JP2003214673A - クリーンルームのサッシュ - Google Patents
クリーンルームのサッシュInfo
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- JP2003214673A JP2003214673A JP2002014924A JP2002014924A JP2003214673A JP 2003214673 A JP2003214673 A JP 2003214673A JP 2002014924 A JP2002014924 A JP 2002014924A JP 2002014924 A JP2002014924 A JP 2002014924A JP 2003214673 A JP2003214673 A JP 2003214673A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のクリーンルームのサッシュは、帯電防
止対策がとられておらず、サッシュ表面に電荷が溜まり
やすいので、半導体製造等においてトラブルの原因とな
るという課題があった。 【解決手段】 本発明のクリーンルームのサッシュは、
クリーンルーム側に設けられサッシュ枠３に気密状態に
取付けられている第１気密窓パネル６と、外部側に設け
られサッシュ枠３に気密状態に取付けられている第２気
密窓パネル８と、第１気密窓パネルにおけるクリーンル
ームに面する側の表面に取付けられた導電性フィルム６
０と、内装下地材の表面に取付けられた導電性クロス５
の表面５ａと上記導電性フィルム６０の表面とを導通さ
せる導電性テープ６１とを備えた。
止対策がとられておらず、サッシュ表面に電荷が溜まり
やすいので、半導体製造等においてトラブルの原因とな
るという課題があった。 【解決手段】 本発明のクリーンルームのサッシュは、
クリーンルーム側に設けられサッシュ枠３に気密状態に
取付けられている第１気密窓パネル６と、外部側に設け
られサッシュ枠３に気密状態に取付けられている第２気
密窓パネル８と、第１気密窓パネルにおけるクリーンル
ームに面する側の表面に取付けられた導電性フィルム６
０と、内装下地材の表面に取付けられた導電性クロス５
の表面５ａと上記導電性フィルム６０の表面とを導通さ
せる導電性テープ６１とを備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造等に使
用されるクリーンルームのサッシュに関する。
用されるクリーンルームのサッシュに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造工場、手術室等のクリ
ーンルームの壁にはサッシュが設けられる。
ーンルームの壁にはサッシュが設けられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のクリーンルーム
のサッシュは、帯電防止対策がとられておらず、サッシ
ュ表面に電荷が溜まりやすいので、半導体製造等におい
てトラブルの原因となるという課題があった。
のサッシュは、帯電防止対策がとられておらず、サッシ
ュ表面に電荷が溜まりやすいので、半導体製造等におい
てトラブルの原因となるという課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
クリーンルームのサッシュは、クリーンルーム側に設け
られサッシュ枠に気密状態に取付けられている第１気密
窓パネルと、外部側に設けられサッシュ枠に気密状態に
取付けられている第２気密窓パネルと、第１気密窓パネ
ルにおけるクリーンルームに面する側の表面に取付けら
れた導電性フィルムと、内装下地材の表面に取付けられ
た導電性を有するシート状内装仕上げ材の表面と上記導
電性フィルムの表面とを導通させる導電性テープとを備
えた。請求項２は、第１気密窓パネルよりクリーンルー
ム側に位置するサッシュ枠の下枠に、第１気密窓パネル
側から下方に傾斜する傾斜面を形成した。請求項３は、
第１気密窓パネルとサッシュ枠との境目にガス発散の少
ないシーリング剤でシーリング処理を施した。
クリーンルームのサッシュは、クリーンルーム側に設け
られサッシュ枠に気密状態に取付けられている第１気密
窓パネルと、外部側に設けられサッシュ枠に気密状態に
取付けられている第２気密窓パネルと、第１気密窓パネ
ルにおけるクリーンルームに面する側の表面に取付けら
れた導電性フィルムと、内装下地材の表面に取付けられ
た導電性を有するシート状内装仕上げ材の表面と上記導
電性フィルムの表面とを導通させる導電性テープとを備
えた。請求項２は、第１気密窓パネルよりクリーンルー
ム側に位置するサッシュ枠の下枠に、第１気密窓パネル
側から下方に傾斜する傾斜面を形成した。請求項３は、
第１気密窓パネルとサッシュ枠との境目にガス発散の少
ないシーリング剤でシーリング処理を施した。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図
１，図２に基づき説明する。まず、本実施の形態による
サッシュが採用される半導体製造工場のクリーンルーム
の概要を図２に基づいて説明する。クリーンルームは３
層構造となっている。即ち、半導体製造や検査などに必
要な精密機器が設置されるプロセスエリア１０と、床下
エリア２０と、天井エリア３０とを備える。プロセスエ
リア１０の床は有孔床（グレーチング）１１となってお
