JP2001110188A - 光メモリ素子の製造方法及び光メモリ素子用樹脂製コア／クラッド部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光メモリ素子を容易且つ安価に実現できるよ
うにするとともに、多層光メモリを構成する際の積層工
程を高精度に行なえるようにする。 【解決手段】 光メモリ素子の構成要素として、位置決
めマーク１６を有する樹脂製コア／クラッド部材２０を
複数個用意し、その位置決めマーク１６を用いて積層対
象の各樹脂製コア／クラッド部材２０の位置決めを行な
った後、これらの各樹脂製コア／クラッド部材２０を所
望の接着剤により積層接着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光メモリ素子の製
造方法及び光メモリ素子用樹脂製コア／クラッド部材に
関し、特に、光導波路デバイスを用いて構成される光メ
モリ素子の製造方法及び光メモリ素子用樹脂製コア／ク
ラッド部材に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、予め所定の散乱光を生じるように
パターンが刻まれた平面（カード）型の光導波路中に光
を導入し、光導波面の外部に画像を結像させる技術が提
案されている（IEEE Photon.Technol.Lett.,vol.9,pp.9
58-960,JULY1997 等参照）。即ち、例えば図３１に模式
的に示すように、光導波路として機能するように屈折率
や膜厚を調整されたコア（層）１０１と、このコア層１
０１を挟む形でその両側（両面部）に設けられた（第
１，第２の）クラッド（層）１０２とをそなえて成るカ
ード型のスラブ型光導波路デバイス１００において、コ
ア層１０１とクラッド層１０２との界面に微細な凹凸が
存在していた場合、コア層（光導波路）１０１にレンズ
１０３を介して光（レーザ光）を導入すると、導入光の
一部がその凹凸部分で散乱し、散乱光がクラッド層１０
２を通じて外部に出てくる。

【０００３】従って、光導波面（光導波路１０１）から
所定距離に特定の画像が結像するような光の散乱強度と
位相とを計算し、その計算に応じた微細な凹凸パターン
を予めコア層１０１に刻み込んでおけば、光導波面の外
部に所望の画像を結像させることができる。つまり、コ
ア層１０１は情報の記録層として機能することになる。

【０００４】そして、例えば、光導波面の外部に出てき
た散乱光を上記所定距離に設置したＣＣＤ受像器１０４
により受光して、結像画像を２次元のディジタルパター
ン〔例えば、明暗の２値のパターン、もしくは、明度
（グレイスケール）による多値のパターン等〕化してデ
ィジタル信号化すれば、既存のディジタル画像処理装置
（図示省略）で結像画像に対し所望の画像処理を実施す
ることができる。

【０００５】また、例えば図３２に模式的に示すよう
に、上記のクラッド層１０２とコア層１０１とを繰り返
し積層して、光導波路（記録層）１０１を複数個積層し
た場合、或る光導波路１０１で散乱した光は、別の光導
波路１０１を横切ることになるが、通常、コア層１０１
とクラッド層１０２の屈折率差が極めて小さいので、そ
の散乱光が別の光導波路１０１に形成された凹凸で再散
乱することは殆ど無く、結像画像が乱れることは無い。
従って、積層数に比例して数多くの画像やパターンを結
像できることになる。

【０００６】つまり、光導波路デバイス１００はその積
層数に比例した容量を有する光メモリ素子（ＲＯＭ等の
記録媒体）として使用できるのである。なお、この光メ
モリ素子は、理論上では、１層で約１ギガバイト程度の
容量をもたせることができ、１００層程度まで積層する
ことが可能であるといわれており、将来的には、動画像
の記録等に十分対応できる大容量ＲＯＭとして使用され
ることが有望視されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、光導波路デ
バイス１００のコア層１０１における上記の微細な凹凸
パターンは、例えば、次のような手法で形成される。即
ち、まず、図３３（Ａ）に模式的に示すように、（第１
の）クラッド層１０２となる平板状のガラス等の上にフ
ォトレジストを塗布し、光あるいは電子線等の露光とそ
の現像によりそのガラス（クラッド層１０２）上に、結
像させたい像に応じたピット（凹凸パターン）を形成す
る。

【０００８】その後、その凹凸パターン上にコア層１０
１を形成する。これにより、凹凸パターンの形成された
コア層１０１が作製され、このコア層１０１上にさらに
第２のクラッド層１０２を形成することにより、１層分
の光導波路デバイス（光メモリ素子）１００が作製され
る。そして、上記と同様に、クラッド層１０２上に露光
と現像によって凹凸パターンを形成し、その上にコア層
１０１を形成することを繰り返し行なうことで、図３３
（Ｂ）に模式的に示すように、多層構造の光メモリ素子
（以下、「多層光メモリ」ということがある）１００ａ
が作製される。

【０００９】しかしながら、このような露光と現像とを
用いた手法では、１層分の光メモリ素子１００の作製に
非常に時間及びコストがかかってしまうので、大容量の
多層光メモリ１００ａを作製するには、膨大な時間とコ
ストがかかるという課題がある。本発明は、このような
課題に鑑み創案されたもので、上記のような光メモリ素
子を容易且つ安価に実現できるようにするとともに、多
層光メモリを構成する際の積層工程を高精度に行なえる
ようにした、光メモリ素子の製造方法及び光メモリ素子
用樹脂製コア／クラッド部材を提供することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の光メモリ素子の製造方法（請求項１）
は、樹脂製コア層と、この樹脂製コア層の両面部に積層
された樹脂製クラッド層と、これらの樹脂製コア層と該
樹脂製クラッド層との界面の少なくとも一方に設けられ
た凹凸部とを有する光導波部材を複数個有して成る光メ
モリ素子の製造方法であって、この光メモリ素子の構成
要素として、樹脂製コア層及び／又は樹脂製クラッド層
から成り、且つ、位置決めマークを有する樹脂製コア／
クラッド部材を複数個用意し、上記の位置決めマークを
用いて積層対象の各樹脂製コア／クラッド部材の位置決
めを行なった後、各樹脂製コア／クラッド部材を積層接
着することを特徴としている。

【００１１】ここで、上記の樹脂製コア／クラッド部材
の位置決めマークは、スタンパからの転写により形成さ
れていてもよい（請求項２）。また、本発明の光メモリ
素子用樹脂製コア／クラッド部材（請求項３）は、樹脂
製コア層及び／又は樹脂製クラッド層から成り、前記の
層の少なくともいずれかに位置決めマークが設けられて
いることを特徴としている。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。 （Ａ）一実施形態の説明 まず、光メモリ素子用の１層分の積層体（１層積層体）
の製造方法について、図１に示す模式的側面図を用いて
説明する。

【００１３】始めに、図１（Ａ）に示すように、結像さ
せたい画像（情報）に応じた所望の凹凸パターン（凹凸
形状；ピット）を表面に刻まれたスタンパ（原盤）１上
に、所定の膜厚となるようにコア剤（液状コア樹脂）２
を塗布する。このコア剤２には、本実施形態では、紫外
線（ＵＶ光）を照射することにより硬化する紫外線硬化
性樹脂材から成るものを使用し、このようにスタンパ１
へ塗布した後、紫外線を照射して完全に硬化させること
で樹脂製のコア層２を形成する。

【００１４】次に、このようにコア剤２を完全硬化させ
た後、図１（Ｂ）に示すように、その上に、コア層２よ
りも屈折率の小さい紫外線硬化性樹脂材から成るクラッ
ド剤（液状クラッド樹脂）３を塗布し、その上から、例
えば図１（Ｃ）に示すように、気泡が入らないように静
かに樹脂製基体層となる樹脂フィルム（樹脂製フィルム
部材）４を載置する。つまり、コア層２にクラッド剤３
を介して樹脂フィルム４を貼着（ラミネート）する。

【００１５】かかる状態で、コア層２の形成と同様に、
紫外線を照射してクラッド剤３を硬化させれば、コア層
２よりも屈折率の小さい樹脂製の（第１）クラッド層３
が形成されるとともに、樹脂フィルム４とコア層２とが
接着される。そして、図１（Ｄ）に示すように、スタン
パ１からコア層２とクラッド層３と樹脂フィルム４とを
一体に剥離（分離）すると、樹脂フィルム４を樹脂製基
体層とし、その上に樹脂製のクラッド層３、さらにその
上にスタンパ１の凹凸パターン（以下、単に「凹凸」と
もいう）が転写（形成）された樹脂製のコア層２が積層
された、光メモリ素子用の１層分の積層体（１層積層
体；樹脂製コア／クラッド部材）２０（以下、「１層フ
ィルム２０」ともいう）が作成される。

【００１６】なお、上記のコア剤２やクラッド剤３に
は、スタンパ１への塗布時には液体でその後、硬化させ
ることのできる樹脂であれば、紫外線硬化性樹脂以外の
光硬化性樹脂や、熱を加えることで硬化する熱硬化性樹
脂等の所望の硬化性樹脂を適用してもよい。ただし、上
述のごとくスタンパ１による転写を行なう場合には、上
記の紫外線硬化性樹脂を適用するのが好ましく、例え
ば、アクリル系，エポキシ系，チオール系の各樹脂など
がよい。

【００１７】また、コア剤２やクラッド剤３の塗布方法
には、例えば、スピンコート法，ブレードコート法，グ
ラビアコート法，ダイコート法等があるが、塗布膜厚と
均一性を満足すればどのような塗布方法を用いてもよ
い。さらに、樹脂フィルム４は、使用光波長域（コア層
２を導波させるレーザ光の波長域）で透明で（散乱光を
透過でき）、光学的な特性や膜厚の均一性，力学的な強
度などが許す限り、できるだけ薄い方が良い。これは、
１つには、図４により後述するように樹脂フィルム４が
何層にもわたって積層された状態になっても、上記の凹
凸で散乱した散乱光を最終的に外部へ放出できるように
するためと、上記の１層フィルム２０の厚みを薄くする
〔ひいては、最終的に製造される光メモリ素子３０（図
２，図３参照）の小型化を図る〕ためであるが、本実施
形態では、それだけでなく、樹脂フィルム４とコア層２
との間にあるクラッド剤３内に気泡を入りにくくするた
めでもある。

【００１８】即ち、クラッド剤３の塗布されたコア層２
上に樹脂フィルム４を載置（貼着）する工程で、樹脂フ
ィルム４の厚みが薄いと柔軟性（可塑性）に優れるた
め、樹脂フィルム４を図１（Ｃ）中に二点鎖線で示すよ
うに曲げながら少しずつ接触させてゆくことによって、
載置面積をゆっくりと増加させることが可能になり、ク
ラッド剤３内に気泡が混入してその部分の屈折率や膜厚
が変化してしまう等の影響を抑止することができるので
ある。

【００１９】このため、樹脂フィルム４には、例えば、
ポリカーボネート，アートン（日本合成ゴム社製）など
の非晶質ポリオレフィンや、ＰＥＴ（ポリエチレンテレ
フタレート），ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）等
の光学特性に優れる（ＰＥＮはさらに耐熱性にも優れ
る）熱可塑性の樹脂フィルム４が好適（特に、上記のＰ
ＥＴやＰＥＮはいずれも均一な厚みのフィルムを得られ
やすいので好適）で、これらのいずれかを熱延伸或いは
溶媒キャスト等の方法で、例えば１００μｍ以下の厚さ
にしたものがよい。

【００２０】これ以上厚みが厚いと、樹脂フィルム４の
可塑性が乏しくなり樹脂フィルム４をクラッド剤３に載
置する際に気泡が混入しやすくなってしまう。逆に、樹
脂フィルム４の厚みが極端に薄い場合、例えば１μｍよ
りも薄いような場合は、樹脂フィルム４をスタンパ１か
ら剥離する際に破れたりすることがあるので好ましくな
い。

【００２１】次に、図１（Ｄ）により上述したごとくス
タンパ１から剥離して得られる１層フィルム２０を複数
個（枚）用意し、それらの各１層フィルム２０を、図２
及び図３に模式的に示すように、接着後に樹脂製のクラ
ッド層として機能する接着剤８により積層接着する。具
体的には、例えば、或る１層フィルム２０（樹脂フィル
ム４）上に接着剤８を塗布し〔図２（Ａ）参照〕、その
上に、気泡が入らないように別の１層フィルム２０を
（コア層２を下にして）積層（ラミネート）する〔図２
（Ｂ）参照〕。さらに、同様に、最上層の１層フィルム
２０（樹脂フィルム４）上に接着剤８を塗布し〔図２
（Ｃ）参照〕、その上に、別の１層フィルム２０を（コ
ア層２を下にして）積層する〔図２（Ｄ）参照〕。以
降、同様の工程を繰り返すことにより、各１層フィルム
２０を接着剤８を介して積層して接着する〔図２（Ｅ）
参照〕。

【００２２】ここで、上記の接着剤８には、屈折率がコ
ア層（コア剤）２よりも僅かに小さくクラッド層（クラ
ッド剤）３と略同一の値をもつ透明なものを用いればよ
いが、使用材料点数の削減を考慮するなら、クラッド剤
３と同様のもの、即ち、紫外線硬化性樹脂剤からなるク
ラッド剤を適用し、そのクラッド剤に紫外線を照射して
硬化させることで、クラッド層８を形成しつつ各１層フ
ィルム２０の接着を行なうのがよい。

【００２３】これにより、図３に模式的に示すように、
樹脂製のコア層２と、このコア層２の両面部に積層され
た樹脂製の各クラッド層３，８と、これらのコア層２と
クラッド層３，８との界面２３，２８の一方（界面２
８）に設けられた凹凸とをそなえて成るスラブ型光導波
路デバイス（光導波部材：積層体）２３８が、複数個積
層されるとともに、これらの各積層体２３８間に樹脂製
基体層としての樹脂フィルム４の設けられた、多層構造
の光メモリ素子（以下、多層光メモリともいう）３０が
製造される。

