JP2003212452A - クリーンルームの荷物昇降籠の昇降室 - Google Patents
クリーンルームの荷物昇降籠の昇降室Info
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Abstract
荷物昇降籠の昇降室は、気密性が悪く、外部からの埃が
昇降空間を介してクリーンルーム内に流れ込んでしまい
半導体製造等においてのトラブルの原因となるという課
題があった。 【解決手段】 本発明のクリーンルームの荷物昇降篭の
昇降室は、荷物昇降篭８の昇降空間７を形成するシャフ
ト５の周囲が複数の成形コンクリート板４を建て込んで
構成された壁１Ａで覆われ、隣合う成形コンクリート板
の端部間がシーリング処理されているものとした。
Description
用されるクリーンルームの荷物昇降籠の昇降室に関す
る。
ムが知られている。一般に、クリーンルームはプロセス
エリア、床下エリア、天井エリアで構成されるが、クリ
ーンルームを２層設ける場合がある。この場合、１層目
のプロセスエリアと２層目のプロセスエリア間の荷物運
搬のために荷物昇降機（ダムウェータ）を設ける場合が
ある。
荷物昇降機の荷物昇降籠の昇降室は、気密性が悪く、外
部からの埃が昇降空間を介してクリーンルーム内に流れ
込んでしまい半導体製造等においてのトラブルの原因と
なるという課題があった。
クリーンルームの荷物昇降籠の昇降室は、荷物昇降籠の
昇降空間を形成するシャフトの周囲が複数の成形コンク
リート板を建て込んで構成された壁で覆われ、隣合う成
形コンクリート板の端部間がシーリング処理されている
ものとした。請求項２は、ガス発散の少ないシーリング
剤でシーリング処理を施した。請求項３は、シャフトの
表面および上記壁の表面に導電処理を施した。
〜図３に基づき説明する。尚、図１は実施の形態の荷物
昇降籠の昇降室の縦断面図、図２は横断面図である。本
実施の形態におけるクリーンルームの荷物昇降機（ダム
ウェータ）の荷物昇降籠の昇降室１は、以下のように施
工する。まず、１層目及び２層目のプロセスエリア２の
荷物出し入れ口３の近傍に昇降室１の壁１Ａを構成する
複数の成形コンクリート板４を建て込んでいくととも
に、建て込まれた成形コンクリート板４の昇降室１側に
鉄骨で荷物昇降機のシャフト５を組んでいく。成形コン
クリート板４同志は図示しない接続手段で接続してい
く。この際、図３に示すように、隣合う成形コンクリー
ト板４，４の端部４ａ間にシーリング処理を施してい
く。このシーリング処理はガス発散の少ないシリコン系
等のシーリング剤６を用いて行なう。シャフト５は４本
の柱シャフト５Ａを建て、梁シャフト５Ｂで連結してい
って形成する。そして、シャフト５で構成された昇降空
間７内に荷物昇降籠８を入れる。この荷物昇降籠８は図
示しない巻取機などで操作される吊りロープで昇降し、
各プロセスエリアの荷物出し入れ口３の位置で停止する
よう制御装置で制御される。各プロセスエリアの荷物出
し入れ口３の側に位置する成形コンクリート板４の端部
４ａ１は、荷物出し入れ口３の金属枠２０の裏側に位置
され、金属枠２０はジョイントプレートなどで成形コン
クリート板４に取付けられている。また、金属枠２０の
外周周りには図示しない鉄骨シャフトが組まれていて、
金属枠２０は当該鉄骨シャフトにもジョイントプレート
などで取付けられている。さらに、金属枠２０の前面縁
枠２１は壁下地ボード３０に取付けられており、壁下地
ボード３０の表面に貼られる導電性クロス３１は上記前
面縁枠２１に突き当たる位置まで貼る。また、図示しな
いが、成形コンクリート板４の表面及びシャフト５の表
面には導電性塗料を塗ったり導電性クロスを貼り付ける
ことで導電処理が施されている。特に、成形コンクリー
ト板４が建て込まれて構成される壁１Ａのシャフト５側
の面に導電処理を施す。尚、３Ａは荷物出し入れ口３に
設けられた開閉扉である。
形コンクリート板４の端部４ａ間をシーリング処理した
ので、気密性の高い昇降室１が得られ、クリーンルーム
と外部とを完全に遮断できるので、クリーンルームの埃
汚染を少なくできる。また、ガス発散の少ないシーリン
グ剤６でシーリング処理を施したので、クリーンルーム
のガス汚染を少なくできる。また、成形コンクリート板
４の表面及びシャフト５の表面に導電性塗料を塗布する
ことによる導電処理を施したので、成形コンクリート板
４及びシャフト５をアースすることで、これらの表面に
帯電する帯電電流をアースに逃がすことができて、帯電
防止効果の高い昇降室１が得られる。
る成形コンクリート板同士の端部間をシーリング処理し
たので、気密性が高く、クリーンルームの埃汚染を少な
くできるクリーンルームの荷物昇降籠の昇降室が得られ
る。請求項２によれば、シーリング処理をガス発散の少
ないシーリング剤を用いて行なったので、クリーンルー
ムのガス汚染を少なくできるクリーンルームの荷物昇降
籠の昇降室が得られる。請求項３によれば、壁を構成す
る成形コンクリート板の表面とシャフトの表面に導電処
理を施したので、帯電防止効果の高いクリーンルームの
荷物昇降籠の昇降室が得られる。
荷物昇降籠の昇降室の縦断面図。
籠の昇降室の横断面図。
籠の昇降室の壁を構成する成形コンクリート板の端部間
のシーリング処理の説明図。
クリート板の端部、５ シャフト、６ シーリング剤、
７ 昇降空間、８ 荷物昇降籠。
Claims (3)
- 【請求項１】 荷物昇降籠の昇降空間を形成するシャフ
トの周囲が複数の成形コンクリート板を建て込んで構成
された壁で覆われ、隣合う成形コンクリート板の端部間
がシーリング処理されていることを特徴とするクリーン
ルームの荷物昇降籠の昇降室。 - 【請求項２】 ガス発散の少ないシーリング剤でシーリ
ング処理が施されていることを特徴とする請求項１に記
載のクリーンルームの荷物昇降籠の昇降室。 - 【請求項３】 シャフトの表面および上記壁の表面に導
電処理が施されていることを特徴とする請求項１又は請
求項２に記載のクリーンルームの荷物昇降籠の昇降室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002014930A JP4014879B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームの荷物昇降機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002014930A JP4014879B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームの荷物昇降機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003212452A true JP2003212452A (ja) | 2003-07-30 |
| JP4014879B2 JP4014879B2 (ja) | 2007-11-28 |
Family
ID=27651473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002014930A Expired - Fee Related JP4014879B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームの荷物昇降機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4014879B2 (ja) |
-
2002
- 2002-01-24 JP JP2002014930A patent/JP4014879B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4014879B2 (ja) | 2007-11-28 |
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