JP2002164740A - 両面実装可能な発振器パッケージに部品を結合する方法 - Google Patents

両面実装可能な発振器パッケージに部品を結合する方法

Info

Publication number
JP2002164740A
JP2002164740A JP2001276579A JP2001276579A JP2002164740A JP 2002164740 A JP2002164740 A JP 2002164740A JP 2001276579 A JP2001276579 A JP 2001276579A JP 2001276579 A JP2001276579 A JP 2001276579A JP 2002164740 A JP2002164740 A JP 2002164740A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
package
piezoelectric element
opening receptacle
receptacle
pedestal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001276579A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3923762B2 (ja
Inventor
Thomas A Knecht
トーマス・エイ・ネックト
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CTS Corp
Original Assignee
CTS Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=23491873&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP2002164740(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by CTS Corp filed Critical CTS Corp
Publication of JP2002164740A publication Critical patent/JP2002164740A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3923762B2 publication Critical patent/JP3923762B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03BGENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B5/00Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
    • H03B5/30Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
    • H03B5/32Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/08Holders with means for regulating temperature
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/16Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3025Electromagnetic shielding

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Amplifiers (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
  • Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 周波数制御装置のためのパッケージを小型か
つ大量生産可能にすると共に圧電素子を他の部品と分離
して相互汚染を防止する。 【構成】 両面発振器パッケージ(200)が提供され
る。該パッケージ(200)は電子部品を受けるよう構
成された上部開口リセプタクル(212)および少なく
とも圧電素子およびカバーを受け気密環境を形成するよ
う構成された下部開口リセプタクル(214)を有す
る。前記電子部品(226)および圧電素子(234)
はパッケージ(200)に適切に接続できる。該パッケ
ージ(200)は大量生産可能に設計され、かつ小型で
あり、容易に表面実装可能であり、そして小さいプロフ
ィールを提供する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は一般的には周波数制御装
置に関し、かつ、より特定的には、両面(double
−sided)発振器パッケージおよび部品を該パッケ
ージに結合する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】周波数制御装置は温度補償された水晶発
振器(TCXO)を含むことが知られている。典型的な
TCXOは圧電材料および温度補償回路を使用し、たと
えば、変化する環境条件の下で高周波の波形に対して信
頼性あるかつ安定な発振出力を提供する。これらの装置
は一般にセルラ電話、ぺ一ジャおよびワイヤレスモデム
のような、携帯用無線周波(RF)通信機器において見
られる。消費者の需要が絶えずセルラ電話および他の通
信機器の寸法を低減させるに応じて、より小さな寸法お
よび低減された重量を有するTCXOの必要性が一層大
きくなってきている。
【0003】図1は従来技術のTCXO10の斜視図で
ある。該TCXO10は圧電素子12、集積回路(I
C)14の形式の温度補償回路、およびチップ容量1
6、入力/出力パッド(図示せず)、および装置ふた1
8を含む。ふた18およびハウジング22が取付けられ
たとき密封された(hermetically sea
led)環境20が形成される。
【0004】圧電素子12に電圧が印加されたとき、該
素子12はある発振出力で共振する。圧電素子の共振周
波数はハウジング22内の温度の変化に応じて、公称周
波数の回りで変化しまたはドリフトする。典型的には、
前記IC内に含めることができる温度検知装置が環境2
0に関して温度補償回路に情報を提供する。環境20内
の温度が変動するに応じて、温度補償回路は適切に回路
パラメータを修正して発振出力の周波数ドリフトを最小
化する。
【0005】TCXO10の高さ、幅および深さはハウ
ジング22内の圧電素子、温度補償回路、集積回路14
およびチップ容量16に依存する。すなわち、ハウジン
グ22およびふた18の総合的な寸法がTCXO10の
総合的な寸法に加えられる。TCXO10に対する典型
的な寸法は約8.89mm×8.89mm×2.79m
mである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】これらの寸法は小さい
ように見えるかも知れないが、より小型のセルラ電話お
よび他の電子製品に対する要求はTCXOが一層小さな
物理的寸法を持つことを必要としている。従って、従来
技術の寸法上の制約を克服し、かつそれらのより大きな
対応物の適切な性能要求または基準に適合しまたは超え
る周波数制御装置の実質的な必要性が存在する。
