JP2002121510A - エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法 - Google Patents

エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 被着体の輸送等の搬送工程に耐え得る粘着性
を有すると共に、切断工程時には粘着剤の巻き上げやチ
ッピングが起こらず、切断後の切断片の剥離回収を容易
に行うことができ、しかも剥離後の被着体に対して低汚
染性を発現するエネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート
を得る。 【解決手段】 エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート
は、基材の少なくとも片側に、熱膨張性微小球を含有す
るエネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層と粘着層とがこ
の順に積層されている。前記粘着層の厚さは０．１〜１
０μｍ程度である。粘着層は感圧接着剤で構成できる。
エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層は粘着物質で構成
できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、エネルギー線照射
と加熱処理とにより被着体の切断片を容易に剥離回収で
きるエネルギー線硬化型熱剥離性粘着シートと、これを
利用した切断片の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウエハや積層コンデンサシ
ートなどの被切断体を所定寸法の切断片に切断する際、
該被切断体（被着体）に貼り合わせて、切断されたチッ
プ等の切断片を容易に剥離回収するための粘着シートと
して、プラスチックなどの高弾性フィルム又はシート基
材上に発泡剤を含む感圧粘着剤層を設けた熱剥離型粘着
シートが知られている（特公昭５０−１３８７８号公
報、特公昭５１−２４５３４号公報、特開昭５６−６１
４６８号公報、特開昭５６−６１４６９号公報、特開昭
６０−２５２６８１号公報など）。この熱剥離型粘着シ
ートは、被着体の切断加工に耐える粘着保持力と、形成
された切断片の容易な剥離回収との両立を図ったもので
ある。すなわち、この粘着シートは、被着体との貼り合
わせ時には高い粘着性を有する一方、切断片の回収時に
は、加熱により熱膨張性微小球を含有する発泡性感圧接
着剤層が発泡又は膨張して感圧接着剤層の表面が凹凸状
に変化し、被着体との粘着面積の減少により粘着力が低
下又は喪失するため、前記切断片を容易に剥離すること
ができるという特徴を有する。
【０００３】しかし、上記の熱剥離型粘着シートでは、
被着体を切断加工する際、粘着剤層が柔らかく、また熱
膨張性微小球を含むことから粘着剤層が厚いため、切断
刃によって粘着剤が巻き上げられたり、粘着剤層のぶれ
に伴ってチッピングが起こる問題がある。これらの問題
を解決するには、粘着剤層を薄くすることが有効である
が、上記熱剥離型粘着シートにおける粘着剤層の厚みを
熱膨張性微小球以下に薄層化すると、熱膨張性微小球が
粘着剤層の表面から突出して、粘着剤層表面の平滑性が
損なわれ、被着体を保持しておくのに十分な粘着力が発
現できなくなる。従って、粘着剤層を薄層化するには限
界があり、上記問題を解決できない場合がある。
【０００４】また、従来の熱剥離型粘着シートでは、粘
着層界面で熱膨張性微小球の変形に伴う微小な凝集破壊
が起こり、被着体への粘着剤の転写汚染が生じる場合が
あり、特に半導体用途のように低汚染性が要求される用
途での使用が不向きな場合がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、被着体貼り合わせ後或いは被着体の切断などの加工
工程後の輸送等の搬送工程に耐え得る粘着性を有すると
共に、切断工程時において粘着剤の巻き上げやチッピン
グを起こすことがなく、且つ切断後の切断片の剥離回収
を容易に行うことができ、さらに剥離後の被着体に対し
て低汚染性を発現するエネルギー線硬化型熱剥離性粘着
シート、及び該粘着シートを利用した切断片の製造方法
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記目的
を達成するため鋭意検討した結果、基材の少なくとも片
面に熱膨張性微小球を含有するエネルギー線硬化型熱膨
張性粘弾性層と粘着層とをこの順に積層すると、（ｉ）
エネルギー照射により該エネルギー線硬化型熱膨張性粘
弾性層を硬化させた後も粘着性を有するため、良好な被
着体保持性を有すること、（ii）粘着層は薄層化が可能
であり、しかもエネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層を
硬化させるので、被着体を切断する際に切断刃による粘
着剤の巻き上げやチッピング等の工程上の不具合を伴わ
ないこと、（iii）熱剥離性を有するため、切断片を損
傷させることなく容易に剥離回収できること、及び（i
v）熱膨張性微小球の発泡又は膨張に伴う界面への応力
