JP3635523B2 - 光導波路素子及び光ピックアップ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板上に光導波路が積層された光導波路素子を用いた光ピックアップに関し、特に、互いに波長が異なる2波長を共用することができる光ピックアップの技術分野に属する。
【0002】
【従来の技術】
近年、光ディスクとして従来から利用されているCDやCD−Rに加え、記録密度向上が可能なDVDが普及しつつあり、これらに必要な光ピックアップの用途は多様になってきている。CDやCD−Rでは波長780nmのレーザ光を用いるのに対し、DVDでは波長650nmのレーザ光を用いるので、一般には別々の光ピックアップを用いることになるが、コスト低減や装置の小型化のために、CDやCD−Rと、DVDとの2波長に共用することが可能な光ピックアップが要望されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述のような2波長に共用可能な光ピックアップは、光学系の構成が複雑になり、コストが増大すると共に光ピックアップの小型化が難しくなるとことが問題であった。
【0004】
一方、近年では集積回路技術を応用した光導波路素子の開発が盛んに行われている。このような光導波路素子を光ピックアップに応用すると、多数の層に各種機能素子を集積化することができるので、小型で信頼性の高い光ピックアップを実現することができる。
【0005】
しかし、上述のような2波長に共用可能な光ピックアップを光導波路素子を用いて構成する場合、それぞれの波長用の光源は別々に配置されているので、各光源から出射された光ビームを光導波路に結合させて伝搬させると共に、共通の光学系を介して情報記録媒体に光ビームを照射することは容易ではない。しかも、CDやDVDを再生するときは、フォーカシングサーボやトラッキングサーボを行う必要があるが、これらはCDとDVDなど光ディスクの種別によって方式が同じになるとは限らない。例えば、トラッキングサーボとして、CDに対しては3ビーム法を用い、DVDに対しては通常の位相差法を用いるケースである。このような場合は、グレーティングや受光部の構成が複雑となり、光導波路素子に一体化させることが困難となる。
【0006】
そこで、本発明はこのような問題に鑑みなされたものであり、2つの波長に対応した情報記録媒体に対し共用することができ、構成が簡単で容易に小型化が実現できる光導波路素子及び当該光導波路素子を含む光ピックアップを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1に記載の光導波路素子は、第1の波長の光ビームを伝搬させる第1の光導波路と、第2の波長の光ビームを伝搬させる第2の光導波路とが形成された光導波路素子であって、第1の光源から出射された前記第1の波長の光ビームを情報記録媒体に照射すると共に、当該情報記録媒体から反射された光ビームと、前記第2の波長の光ビームを透過させる第1の分離手段と、第2の光源から出射された前記第2の波長の光ビームを情報記録媒体に照射すると共に、当該情報記録媒体から反射された光ビームと、前記第1の波長の光ビームを透過させ、当該透過させる透過部分が前記第1の分離手段と重畳して配置される第2の分離手段と、前記第1の分離手段及び前記第2の分離手段を透過した前記第1の波長の光ビームの一部の成分を前記第1の光導波路に入力結合させ、その残りの成分と前記第2の波長の光ビームとを透過させる第1のグレーティングと、前記第1の分離手段及び前記第2の分離手段を透過した前記第2の波長の光ビームの一部の成分を前記第2の光導波路に入力結合させ、その残りの成分と前記第1の波長の光ビームとを透過させる第2のグレーティングと、前記第1のグレーティング及び前記第2のグレーティングの透過光を受光する第1の受光部と、前記第1の光導波路を伝搬する光ビームを受光する第2の受光部と、前記第2の光導波路を伝搬する光ビームを受光する第3の受光部と、を備え、前記第1のグレーティング及び第2のグレーティングは、共に前記第1の分離手段と第2の分離手段が重畳した前記透過部分から前記第1受光部に至る光路上に積層配置されていることを特徴とする。
【0008】
この発明によれば、第1の光源から第1の波長の光ビームが出射され、光導波路素子の第1の分離手段により情報記録媒体に照射される。そして、反射された光ビームが第1の分離手段及び第2の分離手段を透過して第1のグレーティングに達し、一部の成分は第1の光導波路に入力結合され、その残りの成分は透過して第1の受光部により受光される。第1の光導波路を伝搬された光ビームは第2の受光部により受光される。
【0009】
