JP4559327B2 - レンズを用いた光モジュールのアラインメント方法およびその方法で作成した光モジュール - Google Patents
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Description
図2は本発明の実施例1のアラインメントマークによる位置合わせを光モジュールに適用した場合の概要を示す図である。図3は実施例1のアラインメントマークによる位置合わせが適用された光モジュールをレンズアレイ105の位置で断面にした形で示す概要図である。光素子搭載基板110にはIC108と面型光素子106が搭載されている。面型光素子106の上面にはアラインメントマーク104bが設けられている。IC108と面型光素子106間には配線107が設けられ、IC108には外部回路と接続するための配線109が設けられる。レンズアレイ105が形成されたレンズ部材101が面型光素子106に対向して配置される。この際、実施例1では、レンズ部材101の両端部に、図1に示した台座801に代わるスペーサとして支持部111を形成するとともに、支持部111とレンズアレイ105との間に、端面103を有する突出部が設けられる。突出部の端面103にはアラインメントマーク104aが設けられている。
実施例1では、レンズ部材101の突出部の端面103にアラインメントマーク104aを設け、面型光素子106のアラインメントマーク104bを設ける例について説明した。実施例2では、面型光素子106のアラインメントマーク104bを省略する例について説明する。
図11は、図3と類似の構成であるが、光素子搭載基板110の面上とレンズ部材の突出部の端面103の端部とにアラインメントマーク104c、アラインメントマーク104aが設けられている状態を示す断面図である。このアラインメントマーク104cは面型光素子106を光素子搭載基板110に精度良く搭載するために使用されるとともに、レンズ部材101の位置決めの基準となる。結果として、面型光素子106とレンズ部材101の相対位置は正しく決められる。
アラインメントの処理は光素子106とレンズ部材101に設けられたアラインメントマーク104を上方から視認したときに重ねあわせることによって成されても良いが、アラインメントマーク104aと104bがX軸方向またはY軸方向に離れていてもアラインメント処理は可能である。図12、図13を参照して面型光素子106とレンズ部材101のアラインメントの処理の第1、第2の具体例を説明する。
図14を参照して実施例5のアラインメントマーク104a,104bについて説明する。これまでのアラインメントマーク104a,104bはレンズ部材101の突出部の端面103、面型光素子106の面に描かれる形で設けられていた。このアラインメントマークは、視認性を高めるために、アラインメントマークが設けられる周囲の材質とは光学屈折率、光学吸収率、光学反射率のいずれかが異なった材質、例えば、金属や誘電体等の薄膜であり、これらを貼り付けたものであった。この実施例では、それぞれの面から飛び出した(凸面)、あるいは引っ込んだ形(凹面)で設けられる。図14aはレンズ部材101のレンズアレイ105の両側のアラインメントマーク104aの例を説明する断面図である。図14(b)はこれに対応する底面図である。レンズ部材101の部材がガラス、プラスチック等であれば、型成型によってレンズアレイ105とアラインメントマーク104を同時に形成することが可能であり、量産性にすぐれる。
図15(a)はレンズ部材101を、光素子搭載基板110面上に接着剤で保持された台座801上に支持部111を載せて保持する構造とするとともに、台座801上に金属薄膜パターン2102を形成し、支持部111に半田パターン2101を形成しておき、レンズアレイ105と面型光素子106のアラインメント後に、半田パターン2101を融解させ固着する例の概要を示す図である。図15(b)は台座801が面型光素子106とIC108を完全に取り巻くように形成されるとともに、支持部111もレンズ部材101の周辺部を完全に取り巻くように形成され、レンズアレイ105と面型光素子106のアラインメント後に、半田パターン2101を融解させ固着した後は、面型光素子106とICは外部から遮蔽され、外気のホコリによる影響を受けることなく安定的に動作するものとした例の概要を示す図である。
図16以下に、本発明により構成した光モジュールの応用形態を説明する。図16は、レンズアレイ105と面型光素子106がアラインメントされ、レンズ部材101と光素子搭載基板110が一体化された光モジュールのレンズ部材101のレンズアレイ105が設けられた面の半対面側に、光ファイバホルダー2401を結合させる構造の例を示す断面図である。光ファイバホルダー2401には、嵌合用凸部2301を設け、レンズ部材101のレンズアレイ105が設けられた面の半対面に嵌合用凹部2302を設けた。嵌合用凸部2301と嵌合用凹部2302とは、対応する位置に形成されているから、図に矢印で示すように光ファイバホルダー2401をレンズ部材101に押し付ければ、両者はしっかりと嵌合保持することができる。光ファイバホルダー2401には両者が嵌合保持された状態でレンズアレイ105の各レンズに対応する位置に光ファイバ2402が固定されている。ここでは、光ファイバホルダー2401として光ファイバ2402を保持するものとして説明したが、光ファイバのみに限らず、偏光板、波長板、アッテネータ等の光回路を構成するための要素を挿入した上で光ファイバを保持するものとしても良い。
Claims (9)
- 光素子搭載基板上に発光面または受光面が該基板とは逆方向に形成されている面型光素子を搭載し、前記面型光素子に対応する位置に配設されるべきレンズが設けられたレンズ部材を、前記光素子搭載基板上で前記面型光素子とレンズとが所定の関係になるようにアラインメントする光モジュールのアラインメント方法において、
前記レンズ部材のレンズが設けられている面よりも、前記面型光素子の発光面または受光面に、より近い端面を前記レンズ部材に形成するとともに、該端面に前記レンズ位置を代表する第1のアラインメントマークを設け、
前記面型光素子の上面に発光面または受光面の位置を代表する第2のアラインメントマークを設け、