【0007】また、(i)圧電素子がスペースを犠牲に
することなく他の部品から分離して収容できあるいは他
の部品から隔離でき、部品の相互汚染(cross−c
ontamination)の可能性を最小にする周波
数制御装置のためのパッケージまたはハウジング、およ
び(ii)周波数同調およびハーメチックシールを単純
化することができる大量生産可能なパッケージ、が必要
である。
【0008】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するため、本発明に係わる両面温度補償発振器パッケ
ージは、中央部分および外側部分を含む台座、前記台座
の外側部分から実質的に上方向におよび実質的に下方向
に伸びた側壁であって前記上方向に伸びた側壁は表面実
装可能な端部で終端し前記表面実装可能な端部は電気的
装置への接続を可能にするよう構成された複数のコンタ
クトを含むもの、前記上方向に伸びた側壁および前記台
座によって形成され少なくとも1つの電子部品を受ける
よう構成された上部開口リセプタクルおよび前記下方向
に伸びた側壁および前記台座によって形成され少なくと
も1つの圧電部品を受けるよう構成された下部開口リセ
プタクル、そして前記下部開口リセプタクルと結合され
気密環境を規定するカバー、を具備することを特徴とす
る。
【0009】また、本発明の別の態様に係わる両面温度
補償発振器パッケージは、中央部分および外側部分を含
む台座、前記台座の外側部分から実質的に上方向におよ
び実質的に下方向に伸びた側壁、前記上方向に伸びた側
壁および前記台座によって形成される上部開口リセプタ
クルおよび前記下方向に伸びた側壁および前記台座によ
って形成される下部開口リセプタクル、前記下部開口リ
セプタクルと結合可能でありかつ気密環境を規定するカ
バー、を具備し、前記上部開口リセプタクルは少なくと
も1つの電子部品を含みかつ実質的に硬化可能な材料で
満たされており、そして、前記下部開口リセプタクルは
圧電部品を含み、それによって表面実装可能なパッケー
ジが規定されることを特徴とする。
【0010】さらに、本発明によれば部品を両面発振器
パッケージに結合する方法が提供され、該方法は、下部
開口リセプタクルを有するパッケージを提供する段階、
前記下部開口リセプタクルに圧電素子を実装しかつ気密
封止する段階、そして電子部品を前記パッケージに結合
する段階、を具備することを特徴とする。
【0011】さらに、本発明の別の態様に係わる部品を
両面発振器パッケージに結合する方法は、上部開口リセ
プタクルおよび下部開口リセプタクルを有するセラミッ
クパッケージを提供する段階、前記下部開口リセプタク
ルに圧電素子を実装する段階、前記圧電素子を周波数同
調する段階、前記圧電素子を前記下部開口リセプタクル
内に気密封止する段階、そして電子部品を前記上部開口
リセプタクルに結合する段階、を具備することを特徴と
する。
【0012】
【実施例】本発明は改善された両面(double−s
ided)温度補償された水晶発振器(TCXO)パッ
ケージ100を提供する。このパッケージは概略的に基
板に結合された、感温部品(temperature−
sensitive components)を有する
補償回路を含む。パッケージ100は該パッケージ10
0の一部の上に実装された圧電素子を受けるよう構成さ
れ、それによって前記補償回路と圧電素子との間に電気
的接続が提供され未同調(untuned)周波数制御
装置を生成する。周波数同調の後、ハーメチックシール
が前記圧電素子の回りに与えられる。この発明のパッケ
ージ100によれば、従来技術の周波数制御装置の寸法
的な制限は実質的に克服される。
【0013】図2〜図4を参照して本発明をさらに詳細
に説明することができる。図2は、パッケージ100を
その最も簡単な形式で示す。パッケージ100は中央部
分104、および外側部分106を含む実質的に平坦な
台座(platform)102を含む。該台座102
の外側部分106から実質的に上方向および下方向に上
部および下部側壁108および110が延びている。上
部側壁108および台座102は電子部品を受けるよう
構成された実質的に四角形の、上部が開かれたまたは上
部開口リセプタクル112を形成する。同様に、下部側
壁110および台座102は、圧電素子134のよう
な、少なくとも1つの圧電部品を受けるよう構成された
下部が開かれたまたは下部開口リセプタクル114を形
成する。カバー116が前記下部開口リセプタクル11
4に取付けられて該下部開口リセプタクル114および
カバー116で規定される気密環境118を提供する。
台座102はリセプタクル112および114およびそ
の中の部品を隔離するのを助け、それによって組立て後
のまたは同調の間の汚染の可能性を最小にし、かつ寸
法、一体性、完全性またはコストを犠牲にすることな
く、前記上部開□リセプタクル112における電子部品
から分離して処理できる気密封入された圧電装置134
を提供する。これを達成するために1つのカバー116
が必要とされるのみである。
【0014】パッケージ100は形状的に広く変化して
もよい。1つの実施例では、パッケージ100は実質的
に携帯可能でありかつ方形または四角形であり、かつ電
子装置の全容積の内の極めて少しの容積のみを占有して
該電子装置に配置するよう構成される。
【0015】パッケージ100は特に大量生産および超
小型化に適応している。たとえば、該パッケージは図2
および図4において長さ、幅および高さ156,158
および160として表される7.11mm×6.22m
m×2.24mmの寸法を持つものとすることができ
る。
【0016】好ましい実施例においては、パッケージ1
00は該パッケージ内の応力を最小にするため実質的に
同じ熱膨脹係数を有する材料から構成される。1つの実
施例では、上部開口リセプタクル(open−top
receptacle)112はともに、アルミナのよ
うな、一緒に焼結した(co−fired)セラミック
材料から形成された台座102および上部側壁108か
らなる。下部側壁110はニッケル合金、鉄およびコバ
ルト、コバール(Kovar)、または合金42(Al
loy42)、その他から構成することができ、好まし
くは台座102および上部開口リセプタクル112を形
成するセラミック材料と実質的に熱膨脹係数が同じであ
るためコバールとされる。
【0017】複数の内部リード(図2において点線で示
されている)が電気部品および圧電素子134をパッケ
ージ100内の部品を作動させるための電気信号に結合
するために含まれている。図2および図3を参照する
と、複数のリード120は、上端部122上に配置され
た、複数のそれぞれの接点124に接続されている。好
ましくは、前記上端部122はそれが接続される回路基
板に対し良好な接触を提供するため実質的に平坦にされ
る。内部リード120は前記台座102および上部側壁
108内に形成される。従って、複数の導電リードまた
は経路120が中央部分104から上端部122へと延
び、おのおののリードはその隣接のリードから絶縁され
ている。リード120は回路から前記上端部122への
電気的経路を提供し、かつセラミックそれ自体の内部に
一緒に焼結されたビア(vias)を含み、あるいは上
部側壁108の外側に胸壁(castellation
s)と称されるメッキされたハーフホール(halfh
oles)を含むことができる。
【0018】上部開口リセプタクル112は電子部品を
