３に成型さ
れたマーカ１０１に対応し、像１１７は、導波路基板１
に成型されたマーカ１０１に対応し、それぞれ周囲部分
よりも明るい部分として受光装置１０６に映し出され
る。そして、像１１６と像１１７との間隔が所定の間隔
ｃになるように、導波路基板１とレンズ基板３とをＺ方
向に移動させることによって調整する。そして、所定の
位置に合わされたとき、導波路基板１とレンズ基板３と
に紫外線を照射し、導波路基板１とレンズ基板３との間
に充填された紫外線硬化性接着剤を硬化させて両者を接
着する。
【００３１】同様にして、レンズ基板３とレンズ基板１
０と、およびレンズ基板１０と導波路基板１１とを、位
置合わせする。このとき、レンズ基板３とレンズ基板１
０との位置合わせは、レンズ基板３とレンズ基板１０と
の間にアイソレータ基板８を挟んだ状態で、上記と同様
の操作により、これらの位置決めを行う。
【００３２】このとき、上記の所定の間隔ａは、各基板
間において異なってもよいが、各基板が積層されたとき
に、反射面１３、レンズ４、レンズ９、反射面９が上下
方向に整列するように決定される。
【００３３】次に、このような立体光導波路を使用する
ときの動作について説明する。
【００３４】導波路基板１に導入された光は、導波路２
の内部を進行し、反射面１３により上方に反射されて、
レンズ４に入射される。そして、レンズ４を出た光は、
アイソレータ基板８、レンズ９を通過して、反射面１４
で水平方向に反射され、導波路１２内を進行する。
【００３５】このようにすれば、複雑な調整が必要とさ
れず、低コストで精度のよい立体光導波路を提供するこ
とができる。
【００３６】なお、上記の説明において、各基板に成型
されたマーカ１０１どうしの水平位置（Ｘ方向、および
Ｙ方向）は、Ｙ方向においては同位置で、Ｘ方向におい
て所定の間隔ａが設けられて各基板が位置決めされると
して説明したが、Ｙ方向において所定の間隔ｂが設けら
れて位置決めされてもよい。
【００３７】また、本実施の形態１においては、アイソ
レータ基板８と導波路基板１１との間にレンズ基板１０
が存在するとして説明したが、図２に示すように、反射
面１３から反射された光をレンズ２４のみで反射面１４
に集光されることができれば、レンズ基板１０は無くて
もよく、その場合でも上記と同様の効果を得ることがで
きる。
【００３８】また、本実施の形態において、導波路基板
１とレンズ基板３との位置合わせをする際に、光源１０
５を導波路基板１の下方に設置するとして説明したが、
図１３（ａ）に示すように、光源１０５を導波路基板１
およびレンズ基板３の側方に設置してもよい。その際に
は、光源１０５から照射された平行光は、マーカ１０１
の底面１０２に当たらない部分においては、そのまま導
波路基板１およびレンズ基板３の反対側の側方へ通過し
て、導波路基板１およびレンズ基板３の側方に設置され
た受光装置１０６に至り、マーカ１０１の底面１０２に
当たる部分においては、平行光の一部が上方に反射さ
れ、レンズ基板３の上方に設置された受光装置１０６に
至る。
【００３９】その結果、レンズ基板３の上方に設置され
た受光装置１０６において得られる像は、図１３（ｂ）
に示すように、レンズ基板３のマーカ１０１に対応して
像１０９が、導波路基板１のマーカ１０１に対応して像
１１０が、それぞれ周囲部分よりも明るい部分として受
光装置１０６に映し出される。このように光源１０５を
導波路基板１とレンズ基板３の側方に配置しても、上記
と同様に像１０９と像１１０との間の距離ａを調整する
ことにより、導波路基板１とレンズ基板３とを水平方向
において所定の位置に位置決めすることができる。
【００４０】図１３（ｃ）は、上記のように導波路基板
１およびレンズ基板３の側方に設置された受光装置１０
６から得られた像を示す。ここで像１１８は、レンズ基
板３に成型されたマーカ１０１に対応し、像１１９は、
導波路基板１に成型されたマーカ１０１に対応し、それ
ぞれ周囲部分よりも暗い部分として受光装置１０６に映
し出される。そして、像１１８と像１１９との間隔が所
定の間隔ｃになるように、導波路基板１とレンズ基板３
とをＺ方向に移動させることによって調整する。そし
て、所定の位置に合わされたとき、上記と同様にして導
波路基板１とレンズ基板３とを接着する。
【００４１】また、以上までの説明において、各基板の
位置決めは、凹型のマーカ１０１を使用して行うとして
説明してきたが、凸型のマーカ１０３を使用して位置決
めをしてもよい。ここで図１１（ｄ）は、凸型のマーカ
１０３の底面１０４が４５°に角度付けされている場合
を示し、図１１（ｅ）は、凸型のマーカ１０３の底面１
０４が散乱面を有する場合を示し、図１１（ｆ）は、凸
型のマーカ１０３の底面１０４がレンズ形状の場合を示
す。
【００４２】これらの凸型のマーカ１０３を使用する場
合は、各基板間の間隔はスペーサー（図示せず）で固定
しておくか、上記のように接着剤を充填させておいて、
光源１０５を導波路基板１の下方または側方に配置し
て、上記凹型のマーカ１０１における場合と同様にして
各基板の水平位置、および上下位置を調整することがで
きる。
【００４３】また、以上までの説明では、マーカ１０
１、１０３の底面は４５°に角度付けされているとした
が、他の角度で角度付けされていてもよい。その場合
は、基板に対して斜め上方または下方に受光装置１０６
を配置し、光源１０５から平行光を照射すれば、同様に
受光装置１０６に映された像を観測することによって、
各基板間の間隔を調整することができる。
【００４４】また、以上までの説明では、底面が斜めに
成型されたマーカ１０１、１０３を使用して各基板の水
平方向および上下方向の位置決めを行うとして説明した
が、他の形状の底面１０２を有したマーカ１０１を使用
することも考えられる。
【００４５】また、図１４（ａ）、図１５（ａ）は、底
面１０２にレンズ形状を有したマーカ１０１を使用した