集中を表面の粘着層が適度に緩和し、該応力集中に伴う
粘着剤の微細な凝集破壊を防止でき、被着体への汚染を
低減できることを見出した。本発明はこれらの知見に基
づいて完成されたものである。
【０００７】すなわち、本発明は、基材の少なくとも片
側に、熱膨張性微小球を含有するエネルギー線硬化型熱
膨張性粘弾性層と粘着層とがこの順に積層されているエ
ネルギー線硬化型熱剥離性粘着シートを提供する。
【０００８】本発明は、また、上記のエネルギー線硬化
型熱剥離性粘着シートの粘着層表面に被切断体を載置
し、エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層をエネルギー
線照射により硬化させた後、前記被切断体を切断して切
断片とし、次いで該エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性
層を加熱により発泡させて、前記切断片を剥離回収する
切断片の製造方法を提供する。
【０００９】本発明は、さらに、上記のエネルギー線硬
化型熱剥離性粘着シートにエネルギー線を照射してエネ
ルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層を硬化させた後、粘着
層表面に被切断体を載置し、前記被切断体を切断して切
断片とし、次いで該エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性
層を加熱により発泡させて、前記切断片を剥離回収する
切断片の製造方法を提供する。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を、必
要に応じて図面を参照しつつ、詳細に説明する。図１は
本発明のエネルギー線硬化型熱剥離性粘着シートの一例
を示す概略断面図である。この例では、基材１の一方の
面に、エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層２が設けら
れ、その上に粘着層３、さらにその上にセパレータ４が
積層されている。本発明に係わる粘着シートの形状はシ
ート状、テープ状等、慣用乃至公知の適宜の形態を採り
うる。
【００１１】基材１は熱膨張性粘弾性層２等の支持母体
となるもので、熱膨張性粘弾性層２の加熱処理により機
械的物性を損なわない程度の耐熱性を有するものが使用
される。このような基材１として、例えば、ポリエステ
ル、オレフィン系樹脂、ポリ塩化ビニルなどのプラスチ
ックフィルムやシートが挙げられるが、これらに限定さ
れるものではない。基材１は被着体の切断の際に用いる
カッターなどの切断手段に対して切断性を有しているの
が好ましい。また、基材１として軟質ポリオレフィンフ
ィルム若しくはシート等の耐熱性と伸縮性とを具備する
基材を使用すると、被切断体の切断工程の際、基材途中
まで切断刃が入れば、後に基材を伸張することができる
ので、切断片間に隙間を生じさせることが必要な切断片
回収方式に好適となる。なお、熱膨張性粘弾性層２を硬
化させる際にエネルギー線を用いるため、基材１（また
は粘着層３等）は所定量以上のエネルギー線を透過しう
る材料で構成される必要がある。基材１は単層であって
もよく多層体であってもよい。
【００１２】基材１の厚さは、被着体の貼り合わせ、被
着体の切断、切断片の剥離、回収などの各工程における
操作性や作業性を損なわない範囲で適宜選択できるが、
通常５００μｍ以下、好ましくは３〜３００μｍ程度、
さらに好ましくは５〜２５０μｍ程度である。基材１の
表面は、隣接する層との密着性、保持性などを高めるた
め、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴
露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の
化学的又は物理的処理、下塗り剤（例えば、後述する粘
着物質）によるコーティング処理等が施されていてもよ
い。
【００１３】エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層２
は、熱膨張性を付与するための熱膨張性微小球と、エネ
ルギー線硬化性を付与するためのエネルギー線硬化性化
合物（又はエネルギー線硬化性樹脂）とを含有するとと
もに、貼付性や貼付作業性を高めるため粘弾性を有して
いる。前記粘弾性はエネルギー線硬化後の加熱処理によ
る熱膨張性微小球の発泡若しくは膨張を阻害しない程度
であるのが好ましい。このような観点から、エネルギー
線硬化型熱膨張性粘弾性層２は、熱膨張性微小球とエネ
ルギー線硬化性化合物（又はエネルギー線硬化性樹脂）
とを粘弾性を有する母剤中に配合した組成物により構成
するのが好ましい。
【００１４】前記母剤としては、例えば、天然ゴムや合
成ゴムあるいはそれらを用いたゴム系粘着剤、シリコー
ンゴムあるいはその粘着剤、（メタ）アクリル酸アルキ
ルエステル［例えば、（メタ）アクリル酸のメチルエス
テル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピ
ルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、ヘ
