JP2003213952A - クリーンルームの支柱根巻 - Google Patents
クリーンルームの支柱根巻Info
- Publication number
- JP2003213952A JP2003213952A JP2002014925A JP2002014925A JP2003213952A JP 2003213952 A JP2003213952 A JP 2003213952A JP 2002014925 A JP2002014925 A JP 2002014925A JP 2002014925 A JP2002014925 A JP 2002014925A JP 2003213952 A JP2003213952 A JP 2003213952A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- root
- pillar
- concrete
- strut
- clean room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Building Environments (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のクリーンルームの根巻は、鉄骨支柱と
導通されておらず、鉄骨支柱表面に帯電した電流をアー
スに逃しにくい。このため、鉄骨支柱の表面に電荷が溜
りやすいので、半導体製造等においてトラブルの原因と
なるという課題があった。 【解決手段】 本発明のクリーンルームの支柱根巻１
は、支柱４２の根元の周囲を支柱から距離を隔てて囲ん
でコンクリートを打ち込む空間を形成するように設けら
れた導体より成る根巻枠２と、この根巻枠２と支柱４２
との間に打ち込まれた根巻コンクリート５とを備え、根
巻枠２の内側と支柱４２とを導体棒４で電気的に接続し
た。さらに、支柱と床面の表面と根巻コンクリートの上
面とに導電処理が施されており、導電処理された支柱の
表面と床面の表面とが、導電処理された根巻コンクリー
トの上面及び導体の根巻枠を介して導通するように構成
した。
導通されておらず、鉄骨支柱表面に帯電した電流をアー
スに逃しにくい。このため、鉄骨支柱の表面に電荷が溜
りやすいので、半導体製造等においてトラブルの原因と
なるという課題があった。 【解決手段】 本発明のクリーンルームの支柱根巻１
は、支柱４２の根元の周囲を支柱から距離を隔てて囲ん
でコンクリートを打ち込む空間を形成するように設けら
れた導体より成る根巻枠２と、この根巻枠２と支柱４２
との間に打ち込まれた根巻コンクリート５とを備え、根
巻枠２の内側と支柱４２とを導体棒４で電気的に接続し
た。さらに、支柱と床面の表面と根巻コンクリートの上
面とに導電処理が施されており、導電処理された支柱の
表面と床面の表面とが、導電処理された根巻コンクリー
トの上面及び導体の根巻枠を介して導通するように構成
した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造等に使
用されるクリーンルームの支柱根巻に関する。
用されるクリーンルームの支柱根巻に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造工場等のクリーンルー
ムにおいては、床下エリアの床より設けられた鉄骨支柱
でプロセスエリアの床を支えるようにしており、鉄骨支
柱の根元側には根巻が設けられている。
ムにおいては、床下エリアの床より設けられた鉄骨支柱
でプロセスエリアの床を支えるようにしており、鉄骨支
柱の根元側には根巻が設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のクリーンルーム
の根巻は、鉄骨支柱と導通されておらず、鉄骨支柱表面
に帯電した電流をアースに逃しにくい。このため、鉄骨
支柱の表面に電荷が溜りやすいので、半導体製造等にお
いてトラブルの原因となるという課題があった。
の根巻は、鉄骨支柱と導通されておらず、鉄骨支柱表面
に帯電した電流をアースに逃しにくい。このため、鉄骨
支柱の表面に電荷が溜りやすいので、半導体製造等にお
いてトラブルの原因となるという課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
クリーンルームの支柱根巻は、支柱の根元の周囲を支柱