【００２４】ここで、上記の積層接着工程では、１層フ
ィルム２０を積層する毎に接着剤８を硬化させて、順
次、１層フィルム２０の接着を行なうと、例えば１００
層程度の多層構造の光メモリ素子を構成するには非常に
時間がかかってしまうので、本実施形態では、接着剤８
の硬化は各１層フィルム２０の積層終了後に一括して行
なう。

【００２５】即ち、図２（Ａ）〜図２（Ｄ）に示すよう
な積層工程の途中では、接着剤８を硬化させないまま各
１層フィルム２０を積層してゆき、図２（Ｅ）に示すよ
うに、各１層フィルム２０の積層が終了した後、各１層
フィルム２０間の接着剤８に紫外線を照射することで、
それらを一括して硬化させて、各１層フィルム２０の接
着を行なうのである。これにより、上記の積層接着工程
が大幅に短縮される。

【００２６】さらに、１層フィルム２０の積層毎に接着
剤８を硬化させると、接着剤８の両面部側の層構成が異
なり接着剤８の両面部間に働く張力が異なって反りが生
じ、１層積層毎にこの反りが蓄積されて大きくなると、
最悪の場合、ある程度以上の積層が不可能になるが、上
述したように一括硬化を行なうことで、このような反り
問題も低減できる。即ち、多層光メモリ３０の反曲を最
小限に抑制して、高い平面性を得ることができ、情報読
み取り時の信頼度を向上することができる。

【００２７】また、紫外線（光）硬化性樹脂材から成る
接着剤８は、通常の接着剤よりも、接着（硬化）時間が
非常に短いので、さらなる積層接着工程の短縮化を図る
ことができる。さらに、例えば、熱硬化性樹脂材のよう
にその硬化に熱を必要としないので、１層フィルム２０
に変形や損傷などの悪影響を与える心配もない。なお、
上記の積層接着工程は、例えば、１層フィルム２０の積
層毎に、各１層フィルム２０間の接着剤８を所定の度合
いだけ硬化（つまり、不完全硬化）させておき、積層終
了後に一括して完全に硬化させるようにしてもよい。

【００２８】ところで、上記の１層フィルム２０の積層
（接着）工程は、上述したような、最上層の１層フィル
ム２０への接着剤８の塗布と、その接着剤８上への１層
フィルム２０の積層（ラミネート）とを繰り返す手法以
外にも、例えば、各１層フィルム２０の一方の面部にそ
れぞれ接着剤８を塗布しておき、それらを相互に貼り合
わせる手法が考えられる。ただし、いずれの場合も、１
層フィルム２０に接着剤８を塗布する必要がある。

【００２９】このため、１層フィルム２０を、例えば図
４に模式的に示すように、接着剤塗布装置（前記のスピ
ンコート法，ブレードコート法，グラビアコート法，ダ
イコート法等を適用した塗布装置）のシート固定台２１
（接着剤８の塗布対象物である１層フィルム２０の載置
面２１ａ）に固定する必要がある。そこで、本実施形態
では、例えば図５に模式的に示すように、上記のシート
固定台２１（載置面２１ａ）と１層フィルム２０との間
（接触面）に、液体（例えば、エタノール）２２を保持
させることによって、１層フィルム２０をシート固定台
２１（載置面２１ａ）に固定する。

【００３０】即ち、シート固定台２１（載置面２１ａ）
と１層フィルム２０との間に液体２２を保持させると、
その液体２２と固体である１層フィルム２０，シート固
体台２１との接触により毛管現象が生じ、この毛管現象
によって、液体２２と１層フィルム２０，シート固定台
２１との間に接着力（これを「毛管引力」という）が生
じて、１層フィルム２０がシート固定台２１に固定され
るのである。つまり、本実施形態では、１層フィルム２
０とシート固定台２１の載置面２１ａとの間に作用させ
る流体力として毛管引力を作用させるのである。

【００３１】ここで、１層フィルム２０とシート固定台
２１との間に液体２２を保持させる手法としては、様々
な手法が考えられるが、例えば、図６（Ａ）〜図６
（Ｃ）に示すような手法をとれば、１層フィルム２０と
シート固定台２１との間に液体２２を均一に保持させる
ことが可能である。即ち、まず、シート固定台２１（載
置面２１ａ）の端部２１ｂ上に液体２２を置いておき
〔図６（Ａ）参照〕、その端部２１ｂ側から、１層フィ
ルム２０を、例えばローラ１５等を用いて、一定の圧力
をかけながらシート固定台２１に圧着してゆく〔図６
（Ｂ）参照〕。これにより、液体２２は、ローラ１５か
らの一定の圧力によってシート固定台２１の載置面２１
ａ上に、順次、広がってゆき、最終的に、載置面２１ａ
上に均一に広がって、１層フィルム２０の固定が完了す
る〔図６（Ｃ）参照〕。

【００３２】この状態で、上記接着剤塗布装置によって
接着剤８を、上述したスピンコート法，ブレードコート
法，グラビアコート法，ダイコート法等によって、１層
フィルム２０に塗布すれば、１層フィルム２０に変形や
損傷等を生じさせることなく、接着剤８を１層フィルム
２０上に所望の膜厚で均一に塗布することが可能とな
る。

【００３３】中でも、スピンコート法では１層フィルム
２０の保持が特に困難であったため、本手法の適用効果
は非常に大きい。なお、上記の接着剤塗布装置は、シー
ト固定台２１（載置面２１ａ）と接着剤供給機構とを有
するのが好ましいが、少なくとも、接着剤塗布対象物
（１層フィルム２０）に接着剤８を塗布できる機構を有
していればその構造については不問である。

【００３４】また、このような接着剤８の塗布後、図２
により上述したごとく１層フィルム２０の積層を行なう
場合、最終的に製造される多層光メモリ３０が予め計算
された光の散乱強度と位相（散乱光出力条件）を有する
ように、各１層フィルム２０の位置合わせを行なう必要
がある。ところが、本実施形態では、上記のコア層２と
クラッド層３（８）がいずれも樹脂製でその屈折率差が
非常に小さいため、コア層２に形成された凹凸を確認
（視認）しながらこのような位置合わせを行なうのは略
不可能である。

【００３５】そこで、本実施形態では、例えば図９
（Ａ）に模式的に示すように、積層対象の各１層フィル
ム２０のそれぞれに位置決めマーク（アライメントマー
ク）１６を形成しておき、各１層フィルム２０のアライ
メントマーク１６をＣＣＤカメラ１８等の撮像装置にて
読み取ることで、各１層フィルム２０の位置合わせを行
なう。

【００３６】ここで、１層フィルム２０へのアライメン
トマーク１６の形成は、例えば次のような工程により行
なうことができる。即ち、例えば図７（Ａ）に模式的に
示すように、スタンパ１に前記の凹凸パターン（符号１
７参照）以外に、図７（Ｂ）に示すような形状，サイズ
（縦横５ｍｍ，線幅０．２ｍｍ）のアライメントマーク
１６を用意しておき、前述したごとくこのスタンパ１か
ら１層フィルム２０を剥離する〔図１（Ｄ）参照〕前
に、図８に模式的に示すように、ＣＣＤカメラ１８によ
りスタンパ１上のアライメントマーク１６を読み取りな
がらそのアライメントマーク１６に沿ってレーザマーカ
１７′のレーザ光を照射する。

【００３７】これにより、１層フィルム２０（樹脂フィ
ルム４）の表面にスタンパ１上のものと同じアライメン
トマーク１６〔図７（Ｂ）参照〕が焼き付けられる（転
写されて）。このようにして１層フィルム２０に形成さ
れたアライメントマーク１６は、１層フィルム２０が光
学的に透明なので積層後もＣＣＤカメラ１８等により容
易に読み取ることが可能である。

【００３８】なお、１層フィルム２０に対するアライメ
ントマーク１６の形成数や形成箇所については、少なく
とも、各１層フィルム２０の位置合わせが精密に行なえ
る位置と数を満足していればよく、図７（Ａ）や図８に
示すように１層フィルム２０の対向する辺のそれぞれ２
箇所でもよいし、例えば、１層フィルム２０の４隅の４
箇所でもよい。また、スタンパ１上のアライメントマー
ク１６は、ＣＣＤカメラ１８で検出可能なら、どのよう
なマークでもよい。例えば、凹凸形状のものでもよい
し、色彩や模様でもよく、単なる印でもよい。

【００３９】次に、上述のごとく形成されたアライメン
トマーク１６による１層フィルム２０の実際の積層（位
置合わせ）工程について説明する。まず、例えば、前述
したような液体２２による固定方法を適用して１層フィ
ルム２０のそれぞれに接着剤８を塗布したものを複数枚
用意する。そして、例えば図９（Ａ），図９（Ｂ）に模
式的に示すように、各１層フィルム２０に形成されたア
ラメントマーク１６をＣＣＤカメラ１８で読み取りなが
ら、それぞれの１層フィルム２０のアライメントマーク
１６が一致するよう、１層フィルム２０の位置を調整す
る。

【００４０】具体的には、図９（Ｂ）に示すように、被
積層対象の１層フィルム２０は、例えば、前述したよう
な液体２２による固定方法や真空チャック方法等で固定
しておき、積層対象の１層フィルム２０は、接着剤８の
塗布面を下向きにして、フィルム保持アーム（ロボット
アーム）１９等でその両端を把持する。なお、このと
き、１層フィルム２０には多少の引っ張り張力をかけて
接着面を水平に保っておく。また、ＣＣＤカメラ１８が
各１層フィルム２０のアライメントマーク１６をそれぞ
れ読み取れるように、各１層フィルム２０の距離はＣＣ
Ｄカメラ１８の焦点深度以下（例えば、１００μｍ程
度）に保っておく。

【００４１】そして、この状態で、フィルム保持アーム
１９を、ＣＣＤカメラ１８で読み取っている各アライメ
ントマーク１６が一致するよう移動制御し、各アライメ
ントマーク１６が一致したところで、フィルム保持アー
ム１９を固定する。その後、図９（Ｂ）中に示すよう
に、ラミネート用のローラ１５′を下ろして、フィルム
保持アーム１９に把持されている１層フィルム２０を固
定されている１層フィルム２０にラミネートする。

【００４２】以上のように、本実施形態によれば、アラ
イメントマーク１６を有する光メモリ素子の構成要素と
しての１層フィルム２０を複数用意し、上記のアライメ
ントマーク１６を用いて積層対象の各１層フィルム２０
の位置決めを行なった後、各１層フィルム２０を接着剤
８により積層接着するので、各１層フィルム２０の位置
合わせを極めて容易且つ精密に行ないながら多層光メモ
リ３０の製造を行なうことができ、これより、所望の散
乱光出力条件を有する多層光メモリ３０を短期間で精度
良く実現することができる。

【００４３】特に、本実施形態では、各１層フィルム２
０のアライメントマーク１６を、表面にそのアライメン
トマーク１６を有するスタンパ１からのレーザ光による
転写によって形成するので、極めて容易に、各１層フィ
ルム２０にアライメントマーク１６を各１層フィルム２
０の同じ箇所に形成することができるので、多層光メモ
リ３０の製造工程の短縮化と精度向上とを図ることがで
きる。ただし、スタンパ１からアライメントマーク１６
を転写する方法は、レーザ光によるものに限られず、転
写可能であればどのような方法を適用してもよい。例え
ば、物理的な形成手法を適用してもよい。

【００４４】さらに、本実施形態では、１層フィルム２
０と接着剤塗布装置のシート固定台２１の載置面２１ａ
との間に液体２２を保持させるという、極めて簡単な作
業で、しかも、１層フィルム２０に傷や変形，損傷等を
生じさせることなく載置面２１ａに確実に固定すること
ができるので、接着剤８の塗布工程及び１層フィルム２
０の積層接着工程を迅速且つ精度良く行なうことができ
て、多層光メモリ３０を容易且つ安価に提供することが
可能になる。また、多層光メモリ３０の製造工程（積層
接着工程）の信頼度も大幅に向上する。

【００４５】また、上記の液体２２に、エタノールを適
用しているので、１層フィルム２０を溶解させてしまっ
たりすることがない。また、その揮発性が高いことか
ら、シート固定台２１からの分離後、１層フィルム２０
に付着した液体２２を短時間で乾燥させることができ
る。さらに、本実施形態では、コア層２とその両面部に
積層されたクラッド層３，８とがいずれも樹脂製で、し
かも、凹凸の形成されるコア層（コア剤）２に光（紫外
線）（あるいは、熱等）で硬化する硬化性樹脂を用いて
いるので、従来のようにフォトレジストの露光，現像処
理等を用いなくても、スタンパ１からの転写によって、
所望パターンの凹凸（ピット）のついたコア層２を形成
することが可能である。従って、１層フィルム２０、ひ
いては、多層光メモリ３０を短期間で大量生産すること
が可能となり、安価な光メモリ素子３０を早期に提供す
ることができる。

【００４６】また、上述した例では、スタンパ１上にコ
ア剤２を塗布し完全に硬化させてコア層２を形成した
後、コア層２への樹脂フィルム４の貼着工程を行なって
いるので、樹脂フィルム４の貼着圧力によるコア層２の
膜厚変動（つまり、光導波条件の変動）が生じない。従
って、光導波路であるコア層２の膜厚制御が容易にな
り、所望の膜厚の光導波条件を有する多層光メモリ３０
を精度良く実現することができる。

