JP2003214670A - クリーンルーム - Google Patents
クリーンルームInfo
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- JP2003214670A JP2003214670A JP2002014903A JP2002014903A JP2003214670A JP 2003214670 A JP2003214670 A JP 2003214670A JP 2002014903 A JP2002014903 A JP 2002014903A JP 2002014903 A JP2002014903 A JP 2002014903A JP 2003214670 A JP2003214670 A JP 2003214670A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のクリーンルームにおいては壁や床の帯
電防止対策が万全とは言えず、壁や床に電荷が蓄積さ
れ、静電気により埃がたまったり、静電気スパークによ
り有機物反応を起こすことによってガスが発生してしま
い、半導体製造等においてトラブルの原因となるという
課題があった。 【解決手段】 本発明のクリーンルームは、導電性を有
するシート状壁仕上げ材（導電性クロス２）を床下地面
（３）に延長するように取付けるとともに、床下地面に
導電処理（導電性エポキシ樹脂塗料４による導電性塗
装）を施すことによってシート状壁仕上げ材の下端（２
ａ）側と導通するように構成した。
電防止対策が万全とは言えず、壁や床に電荷が蓄積さ
れ、静電気により埃がたまったり、静電気スパークによ
り有機物反応を起こすことによってガスが発生してしま
い、半導体製造等においてトラブルの原因となるという
課題があった。 【解決手段】 本発明のクリーンルームは、導電性を有
するシート状壁仕上げ材（導電性クロス２）を床下地面
（３）に延長するように取付けるとともに、床下地面に
導電処理（導電性エポキシ樹脂塗料４による導電性塗
装）を施すことによってシート状壁仕上げ材の下端（２
ａ）側と導通するように構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造等に使
用されるクリーンルーム、特にクリーンルームの壁と床
の構造に関する。
用されるクリーンルーム、特にクリーンルームの壁と床
の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造工場、手術室等のクリ
ーンルームが知られている。
ーンルームが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のクリーンルーム
においては壁や床の帯電防止対策が万全とは言えず、壁
や床に電荷が蓄積され、静電気により埃がたまったり、
静電気スパークにより有機物反応を起こすことによって
ガスが発生してしまい、半導体製造等においてトラブル
の原因となるという課題があった。
においては壁や床の帯電防止対策が万全とは言えず、壁
や床に電荷が蓄積され、静電気により埃がたまったり、
静電気スパークにより有機物反応を起こすことによって
ガスが発生してしまい、半導体製造等においてトラブル
の原因となるという課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
クリーンルームは、導電性を有するシート状壁仕上げ材
を床下地面に延長するように取付けるとともに、床下地
面に導電処理を施すことによってシート状壁仕上げ材の
下端側と導通するように構成した。請求項２は、シート
状壁仕上げ材と導通するように当該シート状壁仕上げ材
の壁側表面に一端側が取付けられるとともに上記導電処
理を施した床表面と導通するように当該導電処理床表面
に他端側が取付けられる巾木部材を備え、この巾木部材
はシート状壁仕上げ材側から導電処理床側に傾斜する傾
斜面を形成するものとした。請求項３は、導電処理とし
て床下地面にガス発散の少ない導電性塗装を施した。請
求項４は、床下地面と床下地面に延長するシート状壁仕
上げ材の上面とに跨るように請求項３の導電性塗装を施
した。請求項５は、巾木部材の一端とシート状壁仕上げ
材の表面との間及び巾木部材の他端と導電処理床表面と
の間のシーリング処理をガス発散の少ないシーリング剤
で施した。
クリーンルームは、導電性を有するシート状壁仕上げ材
を床下地面に延長するように取付けるとともに、床下地
面に導電処理を施すことによってシート状壁仕上げ材の
下端側と導通するように構成した。請求項２は、シート
状壁仕上げ材と導通するように当該シート状壁仕上げ材
の壁側表面に一端側が取付けられるとともに上記導電処