から距離を隔てて囲んでコンクリートを打ち込む空間を
形成するように設けられた導体より成る根巻枠と、この
根巻枠と支柱との間に打ち込まれた根巻コンクリートと
を備え、根巻枠の内側と支柱とが導体棒で電気的に接続
されて成る。請求項２は、支柱と床面の表面と根巻コン
クリートの上面とに導電処理が施されており、導電処理
された支柱の表面と床面の表面とが、導電処理された根
巻コンクリートの上面及び導体の根巻枠を介して導通す
るように構成した。請求項３は、根巻枠の床側に、外側
に突出して床側に傾斜する傾斜部を設けた。請求項４
は、根巻コンクリートの上面を、支柱側から根巻枠側に
かけて下方に傾斜するように形成した。請求項５は、ガ
ス発散の少ない導電性塗料等により上記導電処理を施し
た。
クリーンルームの支柱根巻は、支柱の根元の周囲を支柱
から距離を隔てて囲んでコンクリートを打ち込む空間を
形成するように設けられた導体より成る根巻枠と、この
根巻枠と支柱との間に打ち込まれた根巻コンクリートと
を備え、根巻枠の内側と支柱とが導体棒で電気的に接続
されて成る。請求項２は、支柱と床面の表面と根巻コン
クリートの上面とに導電処理が施されており、導電処理
された支柱の表面と床面の表面とが、導電処理された根
巻コンクリートの上面及び導体の根巻枠を介して導通す
るように構成した。請求項３は、根巻枠の床側に、外側
に突出して床側に傾斜する傾斜部を設けた。請求項４
は、根巻コンクリートの上面を、支柱側から根巻枠側に
かけて下方に傾斜するように形成した。請求項５は、ガ
ス発散の少ない導電性塗料等により上記導電処理を施し
た。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
基づき説明する。まず、本実施の形態による根巻を採用
する半導体製造工場のクリーンルームの概要を図４に基
づいて説明する。クリーンルームは３層構造となってい
る。即ち、半導体製造や検査などに必要な精密機器が設
置されるプロセスエリア１０と、床下エリア２０と、天
井エリア３０とを備える。プロセスエリア１０の床は有
孔床（グレーチング）１１となっており、プロセスエリ
ア１０の天井は有孔天井１２となっている。天井エリア
３０には、空調機３１と空気洗浄フィルタ３２が設けら
れている。プロセスエリア１０の横には空気循環空間１
０Ａが設けられ、これにより、空気が空気洗浄フィルタ
３２で浄化されて、矢示のように各エリア１０，２０，
３０を循環する構造となっている。また、出入口４０と
外部との間にはエアーシャワーが装備された前室が設け
られており、クリーンルームへの入室者は前室で空気洗
浄を行なった後にクリーンルーム内に入る。前室は、ク
リーンルーム側のドア４０ａと外部側のドアとで密閉空
間となる。尚、４１は空気循環空間１０Ａとプロセスエ
リア１０との間の出入口、４１ａはこの出入口４１のド
ア、４２は鉄骨支柱、４３、４４は耐火被覆梁、４５は
二重サッシュ窓、４６は廊下、４７は配線を収納する配
線ピットである。尚、１は支柱根巻である。
基づき説明する。まず、本実施の形態による根巻を採用
する半導体製造工場のクリーンルームの概要を図４に基
づいて説明する。クリーンルームは３層構造となってい
る。即ち、半導体製造や検査などに必要な精密機器が設
置されるプロセスエリア１０と、床下エリア２０と、天
井エリア３０とを備える。プロセスエリア１０の床は有
孔床（グレーチング）１１となっており、プロセスエリ
ア１０の天井は有孔天井１２となっている。天井エリア
３０には、空調機３１と空気洗浄フィルタ３２が設けら
れている。プロセスエリア１０の横には空気循環空間１
０Ａが設けられ、これにより、空気が空気洗浄フィルタ
３２で浄化されて、矢示のように各エリア１０，２０，
３０を循環する構造となっている。また、出入口４０と
外部との間にはエアーシャワーが装備された前室が設け
られており、クリーンルームへの入室者は前室で空気洗
浄を行なった後にクリーンルーム内に入る。前室は、ク
リーンルーム側のドア４０ａと外部側のドアとで密閉空
間となる。尚、４１は空気循環空間１０Ａとプロセスエ
リア１０との間の出入口、４１ａはこの出入口４１のド
ア、４２は鉄骨支柱、４３、４４は耐火被覆梁、４５は
二重サッシュ窓、４６は廊下、４７は配線を収納する配
線ピットである。尚、１は支柱根巻である。
【０００６】次に、クリーンルームの支柱根巻１につい