り、プロセスエリア１０の天井は有孔天井１２となって
いる。天井エリア３０には、空調機３１と空気洗浄フィ
ルタ３２が設けられている。プロセスエリア１０の横に
は空気循環空間１０Ａが設けられ、これにより、空気が
空気洗浄フィルタ３２で浄化されて、矢示のように各エ
リア１０，２０，３０を循環する構造となっている。ま
た、出入口４０と外部との間にはエアーシャワーが装備
された前室が設けられており、クリーンルームへの入室
者は前室で空気洗浄を行った後にクリーンルーム内に入
る。前室は、クリーンルーム側のドア４０ａと外部側の
ドアとで密閉空間となる。尚、４１は空気循環空間１０
Ａとプロセスエリア１０との間の出入口、４１ａはこの
出入口４１のドア、４２は柱、４３、４４は耐火被覆
梁、４５はサッシュ、４６は廊下、４７は配線を収納す
る配線ピットである。
１，図２に基づき説明する。まず、本実施の形態による
サッシュが採用される半導体製造工場のクリーンルーム
の概要を図２に基づいて説明する。クリーンルームは３
層構造となっている。即ち、半導体製造や検査などに必
要な精密機器が設置されるプロセスエリア１０と、床下
エリア２０と、天井エリア３０とを備える。プロセスエ
リア１０の床は有孔床（グレーチング）１１となってお
り、プロセスエリア１０の天井は有孔天井１２となって
いる。天井エリア３０には、空調機３１と空気洗浄フィ
ルタ３２が設けられている。プロセスエリア１０の横に
は空気循環空間１０Ａが設けられ、これにより、空気が
空気洗浄フィルタ３２で浄化されて、矢示のように各エ
リア１０，２０，３０を循環する構造となっている。ま
た、出入口４０と外部との間にはエアーシャワーが装備
された前室が設けられており、クリーンルームへの入室
者は前室で空気洗浄を行った後にクリーンルーム内に入
る。前室は、クリーンルーム側のドア４０ａと外部側の
ドアとで密閉空間となる。尚、４１は空気循環空間１０
Ａとプロセスエリア１０との間の出入口、４１ａはこの
出入口４１のドア、４２は柱、４３、４４は耐火被覆
梁、４５はサッシュ、４６は廊下、４７は配線を収納す
る配線ピットである。
【０００６】次に、実施の形態によるサッシュ４５の詳
細を図１に基づいて説明する。図１では、クリーンルー
ム側が接続部材１ａを介して鉄骨１による壁下地に取付
けられ、外部側が接続部材２ａを介してＡＬＣ（軽量気
泡コンクリート）等の成形コンクリート板２による壁下
地に取付けられるサッシュ枠３の例を示している。壁下
地の表面側には下地ボード４が設けられ、この下地ボー
ド４の表面４ａに導電性クロス５が貼り付けられる。ク
リーンルーム側に設けられるガラス等の第１気密窓パネ
ル６は、外周縁がサッシュ枠３のパネル取付部３ａに嵌
め込まれ、ガス発散の少ないシーリング剤７を用いたシ
ーリング処理により気密状態に取付けられている。外部
側に設けられるガラス等の第２気密窓パネル８は、外周
縁がサッシュ枠３のパネル取付部３ｂに嵌め込まれ、一
般のシーリング剤９を用いたシーリング処理により気密
状態に取付けられている。第１気密窓パネル６における
クリーンルームに面する側の表面には導電性フィルム６
０が貼り付けられている。また、第１気密窓パネル６よ
りクリーンルーム側に位置するサッシュ枠３の下枠３Ａ
には、第１気密窓パネル６側から下方に傾斜する傾斜面
３Ｂが形成されている。そして、サッシュ枠の下枠３Ａ
側においては、導電性フィルム６０の表面から傾斜面３
Ｂを含む下枠３Ａの表面に沿って導電性クロス５の表面
５ａまで到達するようにアルミテープ６１が貼り付けら
れており、これにより、導電性フィルム６０と導電性ク
ロス５とを導通させている。
細を図１に基づいて説明する。図１では、クリーンルー
ム側が接続部材１ａを介して鉄骨１による壁下地に取付
けられ、外部側が接続部材２ａを介してＡＬＣ（軽量気
泡コンクリート）等の成形コンクリート板２による壁下
地に取付けられるサッシュ枠３の例を示している。壁下
地の表面側には下地ボード４が設けられ、この下地ボー
ド４の表面４ａに導電性クロス５が貼り付けられる。ク
リーンルーム側に設けられるガラス等の第１気密窓パネ
ル６は、外周縁がサッシュ枠３のパネル取付部３ａに嵌
め込まれ、ガス発散の少ないシーリング剤７を用いたシ
ーリング処理により気密状態に取付けられている。外部
側に設けられるガラス等の第２気密窓パネル８は、外周
縁がサッシュ枠３のパネル取付部３ｂに嵌め込まれ、一
般のシーリング剤９を用いたシーリング処理により気密
状態に取付けられている。第１気密窓パネル６における
クリーンルームに面する側の表面には導電性フィルム６
０が貼り付けられている。また、第１気密窓パネル６よ
りクリーンルーム側に位置するサッシュ枠３の下枠３Ａ
には、第１気密窓パネル６側から下方に傾斜する傾斜面
３Ｂが形成されている。そして、サッシュ枠の下枠３Ａ
側においては、導電性フィルム６０の表面から傾斜面３
Ｂを含む下枠３Ａの表面に沿って導電性クロス５の表面
５ａまで到達するようにアルミテープ６１が貼り付けら
れており、これにより、導電性フィルム６０と導電性ク
ロス５とを導通させている。
【０００７】以上によれば、第１，第２気密窓パネル
６，８による二重気密パネルにより、クリーンルームの
気密性が確保される。また、第１気密窓パネル６のクリ
ーンルーム側の面に貼り付けた導電性フィルム６０と導
電性クロス５とがアルミテープ６１を介して電気的に接
続されているので、例えば、導電性クロス５をアースす
ることにより、導電性フィルム６０とサッシュ枠３と導