含み、かつ下部開口リセプタクル114は少なくとも圧
電素子134を含む。より詳細には、上部開口リセプタ
クル112は台座102の中央部分104に確実に結合
された、温度補償集積回路(IC)126およびチップ
容量128および130を含む。IC126は任意の適
切なIC、たとえば、グロブトップ(glob to
p)を含むワイヤボンドされたIC、有機アンダーフィ
ル(organic underfill)を含むフリッ
プチップ(flip chip)IC、その他を含む任
意の適切なICを含むことができる。好ましい実施例で
は、IC126は該IC126を台座102の中央部分
104に確実に結合しかつIC126への汚染を最小に
するために有機アンダーフィル132を含むフリップチ
ップICである。IC126は前記台座102の中央部
分104に近接したメタライズ部分に対しはんだリフロ
ーされる。これはICおよび台座102の電気的および
機械的結合を形成する。
【0019】前記上部開口リセプタクル112はまた前
記圧電素子134を同調するよう構成された導電性パッ
ド152および154および典型的にはDC電圧バイパ
ス容量として機能する第1および第2のチップ容量12
8および130のための十分なスペースを含む。IC1
26はそれ自体温度補償機能を提供する。
【0020】下部開口リセプタクル114は少なくとも
圧電素子134を含みかつもし望むならば他の部品を含
むことができる。圧電素子134は広範囲のものとする
ことができる。その例としてはクオーツ、ATカットク
オーツ条片(strip)、その他を含むことができ
る。好ましい実施例では、圧電素子134は、温度補償
可能な、約−40℃から約90℃まででふるまいが良好
な(well−behaved)周波数対温度関係を得
るためATカットのクオーツ条片からなる。圧電素子1
34を他の部品から隔離することにより圧電素子134
が汚染され、その結果その周波数の望ましくない変化を
生じる可能性を最小にする。
【0021】より詳細には、下部開口リセプタクル11
4における圧電素子134を上部開口リセプタクル11
2における部品から隔離しかつ物理的に分離することに
より実質的に、従来技術のTCXOにおいて時間ととも
に生じ得る、はんだ、有機アンダーフィル、および他の
望ましくない汚染物質が圧電素子134の出力周波数に
悪影響を与える可能性を最小にする。
【0022】カバー116は下部開口リセプタクル11
4にかつ特に下端部136に受入れられかつ結合される
べく相補的に構成されている。カバー116は良好なハ
ーメチックシールを提供するために前記下部側壁110
に、かつ好ましくは前記下端部136にシーム溶接ある
いははんだ封止することができる。
【0023】より詳細には、前記下端部136およびカ
バー116の外周部138は相補的に形成されて下部開
口リセプタクル114および環境118内の内容物の確
実な相互接続および気密を提供する。1つの実施例で
は、カバー116は金属でありかつIC126のグラン
ド部に結合される。
【0024】図2および図4を参照すると、圧電素子1
34はカップリング140および142の上に配置され
かつ該カップリング140および142に結合されてい
る。該カップリング140および142は圧電素子13
4に対し機械的および電気的接続を提供する。カップリ
ング140および142への電気的接続はリード144
および146であり、これらのリードは好ましくは圧電
素子134を上部開口リセプタクル112内の回路およ
び外部回路に、かつ特にIC126および容量128お
よび130への接続のための、タングステンを充填した
ビアの形式とされる。カップリング140は圧電素子1
34の外側に面した電極164(上部電極)を電気的に
リード144と接続する巻きつけセクション(wrap
around section)141を含む。同様
に、カップリング142は内側に面した電極162(台
座102に面する下部電極)を図2のリード146と電
気的に接続する。
【0025】いったんTCXOパッケージ100が組立
てられると、該パッケージ100は電子装置において使
用するために回路基板に適切に結合される。平坦な端部
122は回路基板または適切な基板上に配置するのを容
易に可能にするよう構成されている。複数のコンタクト
または接点124が電気的装置への接続のためにそれぞ
れのリード120に、かつ回路基板上のメタライズされ
た経路に適切に接続される。前記複数のコンタクト12
4に隣接してかつ垂直に、上部側壁108の外側部分1
50上にそれぞれのみぞまたは胸壁(caste11a
tions)148がある。好ましくは、これらの胸壁
148はコンタクト124の回路基板との間の電気的接
続(典型的にははんだ)の検査を容易にするため半円形
とされる。
【0026】本発明はまた発振器を作成する上で使用す
るために部品をパッケージに結合するのを容易にし、か
つ特に温度補償された水晶発振器の大量生産を容易にす
るよう構成された方法を含む。
【0027】最も簡単な形式では、部品を両面発振器パ
ッケージに結合する本方法は、下部開口リセプタクル1
14を有するパッケージ100を提供する段階、下部開
口リセプタクル114において圧電素子134を実装し
かつ気密封止する段階、および電子部品を前記パッケー
ジに結合する段階を備えている。
【0028】この方法および構造はパッケージ100の
おのおのの側の部品の相互汚染を最小にするための隔離
手段を提供する。より詳細には、前記パッケージ100
は、IC126および容量128および130、そして
関連するはんだおよびフラックス、その他のような、上
部開口リセプタクル112における電子部品からの下部
開口リセプタクル114における圧電素子134の汚染
を実質的に最小にするよう構成されている。もし汚染が
発生すれば、圧電素子134の周波数安定度は悪影響を
受ける可能性がある。本パッケージ100および方法の
他の利点は同調のプロセスの間に、典型的には付加的な
メタリゼーションが圧電素子134の外側に面した電極
164に加えられることである。望まない金属の接触お
よび上部開口リセプタクル112における部品への悪影
響の可能性が最小にされるが、それはこれらの部品は台
座102の他の側に隔離されておりかつ典型的には同調
段階が完了するまでパッケージ100に結合されさえも
しないからである。
【0029】好ましい実施例では、本方法は、上部開口
リセプタクル112および下部開口リセプタクル114
を有するパッケージを提供する段階、前記下部開口リセ
プタクル114に圧電素子134を実装する段階、前記
圧電素子134を周波数同調する段階、前記圧電素子1
34を下部開口リセプタクル114内に気密封止する段
階、および前記電子部品を上部開口リセプタクル112
に結合する段階を含む。
【0030】都合のよいことに、前記上部開口リセプタ
クル112は周波数同調段階の間に圧電素子134を作
動させるためのアクセス可能な導電経路152および1
54を含み、それによって、たとえば、下部開口リセプ
タクル114に気密封止する前に金属が前記外側に面し
た電極164に付加される。パッケージ100の構造は
IC126、チップ容量128および130、およびパ
ッド152および154への同調の間における汚染の可
能性を最小にするが、それはこれらの部品は実質的に台
座102および側壁108および110によって圧電素
子134から隔離されているからである。
【0031】好ましい実施例では、図1〜図4における
パッケージ100を制作することに関連する方法は次の