て図１〜図３に基づいて説明する。尚、図１は中心線Ｃ
を基準に右側に断面図、左側に正面図を表している。支
柱根巻１の施工方法は、まず、鉄骨支柱４２の根元の周
囲を鉄骨支柱４２から距離を隔てて囲むように、ガルバ
リウム鋼板より成る根巻枠２を形成し、この根巻枠２を
コンクリート床３に固定する。次に、根巻枠２の内面２
ａと鉄骨支柱４２とを導体棒４で接続する。この接続は
溶接等により行なって導体棒４を介して根巻枠２の内面
２ａと鉄骨支柱４２とを電気的に接続させる。つまり、
溶接等の手段で接触抵抗を介在させない電気導体的接続
を行なう。そして、根巻枠２の内側に鉄筋を組み、根巻
枠２と鉄骨支柱４２との間にコンクリートを打ち込むこ
とにより支柱根巻１が形成される。尚、コンクリートが
固まる前に、左官作業により、支柱根巻１の上部側が鉄
骨支柱４２側から根巻枠２側にかけて下方に傾斜するよ
うにコンクリートをならしておく。その後、放置して根
巻コンクリート５が固まる。これにより、根巻コンクリ
ート５の上面５ａは、鉄骨支柱４２側から根巻枠２側に
かけて下方に傾斜するように形成される。尚、鉄骨支柱
４２の表面には予めガス発散の少ない亜鉛メッキや導電
性塗料等による導電処理層６を形成しておく。また、根
巻コンクリート５の上面５ａにはガス発散の少ない導電
性塗料を塗って導電処理層７を形成し、導電処理層７を
介して根巻枠２の上端１ｔ側と鉄骨支柱４２の表面の導
電処理層６とを導通させる。根巻枠２のコンクリート床
３側には、図２に示すように、外側に突出してコンクリ
ート床３側に傾斜する傾斜部８を備え、この傾斜部８よ
り延長する固定部８ａがコンクリートビス９でコンクリ
ート床３に固定される。そして、コンクリート床３の表
面にはガス発散の少ない導電性塗料を塗って導電処理層
５０を形成し、根巻枠２と導通させる。
て図１〜図３に基づいて説明する。尚、図１は中心線Ｃ
を基準に右側に断面図、左側に正面図を表している。支
柱根巻１の施工方法は、まず、鉄骨支柱４２の根元の周
囲を鉄骨支柱４２から距離を隔てて囲むように、ガルバ
リウム鋼板より成る根巻枠２を形成し、この根巻枠２を
コンクリート床３に固定する。次に、根巻枠２の内面２
ａと鉄骨支柱４２とを導体棒４で接続する。この接続は
溶接等により行なって導体棒４を介して根巻枠２の内面
２ａと鉄骨支柱４２とを電気的に接続させる。つまり、
溶接等の手段で接触抵抗を介在させない電気導体的接続
を行なう。そして、根巻枠２の内側に鉄筋を組み、根巻
枠２と鉄骨支柱４２との間にコンクリートを打ち込むこ
とにより支柱根巻１が形成される。尚、コンクリートが
固まる前に、左官作業により、支柱根巻１の上部側が鉄
骨支柱４２側から根巻枠２側にかけて下方に傾斜するよ
うにコンクリートをならしておく。その後、放置して根
巻コンクリート５が固まる。これにより、根巻コンクリ
ート５の上面５ａは、鉄骨支柱４２側から根巻枠２側に
かけて下方に傾斜するように形成される。尚、鉄骨支柱
４２の表面には予めガス発散の少ない亜鉛メッキや導電
性塗料等による導電処理層６を形成しておく。また、根
巻コンクリート５の上面５ａにはガス発散の少ない導電
性塗料を塗って導電処理層７を形成し、導電処理層７を
介して根巻枠２の上端１ｔ側と鉄骨支柱４２の表面の導
電処理層６とを導通させる。根巻枠２のコンクリート床
３側には、図２に示すように、外側に突出してコンクリ
ート床３側に傾斜する傾斜部８を備え、この傾斜部８よ
り延長する固定部８ａがコンクリートビス９でコンクリ
ート床３に固定される。そして、コンクリート床３の表
面にはガス発散の少ない導電性塗料を塗って導電処理層
５０を形成し、根巻枠２と導通させる。
【０００７】以上の構成によれば、鉄骨支柱４２の表面
の導電処理層６とコンクリート床３の表面の導電処理層
５０とが、根巻コンクリート５の上面５ａに施された導
電処理層７及び根巻枠２を介して導通するように構成さ
れているので、例えば、上記コンクリートビス９にリー
ド線をつないでアースすれば、鉄骨支柱４２，支柱根巻
１，コンクリート床３の表面が均一電位となるので、鉄
骨支柱４２，支柱根巻１，コンクリート床３の表面に帯
電した帯電電流をアースに素早く逃がすことができ、帯
電防止効果の優れた鉄骨支柱，支柱根巻，床が得られ
る。尚、鉄骨支柱，根巻，床の表面が導通していない場
合は、鉄骨支柱，根巻，床の表面が均一電位とならない