【００４７】また、この多層光メモリ３０では、接着剤
８が接着後にクラッド層として機能するので、予めクラ
ッド層６をコア層２上に個別に形成した１層分の光メモ
リ素子を複数個積層する場合に比して、多層光メモリ３
０全体の厚みを薄くすることができ、その小型化を図る
ことができる。なお、上述した実施形態では、クラッド
層３を形成するための工程において、コア層２上にクラ
ッド剤３を塗布し、その上から、樹脂フィルム４を載置
している（図１参照）が、例えば、クラッド剤３を塗布
した樹脂フィルム４をコア層２上に載置（貼着）しても
よいし、樹脂フィルム４とコア層２の双方にクラッド剤
３を塗布した状態でこれらを貼り合わせてもよい。ただ
し、上述したように、コア層２上にクラッド剤３を塗布
し、その上から、気泡が入らないように静かに樹脂フィ
ルム４を載置する方が、クラッド層３の膜厚を均一に保
つことが容易になる。

【００４８】また、上述した例では、上記のコア層２や
クラッド層３を紫外線硬化性樹脂の硬化により形成して
いるが、例えば、コア層２やクラッド層３として機能す
る所望の樹脂を溶媒に溶かしたものを塗布した後、乾燥
させることで形成することも可能である。さらに、上述
した１層フィルム（１層積層体）２０は、次のような工
程により製造することも可能である。即ち、まず、この
場合も、図１０（Ａ）に模式的に示すように、スタンパ
１上に、コア剤２を所定の膜厚となるように塗布する
が、本変形例では、このコア剤２を紫外線照射により完
全に硬化しない程度（接着能力は残る程度）に硬化（不
完全硬化）させておく。

【００４９】その一方で、図１０（Ｂ）に模式的に示す
ように、樹脂フィルム４上に紫外線硬化性樹脂材からな
るクラッド剤３を塗布し硬化させることで、クラッド層
３が一方の面部に形成された樹脂フィルム４を作製して
おく。そして、図１０（Ｃ）に示すように、この樹脂フ
ィルム４をクラッド層３とコア層２とが接触するようス
タンパ１上に載置（貼着）し、その後、コア剤２を紫外
線照射により完全に硬化させて、樹脂フィルム４に形成
されたクラッド層３とコア層２とを接着する。そして、
これらのコア層２とクラッド層３と樹脂フィルム４とを
スタンパ１から一体に剥離（分離）すれば、図１（Ｄ）
に示すものと同じ１層積層体（１層フィルム）２０が製
造される。

【００５０】このように、スタンパ１上にコア剤２を塗
布した後、このコア剤２を不完全硬化させて、コア剤２
に或る程度の硬度をもたせた上で、樹脂フィルム４の貼
着工程を行なうことで、形成されるコア層２の膜厚変動
（光導波条件の変動）を抑制することができる。従っ
て、この場合も、多層光メモリ３０を、短期間で大量生
産することが可能となり、安価な光メモリ素子３０を早
期に提供することができるほか、所望の光導波条件を有
する光メモリ素子３０を精度良く実現することができ
る。

【００５１】また、コア剤２を上記のように段階的に硬
化させることで、コア剤２の硬化時の収縮の影響（１層
フィルム２０の反曲等）を軽減することもでき、光メモ
リ素子３０の平面性を保って、積層工程の簡単化，散乱
光による情報読取の信頼性の向上等を図ることができ
る。ところで、上述したアラメントマーク１６が形成さ
れた積層接着対象の１層フィルム（図２に示す各１層フ
ィルム２０；樹脂製コア／クラッド部材）は、必ずしも
図１（Ｄ）に示す構造を有している必要はなく、また、
積層体である必要もない。つまり、上述したようなアラ
イメントマーク１６による位置合わせを利用した積層接
着工程により、最終的に、光メモリ素子が構成される構
造を有していればよい。例えば、下記のいずれかでもよ
い。

【００５２】（１）図１１（Ｄ）に示す１層積層体（１
層フィルム）２０−１ （２）図１３に示す１層フィルム２０−２ （３）図１５に示す１層フィルム２０−３ （４）図１７（Ｆ）に示す１層積層体（１層フィルム）
２０−４ （５）図１９（Ｅ）に示す１層積層体（１層フィルム）
２０−５ （６）図２１（Ｅ），図２１（Ｄ）に示す１層積層体
（１層フィルム）２０−６，２０−７ （７）図２４（Ｄ）に示す１層積層体（１層フィルム）
２０−８ （８）図２６（Ｈ），図２６（Ｅ）に示す１層積層体
（１層フィルム）２０−９，２０−１０ 以下、上記の１０種類の各１層フィルム２０−ｉ（ただ
し、ｉ＝１〜１０）の製造方法について詳述する。ただ
し、以下において、既述の符号と同一符号を付したもの
はそれぞれ既述のものと同一もしくは同様のものを表す
ものとする。また、以下の１層フィルム２０−ｉにおい
ても、上記のアライメントマーク１６の転写は、スタン
パ１からの剥離工程の前に樹脂フィルム４（４′：図１
１参照）上に、上述した手法と同様にして行なうものと
し、その説明については省略する。

【００５３】（１）１層フィルム２０−１〔図１１
（Ｄ）参照〕の製造方法の説明 始めに、この場合も、図１１（Ａ）に示すように、スタ
ンパ１上に、コア剤２を所定の膜厚となるように塗布し
た後、このコア剤２を紫外線照射により完全に硬化しな
い程度に硬化（不完全硬化）させる。次に、図１１
（Ｂ）に示すように、コア剤２上に、樹脂製のクラッド
層として機能する樹脂フィルム４′を載置（ラミネー
ト）し、その後、コア剤２を完全に硬化させて樹脂製の
コア層２を形成するとともにコア層２と樹脂フィルム
４′との接着を行なう〔図１１（Ｃ）参照〕。そして、
図１１（Ｄ）に示すように、これらのコア層２と樹脂フ
ィルム４′とをスタンパ１から一体に剥離（分離）する
と、樹脂フィルム４′と、スタンパ１の凹凸が転写され
たコア層２とから成る１層積層体（１層フィルム）２０
−１が得られる。

【００５４】なお、この場合の樹脂フィルム４′につい
ても、具体的には、前述したポリカーボネート，アート
ンなどの非晶質ポリオレフィンやＰＥＴ，ＰＥＮ等の光
学特性に優れる熱可塑性の樹脂フィルムが好適で、これ
らのいずれかを熱延伸或いは溶媒キャスト等の方法で、
例えば１００μｍ以下の厚さにしたものがよい。そし
て、上述のごとく製造される１層フィルム２０−１を複
数個用意し、例えば図１２に示すように、これらの各１
層フィルム２０−１を、上述したアライメントマーク１
６による位置合わせ行ないながら、接着後に樹脂製のク
ラッド層として機能する接着剤８により積層接着すれ
ば、樹脂製のコア層２と、その両面部に積層された樹脂
製のクラッド層４′，８と、コア層２とクラッド層
４′，８との各界面２４，２８の一方（界面２８）に設
けられた凹凸とを有するスラブ型光導波路デバイス（光
導波部材：積層体）２４８が複数個積層されて成る、多
層光メモリ３０−１が製造される。

【００５５】なお、この場合も、接着剤８は、各１層フ
ィルム２０−１のそれぞれに予め塗布しておいてもよい
し、１層フィルム２０−１の積層毎に塗布していっても
よい。このように、スタンパ１上にコア剤２を塗布した
後、このコア剤２を不完全硬化させて、コア剤２に或る
程度の硬度をもたせた上で、樹脂フィルム４′の貼着工
程を行なうことで、形成されるコア層２の膜厚変動（光
導波条件の変動）を抑制することができる。従って、多
層光メモリ３０−１を、短期間で大量生産することが可
能となり、安価な多層光メモリ３０−１を早期に提供す
ることができるほか、所望の光導波条件を有する多層光
メモリ３０−１を精度良く実現することができる。

【００５６】また、この場合も、コア剤２の段階的な硬
化によって、コア剤２の硬化時の収縮による影響（反曲
等）を軽減でき、多層光メモリ３０−１の平面性を保っ
て、積層工程の簡単化，散乱光による情報読取の信頼性
の向上等を図ることができる。さらに、この場合は、接
着剤８がクラッド層として機能する（兼用になってい
る）ことに加えて、樹脂フィルム４′がクラッド層とし
て機能する（兼用になっている）ので、多層光メモリ３
０−１の厚みをさらに薄くすることができて、光メモリ
素子３０−１の小型化にも大きく寄与している。

【００５７】（２）１層フィルム２０−２（図１３参
照）の製造方法の説明 まず、図１３（Ａ）に示すように、表面に所望の凹凸
（ピット）の刻まれたスタンパ１と、樹脂製のクラッド
層として機能する樹脂フィルム（１層フィルム：樹脂製
クラッドフィルム部材）２０−２とを圧着することによ
り、スタンパ１の凹凸を樹脂フィルム２０−２に転写す
る。このとき、例えば、樹脂フィルム２０−２を５０°
Ｃ以上の温度に保った状態で圧着（熱圧着）を行なえ
ば、上記凹凸の転写が容易になる。

【００５８】そして、図１３（Ｂ）に示すように、上記
の樹脂フィルム２０−２をスタンパ１から剥離（分離）
すると、表面に凹凸（ピット）を有する樹脂フィルム２
０−２が作製される。この樹脂フィルム２０−２を複数
用意し、例えば図１４に示すように、各樹脂フィルム２
０−２を、上述したアライメントマーク１６による位置
合わせを行ないながら、この場合は、接着後に樹脂製の
コア層として機能する接着剤１１により積層接着すれ
ば、樹脂製のコア層１１と、その両面部に積層された樹
脂製のクラッド層２０−２と、これらのコア層１１とク
ラッド層２０−２の各界面１１１の一方に設けられた凹
凸とをそなえて成るスラブ型光導波路デバイス（光導波
部材：積層体）１１０を複数個有する、多層光メモリ３
０−２が製造される。

【００５９】なお、上記の接着剤１１としては、例え
ば、紫外線硬化性樹脂材からなるコア剤が好適で、この
コア剤を紫外線照射により硬化させてコア層を形成しつ
つ、各樹脂フィルム２０−２の接着を行なうのがよい。
このように、上述した例では、凹凸をもったクラッド層
２０−２を形成するのに、例えばスタンパ１に紫外線硬
化性樹脂材からなるクラッド剤を塗布して硬化させると
いった工程が必要ないので、多層光メモリ３０−２の製
造工程が大幅に簡素化されて、さらに、短期間で大量に
多層光メモリ３０−２を生産することができる。

【００６０】また、この場合は、固体である樹脂フィル
ム２０−２にスタンパ１の凹凸を直接的に転写するの
で、樹脂フィルム（クラッド層）２０−２の膜厚制御が
比較的容易であり、また、樹脂フィルム２０−２に紫外
線硬化性樹脂材等の硬化性樹脂材を用いていないので、
硬化性樹脂材の硬化時の収縮による影響（樹脂フィルム
２０−２の反曲等）も無い。

【００６１】従って、樹脂フィルム２０−２の製造およ
び積層が容易になり、より短期間で安価に多層光メモリ
３０−２を提供できる。また、製造される多層光メモリ
３０−２の平面性も高く保たれるので、散乱光による情
報読取の信頼度も向上する。さらに、樹脂フィルム２０
−２自体がクラッド層として機能するので、図１４に示
すように、或るクラッド層２０−２は他のスラブ型光導
波路デバイス１１０のクラッド層２０−２と兼用になっ
ており、これにより、多層光メモリ３０−２の厚みが大
幅に薄くなり、その小型化に大いに寄与している。

【００６２】（３）１層フィルム２０−３（図１５参
照）の製造方法の説明 上記とは逆に、図１５（Ａ）に示すように、スタンパ１
と、樹脂製のコア層として機能する樹脂フィルム（１層
フィルム：樹脂製コアフィルム部材）２０−３とを圧着
（樹脂フィルム２０−３の温度を５０°Ｃ以上に保った
状態での熱圧着でもよい）したのち、図１５（Ｂ）に示
すように、樹脂フィルム２０−３をスタンパ１から剥離
（分離）すれば、スタンパ１の凹凸が転写された樹脂フ
ィルム２０−３が製造される。

【００６３】そして、この樹脂フィルム２０−３を複数
用意し、例えば図１６に示すように、それらの各樹脂フ
ィルム２０−３を、上述したアライメントマーク１６に
よる位置合わせを行ないながら、接着後にクラッド層と
して機能する接着剤８により積層接着すれば、樹脂製の
コア層２０−３と、その両面部に積層された樹脂製のク
ラッド層８と、これらのコア層２０−３と各クラッド層
８との各界面１２３の一方に設けられた凹凸とをそなえ
て成るスラブ型光導波路デバイス（光導波部材：積層
体）１２０を複数個有する多層光メモリ３０−３が製造
される。

【００６４】なお、上述した各例では、樹脂フィルム２
０−２（２０−３）にスタンパ１を圧着（もしくは、熱
圧着）することで表面に凹凸を有する樹脂フィルム２０
−２（２０−３）を成形しているが、例えば、スタンパ
１上に、溶媒に溶解したクラッド剤（コア剤）からなる
樹脂剤を塗布し乾燥させた後、スタンパ１から剥離（分
離）することで成形してもよい。