電性クロス５とが均一電位となり、導電性フィルム６０
とサッシュ枠３と導電性クロス５の表面の帯電電流をア
ースに素早く逃がすことができるようになり、半導体製
造等のトラブルの原因となる静電気の蓄積を防止できる
帯電防止効果の高いクリーンルームのサッシュ４５及び
壁が得られる。また、静電気による壁やサッシュへの埃
の吸着も防止でき、クリーンルームの埃汚染を少なくで
きる。また、サッシュ枠３の下枠３Ａには、第１気密窓
パネル６側から下方に傾斜する傾斜面３Ｂを備えるの
で、下枠３Ａ上の埃溜りを防止できる。また、以上の埃
溜り防止及び帯電防止構造により、静電気スパークによ
る有機物反応により生じるガスの発生も防止でき、クリ
ーンルーム内のガス汚染を少なくできる。また、クリー
ンルーム側のシーリング処理に、ガス発散の少ないシー
リング剤７を用いているので、クリーンルーム内のガス
汚染を少なくできる。
６，８による二重気密パネルにより、クリーンルームの
気密性が確保される。また、第１気密窓パネル６のクリ
ーンルーム側の面に貼り付けた導電性フィルム６０と導
電性クロス５とがアルミテープ６１を介して電気的に接
続されているので、例えば、導電性クロス５をアースす
ることにより、導電性フィルム６０とサッシュ枠３と導
電性クロス５とが均一電位となり、導電性フィルム６０
とサッシュ枠３と導電性クロス５の表面の帯電電流をア
ースに素早く逃がすことができるようになり、半導体製
造等のトラブルの原因となる静電気の蓄積を防止できる
帯電防止効果の高いクリーンルームのサッシュ４５及び
壁が得られる。また、静電気による壁やサッシュへの埃
の吸着も防止でき、クリーンルームの埃汚染を少なくで
きる。また、サッシュ枠３の下枠３Ａには、第１気密窓
パネル６側から下方に傾斜する傾斜面３Ｂを備えるの
で、下枠３Ａ上の埃溜りを防止できる。また、以上の埃
溜り防止及び帯電防止構造により、静電気スパークによ
る有機物反応により生じるガスの発生も防止でき、クリ
ーンルーム内のガス汚染を少なくできる。また、クリー
ンルーム側のシーリング処理に、ガス発散の少ないシー
リング剤７を用いているので、クリーンルーム内のガス
汚染を少なくできる。
【０００８】尚、上記では、成形コンクリート下地の場
合について説明したが、本発明は、コンクリート躯体下
地や鉄骨下地の場合にも同様に適用できる。また、本発
明は、手術室のようなクリーンルームにも適用できる。
合について説明したが、本発明は、コンクリート躯体下
地や鉄骨下地の場合にも同様に適用できる。また、本発
明は、手術室のようなクリーンルームにも適用できる。
【０００９】
【発明の効果】本発明の請求項１に係るクリーンルーム
のサッシュによれば、クリーンルームの気密性能と帯電
防止効果が得られ、クリーンルームの埃汚染やガス汚染
も少なくできる。請求項２によれば、下枠上の埃溜りを
防止できて、クリーンルームの埃汚染やガス汚染も少な
くできる。請求項３によれば、クリーンルーム内のガス
汚染を少なくできる。
のサッシュによれば、クリーンルームの気密性能と帯電
防止効果が得られ、クリーンルームの埃汚染やガス汚染
も少なくできる。請求項２によれば、下枠上の埃溜りを
防止できて、クリーンルームの埃汚染やガス汚染も少な
くできる。請求項３によれば、クリーンルーム内のガス
汚染を少なくできる。
【図１】 本発明の実施の形態によるクリーンルームの
サッシュの断面図。
サッシュの断面図。
【図２】 実施の形態によるサッシュを採用するクリー
ンルームの概要を示す断面図。
ンルームの概要を示す断面図。
３ サッシュ枠、３Ａ 下枠、３Ｂ 傾斜面、６ 第１
気密窓パネル、７ シーリング剤、８ 第２気密窓パネ
ル、６０ 導電性フィルム、６１ アルミテープ（導電
性テープ）。
気密窓パネル、７ シーリング剤、８ 第２気密窓パネ
ル、６０ 導電性フィルム、６１ アルミテープ（導電
性テープ）。
フロントページの続き
(72)発明者 山田 高久
東京都新宿区津久戸町２番１号 株式会社
熊谷組東京本社内
(72)発明者 角濱 浩
宮城県仙台市青葉区立町26番20号 株式会
社熊谷組東北支店内
(72)発明者 中沢 克典
宮城県仙台市青葉区立町26番20号 株式会
社熊谷組東北支店内
(72)発明者 鈴木 宏和
東京都新宿区津久戸町２番１号 株式会社
熊谷組東京本社内
(72)発明者 村岡 憲司
宮城県仙台市青葉区立町26番20号 株式会
社熊谷組東北支店内
(72)発明者 三浦 正泰
北海道札幌市中央区北２条西13丁目１番地
株式会社熊谷組北海道支店内
Ｆターム(参考） 2E039 AC02
3L058 BD00 BE02 BF01 BF07 BG05
Claims (3)
- 【請求項１】 クリーンルーム側に設けられサッシュ枠
に気密状態に取付けられている第１気密窓パネルと、外
部側に設けられサッシュ枠に気密状態に取付けられてい
る第２気密窓パネルと、第１気密窓パネルにおけるクリ
ーンルームに面する側の表面に取付けられた導電性フィ
ルムと、内装下地材の表面に取付けられた導電性を有す
るシート状内装仕上げ材の表面と上記導電性フィルムの
表面とを導通させる導電性テープとを備えたことを特徴
とするクリーンルームのサッシュ。 - 【請求項２】 第１気密窓パネルよりクリーンルーム側
に位置するサッシュ枠の下枠に、第１気密窓パネル側か
ら下方に傾斜する傾斜面が形成されていることを特徴と
する請求項１に記載のクリーンルームのサッシュ。 - 【請求項３】 第１気密窓パネルとサッシュ枠との境目