場合の各構成要素の配置例を示す。図１４（ａ）に示す
ように、光源１１１は、拡散光源であり、導波路基板１
から下方に所定の距離が空けられて配置されている。受
光装置１０６は、レンズ基板３の上方に設置されてい
る。そして、導波路基板１に下方から見て凹型のレンズ
形状である底面１０２を有する凹型のマーカ１０１が設
置され、レンズ基板３に、下方から見て凸型のレンズ形
状である底面１０２を有する凹型のマーカ１０１が設置
されている。ここで導波路基板１に成型された底面１０
２の凹型のレンズは、導波路基板１から所定の間隔を空
けられた光源１１１から照射された拡散光を平行光に屈
折させる、レンズ形状と屈折率を有する。
【００４６】そして、レンズ基板３に成型された底面１
０２の凸型のレンズとしてのレンズ形状と屈折率は、レ
ンズ基板３の底面１０２に入射した平行光をレンズ基板
３の上方に設置された受光装置１０６に集光させる、レ
ンズ形状と屈折率である。また、各基板におけるマーカ
１０１は、Ｘ位置、Ｙ位置とも同一位置、または所定の
位置に配置されている。このような配置において、光源
１１１から光を照射すると、光は、導波路基板１におけ
るマーカ１０１、およびレンズ基板３におけるマーカ１
０１を通過して受光装置１０６に集光される。このとき
の受光装置１０６で得られる像を図１４（ｂ）に示す。
すなわち、受光装置１０６においては、マーカ１０１自
体の像である像１１２と、像１１２の内側にレンズ形状
を有する底面１０２により集光された像１１３とが形成
される。このように、像１１２の内側に像１１３が形成
されるように導波路基板１またはレンズ基板３を水平方
向に調整することにより、導波路基板１とレンズ基板３
との水平方向の位置決めを行うことができる。
【００４７】そして、受光装置１０６における像１１３
の外径が所定の寸法になるように（すなわち、光源１１
１から照射された光が受光装置１０６において最もよく
集光されるように）導波路基板１とレンズ基板３との間
隔を調整することにより、導波路基板１とレンズ基板３
との間隔を調整（上下方向の位置決め）することができ
る。なお、図１４（ｂ）においては、像１１２および像
１１３がそれぞれ、二つ並んで示されているが、これは
各基板にそれぞれ同じタイプのマーカ１０１を並べて配
置した場合の像を示しており、このマーカ１０１は一つ
ずつ配置されていてもよい。
【００４８】また、図１５（ａ）は、図１４（ａ）の構
成の変形例を示し、この場合は、導波路基板１に成型さ
れるマーカ１０１の底面１０２は、下方から見て凸型の
レンズ形状で成型されている。そして、導波路基板１に
成型された底面１０２、およびレンズ基板３に成型され
た底面１０２の、凸型レンズとしてのレンズ形状と屈折
率は、光源１１１から照射された光が、導波路基板１の
底面１０２とレンズ基板３の底面１０２を通過して、レ
ンズ基板３の上方に設置された受光装置１０６に集光さ
れる、レンズ形状と屈折率である。そして、受光装置１
０６には、図１５（ｂ）のように同様に像１１４、１１
５が形成され、上記と同様にして導波路基板１とレンズ
基板３との水平方向、および上下方向の位置決めを行う
ことができる。
【００４９】なお、図１４、１５においては、凹型のマ
ーカ１０１を使用した例で説明したが、図１１（ｆ）に
示すように凸型のマーカ１０１が使用された構成でも上
記と同様である。
【００５０】また、図１６は、マーカ１０１の底面１０
２が散乱面（図１１（ｂ））である場合を示す。この場
合においては、図１６（ａ）に示すように受光装置１０
６を光源１０５に近接させて、導波路基板１の下方に配
置する。このような配置において光源１０５から平行光
を照射すると、マーカ１０１の底面１０２における散乱
面において、光が散乱され、散乱された光の一部が導波
路基板１の下方に設置された受光装置１０６に至る。図
１６（ｂ）は、受光装置１０６において受光された像を
示す。ここで像１２０は、レンズ基板３に成型されたマ
ーカ１０１に対応し、像１２１は、導波路基板１に成型
されたマーカ１０１に対応する。像１２０と像１２１と
の距離が所定の間隔ａになるよう調整することにより、
各基板を水平方向に位置決めすることができる。
【００５１】また、図１７は、マーカ１０１の底面１０
２の形状が斜めに成型された散乱面である場合を示す。
この場合においては、図１７（ａ）に示すように、受光
装置１０６を導波路基板１の下方、導波路基板１とレン
ズ基板３の側方、またはレンズ基板３の上方に設置する
ことができる。このような配置において、導波路基板１
の下方に設置された光源１０５から光を照射し、各基板
の水平位置、または上下位置を調整することができる。
【００５２】例えば、受光装置１０６をレンズ基板３の
上方、および導波路基板１とレンズ基板３の側方に配置
することにより、図１２に示す場合と同様に各基板の水
平方向と上下方向を同時に位置決めすることができる。
また、受光装置１０６を導波路基板１の下方、および導
波路基板１とレンズ基板３の側方に配置することによ
り、同様に各基板の水平方向と上下方向を同時に位置決
めすることができる。図１７（ｂ）はレンズ基板３の上
方にある受光装置１０６に映る像を示し、像１２２はレ
ンズ基板３に成型されたマーカ１０１に対応し、像１２
３は導波路基板１に成型されたマーカ１０１に対応す
る。図１７（ｃ）は、レンズ基板３と導波路基板１の側
方に配置された受光装置１０６に映る像を示し、像１２
４は、レンズ基板３に成型されたマーカ１０１に対応
し、像１２５は、導波路基板１に成型されたマーカ１０
１に対応する。図１７（ｄ）は、導波路基板１の下方に
設置された受光装置１０６に映る像を示し、像１２６
は、レンズ基板３に成型されたマーカ１０１に対応し、
導波路基板１に成型されたマーカ１０１に対応する。
【００５３】このように、マーカ１０１の底面が斜めに
成型された散乱面である場合には、基板に対して受光装