一方、第2の光源から第2の波長の光ビームが出射され、光導波路素子の第2の分離手段により情報記録媒体に照射される。そして、反射された光ビームが第1の分離手段及び第2の分離手段を透過して第2のグレーティングに達し、一部の成分は第2の光導波路に入力結合され、その残りの成分は透過して第1の受光部により受光される。第2の光導波路を伝搬された光ビームは第3の受光部により受光される。
【0010】
よって、2つの波長の光ビームをそれぞれ情報記録媒体に照射し、別々の光導波路を伝搬させることができ、DVD、CDなどの異なる2波長を共用するなど、構成が簡単で小型化に好適な2波長共用の光導波路素子を実現できる。
【0011】
請求項2に記載の光ピックアップは、第1の波長の光ビームを伝搬させる第1の光導波路と、第2の波長の光ビームを伝搬させる第2の光導波路とが形成された光導波路素子を含む光ピックアップであって、前記光導波路素子は、前記第1の光源から出射された第1の波長の光ビームを情報記録媒体に照射すると共に、当該情報記録媒体から反射された光ビームと、前記第2の波長の光ビームを透過させる第1の分離手段と、前記第2の光源から出射された第2の波長の光ビームを情報記録媒体に照射すると共に、当該情報記録媒体から反射された光ビームと、前記第1の波長の光ビームを透過させ、当該透過させる透過部分が前記第1の分離手段と重畳して配置される第2の分離手段と、前記第1の分離手段及び前記第2の分離手段を透過した前記第1の波長の光ビームの一部の成分を前記第1の光導波路記に入力結合させ、その残りの成分と前記第2の波長の光ビームとを透過させる第1のグレーティングと、前記第1の分離手段及び前記第2の分離手段を透過した前記第2の波長の光ビームの一部の成分を前記第2の光導波路に入力結合させ、その残りの成分と前記第1の波長の光ビームとを透過させる第2のグレーティングと、前記第1のグレーティング又は前記第2のグレーティングの透過光を受光する第1の受光部と、前記第1の光導波路を伝搬する光ビームを受光する第2の受光部と、前記第2の光導波路を伝搬する光ビームを受光する第3の受光部と、を備え、前記第1のグレーティング及び第2のグレーティングは、共に前記第1の分離手段と第2の分離手段が重畳した前記透過部分から前記第1受光部に至る光路上に積層配置されていると共に、前記第1の受光部の受光出力に基づいてRF信号が生成され、前記第2の受光部の受光出力及び前記第3の受光部の受光出力に基づいてフォーカスエラー信号が生成されることを特徴とする。
【0012】
この発明によれば、第1の光源から第1の波長の光ビームが出射され、光導波路素子の第1の分離手段により情報記録媒体に照射される。そして、反射された光ビームが第1の分離手段及び第2の分離手段を透過して第1のグレーティングに達し、一部の成分は第1の光導波路に入力結合され、その残りの成分は透過して第1の受光部により受光される。第1の光導波路を伝搬された光ビームは第2の受光部により受光される。そして、RF信号が第1の受光部の受光出力に基づいて生成され、フォーカスエラー信号が第2の受光部の受光出力に基づいて生成される。
【0013】
一方、第2の光源から第2の波長の光ビームが出射され、光導波路素子の第2の分離手段により情報記録媒体に照射される。そして、反射された光ビームが第1の分離手段及び第2の分離手段を透過して第2のグレーティングに達し、一部の成分は第2の光導波路に入力結合され、その残りの成分は透過して第1の受光部により受光される。第2の光導波路を伝搬された光ビームは第3の受光部により受光される。そして、RF信号が第1の受光部の受光出力に基づいて生成され、フォーカスエラー信号が第3の受光部の受光出力に基づいて生成される。
【0014】
よって、2つの波長の光ビームをそれぞれ情報記録媒体に照射し、別々の光導波路を伝搬させることができ、DVD、CDなどの異なる2波長を共用するなど、構成が簡単で小型化に好適な2波長共用の光ピックアップを実現できる。
【0015】
請求項3に記載の光ピックアップは、請求項2に記載の光ピックアップにおいて、前記第1の分離手段と前記第2の分離手段の少なくとも一方は、光ビームを入力結合させるグレーティングと当該光ビームを前記情報記録媒体に照射するために出力結合させるグレーティングを設けた光導波路よりなることを特徴とする。
【0016】
この発明によれば、第1の分離手段と第2の分離手段の一方は、光源からの光ビームをグレーティングにより光導波路に入力結合し、この光導波路を伝搬した後に、他のグレーティングにより情報記録媒体に照射する。よって、情報記録媒体の位置にかかわらず、入力結合のためのグレーティングを光源の位置に応じて設計すると共に、出力結合のためのグレーティングを光ビームの光軸に応じて設計することにより、配置の自由度が大きく構成が簡単で、小型化に好適な2波長共用の光ピックアップを実現できる。
【0017】