ので、本実施の形態に比べて、鉄骨支柱，根巻，床の表
面に帯電した帯電電流をアースに素早く逃がすことがで
きず、本実施の形態のような帯電防止効果の優れた鉄骨
支柱，根巻，床は得られない。また、さらに導体棒４で
鉄骨支柱４２と根巻枠２とを電気的に接続して確実に導
通させているので、導電処理層７を介した導通が不完全
でも上記効果が得られる。また、静電気による埃の付着
も防止でき、クリーンルームの埃汚染を少なくできる。
また、傾斜状に形成された根巻コンクリート５の上面５
ａや、根巻枠２の床側に設けた傾斜部８を備えていない
場合は、根巻枠下端と床との境目や鉄骨支柱と根巻コン
クリートとの境目に埃たまりが生じ易く、また、清掃作
業もやりにくくなるが、本実施の形態では、傾斜状に形
成された根巻コンクリート５の上面５ａや根巻枠２の下
端側に設けた傾斜部８を備えているので、根巻枠２の下
端とコンクリート床３との間や鉄骨支柱４２と根巻コン
クリート５との間に埃たまりが生じにくく、また、清掃
作業も容易となる。また、以上の帯電防止及び埃防止構
造により、静電気スパークによる有機物反応により生じ
るガスの発生も防止でき、クリーンルーム内のガス汚染
を少なくできる。また、根巻コンクリート５の上面５ａ
及びコンクリート床３の表面の導電処理層７，５０をガ
ス発散の少ない導電性塗料を用いて形成しているので、
導電処理層７，５０からのガス発散、及びコンクリート
からのガス発生を抑えることができ、半導体製造におい
てトラブルの原因となるガスを抑えることができる。即
ち、クリーンルームのガス汚染を少なくできる。
の導電処理層６とコンクリート床３の表面の導電処理層
５０とが、根巻コンクリート５の上面５ａに施された導
電処理層７及び根巻枠２を介して導通するように構成さ
れているので、例えば、上記コンクリートビス９にリー
ド線をつないでアースすれば、鉄骨支柱４２，支柱根巻
１，コンクリート床３の表面が均一電位となるので、鉄
骨支柱４２，支柱根巻１，コンクリート床３の表面に帯
電した帯電電流をアースに素早く逃がすことができ、帯
電防止効果の優れた鉄骨支柱，支柱根巻，床が得られ
る。尚、鉄骨支柱，根巻，床の表面が導通していない場
合は、鉄骨支柱，根巻，床の表面が均一電位とならない
ので、本実施の形態に比べて、鉄骨支柱，根巻，床の表
面に帯電した帯電電流をアースに素早く逃がすことがで
きず、本実施の形態のような帯電防止効果の優れた鉄骨
支柱，根巻，床は得られない。また、さらに導体棒４で
鉄骨支柱４２と根巻枠２とを電気的に接続して確実に導
通させているので、導電処理層７を介した導通が不完全
でも上記効果が得られる。また、静電気による埃の付着
も防止でき、クリーンルームの埃汚染を少なくできる。
また、傾斜状に形成された根巻コンクリート５の上面５
ａや、根巻枠２の床側に設けた傾斜部８を備えていない
場合は、根巻枠下端と床との境目や鉄骨支柱と根巻コン
クリートとの境目に埃たまりが生じ易く、また、清掃作
業もやりにくくなるが、本実施の形態では、傾斜状に形
成された根巻コンクリート５の上面５ａや根巻枠２の下
端側に設けた傾斜部８を備えているので、根巻枠２の下
端とコンクリート床３との間や鉄骨支柱４２と根巻コン
クリート５との間に埃たまりが生じにくく、また、清掃
作業も容易となる。また、以上の帯電防止及び埃防止構
造により、静電気スパークによる有機物反応により生じ
るガスの発生も防止でき、クリーンルーム内のガス汚染
を少なくできる。また、根巻コンクリート５の上面５ａ
及びコンクリート床３の表面の導電処理層７，５０をガ
ス発散の少ない導電性塗料を用いて形成しているので、
導電処理層７，５０からのガス発散、及びコンクリート
からのガス発生を抑えることができ、半導体製造におい
てトラブルの原因となるガスを抑えることができる。即
ち、クリーンルームのガス汚染を少なくできる。
【０００８】尚、図３に示すように、コンクリート床３
の表面に導電性塩化ビニルシート５２等を貼り、傾斜部
８を構成する導電性の巾木部材６０を、根巻枠２と導電
性塩化ビニルシート５２とにビス９０で固定して根巻枠
２と導電性塩化ビニルシート５２を導通させるようにし
てもよい。尚、巾木部材６０もガルバリウム鋼板で形成
することが望ましい。また、導電性塩化ビニルシート５
２及び根巻枠２と巾木部材６０の境界部分にはガス発散
の少ないシーリング剤８０でシーリング処理を施すこと