置１０６を三方向に配置することができるため、位置決
め方法に融通性がある。例えば、後述するように光が透
過しない基板を積層する場合も位置決め可能である。ま
た、三方に置かれた受光装置１０６を同時に観測しなが
ら調整すればより正確に位置決めをすることもできる。
【００５４】また、マーカ１０１の底面１０２が斜めに
成型されたレンズ面であることも考えられる。その場合
は、図１８（ａ）、（ｂ）に示すように、受光装置１０
６を光源１０５の光軸からずらして配置すればよい。
【００５５】また、マーカ１０１の底面１０２が散乱面
を有するレンズ面であることも考えられる。
【００５６】また、上記の説明では各基板に成型された
マーカ１０１は同種のものが組み合されるとしたが、異
種のマーカ１０１が組み合わされて位置決めされてもよ
い。例えば、一方の基板にその底面１０２が斜めに成型
されたマーカ１０１が成型され、もう一方の基板には底
面１０２が散乱面を有したマーカ１０１が成型されて、
位置決めされてもよい。また、一方の基板にその底面１
０２が斜めに成型されたマーカ１０１が成型され、もう
一方の基板には底面１０２がレンズ面を有したマーカ１
０１が成型されて、位置決めされてもよい。また、一方
の基板にその底面１０２が散乱面に成型されたマーカ１
０１が成型され、もう一方の基板には底面１０２がレン
ズ面を有したマーカ１０１が成型されて、位置決めされ
てもよい。なお、レンズ面を有したマーカ１０１と組み
合わせる場合は、光源１０５から照射される光は、厳密
に平行光でなくてもよい。
【００５７】また、上記説明では、各基板の位置決め方
法は、導波路基板１とレンズ基板３との位置決めをする
場合として説明したが、これら以外の基板（すなわち本
発明の平板型光基板）どうしを位置決めする場合として
も同様に適用できる。
【００５８】また、上記説明では、基板の下方から光を
照射して位置決めを行うとして説明したが、基板の上方
から光を照射することも考えられる。例えば図１に示す
ように導波路基板１、レンズ基板２、アイソレータ基板
８、およびレンズ基板１０が積層されている状態で、レ
ンズ基板１０の上にさらに導波路基板１２を積層して、
レンズ基板１０と導波路基板１１との位置決めを行う場
合、導波路基板１１の上方に光源１０５、および受光装
置１０６を配置し、レンズ基板１０および導波路基板１
１の側方に受光装置１０６を配置する。このとき、マー
カ１０１は、底面１０２が斜めに成型され散乱面を有し
ているものを使用する。そして、導波路基板１１の上方
から光を照射すると、マーカ１０１が存在しない部分
は、アイソレータ基板において、光が反射され、マーカ
１０１が存在する部分においては、光は側方に反射され
る。従って、導波路基板１１の上方に配置された受光装
置１０６には、図１２（ｂ）と同様の像が投影される。
また、導波路基板１１の側方に配置された受光装置１０
６には、図１２（ｃ）と同様の像が投影される。このよ
うにすると、基板の上方から光を照射して、基板の水平
方向、および上下方向の位置決めを同時にすることがで
きる。
【００５９】（実施の形態２）次に本発明の実施の形態
２について、図３を参照しながら説明する。
【００６０】図３に示す立体光導波路において、導波路
基板３１は、二つの導波路２２、３２を有する。ここ
で、導波路３２は、図３において紙面の奥側に導波路２
２に平行して配置される。そして、導波路２２は、その
端部に反射面３１３を有し、導波路３２は、その端部に
反射面３３３を有する。また、レンズ基板３３は、反射
面３１３に対応するレンズ３４と、反射面３３３に対応
するレンズ３０４とを有している。
【００６１】そして、アイソレータ８の上部には、レン
ズ３４に対応するレンズ２９を有するレンズ基板３０が
積層され、レンズ基板３０の上部には、導波路３１２と
導波路３１２の端部に設置されレンズ２９に対応する反
射面３１４を有する導波路基板３１が積層され、導波路
基板３１の上部には、レンズ３０４と対応するレンズ２
０９を有するレンズ基板３００が積層され、レンズ基板
３００の上部には、導波路３０２と導波路３０２の端部
に設置されレンズ２０９に対応する反射面３２４を有す
る導波路基板３０１が積層されている。
【００６２】ここで、反射面３１３、３３３は、実施の
形態１における反射面１３と同様に４５°に角度付けさ
れ、反射面３１４、３２４も、実施の形態１における反
射面１４と同様に４５°に角度付けされている。そし
て、実施の形態１と同様に反射面３１３と、レンズ３４
と、レンズ２９と、反射面３１４と、および反射面３３
３と、レンズ３０４と、レンズ２０９と、反射面３２４
とは、それぞれ上下方向に整列されている。
【００６３】ここで、導波路基板３１とレンズ基板３３
と、レンズ基板３３とレンズ基板３０と、レンズ基板３
０と導波路基板３１と、導波路基板３１とレンズ基板３
００と、レンズ基板３００と導波路基板３０１と、が実
施の形態１と同様にして位置決めが行われる（以下の実
施の形態においても同様）。
【００６４】このように立体光導波路を構成することに
より、導波路基板３１の導波路２２、３２に導入された
それぞれの光は、実施の形態１と同様の作用により、そ
れぞれ導波路３１２、３０２へ導かれる。このように、
本発明の平板型光基板を積層し、立体的に二つの導波路
を成型することにより、複雑な調整を必要とせず、低コ
ストで高機能な立体光導波路を提供することができる。
【００６５】なお、本実施の形態２においては、アイソ
レータ基板８と導波路基板３１との間にレンズ基板３０
が存在するとして、また、導波路基板３１と導波路基板
３０１との間にはレンズ基板３００が存在するとして、
説明したが、図４に示すように、反射面３１３から反射
された光がレンズ４４のみで反射面３１４に集光され、
反射面３３３から反射された光がレンズ４０４のみで反
射面３２４に集光されることができれば、レンズ基板３
０、３００は無くてもよく、その場合でも上記と同様の