キシルエステル、オクチルエステル、２−エチルヘキシ
ルエステル、イソオクチルエステル、イソデシルエステ
ル、ドデシルエステルなどのＣ1-20アルキルエステルな
ど］の単独又は共重合体や該（メタ）アクリル酸アルキ
ルエステルと他のモノマー［例えば、アクリル酸、メタ
クリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、無水マ
レイン酸などのカルボキシル基若しくは酸無水物基含有
モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチルな
どのヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸
などのスルホン酸基含有モノマー；２−ヒドロキシエチ
ルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマ
ー；（メタ）アクリルアミドなどのアミド基含有モノマ
ー；（メタ）アクリル酸アミノエチルなどのアミノ基含
有モノマー；（メタ）アクリル酸メトキシエチルなどの
アルコキシ基含有モノマー；Ｎ−シクロヘキシルマレイ
ミドなどのイミド基含有モノマー；酢酸ビニルなどのビ
ニルエステル類；Ｎ−ビニルピロリドンなどのビニル基
含有複素環化合物；スチレン、α−メチルスチレンなど
のスチレン系モノマー；アクリロニトリルなどのシアノ
基含有モノマー；（メタ）アクリル酸グリシジルなどの
エポキシ基含有アクリル系モノマー；ビニルエーテルな
どのビニルエーテル系モノマー等］との共重合体からな
るアクリル系樹脂あるいはその粘着剤、ポリウレタン系
樹脂やその粘着剤、エチレン−酢酸ビニル共重合体な
ど、適宜な粘弾性を有するものを用いうる。なお、該母
剤として、後述の粘着層３を構成する粘着剤と同一又は
同種の成分を用いることにより、エネルギー線硬化型熱
膨張性粘弾性層２と粘着層３とを密着性よく積層でき
る。好ましい母剤にはアクリル系粘着剤などの粘着物質
が含まれる。母剤は１種の成分で構成してもよく、２種
以上の成分で構成してもよい。
【００１５】エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層２を
エネルギー線硬化させるためのエネルギー線硬化性化合
物としては、可視光線、紫外線、電子線などのエネルギ
ー線により硬化可能なものであれば特に限定されない
が、エネルギー線照射後のエネルギー線硬化型熱膨張性
粘弾性層２の３次元網状化が効率よくなされるものが好
ましい。エネルギー線硬化性化合物は１種を単独で又は
２種以上を組み合わせて使用できる。
【００１６】エネルギー線硬化性化合物の具体的な例と
して、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペン
タエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリト
ールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノ
ヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトー
ルヘキサアクリレート、１，４−ブチレングリコールジ
アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレー
ト、ポリエチレングリコールジアクリレート等が挙げら
れる。
【００１７】エネルギー線硬化性化合物としてエネルギ
ー線硬化性樹脂を用いてもよい。エネルギー線硬化性樹
脂として、例えば、分子末端に（メタ）アクリロイル基
を有するエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メ
タ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、メ
ラミン（メタ）アクリレート、アクリル樹脂（メタ）ア
クリレート、分子末端にアリル基を有するチオール−エ
ン付加型樹脂や光カチオン重合型樹脂、ポリビニルシン
ナマート等のシンナモイル基含有ポリマー、ジアゾ化し
たアミノノボラック樹脂やアクリルアミド型ポリマーな
ど、感光性反応基含有ポリマーあるいはオリゴマーなど
が挙げられる。さらに高エネルギー線で反応するポリマ
ーとしては、エポキシ化ポリブタジエン、不飽和ポリエ
ステル、ポリグリシジルメタクリレート、ポリアクリル
アミド、ポリビニルシロキサンなどが挙げられる。な
お、エネルギー線硬化性樹脂を使用する場合には、前記
母剤は必ずしも必要でない。
【００１８】エネルギー線硬化性化合物の配合量は、エ
ネルギー線を照射して熱膨張性粘弾性層２を硬化した後
の熱膨張性微小球の膨張若しくは発泡を阻害しない範囲
で決定される。その配合量はエネルギー線硬化性化合物
の種類、熱膨張性微小球の膨張圧力、切断作業性等によ
り適宜に決定されるが、一般的な配合量は、熱膨張性粘
弾性層２中の母剤１００重量部に対して、１〜１００重
量部程度、特に５〜６０重量部程度の範囲である。ま
た、熱膨張性粘弾性層２のエネルギー線照射後における
動的弾性率が、熱膨張性微小球の膨張開始温度におい
て、せん断貯蔵弾性率（周波数：１Ｈｚ、サンプル：厚