はガス発散の少ないシーリング剤でシーリング処理され
ていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の
クリーンルームのサッシュ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002014924A JP3898518B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームのサッシュ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002014924A JP3898518B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームのサッシュ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003214673A true JP2003214673A (ja) | 2003-07-30 |
| JP3898518B2 JP3898518B2 (ja) | 2007-03-28 |
Family
ID=27651467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002014924A Expired - Fee Related JP3898518B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームのサッシュ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3898518B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012031568A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Lixil Corp | 防塵樹脂サッシ及びこれに用いる押出樹脂材の成形方法 |
| JP2012122213A (ja) * | 2010-12-07 | 2012-06-28 | Lixil Corp | 防塵樹脂サッシ及びその成形方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01215350A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-29 | Kajima Corp | 屋内組立式清浄室 |
| JPH0794886A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-04-07 | Shin Nikkei Co Ltd | シールドルームの出入り口における電磁波遮断構造 |
| JPH11343688A (ja) * | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Benikkusu Kk | クリ−ンル−ムのエアタイト構造 |
| JP2000205619A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-28 | Univ Tohoku | クリ―ンドライエア用壁体 |
-
2002
- 2002-01-24 JP JP2002014924A patent/JP3898518B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01215350A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-29 | Kajima Corp | 屋内組立式清浄室 |
| JPH0794886A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-04-07 | Shin Nikkei Co Ltd | シールドルームの出入り口における電磁波遮断構造 |
| JPH11343688A (ja) * | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Benikkusu Kk | クリ−ンル−ムのエアタイト構造 |
| JP2000205619A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-28 | Univ Tohoku | クリ―ンドライエア用壁体 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012031568A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Lixil Corp | 防塵樹脂サッシ及びこれに用いる押出樹脂材の成形方法 |
| JP2012122213A (ja) * | 2010-12-07 | 2012-06-28 | Lixil Corp | 防塵樹脂サッシ及びその成形方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3898518B2 (ja) | 2007-03-28 |
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