が望ましい。
の表面に導電性塩化ビニルシート５２等を貼り、傾斜部
８を構成する導電性の巾木部材６０を、根巻枠２と導電
性塩化ビニルシート５２とにビス９０で固定して根巻枠
２と導電性塩化ビニルシート５２を導通させるようにし
てもよい。尚、巾木部材６０もガルバリウム鋼板で形成
することが望ましい。また、導電性塩化ビニルシート５
２及び根巻枠２と巾木部材６０の境界部分にはガス発散
の少ないシーリング剤８０でシーリング処理を施すこと
が望ましい。
【０００９】また、上記では鉄骨支柱４２に適用する根
巻について説明したが、本発明の根巻はコンクリート支
柱にも適用できる。
巻について説明したが、本発明の根巻はコンクリート支
柱にも適用できる。
【００１０】
【発明の効果】本発明の請求項１の根巻によれば、導体
棒で根巻枠と支柱とを電気的に接続したので、クリーン
ルームの支柱の帯電防止効果を高めることが可能とな
る。請求項２によれば、支柱表面と根巻表面と床表面と
を導通させたので、支柱，根巻，床の帯電防止効果を高
めることが可能となる。請求項３によれば、傾斜状に形
成された根巻コンクリートの上面により、支柱と根巻コ
ンクリートとの間に埃たまりが生じにくく、クリーンル
ームの埃汚染を少なくでき、また、清掃作業も容易とな
る。請求項４によれば、根巻枠の床側に設けた傾斜部に
より、根巻枠下端と床とのの間に埃たまりが生じにく
く、クリーンルームの埃汚染を少なくでき、また、清掃
作業も容易となる。請求項５によれば、クリーンルーム
のガス汚染を少なくできる。
棒で根巻枠と支柱とを電気的に接続したので、クリーン
ルームの支柱の帯電防止効果を高めることが可能とな
る。請求項２によれば、支柱表面と根巻表面と床表面と
を導通させたので、支柱，根巻，床の帯電防止効果を高
めることが可能となる。請求項３によれば、傾斜状に形
成された根巻コンクリートの上面により、支柱と根巻コ
ンクリートとの間に埃たまりが生じにくく、クリーンル
ームの埃汚染を少なくでき、また、清掃作業も容易とな
る。請求項４によれば、根巻枠の床側に設けた傾斜部に
より、根巻枠下端と床とのの間に埃たまりが生じにく
く、クリーンルームの埃汚染を少なくでき、また、清掃
作業も容易となる。請求項５によれば、クリーンルーム
のガス汚染を少なくできる。
【図１】 本発明の実施の形態によるクリーンルームの
根巻の一部断面正面図。
根巻の一部断面正面図。
【図２】 実施の形態による根巻の床側の傾斜部の構造
を示す断面図。
を示す断面図。
【図３】 実施の形態による根巻の床側の傾斜部の他の
構造を示す断面図。
構造を示す断面図。
【図４】 実施の形態による根巻を採用するクリーンル
ームの概要を示す断面図。
ームの概要を示す断面図。
１ 根巻、２ 根巻枠、３ コンクリート床、４ 導体
棒、５ 根巻コンクリート、５ａ 根巻コンクリートの
上面、６，７，５０ 導電処理層、８ 傾斜部。
棒、５ 根巻コンクリート、５ａ 根巻コンクリートの
上面、６，７，５０ 導電処理層、８ 傾斜部。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 山田 高久
東京都新宿区津久戸町２番１号 株式会社
熊谷組東京本社内
(72)発明者 角濱 浩
宮城県仙台市青葉区立町26番20号 株式会
社熊谷組東北支店内
(72)発明者 中沢 克典
宮城県仙台市青葉区立町26番20号 株式会
社熊谷組東北支店内
(72)発明者 鈴木 宏和
東京都新宿区津久戸町２番１号 株式会社
熊谷組東京本社内
(72)発明者 村岡 憲司
宮城県仙台市青葉区立町26番20号 株式会
社熊谷組東北支店内
(72)発明者 三浦 正泰
北海道札幌市中央区北２条西13丁目１番地
株式会社熊谷組北海道支店内
Claims (5)
- 【請求項１】 支柱の根元の周囲を支柱から距離を隔て
て囲んでコンクリートを打ち込む空間を形成するように
設けられた導体より成る根巻枠と、この根巻枠と支柱と
の間に打ち込まれた根巻コンクリートとを備え、根巻枠
の内側と支柱とが導体棒で電気的に接続されて成ること
を特徴とするクリーンルームの支柱根巻。 - 【請求項２】 支柱と床面の表面と根巻コンクリートの
上面とに導電処理が施されており、導電処理された支柱
の表面と床面の表面とが、導電処理された根巻コンクリ
ートの上面及び導体の根巻枠を介して導通するように構
成されていることを特徴とする請求項１に記載のクリー