効果を得ることができる。
【００６６】なお、本実施の形態２において、導波路３
２は、図３において紙面の奥側に導波路２２に平行して
配置される、として説明したが、これらの導波路２２、
３２の配置はこれに限定されることなく、同一の導波路
基板３１に別々に配置され、それぞれ別の導波路３１
２、３０２に導かれる構成であれば、どのような配置で
も、上記と同様の効果を得ることができる。
【００６７】また、導波路２２、３２が同一の導波路基
板３１にあるのではなく、別々に積層された導波路基板
に存在してもよいし、導波路３１２、３０２がそれぞれ
導波路基板３１、３０１に別々のあるのではなく、同一
の導波路基板に存在していてもよく、それらの場合でも
上記と同様の効果を得ることができる。
【００６８】（実施の形態３）図５に本発明の立体光導
波路の実施の形態３の構成を示す。
【００６９】本実施の形態の立体光導波路において、ア
イソレータ基板８上には、本発明の発光素子である面発
光レーザ（ＶＣＳＥＬ）５９が設置され、反射面５１３
と、レンズ５４と、面発光レーザ５９とが、上下方向で
整列するように位置合わせがされている。ここで、導波
路基板５１、レンズ基板５２、アイソレータ基板８まで
の構成は、実施の形態の１の場合と同様であり、その説
明を省略する。
【００７０】上記の構成により、面発光レーザ５９から
照射されたレーザ光は、アイソレータ基板８およびレン
ズ５４を通って導波路基板５１の導波路５２に導かれ
る。このようにして、複雑な調整が必要とされず、低コ
ストで高機能な立体光導波路を提供することができる。
【００７１】なお、本実施の形態３において、レンズ基
板５３と、面発光レーザ５９との間にアイソレータ基板
８が存在するとして説明したが、アイソレータ基板８が
存在しなくてもよく、その場合も上記と同様の効果を得
ることができる。
【００７２】また、上記の説明では、アイソレータ基板
８上に面発光レーザ５９が設置されている例で説明した
が、図６に示すように面発光レーザ５９の代わりに本発
明の受光素子である面受光フォトダイオード６９が設置
されてもよい。図６は、導波路６２を有する導波路基板
６１、レンズ６４を有するレンズ基板６３、面受光フォ
トダイオード６９で構成された立体光導波路を示す。こ
こで、導波路６１およびレンズ基板６３の構成は、上記
と同様でありその説明は省略する。また、図６に示す構
成において、レンズ基板６３と面受光フォトダイオード
６９との間にアイソレータ基板８が積層されていてもよ
い。
【００７３】（実施の形態４）図７に本発明の立体光導
波路の実施の形態４における構成を示す。
【００７４】本実施の形態４における立体光導波路にお
いて、導波路基板７１は、導波路７２と、および導波路
７２に対向した方向に導波路７０２とを有する。そし
て、導波路７２の端部には反射面７１３が成型され、導
波路７０２の端部には反射面７３３が成型される。ここ
で反射面７１３、７３３は、山型の斜面となる向きに水
平面からそれぞれ約２２．５°角度付けされて、互いに
対向して成型されている。そして、導波路基板７１の上
部に積層されたレンズ基板７３には、レンズ７４とレン
ズ７０４とが隣接してレンズ基板７３と一体化して成型
されている。
【００７５】レンズ基板７３の上部には、本発明のフィ
ルタ層を有した平板型光基板である波長多重フィルタ７
６が積層され、波長多重フィルタ７６の上部には、レン
ズ７９を有するレンズ基板７０が積層されている。そし
て、レンズ基板７０の上部には、導波路７１２、および
導波路７１２の端部に成型された反射面７１４を有する
導波路基板７１１が積層されている。ここで、反射面７
１４は、水平面から２２．５°角度付けされている。ま
た、反射面７１３から見て、レンズ７４と、レンズ７９
と、反射面７１４とは、水平方向に対して左上方へ４５
°傾斜して整列されている。また、反射面７３３から見
てレンズ７０４は、水平方向に対して右斜め上方へ４５
°傾斜して配置されている。
【００７６】このように構成された立体光導波路の動作
について、次に説明する。
【００７７】導波路７２内を水平方向左へ進行してきた
光は、反射面７１３で水平進行方向から４５°上方に反
射されて、レンズ７４を通過する。レンズ７４を通過し
た光の一部（すなわち波長多重フィルタ７６で選別され
た波長成分を含む光）が波長多重フィルタ７６を通過
し、レンズ７９を介して反射面７１４へ至り、水平方向
に反射されて導波路７１２内を左へ進行する。一方、波
長多重フィルタ７６で選別された残りの波長成分を含む
光は、レンズ基板７３と波長多重フィルタ７６との境界
面において水平方向から左斜め下４５°の角度で反射さ
れ、レンズ７０４を介して反射面７３３で反射され、導
波路７０２を水平方向に左へ進行する。
【００７８】このように本実施の形態の立体光導波路に
よれば、導波路７２に入射した光を波長成分に応じて、
別の導波路７１２、７０２に分離して取り出すことがで
きる。
【００７９】なお、本発明実施の形態において、レンズ
７４により十分反射面７１４に集光することができれ
ば、レンズ基板７０は不要であり、その場合も上記と同
様の効果を得ることができる。
【００８０】図８は、本実施の形態の変形例を示す。こ
の変形例においては、レンズ基板７０の上部には、導波
路基板７１１が積層される代わりに、面受光フォトダイ
オード８９が設置されている。このようにすることによ
り、導波路７２に入射された光のうち、波長多重フィル
タ７６で選別された波長成分を含む光のみを、面受光フ
ォトダイオード８９に導入することができ、波長多重フ
ィルタ７６で選別された残りの波長成分を含む光を別の
導波路７０２に導くことができる。
【００８１】なお、本実施の形態の立体光導波路を作製
する際に各基板の位置決めは、必要に応じて立体光導波
路の上方から光を照射して行う。例えば、図７に示すよ
うに導波路基板７１、レンズ基板７３、波長多重フィル