【００６５】そして、このようにして得られる樹脂フィ
ルム２０−２（２０−３）を、上記と同様に、アライメ
ントマーク１６による位置合わせを行ないながら、接着
後にコア層（クラッド層）として機能する接着剤１１
（８）により積層接着すれば、上記と同様の多層光メモ
リ３０−２（３０−３）が製造される。従って、この場
合は、上述のごとく樹脂フィルム２０−２（２０−３）
をスタンパ１に圧着する場合に比して、クラッド層（コ
ア層）として機能する樹脂フィルム２０−２（２０−
３）の膜厚を精度良く制御できるという利点がさらに得
られる。

【００６６】（４）１層フィルム２０−４〔図１７
（Ｆ）参照〕の製造方法の説明 始めに、図１７（Ａ）に示すように、スタンパ１上に、
所定の膜厚となるようにコア剤２を塗布したのち、紫外
線照射によりして完全に硬化させることで樹脂製のコア
層２を形成する。次に、このようにコア剤２を完全硬化
させた後、図１７（Ｂ）に示すように、その上に、クラ
ッド剤３を塗布し、その上から、例えば図１７（Ｃ）に
示すように、気泡が入らないように静かに樹脂製基体層
となる樹脂フィルム４を載置する。つまり、コア層２に
クラッド剤３を介して樹脂フィルム４を貼着（ラミネー
ト）する。そして、コア層２の形成と同様に、紫外線を
照射してクラッド剤３を硬化させれば、コア層２よりも
屈折率の小さい樹脂製のクラッド層３が形成されるとと
もに、樹脂フィルム４の接着が行なわれる。

【００６７】さらに、図１７（Ｄ）に示すように、樹脂
フィルム４上に、上記のクラッド剤３と同じ紫外線硬化
性樹脂材から成るクラッド剤（液状クラッド樹脂）５を
クラッド剤３と同じ膜厚で塗布した後、紫外線照射によ
りそのクラッド剤５を硬化させて、樹脂製のクラッド層
５を形成し、次いで、図１７（Ｅ）に示すように、この
クラッド層５上に、上記のコア剤２と同じ紫外線硬化性
樹脂材から成るコア剤（液状コア樹脂）６をコア剤２と
同じ膜厚だけ塗布した後、紫外線照射によりこのコア剤
６を硬化させて、樹脂製のコア層６を形成する。

【００６８】これにより、樹脂フィルム４を中心とし
て、それぞれ同じ紫外線硬化性樹脂材からなるクラッド
層３，５及びコア層２，６がそれぞれ同じ膜厚で（つま
り、硬化時の収縮率がそれぞれ同じ樹脂が）対象に積層
された状態となり、樹脂フィルム４の両面部において、
これらのクラッド層３，５及びコア層２，６の形成時の
収縮力が同等に働くことになる。つまり、クラッド層５
及びコア層６は、樹脂フィルム４の一方の面部に積層さ
れた樹脂層（クラッド層３及びコア層２）に対する収縮
バランス層として機能するのである。

【００６９】よって、この状態で、図１７（Ｆ）に示す
ように、スタンパ１から上記の各コア層２，６と各クラ
ッド層３，５と樹脂フィルム４とを一体に剥離（分離）
すれば、樹脂フィルム４は反曲せず、平面性の高い１層
フィルム（光メモリ素子用積層体）２０−４が製造され
る。即ち、樹脂フィルム４と、その両面部に積層され
た、それぞれ同じ樹脂材，同じ膜厚の（つまり、それぞ
れ同等の収縮率を有する）クラッド層３，５と、これら
の各クラッド層３，５のそれぞれに積層された、それぞ
れ同じ樹脂材，同じ膜厚の（それぞれ同等の収縮率を有
する）コア層２，６と、これらの各コア層２，６の一方
（コア層２）の表面に設けられた凹凸（ピット）とをそ
なえて成る、１層フィルム２０−４が製造される。

【００７０】そして、この１層フィルム２０−４を複数
個（枚）用意し、これらの各１層フィルム２０−４を、
前述したアライメントマーク１６による位置合わせを行
ないながら、接着後に樹脂製のクラッド層として機能す
る接着剤８により積層接着、即ち、或る１層フィルム２
０−４のコア層２と他の１層フィルム２０−４のコア層
６とを接着剤８を介して相互に積層して接着すれば、図
１８に示すような多層光メモリ３０−４が製造される。

【００７１】即ち、樹脂製のコア層２と、その両面部に
積層された樹脂製のクラッド層３，８と、これらのコア
層２とクラッド層３，８との界面２３，２８の一方（界
面２８）に設けられた凹凸とをそなえて成る光導波路デ
バイス２３８が複数個積層されるとともに、これらの各
光導波路デバイス２３８間に、積層体４５６〔一方の面
部にクラッド層３と同じ樹脂製のクラッド層５が積層さ
れるとともに、このクラッド層５にコア層２と同じ樹脂
製のコア層６が積層された樹脂フィルム４〕が設けられ
た、多層光メモリ３０−４が作製される。

【００７２】なお、上記のコア剤６やクラッド剤５につ
いても、塗布時には液体でその後、硬化させることので
きる樹脂であれば、上記紫外線硬化性樹脂以外の光硬化
性樹脂や、熱を加えることで硬化する熱硬化性樹脂等の
所望の硬化性樹脂を適用してもよい。ただし、使用材料
点数の削減の点から、コア剤６，クラッド剤５にも、上
述のごとく紫外線硬化性樹脂を適用するのが好ましく、
例えば、アクリル系，エポキシ系，チオール系の各樹脂
などがよい。

【００７３】また、コア剤６やクラッド剤５の塗布方法
についても、前記と同様に、スピンコート法，ブレード
コート法，グラビアコート法，ダイコート法等がある
が、塗布膜厚と均一性を満足すればどのような塗布方法
を用いてもよい。以上のように、上述した例でも、コア
層２とその両面部に積層された各クラッド層３，８がい
ずれも樹脂製なので、従来のようにフォトレジストの露
光と現像とを用いることなく、上述したごとくスタンパ
１の転写により凹凸のついたコア層２を簡単に形成する
ことができる。また、スタンパ１上に塗布したコア剤２
を硬化させてから、樹脂フィルム４の貼着工程を行なう
ので、貼着圧力によるコア層２の膜厚変動が生じず、光
メモリ素子３０−４の光導波条件を決定する上で特に重
要なコア層２の膜厚制御が容易である。

【００７４】さらに、樹脂フィルム４を中心として、そ
の両面部側に、それぞれ同じ紫外線硬化性樹脂材からな
る樹脂製のクラッド層３，５とコア層２，６とを同じ膜
厚で対象となるように形成することで、樹脂フィルム４
の両面部側に設けられた各樹脂層２，３，５，６の硬化
時の収縮バランスを確保した上で、スタンパ１からの分
離工程を行なうので、樹脂フィルム４の反曲を最小限に
抑制した１層フィルム（光メモリ素子用積層体）２０−
４を極めて容易且つ確実に製造することができる。

【００７５】また、このように１層フィルム２０−４の
反曲が最小限に抑制されていることから、多層光メモリ
３０−４を製造する際の積層（接着）工程が容易にな
り、多層光メモリ３０−４を極めて短期間で大量に生産
することが可能となるので、安価な多層光メモリ３０−
４を早期に提供することができる。さらに、この場合、
製造される多層光メモリ３０−４の反曲も最小限に抑制
されるので、高い平面性を得ることができ、これによ
り、情報読取時の信頼性も向上する。

【００７６】また、１層フィルム２０−４の積層工程で
使用する接着剤８がクラッド層として機能する（兼用に
なる）ので、多層光メモリ３０−４の厚みも薄くするこ
とができ、多層光メモリ３０−４の小型化にも寄与す
る。なお、上述した例では、コア層２及びクラッド層３
に対する収縮バランス層を、コア層２と同じ樹脂材（紫
外線硬化性樹脂材），同じ膜厚のコア層６と、クラッド
層３と同じ樹脂材（紫外線硬化性樹脂材），同じ膜厚の
クラッド層５とで形成しているが、コア層２及びクラッ
ド層３の硬化時の収縮バランスをとることができれば、
コア層６，クラッド層５の材質や膜厚はコア層２，クラ
ッド層３の材質や膜厚と異なっていてもよい。

【００７７】例えば、コア剤６，クラッド剤５に、同じ
紫外線硬化性樹脂材でも、コア剤２，クラッド剤３より
も硬化時の収縮率が高いものを適用すれば、コア剤６，
クラッド剤５の塗布膜厚は、コア剤２，クラッド剤３の
塗布膜厚よりも薄くすることができ、また、紫外線硬化
性樹脂材以外でも、コア剤２，クラッド剤３と同等の収
縮率をもつ樹脂材を適用すれば、コア層２及びクラッド
層３の硬化時の収縮バランスをとって、樹脂フィルム４
の反曲を防止することができる。

【００７８】さらに、上述した例では、樹脂フィルム４
上に、まず、クラッド層５を形成し、このクラッド層５
上にコア層６を形成しているが、これとは逆に、樹脂フ
ィルム４上に、まず、コア層６を形成し、このコア層６
上にクラッド層５を形成しても、コア層２及びクラッド
層３の硬化時の収縮バランスをとって、樹脂フィルム４
の反曲を防止することが可能である。

【００７９】また、上述した例では、コア層２上にクラ
ッド剤３を塗布し、その上から樹脂フィルム４を載置す
ることで樹脂フィルム４の貼着を行なっているが、例え
ば、クラッド剤３を予め塗布した樹脂フィルム４をコア
層２に貼着してもよいし、樹脂フィルム４とコア層２と
の双方にクラッド剤３を塗布しておき、これらを貼り合
わせてもよい。さらに、両面部に予めクラッド剤３，５
を塗布した樹脂フィルム４をコア層２に貼着してもよ
い。

【００８０】（５）１層フィルム２０−５〔図１９
（Ｅ）参照〕の製造方法の説明 始めに、この場合も、図１９（Ａ）に示すように、スタ
ンパ１上に、所定の膜厚となるようにコア剤２を塗布
し、紫外線照射により、このコア剤２を完全に硬化させ
ることで樹脂製のコア層２を形成する。次に、このよう
にコア剤２を完全硬化させた後、図１９（Ｂ）に示すよ
うに、その上に、コア層２よりも屈折率の小さいクラッ
ド剤３を塗布し、その上から、例えば図１９（Ｃ）に示
すように、クラッド剤３に気泡が入らないように樹脂製
基体層となる樹脂フィルム４を載置する。つまり、コア
層２にクラッド剤３を介して樹脂フィルム４を貼着（ラ
ミネート）する。

【００８１】そして、コア層２の形成と同様に、紫外線
を照射してクラッド剤３を硬化させて、コア層２よりも
屈折率の小さい樹脂製のクラッド層３を形成するととも
に、樹脂フィルム４の接着を行なう。次に、図１９
（Ｄ）に示すように、樹脂フィルム４上に、或る膜厚
（ただし、コア層２及びクラッド層３の２層分の膜厚よ
りも薄い膜厚が良い）で上記のコア剤２及びクラッド剤
３の硬化時の合成収縮率と同等の収縮率をもつようにそ
の成分を調整された紫外線硬化性樹脂材から成る樹脂剤
（収縮バランス剤）９を上記膜厚で塗布したのち、紫外
線照射によりこの樹脂剤９を硬化させて、樹脂層（収縮
バランス層）９を形成する。なお、上記の「合成収縮
率」とは、コア剤２及びクラッド剤３の硬化時のそれぞ
れの収縮率の合計をいう。

【００８２】これにより、樹脂フィルム４の両面部側に
おいて、クラッド剤３及びコア剤２の硬化による収縮力
と、樹脂層９の硬化による収縮力とが同等に働くので、
樹脂フィルム４の両面部間の紫外線硬化性樹脂剤の収縮
バランスがとられる。つまり、本製造方法では、コア剤
２及びクラッド剤３の硬化による収縮力と同等の収縮力
を、コア層２及びクラッド層３の２層分の膜厚よりも薄
い膜厚の１層分の樹脂層９により実現しているのであ
る。

【００８３】よって、この状態で、図１９（Ｅ）に示す
ように、スタンパ１から上記のコア層２とクラッド層３
と樹脂層９と樹脂フィルム４とを一体に剥離（分離）し
ても、樹脂フィルム４は反曲せず、平面性の高い１層フ
ィルム（光メモリ素子用積層体）２０−５が製造される
ことになる。即ち、樹脂フィルム４と、この樹脂フィル
ム４の一方の面部に積層された樹脂製のクラッド層３
と、このクラッド層３に積層された樹脂製のコア層２
と、このコア層２の表面に設けられた凹凸（ピット）
と、樹脂フィルム４の他方の面部に積層された、コア層
２及びクラッド層３の合成収縮率と同等の収縮率を有す
る樹脂材から成る樹脂層９とをそなえて成る、１層フィ
ルム２０−５が製造される。

【００８４】そして、この１層フィルム２０−５を複数
個（枚）用意し、これらの各１層フィルム２０−５を、
前述したアライメントマーク１６による位置合わせを行
ないながら、接着後に樹脂製のクラッド層として機能す
る接着剤８により積層接着、即ち、或る１層フィルム２
０−５のコア層２と他の１層フィルム２０−５の樹脂層
９とを接着剤８を介して相互に積層して接着すれば、図
２０に示すような多層光メモリ３０−５が製造される。

【００８５】即ち、樹脂製のコア層２と、このコア層２
の両面部に積層された樹脂製のクラッド層３，８と、こ
れらのコア層２とクラッド層３，８との界面２３，２８
の一方（界面２８）に設けられた凹凸とをそなえて成る
光導波路デバイス（光導波部材）２３８が複数個積層さ
れるとともに、これらの各光導波路デバイス２３８間
に、積層体４９（一方の面部に樹脂層９の積層された樹
脂フィルム４）が設けられた、多層光メモリ３０−５が
作製される。