ンルームの支柱根巻。 - 【請求項３】 根巻枠の床側には、外側に突出して床側
に傾斜する傾斜部が設けられていることを特徴とする請
求項１又は請求項２に記載のクリーンルームの支柱根
巻。 - 【請求項４】 根巻コンクリートの上面は、支柱側から
根巻枠側にかけて下方に傾斜するように形成されている
ことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに
記載のクリーンルームの支柱根巻。 - 【請求項５】 ガス発散の少ない導電性塗料等により上
記導電処理が施されていることを特徴とする請求項１な
いし請求項４のいずれかに記載のクリーンルームの支柱
根巻。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002014925A JP3782359B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームの支柱根巻 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002014925A JP3782359B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームの支柱根巻 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003213952A true JP2003213952A (ja) | 2003-07-30 |
| JP3782359B2 JP3782359B2 (ja) | 2006-06-07 |
Family
ID=27651468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002014925A Expired - Fee Related JP3782359B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームの支柱根巻 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3782359B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003214670A (ja) * | 2002-01-24 | 2003-07-30 | Tadahiro Omi | クリーンルーム |
| JP2006307621A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-11-09 | Jfe Steel Kk | 集合住宅共用部構造体 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1018424A (ja) * | 1996-07-02 | 1998-01-20 | Takenaka Komuten Co Ltd | 鉄骨柱等の柱脚部の根巻き型補強構造 |
| JPH1018648A (ja) * | 1996-07-01 | 1998-01-20 | Kajima Corp | 超大規模空間の電磁シールド構造 |
| JP2001200657A (ja) * | 2000-01-18 | 2001-07-27 | Ohbayashi Corp | 構造物の避雷針アース構造 |
-
2002
- 2002-01-24 JP JP2002014925A patent/JP3782359B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1018648A (ja) * | 1996-07-01 | 1998-01-20 | Kajima Corp | 超大規模空間の電磁シールド構造 |
| JPH1018424A (ja) * | 1996-07-02 | 1998-01-20 | Takenaka Komuten Co Ltd | 鉄骨柱等の柱脚部の根巻き型補強構造 |
| JP2001200657A (ja) * | 2000-01-18 | 2001-07-27 | Ohbayashi Corp | 構造物の避雷針アース構造 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003214670A (ja) * | 2002-01-24 | 2003-07-30 | Tadahiro Omi | クリーンルーム |
