JP2003214672A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のクリーンルームにおいては壁や天井の
帯電防止対策が万全とは言えず、壁や天井に電荷が蓄積
され、静電気により埃がたまったり、静電気スパークに
より有機物反応を起こすことによってガスが発生してし
まい、半導体製造等においてトラブルの原因となるとい
う課題があった。 【解決手段】 本発明のクリーンルームは、壁下地面か
ら天井面に延長するように導電性を有するシート状壁仕
上げ材（導電性クロス７）を取付けるとともに、天井面
に導電処理（導電性塗料６による塗装）を施すことによ
って上記シート状壁仕上げ材と導通するように構成し
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造等に使
用されるクリーンルーム、特にクリーンルームの壁と天
井の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体製造工場、手術室等のクリ
ーンルームが知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来のクリーンルーム
においては壁や天井の帯電防止対策が万全とは言えず、
壁や天井に電荷が蓄積され、静電気により埃が付着した
り、静電気スパークにより有機物反応を起こすことによ
ってガスが発生してしまい、半導体製造等においてトラ
ブルの原因となるという課題があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
クリーンルームは、壁下地面から天井面に延長するよう
に導電性を有するシート状壁仕上げ材を取付けるととも
に、天井面に導電処理を施すことによって上記シート状
壁仕上げ材と導通するように構成した。請求項２は、壁
下地面を構成する下地ボードの上端を天井面に突き付け
て、下地ボードと天井面との境目部分にガス発散の少な
いシーリング剤でシーリング処理を施した。請求項３
は、耐火被覆処理を施した梁の耐火被覆処理面から天井
面に延長するように導電性を有するシート材を取付ける
とともに、天井面に導電処理を施すことによって上記シ
ート材と導通するように構成した。請求項４は、導電処
理として天井面にガス発散の少ない導電性塗装を施し
た。請求項５は、天井面に延長するように取付けられる
上記シート状壁仕上げ材あるいは上記シート材を導体固
定具で天井面に固定した。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図
１，図３に基づき説明する。まず、本実施の形態におけ
る半導体製造工場のクリーンルームの概要を図３に基づ
いて説明する。クリーンルームは３層構造となってい
る。即ち、半導体製造や検査などに必要な精密機器が設
置されるプロセスエリア１０と、床下エリア２０と、天
井エリア３０とを備える。プロセスエリア１０の床は有
孔床（グレーチング）１１となっており、プロセスエリ
ア１０の天井は有孔天井１２となっている。天井エリア
３０には、空調機３１と空気洗浄フィルタ３２が設けら
れている。プロセスエリア１０の横には空気循環空間１
０Ａが設けられ、これにより、空気が空気洗浄フィルタ
３２で浄化されて、矢示のように各エリア１０，２０，
３０を循環する構造となっている。また、出入口４０と
外部との間にはエアーシャワーが装備された前室が設け
られており、クリーンルームへの入室者は前室で空気洗
浄を行なった後にクリーンルーム内に入る。前室は、ク
リーンルーム側のドア４０ａと外部側のドアとで密閉空
間となる。尚、４１は空気循環空間１０Ａとプロセスエ
リア１０との間の出入口、４１ａはこの出入口４１のド
ア、４２は柱、４３、４４は耐火被覆梁、４５は二重
窓、４６は廊下、４７は配線を収納する配線ピットであ
る。