【００８６】なお、上記の樹脂剤９には、上述のごとく
コア剤２やクラッド剤３と同じもの（紫外線硬化性樹
脂）を用いることが好ましいが、光学特性を満たしてい
れば、どのようなものを用いてもよい。また、この樹脂
剤９の塗布方法についても、スピンコート法，ブレード
コート法，グラビアコート法，ダイコート法等が適用で
きるが、塗布膜厚と均一性を満足すればどのような塗布
方法を用いてもよい。

【００８７】このように、上述した例では、コア層２及
びクラッド層３に対する収縮バランスをコア層２及びク
ラッド層３の２層分の膜厚よりも薄い膜厚の１層分の樹
脂層９によってとるので、樹脂フィルム４（つまり、１
層フィルム１０）の反曲を最小限に抑制するとともに、
製造される１層フィルム２０−５の厚みも薄くすること
ができる。

【００８８】従って、１層フィルム２０−５の積層工程
が容易になり、多層光メモリ３０−５を極めて短期間で
大量に生産することが可能となり、安価な多層光メモリ
３０−５を早期に提供することができるとともに、上述
のごとく１層フィルム２０−５自体の厚みが薄くなって
いることに加えて、この場合も、接着剤８がクラッド層
として機能する（兼用になる）ことから、多層光メモリ
３０−５の大幅な小型化を図ることが可能である。ま
た、多層光メモリ３０−５の平面性も向上しており、情
報読取時の信頼性も向上している。

【００８９】なお、上述した例においても、コア層２上
にクラッド剤３を塗布し、その上から樹脂フィルム４を
載置することで樹脂フィルム４の貼着を行なっている
が、例えば、クラッド剤３を予め塗布した樹脂フィルム
４をクラッド剤３の塗布面を介してコア層２に貼着して
もよいし、樹脂フィルム４とコア層２との双方にクラッ
ド剤３を塗布しておき、これらを貼り合わせてもよい。
また、予め一方の面部に予めクラッド剤３を塗布し、他
方の面部に樹脂剤９を塗布した樹脂フィルム４をコア層
２に貼着してもよい。

【００９０】（６）１層フィルム２０−６，２０−７
（図２１参照）の製造方法の説明 始めに、図２１（Ａ）に示すように、スタンパ１上に、
所定の膜厚となるようにクラッド剤３を所定の膜厚とな
るように塗布し、その上から、図２１（Ｂ）に示すよう
に、クラッド剤３に気泡が入らないように樹脂製基体層
となる樹脂フィルム４を載置する。つまり、スタンパ１
にクラッド剤３を介して樹脂フィルム４を貼着（ラミネ
ート）する。

【００９１】その後、紫外線照射により、クラッド剤３
を硬化させて樹脂製のクラッド層３を形成するととも
に、樹脂フィルム４の接着を行ない、次に、図２１
（Ｃ）に示すように、樹脂フィルム４上に、クラッド剤
３と同じ紫外線硬化性樹脂材からなるクラッド剤５をク
ラッド剤３と同じ膜厚で塗布した後、紫外線照射によ
り、このクラッド剤５を硬化させて樹脂製のクラッド層
５を形成する。

【００９２】これにより、樹脂フィルム４の両面部にそ
れぞれ同じ樹脂材，同じ膜厚のクラッド層３，５が形成
され、樹脂フィルム４の両面部側において、各クラッド
層（クラッド剤）３，５の硬化時の収縮力が同等に働
き、樹脂フィルム４の両面部間の紫外線硬化性樹脂によ
る収縮バランスがとられた状態となる。よって、図２１
（Ｄ）に示すように、スタンパ１から上記の各クラッド
層３，５と樹脂フィルム４とを一体に剥離（分離）して
も、樹脂フィルム４は反曲せず、平面性の高い１層フィ
ルム２０−７、即ち、樹脂フィルム４と、この樹脂フィ
ルム４の両面部に積層された、それぞれ同じ樹脂材から
なる（つまり、同等の収縮率を有する）クラッド層３，
５と、これらの各クラッド層３，５の一方（クラッド層
３）の表面に設けられた凹凸とをそなえて成る、１層フ
ィルム（光メモリ素子用積層体）２０−７が製造され
る。

【００９３】そして、図２１（Ｅ）に示すように、この
１層フィルム２０−７の上下を反転して、凹凸のついた
クラッド層３上に、さらに、樹脂製のコア層２を形成す
ると、樹脂フィルム４と、その両面部に積層された、同
じ樹脂材からなるクラッド層３，５と、これらのコア層
２とクラッド層３との界面２３に設けられた凹凸（ピッ
ト）とを有して成る、１層フィルム（光メモリ素子用積
層体）２０−６が製造される。

【００９４】なお、このときのコア層２の形成手法は、
紫外線硬化性樹脂材からなるコア剤をクラッド層３上に
塗布し硬化させてもよいし、溶媒に溶解したコア剤をク
ラッド層３上に塗布し乾燥させてもよいが、１層フィル
ム２０−６の反曲の抑制を考慮するなら、後者の手法を
採った方がよい。次に、上述のごとく製造される１層フ
ィルム２０−６を複数枚用意し、これらの各１層フィル
ム２０−６を、前述したアライメントマーク１６による
位置合わせを行ないながら、接着後に樹脂製のクラッド
層として機能する接着剤８により積層接着、即ち、或る
１層フィルム２０−６のコア層２と他の１層フィルム２
０−６のクラッド層５とを接着剤８を介して相互に積層
して接着すれば、図２２に示すような多層光メモリ３０
−６が製造される。なお、この場合、接着剤８がクラッ
ド層として機能するので、図２２中に示すように、クラ
ッド層５と接着剤８とが１層分のクラッド層５８として
機能することになる。

【００９５】即ち、樹脂製のコア層２と、このコア層２
の両面部に積層された樹脂製のクラッド層３，５８と、
これらのコア層２とクラッド層３，５８との界面２３，
２８の一方（界面２３）に設けられた凹凸とをそなえて
成る光導波路デバイス（光導波部材）２３５８が複数個
積層されるとともに、これらの各光導波路デバイス２３
５８間に樹脂フィルム４の設けられた、多層光メモリ３
０−６が製造される。

【００９６】このように、樹脂フィルム４の両面部に、
それぞれ同じ紫外線硬化性樹脂材からなるクラッド層
３，５を同じ膜厚で形成することで、樹脂フィルム４の
両面部に設けられた各クラッド層３，５の硬化時の収縮
バランスを確保した上で、スタンパ１からの分離工程を
行なったのち、クラッド層３上へのコア層２の形成を行
なうので、平面性の高い１層フィルム２０−６を極めて
容易且つ確実に製造することができる。

【００９７】また、このように１層フィルム２０−６の
反曲が最小限に抑制されていることから、多層光メモリ
３０−６を製造する際の積層工程が容易になり、多層光
メモリ３０−６を極めて短期間で大量に生産することが
可能となり、安価な多層光メモリ３０−６を早期に提供
することができる。さらに、製造される多層光メモリ３
０−６の反曲も最小限に抑制されるので、高い平面性を
得ることができ、これにより、情報読取時の信頼性も向
上する。

【００９８】また、この場合も、１層フィルム２０−６
の積層工程で使用する接着剤８がクラッド層として機能
する（兼用になる）ので、多層光メモリ３０−６の厚み
も薄くすることができ、多層光メモリ３０−６の小型化
にも寄与する。なお、上述した例では、スタンパ１上に
クラッド剤３を塗布し、その上から樹脂フィルム４を載
置することで樹脂フィルム４の貼着を行なっているが、
例えば、クラッド剤３を予め塗布した樹脂フィルム４を
スタンパ１上に貼着してもよいし、樹脂フィルム４とス
タンパ１との双方にクラッド剤３を塗布しておき、これ
らを貼り合わせてもよい。また、予め両面部にクラッド
剤３，５を塗布した樹脂フィルム４をスタンパ１に貼着
してもよい。

【００９９】また、図２１（Ｄ）に示す１層フィルム２
０−７を複数個用意し、これらの各１層フィルム２０−
７を、前述したアライメントマーク１６による位置合わ
せを行ないながら、接着後にコア層として機能する接着
剤１１により積層接着すれば、図２３に示すような多層
光メモリ３０−７が製造される。即ち、樹脂製のコア層
１１と、このコア層１１の両面部に積層された樹脂製の
クラッド層３，５と、これらのコア層１１とクラッド層
３，５との界面１１３，１１５の一方（界面１１３）に
設けられた凹凸とをそなえて成る光導波路デバイス１１
３５が複数個積層されるとともに、これらの各光導波路
デバイス１１３５間に樹脂フィルム４が設けられた、多
層光メモリ３０−７が製造される。

【０１００】この多層光メモリ３０−７は、上述した多
層光メモリ３０−６（図２２参照）におけるクラッド層
８が不要な構造になるので、上記の多層光メモリ３０−
６と同等の容量をもった多層光メモリ３０−７を、上述
した多層光メモリ３０−６よりも薄く実現することがで
きる。また、スタンパ１からの分離時の反曲を最小限に
抑制した平面性の高い１層フィルム２０−７を、複数
個、クラッド層３上にコア層２を形成せずにそのまま、
接着剤１１を介して積層接着するので、より短期間で多
層光メモリ３０−７を製造することが可能である。

【０１０１】なお、上述した例では、各クラッド層３，
５の材質及び膜厚をそれぞれ同じにすることで、樹脂フ
ィルム４の両面部間の収縮バランスをとっているが、少
なくとも、この収縮バランスをとることができれば、各
クラッド層３，５の材質や膜厚はそれぞれ異なっていて
もよい。例えば、クラッド剤５に、同じ紫外線硬化性樹
脂材でも、クラッド剤３よりも硬化時の収縮率が高いも
のを適用すれば、クラッド剤５の塗布膜厚は、クラッド
剤３の塗布膜厚よりも薄くすることができ、また、紫外
線硬化性樹脂材以外でも、クラッド剤３と同等の収縮率
をもつ樹脂材を適用すれば、上記の収縮バランスをとっ
て、樹脂フィルム４の反曲を防止することができる。

【０１０２】（７）１層積層体（１層フィルム）２０−
８〔図２４（Ｄ）参照〕の製造方法の説明 まず、図２４（Ａ）に示すように、スタンパ１上に、所
定の膜厚となるようにコア剤２を塗布し、その上から、
図２４（Ｂ）に示すように、樹脂製のクラッド層として
機能する樹脂フィルム（樹脂製フィルム部材）４′を載
置する。つまり、スタンパ１に、コア剤２を介して、樹
脂製のクラッド層として機能する樹脂フィルム４′をラ
ミネート（貼着）する。

【０１０３】次に、上記のコア剤２を、紫外線照射によ
り硬化させてコア層２を形成するとともに、樹脂フィル
ム４′の接着を行ない、その後、図２４（Ｃ）に示すよ
うに、樹脂フィルム４′上に、さらに、コア剤２と同じ
紫外線硬化性樹脂材からなるコア剤６をコア剤２と同じ
膜厚で塗布し、紫外線照射により硬化させて樹脂製のコ
ア層６を形成する。

【０１０４】これにより、樹脂フィルム４′の両面部側
において、各コア層（コア剤）２，６の硬化時の収縮力
が同等に働き、樹脂フィルム４′の両面部間の紫外線硬
化性樹脂による収縮バランスがとられた状態となる。よ
って、図２４（Ｄ）に示すように、各コア層２，６及び
樹脂フィルム４′をスタンパ１から一体に剥離（分離）
しても、樹脂フィルム４′は反曲せず、平面性の高い１
層フィルム（光メモリ素子用積層体）２０−８、即ち、
樹脂フィルム（クラッド層）４′と、このクラッド層
４′の両面部に積層された、それぞれ同じ樹脂材，同じ
膜厚（つまり、同等の収縮率を有する）樹脂製のコア層
２，６とをそなえるとともに、これらの各コア層２，６
の一方（コア層２）の表面に凹凸の設けられた、１層フ
ィルム２０−８が製造される。

【０１０５】そして、この１層フィルム２０−８を複数
枚用意し、これらの各１層フィルム２０−８を、前述し
たアライメントマーク１６による位置合わせを行ないな
がら、接着後に樹脂製のクラッド層として機能する接着
剤８により積層接着、即ち、或る１層フィルム２０−８
のコア層２と他の１層フィルム２０−８のコア層６とを
接着剤８を介して相互に積層して接着すれば、図２５に
示すような多層光メモリ３０−８が製造される。

【０１０６】即ち、樹脂製のコア層２と、このコア層２
の両面部に積層された樹脂製のクラッド層４′，８と、
これらのコア層２とクラッド層４′，８の界面２４，２
８の一方（界面２８）に設けられた凹凸とをそなえて成
る光導波路デバイス（光導波部材）２４８が複数個積層
されるとともに、これらの各光導波路デバイス２４８間
に、コア層２と同じ樹脂材，同じ膜厚の（つまり、コア
層２と同等の収縮率を有する）コア層６が設けられた、
多層光メモリ３０−８が製造される。

【０１０７】このように、樹脂フィルム４′の両面部
に、それぞれ同じ紫外線硬化性樹脂材からなるコア層
２，６を同じ膜厚で形成することで、樹脂フィルム４′
の両面部に設けられた各コア層２，６の硬化時の収縮バ
ランスを確保した上で、スタンパ１からの分離工程を行
なうので、平面性の高い１層フィルム２０−８を極めて
容易且つ確実に製造することができる。