さ１．５ｍｍフィルム状）１×１０5〜５×１０7Ｐａで
あると、優れた切断作業性と加熱剥離性との両立が可能
となる。この貯蔵弾性率は、エネルギー線硬化性化合物
の種類や配合量、エネルギー線照射条件などを適宜選択
することにより調整できる。
【００１９】熱膨張性粘弾性層２には、上記成分のほ
か、エネルギー線硬化性化合物を硬化させるためのエネ
ルギー線重合開始剤、及びエネルギー線硬化前後に適切
な粘弾性を得るために、架橋剤、粘着付与剤、加硫剤等
の適宜な添加剤が必要に応じて配合される。
【００２０】エネルギー線重合開始剤としては、用いる
エネルギー線の種類に応じて公知乃至慣用の重合開始剤
を適宜選択できる。エネルギー線重合開始剤は単独であ
るいは２種以上を混合して使用できる。エネルギー線重
合開始剤の配合量としては、通常、上記母剤１００重量
部に対して０．１〜１０重量部程度、好ましくは１〜５
重量部程度である。なお、必要に応じて前記エネルギー
線重合開始剤とともにエネルギー線重合促進剤を併用し
てもよい。
【００２１】熱膨張性微小球としては、例えば、イソブ
タン、プロパン、ペンタンなどの加熱により容易にガス
化して膨張する物質を、弾性を有する殻内に内包させた
微小球であればよい。前記殻は、通常、熱可塑性物質、
熱溶融性物質、熱膨張により破裂する物質などで形成さ
れる。前記殻を形成する物質として、例えば、塩化ビニ
リデン−アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコ
ール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレー
ト、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ
スルホンなどが挙げられる。熱膨張性微小球は慣用の方
法、例えば、コアセルベーション法、界面重合法などに
より製造できる。熱膨張性微小球として、例えば、マツ
モトマイクロスフェア［商品名、松本油脂製薬（株）
製］などの市販品を利用することもできる。
【００２２】熱膨張性微小球の平均粒径は、分散性や薄
層形成性などの点から、一般に１〜８０μｍ程度、好ま
しくは１〜５０μｍ程度である。また、熱膨張性微小球
としては、加熱処理により表面の粘着層３を凹凸状に変
形させるため、体積膨張率が５倍以上、特に１０倍以上
となるまで破裂しない適度な強度を有するものが好まし
い。なお、低い膨張率で破裂する熱膨張性微小球を用い
た場合や、マイクロカプセル化されていない熱膨張剤を
用いた場合には、粘着層３と被着体との粘着面積が十分
には低減されず、良好な剥離性が得られにくい。
【００２３】熱膨張性微小球の使用量は、その種類によ
っても異なるが、エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層
２を形成する母剤１００重量部に対して、一般に５〜２
００重量部、好ましくは１０〜１５０重量部、さらに好
ましくは１５〜１００重量部程度である。５重量部未満
であると、加熱処理後の効果的な粘着力低下が不十分に
なりやすく、また、２００重量部を超えると、エネルギ
ー線硬化型熱膨張性粘弾性層２の凝集破壊や、基材１あ
るいは粘着層３との界面破壊が生じやすい。
【００２４】エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層２
は、例えば、エネルギー線硬化性樹脂、あるいは母剤、
エネルギー線重合性化合物、及びエネルギー線重合開始
剤に、熱膨張性微小球を配合し、さらに必要に応じて添
加剤、溶媒等を含むコーティング液を基材１上に塗布す
る方式、適当なセパレータ（剥離紙など）上に前記コー
ティング液を塗布してエネルギー線硬化型熱膨張性粘弾
性層２を形成し、これを基材１上に転写（移着）する方
法など、慣用の方法により形成できる。
【００２５】エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層２の
厚さは、該熱膨張性粘弾性層２に含まれる熱膨張性微小
球の粒子径の緩和による表面平滑性の発現、被着体を切
断する際の回転刃による振動防止等の観点から、５〜３
００μｍ程度、好ましくは１０〜１５０μｍ程度、さら
に好ましくは１５〜１００μｍ程度である。
【００２６】粘着層３は、熱膨張性微小球の発泡もしく
は膨張に伴う被着体界面への応力集中を緩和する機能を
有しており、被着体を保持するため、粘着性を付与する
ための粘着物質を含んでいる。前記粘着性物質としては
従来公知の感圧接着剤等を使用することができる。感圧
接着剤として、例えば、天然ゴムや各種の合成ゴム等の
ゴム系感圧接着剤；シリコーン系感圧接着剤；（メタ）
アクリル酸アルキルエステルとこのエステルに対して共
重合可能な他の不飽和単量体との共重合体等のアクリル
系感圧接着剤等が例示される。
【００２７】また、粘着層３を構成する粘着剤としてエ
ネルギー線硬化性粘着剤を使用することもできる。エネ
ルギー線硬化性粘着剤としては、前記エネルギー線硬化
型熱膨張性粘弾性層において、粘着性を有する母剤中に
エネルギー線硬化性化合物（又はエネルギー線硬化性樹
脂）を配合したものを用いることができる。あるいは、
粘着性ポリマーに炭素−炭素二重結合などエネルギー線