ステップを含む。 (1)両面TCXOパッケージ100が準備される。該
パッケージ100は台座(platform)102に
結合された、上部側壁108を規定する多層セラミック
部分および下部側壁110を規定する金属をろう付けし
た(metalbrazed)リングを含む。 (2)パッケージが上に面しているときに水晶結晶板
(quartz crystal)が下部開口リセプタ
クルに置かれかつ中央部分104に適切に取付けられ
る。 (3)前記水晶結晶板が、該水晶結晶板をパッケージ1
00の中央部分104における上部開口リセプタクル1
12へとアクセス可能な、他の側の金属パッド152お
よび154を通して作動させながら、該水晶結晶板の質
量装荷(massloading)により周波数同調さ
れる。 (4)前記水晶結晶板が次に下部側壁110の下端部1
36をカバー116に結合するために平行なシーム溶接
を使用して金属カバー116によって気密封止される。
これにより水晶部分の製造プロセスが完了する。 (5)電子部品が上部開□リセプタクル112内に配置
されかつチップ容量128および130を結合するため
に台座102上にはんだを施すことにより適切に取付け
られる。はんだはリフローまで部品を粘着性でかつ適切
に保持する。次に、フラックスがIC126の領域の近
傍にかつ下に施される。はんだバンプを有するフリップ
チップICが台座102の中央部分104に整列されか
つ配置される。部品は次にはんだリフローされる。ま
た、有機アンダーフィルが施され、それによって該有機
アンダーフィルがIC126の下に流れかつ実質的にI
C126を環境的に保護できるようにする。 (6)その後、TCXOパッケージ100は最終的な電
気的セットアップおよび試験に送られる。その後、顧客
は典型的には前記平坦部122を回路基板にはんだリフ
ローし電子機器において使用するためにコンタクト12
4のおのおのを適切な電気的接続部へと接続する。この
方法は部品の実装および組立てを単純化することができ
る。
【0032】図5〜図8を参照すると、別の両面温度補
償水晶発振器パッケージ200が示されている。該パッ
ケージ200は中央部分204および外側部分206を
含む実質的に平坦な台座202を含んでいる。前記外側
部分206から実質的に上方向にかつ下方向に、それぞ
れ、上部および下部側壁208および210が延びてい
る。上部側壁208および台座202は少なくとも1つ
の電子部品を受入れるように構成された実質的に四角形
の、上部開口リセプタクル212を形成する。同様に、
下部側壁210および台座202は圧電素子234のよ
うな、少なくとも1つの圧電部品を受けるよう構成され
た下部開口リセプタクル214を形成する。好ましくは
金属からなる、カバー216は前記下部開口リセプタク
ル214に取付けられて前記下部開口リセプタクル21
4とカバー216によって規定される気密環境218を
提供する。好ましい実施例では、内容物を実質的に覆い
かつその中に包含させるため上部開口リセプタクル21
2内には硬化可能な材料232が施される。台座202
はリセプタクル212および214そしてその中の部品
を隔離するのを助け、それによって組立て後または同調
の間における相互汚染の可能性を最小にし、かつ気密環
境218を提供する。この構造の他の利点は一体性また
は完全性(integrity)、コストの利点、およ
び幅の狭い外形である。
【0033】この構成は市場における最も小型のTCX
Oパッケージの1つを提供し、かつ圧電素子をICから
都合よく分離することによって大量生産に役立たせ、か
つさらにリークテストを必要とする気密部分を1つだけ
必要とするのみである。チップ容量はクオーツ(圧電素
子)の余白部に配置され、かつ一般にエージングの障害
を生じない(長期間の周波数安定性)。さらに、この構
造はチップ容量を適切に配置するため、四角形のエンク
ロージャの内側の利用可能なスペースを活用する。ベー
スの接着部は容量と水晶結晶板の実装に対して同じもの
とすることができる。前記ICは気密のチェンバ側から
分離される。ワイヤボンドされたICを環境的な損傷か
ら実質的に保護するためにいわゆる「グロブトップ(g
lobtop)」エポキシを使用することができる。出
願人はここに詳細に示した構造利点を有するいずれの従
来のTCXOパッケージも知らない。
【0034】複数の内部リード(図5において点線とし
て示されている)はパッケージ200内の部品を作動さ
せるために、電気的部品および圧電素子を電気的信号に
適切に結合するために示されている。従って、複数のリ
ードは上部平坦端部222上に配置された複数のそれぞ
れの接点またはコンタクト224に結合されている。好
ましくは、前記上端部222は、たとえば、それが結合
されることになる回路基板への良好な接触を提供するた
め実質的に平坦とされる。この構造は特にパッケージ2
00を回路基板に表面実装するのを容易にするよう構成
されている。前記内部リードは前記台座202および上
部側壁208内に形成されている。従って、前記リード
または経路は前記中央部分204から前記上端部222
へと延び、おのおののリードはその隣接するリードから
絶縁されている。リードは前記回路から前記端部222
への電気的経路を提供し、かつセラミックそれ自体の内
部に一緒に焼結したビア(co−fired via
s)を含むことができ、あるいは、たとえば、上部側壁
208の外側にしばしば胸壁(castellatio
ns)と称されるメッキされた半穴部またはハーフホー
ル(half−holes)を含むことができる。
【0035】図5に示されるように、前記上部開口リセ
プタクル212は少なくとも1つの電子部品を含み、か
つ同様に前記下部開口リセプタクル214は圧電素子2
34を含むことができる。より詳細には、図5におい
て、上部開口リセプタクル212は、台座202の中央
部分204に結合された、リセプタクル212における
種々のメタリゼーションパターンに適切に接続されたワ
イヤボンドされた温度補償集積回路(IC)226を含
む。特定の実施例では、前記上部開口リセプタクル21
2は実質的に硬化可能な材料232で満たされ、従って
IC226を包含している。
【0036】この構造はフットプリントおよび重量の観
点から効率的な構成である。それは、たとえば、水晶を
挿入しかつ次にユニットを密閉し、それによってICの
作業(配置)が後の時間に、あるいは異なる場所におい
ても可能となるようにする。気密チェンバはICから分
離されているにもかかわらず、1っのリークのチェック
作業があるのみであり、それは(グロブトップエポキシ
の)硬化可能な材料232がICを包んでおりかつリー
クのチェックを行う必要がないからである。
【0037】硬化可能な材料はそれが施されたとき前記
上部開口リセプタクル212を実質的に均一に満たす所
望の粘性を有し、かつさらに硬化されたとき、使用中に
クラックその他を引起こし得るバブルまたはポケットが
実質的にない限り、広く変わってもよい。好ましい実施
例では、前記硬化可能な材料232は熱硬化性の、有
機、非導電性材料であり、かつより好ましくはアメリカ
合衆国カリフォルニア州91746、インダストリ、イ
ースト・ドン・ジュリアン・ロード15051の、デク
スタ・エレクトロニック・マテリアルズ(Dexter
Electronic Materials)社から得
ることができるグロブトップエポキシであるデクスタ・
ハイソール4450(Dexter Hyso1445