前記レンズ部材の上面から、前記第1のアラインメントマークと前記第2のアラインメントマークとの関係を視認する光学装置により得られる画像を利用して前記面型光素子とレンズとが所定の関係になるように両者の位置制御を行うことを特徴とする光モジュールのアラインメント方法。 - 前記レンズ部材の端面を形成する突出部が、前記面型光素子の発光面または受光面の少なくとも一部の上方に位置するように形成されている請求項1記載の光モジュールのアラインメント方法。
- 前記レンズ部材の前記端面に設けられた前記アラインメントマークの少なくとも1つが前記面型光素子を避けた位置に形成され、前記レンズ部材の上面から前記アラインメントマークの光路長と前記レンズ部材の上面から前記面型光素子の発光面または受光面の光路長とがほぼ同一長になるようになされている請求項1記載の光モジュールのアラインメント方法。
- 前記レンズ部材の前記端面に凸部または凹部が形成され、これらの凸部または凹部に前記アラインメントマークが設けられた請求項1記載の光モジュールのアラインメント方法。
- 前記レンズ部材に設けられたアラインメントマークは、前記アラインメントマークが設けられる周囲の材質と光学的屈折率、光学吸収率、光学反射率のうち少なくとも一部が異なった材質である請求項1記載の光モジュールのアラインメント方法。
- 前記レンズ部材の端面を形成する突出部よりも、より前記レンズより離れた位置に形成された支持部により前記レンズ部材の端面と前記面型光素子の発光面または受光面との相対位置が保持される請求項1記載の光モジュールのアラインメント方法。
- 前記支持部に代えて、前記レンズ部材と前記光素子搭載基板との間に配置された台座により前記レンズ部材の端面と前記面型光素子の発光面または受光面との相対位置が保持される請求項7記載の光モジュールのアラインメント方法。
- 前記レンズ部材の端面を形成する突出部に形成されたアラインメントマークの形成位置と前記面型光素子に付されたアラインメントマークの形成位置とが前記端面および面型光素子の面上でほぼ同位置に形成されている請求項2記載のアラインメント方法。
- 光素子搭載基板上に発光面または受光面が該基板とは逆方向に形成されている面型光素子を搭載し、前記面型光素子に対応する位置に配設されるべきレンズが設けられたレンズ部材を、前記光素子搭載基板上で前記面型光素子とレンズとが所定の関係になるようにアラインメントされる光モジュールにおいて、
前記レンズ部材のレンズが設けられている面よりも、前記面型光素子の発光面または受光面に、より近い端面を前記レンズ部材に形成するとともに、該端面に前記レンズ位置を代表する第1のアラインメントマークを設け、
前記面型光素子の上面に発光面または受光面の位置を代表する第2のアラインメントマークを設け、
前記レンズ部材の上面から、前記第1のアラインメントマークと前記第2のアラインメントマークとの関係を視認する光学装置により得られる画像を利用して前記面型光素子とレンズとが所定の関係になるように両者の位置制御を行って前記レンズ部材と前記面型光素子のアラインメントが行なわれたことを特徴とする光モジュール。
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US11/501,047 US7612881B2 (en) | 2005-09-14 | 2006-08-09 | Method of alignment of an optical module and an optical module using thereof |
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---|---|---|---|
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---|---|
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---|---|
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9366832B2 (en) | 2014-04-08 | 2016-06-14 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical connection structure |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3768901B2 (ja) * | 2002-02-28 | 2006-04-19 | 松下電器産業株式会社 | 立体光導波路の製造方法 |
US7585836B2 (en) * | 2004-05-14 | 2009-09-08 | Goodson Iv Harry Burt | Bi-lateral local renal delivery for treating congestive heart failure and for BNP therapy |
US7324717B2 (en) * | 2005-11-22 | 2008-01-29 | Palo Alto Research Center Incorporated | Photonic device with integrated hybrid microlens array |
JP4477677B2 (ja) | 2008-01-16 | 2010-06-09 | 古河電気工業株式会社 | 光モジュールおよびその作製方法 |
JP2010072435A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Fuji Xerox Co Ltd | 光導波路フィルム |
US8390930B2 (en) * | 2008-11-20 | 2013-03-05 | Omnivision Technologies, Inc. | Optical element and manufacture method thereof |
US8351794B2 (en) * | 2009-03-10 | 2013-01-08 | Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Parallel optical transceiver module having a heat dissipation system that dissipates heat and protects components of the module from particulates and handling |