請求項4に記載の光ピックアップは、請求項2又は請求項3に記載の光ピックアップにおいて、前記第1の分離手段と前記第2の分離手段の一方は、前記光導波路素子に積層形成され、光ビームに付与された位相差に応じて当該光ビームを選択的に反射又は透過させる分離膜よりなることを特徴とする。
【0018】
この発明によれば、第1の分離手段と第2の分離手段の一方は、光源からの光ビームを光導波路素子に積層形成された分離膜により、情報記録媒体の方向に反射され、反射された光ビームは位相差を付与されて分離膜を透過する。よって、光導波路やグレーティングを設けることなく分離手段が構成でき、構成が簡単で小型化に好適な2波長共用の光ピックアップを実現できる。
【0019】
請求項5の記載の光ピックアップは、請求項2から請求項4の何れかに記載の光ピックアップにおいて、前記第2の分離手段は、前記第2の波長の光ビームを回折して3ビームを発生させると共に、前記第3の受光部の受光出力に基づいて当該3ビームを用いたトラッキングエラー信号が生成されることを特徴とする。
【0020】
この発明によれば、第2の波長の光ビームが第2の分離手段に入射されると、回折されて光導波路面内での3ビームが発生し、この3ビームを用いたトラッキングエラー信号が第3の受光部の受光出力に基づいて生成される。よって、例えばCDなどに一般的に用いられる3ビーム法のトラッキングエラー検出を容易に実現可能な2波長共用の光ピックアップを実現できる。
【0021】
請求項6に記載の光ピックアップは、請求項2から請求項5の何れかに記載の光ピックアップにおいて、前記第1のグレーティング及び前記第2のグレーティングは2つの領域に分割されると共に、前記第2の受光部及び前記第3の受光部において、前記2つの領域のうち、一方の領域を通過した光ビームと他方の領域を通過した光ビームにより、ビームサイズ法によるフォーカスエラー信号が生成されることを特徴とする請求項2から請求項4の何れかに記載の光ピックアップ。
【0022】
この発明によれば、第1の波長の光ビームは2つに領域分割された第1のグレーティングを通り、第2の受光部においてビームサイズ法によるフォーカスエラー信号が生成される。第2の波長の光ビームは2つに領域分割された第2のグレーティングを通り、第3の受光部においてビームサイズ法によるフォーカスエラー信号が生成される。よって、光ディスクにおけるフォーカスエラーの検出をする際、グレーティングパターンの設計で容易に対応可能な光ピックアップを実現できる。
【0023】
請求項7に記載の光ピックアップは、請求項2から請求項6の何れかに記載の光ピックアップにおいて、前記第1の波長は650nmであり、前記第2の波長は780nmであることを特徴とする。
【0024】
この発明によれば、DVDにおいて用いる波長650nmの光ビームとCDやCD−Rにおいて用いる波長780nmの光ビームとが共用される。よって、高密度記録可能で汎用的な光ディスクであるDVDとCDの共用光ピックアップを小型化及び構成の簡素化を図りつつ実現できる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて説明する。本実施形態では、CD及びDVDを共用可能な光ピックアップ用の光導波路デバイスに対して本発明を適用する場合について説明する。
【0026】
図1は、本実施形態に係る光導波路デバイスの断面構造を示す図である。図1に示す光導波路デバイス1は、下から順に半導体基板11、半導体基板11上部のエピタキシャル層12、アルミ遮光膜13、第1SOG(Spin on glass)層14、第1SiO2層15、第1導波層16、第2SOG層17、第2SiO2層18、第2導波層19、第3SOG層20、第3SiO2層21、第3導波層22、第4SOG層23、往路復路分離膜24が積層される構造を有する。また、第1導波層16、第2導波層19、第3導波層22のそれぞれの左側上部には第1グレーティング31、第2グレーティング32、第3グレーティング33が形成されている。また、第3導波層22の中央上部には第4グレーティング34が形成されている。更に、エビタキシャル層12には、左から順に、第1受光部41、第2受光部42、第3受光部43が形成されている。
【0027】
以上の構成において、半導体基板11としては、例えばN型シリコン基板が用いられる。この半導体基板11に対し、エビタキシャル成長により単結晶薄膜を成長させたエピタキシャル層12を成膜した後、所定の配置に従ってP型拡散を施し、第1受光部41、第2受光部42、第3受光部43が形成される。これらの受光部が形成されない領域の上部には、アルミ遮光膜13が成膜され、上方からの光を遮断する構造になっている。
【0028】