【０１０８】また、このように１層フィルム２０−８の
反曲が最小限に抑制されていることから、多層光メモリ
３０−８を製造する際の積層工程が容易になり、多層光
メモリ３０−８を極めて短期間で大量に生産することが
可能となり、安価な多層光メモリ３０−８を早期に提供
することができる。さらに、製造される多層光メモリ３
０−８の反曲も最小限に抑制されるので、高い平面性を
得ることができ、これにより、情報読取時の信頼性も向
上する。

【０１０９】また、本実施形態では、樹脂フィルム４′
がクラッド層として機能するとともに、１層フィルム２
０−８の積層工程で使用する接着剤８がクラッド層とし
て機能する（兼用になる）ので、多層光メモリ３０−８
の厚みがさらに薄くなり、その大幅な小型化が図られて
いる。なお、上述した例では、スタンパ１上にコア剤２
を塗布し、その上から樹脂フィルム４を載置することで
樹脂フィルム４′の貼着を行なっているが、例えば、コ
ア剤２を予め塗布した樹脂フィルム４′をスタンパ１上
に貼着してもよいし、樹脂フィルム４′とスタンパ１と
の双方にコア剤２を塗布しておき、これらを貼り合わせ
てもよい。また、予め両面部にコア剤２，６を塗布した
樹脂フィルム４′をスタンパ１に貼着してもよい。

【０１１０】（８）１層積層体（１層フィルム）２０−
９〔図２６（Ｈ）参照〕，２０−１０〔図２６（Ｅ）参
照〕の製造方法の説明 まず、図２６（Ａ）に示すように、スタンパ１上に、所
定の膜厚となるようにコア剤２を塗布し、紫外線を照射
して完全に硬化させることで樹脂製のコア層２を形成す
る。次に、このようにコア剤２を完全硬化させた後、図
２６（Ｂ）に示すように、その上に、クラッド剤３を塗
布し硬化させて、樹脂製のクラッド層３を形成する。

【０１１１】さらに、図２６（Ｃ）に示すように、この
クラッド層３上に、クラッド層３よりも僅かに屈折率の
高い紫外線硬化性樹脂材から成る樹脂剤（屈折率調整用
の樹脂剤：例えば、コア剤）４Ａを塗布し、その上に、
図２６（Ｄ）に示すように、気泡が入らないように静か
に樹脂製基体層となる樹脂フィルム（樹脂製フィルム部
材）４を載置する。つまり、クラッド層３に樹脂剤４Ａ
を介して樹脂フィルム４を貼着（ラミネート）する。

【０１１２】そして、上記の樹脂剤４Ａを紫外線照射に
より硬化させて、クラッド層３よりも僅かに屈折率の高
い樹脂層（屈折率調整用の樹脂層）４Ａを形成するとと
もに、樹脂フィルム４の接着を行なう。さらに、図２６
（Ｅ）に示すように、樹脂フィルム４上に上記の樹脂剤
４Ａと同じ樹脂剤４Ｂ、即ち、クラッド層３よりも僅か
に屈折率の高い樹脂剤（例えば、コア剤）４Ｂを塗布し
硬化させて、クラッド層３よりも僅かに屈折率の高い樹
脂層（屈折率調整用の樹脂層）４Ｂを形成する。

【０１１３】次に、図２６（Ｆ）に示すように、この樹
脂層４Ｂ上に、さらに、クラッド剤３と同じ紫外線硬化
性樹脂材からなるクラッド剤５をクラッド剤３の塗布膜
厚と同じ膜厚で塗布し硬化させて樹脂製のクラッド層５
を形成し、このクラッド層５上に、図２６（Ｇ）に示す
ように、さらに、コア剤２と同じ紫外線硬化性樹脂材か
らなるコア剤６をコア剤２の塗布膜厚と同じ膜厚で塗布
し硬化させて樹脂製のコア層６を形成する。

【０１１４】以上の工程により、樹脂フィルム４の屈折
率がクラッド層３の屈折率よりも低い場合でも、コア層
２と樹脂フィルム４の間に、クラッド層３の屈折率より
も屈折率の高い樹脂層４Ａが介装されているので、コア
層２に光を入力した際、コア層２の凹凸パターン（以
下、単に「凹凸」ともいう）で散乱した光は、樹脂層４
Ａを通じて樹脂フィルム４側へ透過することになる。つ
まり、上記の凹凸による散乱光がクラッド層３で導波し
てしまうことが無い。

【０１１５】また、この場合は、樹脂フィルム４の両面
部側に、同じ樹脂材からなる樹脂剤４Ａ，４Ｂ，クラッ
ド剤３，５，コア剤２，６をそれぞれ対象に同じ膜厚で
塗布し硬化させるので、これらの樹脂剤４Ａ，４Ｂ，ク
ラッド剤３，５，コア剤２，６を硬化させたときの収縮
力が樹脂フィルム４の両面部間に同等に働くことにな
る。つまり、樹脂フィルム４の両面部間の収縮バランス
がとられた状態になっている。

【０１１６】よって、この状態で、図２６（Ｈ）に示す
ように、スタンパ１から上記の各コア層２，６，クラッ
ド層３，５及び樹脂層４Ａ，４Ｂを一体に剥離（分離）
しても、樹脂フィルム４はカール（反曲）せず、これに
より、平面性が高く、しかも、クラッド層３への散乱光
の導波を防止した１層フィルム（光メモリ素子用積層
体）２０−９が製造される。

【０１１７】即ち、樹脂製のコア層２と、このコア層２
の一方の面部に積層された樹脂製のクラッド層３と、コ
ア層２の他方の面部に設けられた凹凸と、クラッド層３
に積層された、クラッド層３よりも屈折率の高い樹脂層
４Ａと、この樹脂層４Ａに積層された樹脂フィルム４
と、この樹脂フィルム４に積層された、クラッド層３よ
りも屈折率の高い樹脂層４Ｂと、この樹脂層４Ｂに積層
された、クラッド層３と同じ樹脂材，同じ膜厚の（つま
り、クラッド層３と同等の収縮率を有する）樹脂製のク
ラッド層５と、このクラッド層５に、コア層２と同じ樹
脂材，同じ膜厚の（つまり、コア層２と同等の収縮率を
有する）樹脂製のコア層６とをそなえて成る、１層フィ
ルム２０−９が製造される。

【０１１８】そして、この１層フィルム２０−９を複数
個（枚）用意し、これらの各１層フィルム２０−９を、
前述したアライメントマーク１６による位置合わせを行
ないながら、接着後にクラッド層として機能する接着剤
８により積層接着すれば、図２７に示すような多層光メ
モリ３０−９が製造される。即ち、樹脂製のコア層２
と、このコア層２の両面部に積層された樹脂製のクラッ
ド層３，８と、これらのコア層２とクラッド層３，８と
の界面２３，２８の一方（界面２８）に設けられた凹凸
とをそなえて成る光導波路デバイス２３８が、複数個積
層されるとともに、これらの光導波路デバイス２３８間
に、積層体４ＡＢ〔クラッド層３（５）よりも屈折率の
高い樹脂層４Ａ，４Ｂを両面部に有する樹脂フィルム
４〕と、積層体５６（収縮バランス用のクラッド層５及
びコア層６）とが設けられた、多層光メモリ３０−９が
製造される。

【０１１９】なお、上記の樹脂剤４Ａ，４Ｂについて
も、塗布時には液体でその後、硬化させることのできる
樹脂であれば、上記紫外線硬化性樹脂以外の光硬化性樹
脂や、熱を加えることで硬化する熱硬化性樹脂等の所望
の硬化性樹脂を適用してもよい。ただし、使用材料点数
の削減の点から、これらの樹脂剤４Ａ，４Ｂにも、上述
のごとく紫外線硬化性樹脂を適用するのが好ましく、例
えば、アクリル系，エポキシ系，チオール系の各樹脂な
どがよい。

【０１２０】さらに、これらの樹脂剤４Ａ，４Ｂの塗布
方法についても、例えば、スピンコート法，ブレードコ
ート法，グラビアコート法，ダイコート法等が適用でき
る。そして、上述のごとく構成された多層光メモリ３０
−９では、例えば、或る光導波路デバイス２３８のコア
層２に光を入力すると、その入力光がクラッド層３，８
との界面２３，２８の一方（界面２８）に設けられた凹
凸（ピット）で散乱し、その散乱光が上下方向のそれぞ
れに伝播する。

【０１２１】このとき、クラッド層３や５に着目する
と、樹脂層４Ａ，４Ｂを両面部に有する樹脂フィルム４
（積層体４ＡＢ）の存在により、それぞれの両面部が、
自身の屈折率よりも高い屈折率を有するコア層２及び樹
脂層４Ａ、或いは、コア層６及び樹脂層４Ｂによって挟
まれた構造になっているので、先にも述べたように、樹
脂フィルム４の屈折率がクラッド層３や５の屈折率より
も低い場合でも、ピットによる散乱光がクラッド層３や
５で導波してしまうことは無い。また、クラッド層８に
ついても、その両面部がそれぞれ自身の屈折率よりも高
いコア層２及び６に挟まれた構造になっているので、散
乱光がクラッド層８で導波することも無い。従って、散
乱光は、正常に、多層光メモリ３０−９の両面部から外
部へ放出される。

【０１２２】このように、光導波路デバイス２３８間
に、屈折率調整用の樹脂層４Ａ，４Ｂを両面部に有する
樹脂フィルム４（積層体４ＡＢ）を設けることで、樹脂
フィルム４の屈折率がクラッド層３や５の屈折率よりも
低い場合でも、クラッド層３や５での散乱光の導波を防
止することができるので、クラッド層３や５での散乱光
の導波によって多層光メモリ３０−９としての本来の機
能（動作）が妨げられるようなことが無い。

【０１２３】従って、膜厚や強度等が適しているフィル
ム材料であっても、その屈折率がクラッド層３や５より
も低いという理由だけで、多層光メモリ３０−９の構成
要素として使用できないといった不具合が解消される。
この結果、樹脂フィルム４として適用可能な材質の選択
肢が広がり、多層光メモリ３０−９の実現性に大きく寄
与する。

【０１２４】また、上述した例でも、コア層２とその両
面部に積層された各クラッド層３，８がいずれも樹脂製
なので、従来のようにフォトレジストの露光と現像とを
用いることなく、上述したごとくスタンパ１の転写によ
り凹凸のついたコア層２を簡単に形成することができ
る。さらに、スタンパ１上に塗布したコア剤２を硬化さ
せてから、樹脂フィルム４の貼着工程を行なうので、貼
着圧力によるコア層２の膜厚変動（つまり、光導波条件
の変動）が生じず、光導波路として機能する凹凸のつい
たコア層２の膜厚制御、即ち、光導波条件の制御が容易
である。

【０１２５】また、樹脂フィルム４を中心として、その
両面部側に、それぞれ同じ紫外線硬化性樹脂材からなる
コア層２，６とクラッド層３，５と樹脂層４Ａ，４Ｂと
を同じ膜厚で対象となるように形成することで、樹脂フ
ィルム４の両面部側に設けられた各樹脂層２，３，４
Ａ，４Ｂ，５，６の硬化時の収縮バランスを確保した上
で、スタンパ１からの分離工程を行なうので、樹脂フィ
ルム４の反曲を最小限に抑制した１層フィルム２０−９
を極めて容易且つ確実に製造することができる。

【０１２６】また、このように１層フィルム２０−９の
反曲が最小限に抑制されていることから、多層光メモリ
３０−９を製造する際の積層（接着）工程が容易にな
り、多層光メモリ３０−９を極めて短期間で大量に生産
することが可能となり、安価な多層光メモリ３０−９を
早期に提供することができる。さらに、この場合、製造
される多層光メモリ３０−９の反曲も最小限に抑制され
るので、高い平面性を得ることができ、これにより、情
報読取時の信頼性も向上する。

【０１２７】また、１層フィルム２０−９の積層工程で
使用する接着剤８がクラッド層として機能する（兼用に
なる）ので、コア層２上に樹脂製のクラッド層８を個別
に形成して１層分の光メモリ素子（１層メモリ）を製造
し、この１層メモリを複数個、単なる接着剤で積層接着
する場合に比して、多層光メモリ３０−９の厚みも薄く
することができ、多層光メモリ３０−９の小型化にも寄
与する。

【０１２８】なお、上述した例では、コア層２及びクラ
ッド層３に対する収縮バランスを、コア層２と同じ樹脂
材，同じ膜厚のコア層６と、クラッド層３と同じ樹脂
材，同じ膜厚のクラッド層５とでとっているが、コア層
２及びクラッド層３の硬化時の収縮バランスをとること
ができれば、コア層６，クラッド層５の材質や膜厚はコ
ア層２，クラッド層３の材質や膜厚と異なっていてもよ
い。

【０１２９】例えば、コア剤６，クラッド剤５に、同じ
紫外線硬化性樹脂材でも、コア剤２，クラッド剤３より
も硬化時の収縮率が高いものを適用すれば、コア剤６，
クラッド剤５の塗布膜厚は、コア剤２，クラッド剤３の
塗布膜厚よりも薄くすることができ、また、紫外線硬化
性樹脂材以外でも、コア剤２，クラッド剤３と同等の収
縮率をもつ樹脂材を適用すれば、コア層２及びクラッド
層３の硬化時の収縮バランスをとって、樹脂フィルム４
の反曲を防止することができる。