0)として知られた材料を含む。
【0038】グロブトップエポキシ材料はICのパッシ
ベイションを提供する。それはさらに機械的な損傷から
の保護を与えかつICの電気的特性を保護するために十
分に湿気に対して抵抗力がある。前記硬化可能な材料2
32は前記平坦な上端部222より低く留まり、それに
よって基板のリフローの間にI/Oパッドまたは電気的
コンタクト224と干渉しないようにすることが好まし
い。
【0039】好ましい実施例においては、IC226は
台座202の中央部分104の近傍の中央のメタライズ
ド部分に銀エポキシ接着されて適切な電気的および機械
的結合を形成している。銀エポキシが硬化された後、I
Cはセラミック基板上のメタライズド領域にワイヤボン
ドすることができる。これらのメタライズされたパッド
は前記コンタクト224に電気的に接続される。
【0040】前記上部開口リセプタクル212もまたコ
ンタクト224に接続するための部材252のような導
電性パッドを含む。IC226は温度補償された水晶発
振器のために適切な温度補償機能を提供する。
【0041】前記下部開口リセプタクル214は種々の
部品を含むことができる。好ましい実施例では、前記下
部リセプタクル214はもし望むならば圧電素子234
および他の部品を含む。好ましくは、2つのチップ容量
228および230が含まれ、これらは典型的にはDC
電圧バイパス容量として機能する。好ましい実施例で
は、圧電素子134は望ましい温度補償(TC)特性の
ために、ATカットクオーツ条片から構成される。圧電
素子134をICから離して配置することにより、該圧
電素子に対する汚染、およびパッケージ200の部品の
相互汚染の可能性を最小にすることができる。水晶結晶
板の最終的な同調はICがこの作業を妨げることなしに
行なわれることが望ましい。水晶に接続された電気的パ
ッドは水晶チェンバの反対側に位置され、これは最終的
な同調作業の間において好都合である。
【0042】図5および図6に示されるように、カバー
216は下部開口リセプタクル214に、かつ特に下端
部236に受け入れられかつ結合されるべく相補的に形
成されている。好ましい実施例では、カバー216は金
属であり、かつ良好なハーメチックシールを提供するた
めに下部側壁210にシーム溶接されあるいははんだシ
ールすることができる。金属の場合、カバー116はI
C226のグランド部分に結合して良好な平面およびシ
ールドを提供することができる。回路グランドに接続さ
れた金属カバーは動作中にかつRF周波数において水晶
と、例えば、発振器が接合されたプリント回路基板の間
の無線周波(RF)シールドを改善することができる。
【0043】1つの実施例においては、カバー216は
パッケージ200全体のプロフィールを最小にするた
め、少なくとも部分的にチップ容量228および230
を受けるためのポケット244を含む。
【0044】図5を参照すると、圧電素子234は、機
械的および電気的接続を提供する、カップリング240
の上に配置されかつ該カップリング240を介して結合
されている。該カップリングは、銀エポキシ(silv
erepoxy)または銀充填シリコーン(silve
r−filled silicone)のような導電性
従順(compliant)材料であり、好ましくは良
好なコンプライアンスのためにエマーソン・アンド・カ
ミングズC990(Emerson&Cumings
C990)銀エポキシである。
【0045】図5〜図8に示された実施例における構造
の多くは図2〜図4におけるパッケージと同様である。
したがって、第1の実施例における部品または項目番号
(項目100以下を参照)は図5〜図8における第2の
実施例のもの(項目200以下を参照)と同じである。
【0046】図5〜図8におけるパッケージ200を製
作するための処理フローは多くの点で図2〜図4に示さ
れたパッケージ100を製作するものと同じである。よ
り詳細には、それは概略的に次のものを含む。 (1)図面に示されたように両面TCXOパッケージが
準備される。 (2)下部開口リセプタクル214の中央部分に銀エポ
キシが施される。 (3)チップ容量および水晶結晶板が適切に前記下部開
口リセプタクル214に配置される。 (4)銀エポキシが台座(platform)202の
中央部分204への巻きつけ(wrap aroun
d)接続を提供するため水晶の上部に施される。 (5)エポキシがパッケージを炉内に適切な時間の間置
くことによって硬化される。 (6)水晶結晶板が、該水晶結晶板を金属パッドをとお
して作動させながら、水晶の質量装荷によって周波数同
調される。 (7)水晶が金属カバーを用いて、該金属ふたを配置し
かつその周辺の回りにシーム溶接によって封止すること
によりハーメチックシールされる。 (8)次に、銀エポキシが上部開口リセプタクル212
内の選択された位置に施される。 (9)前記ICが該エポキシの近傍にかつ該エポキシの
上に適切に配置される。 (10)前記エポキシが次に硬化される。 (11)前記ICが次に適切に前記中央部分204にお
ける適切な電気的接続部にワイヤボンドされる。 (12)グロブトップエポキシが実質的に前記ICの上
に施される。 (13)前記エポキシが硬化されかつユニットが試験さ
れる。
【0047】本発明が特定の実施例を参照して説明され
たが、当業者は数多くの変更および修正をこの発明の新
規な精神および範囲から離れることなく行ない得るもの
である。
【0048】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、大きな
占有スペースを必要とすることなく、圧電素子を他の部
品から分離して収容でき、かつ部品の相互汚染の可能性
を最小にすることができる周波数制御装置のためのパッ
ケージまたはハウジングが提供できる。また、本発明に
よれば、周波数同調およびハーメチックシールの作業を
容易に行なうことができ、大量生産可能な周波数制御装
置のためのパッケージが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術の温度補償水晶発振器(TCXO)の
斜視図である。
【図2】本発明に係わる両面温度補償水晶発振器パッケ
ージの拡大された断面図である。
【図3】本発明に係わる、図2の両面発振器パッケージ
の拡大上面図である。
【図4】本発明に係わる、図2の両面発振器パッケージ
の拡大底面図である。
【図5】本発明に係わる、別の両面温度補償水晶発振器
パッケージを図8の5−5線に沿って示す拡大断面図で
ある。
【図6】本発明に係わる、図5に示された両面発振器パ
ッケージのカバー上のポケットを示す上部斜視図であ
る。
【図7】本発明に係わる、図5の両面発振器パッケージ
の集積回路(IC)の位置前の拡大上面図である。
【図8】本発明に係わる、チップ容量および圧電素子を
有する両面発振器パッケージの拡大底面図である。
【符号の説明】
100両面温度補償水晶発振器(TCXO)パッケージ
102台座 104中央部分 106外側部分 10
8上部側壁 110下部側壁 112上部開口リセプタ
クル 114下部開口リセプタクル 116カバー 1
18気密環境 120内部リード 122上端部 124コンタクト
126温度補償集積回路 128,130チップ容量 132有機アンダーフィル
134圧電素子 136下端部 138外周部 14
0,142カップリング 144,146リード 14
8胸壁 150外側部分 152,154アクセス可能
な導電性経路