第1SOG層14、第2SOG層17、第3SOG層20及び第4SOG層23は、多層構造の間のバッファとして機能する。そして、第2SOG層17、第3SOG層20及び第4SOG層23が、それぞれ第1導波層16、第2導波層19及び第3導波層22の上部に成膜される一方、第1SOG層14は、アルミ遮光膜13の上部に成膜され、各受光部41〜43の上部に生じた段差を埋める役割を担う。これら各SOG層14、17、20、23の厚さは、上下の各層の構造と成膜条件に応じて自在に変えることができる。
【0029】
第1導波層16、第2導波層19及び第3導波層22は、コーニング7059を材料として厚さ0.65μmに成膜され、それぞれ第1グレーティング31、第2グレーティング32、第4グレーティング34を介して入力結合された光ビームが導波モードで伝搬する光導波路として機能する。
【0030】
第1グレーティング31、第2グレーティング32、第3グレーティング33及び第4グレーティング34はTiO2からなり、0.1μmの厚さに形成される。これら各グレーティングには、所定のグレーティングパターンが形成され、後述する波長に対応する光ビームを入力結合又は出力結合させるカップラとして機能する。
【0031】
第1SiO2層15、第2SiO2層18及び第3SiO2層21は、SiO2を材料として、それぞれ第1導波層16、第2導波層19、第3導波層22の下層に厚さ0.7μmで成膜され、光導波路のクラッド層として機能する。
【0032】
上述の構造においては、光ビームを適切に光導波路に結合し、導波モードにより効率的に伝搬させるため適切な屈折率を設定する必要がある。具体的には、各光導波層16、19、22が屈折率1.53、各SiO2層15、18、21が屈折率1.47、各SOG層14、17、20、23が屈折率1.43、各グレーティング31〜34が屈折率2.0をそれぞれ有している。
【0033】
また、第4SOG層23を表面研磨した後、左側上部に蒸着により往路復路分離膜24が成膜される。この往路復路分離膜24は誘電体などの多層膜からなり、後述するようにビームスプリッタとして機能するものである。
【0034】
次に、図1の光導波路デバイス1を光ピックアップとして機能させる場合の動作について説明する。本実施形態に係る光ピックアップは、CD用の波長780nmの光ビーム、及び、DVD用の波長650nmの光ビームを何れも使用可能であり、2波長を共用可能な光ピックアップとして機能する。
【0035】
図2は、図1に示す光導波路デバイス1の断面構造において、波長780nmmの光ビームと波長650nmの光ビームがそれぞれ進行する方向を矢印で表した図である。図2においては、波長780nmの光ビームの進行方向を実線矢印で示し、波長650nmの光ビームの進行方向を点線矢印で示している。
【0036】
図2において、波長650nmの光ビームは、所定位置に配置された光源から往路復路分離膜24に斜め方向から入射される。この往路復路分離膜24を波長650nmの光ビームに対する第1の分離手段として機能させるため、TEモードの光ビームを反射し、TMモードの光ビームを透過するような特性を付与すると共に、上述の光ビームとしてTEモードが入射されるよう調整しておく。すると、TEモードである波長650nmの光ビームは、いったん往路復路分離膜24により反射されて、図示しない光学系を介してDVDの情報記録面に集光される。この際、λ/4波長板を配置し、光ビームをTMモードに変換すると、反射されたTMモードの光ビームは往路復路分離膜24を透過する。
【0037】
次いで、光ビームは下方の第3グレーティング33、第2グレーティング32を通過した後、第1グレーティング31により第1導波層16にその一部が入力結合される。これは、第3グレーティング33と第2グレーティング32は、波長780nmの光ビームに対するカップラとして用いられるのに対して、第1グレーティング31は、波長650nm用の光ビームを入力結合させるカップラとして機能するためである。この第1グレーティング31には、チャーピングした曲線グレーティングが施され、波長650nmの収束光線の照射状態や集光位置に適合してグレーティングパターンの周期及び曲率が微妙に調整される。併せてグレーティング構造の高さを適切に設定し、第1導波層16へ所望の結合効率で入力結合される。
【0038】
波長650nmの光ビームは、その一部が第1グレーティング31を透過して第1受光部41に達すると共に、残りが第1導波層16に入力結合されて右方向に導波モードで伝搬され、第2受光部42に到達する。本実施形態では、DVD動作時において、第1受光部41によりRF信号の検出とトラッキングエラー信号の検出を行い、第2受光部42によりフォーカスエラー検出を行う構成になっているが、具体的な検出方法については後述する。
【0039】