【０１３０】また、屈折率調整用の樹脂層４Ａ，４Ｂの
材質や膜厚についても、樹脂フィルム４の両面部間の収
縮バランスがとれれば、それぞれ異なっていてもよい。
さらに、上述した例では、まず、クラッド層５を形成
し、このクラッド層５上にコア層６を形成しているが、
これとは逆に、まず、コア層６を形成し、このコア層６
上にクラッド層５を形成しても、コア層（剤）２及びク
ラッド層（剤）３の硬化時の収縮バランスをとって、樹
脂フィルム４の反曲を防止することは可能である。

【０１３１】また、上述した例では、クラッド層３上に
樹脂剤４Ａを塗布し、その上から樹脂フィルム４を載置
することで樹脂フィルム４の貼着を行なっているが、例
えば、樹脂剤４Ａを予め塗布した樹脂フィルム４をクラ
ッド層３に貼着してもよいし、樹脂フィルム４とクラッ
ド層３との双方に樹脂剤４Ａを塗布しておき、これらを
貼り合わせてもよい。

【０１３２】なお、上述した１層フィルム２０−９は、
次のようにして製造することも可能である。即ち、ま
ず、図２８（Ａ）に示すように、樹脂フィルム４の一方
の面部に上記の樹脂剤４Ａを塗布し硬化させて屈折率調
整用の樹脂層４Ａを形成し、さらに、図２８（Ｂ）に示
すように、その反対面（樹脂フィルム４の他方の面部）
に、上記の樹脂剤４Ｂを塗布し硬化させて屈折率調整用
の樹脂層４Ｂを形成する。つまり、樹脂フィルム４の両
面部に上記の樹脂層４Ａ，４Ｂを形成して、上記の積層
体４ＡＢを予め作製しておくのである。

【０１３３】一方で、図２８（Ｃ）に示すように、スタ
ンパ１上にコア剤２を塗布し硬化させてコア層２を形成
し、その上に、図２８（Ｄ）に示すように、クラッド剤
３を塗布しておく。そして、図２８（Ｅ）に示すよう
に、このクラッド剤３上に、上記の積層体４ＡＢ（両面
部に屈折率調整用の樹脂層４Ａ，４Ｂを有する樹脂フィ
ルム４）をクラッド剤３内に気泡が入らないように静か
に載置してラミネート（貼着する）。つまり、積層体４
ＡＢをクラッド剤３を介してスタンパ１上に形成された
コア層２に貼着する。

【０１３４】そして、上記のクラッド剤３を紫外線照射
により硬化させてクラッド層３を形成するとともに積層
体４ＡＢとコア層２とを接着する。ここまでの工程で、
図２６（Ｅ）に示すものと同じ１層フィルム２０−１０
が得られることになり、以後は、図２６（Ｆ）〜図２６
（Ｈ）により前述したのと同様の工程により、１層フィ
ルム２０−９が製造される。

【０１３５】即ち、樹脂層４Ｂ上に、さらに、上記のク
ラッド剤５をクラッド剤３の塗布膜厚と同じ膜厚で塗布
し硬化させてクラッド層５を形成し〔図２６（Ｆ）参
照〕、このクラッド層５上に、図２６（Ｇ）に示すよう
に、さらに、上記のコア剤６をコア剤２の塗布膜厚と同
じ膜厚で塗布し硬化させてコア層６を形成する。そし
て、最後に、図２６（Ｈ）に示すように、スタンパ１か
ら上記の各コア層２，６，クラッド層３，５及び樹脂層
４Ａ，４Ｂを一体に剥離（分離）すればよい。

【０１３６】このように、上述した例では、積層体４Ａ
Ｂを作製するプロセスと、スタンパ１上にコア層２を形
成してその上にクラッド剤３を塗布するプロセスとを並
行して行なうことができるので、前述した製造方法に比
して、より効率良く、短期間に１層フィルム２０−９を
製造することができ、これにより、多層光メモリ３０−
９も短期間で製造することが可能となる。

【０１３７】ただし、この製造方法では、積層体４ＡＢ
を作製する過程（樹脂フィルム４の両面に樹脂層４Ａ，
４Ｂを形成する過程）で、樹脂フィルム４（積層体４Ａ
Ｂ）に反曲が生じる可能性があるので、反曲低減効果を
重視するなら前述した製造方法を適用した方が良い。つ
まり、製造期間の短縮効果を重視するか反曲低減効果を
重視するかで、以上の２種の製造方法のいずれかを選ぶ
ことができる。

【０１３８】ただ、上記の積層体４ＡＢを次のように作
製すれば、本例の製造方法でも反曲低減効果を得ること
は可能である。即ち、まず、図２９（Ａ）に模式的に示
すように、ガラス基板等の平板状の基板１′上に、上記
の樹脂剤４Ａを所定膜厚で塗布し、図２９（Ｂ）に模式
的に示すように、その上から、樹脂フィルム４をラミネ
ートする。そして、樹脂材４Ａを硬化させて樹脂層４Ａ
を形成するとともに樹脂フィルム４の接着を行なう。

【０１３９】次いで、図２９（Ｃ）に模式的に示すよう
に、樹脂フィルム４上に、樹脂剤４Ｂを樹脂剤４Ａと同
じ膜厚で塗布し硬化させて樹脂層４Ｂを形成する。そし
て、これらの樹脂フィルム４，樹脂層４Ａ，４Ｂを基板
１′から一体に剥離（分離）すれば、樹脂フィルム４の
両面部に樹脂層４Ａ，４Ｂの設けられた前記と同一の積
層体４ＡＢが得られる。

【０１４０】このとき、樹脂フィルム４の両面部には、
それぞれ樹脂剤４Ａ，４Ｂを硬化したときの収縮力が均
等に働いているので、樹脂フィルム４の両面部間の収縮
バランスがとられており、基板１′から剥離しても積層
体４ＡＢはカール（反曲）せず、高い平面性が保たれ
る。従って、図２８（Ｅ）により前述したごとく積層体
４ＡＢをクラッド剤３にラミネートする工程（プロセ
ス）が容易になり、全体のプロセスの効率化，迅速化を
図ることができるとともに、高い反曲低減効果が得られ
る。

【０１４１】なお、上述した例では、樹脂フィルム４の
反曲を防止するために、樹脂層４Ｂ上にさらにクラッド
層５及びコア層６を形成しているが、これらのクラッド
層５及びコア層６の形成工程を省略しても、クラッド層
３や８への散乱光の導波防止構造を有する多層光メモリ
を製造することは可能である。即ち、図２６（Ａ）〜図
２６（Ｅ）や図２８（Ａ）〜図２８（Ｅ）により前述し
た各工程の後、クラッド層５及びコア層６を形成せず
に、コア層２，クラッド層３，樹脂フィルム４，樹脂層
４Ａ，４Ｂを一体に剥離（分離）する。これにより、樹
脂製のコア層２と、このコア層２の一方の面部に積層さ
れた樹脂製のクラッド層３と、コア層２の他方の面部に
設けられた凹凸と、クラッド層３に積層された、クラッ
ド層３よりも屈折率の高い樹脂層４Ａと、この樹脂層４
Ａに積層された樹脂フィルム４と、この樹脂フィルム４
に積層された、クラッド層３よりも屈折率の高い樹脂層
４Ｂとをそなえて成る、１層フィルム２０−１０が製造
される。

【０１４２】そして、この１層フィルム２０−１０を複
数個、前述したアライメントマーク１６による位置合わ
せを行ないながら、クラッド層として機能する接着剤８
により積層接着すれば、図２７において、クラッド層５
及びコア層６（積層体５６）の省略された多層光メモリ
（説明の便宜上、以降、多層光メモリ３０−１０と表記
する）が製造されることになる。

【０１４３】なお、このように積層体５６が省略されて
いても、クラッド層３の両面部がそれぞれ自身の屈折率
よりも高い屈折率を有するコア層２及び樹脂層４Ａに挟
まれ、クラッド層８の両面部がそれぞれ自身の屈折率よ
りも高い屈折率を有するコア層２及び樹脂層４Ｂに挟ま
れた構造になるので、クラッド層３や８で散乱光が導波
してしまうことは無い。

【０１４４】（Ｂ）その他 上述した実施形態では、アライメントマーク１６を樹脂
フィルム４（４′）上に形成することを前提にしたが、
本発明はこれに限定されず、コア層やクラッド層，樹脂
層等の他の層上に形成してもよいし、複数層のそれぞれ
に形成してもよい。ただし、上述したように樹脂フィル
ム４（４′）上に形成した方が、アライメントマーク１
６の形成による光導波条件の変動が少ない。

【０１４５】また、アライメントマーク１６は、必ずし
もレーザ光の照射によって形成する必要はなく、その形
状やサイズも前述したものでなくてよい。例えば、スタ
ンパ１上のアライメントマーク１６を用いて、１層フィ
ルム２０，２０−ｉに穴を開けることで、その穴部をア
ライメントマーク１６としてもよい。このとき、レーザ
光で直接穴を開けるとスタンパ１のアライメントマーク
１６が損傷する可能性があるため、レーザ光により穴を
開ける位置を焦がしておき、その位置に穴を開けた方が
よい。このようにして穴部をアライメントマーク１６と
すれば、その穴部にピン等を通して各１層フィルム２
０，２０−ｉを係止することで、各１層フィルム２０，
２０−ｉの位置合わせを行なうことが可能である。

【０１４６】さらに、上述した実施形態では、液体２２
としてエタノールを適用しているが、１層フィルム２０
（２０−ｉ）等の樹脂製コア／クラッド部材と載置面２
１ａとの間に保持することで毛管引力でその樹脂製コア
／クラッド部材を固定することができ、且つ、樹脂製コ
ア／クラッド部材に対して溶解性が無いものであればど
のようなものを適用してもよい。例えば、メタノールや
イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）を適用することも可
能であるし、勿論、水を適用してもよい。ただし、好ま
しくは、揮発性が高く、シート固定台２１から外した後
の樹脂製コア／クラッド部材の乾燥が容易なものがよ
い。

【０１４７】また、上述した例では、１層フィルム２０
（２０−ｉ）とシート固定台２１との間に液体２２を保
持させる手法として、ローラ１５を用いているが、最終
的に、１層フィルム２０（２０−ｉ）とシート固定台２
１との間に液体２２を保持させることができれば、勿
論、どのような手法を適用してもよい。例えば、液体２
２をシート固定台２１上に均一に噴霧してもよいし、静
置した液体２２上にローラ１５等を用いずに１層フィル
ム２０（２０−ｉ）を載置してもよい。

【０１４８】さらに、上述した例では、接着剤塗布装置
のシート固定台２１と１層フィルム２０（２０−ｉ）と
の間に作用させる流体力として、液体２２の毛管引力を
適用しているが、他の流体力を適用することも可能であ
る。例えば、シート固定台２１の載置面２１ａ上に微小
な〔例えば、直径１００μｍ（即ち、樹脂フィルム４の
膜厚程度）以下の〕吸引穴を無数に設け、その吸引穴を
通じて載置面２１ａと１層フィルム２０（２０−ｉ）と
の間の圧力（空気圧）を低下させることで、１層フィル
ム２０（２０−ｉ）を載置面２１ａに吸着させて固定す
ることも可能である。また、このような流体力以外に
も、例えば、静電気を作用させることで１層フィルム２
０（２０−ｉ）を載置面２１ａに固定することも考えら
れる。

【０１４９】また、多層光メモリ３０（３０−ｉ）を製
造する際の１層フィルム２０（２０−ｉ）を貼り合わせ
る（積層する）向きは同一方向でもよいし、互い違い等
のように違った向きでもよい。また、物理的な強度を確
保するために支持基板となる平板等を一緒に貼り合わせ
ても良い。例えば、多層光メモリ３０（３０−ｉ）の表
面或いは内部に適宜数の平板を積層接着しても良い。た
だし、スラブ型光導波路デバイスの一部が平板に両側か
ら挟み込まれる場合は、少なくとも一方（散乱光の外部
放出面）が使用光波長領域で透明でなければならない。

【０１５０】さらに、上述した例では、全て同じ１層フ
ィルム２０（２０−ｉ）を積層することで、１つの多層
光メモリ３０（３０−ｉ）を製造しているが、例えば、
異なる１層フィルム２０（２０−ｉ）を適宜の組み合わ
せで積層することで、１つの多層光メモリを製造するこ
とも可能である。また、上述した実施形態では、それ自
体では光メモリ素子としては機能しない１層フィルム２
０（２０−ｉ）を複数個積層することで、多層光メモリ
３０（３０−ｉ）を製造しているが、本発明はこれに限
定されず、それ自体で光メモリ素子として機能する１層
フィルム（１層光メモリ）を複数積層することで多層光
メモリを製造してもよい。

【０１５１】例えば、図１（Ｄ）に示す１層フィルム２
０を例にすると、この１層フィルム２０の凹凸のついた
コア層２上に、さらに、樹脂製のクラッド層８を個別に
形成すれば光導波路デバイス２３８を有する１層光メモ
リが製造されるので、この１層光メモリを複数個、単な
る接着剤（ただし、使用光波長域で透明なもの）により
積層接着すれば、図３に示す多層光メモリ３０と同等の
容量を有する多層光メモリを製造することができる。

【０１５２】さらに、上述した多層光メモリ３０，３０
−ｉでは、いずれも、凹凸（ピット）がコア層と各クラ
ッド層の界面の一方に設けられているが、本発明はこれ
に限定されず、例えば、他方の界面に設けられていても
よいし、各界面の双方に設けられていてもよい。つま
り、コア層を伝播（導波）する入力光を散乱させること
ができる構造になっていればよい。