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 部品を両面実装可能な発振器パッケージ
    に結合する方法であって、 (a)下部開口リセプタクルを有するパッケージを提供
    する段階、 (b)前記下部開口リセプタクルに圧電素子を実装しか
    つ気密封止する段階、そして (c)電子部品を前記パッケージに結合する段階、を具
    備することを特徴とする部品を両面実装可能な発振器パ
    ッケージに結合する方法。
  2. 【請求項2】 部品を両面実装可能な発振器パッケージ
    に結合する方法であって、 (a)上部開口リセプタクルおよび下部開口リセプタク
    ルを有するセラミックパッケージを提供する段階、 (b)前記下部開口リセプタクルに圧電素子を実装する
    段階、 (c)前記圧電素子を周波数同調する段階、 (d)前記圧電素子を前記下部開口リセプタクル内に気
    密封止する段階、そして (e)電子部品を前記上部開口リセプタクルに結合する
    段階、を具備することを特徴とする部品を両面実装可能
    な発振器パッケージに結合する方法。
JP2001276579A 1995-01-24 2001-09-12 両面実装可能な発振器パッケージに部品を結合する方法 Expired - Lifetime JP3923762B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/378,135 US5500628A (en) 1995-01-24 1995-01-24 Double-sided oscillator package and method of coupling components thereto
US08/378,135 1995-01-24