理を施した床表面と導通するように当該導電処理床表面
に他端側が取付けられる巾木部材を備え、この巾木部材
はシート状壁仕上げ材側から導電処理床側に傾斜する傾
斜面を形成するものとした。請求項３は、導電処理とし
て床下地面にガス発散の少ない導電性塗装を施した。請
求項４は、床下地面と床下地面に延長するシート状壁仕
上げ材の上面とに跨るように請求項３の導電性塗装を施
した。請求項５は、巾木部材の一端とシート状壁仕上げ
材の表面との間及び巾木部材の他端と導電処理床表面と
の間のシーリング処理をガス発散の少ないシーリング剤
で施した。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図
１，図２に基づき説明する。まず、本実施の形態におけ
る半導体製造工場のクリーンルームの概要を図２に基づ
いて説明する。クリーンルームは３層構造となってい
る。即ち、半導体製造や検査などに必要な精密機器が設
置されるプロセスエリア１０と、床下エリア２０と、天
井エリア３０とを備える。プロセスエリア１０の床は有
孔床（グレーチング）１１となっており、プロセスエリ
ア１０の天井は有孔天井１２となっている。天井エリア
３０には、空調機３１と空気洗浄フィルタ３２が設けら
れている。プロセスエリア１０の横には空気循環空間１
０Ａが設けられ、これにより、空気が空気洗浄フィルタ
３２で浄化されて、矢示のように各エリア１０，２０，
３０を循環する構造となっている。また、出入口４０と
外部との間にはエアーシャワーが装備された前室が設け
られており、クリーンルームへの入室者は前室で空気洗
浄を行った後にクリーンルーム内に入る。前室は、クリ
ーンルーム側のドア４０ａと外部側のドアとで密閉空間
となる。尚、４１は空気循環空間１０Ａとプロセスエリ
ア１０との間の出入口、４１ａはこの出入口４１のド
ア、４２は柱、４３、４４は耐火被覆梁、４５は二重
窓、４６は廊下、４７は配線を収納する配線ピットであ
る。
１，図２に基づき説明する。まず、本実施の形態におけ
る半導体製造工場のクリーンルームの概要を図２に基づ
いて説明する。クリーンルームは３層構造となってい
る。即ち、半導体製造や検査などに必要な精密機器が設
置されるプロセスエリア１０と、床下エリア２０と、天
井エリア３０とを備える。プロセスエリア１０の床は有
孔床（グレーチング）１１となっており、プロセスエリ
ア１０の天井は有孔天井１２となっている。天井エリア
３０には、空調機３１と空気洗浄フィルタ３２が設けら
れている。プロセスエリア１０の横には空気循環空間１
０Ａが設けられ、これにより、空気が空気洗浄フィルタ
３２で浄化されて、矢示のように各エリア１０，２０，
３０を循環する構造となっている。また、出入口４０と
外部との間にはエアーシャワーが装備された前室が設け
られており、クリーンルームへの入室者は前室で空気洗
浄を行った後にクリーンルーム内に入る。前室は、クリ
ーンルーム側のドア４０ａと外部側のドアとで密閉空間
となる。尚、４１は空気循環空間１０Ａとプロセスエリ
ア１０との間の出入口、４１ａはこの出入口４１のド
ア、４２は柱、４３、４４は耐火被覆梁、４５は二重
窓、４６は廊下、４７は配線を収納する配線ピットであ
る。
【０００６】次に、クリーンルームの壁と床の構造につ
いて、図２の床下エリア２０のＡ部分における壁と床の
構造を例にして図１に基づいて説明する。床下エリア２
０のコンクリート壁下地面１には導電性を有するシート
状壁仕上げ材としての導電性クロス２が取付けられてい
る。この導電性クロス２は、下端２ａ側が床下エリア２
０のコンクリート床下地面３に延長するようにクロスの
り等で取付けられている。そして、コンクリート床下地
面３とコンクリート床下地面３に延長する導電性クロス
２の下端２ａ側の上面２ｂとに跨るように、ガス発散の
少ない導電性エポキシ樹脂塗料４が塗布されている。こ
のように導電処理された導電処理床３４と導電処理壁２
１との境界部付近に対応する部位に導電性を有する巾木
部材５が取付けられている。この巾木部材５は、例えば
長尺なガルバリウム鋼板を長手方向に沿って短手方向の
中央を所定の角度（例えば４５°）で折曲げて形成した
ものである。巾木部材５は、他端５ｂを導電処理床表面
４ａに接触させた状態で導電性クロス２と対向する一端
５ａ側がコンクリートビス６でコンクリート壁下地に取
付けられる。この巾木部材５の一端５ａと導電性クロス
２の表面２ｃとの間及び巾木部材５の他端５ｂと導電処
理床表面４ａとの間は、ガス発散の少ないシーリング剤
７でシーリング処理される。このように取付けられる巾
木部材５により、導電性クロス２側から導電処理床３４
側に傾斜する傾斜面５ｆが形成される。