【０１５３】また、上述した実施形態では、樹脂フィル
ム４や４′，積層体４ＡＢ等をラミネートする際、気泡
の混入を防止するために、樹脂フィルム４，４′，積層
体４ＡＢをいずれの場合も静置しているが、この際に、
例えば、ローラ等を用いて樹脂フィルム４，４′，積層
体４ＡＢに一定の圧力を加えておけば、気泡混入（接着
むら）防止効果がより高くなる。ただし、この場合、加
圧により樹脂フィルム４や４′，積層体４ＡＢの被ラミ
ネート対象層（クラッド層３やコア層２，樹脂層４Ａ
等）の膜厚が変動してしまう可能性が高い。

【０１５４】そこで、例えば、被ラミネート対象層を形
成する際、その層を２層に分けて塗布・硬化させること
で、これを防止することが考えられる。例えば、図１
（Ａ）〜図１（Ｃ）により前述した各工程を例にする
と、次のような代替工程が考えられる。即ち、まず、図
３０（Ａ）に示すように、スタンパ１上にコア剤２を塗
布し硬化させてコア層２を形成した後、図３０（Ｂ）に
示すように、その上に、紫外線硬化性樹脂材からなるク
ラッド剤（液状クラッド樹脂）３ａを塗布し硬化させて
クラッド層３ａを形成する。

【０１５５】その後、図３０（Ｃ）に示すように、上記
のクラッド層３ａ上に、クラッド剤３ａと同じクラッド
剤（液状クラッド樹脂）３ｂを塗布し、その上から、例
えば図３０（Ｄ）に示すように、ローラ等を用いて加圧
しながら樹脂フィルム４をラミネートする。このとき、
コア剤２及びクラッド剤３ａはそれぞれ硬化してコア層
２及びクラッド層３ａとなっているので、いずれの層
２，３ａの膜厚は変動しない（必要なコア膜厚，クラッ
ド膜厚が確保される）。

【０１５６】かかる状態で、クラッド剤３ｂを硬化させ
れば、クラッド層３ａと同じ材質のクラッド層３ｂが形
成されるとともに、樹脂フィルム４の接着が行なわれ
る。ここで、クラッド層３ａ，３ｂは、いずれも同じ材
質から成るので、１層分のクラッド層３として機能す
る。そして、図３０（Ｅ）に示すように、コア層２，ク
ラッド層３（３ａ，３ｂ），樹脂フィルム４をスタンパ
１から一体に剥離すれば、図１（Ｄ）に示したものと同
じ１層フィルム２０が作製される。

【０１５７】このように、被ラミネート対象層（この例
ではクラッド層３）を段階的に形成することで、コア層
２だけでなく被ラミネート対象層の膜厚制御も容易にな
るので、所望の光導波条件をもった光メモリ素子（１層
光メモリ，多層光メモリ）を確実に実現することができ
る。なお、上記のラミネート時の加圧値は、具体的に
は、例えば、単位長さ当たりの圧力（線圧力）で、０．
０１〜１０〔Ｎ（ニュートン）／ｃｍ〕の範囲の値が好
ましく、より好ましくは、０．１〜１（Ｎ／ｃｍ）の範
囲の値がよい。

【０１５８】また、上述した実施形態では、成形済の樹
脂フィルム４（４′）の貼着（ラミネート）による積層
を行なっているが、例えば、乾燥後に樹脂フィルム４
（４′）として機能する樹脂材を溶媒に溶解したもの
（樹脂フィルム剤）を塗布し乾燥させることで、樹脂フ
ィルム４（４′）の積層（形成と接着）を行なうように
してもよい。

【０１５９】さらに、上記の多層光メモリ３０，３０−
ｉは、接着剤８（１１）の硬化後、例えば、その上下両
面部側から平面基板等を用いて圧力を加え、一定時間、
所定温度（例えば、５０°Ｃ以上）の状態におく（つま
り、所定温度で一定時間加圧する）ことで、その反曲や
変形を修正して平面性を向上させるようにしてもよい。

【０１６０】また、多層光メモリ３０，３０−ｉや１層
光メモリを切断する必要がある場合（例えば、情報読取
（再生）用のレーザ光を面部に対して垂直方向から照射
してコア層２にそのレーザ光を導波させるために、側面
を４５°の角度で切断する場合等）、その切断方法とし
ては、例えば、レーザ光や圧水，回転刃，打ち抜き等に
よるものが挙げられる。また、切断後の切断端面を鏡面
化する方法としては、機械的研磨や熱したガラス，金属
等を切断端面に押し付ける等の方法が考えられる。

【０１６１】そして、本発明は上述した各実施形態に限
定されるものではなく、上記以外にも、本発明の趣旨を
逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【０１６２】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の光メモリ
素子の製造方法（請求項１）によれば、位置決めマーク
を有する光メモリ素子の構成要素である樹脂製コア／ク
ラッド部材を複数個用意し、上記の位置決めマークを用
いて積層対象の各樹脂製コア／クラッド部材の位置決め
を行なった後、各樹脂製コア／クラッド部材を積層接着
するので、各樹脂製コア／クラッド部材の位置合わせを
極めて容易且つ精密に行なうことができ、所望の散乱光
出力条件を有する光メモリ素子を短期間で精度良く実現
することができる。

【０１６３】ここで、上記の樹脂製コア／クラッド部材
の位置決めマークを、スタンパからの転写によって形成
すれば、極めて容易に、各樹脂製コア／クラッド部材に
位置決めマークを同じ箇所に形成することができるの
で、光メモリ素子の製造工程の短縮化と精度向上とを図
ることができる（請求項２）。また、本発明の光メモリ
素子用樹脂製コア／クラッド部材（請求項３）によれ
ば、樹脂製コア層及び／又は樹脂製クラッド層から成
り、前記の層の少なくともいずれかに位置決めマークが
設けられているので、上述したように、この樹脂製コア
／クラッド部材を複数個積層して光メモリ素子を構成す
る場合の位置決めを容易且つ精密に行なうことができ、
所望の散乱光出力条件を有する光メモリ素子の短期間で
の実現に大きく寄与する。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）〜（Ｄ）はいずれも本発明の一実施形態
にかかる光メモリ素子用の１層分の積層体（１層積層
体；１層フィルム）の製造方法を説明するための模式的
側面図である。

【図２】（Ａ）〜（Ｅ）はいずれも本実施形態にかかる
多層構造の光メモリ素子（多層光メモリ）の製造方法を
説明するための模式的側面図である。

【図３】本実施形態にかかる多層構造の光メモリ素子
（多層光メモリ）の構成を示す模式的側面図である。

【図４】本実施形態の１層フィルムを接着剤塗布装置の
シート固定台に載置した状態を示す模式的側面図であ
る。

【図５】本実施形態にかかる１層フィルムを接着剤塗布
装置のシート固定台に載置した状態を示す模式的側面図
である。

【図６】（Ａ）〜（Ｃ）はいずれも本実施形態にかかる
接着剤塗布装置のシート固定台への１層フィルムの固定
方法（液体保持方法）を説明するための模式的側面図で
ある。

【図７】（Ａ）は本実施形態で用いるスタンパの模式的
平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示すスタンパ上に設け
られたアライメントマークの一例を示す図である。

【図８】本実施形態にかかるアライメントマークの形成
手法を説明するための模式図である。

【図９】（Ａ）及び（Ｂ）はいずれも本実施形態にかか
るアライメントマークによる１層フィルムの位置合わせ
手順を説明するための模式図である。

【図１０】（Ａ）〜（Ｃ）はいずれも図１（Ｄ）に示す
１層フィルムの他の製造方法を説明するための模式的側
面図である。

【図１１】（Ａ）〜（Ｄ）はいずれも図２に示す１層フ
ィルムの他の製造方法（１）を説明するための模式的側
面図である。

【図１２】図１１に示す製造方法で製造された１層フィ
ルムを複数個積層接着して構成される多層光メモリを示
す模式的側面図である。

【図１３】（Ａ）及び（Ｂ）はいずれも図２に示す１層
フィルムの他の製造方法（２）を説明するための模式的
側面図である。

【図１４】図１３に示す製造方法で製造された１層フィ
ルムを複数個積層接着して構成される多層光メモリを示
す模式的側面図である。

【図１５】（Ａ）及び（Ｂ）はいずれも図２に示す１層
フィルムの他の製造方法（３）を説明するための模式的
側面図である。

【図１６】図１５に示す製造方法で製造された１層フィ
ルムを複数個積層接着して構成される多層光メモリを示
す模式的側面図である。

【図１７】（Ａ）〜（Ｆ）はいずれも図２に示す１層フ
ィルムの他の製造方法（４）を説明するための模式的側
面図である。

【図１８】図１７に示す製造方法で製造された１層フィ
ルムを複数個積層接着して構成される多層光メモリを示
す模式的側面図である。

【図１９】（Ａ）〜（Ｅ）はいずれも図２に示す１層フ
ィルムの他の製造方法（５）を説明するための模式的側
面図である。

【図２０】図１９に示す製造方法で製造された１層フィ
ルムを複数個積層接着して構成される多層光メモリを示
す模式的側面図である。

【図２１】（Ａ）〜（Ｅ）はいずれも図２に示す１層フ
ィルムの他の製造方法（６）を説明するための模式的側
面図である。

【図２２】図２１（Ａ）〜図２１（Ｅ）に示す製造方法
で製造された１層フィルムを複数個積層接着して構成さ
れる多層光メモリを示す模式的側面図である。

【図２３】図２１（Ａ）〜図２１（Ｄ）に示す製造方法
で製造された１層フィルムを複数個積層接着して構成さ
れる多層光メモリを示す模式的側面図である。

【図２４】（Ａ）〜（Ｄ）はいずれも図２に示す１層フ
ィルムの他の製造方法（７）を説明するための模式的側
面図である。

【図２５】図２４に示す製造方法で製造された１層フィ
ルムを複数個積層接着して構成される多層光メモリを示
す模式的側面図である。

【図２６】（Ａ）〜（Ｈ）はいずれも図２に示す１層フ
ィルムの他の製造方法（７）を説明するための模式的側
面図である。

【図２７】図２６に示す製造方法で製造された１層フィ
ルムを複数個積層接着して構成される多層光メモリを示
す模式的側面図である。

【図２８】（Ａ）〜（Ｅ）はいずれも図２６（Ｈ）に示
す１層フィルムの他の製造方法を説明するための模式的
側面図である。

【図２９】（Ａ）〜（Ｃ）はいずれも図２８（Ｂ）に示
す積層体の他の製造方法を説明するための模式的側面図
である。

【図３０】（Ａ）〜（Ｅ）はいずれも図１（Ｄ）に示す
積層体（１層フィルム）の他の製造方法を説明するため
の模式的側面図である。

【図３１】従来の光メモリ素子の動作原理を説明するた
めの模式的斜視図である。

【図３２】従来の光メモリ素子の動作原理を説明するた
めの模式的斜視図である。

【図３３】（Ａ），（Ｂ）は従来の光メモリ素子の製造
方法を説明するための模式的斜視図である。

【符号の説明】

１ スタンパ １′ 基板 ２，６ コア剤（液状コア樹脂；コア層） ３，３ａ，３ｂ，５ クラッド剤（液状クラッド樹脂；
クラッド層） ４ 樹脂フィルム（樹脂製フィルム部材；樹脂製基体
層） ４′ 樹脂フィルム（兼クラッド層；樹脂製フィルム部
材） ４Ａ，４Ｂ 屈折率調整用の樹脂剤（樹脂層） ４ＡＢ，４９，５６，４５６ 積層体 ８ 接着剤（クラッド層） ９ 樹脂剤（層）〔収縮バランス剤（層）〕 １１ 接着剤（コア層） １５，１５′ ローラ １６ アライメントマーク（位置決めマーク） １７ 凹凸パターン １７′ レーザマーカ １８ ＣＣＤカメラ １９ フィルム保持アーム ２０，２０−１，２０−４〜２０−１０ 光メモリ素子
用の積層体〔１層積層体；１層フィルム（樹脂製コア／
クラッド部材）〕 ２０−２ １層フィルム〔樹脂フィルム（兼クラッド
層）〕 ２０−３ １層フィルム〔樹脂フィルム（兼コア層）〕 ２１ 接着剤塗布装置のシート固定台 ２１ａ 載置面 ２２ 液体（エタノール，流体） ２３，２４，２８，１１１，１１３，１１５，１２３
界面 ３０，３０−１〜３０−１０ 多層構造の光メモリ素子
（多層光メモリ） １１０，１２０，２３８，２４８，１１３５ 光導波路
デバイス（積層体）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 樹脂製コア層と、該樹脂製コア層の両面
   部に積層された樹脂製クラッド層と、該樹脂製コア層と
   該樹脂製クラッド層との界面の少なくとも一方に設けら
   れた凹凸部とを有する光導波部材を複数個有して成る光
   メモリ素子の製造方法であって、 該光メモリ素子の構成要素である、樹脂製コア層及び／
   又は樹脂製クラッド層から成り、且つ、位置決めマーク
   を有する樹脂製コア／クラッド部材を複数個用意し、 該位置決めマークを用いて積層対象の各樹脂製コア／ク
   ラッド部材の位置決めを行なった後、 上記の各樹脂製コア／クラッド部材を積層接着すること
   を特徴とする、光メモリ素子の製造方法。
2. 【請求項２】 該樹脂製コア／クラッド部材の該位置決
   めマークが、スタンパからの転写により形成されている
   ことを特徴とする、請求項１記載の光メモリ素子の製造
   方法。
3. 【請求項３】 樹脂製コア層及び／又は樹脂製クラッド
   層から成り、 上記の層の少なくともいずれかに位置決めマークが設け
   られていることを特徴とする、光メモリ素子用樹脂製コ
   ア／クラッド部材。