反応性官能基を有する化合物を付加反応させたエネルギ
ー線反応性粘着ポリマーを用いることも可能である。
【００２８】粘着層３には、粘着剤の他に、架橋剤（例
えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤な
ど）、粘着付与剤（例えば、ロジン誘導体樹脂、ポリテ
ルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール樹脂など）、
可塑剤、充填剤、老化防止剤、界面活性剤などの適宜な
添加剤を配合してもよい。
【００２９】粘着層３の形成には、例えば液状の粘着剤
をエネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層２の上に塗布す
る方法や、セパレータ４上に形成した粘着層３を熱膨張
性粘弾性層２の上に移着する方法などの適宜な方式にて
行うことができる。
【００３０】粘着層３の厚さは、粘着シートの使用目的
や加熱による粘着力の低減性などに応じて適宜に決定し
うる。一般には、粘着層３の厚さが薄すぎると粘着力不
足や加熱による熱膨張性粘弾性層２の凹凸変形時に凝集
破壊が生じやすくなり、厚すぎると加熱による熱膨張性
粘弾性層２の凹凸変形に追従し難くなるため、その加熱
変形時の凝集破壊の防止性、被着体切断時の粘着剤の巻
き上げやブレ防止、ひいては被着体に対する粘着力の低
減ないし喪失性などの点より、１０μｍ以下（例えば
０．１〜１０μｍ程度）、就中０．１〜８μｍ、特に１
〜５μｍの粘着層厚とされる。
【００３１】セパレータ４としては、例えば、シリコー
ン系樹脂、長鎖アルキルアクリレート系樹脂、フッ素系
樹脂などで代表される剥離剤により表面コートしたプラ
スチックフィルムや紙等からなる基材、あるいはポリエ
チレンやポリプロピレンなどの無極性ポリマーからなる
粘着性の小さい基材などを使用できる。
【００３２】セパレータ４は、上記のように、エネルギ
ー線硬化型熱膨張性粘弾性層２上に粘着層３を転写（移
着）する際の仮支持体として、また、実用に供するまで
粘着層３を保護する保護材として用いられる。
【００３３】なお、エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性
層２およびその上に設けられる粘着層３は基材１の片面
のみならず、両面に形成することもできる。また、基材
１の一方の面にエネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層２
および粘着層３を順次設け、他方の面に通常の粘着層を
設けることもできる。
【００３４】図２は本発明のエネルギー線硬化型熱剥離
性粘着シートの他の例を示す概略断面図である。この例
では、基材１の一方の面に、エネルギー線硬化型熱膨張
性粘弾性層２、粘着層３及びセパレータ４がこの順に積
層されているとともに、基材１の他方の面に粘着層５及
びセパレータ６が積層されている。この粘着シートは、
基材１のエネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層２および
その上に粘着層３が形成されている面とは反対側の面
に、粘着層５とセパレータ６が設けられている点での
み、図１の粘着シートと相違する。
【００３５】粘着層５は粘着性物質を含んでいる。この
粘着性物質としては、前記粘着層３における粘着性物質
（粘着剤）と同様のものを使用でき、必要に応じて、架
橋剤（例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架
橋剤など）、粘着付与剤（例えば、ロジン誘導体樹脂、
ポリテルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール樹脂な
ど）、可塑剤、充填剤、老化防止剤、界面活性剤などの
適宜な添加剤を配合してもよい。ただし、エネルギー線
硬化型熱膨張性粘弾性層２を硬化させるエネルギー線の
透過を著しく阻害する物質を使用もしくは添加すること
は好ましくない。
【００３６】粘着層５の厚さは、粘着層３の被着体への
圧着、被着体の切断及び切断片の剥離、回収などにおけ
る操作性等を損なわない範囲で適宜設定できるが、一般
に１〜５０μｍ、好ましくは３〜３０μｍ程度である。
【００３７】粘着層５の形成は、粘着層３に準じた方法
により行うことができる。セパレータ６としては、前記
粘着層３上のセパレータ４と同様のものを使用できる。
このような粘着シートは粘着層５を利用することによ
り、台座面に固定して使用することができる。
【００３８】図３は本発明の切断片の製造方法の一例を
示す概略工程図である。より詳細には、図３は、図１の
エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート（セパレータ４
を剥がした状態のもの）の粘着層３の表面に被切断体
（被着体）７を圧着して貼り合わせ、エネルギー線８の
照射によりエネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層２を硬
化させた後、切断線９に沿って所定寸法に切断して切断
片とし、次いで加熱処理により熱膨張性粘弾性層２中の