【０００６】次に、クリーンルームの壁と天井の構造に
ついて、図３の天井エリア３０のＡ部分における壁と天
井の構造を例にして図１に基づいて説明する。まず、床
側から複数のＡＬＣ（軽量気泡コンクリート）等の成形
コンクリート１を建て込んで壁下地を構成し、この壁下
地の上，鉄骨梁４３の上及び鉄骨梁を耐火被覆した耐火
被覆梁４４の上にデッキプレート２を敷設し、その上に
鉄筋を配置し、デッキプレート２の上にコンクリートを
打ち込むことにより天井を構成する。尚、壁下地の上端
側とデッキプレート２との間はシーリング剤５０でシー
リング処理して気密性を確保する。そして、壁下地の表
面１ａ側にＧＬボンド３によるＧＬ工法などで石膏ボー
ドなどの下地ボード４を取付けることで当該下地ボード
４の表面４ａで壁下地面を構成する。この際、下地ボー
ド４の上端４ｂをデッキプレート２に突き付けて、下地
ボード４の上端４ｂに形成した切欠部４ｓとデッキプレ
ート２との間にシーリング剤５を充填してシーリング処
理を施す。即ち、下地ボード４とデッキプレート２との
境目部分にシーリング剤５でシーリング処理を施す。こ
のシーリング剤５としては、クロスのりに対する接着性
が良く、ガス発散の少ないウレタン系のシーリング剤等
を用いる。また、天井面となるデッキプレート２の表面
２ａにはガス発散の少ない導電性塗料６を塗って導電処
理を施しておく。この導電性塗料６は導電性エポキシ樹
脂塗料等を用いる。そして、下地ボード４の表面４ａで
構成される壁下地面に導電性クロス７を取付ける。この
際、導電処理された天井面まで延長するように導電性ク
ロス７を取付ける。すなわち、導電性クロス７の裏面７
ａを導電処理された天井面にクロスのり等で取付ける。
これにより、導電性塗料６と導電性クロス７とが導通す
る。さらに、導電性クロス７を導体固定具としての金属
製ビス８でデッキプレート２に固定して、導電性クロス
７と導電性塗料６とが確実に導通するようにする。尚、
８ａは導電性クロス７を押さえるための座金である。

【０００７】以上の構成によれば、天井面となるデッキ
プレート２の表面２ａに塗布された導電性塗料６と導電
性クロス７との導通が図られるので、導電性塗料６によ
り導電処理された導電処理天井面１６と導電性クロス７
により導電処理された導電処理壁面１７の導電が確保さ
れ、導電処理壁面１７や導電処理天井面１６をアースに
落とすことで、導電処理壁面１７と導電処理天井面１６
とが均一電位となるので、導電処理壁面１７や導電処理
天井面１６に帯電する帯電電流をアースに素早く逃がす
ことができるようになる。よって、帯電防止効果の優れ
た壁と天井を備えたクリーンルームが得られる。さら
に、導電性塗料６と導電性クロス７との導通は金属製ビ
ス８によっても図られるので、導電処理天井面１６と導
電処理壁面１７の導通がさらに良くなり、さらに帯電防
止効果の優れたクリーンルームの壁と天井が得られる。
尚、導電処理天井面１６と導電処理壁面１７の導通が確
保されていない場合は、導電処理天井面１６と導電処理
壁面１７とを均一電位にできないので、本実施の形態に
比べて、導電処理壁面１７や導電処理天井面１６の帯電
電流をアースに素早く逃がすことができない。また、ガ
ス発散の少ない導電性塗料６及びシーリング剤５を用い
ているので、半導体製造においてトラブルの原因となる
ガスの発生を抑えることができる。

【０００８】尚、上記では、下地ボード４で形成された
壁下地面に導電性クロス７を取付けたが、コンクリート
壁下地面に導電性クロスを取付けたり導電性塗料を塗装
したりして導電処理を施してもよいし、鉄骨下地に取付
けた下地ボードの壁下地面に導電性クロスや導電性塗料
による導電処理を施してもよい。また、上記では図３の
天井エリア３０の天井と壁の部分を例にして説明した
が、本発明は前室の天井と壁の部分にも適用できる。ま
た、本発明は、手術室のようなクリーンルームの天井と
壁にも適用でき、これにより、手術室のコンピュータ機
械等の誤動作の原因となる静電気やガスを少なくでき
る。

【０００９】次に、クリーンルームの天井と耐火被覆梁
の構造について、図３の天井エリア３０のＢ部分におけ
る天井と耐火被覆梁の構造を例にして図２に基づいて説
明する。耐火被覆梁４４は、Ｈ型鋼などの鉄骨梁の周囲
をケイ酸カルシウム板等で覆ったものであり、この耐火
被覆梁４４の表面から導電性塗料６で導電処理された天
井面まで延長するように導電性を有するシート材として
の導電性クロス７を取付ける。即ち、導電処理された天
井面に導電性クロス７の裏面７ａをクロスのり等で取付
ける。尚、この場合、導電性クロス７を導体ビスでデッ
キプレート２に固定してもよいが、耐火被覆梁４４の長
さは壁よりも短く、建物変形時の変位も少ないので、ビ
ス止めしないでもよい。これによれば、導電性クロス７
による導電処理耐火被覆梁面７０に帯電した帯電電流を
導電処理天井面１６や導電処理壁面１７を介してアース
に逃がすことができるようになるので、帯電防止効果の
優れた耐火被覆梁を備えたクリーンルームが得られる。