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18642195A Division JP3372716B2 (ja) 1995-01-24 1995-06-29 両面実装可能な発振器パッケージ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002164740A true JP2002164740A (ja) 2002-06-07
JP3923762B2 JP3923762B2 (ja) 2007-06-06

Family

ID=23491873

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18642195A Expired - Lifetime JP3372716B2 (ja) 1995-01-24 1995-06-29 両面実装可能な発振器パッケージ
JP2001276579A Expired - Lifetime JP3923762B2 (ja) 1995-01-24 2001-09-12 両面実装可能な発振器パッケージに部品を結合する方法

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18642195A Expired - Lifetime JP3372716B2 (ja) 1995-01-24 1995-06-29 両面実装可能な発振器パッケージ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5500628A (ja)
EP (1) EP0724334B2 (ja)
JP (2) JP3372716B2 (ja)
AT (1) ATE178441T1 (ja)
DE (1) DE69508731T3 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009016957A (ja) * 2007-06-29 2009-01-22 Kyocera Kinseki Corp 圧電発振器

Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5847930A (en) * 1995-10-13 1998-12-08 Hei, Inc. Edge terminals for electronic circuit modules
WO1998031104A1 (fr) * 1997-01-09 1998-07-16 Seiko Epson Corporation Oscillateur a boucle a verrouillage de phase et son procede de fabrication
US5994970A (en) 1998-03-23 1999-11-30 Dallas Semiconductor Corporation Temperature compensated crystal oscillator
US6160458A (en) * 1998-03-23 2000-12-12 Dallas Semiconductor Corporation Temperature compensated crystal oscillator
US5917272A (en) * 1998-06-11 1999-06-29 Vectron, Inc. Oven-heated crystal resonator and oscillator assembly
US6229404B1 (en) 1998-08-31 2001-05-08 Kyocera Corporation Crystal oscillator
US6229249B1 (en) 1998-08-31 2001-05-08 Kyocera Corporation Surface-mount type crystal oscillator
US6133674A (en) * 1998-10-27 2000-10-17 Cts Low profile integrated oscillator having a stepped cavity
WO2000033455A1 (fr) * 1998-12-02 2000-06-08 Seiko Epson Corporation Dispositif piezo-electrique et son procédé de fabrication
US6667664B2 (en) * 2000-01-31 2003-12-23 Kinseki Limited Container for oscillation circuit using piezoelectric vibrator, manufacturing method therefor, and oscillator
JP4138211B2 (ja) * 2000-07-06 2008-08-27 株式会社村田製作所 電子部品およびその製造方法、集合電子部品、電子部品の実装構造、ならびに電子装置
US6703768B2 (en) * 2000-09-27 2004-03-09 Citizen Watch Co., Ltd. Piezoelectric generator and mounting structure therefor
US6608531B2 (en) 2000-10-31 2003-08-19 Cts Corporation Temperature compensated crystal oscillator package
US6580332B2 (en) 2000-11-30 2003-06-17 Cts Corporation Dual-function connection pads for TCXO integrated circuit
US6456168B1 (en) 2000-12-29 2002-09-24 Cts Corporation Temperature compensated crystal oscillator assembled on crystal base
US6946919B2 (en) 2002-01-14 2005-09-20 Cts Corporation Controllable crystal oscillator component
US6627987B1 (en) * 2001-06-13 2003-09-30 Amkor Technology, Inc. Ceramic semiconductor package and method for fabricating the package
US6759913B2 (en) 2001-06-29 2004-07-06 Cts Corporation Crystal resonator based oscillator formed by attaching two separate housings
US6847115B2 (en) * 2001-09-06 2005-01-25 Silicon Bandwidth Inc. Packaged semiconductor device for radio frequency shielding
JP2003110396A (ja) * 2001-09-27 2003-04-11 Hokuriku Electric Ind Co Ltd 振動素子ユニット
US6664864B2 (en) 2001-10-31 2003-12-16 Cts Corporation Cavity design printed circuit board for a temperature compensated crystal oscillator and a temperature compensated crystal oscillator employing the same
KR20030042314A (ko) * 2001-11-22 2003-05-28 삼성전기주식회사 온도 보상 수정 발진기 및 그 제조방법
US6653906B1 (en) 2002-06-24 2003-11-25 Cts Corporation Controllable SAW oscillator component
US6700448B1 (en) * 2002-08-30 2004-03-02 Cts Corporation High performance dual range oscillator module
US20040070462A1 (en) * 2002-10-10 2004-04-15 Iyad Alhayek Oscillator package
JP4046641B2 (ja) * 2003-03-10 2008-02-13 富士通メディアデバイス株式会社 電子デバイスのパッケージ、ベース基板、電子部品及びそれの製造方法
JP4271527B2 (ja) * 2003-07-24 2009-06-03 日本電波工業株式会社 表面実装型の水晶発振器
WO2005020288A2 (en) * 2003-08-19 2005-03-03 Vectron International Multiple cavity/compartment package
JP2005124122A (ja) * 2003-09-25 2005-05-12 Kyocera Corp 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置
US6998587B2 (en) * 2003-12-18 2006-02-14 Intel Corporation Apparatus and method for heating micro-components mounted on a substrate
TWI232566B (en) * 2004-02-06 2005-05-11 Txc Corp Packaging structure of oscillator and its device mounting method
JP2006165759A (ja) * 2004-12-03 2006-06-22 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 温度補償水晶発振器及びその製造方法
JP2006245098A (ja) * 2005-03-01 2006-09-14 Seiko Epson Corp 電子部品及びその製造方法、並びに電子機器
US7518880B1 (en) * 2006-02-08 2009-04-14 Bi-Link Shielding arrangement for electronic device
US20100257732A1 (en) * 2009-04-14 2010-10-14 Ziberna Frank J Shielding Arrangement for Electronic Device
TWI548204B (zh) * 2010-03-29 2016-09-01 Kyocera Kinseki Corp Piezoelectric vibrator
JP5747574B2 (ja) 2011-03-11 2015-07-15 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス及び電子機器
TWI418067B (zh) * 2011-07-15 2013-12-01 Txc Corp A crystal oscillator with a layout structure for miniaturized dimensions
JP6017901B2 (ja) 2012-09-14 2016-11-02 ラピスセミコンダクタ株式会社 半導体装置および計測装置
US9825597B2 (en) 2015-12-30 2017-11-21 Skyworks Solutions, Inc. Impedance transformation circuit for amplifier
US10062670B2 (en) 2016-04-18 2018-08-28 Skyworks Solutions, Inc. Radio frequency system-in-package with stacked clocking crystal
US10362678B2 (en) 2016-04-18 2019-07-23 Skyworks Solutions, Inc. Crystal packaging with conductive pillars
US10297576B2 (en) 2016-04-18 2019-05-21 Skyworks Solutions, Inc. Reduced form factor radio frequency system-in-package
CN106449527A (zh) * 2016-08-23 2017-02-22 太仓市威士达电子有限公司 一种用于集成电路封装的金属外壳
TW202329611A (zh) 2016-12-29 2023-07-16 美商天工方案公司 前端系統及相關裝置、積體電路、模組及方法
US10515924B2 (en) 2017-03-10 2019-12-24 Skyworks Solutions, Inc. Radio frequency modules
DE102018100946A1 (de) * 2018-01-17 2019-07-18 Osram Opto Semiconductors Gmbh Bauteil und verfahren zur herstellung eines bauteils
JP7371344B2 (ja) * 2019-04-01 2023-10-31 セイコーエプソン株式会社 集積回路装置、発振器、電子機器及び移動体