熱膨張性微小球を膨張および発泡させて、前記切断片７
ａを剥離回収する一連の工程を断面図で示した工程図で
ある。なお、エネルギー線８の照射によりエネルギー線
硬化型熱膨張性粘弾性層２を硬化させた後に、粘着層３
表面に被切断体（被着体）７を圧着して貼り合わせ、切
断線９に沿って切断してもよい。
【００３９】図３において、１は基材、２ａはエネルギ
ー線照射後の硬化したエネルギー線硬化型熱膨張性粘弾
性層、２ｂはエネルギー線照射後さらに加熱により熱膨
張性微小球を膨張させた後の熱膨張性粘弾性層を示す。
【００４０】エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シートの
粘着層３と被着体７との圧着は、例えば、ゴムローラ、
ラミネートロール、プレス装置などの適宜な押圧手段で
圧着処理する方式などにより行うことができる。なお、
圧着処理の際、必要ならば、粘着性物質のタイプに応じ
て、熱膨張性微小球が膨張しない温度範囲で加熱した
り、水や有機溶剤を塗布して粘着性物質を賦括させたり
することもできる。
【００４１】エネルギー線８としては可視光線や紫外
線、電子線などを使用できる。エネルギー線８の照射は
適宜な方法で行うことができる。ただし、エネルギー線
８の照射熱により熱膨張性微小球が膨張を開始すること
があるため、できるだけ短時間の照射にとどめるか、あ
るいは放射線硬化型熱剥離性粘着シートを風冷するなど
して熱膨張性微小球が膨張を開始しない温度に保つこと
が望ましい。
【００４２】被着体７の切断はダイシング等の慣用の切
断手段により行うことができる。加熱条件は、被着体７
（又は切断片７ａ）の表面状態や耐熱性、熱膨張性微小
球の種類、粘着シートの耐熱性、被着体（被切断体）の
熱容量などにより適宜設定できるが、一般的な条件は、
温度３５０℃以下、処理時間３０分以下であり、特に温
度８０〜２００℃、処理時間１秒〜１５分程度が好まし
い。また、加熱方式としては、熱風加熱方式、熱板接触
方式、赤外線加熱方式などが挙げられるが、特に限定さ
れない。
【００４３】また、粘着シートの基材１に伸縮性を有す
るものを使用した場合、伸張処理は例えば、シート類を
二次元的に伸張させる際に用いる慣用の伸張手段を使用
することにより行うことができる。
【００４４】本発明のエネルギー線硬化型熱剥離性粘着
シートは、粘着性物質（粘着剤）を含む粘着層３を有す
るので、被着体７を強固に粘着保持でき、例えば搬送時
の振動等により被着体７が剥がれない。また、粘着層３
は薄く形成可能であり、且つ切断工程の前にエネルギー
線を照射することによりエネルギー線硬化型熱膨張性粘
弾性層２を硬化させるため、切断工程時において切断刃
による粘着層の巻き上げや粘着層等のぶれに伴うチッピ
ング等を従来の熱膨張性粘着シートに比べて大幅に低減
しつつ所定の寸法に切断できる。さらに、エネルギー線
硬化型熱膨張性粘弾性層２は熱膨張性微小球を含み、熱
膨張性を有するので、切断工程後の加熱処理により、熱
膨張性微小球が速やかに発泡又は膨張し、前記熱膨張性
粘弾性層２が体積変化して凹凸状の三次元構造が形成さ
れる。そして、それに伴って粘着層３の表面も凹凸状に
変形し、切断された切断片７ａとの接着面積ひいては接
着強度が大幅に低下若しくは喪失する。かくして、上記
粘着層３の形成、エネルギー線照射によるエネルギー線
硬化型熱膨張性粘弾性層２の硬化、および加熱処理によ
る接着強度の著しい低下若しくは喪失により、被着体７
の切断工程、切断片７ａの剥離、回収工程における操作
性及び作業性が大幅に改善され、生産効率も大きく向上
できる。また、熱膨張性微小球を含む熱膨張性粘弾性層
２の外側に粘着層３が設けられているため、被着体との
接着界面において熱膨張性微小球の変形に伴う微細な凝
集破壊が起こらず、被着体の転写汚染を防止できる。
【００４５】本発明の放射線硬化型熱剥離性粘着シート
は、被着体を永久的に接着させる用途にも使用できる
が、被着体を所定期間接着すると共に、接着目的を達成
した後には、その接着状態を解除することが要求若しく
は望まれる用途に適している。このような用途の具体例
として、半導体ウエハやセラミック積層シートの固定材
のほか、各種の電気装置、電子装置、ディスプレイ装置
等の組立工程における部品搬送用、仮止め用等のキャリ
アテープ、仮止め材又は固定材、金属板、プラスチック
板、ガラス板等の汚染損傷防止を目的とした表面保護材
又はマスキング材などが挙げられる。特に、電子部品の
製造工程において、小さな若しくは薄層の半導体チップ
や積層コンデンサチップなどの製造工程等に好適に使用
できる。
【００４６】
【発明の効果】本発明によれば、被着体の輸送などの搬
送工程に耐え得る粘着性を有すると共に、切断工程時に
おける粘着剤の巻き上げやチッピングを抑制でき、且つ
切断後には、高度な精度で切断加工された切断片を容易
に剥離回収することができる。そのため、切断片の剥
離、回収工程における操作性及び作業性を著しく高める
ことができ、ひいては、小型の或いは薄層の半導体チッ
プや積層コンデンサチップなどの切断片の生産性を大き
く向上できる。また、被着体との接着界面での粘着剤の
微細な凝集破壊に起因する被着体の汚染を防止できる。
【００４７】