次に、図2において、波長780nmの光ビームは、所定位置に配置された光源から第4グレーティング34に斜め方向から入射される。この第4グレーティング34は、波長780nmのTEモードの光ビームを第3導波層22に入力結合するカップラとして機能する。このとき、CD動作時に3ビーム法によるトラッキングエラー検出を行うため、第4グレーティング34では3ビームに対応する回折光を発生させる後述のグレーティングパターンが形成されている。
【0040】
入力結合された光ビームは、第3導波層22を左方向に導波モードで伝搬されて第3グレーティング33に到達する。この第3グレーティング33は、波長780nmのTEモードの光ビームを出力結合させるカップラとして機能し、所定の方向に向けて光ビームが放射され、往路復路分離膜24を透過し、図示しない光学系を介してCDの情報記録面に集光される。なお、この第3グレーティング33は、指数関数的な光量分布を有する出力結合をガウス分布に近づけて情報記録面に集光する必要がある。そのため第3グレーティング33のグレーティング構造は階段状にその高さを変化させている。
【0041】
このように、第3導波層22、第4グレーティング34及び第3グレーティング33は一体となって、波長780nmの光ビームに対する第2の分離手段として機能する。
【0042】
そして、情報記録面から反射されTMモードに変換された光ビームは、往路復路分離膜24、第3グレーティング33を透過し、波長780nmの光ビームを入力結合させるカップラとして機能する第2グレーティング32により第2導波層19に所望の結合効率で入力結合される。
【0043】
従って、波長780nmの光ビームは、その一部が第2グレーティング32を透過して第1受光部41に達すると共に、残りが第2導波層19に入力結合されて右方向に導波モードで伝搬されて第3受光部43に達する。本実施形態では、CD動作時において、第1受光部41によりRF信号の検出を行い、第3受光部43によりトラッキングエラー検出及びフォーカスエラー検出を行う構成になっているが、具体的な検出方法については後述する。
【0044】
ここで、図2に示すように、第1導波層16と第2受光部42、第2導波層19と第3受光部43は、それぞれ互いに近接して配置されている。これは、高い受光効率を得るには、導波モードを放射モードに変換して受光する必要があり、導波層と受光素子の間の距離が小さくなるような配置としたものである。そのため、第1導波層16と第2導波層19は段差が生じることとなり、それぞれ第2受光部42、第3受光部43の近辺でスロープ部分16a、19aが形成されている。第1導波層16のスロープ部分16aに合わせて第2導波層19の形状が定まるので、スロープ部分19aは、図2に点線で示すように設けられる。光導波路デバイス1の上部から見た場合、互いに交錯しないように、スロープ部分16aが中央部分に、スロープ部分19aがその両端部分にそれぞれ配置されている。
【0045】
なお、図2に示す光導波路デバイス1は、光源用のサブマウントと一体化され、上記光学系及び情報記録媒体と所定の位置関係を保つように設置される。この光学系には、上述のλ/4波長板に加え、光ビームを情報記録媒体に集光するための対物レンズ、コリメータレンズ、反射ミラーなどが含まれる。
【0046】
次に、光導波路デバイス1の各グレーティング31〜34のグレーティングパターン及び各受光部41〜43の配置について図3及び図4を参照して説明する。図3は、第1グレーティング31、第2グレーティング32、第3グレーティング33及び第4グレーティング34のグレーティングパターンを示す図である。また、図4はグレーティングパターンに対応して、光導波路デバイス1のエピタキシャル層12における第1受光部41、第2受光部42及び第3受光部43の配置を示す図である。なお、図3と図4は何れも図1の光導波路デバイス1の上面から見た図であって、紙面横手方向が各光導波層16、19、22の伝搬方向になっている。
【0047】
第1グレーティング31は、2つの領域31a、31bに分かれており、曲率などが互いに異なるグレーティングパターンが施されている。これは、第2受光部42においてビームサイズ法によるフォーカスエラー検出を行うためである。これに対応して、図4に示すように、第2受光部42は分割領域42a、42b、42c、42dの4つの領域に分かれて構成されている。なお、上述したように、図1に点線で示す第2導波層19のスロープ部分19aを避ける必要があるので、分割領域42a、42bと分割領域42c、42dとは、所定距離だけ離れて両端に配置されている。
【0048】
そして、第1導波層16に結合される際、領域31aを通過した光ビームは第2受光部42の分割領域42a、42bの方向に集光され、領域31bを通過した光ビームは第2受光部42の分割領域42c、42dの方向に集光されるように曲線グレーティングパターンの調整が施されている。また、フォーカスエラーが生じていないときは、分割領域42a、42bの差信号と分割領域42c、42dの差信号は一致するように調整が施されている。一方、フォーカスエラーが生じるときは、両者の差信号が変動するので、この比較に基づいてフォーカスエラーの検出を行うことができる。