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5435870U (ja) * 1977-08-15 1979-03-08
JPS6019229U (ja) * 1983-07-15 1985-02-09 キンセキ株式会社 圧電発振器
JPS6150414A (ja) * 1984-08-20 1986-03-12 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 複合圧電ユニツト
JPH06275739A (ja) * 1993-03-23 1994-09-30 Sony Corp セラミック製アダプター及びセラミックパッケージ

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5387192A (en) 1977-01-11 1978-08-01 Sharp Corp Production of crystal vibrator
JPS5643814A (en) 1979-09-17 1981-04-22 Nec Corp Container for piezoelectric oscillator
JPS5745955A (en) * 1980-09-02 1982-03-16 Seikosha Co Ltd Sealing container
JPS5991719A (ja) 1982-11-17 1984-05-26 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電振動子
DE3382208D1 (de) * 1982-12-15 1991-04-18 Nec Corp Monolithisches vielschichtkeramiksubstrat mit mindestens einer dielektrischen schicht aus einem material mit perovskit-struktur.
JPS6051009A (ja) * 1983-08-30 1985-03-22 Nec Corp マイクロ波発振器
US4627533A (en) * 1984-10-29 1986-12-09 Hughes Aircraft Company Ceramic package for compensated crystal oscillator
DE3539504A1 (de) * 1985-11-07 1987-05-21 Schott Glaswerke Flachgehaeuse zur hermetischen kapselung von piezoelektrischen bauelementen
US5265316A (en) * 1987-02-27 1993-11-30 Seiko Epson Corporation Method of manufacturing a pressure seal type piezoelectric oscillator
FR2633465B1 (fr) * 1988-06-24 1993-09-10 Cepe Oscillateur ultrastable fonctionnant a pression atmospherique et sous vide
JPH0358606A (ja) * 1989-07-27 1991-03-13 Murata Mfg Co Ltd 圧電発振子
JPH0372707A (ja) * 1989-08-11 1991-03-27 Toyo Commun Equip Co Ltd 圧電複合部品
JP2969526B2 (ja) * 1990-03-22 1999-11-02 日本電波工業株式会社 表面実装用小型水晶発振器
JPH04167805A (ja) * 1990-10-31 1992-06-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 高安定高周波発振器
JP2626928B2 (ja) 1990-11-28 1997-07-02 キンセキ株式会社 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法
WO1992019043A1 (en) 1991-04-22 1992-10-29 Motorola, Inc. Surface mountable piezoelectric device with in situ finish plate mask
JPH06140871A (ja) 1992-10-26 1994-05-20 Toyo Commun Equip Co Ltd 積層型多段縦続接続多重モ−ド圧電フィルタ
JP3246785B2 (ja) 1993-01-29 2002-01-15 シチズン時計株式会社 水晶発振器
US5405476A (en) * 1993-11-24 1995-04-11 Motorola, Inc. Method of mounting a piezoelectric element to a substrate using compliant conductive materials

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5435870U (ja) * 1977-08-15 1979-03-08
JPS6019229U (ja) * 1983-07-15 1985-02-09 キンセキ株式会社 圧電発振器
JPS6150414A (ja) * 1984-08-20 1986-03-12 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 複合圧電ユニツト
JPH06275739A (ja) * 1993-03-23 1994-09-30 Sony Corp セラミック製アダプター及びセラミックパッケージ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009016957A (ja) * 2007-06-29 2009-01-22 Kyocera Kinseki Corp 圧電発振器

Also Published As

Publication number Publication date
JP3372716B2 (ja) 2003-02-04
DE69508731T2 (de) 1999-10-07
EP0724334B1 (en) 1999-03-31
EP0724334B2 (en) 2004-01-02
DE69508731T3 (de) 2004-08-19
ATE178441T1 (de) 1999-04-15
JPH08204452A (ja) 1996-08-09
DE69508731D1 (de) 1999-05-06
JP3923762B2 (ja) 2007-06-06
US5500628A (en) 1996-03-19
EP0724334A1 (en) 1996-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3923762B2 (ja) 両面実装可能な発振器パッケージに部品を結合する方法
US5438219A (en) Double-sided oscillator package and method of coupling components thereto
US6456168B1 (en) Temperature compensated crystal oscillator assembled on crystal base
US7132737B2 (en) Package for electronic component and method of manufacturing piezoelectric device
US6667664B2 (en) Container for oscillation circuit using piezoelectric vibrator, manufacturing method therefor, and oscillator
EP1257055B1 (en) Piezoelectric device
JP4545004B2 (ja) 圧電発振器
US7872537B2 (en) Surface-mount crystal oscillator
JP2006279872A (ja) 圧電振動子及びその製造方法並びにその圧電振動子を用いた圧電発振器の製造方法
US6759913B2 (en) Crystal resonator based oscillator formed by attaching two separate housings
US7990027B2 (en) Piezoelectric device and method for manufacturing piezoelectric device
JP3720355B2 (ja) 周波数制御デバイスの製造方法
JP2000114877A (ja) 圧電発振器
JP2003017941A (ja) 圧電発振器
JP2000124738A (ja) 圧電発振器および圧電振動デバイス
JP4578231B2 (ja) 圧電発振器及びその製造方法
JP4472445B2 (ja) 圧電発振器の製造方法
JP7306096B2 (ja) 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法
JPH0878955A (ja) 表面実装型圧電発振器およびその製造方法
JP2000315918A (ja) 水晶発振器
JP3428011B2 (ja) 圧電振動デバイス
JP2021078039A (ja) 発振装置
CN117595824A (zh) 一种温度补偿晶体振荡器及其制造方法、电子设备
WO2004064245A1 (ja) 表面実装型圧電発振器、及び圧電振動子
US20020089264A1 (en) Hermetically sealed dual-band surface acoustic wave circuit module

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040406

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20040625

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20040705

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041004

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20051025

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20060112

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20060120

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060424

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070206

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070222

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100302

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110302

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120302

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130302

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130302

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140302

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term