【実施例】以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細
に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定
されるものではない。 実施例１ エチルアクリレート８０重量部、２−エチルヘキシルア
クリレート２０重量部、アクリル酸３重量部からなるア
クリル系共重合体（重量平均分子量７０万）１００重量
部に対し、エポキシ系架橋剤０．５重量部、６官能紫外
線重合性化合物４０重量部、熱膨張性微小球（商品名
「マツモトマイクロスフェア Ｆ−５０Ｄ」、マツモト
油脂製薬（株）製）３５重量部、及び紫外線重合開始剤
２．５重量部を配合した混合液１を調製した。この混合
液を、厚さ５０μｍのポリエステルフィルム（基材）の
コロナ処理面に塗布し乾燥させ、厚さ４５μｍのアクリ
ル系紫外線硬化型熱膨張性粘弾性層を形成した。一方、
上記アクリル系共重合体（粘着剤）１００重量部に対
し、エポキシ系架橋剤１重量部からなる混合液２をシリ
コーン離型剤処理したポリエステルフィルム（セパレー
タ）の処理面に塗布し乾燥させ、厚さ５μｍの粘着層を
形成した。前記アクリル系紫外線硬化型熱膨張性粘弾性
層上に上記の粘着層をラミネーターにより圧着し、紫外
線硬化型熱剥離性粘着シートを得た。
【００４８】比較例１ 紫外線硬化型熱剥離性粘弾性層の厚さを５０μｍとし、
粘着層を設けなかった点以外は実施例１と同様の操作に
より紫外線硬化型熱剥離性粘着シートを得た。
【００４９】比較例２ 紫外線重合性化合物および紫外線重合開始剤を用いなか
った点以外は実施例１と同様の操作により熱剥離型粘着
シートを得た。
【００５０】比較例３ 熱膨張性微小球を用いなかった点以外は実施例１と同様
の操作により紫外線硬化型粘着シートを得た。
【００５１】実施例２ エチルアクリレート７０重量部、ブチルアクリレート３
０重量部、２−ヒドロキシエチルアクリレート８重量部
からなるアクリル系共重合体にメタクリロイルオキシエ
チルイソシアネートを２−ヒドロキシエチル基の０．６
当量（モル比）付加させたエネルギー線反応性ポリマー
（重量平均分子量６０万）１００重量部に対し、エネル
ギー線重合開始剤３重量部、熱膨張性微小球（商品名
「マツモトマイクロスフェア Ｆ−５０Ｄ」、マツモト
油脂製薬（株）製）３０重量部を配合した混合液３を調
製した。この混合液を用いた以外、実施例１と同様の操
作によりエネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層を形成し
た。一方、上記エネルギー線反応性ポリマー１００重量
部に対してエネルギー線重合開始剤３重量部を配合した
混合液４を用いた以外、実施例１と同様の操作により、
厚さ３μｍのエネルギー線硬化性粘着層を形成した。前
記エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層上に上記のエネ
ルギー線硬化性粘着層をラミネーターにより圧着し、エ
ネルギー線硬化型熱剥離性粘着シートを得た。
【００５２】評価実験 実施例及び比較例で得た各粘着シート（幅２０ｍｍ）の
粘着層面に厚さ２５μｍのポリエステルフィルム（商品
名「ルミラー Ｓ１０」、東レ（株）製）を圧着し、処
理前、紫外線照射後、及び紫外線照射後にさらに加熱処
理を施した後の１８０度ピール粘着力（Ｎ／２０ｍｍ、
剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、２３℃）を測定した。な
お、紫外線照射は、空冷式高圧水銀灯（４６ｍＪ／ｍｉ
ｎ）により粘着シート側から紫外線を１０秒間照射する
ことにより行い、加熱処理は１３０℃の熱風乾燥機中で
５分間行った。また、実施例及び比較例で得た各粘着シ
ートに厚さ５０μｍの半導体ウエハを貼り合わせ、紫外
線照射後、ダイサー（ＤＦＤ６５１、ＤＩＳＣＯ社製）
でダイシングを行い、粘着剤巻き上げの有無を目視によ
り確認した。そして、さらに加熱処理を施した後、チッ
プを任意に２０個ピックアップし、このときのチップの
クラックの有無を観察するとともに、切断後のチップ側
面のチッピングの有無を光学顕微鏡により確認した。な
お、紫外線照射及び加熱処理の条件は前記と同様であ
る。また、実施例および比較例で得られた各粘着シート
を鏡面処理した４インチシリコンウエハに圧着して１時
間放置後、前記紫外線照射および加熱処理により剥離し
た場合におけるウエハ上のパーティクル数をレーザー表
面検査装置により測定し、０．３μｍ以上のパーティク
ル数をカウントした。
【００５３】評価結果を表１に示した。なお、実施例及
び比較例の何れの場合も、加熱剥離の際、目視において
剥離したポリエステルフィルム及びチップに糊残りは認
められなかった。
【表１】
【００５４】表１より明らかなように、実施例の粘着シ
ートでは、エネルギー線照射による硬化に伴い、粘着層
の粘着力が適度に低下し、切断時の粘着剤の巻き上げを
防止できる。また、さらに加熱処理を施すことにより粘
着力が消失し、ピックアップ時におけるチップのクラッ
クを防止でき、被着体への汚染も低減できる。これに対
して、比較例１の粘着シートはパーティクル汚染性が、
比較例２の粘着シートはパーティクル汚染性及び耐チッ
ピング性が、比較例３の粘着シートは耐クラック性が、
