JP4014879B2 - クリーンルームの荷物昇降機 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造等に使用されるクリーンルームの荷物昇降機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工場等のクリーンルームが知られている。一般に、クリーンルームはプロセスエリア、床下エリア、天井エリアで構成されるが、クリーンルームを２層設ける場合がある。この場合、１層目のプロセスエリアと２層目のプロセスエリア間の荷物運搬のために荷物昇降機（ダムウェータ）を設ける場合がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の荷物昇降機の荷物昇降籠の昇降室は、気密性が悪く、外部からの埃が昇降空間を介してクリーンルーム内に流れ込んでしまい半導体製造等においてのトラブルの原因となるという課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明のクリーンルームの荷物昇降機は、クリーンルームにおける荷物昇降機の荷物昇降籠の昇降空間を形成するシャフトの周囲が複数の成形コンクリート板を建て込んで構成された壁で覆われ、隣合う成形コンクリート板の端部間がシーリング処理され、シャフトの表面および上記壁の表面には導電性塗料を塗ったり導電性クロスを貼り付けることで導電処理が施され、各プロセスエリアの荷物出し入れ口を形成する金属枠の前面縁枠が壁下地ボードに取付けられ、壁下地ボードの表面に貼られる導電性クロスが前面縁枠に突き当たる位置まで貼られたことを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図１〜図３に基づき説明する。尚、図１は実施の形態の荷物昇降籠の昇降室の縦断面図、図２は横断面図である。
本実施の形態におけるクリーンルームの荷物昇降機（ダムウェータ）の荷物昇降籠の昇降室１は、以下のように施工する。まず、１層目及び２層目のプロセスエリア２の荷物出し入れ口３の近傍に昇降室１の壁１Ａを構成する複数の成形コンクリート板４を建て込んでいくとともに、建て込まれた成形コンクリート板４の昇降室１側に鉄骨で荷物昇降機のシャフト５を組んでいく。成形コンクリート板４同志は図示しない接続手段で接続していく。この際、図３に示すように、隣合う成形コンクリート板４，４の端部４ａ間にシーリング処理を施していく。このシーリング処理はガス発散の少ないシリコン系等のシーリング剤６を用いて行なう。シャフト５は４本の柱シャフト５Ａを建て、梁シャフト５Ｂで連結していって形成する。そして、シャフト５で構成された昇降空間７内に荷物昇降籠８を入れる。この荷物昇降籠８は図示しない巻取機などで操作される吊りロープで昇降し、各プロセスエリアの荷物出し入れ口３の位置で停止するよう制御装置で制御される。各プロセスエリアの荷物出し入れ口３の側に位置する成形コンクリート板４の端部４ａ１は、荷物出し入れ口３の金属枠２０の裏側に位置され、金属枠２０はジョイントプレートなどで成形コンクリート板４に取付けられている。また、金属枠２０の外周周りには図示しない鉄骨シャフトが組まれていて、金属枠２０は当該鉄骨シャフトにもジョイントプレートなどで取付けられている。さらに、金属枠２０の前面縁枠２１は壁下地ボード３０に取付けられており、壁下地ボード３０の表面に貼られる導電性クロス３１は上記前面縁枠２１に突き当たる位置まで貼る。また、図示しないが、成形コンクリート板４の表面及びシャフト５の表面には導電性塗料を塗ったり導電性クロスを貼り付けることで導電処理が施されている。特に、成形コンクリート板４が建て込まれて構成される壁１Ａのシャフト５側の面に導電処理を施す。尚、３Ａは荷物出し入れ口３に設けられた開閉扉である。
【０００６】
以上によれば、昇降室１の壁を形成する成形コンクリート板４の端部４ａ間をシーリング処理したので、気密性の高い昇降室１が得られ、クリーンルームと外部とを完全に遮断できるので、クリーンルームの埃汚染を少なくできる。
また、ガス発散の少ないシーリング剤６でシーリング処理を施したので、クリーンルームのガス汚染を少なくできる。
また、成形コンクリート板４の表面及びシャフト５の表面に導電性塗料を塗布することによる導電処理を施したので、成形コンクリート板４及びシャフト５をアースすることで、これらの表面に帯電する帯電電流をアースに逃がすことができて、帯電防止効果の高い昇降室１が得られる。
【０００７】
【発明の効果】
本発明によれば、壁を構成する成形コンクリート板同士の端部間をシーリング処理したので、気密性が高く、クリーンルームの埃汚染を少なくできる。しかも、壁を構成する成形コンクリート板の表面とシャフトの表面に導電性塗料を塗ったり導電性クロスを貼り付けることで導電処理が施され、各プロセスエリアの荷物出し入れ口を形成する金属枠の前面縁枠が壁下地ボードに取付けられ、壁下地ボードの表面に貼られる導電性クロスが前面縁枠に突き当たる位置まで貼られたので、帯電防止効果の高いクリーンルームの荷物昇降機が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施の形態によるクリーンルームの荷物昇降籠の昇降室の縦断面図。
【図２】 実施の形態によるクリーンルームの荷物昇降籠の昇降室の横断面図。
【図３】 実施の形態によるクリーンルームの荷物昇降籠の昇降室の壁を構成する成形コンクリート板の端部間のシーリング処理の説明図。
【符号の説明】
１ 昇降室、４ 成形コンクリート板、４ａ 成形コンクリート板の端部、
５ シャフト、６ シーリング剤、７ 昇降空間、８ 荷物昇降籠。
Claims (1)
- クリーンルームにおける荷物昇降機の荷物昇降籠の昇降空間を形成するシャフトの周囲が複数の成形コンクリート板を建て込んで構成された壁で覆われ、隣合う成形コンクリート板の端部間がシーリング処理され、シャフトの表面および上記壁の表面には導電性塗料を塗ったり導電性クロスを貼り付けることで導電処理が施され、各プロセスエリアの荷物出し入れ口を形成する金属枠の前面縁枠が壁下地ボードに取付けられ、壁下地ボードの表面に貼られる導電性クロスが前面縁枠に突き当たる位置まで貼られたことを特徴とするクリーンルームの荷物昇降機。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2002014930A JP4014879B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームの荷物昇降機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002014930A JP4014879B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームの荷物昇降機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003212452A JP2003212452A (ja) | 2003-07-30 |
| JP4014879B2 true JP4014879B2 (ja) | 2007-11-28 |
Family
ID=27651473
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2002014930A Expired - Fee Related JP4014879B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームの荷物昇降機 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP4014879B2 (ja) |
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2002
- 2002-01-24 JP JP2002014930A patent/JP4014879B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2003212452A (ja) | 2003-07-30 |
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