タ７６、およびレンズ基板７０が積層されている状態
で、導波路基板７１１の位置決めを行う場合において、
光源１０５から照射される光の波長が、波長多重フィル
タ７６を通過しないときは、光源１０５を導波路基板７
１１の上方に設置して、実施の形態１で説明した同様の
方法で上方から光を照射して導波路基板７１１の位置決
めを行えばよい。
【００８２】（実施の形態５）図９に、本発明の立体光
導波路の実施の形態５における構成を示す。
【００８３】本実施の形態の立体光導波路は、実施の形
態３（図５）に示す立体光導波路にレンズ９１９を有し
たレンズ基板９００を積層させた立体光導波路をその左
側に有し、実施の形態４（図８）に示す立体光導波路を
その右側に有する構成である。ここで、レンズ基板９０
０の厚みは、その左側、右側で異なり、本実施の形態の
立体光導波路の右側の厚みは、左側の厚みよりもファラ
デー回転子９６の厚みと、偏向子９７の厚みの分だけ大
きい。また、波長多重フィルタ９０６は、面発光レーザ
９９から照射された光の波長を反射し、導波路９２から
入射された光の波長を通過させるように設計されてい
る。それ以外の構成要素は、実施の形態３、および実施
の形態４における構成要素と類似しており、その説明を
省略する。
【００８４】このような構成を有する立体光導波路にお
いて、導波路９２を左へ進行してきた光は、反射面９１
３において水平進行方向から４５°上方に反射され、レ
ンズ９４、波長多重フィルタ９０６、レンズ９０９を通
過して、面受光フォトダイオード９９９に至る。一方、
面発光レーザ９９から照射された光は、レンズ９１９、
アイソレータ基板９８、レンズ９１４を下方へ通過し、
反射面９４３で水平右方向に反射され、次に反射面９３
３において進行方向から上方４５°の方向へ反射され
る。そして、反射面９３３で反射された光は、レンズ９
０４を通過し、波長多重フィルタ９０６とレンズ基板９
３との境界面において、右斜め下４５°に反射され、レ
ンズ９４を通過して反射面９１３に至る。そして、反射
面９１３で水平方向右に反射された光は、導波路９２を
右方向に進行する。
【００８５】本実施の形態によれば、複雑な構成の立体
光導波路でも、複雑な調整が必要とされず、低コストで
高機能の立体光導波路を提供することができる。
【００８６】（実施の形態６）図１０に本発明の実施の
形態６における構成を示す。
【００８７】図１０に示す立体光導波路の右側部分は、
実施の形態２（図３）に示す立体光導波路と、同様の構
成であり、その説明は省略する。そして、図１０に示す
立体光導波路の左側部分は、実施の形態４（図７）に示
す立体光導波路を上下左右を逆にした構成である。ここ
で、本発明の波長多重フィルタの一例である波長多重フ
ィルタ１３１６は、波長λ１の光は通過させるが、波長
λ２の光は、通過させないように設定されている。
【００８８】このような構成の立体光導波路において、
導波路１３２２、１３３２にそれぞれ異なった波長λ
１、λ２の光を導入すると、導波路１３２２に導入され
た波長λ１の光は、反射面１３１３、レンズ１３３４、
アイソレータ基板１３０８、レンズ１３２４、反射面１
３６３、導波路１３４２を介して反射面１３７３に至
り、反射面１３７３で反射された光は、レンズ１３４
４、波長多重フィルタ１３１６、レンズ１３６４を通過
し、反射面１３９３で反射されて導波路１３６２に至
る。
【００８９】一方、導波路１３３２に導入された波長λ
２の光は、反射面１３３３、レンズ１３０４、アイソレ
ータ基板１３０８、レンズ１３１４、反射面１３５３を
介して反射面１３８３に至る。反射面１３８３で反射さ
れた光は、レンズ１３５４を介して、波長多重フィルタ
１３１６に対して、右斜め上方から入射される。波長多
重フィルタ１３１６は、波長λ２の光を通過させないの
で、波長多重フィルタ１３１６の右斜め上方から入射さ
れた光は、波長多重フィルタ１３１６とレンズ基板１３
５０との境界面において反射され、左斜め上方に進行
し、レンズ１３６４、反射面１３９３を介して、導波路
１３６２に導かれる。
【００９０】このようにして、導波路１３２２、１３３
２に波長λ１、λ２の光を導入すると、λ１およびλ２
の波長成分を有する光が導波路１３６２から出力され
る。このように本実施の形態によれば、複雑な構成の立
体光導波路でも、複雑な調整が必要とされず、低コスト
で高機能の立体光導波路を提供することができる。
【００９１】（実施の形態７）以上までの実施の形態に
示した立体光導波路を使用して光を送受信するためのモ
ジュールを作製することができる。図１９は、そのよう
な送信用光モジュールの構成の一例を示す。図１９にお
いて示すように、本発明の電気入力端子の一例である電
気入力端子１１０５には、本発明の発光素子の一例であ
るレーザダイオード１１０９が接続され、レーザダイオ
ード１１０９は、導波路１１０２に接続されている。そ
して、導波路１１０２は、アイソレータ１１０８を介し
て導波路１１１２に接続され、導波路１１１２には、本
発明の光出力端子の一例である光出力端子１１０７が接
続されている。このような光送信モジュールは、例え
ば、本発明の立体光導波路の一例である、図１に示す立
体光導波路を使用して構成することができる。この場
合、図１９における導波路１１０２は、図１に示す導波
路２に対応し、その端部には、レーザダイオード１１０
９（この場合は、端面発光レーザ）を取り付ければよ
い。また図１９における導波路１１１２は、図１に示す
導波路１２に対応し、その端部には、光出力端子１１０
７として例えば図２５に示すＶ型溝１４０２が設置さ
れ、光ファイバケーブル（図示せず）が固定される。
【００９２】このようにすれば、電気入力端子１１０５
に入力された電気信号に応じて、光出力端子１１０７か
ら光出力を出力することができ、複雑な調整が必要とさ
れず、低コストな光送信モジュールを提供することがで
きる。