それぞれ実施例１と比べて著しく劣る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエネルギー線硬化型熱剥離性粘着シー
トの一例を示す概略断面図である。
【図２】本発明のエネルギー線硬化型熱剥離性粘着シー
トの他の例を示す概略断面図である。
【図３】本発明の切断片の製造方法の一例を示す概略工
程図である。
【符号の説明】
１ 基材 ２ エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層 2a エネルギー線照射後の硬化した粘弾性層 2b エネルギー線照射後さらに加熱により膨張させた後
の粘弾性層 ３ 粘着層 ４ セパレータ ５ 粘着層 ６ セパレータ ７ 被着体（被切断体） 7a 切断片 ８ エネルギー線 ９ 切断線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｎ (72)発明者 村田 秋桐 大阪府茨木市下穂積一丁目１番２号 日東 電工株式会社内 (72)発明者 有満 幸生 大阪府茨木市下穂積一丁目１番２号 日東 電工株式会社内 Ｆターム(参考） 4F100 AK25 AK25J AK41 AL01 AR00B AR00C AR00D AR00E AT00A BA03 BA05 BA06 BA07 BA10A BA10C BA10E BA13 CA02 CA16C CA16E CB05 DE04B DE04D EH46 EJ02 EJ08 EJ54 EJ55 GB41 JA02B JA02D JA20C JA20E JB14B JB14D JB14G JK07B JK07D JL06 JL13C JL13E JL14 YY00B YY00C YY00D YY00E 4J004 AA04 AA05 AA06 AA07 AA08 AA09 AA10 AA11 AA13 AA14 AB01 AB06 AC03 CA02 CA03 CA04 CA05 CA06 CB04 CC02 CC03 CE01 DB02 EA05 FA08 4J040 CA001 CA011 DA051 DB001 DC072 DD022 DD051 DD072 DE011 DF001 DF052 DF082 DH001 EF001 EJ032 HB02 JA09 JB07 JB09 KA03 NA11 PA23 PA30 PA39 PA42 PB05 PB06 PB16 5F031 CA02 CA13 HA78 MA39

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基材の少なくとも片側に、熱膨張性微小
    球を含有するエネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層と粘
    着層とがこの順に積層されているエネルギー線硬化型熱
    剥離性粘着シート。
  2. 【請求項２】 粘着層の厚さが０．１〜１０μｍである
    請求項１記載のエネルギー線硬化型熱剥離性粘着シー
    ト。
  3. 【請求項３】 粘着層が感圧接着剤で構成されている請
    求項１又は２記載のエネルギー線硬化型熱剥離性粘着シ
    ート。
  4. 【請求項４】 粘着層がエネルギー線硬化性粘着剤で構
    成されている請求項１又は２記載のエネルギー線硬化型
    熱剥離性粘着シート。
  5. 【請求項５】 エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層が
    粘着物質で構成されている請求項１〜４の何れかの項に
    記載のエネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート。
  6. 【請求項６】 エネルギー線を照射した後のエネルギー
    線硬化型熱膨張性粘弾性層の熱膨張性微小球の膨張開始
    温度におけるせん断貯蔵弾性率が１×１０5〜５×１０7
    Ｐａとなる請求項１〜５の何れかの項に記載のエネルギ
    ー線硬化型熱剥離性粘着シート。
  7. 【請求項７】 請求項１〜６の何れかの項に記載のエネ
    ルギー線硬化型熱剥離性粘着シートの粘着層表面に被切
    断体を載置し、エネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層を
    エネルギー線照射により硬化させた後、前記被切断体を
    切断して切断片とし、次いで該エネルギー線硬化型熱膨
    張性粘弾性層を加熱により発泡させて、前記切断片を剥
    離回収する切断片の製造方法。
  8. 【請求項８】 請求項１〜６の何れかの項に記載のエネ
    ルギー線硬化型熱剥離性粘着シートにエネルギー線を照
    射してエネルギー線硬化型熱膨張性粘弾性層を硬化させ
    た後、粘着層表面に被切断体を載置し、前記被切断体を
    切断して切断片とし、次いで該エネルギー線硬化型熱膨
    張性粘弾性層を加熱により発泡させて、前記切断片を剥
    離回収する切断片の製造方法。
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