| JP2006307621A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-11-09 | Jfe Steel Kk | 集合住宅共用部構造体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3782359B2 (ja) | 2006-06-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2003213952A (ja) | クリーンルームの支柱根巻 | |
| CA2143778A1 (en) | Buildings method of construction | |
| CA2797316C (en) | Systems and methods for dissipating an electric charge while insulating a structure | |
| JP2003219535A (ja) | クリーンルームの配線収納ピット | |
| JP2003214670A (ja) | クリーンルーム | |
| JP2003213867A (ja) | クリーンルームの階段 | |
| JP2008175699A (ja) | 塩害検出装置 | |
| JP2003214671A (ja) | クリーンルーム | |
| JP2003214672A (ja) | クリーンルーム | |
| JP3867846B2 (ja) | クリーンルームの建具部分の構造 | |
| JP3281653B2 (ja) | 塗装ブース | |
| JP2003214673A (ja) | クリーンルームのサッシュ | |
| JPH0311648Y2 (ja) | ||
| JP2003214058A (ja) | クリーンルームのドア | |
| JPH043543Y2 (ja) | ||
| CN217215794U (zh) | 一种大跨度防火电缆桥架 | |
| JP2003213813A (ja) | 建 物 | |
| JP2003213917A (ja) | クリーンルームの有孔床 | |
| JP2022133789A (ja) | 簡易構造物 | |
| JP2012158918A (ja) | 床の構造 | |
| JP2651642B2 (ja) | 床パネル装置 | |
| JP2015074927A (ja) | 塗床材の施工方法 | |
| JP3047032B2 (ja) | 天井・壁連結部の電磁波シールド構造 | |
| JP2002220868A (ja) | 便所装置 | |
| JPH0734112U (ja) | パーティション |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040806 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060302 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060307 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060309 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100317 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100317 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110317 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120317 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130317 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140317 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |