JP2003240291A - 閉止板およびクリーンブース用天井構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 既設建屋にクリーンブースを設置する場合に
おいて、既設の照明設備をクリーンブースの照明として
利用可能とする。 【解決手段】 既設の建屋であるクリーンルーム１１内
にはクリーンブース１０が設置されている。クリーンブ
ース１０の天井部を形成する天井格子１６の格子窓に装
着される閉止板２８を透光性材料で形成し、クリーンル
ーム１１の天井部に設けられた照明装置５２からの照明
をクリーンブース１０内に透過可能とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、天井部に照明装置
を有する既設の建屋の内部に局所的な高清浄度エリアを
設ける際に設置されるクリーンブースの閉止板およびク
リーンブース用天井構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工場などのクリーンルーム等
の既設建屋において、新製品の開発や製造ラインの不良
率の低下を目的として、局所的に高清浄度エリアを増設
する要求が増えつつあり、出来るだけ既設建屋並びに設
備を利用して低コストで高清浄度エリアを形成するとい
う要請もあって、各種のクリーン化工事に関する技術の
改良が急がれている。

【０００３】従来、既設建屋を高清浄度化する際、クリ
ーンブースを増設する方法が採用されることが多く、図
５に示すようなクリーンブース１を新設する。すなわ
ち、生産装置２の上部を覆うように、吊りボルト３によ
ってシステム天井フレーム４が天井から吊るされてお
り、そのシステム天井フレーム４の外縁部に沿って取り
付けられたシートによって形成されるアイリット５によ
って側方を仕切ることによりブースを構成している。シ
ステム天井フレーム４は格子状のフレームにより形成さ
れており、それぞれの格子窓には天井上部の空気をフィ
ルタリングして清浄化した空気をクリーンブース１内に
吹き出すファンフィルタユニット６（ＦＦＵ）および閉
止板７が設置されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来のシ
ステム天井フレーム４の上面には、ファンフィルタユニ
ット６や閉止板７が設置されているため、既設建屋の天
井部に照明器具８が設置されていても照明の光が遮ら
れ、生産装置２上部の適切な照度が確保できない。その
ため、システム天井フレーム４の下面に新たにクリーン
ブース用照明器具９を設置しなければならず、余計なコ
ストと工数がかかってしまうという問題があった。さら
に、蛍光灯などの照明器具から発生する電磁波や、静電
気によるシステム天井フレーム４等の帯電が生産装置２
に悪影響を及ぼすという問題があった。

【０００５】本発明は、上記従来技術の問題点に着目し
てなされたもので、既設建屋の内部にクリーンブースを
設置する場合において、既設の照明設備をクリーンブー
スの照明として利用可能であり、照明設備が発生する電
磁波や、帯電によるクリーンブース内への影響を回避で
きるクリーンブースの天井構造および閉止板を提供する
ことを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係る閉止板は、クリーンブースの上部に
配置される天井格子の格子窓に装着される閉止板を透光
性材料で形成したことを特徴とする。これにより、既設
建屋の天井部に設置された照明光が閉止板を透過するた
め、クリーンブース内に新たに余分な照明を設置しなく
ても、クリーンブース内に適切な照度を保つことができ
る。また、前記透光性材料は板面に導電層を形成し、接
地されている天井格子の格子窓に電気的接続をなして装
着可能とするとよい。このような構成とすることによ
り、閉止板により電磁波を遮蔽し、電磁波によるクリー
ンブース内への影響を回避することができる。また、閉
止板は接地された天井格子を介してアースされているの
で、帯電することがない。

【０００７】また、本発明に係るクリーンブース用天井
構造は、天井部に照明手段を有する既設の建屋の内部に
設置されたクリーンブースの天井部に天井格子を形成
し、この天井格子の格子窓に装着される閉止板を前記照
明手段からの照明を透過可能な構成とした。このような
構成とすることにより、建屋が有する照明手段の照明光
を、クリーンブースの天井部から閉止板を通して採光す
ることができるため、クリーンブース内に余分な照明を
新設する必要がない。これによりコストと工数の低減を
図ることができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る閉止板およ
びクリーンブース天井構造の具体的実施形態を、図面を
参照しつつ、詳細に説明する。ここでは、半導体製造装
置などの生産装置が設置された既設のクリーンルーム内
に、クリーンブースを設置することにより、局所的な高
清浄度エリアを設ける場合を例に説明する。

【０００９】まず、図２にクリーンブース１０の概略構
成を説明する。図２（１）および図２（２）に示される
ように、クリーンブース１０は、生産装置１２の上部を
覆うように、吊りボルト１４によってクリーンルーム１
１の天井部に吊着されて支持されている天井格子１６
と、その天井格子１６の外縁部に沿ってシートを張り巡
らせて生産装置１２を囲うアイリット１８によって天蓋
状のブースを構成している。

【００１０】天井格子１６は、図３に示しているよう
に、クリーンルーム１１の一次鋼材である梁２０をなす
Ｈ型鋼に吊りボルト１４を介してクリーンルーム１１の
天井部に吊るされている。すなわち、図示されるよう
に、吊りボルト１４の一端を、天井格子１６を形成する
アルミ製のフレーム２２上面に設けられたボルト穴に挿
入してねじ止めし、もう一端部を梁２０の側面部に溶接
して固定することにより、クリーンルーム１１の天井部
に吊下げられて支持されている。梁２０は図示しない支
柱に接続されており、この支柱は接地されている。これ
ら梁２０と支柱はいずれも導電性の鋼材で構成されてお
り、天井格子１６、吊りボルト１４、梁２０および支柱
により電気的導通経路を形成している。

【００１１】このように配置された天井格子１６には、
図２（３）の平面図に示しているように、多数の矩形の
格子窓２４が形成されており、これに詳細を後述するフ
ァンフィルタユニット２６や、あるいは閉止板２８を取
り付けることにより、クリーンブース１０内外を遮蔽す
る天井面を形成している。格子窓２４に取り付けられる
ファンフィルタユニット２６や閉止板２８は、図３およ
び図４に示されるように、逆Ｔ字型断面をなしているフ
レーム２２によって形成される格子窓２４の段差部分に
それらの周縁部を載置して固定されるようになってい
る。

【００１２】ファンフィルタユニット２６は、直接クリ
ーンブース１０に対面するフィルタ３０部分と、フィル
タ３０の背面側に設けられるファンユニット３２部分か
らなる。フィルタ３０はフィルタ本体３４とその外周に
設けられたアルミ材からなるフィルタ枠３６から構成さ
れている。また、ファンユニット３２はフィルタ背面側
にケーシング３８を有し、その天板部分にパンチング部
４０を設けて空気吸込口としている。そして、ケーシン
グ３８の内部には前記パンチング部４０に対面されるフ
ァン４２とその駆動源となっているモータ４４が内蔵さ
れ、クリーンルーム１１の天井部と天井格子１６との間
の空間からクリーンルーム１１内の空気を吸い込んでフ
ィルタ３０を通じて塵埃を除去した浄化空気をクリーン
ブース１０内に吹き出すようにしている。そして、吹き
出した浄化空気をクリーンルーム１１のグレーチング床
パネルからなる床面の下方に取り込み、外部へ排出して
いる。このようにして、クリーンルーム１１内の清浄化
した空気をクリーンブース１０内部に通流させ、局所的
な高清浄度エリアを形成している。

【００１３】閉止板２８は、ファンフィルタユニット２
６と同様に、天井格子１６の格子窓２４に設置され、天
井部の閉止面を形成している。閉止板２８は図１の斜視
図に示しているように、アルミ材により形成されたアル
ミ枠４６と、このアルミ枠４６により形成される開口部
に装着された透光性材料であるアクリル樹脂からなる透
明板４８により構成され、光を透過するようになってい
る。また、透明板４８の板面には、導電層としてアルミ
材からなり、光の透過口を持ったメッシュ５０がアルミ
枠４６と電気的接触を有した状態で設置されており、電
磁波を遮蔽することが可能となっている。

【００１４】このように構成された閉止板２８は、アル
ミ枠４６が天井格子１６のフレーム２２と電気的接触状
態を有して格子窓２４の段差部分に配置される。これに
より、アルミ枠４６と導通可能なメッシュ５０は、天井
格子１６、吊りボルト１４、梁２０および図示しない支
柱により形成される電気的導通経路を経てアースされ
る。このようにすることにより、メッシュ５０に蓄積す
る電気を逃がすことができ、閉止板２８の帯電を防止す
ることができる。

【００１５】なお、透明板４８に用いる透光性材料は、
アクリル樹脂に限定されず、ガラス等の他の透光性材料
を用いることができる。また、透明板４８を非帯電性材
料で形成することにより、アルミ枠４６がアース接続さ
れていない場合でも閉止板４８の帯電を防止することが
可能である。

【００１６】上記のようにクリーンブース１０を設置す
るクリーンルーム１１には、通常、天井部に照明器具５
２が設置されている。したがって、クリーンブース１０
の天井格子１６は、照明器具５２の下方に位置すること
になる。ここで、天井格子１６には、光を透過する材料
により形成された透明板４８を備える閉止板２８が採光
部を形成している。そのため照明器具５２の照明光は、
閉止板２８を通してクリーンブース１０内に達する。こ
れにより、クリーンブース１０の天井部は、閉止板２８
が、クリーンブース１０の天井部に閉止面を形成すると
いう従来の閉止板の機能を損なうことなく、天井部を構
成する一部として使用できるとともに、クリーンブース
１０内の照度を確保することができる。したがって、ク
リーンブース１０内に余分な新たに照明を設置する必要
がないため、コストと工数を低減することが可能であ
る。

【００１７】また、閉止板２８には、透明板４８の板面
にメッシュ５０が設けられており、このメッシュ５０が
天井格子１６に接触するように設置されている。そし
て、このメッシュ５０により照明器具５２から発生する
電磁波を遮蔽し、クリーンブース１０内へ影響が及ばな
いようにしている。そのため、クリーンブース１０内の
生産装置１２が電磁波の影響を受けることがない。さら
に、メッシュ５０は、天井格子１６と電気的接触を有し
て設置されることにより、いずれも導電性材料からなる
吊りボルト１４、梁２０および図示しない支柱が形成す
る電気的導通経路を経てアースされている。これにより
閉止板２８が帯電することを防止し、静電気による生産
装置１２への影響を回避することができるようになって
いる。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明はクリーン
ブースの上部に配置される天井格子の格子窓に装着され
る閉止板を透光性材料で形成する構成としたため、既設
の建屋の天井部に設置された照明手段の照明光が閉止板
を透過し、これによりクリーンブース内の照度が確保さ
れるため、新たに余分な照明を設置する必要がない。ま
た、閉止板を帯電防止構造としたので電磁波が遮断さ
れ、照明手段から発生する電磁波や帯電によるクリーン
ブース内への悪影響を回避することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施形態に係る閉止板の斜視図であ
る。

【図２】 本発明の実施形態に係るクリーンブース用天
井構造を備えるクリーンブースの（１）側面図である、
（２）正面図、（３）上面図である。

【図３】 本発明の実施形態に係るクリーンブース用天
井構造の斜視図である。

【図４】 ファンフィルタユニットの断面図である。

【図５】 既設建屋に設置された従来のクリーンブース
の側面図である。

【符号の説明】

１………クリーンブース、２………生産装置、３………
吊りボルト、４………システム天井フレーム、５………
アイリット、６………ファンフィルタユニット、７……
…閉止板、８………照明器具、９………クリーンブース
用照明器具、１０………クリーンブース、１２………生
産装置、１４………吊りボルト、１６………天井格子、
１８………アイリット、２０………梁、２２………フレ
ーム、２４………格子窓、２６………ファンフィルタユ
ニット、２８………閉止板、３０………フィルタ、３２
………ファンユニット、３４………フィルタ本体、３６
………フィルタ枠、３８………ケーシング、４０………
パンチング部、４２………ファン、４４………モータ、
４６………アルミ枠、４８………透明板、５０………メ
ッシュ、５２………照明器具。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンブースの天井部を形成する天井
   格子の格子窓に装着される閉止板を透光性材料で形成し
   たことを特徴とする閉止板。
2. 【請求項２】 前記透光性材料は板面に導電層を形成
   し、接地されている天井格子の格子窓に電気的接続をな
   して装着可能となっていることを特徴とする請求項１に
   記載の閉止板。
3. 【請求項３】 天井部に照明手段を有する既設の建屋の
   内部に設置されたクリーンブースの天井部に天井格子を
   形成し、この天井格子の格子窓に装着される閉止板を前
   記照明手段からの照明を透過可能としたことを特徴とす
   るクリーンブース用天井構造。