KR101097306B1 (ko) * | 2009-03-30 | 2011-12-23 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 얼라인 마크를 포함하는 디스플레이 장치 |
CN103270443B (zh) * | 2010-12-21 | 2015-07-08 | 日本电气株式会社 | 光学模块及其制造方法 |
JP2012155215A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Nitto Denko Corp | 光導波路の製法およびそれに用いられる光導波路体 |
EP2581776A1 (en) | 2011-10-13 | 2013-04-17 | Tyco Electronics Svenska Holdings AB | Optical connector with alignment element, optical unit and assembly method |
JP2013200550A (ja) * | 2012-02-20 | 2013-10-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | レンズ部品及びそれを備えた光モジュール |
TWI546979B (zh) * | 2012-03-05 | 2016-08-21 | 晶元光電股份有限公司 | 對位接合之發光二極體裝置與其製造方法 |
AT513362B1 (de) | 2012-08-23 | 2014-06-15 | Zizala Lichtsysteme Gmbh | Verfahren zum Positionieren eines Licht formenden Körpers |
TWI461775B (zh) * | 2012-09-26 | 2014-11-21 | Delta Electronics Inc | 光通訊模組及其耦光組接方法 |
US20140086533A1 (en) * | 2012-09-27 | 2014-03-27 | Ezra GOLD | Method for alignment between two optical components |
GB2506406A (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-02 | Ibm | Optical adaptor with horizontal and vertical reference surfaces |
CN102980109B (zh) * | 2012-12-10 | 2015-07-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 背光源及背光源的组装方法 |
JP2014137410A (ja) * | 2013-01-15 | 2014-07-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光モジュール、光モジュールの製造方法 |
TW201439631A (zh) * | 2013-04-02 | 2014-10-16 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 光纖連接器 |
US9547231B2 (en) * | 2013-06-12 | 2017-01-17 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Device and method for making photomask assembly and photodetector device having light-collecting optical microstructure |
CN104280834A (zh) * | 2013-07-10 | 2015-01-14 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 光通讯装置 |
JP6475911B2 (ja) * | 2013-12-16 | 2019-02-27 | 住友電気工業株式会社 | 光コネクタ保持具、光コネクタモジュール、光学基板モジュール及び光モジュール |
US9417411B2 (en) * | 2014-02-21 | 2016-08-16 | Aurrion, Inc. | Optical and thermal interface for photonic integrated circuits |
AU2015263909B2 (en) * | 2014-05-23 | 2020-10-08 | Cudoquanta Florida, Inc. | Vision-based passive alignment of an optical fiber subassembly to an optoelectronic device |
KR102192572B1 (ko) * | 2014-06-09 | 2020-12-18 | 삼성전자주식회사 | 광원 모듈의 불량 검사방법, 광원 모듈의 제조 방법 및 광원 모듈 검사장치 |
JP6140670B2 (ja) * | 2014-11-17 | 2017-05-31 | 株式会社フジクラ | 半導体レーザ装置及びその製造方法 |
JP2016170276A (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | 富士通コンポーネント株式会社 | 光コネクタ |
US20190219777A1 (en) * | 2016-08-31 | 2019-07-18 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical connection structure |
KR20190019594A (ko) * | 2017-08-18 | 2019-02-27 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 소자 패키지 |
US11784458B2 (en) * | 2017-08-18 | 2023-10-10 | Suzhou Lekin Semiconductor Co., Ltd. | Surface-emitting laser package |
JP2020008758A (ja) * | 2018-07-10 | 2020-01-16 | 三菱電機株式会社 | 表示装置 |
US11353767B2 (en) * | 2018-07-30 | 2022-06-07 | Facebook Technologies, Llc | Varifocal system using hybrid tunable liquid crystal lenses |
US11525967B1 (en) | 2018-09-28 | 2022-12-13 | Apple Inc. | Photonics integrated circuit architecture |
JP2021002541A (ja) * | 2019-06-19 | 2021-01-07 | 株式会社リコー | 光学装置、光源装置、検出装置及び電子機器 |
US11881678B1 (en) | 2019-09-09 | 2024-01-23 | Apple Inc. | Photonics assembly with a photonics die stack |
US11500154B1 (en) | 2019-10-18 | 2022-11-15 | Apple Inc. | Asymmetric optical power splitting system and method |
EP4182747A1 (en) * | 2020-07-20 | 2023-05-24 | Apple Inc. | Photonic integrated circuits with controlled collapse chip connections |
US11686906B1 (en) * | 2020-10-12 | 2023-06-27 | Poet Technologies, Inc. | Self-aligned structure and method on interposer-based PIC |
US20240006855A1 (en) * | 2020-10-23 | 2024-01-04 | Sense Photonics, Inc. | Methods and systems for self-aligned vertical cavity surface emitting laser (vcsel)-array beam shaping |
US11914201B2 (en) | 2021-09-23 | 2024-02-27 | Apple Inc. | Mechanisms that transfer light between layers of multi-chip photonic assemblies |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001174671A (ja) * | 1999-12-16 | 2001-06-29 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 光素子モジュール |
US20040228588A1 (en) * | 2002-05-22 | 2004-11-18 | Optical Communication Products, Inc. | Method for making hermetically sealed transmitter optical subassembly |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3741911B2 (ja) | 1999-10-19 | 2006-02-01 | 日本オプネクスト株式会社 | 光素子アレイモジュールおよびその製造方法 |
JP2001088148A (ja) | 2000-08-24 | 2001-04-03 | Omron Corp | スタンパ及びそれを用いたマイクロレンズアレイの製造方法 |
US6838689B1 (en) * | 2002-02-14 | 2005-01-04 | Finisar Corporation | Backside alignment and packaging of opto-electronic devices |
-
2005
- 2005-09-14 JP JP2005266402A patent/JP4559327B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-08-09 US US11/501,047 patent/US7612881B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001174671A (ja) * | 1999-12-16 | 2001-06-29 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 光素子モジュール |
US20040228588A1 (en) * | 2002-05-22 | 2004-11-18 | Optical Communication Products, Inc. | Method for making hermetically sealed transmitter optical subassembly |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9366832B2 (en) | 2014-04-08 | 2016-06-14 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical connection structure |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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US7612881B2 (en) | 2009-11-03 |
US20070058904A1 (en) | 2007-03-15 |
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