【００９３】なお、図１に示す立体光導波路を使用する
代わりに、図２に示す立体光導波路を使用してもよい。
または、図３または図４に示すような立体光導波路が使
用されてもよく、その場合は、導波路１１０２として導
波路２２および導波路３２の２つが相当し、導波路１１
１２として導波路３１２、３０２の２つが相当する。そ
して、導波路２２、および導波路３２の端部には、それ
ぞれレーザダイオード１１０９が別々に設置され、導波
路３１２、３０２の端部には、それぞれ光出力端子１１
０７が接続され、それぞれのレーザダイオード１１０９
から放射された光は、別々に光出力端子１１０７から出
力される。または、図５に示す立体光導波路が使用され
てもよく、この場合は、導波路１１０２が省略され、レ
ーザダイオード１１０９としては、面発光ダイオード５
９が使用される。
【００９４】また図２０は、波長多重送信用光モジュー
ルの構成例を示す。図２０に示す波長多重送信用光モジ
ュールは、電気入力端子１１０５を有する２つのレーザ
ダイオード１１１９、１１２９を有し、それぞれのレー
ザダイオード１１１９、１１２９には、導波路１１３
２、１１４２が接続され、導波路１１３２、１１４２
は、アイソレータ１１１８を介して、導波路１１５２、
１１６２にそれぞれ接続されている。そして導波路１１
５２、１１６２は、波長多重フィルタ１１０６を介し
て、光出力端子１１０７に接続されている。
【００９５】このような波長多重送信用光モジュール
は、例えば図１０に示す構成の立体光導波路を使用して
構成することができる。この場合、波長λ１の光を出力
するレーザダイオード１１１９を導波路１３２２の端部
に設置し、波長λ２の光を出力するレーザダイオード１
１２９を導波路１３３２の端部に設置する。そして、光
出力端子１１０７を導波路１３６２の端部に設置する。
【００９６】このようにすれば、２つの電気入力端子１
１１９、１１２９から入力された電気信号を光信号とし
て合成して出力することができる。
【００９７】（実施の形態８）図２１は、受信用光モジ
ュールの構成の一例を示す。図２１において示すよう
に、本発明の光入力端子の一例である光入力端子１１１
７（例えば図２５に示すＶ型溝）が、導波路１１２２の
端部に設置され、本発明の受光素子の一例であるフォト
ダイオード１２０９が、導波路１１２２に接続されてい
る。そして、フォトダイオード１２０９には、本発明の
電気出力端子の一例である電気出力端子１１１５が接続
されている。このような光受信モジュールは、例えば、
本発明の立体光導波路の一例である、図６に示す立体光
導波路を使用して構成することができる。このような構
成の光受信モジュールによれば、光入力端子１１１７に
入力された光信号に応じて、電気出力端子１１１５から
電気出力を得ることができる。
【００９８】図２２は、波長多重受信用光モジュールの
構成例を示す。この構成例において、光入力端子１１０
７は波長多重フィルタ１１１６に接続され、波長多重フ
ィルタ１１１６には、導波路１１７２、１１８２が接続
され、導波路１１７２、１１８２にはそれぞれフォトダ
イオード１２１９、１２２９が接続されている。
【００９９】このような波長多重受信用光モジュール
は、例えば、図７に示す立体光導波路を使用して構成す
ることができる。この場合、導波路７２の端部に光入力
端子１１０７を接続し、導波路７１２、７０２の端部に
フォトダイオード１２１９、１２２９をそれぞれ接続す
ればよく、波長多重フィルタ７６は、波長λ１の光を通
過させるが、波長λ２の光を通過させないように設定す
ればよい。
【０１００】このような構成の波長多重光受信モジュー
ルにおいて、導波路７１に波長λ１および波長λ２を有
する光を導入されると、波長λ１の光は、導波路７１２
を介してフォトダイオード１２１９に至り、波長λ２の
光は、導波路７０２を介してフォトダイオード１２２９
に至り、それらに応じて電気出力がそれぞれのフォトダ
イオード１２１９、１２２９に接続された電気出力端子
１１１５から出力される。すなわち、１つの光入力端子
１１０７から入力された光信号を２つの分離された電気
信号としてそれぞれの電気出力端子から得ることができ
る。
【０１０１】なお、上記の送信用光モジュールと、受信
用光モジュールとを光ファイバケーブルを介して接続す
れば、送受信用光伝送システムとして使用することがで
きる。
【０１０２】（実施の形態９）図２３は、光送信機能と
光受信機能の両方を持たせた波長多重送受信用光モジュ
ールの構成例を示す。図２３に示す構成において、電気
入力端子１１０５を有した、波長λ１の光を放射するレ
ーザダイオード１１３９が、導波路１１９２、本発明の
アイソレータの一例であるアイソレータ１１２８、導波
路１２１２を介して本発明の波長多重フィルタの一例で
ある波長多重フィルタ１１２８に接続されている。一
方、電気出力端子１１１５を有し、波長λ２の光を受光
するためのフォトダイオード１２３９は、導波路１２０
２を介して波長多重フィルタ１１２６に接続されてい
る。そして波長多重フィルタ１１２６には、本発明の光
入出力端子の一例である光入出力端子１１２７（例えば
図２５に示すＶ型溝）が接続されている。
【０１０３】このような波長多重送受信用光モジュール
は、例えば図９に示す立体光導波路を使用することによ
り構成することができる。この場合、導波路９２の端部
に光入出力端子１１２７が設置される。そして、波長多
重フィルタ９０６は、面発光レーザ９９から放射される
光の波長λ１を通過させないが、入出力端子１１２７に
入力される光の波長λ２を通過させるように設定されて
いる。
【０１０４】このような構成により、面発光レーザ９９
から放射された波長λ１の光は、波長多重フィルタ９０
６とレンズ基板９３との境界面において反射されて導波
路９２を介して光入出力端子１１２７から出力される。
一方、光入出力端子１１２７に入力された波長λ２の光
は、波長多重フィルタ９０６を通過して面受光ダイオー
ド９９９に至る。このような波長多重送受信用光モジュ
ールによれば、光入出力端子１１２７１つで光の送受信
を行うことができる。
【０１０５】図２４は、このような波長多重送受信用光
モジュールを利用した光伝送装置の一例を示す。図２４
において、レーザダイオード１１４９には、レーザダイ
オードドライバＩＣ１１０４が接続され、レーザダイオ
ードドライバＩＣ１１０４には、送信信号マルチプレク
サ１１０３が接続されている。そして、送信信号マルチ
プレクサ１１０３は、複数の信号を入力するための電気
信号入力端子１１２５に接続されている。ここで、レー
ザダイオードドライバＩＣは、レーザダイオードに供給
される電流バイアスの制御を行い、デジタル信号の重畳
を行う。
【０１０６】一方、フォトダイオード１２４９には、受
信フロントエンドＩＣ１１１４が接続され、この受信フ
ロントエンドＩＣ１１１４には、受信信号デマルチプレ
クサ１１１３が接続されている。そして、受信信号デマ
ルチプレクサ１１１３は、複数の信号を出力するための
受信信号出力端子１１３５に接続されている。ここで、
受信フロントエンドＩＣ１１１４は、フォトダイオード
１２４９から出力された微弱な信号を低ノイズで増幅す
る。
【０１０７】図２４において、レーザダイオード１１４
９、およびフォトダイオード１２４９から右側の構成要
素は、上記の説明で述べたとおりである。このような光
伝送装置を使用することにより、複数の電気信号を１つ
の光入出力端子を介して光ファイバーケーブルにより伝
送させることができる。
【０１０８】なお、複数の上記送受信用光モジュール
を、光ファイバケーブルを介して接続すれば、送受信用
光伝送システムとして使用することができる。この場
合、例えば、送受信用光モジュールを２つ用意して一組
とし、一方の送受信用光モジュールは、波長λ１で送信
して波長λ２で受信し、他方の送受信用光モジュール
は、波長λ２で送信して波長λ１で受信するように設定
すれば、一組の送受信用光伝送システムとして使用する
ことができる。
【０１０９】なお、以上までの説明において、上下、左
右を図面に示されるとおりに固定して説明してきたが、
同様の効果を得ることができれば上下、左右は、上記の
説明のとおりでなくてもよい。
【０１１０】また、以上までの説明では、水平方向から
の光を垂直方向に、または４５°の角度で進行させると
して説明してきたが、これらは一例であり、積層された
基板を任意の角度で光は進行させてもよく、その場合は
各反射板の角度、各レンズと各反射板の配置は光がその
ように進行するように設定され得る。
【０１１１】また、以上までの実施の形態において、各
基板は、成型ガラスにより成型されている、として説明
してきたが、これに限定されず、樹脂等により成型され
ていてもよい。例えば、シリコン基板上に導波路ととも
にマーカ１０１、１０３をドライエッチングにより同時
に成型することにより各基板が作製されてもよく、その
場合も上記と同様の効果が得られる。
【０１１２】
【発明の効果】本発明によれば、複雑な調整が必要とさ
れず、低コストの立体光導波路を提供することができ
る。
【０１１３】また、平板型導波路、およびレンズ層、ア
イソレータ層、またはフィルタ層が成型ガラスに一体的
に成型された場合は、さらに複雑な調整が必要とされ
ず、低コストの立体光導波路を提供することができる。
【０１１４】また、平板型光基板がレンズ層、アイソレ
ータ層、またはフィルタ層を備える場合は、高機能の立
体光導波路を提供することができる。
【０１１５】また、本発明の立体光導波路の製造方法に
よれば、複雑な調整が必要とされず、精度がよく、低コ
ストの立体光導波路を提供することができる。
【０１１６】また、本発明の立体光導波路を備えた光モ
ジュールによれば、複雑な調整が必要とされず、低コス
トの光モジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１の立体光導波路
の構成を示す断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態１の変形例である
立体光導波路の構成を示す断面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態２の立体光導波路
の構成を示す断面図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態２の変形例である
立体光導波路の構成を示す断面図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態３の立体光導波路
の構成を示す断面図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態３の変形例である
立体光導波路の構成を示す断面図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態４の立体光導波路
の構成を示す断面図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態４の変形例であ立
体光導波路の構成を示す断面図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態５の立体光導波路
の構成を示す断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態６の立体光導
波路の構成を示す断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の立体光導波路を製造する
ときに使用する、各基板に設置されたマーカを示す断面
図である。
【図１２】図１２は、本発明の立体光導波路の製造方法
を示す概略図である。
【図１３】図１３は、本発明の立体光導波路の製造方法
を示す概略図である。
【図１４】図１４は、本発明の立体光導波路の製造方法
を示す概略図である。
【図１５】図１５は、本発明の立体光導波路の製造方法
を示す概略図である。
【図１６】図１６は、本発明の立体光導波路の製造方法
を示す概略図である。
【図１７】図１７は、本発明の立体光導波路の製造方法
を示す概略図である。
【図１８】図１８は、本発明の立体光導波路の製造方法
を示す概略図である。
【図１９】図１９は、本発明の送信用光モジュールの構
成を示す模式図である。
【図２０】図２０は、本発明の送信用光モジュールの構
成を示す模式図である。
【図２１】図２１は、本発明の受信用光モジュールの構
成を示す模式図である。
【図２２】図２２は、本発明の受信用光モジュールの構
成を示す模式図である。
【図２３】図２３は、本発明の送受信用光モジュールの
構成を示す模式図である。
【図２４】図２４は、本発明の送受信用光モジュールの
応用例の構成を示す模式図である。
【図２５】図２５は、本発明の光入力端子、光出力端
子、または光入出力端子の具体例を示す斜視図である。
【図２６】図２６は、従来技術の導波路の構造を示す図
である。
【符号の説明】
１、１１ 導波路基板 ２、１２ 導波路 ３、１０ レンズ基板 ４、９ レンズ ８ アイソレータ基板 １３、１４ 反射面 ５９、９９ 面発光レーザ ６９、８９ 面受光フォトダイオード １０１、１０３ マーカ １０２、１０４ 底面 １０５ 光源 １０６ 受光装置 １０７、１０８ 像
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H047 KA02 KB08 LA09 MA03 MA05 MA07 5F073 AB15 AB17 AB30 BA01 EA29 5F089 AA01 AB08 AC10 AC20 CA20 GA07 GA10

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも平板型光導波路を有する平板
    型光基板と、レンズ層、アイソレータ層、またはフィル
    タ層を有する平板型光基板とが積層されて構成された立
    体光導波路。
  2. 【請求項２】 前記平板型導波路、および前記レンズ
    層、アイソレータ層、またはフィルタ層が、成型ガラス
    に一体的に成型された平板型光基板である、請求項１に
    記載の立体光導波路。
  3. 【請求項３】 前記平板型光導波路に反射面が成型さ
    れ、光が前記レンズ層、前記アイソレータ層、または前
    記フィルタ層を通る、請求項１または２に記載の立体光
    導波路。
  4. 【請求項４】 さらに受光素子、または発光素子を備え
    た、請求項３に記載の立体光導波路。
  5. 【請求項５】 前記平板型光基板どうしは、少なくとも
    ２つの平板型光基板に一体成型されたマーカで位置決め
    された、請求項１〜４のいずれかに記載の立体光導波
    路。
  6. 【請求項６】 平板型光導波路を有する複数の平板型光
    基板が積層されて構成された立体光導波路を製造する方
    法であって、前記少なくとも二つの平板型光基板を成型
    する際、マーカも同時にそれぞれ成型しておき、前記平
    板型光基板を前記マーカを利用して位置決めすることに
    より積層する、立体光導波路の製造方法。
  7. 【請求項７】 前記マーカは凹または凸形状であって、
    前記平板型光基板を積層した後、光を前記マーカに照射
    させて、光を前記マーカに反射または透過させることに
    よって前記平板型光基板を位置決めする、請求項６に記
    載の立体光導波路の製造方法。
  8. 【請求項８】 前記マーカの底面が斜め、散乱面、また
    はレンズ面に成型されている、請求項７に記載の立体光
    導波路の製造方法。
  9. 【請求項９】 電気入力端子と、 前記電気入力端子を有した発光素子と、 前記発光素子から発せられた光を伝達する請求項３に記
    載の立体光導波路と、 前記立体光導波路を伝達された光を出力する光出力端子
    と、を備える送信用光モジュール。
  10. 【請求項１０】 光入力端子と、 前記光入力端子を有した請求項３に記載の立体光導波路
    と、 前記立体光導波路を介して伝達された光を受光する受光
    素子と、 前記受光素子に接続された電気出力端子と、を備える受
    信用光モジュール。
  11. 【請求項１１】 電気入力端子と、 少なくとも平板型導波路を有する平板型光基板、アイソ
    レータを有する平板型光基板、および波長多重フィルタ
    を有する平板型光基板、が積層されて構成された立体光
    導波路と、 前記電気入力端子を有し前記立体光導波路に接続された
    発光素子と、 前記立体光導波路に接続された受光素子と、 前記受光素子に接続された電気出力端子と、 前記立体光導波路に接続された光入出力端子と、を備
    え、 前記電気入力端子から入力された電気信号を光信号に変
    換して前記光入出力端子から送信し、前記光入出力端子
    で受信した光信号を電気信号に変換して前記電気出力端
    子に出力する、送受信用光モジュール。
  12. 【請求項１２】 請求項９に記載の送信用光モジュール
    と、 前記送信用光モジュールに接続される光ファイバケーブ
    ルと、 前記光ファイバケーブルに接続される請求項１０に記載
    の受信用光モジュールと、を備える送受信用光伝送シス
    テム。
  13. 【請求項１３】 請求項１１に記載の送受信用光モジュ
    ールと、 前記送受信用光モジュールに接続される光ファイバケー
    ブルと、を備える光送受信用光伝送システム。
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