【0049】
同様に、第2グレーティング32は、2つの領域32a、32bに分かれており、第1グレーティング31と同様の作用によって第3受光部43におけるビームサイズ法によるフォーカスエラー検出に対応したグレーティングパターンが施されている。これに対応する第3受光部43の構成については後述する。
【0050】
なお、第1グレーティング31の各領域31a、31bと、第2グレーティング32の各領域32a、32bには、それぞれ、領域ごとに異なるチャーピングした曲線グレーティングパターンが設けられ、光ビームに適宜の特性を付与している。
【0051】
また、波長780nmの光ビームに対する出力カップラとしての第3グレーティング33には、特に領域分割はされず、縦方向の曲線グレーティングパターンが施されている。この第3グレーティング33には、チャーピングした曲線グレーティングパターンが設けられ、光ビームに適宜の特性を付与している。
【0052】
次に、波長780nmの光ビームに対する入力カップラとしての第4グレーティング34には、縦方向の曲線グレーティングパターンと横方向の直線グレーティングパターンとが重ね合わせて設けられている。縦方向の曲線グレーティングパターンは、上述したように周期及び曲率の微妙の調整により、第3導波層22に光ビームを入力結合するためのパターンである。横方向の直線グレーティングパターンは、CD動作時の3ビーム法によるトラッキングエラー検出を行うための回折パターンである。
【0053】
ここで、一般的に3ビーム法によるトラッキングエラー検出をもとに上記トラッキングエラー検出の原理について、図5を参照して説明する。図5(a)に示すように、第4グレーティング34に波長780nmの光ビームが入射されると、直線グレーティングパターンにより回折され、0次光に加え、1次光と−1次光が生じ、3ビームに分かれて伝搬する。図5(b)に示すように、3つのビームは、CDの情報記録面において、0次光が記録トラックの中心上に照射されると共に1次光と−1次光が記録トラックからそれぞれ一定距離だけ対称的にずれて照射されるように調整されている。このとき、記録トラックからのずれの方向に応じて、図5(c)に示すように3つのビームの照射状態が変化する。
【0054】
従って、図5(d)のような受光パターンを有する受光部により3ビームを受光すれば、AとCの受光量はトラッキングのずれに応じて変動し、A−Cをトラッキングエラー信号として得ることができる。
【0055】
上記3ビーム法によるトラッキングエラー検出及びビームサイズ法によるフォーカスエラー検出に対応するため、図4に示すように、第3受光部43は分割領域43a〜43hの8つの領域に分かれて構成されている。まず、フォーカスエラー検出において、第2グレーティング32の2つの領域32a、32bを通過した光ビームが集光される方向に対応して、分割領域43a〜43dと分割領域43e〜43hが互いに分離して配置されている。
【0056】
また、互いに分離された分割領域43a〜43dと分割領域43e〜43hは、それぞれ3ビーム法によるトラッキングエラー検出に対応するため、分割領域43a、43eが1次光を受光し、分割領域43d、43hが−1次光を受光し、分割領域43b、43c、43f、43gが0次光を受光する構成になっている。これにより、1次光の受光信号と−1次光の受光信号との差をとってトラッキングエラー信号を得ることができる。
【0057】
なお、第1グレーティング31又は第2グレーティング32を透過した光ビームは、直下にある第1受光部41により受光される。図4に示すように、第1受光部41は一般的な4分割型ディテクタであり、受光レベルに応じたRF信号を生成する共に、波長650nmの光ビームに対する位相差法によるトラッキングエラー信号を生成する。
【0058】
以上説明したように本実施形態によれば、CDに用いる波長780nmの光ビームとDVDに用いる波長650nmの光ビームとを、それぞれ別々に配置した光源から入射し、所定の方向に位置する光学系を介して情報記録媒体に照射する。また、情報記録媒体から反射された光ビームを各グレーティングにより別々の光導波路に入力結合させ各受光部に導くように構成した。そのため、RF信号、トラッキングエラー信号、フォーカスエラー信号をCD又はDVDに好適な方法で生成することができると共に、これらの機能を一体化された光導波路デバイス1に取り込むことができる。従って、2波長共用の光ピックアップを簡単な構成で容易に小型化し、更に信頼性を高めた上で実現することができる。
【0059】