いて、図２の床下エリア２０のＡ部分における壁と床の
構造を例にして図１に基づいて説明する。床下エリア２
０のコンクリート壁下地面１には導電性を有するシート
状壁仕上げ材としての導電性クロス２が取付けられてい
る。この導電性クロス２は、下端２ａ側が床下エリア２
０のコンクリート床下地面３に延長するようにクロスの
り等で取付けられている。そして、コンクリート床下地
面３とコンクリート床下地面３に延長する導電性クロス
２の下端２ａ側の上面２ｂとに跨るように、ガス発散の
少ない導電性エポキシ樹脂塗料４が塗布されている。こ
のように導電処理された導電処理床３４と導電処理壁２
１との境界部付近に対応する部位に導電性を有する巾木
部材５が取付けられている。この巾木部材５は、例えば
長尺なガルバリウム鋼板を長手方向に沿って短手方向の
中央を所定の角度（例えば４５°）で折曲げて形成した
ものである。巾木部材５は、他端５ｂを導電処理床表面
４ａに接触させた状態で導電性クロス２と対向する一端
５ａ側がコンクリートビス６でコンクリート壁下地に取
付けられる。この巾木部材５の一端５ａと導電性クロス
２の表面２ｃとの間及び巾木部材５の他端５ｂと導電処
理床表面４ａとの間は、ガス発散の少ないシーリング剤
７でシーリング処理される。このように取付けられる巾
木部材５により、導電性クロス２側から導電処理床３４
側に傾斜する傾斜面５ｆが形成される。
【０００７】以上によれば、導電性クロス２と導電性エ
ポキシ樹脂塗料４との導通が図られているので、導電処
理壁２１と導電処理床３４の導電性が確保され、導電処
理床３４や導電処理壁２１をアースすることで、導電処
理床３４と導電処理壁２１が均一電位となるので、帯電
電流をアースに素早く逃がすことができるようになる。
よって、半導体製造においてトラブルの原因となる静電
気の蓄積を防止できる帯電防止効果の優れた壁床を備え
たクリーンルームが得られる。さらに、導電性クロス２
と導電性エポキシ樹脂塗料４との導通はコンクリートビ
ス６及び巾木部材５によっても図られるので、導電処理
壁２１と導電処理床３４の導電性がさらに良くなり、さ
らに帯電防止効果の優れた壁床が得られる。尚、導電処
理壁２１と導電処理床３４の導電性が確保されていない
場合は、導電処理壁２１と導電処理床３４とを均一電位
にできないので、本実施の形態に比べて、帯電電流をア
ースに素早く逃がすことができない。また、巾木部材５
の傾斜面５ｆにより、導電処理壁２１と導電処理床３４
との境界部付近のほこりだまりを防止でき、かつ、清掃
作業も容易となる。また、ガス発散の少ない導電性エポ
キシ樹脂塗料４及びシーリング剤７を用いているので、
半導体製造においてトラブルの原因となるガスの発生を
抑えることができる。
ポキシ樹脂塗料４との導通が図られているので、導電処
理壁２１と導電処理床３４の導電性が確保され、導電処
理床３４や導電処理壁２１をアースすることで、導電処
理床３４と導電処理壁２１が均一電位となるので、帯電
電流をアースに素早く逃がすことができるようになる。
よって、半導体製造においてトラブルの原因となる静電
気の蓄積を防止できる帯電防止効果の優れた壁床を備え
たクリーンルームが得られる。さらに、導電性クロス２
と導電性エポキシ樹脂塗料４との導通はコンクリートビ
ス６及び巾木部材５によっても図られるので、導電処理
壁２１と導電処理床３４の導電性がさらに良くなり、さ
らに帯電防止効果の優れた壁床が得られる。尚、導電処
理壁２１と導電処理床３４の導電性が確保されていない
場合は、導電処理壁２１と導電処理床３４とを均一電位
にできないので、本実施の形態に比べて、帯電電流をア
ースに素早く逃がすことができない。また、巾木部材５
の傾斜面５ｆにより、導電処理壁２１と導電処理床３４
との境界部付近のほこりだまりを防止でき、かつ、清掃
作業も容易となる。また、ガス発散の少ない導電性エポ
キシ樹脂塗料４及びシーリング剤７を用いているので、
半導体製造においてトラブルの原因となるガスの発生を
抑えることができる。
【０００８】尚、上記では、コンクリート壁下地の場合
について説明したが、ボード壁下地に本発明を採用する
場合は、巾木部材５をビス止めする下地材にコンクリー
トパネル等を設ければよい。また、床下地面に導電性塩
化ビニルシート等の導電性を有するシート状床仕上げ材
を敷設することで導電処理を施してもよい。また、上記
では図２の床下エリア２０の壁床構造部分を例にして説
明したが、本発明は前室の壁床構造部分にも適用でき
る。また、本発明は、金属製のグレーチング床が採用さ
れていないプロセスエリア１０の壁床構造にも適用でき
る。また、本発明は、手術室のようなクリーンルームの
壁床構造にも適用でき、これにより、手術室のコンピュ
ータ機械の誤動作の原因となる静電気やガスを少なくで