【００１０】

【発明の効果】本発明の請求項１によれば、クリーンル
ームの導電処理天井面と導電処理壁面とを導通させたの
で、帯電防止効果の優れたクリーンルームが得られる。
請求項２によれば、シーリング処理をガス発散の少ない
シーリング剤で施したので、ガス発生防止効果が得られ
る。請求項３によれば、クリーンルームの導電処理天井
面と導電処理耐火被覆梁面とを導通させたので、帯電防
止効果の優れた耐火被覆梁を備えたクリーンルームが得
られる。請求項４によれば、天井面にガス発散の少ない
導電性塗料を用いた導電処理を行なうようにしたので、
帯電防止効果とともにガス発生防止効果も得られる。請
求項５によれば、導体固定具により、クリーンルームの
導電処理天井面と導電処理壁面の導通、あるいは導電処
理天井面と導電処理耐火被覆梁面の導通を確保したの
で、さらに帯電防止効果の優れたクリーンルームが得ら
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態によるクリーンルームの
壁と天井の構造を示す断面図。

【図２】 実施の形態によるクリーンルームの耐火被覆
梁と天井の構造を示す断面図。

【図３】 実施の形態によるクリーンルームの概要を示
す断面図。

【符号の説明】

２ デッキプレート、２ａ デッキプレートの表面（天
井面）、４ 下地ボード、４ａ 下地ボードの表面（壁
下地面）、５ シーリング剤、６ 導電性塗料、７ 導
電性クロス、８ 金属製ビス（導体固定具）。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 高久 東京都新宿区津久戸町２番１号 株式会社 熊谷組東京本社内 (72)発明者 角濱 浩 宮城県仙台市青葉区立町26番20号 株式会 社熊谷組東北支店内 (72)発明者 中沢 克典 宮城県仙台市青葉区立町26番20号 株式会 社熊谷組東北支店内 (72)発明者 鈴木 宏和 東京都新宿区津久戸町２番１号 株式会社 熊谷組東京本社内 (72)発明者 村岡 憲司 宮城県仙台市青葉区立町26番20号 株式会 社熊谷組東北支店内 (72)発明者 三浦 正泰 北海道札幌市中央区北２条西13丁目１番地 株式会社熊谷組北海道支店内 Ｆターム(参考） 3L058 BE02 BF01 BF06 BF07

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 壁下地面から天井面に延長するように導
   電性を有するシート状壁仕上げ材を取付けるとともに、
   天井面に導電処理を施すことによって上記シート状壁仕
   上げ材と導通するように構成されていることを特徴とす
   るクリーンルーム。
2. 【請求項２】 壁下地面を構成する下地ボードの上端を
   天井面に突き付けて、下地ボードと天井面との境目部分
   にガス発散の少ないシーリング剤でシーリング処理が施
   されていることを特徴とする請求項１に記載のクリーン
   ルーム。
3. 【請求項３】 耐火被覆処理を施した梁の耐火被覆処理
   面から天井面に延長するように導電性を有するシート材
   を取付けるとともに、天井面に導電処理を施すことによ
   って上記シート材と導通するように構成されていること
   を特徴とするクリーンルーム。
4. 【請求項４】 導電処理として天井面にガス発散の少な
   い導電性塗装が施されていることを特徴とする請求項１
   ないし請求項３のいずれかに記載のクリーンルーム。
5. 【請求項５】 天井面に延長するように取付けられる上
   記シート状壁仕上げ材あるいは上記シート材が導体固定
   具で天井面に固定されていることを特徴とする請求項１
   ないし請求項４のいずれかに記載のクリーンルーム。