なお、本発明は上述の実施形態の構成に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。例えば、上述の実施形態では、第1の分離手段として光導波路デバイス1に積層形成した往路復路分離膜24を用いた場合を説明したが、上記第2の分離手段と同様に光導波路と2つのグレーティングを第1の分離手段としてもよい。この場合は、光導波路デバイス1に図1と同様の構造で更に導波層を積層形成する必要がある。また、この導波層の上部には、第4グレーティング34とは異なる位置であって光源の配置に対応した適宜の位置に入力結合用のグレーティングを設けることができる。
【0060】
また、上述の実施形態では、CD用の波長780nmの光ビームに対し、3ビーム法によるトラッキングエラー検出を行う構成をとっているが、波長650nmの光ビームの場合と同様、4分割型ディテクタよりなる第1受光部41にて位相差法によるトラッキングエラー検出を行う構成にしてもよい。
【0061】
また、上述の実施形態における各受光部41〜43の配置は変更することができ、例えば第2受光部42と第3受光部43の位置を入れ換えたり、両者を並列に配置してもよい。更に、第1導波層16と第2導波層19を入れ換えてもよい。
【0062】
また、上述の実施形態では、共用する波長の一方がCD用の780nmであり、他方がDVD用の650nmである場合を説明したが、これ以外の2つの異なる波長の種々の組み合わせについて本発明を適用することができる。
【0063】
【発明の効果】
請求項1に記載の発明によれば、2つの波長の光ビームに対応した光導波路素子を構成するので、2波長共用光ピックアップの構成要素の多くの部分を、構成が簡単で小型化に好適な光導波路素子を用いて実現できる。
【0064】
請求項2に記載の発明によれば、2つの波長の光ビームに対応した光導波路素子を用いて光ピックアップを構成するので、2波長共用光ピックアップの構成が簡単になり、小型化可能で低コストな2波長共用光ピックアップを提供できる。
【0065】
請求項3に記載の発明によれば、情報記録媒体の位置に制約されずに光源を配置させることができ、配置の自由度が大きく小型化にも好適な2波長共用光ピックアップを提供できる。
【0066】
請求項4に記載の発明によれば、光導波路素子に分離膜を積層して光ビーム選択的に光ビームを反射又は透過させるようにしたので、比較的簡単な構成で光ビームを選択的に透過又は反射させることができ、小型化に好適な2波長共用光ピックアップを提供できる。
【0067】
請求項5に記載の発明によれば、第2の波長の光ビームを回折させて3ビームを用いてトラッキングエラー検出を行うようにしたので、CDなどに広く用いられる3ビーム法によるトラッキングエラー検出を容易に行うことができる2波長共用光ピックアップを提供できる。
【0068】
請求項6に記載の発明によれば、第1の波長及び第2の波長の光ビームに対してそれぞれグレーティングの領域分割を行ってビームサイズ法によるフォーカスエラー信号を生成するようにしたので、グレーティングパターンに基づいて光ディスクのフォーカスエラー検出を容易に行うことができる2波長共用光ピックアップを提供できる。
【0069】
請求項7に記載の発明によれば、DVD用の波長650nmとCD用の波長780nmを光導波路素子において共用する構成にしたので、高密度記録可能で汎用性の高い2波長共用光ピックアップを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る光導波路デバイスの断面構造を示す図である。
【図2】本発明の実施形態に係る光導波路デバイスの断面構造を示す図であり、波長780nmの光ビームと波長650nmの光ビームの進行方向を表した図である。
【図3】本発明の実施形態に係る光導波路デバイスの各グレーティングのグレーティングパターンを示す図である。
【図4】本発明の実施形態に係る光導波路デバイスの各受光部の配置を示す図である。
【図5】3ビーム法によるトラッキングエラー検出の原理を説明する図である。
【符号の説明】
1…光導波路デバイス
11…半導体基板
12…エピタキシャル層
13…アルミ遮光層
14…第1SOG層
15…第1SiO2層
16…第1導波層
17…第2SOG層
18…第2SiO2層
19…第2導波層
20…第3SOG層
21…第3SiO2層
22…第3導波層
23…第4SOG層
24…往路復路分離膜
31…第1グレーティング
32…第2グレーティング
33…第3グレーティング
34…第4グレーティング
41…第1受光部
42…第2受光部
43…第3受光部
Claims (7)
- 第1の波長の光ビームを伝搬させる第1の光導波路と、第2の波長の光ビームを伝搬させる第2の光導波路とが形成された光導波路素子であって、
第1の光源から出射された前記第1の波長の光ビームを情報記録媒体に照射すると共に、当該情報記録媒体から反射された光ビームと、前記第2の波長の光ビームを透過させる第1の分離手段と、
第2の光源から出射された前記第2の波長の光ビームを情報記録媒体に照射すると共に、当該情報記録媒体から反射された光ビームと、前記第1の波長の光ビームを透過させ、当該透過させる透過部分が前記第1の分離手段と重畳して配置される第2の分離手段と、
前記第1の分離手段及び前記第2の分離手段を透過した前記第1の波長の光ビームの一部の成分を前記第1の光導波路に入力結合させ、その残りの成分と前記第2の波長の光ビームとを透過させる第1のグレーティングと、
前記第1の分離手段及び前記第2の分離手段を透過した前記第2の波長の光ビームの一部の成分を前記第2の光導波路に入力結合させ、その残りの成分と前記第1の波長の光ビームとを透過させる第2のグレーティングと、
前記第1のグレーティング及び前記第2のグレーティングの透過光を受光する第1の受光部と、
前記第1の光導波路を伝搬する光ビームを受光する第2の受光部と、
前記第2の光導波路を伝搬する光ビームを受光する第3の受光部と、
を備え、
前記第1のグレーティング及び第2のグレーティングは、共に前記第1の分離手段と第2の分離手段が重畳した前記透過部分から前記第1受光部に至る光路上に積層配置されていることを特徴とする光導波路素子。 - 第1の波長の光ビームを伝搬させる第1の光導波路と、第2の波長の光ビームを伝搬させる第2の光導波路とが形成された光導波路素子を含む光ピックアップであって、
前記光導波路素子は、
前記第1の光源から出射された第1の波長の光ビームを情報記録媒体に照射すると共に、当該情報記録媒体から反射された光ビームと、前記第2の波長の光ビームを透過させる第1の分離手段と、
前記第2の光源から出射された第2の波長の光ビームを情報記録媒体に照射すると共に、当該情報記録媒体から反射された光ビームと、前記第1の波長の光ビームを透過させ、当該透過させる透過部分が前記第1の分離手段と重畳して配置される第2の分離手段と、
前記第1の分離手段及び前記第2の分離手段を透過した前記第1の波長の光ビームの一部の成分を前記第1の光導波路記に入力結合させ、その残りの成分と前記第2の波長の光ビームとを透過させる第1のグレーティングと、
前記第1の分離手段及び前記第2の分離手段を透過した前記第2の波長の光ビームの一部の成分を前記第2の光導波路に入力結合させ、その残りの成分と前記第1の波長の光ビームとを透過させる第2のグレーティングと、
前記第1のグレーティング又は前記第2のグレーティングの透過光を受光する第1の受光部と、
前記第1の光導波路を伝搬する光ビームを受光する第2の受光部と、
前記第2の光導波路を伝搬する光ビームを受光する第3の受光部と、
を備え、
前記第1のグレーティング及び第2のグレーティングは、共に前記第1の分離手段と第2の分離手段が重畳した前記透過部分から前記第1受光部に至る光路上に積層配置されていると共に、
前記第1の受光部の受光出力に基づいてRF信号が生成され、前記第2の受光部の受光出力及び前記第3の受光部の受光出力に基づいてフォーカスエラー信号が生成されることを特徴とする光ピックアップ。 - 前記第1の分離手段と前記第2の分離手段の少なくとも一方は、光ビームを入力結合させるグレーティングと当該光ビームを前記情報記録媒体に照射するために出力結合させるグレーティングを設けた光導波路よりなることを特徴とする請求項2に記載の光ピックアップ。
- 前記第1の分離手段と前記第2の分離手段の一方は、前記光導波路素子に積層形成され、光ビームに付与された位相差に応じて当該光ビームを選択的に反射又は透過させる分離膜よりなることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の光ピックアップ。
- 前記第2の分離手段は、前記第2の波長の光ビームを回折して3ビームを発生させると共に、前記第3の受光部の受光出力に基づいて当該3ビームを用いたトラッキングエラー信号が生成されることを特徴とする請求項2から請求項4の何れかに記載の光ピックアップ。
- 前記第1のグレーティング及び前記第2のグレーティングは2つの領域に分割されると共に、前記第2の受光部及び前記第3の受光部において、前記2つの領域のうち、一方の領域を通過した光ビームと他方の領域を通過した光ビームにより、ビームサイズ法によるフォーカスエラー信号が生成されることを特徴とする請求項2から請求項5の何れかに記載の光ピックアップ。
- 前記第1の波長は650nmであり、前記第2の波長は780nmであることを特徴とする請求項2から請求項6の何れかに記載の光ピックアップ。
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