きる。
について説明したが、ボード壁下地に本発明を採用する
場合は、巾木部材５をビス止めする下地材にコンクリー
トパネル等を設ければよい。また、床下地面に導電性塩
化ビニルシート等の導電性を有するシート状床仕上げ材
を敷設することで導電処理を施してもよい。また、上記
では図２の床下エリア２０の壁床構造部分を例にして説
明したが、本発明は前室の壁床構造部分にも適用でき
る。また、本発明は、金属製のグレーチング床が採用さ
れていないプロセスエリア１０の壁床構造にも適用でき
る。また、本発明は、手術室のようなクリーンルームの
壁床構造にも適用でき、これにより、手術室のコンピュ
ータ機械の誤動作の原因となる静電気やガスを少なくで
きる。
【０００９】
【発明の効果】本発明の請求項１によれば、クリーンル
ームの導電処理壁と導電処理床の導電性を確保したの
で、帯電防止効果の優れたクリーンルームが得られる。
請求項２によれば、巾木部材を備えたので、導電処理壁
と導電処理床の導電性がさらに良くなり、さらに帯電防
止効果の優れたクリーンルームが得られ、また、導電処
理壁と導電処理床との境界部付近のほこりだまりを防止
でき、かつ、清掃作業も容易となる。請求項３によれ
ば、床下地面にガス発散の少ない導電性塗装を施したの
で、帯電防止効果とともにガス発生防止効果も得られ
る。請求項４によれば、床下地面と床下地面に延長する
シート状壁仕上げ材の上面とに跨るように上記導電性塗
装を施したので、導電処理壁と導電処理床の導電性を容
易に確保できる。請求項５によれば、シーリング処理を
ガス発散の少ないシーリング剤で施したので、ガス発生
防止効果が得られる。
ームの導電処理壁と導電処理床の導電性を確保したの
で、帯電防止効果の優れたクリーンルームが得られる。
請求項２によれば、巾木部材を備えたので、導電処理壁
と導電処理床の導電性がさらに良くなり、さらに帯電防
止効果の優れたクリーンルームが得られ、また、導電処
理壁と導電処理床との境界部付近のほこりだまりを防止
でき、かつ、清掃作業も容易となる。請求項３によれ
ば、床下地面にガス発散の少ない導電性塗装を施したの
で、帯電防止効果とともにガス発生防止効果も得られ
る。請求項４によれば、床下地面と床下地面に延長する
シート状壁仕上げ材の上面とに跨るように上記導電性塗
装を施したので、導電処理壁と導電処理床の導電性を容
易に確保できる。請求項５によれば、シーリング処理を
ガス発散の少ないシーリング剤で施したので、ガス発生
防止効果が得られる。
【図１】 本発明の実施の形態によるクリーンルームの
壁と床の構造を示す断面図。
壁と床の構造を示す断面図。
【図２】 実施の形態によるクリーンルームの概要を示
す断面図。
す断面図。
１ コンクリート壁下地面、２ 導電性クロス（導電性
を有するシート状壁仕上げ材）、２ａ 導電性クロスの
下端、３ コンクリート床下地面（床下地面）、４ 導
電性エポキシ樹脂塗料、５ 巾木部材、５ａ 巾木部材
の一端、５ｂ 巾木部材の他端、５ｆ 傾斜面、７ シ
ーリング剤、３４ 導電処理床。
を有するシート状壁仕上げ材）、２ａ 導電性クロスの
下端、３ コンクリート床下地面（床下地面）、４ 導
電性エポキシ樹脂塗料、５ 巾木部材、５ａ 巾木部材
の一端、５ｂ 巾木部材の他端、５ｆ 傾斜面、７ シ
ーリング剤、３４ 導電処理床。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 山田 高久
東京都新宿区津久戸町２番１号 株式会社
熊谷組東京本社内
(72)発明者 角濱 浩
宮城県仙台市青葉区立町26番20号 株式会
社熊谷組東北支店内
(72)発明者 中沢 克典
宮城県仙台市青葉区立町26番20号 株式会
社熊谷組東北支店内
(72)発明者 鈴木 宏和
東京都新宿区津久戸町２番１号 株式会社
熊谷組東京本社内
(72)発明者 村岡 憲司
宮城県仙台市青葉区立町26番20号 株式会
社熊谷組東北支店内
(72)発明者 三浦 正泰
北海道札幌市中央区北２条西13丁目１番地
株式会社熊谷組北海道支店内
Ｆターム(参考） 3L058 BE02 BF01 BF07
Claims (5)
- 【請求項１】 導電性を有するシート状壁仕上げ材を床
下地面に延長するように取付けるとともに、床下地面に
導電処理を施すことによってシート状壁仕上げ材の下端
側と導通するように構成したことを特徴とするクリーン
ルーム。 - 【請求項２】 シート状壁仕上げ材と導通するように当
該シート状壁仕上げ材の壁側表面に一端側が取付けられ
るとともに上記導電処理を施した床表面と導通するよう
に当該導電処理床表面に他端側が取付けられる巾木部材
を備え、この巾木部材はシート状壁仕上げ材側から導電
処理床側に傾斜する傾斜面を形成することを特徴とする
請求項１に記載のクリーンルーム。 - 【請求項３】 導電処理として床下地面にガス発散の少
ない導電性塗装を施したことを特徴とする請求項１又は
請求項２に記載のクリーンルーム。 - 【請求項４】 床下地面と床下地面に延長するシート状
壁仕上げ材の上面とに跨るように上記導電性塗装を施し
たことを特徴とする請求項３に記載のクリーンルーム。 - 【請求項５】 巾木部材の一端とシート状壁仕上げ材の
表面との間及び巾木部材の他端と導電処理床表面との間
のシーリング処理をガス発散の少ないシーリング剤で施
したことを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれ
かに記載のクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002014903A JP3898516B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002014903A JP3898516B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルーム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003214670A true JP2003214670A (ja) | 2003-07-30 |
| JP3898516B2 JP3898516B2 (ja) | 2007-03-28 |
Family
ID=27651446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002014903A Expired - Fee Related JP3898516B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3898516B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2409522B (en) * | 2003-12-22 | 2006-10-18 | Ge Med Sys Global Tech Co Llc | Gradient coil apparatus and method of assembly thereof |
| CN109506310A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-03-22 | 李新发 | 可冷可热的中央空调地暖系统 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0253444U (ja) * | 1988-10-13 | 1990-04-18 | ||
| JPH0995581A (ja) * | 1995-07-27 | 1997-04-08 | Taisei Corp | 建築部材、その製造方法、およびクリーンルーム |
| JP2000205619A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-28 | Univ Tohoku | クリ―ンドライエア用壁体 |
| JP2001200657A (ja) * | 2000-01-18 | 2001-07-27 | Ohbayashi Corp | 構造物の避雷針アース構造 |
| JP2003213952A (ja) * | 2002-01-24 | 2003-07-30 | Tadahiro Omi | クリーンルームの支柱根巻 |
-
2002
- 2002-01-24 JP JP2002014903A patent/JP3898516B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| GB2409522B (en) * | 2003-12-22 | 2006-10-18 | Ge Med Sys Global Tech Co Llc | Gradient coil apparatus and method of assembly thereof |
| CN109506310A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-03-22 | 李新发 | 可冷可热的中央空调地暖系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3898516B2 (ja) | 2007-03-28 |
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