JP2001518559A

JP2001518559A - 真空被覆装置および連結配置

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Publication number: JP2001518559A
Application number: JP2000513986A
Authority: JP
Inventors: ハンス，ミヒャエル; ツァエヒ，マーティン
Original assignee: ユナキス・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト
Priority date: 1997-09-29
Filing date: 1998-09-25
Publication date: 2001-10-16
Also published as: DE59806376D1; ES2188006T3; WO1999016927A1; US6471837B1; EP1025277B1; EP1025277A1

Abstract

(57)【要約】真空被覆装置に、運搬ロボット（４３）を備える排気可能な中央分配室（４）が設けられる。前記分配室には、フランジを介して接合された複数の処理室（５９，６５，６７）が設けられる。分配室（４０）内に運搬され、前記処理室（５９−６７）で処理される処理材料としては、多数の工作物受容部を備える工作物担体が設けられる（図２）。この装置の少なくとも処理室内には、前記工作物受容部と解除可能な駆動接続を行うための駆動装置（Ａ）が設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】

この発明は、請求項１および請求項２９のプリアンブルによる真空被覆装置、
ならびに請求項２４のプリアンブルによる連結配置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

上記のような装置、すなわち中央分配室の周りに集まった処理室は、前記分配
室内に配置された運搬配置ないし運搬ロボットによって操作され、かつ前記分配
室は、例えば入／出スルース室、あるいは入スルース室および出スルース室であ
る操作室を介して外部から操作される装置は、周知のものである。そのような装
置によって、例えば記憶円板、半導体ウェハのような工作物が個々に処理される
。処理材料はここでは個々の工作物によって形成される。

【０００３】これらの装置は、前記工作物を極めて緻密に処理するために必要な処理室間、
ないし分配室と処理室または操作室との間におけるプロセス技術上の分離の、比
較的容易な実現を可能にする。さらにこのような装置において典型的なのは、工
作物が基本的に平らな平面状であり、かつ通常は例えば被覆処理のように片側だ
け処理される、という点である。

【０００４】従来のこれらの装置によって極めて緻密で複雑な層システムの実現が可能であ
るが、これは真空雰囲気内において連続的に行われ、かつ上述のように部分的に
個々の処理段階がプロセス技術上分離される。

【０００５】工作物コストおよびプロセスコストが高いため、前記装置は個々の工作物処理
による制約を受け、比較的わずかな処理量を甘受せざるを得ない。

【０００６】例えば被覆処理における処理品質が、上記の工作物ほど重要ではない工作物の
処理、例えば特に工作物への磨耗保護層システムの布設、切削加工や機械部品に
ついては、例えば被覆の場合、欠陥発生頻度にはあまり注意が払われず、処理量
の引き上げが優先される。したがってそのような工作物は通常、多数の工作物が
バッチ供給され、そのつど一つの処理段階を経る真空処理装置において処理され
る。複数の真空処理段階が必要な場合は、前記バッチが一塊として装置から装置
へと供給されるが、それぞれの段階の間では周囲雰囲気に晒される。

【０００７】さらに、ここに述べられているような工作物、すなわち例えば極めて複雑な形
態の、例えば螺旋形状の切削縁、フライスへり等を有する工作物本体は三次元で
処理されねばならず、しかも特に本体形状が最も複雑な箇所においてそのように
処理されねばならない。これは特に、個々の処理プロセスにおいて工作物本体に
特定の動きをさせる特別な措置をさらに必要とする。このため、１バッチの単位
が大きい場合、配置が極めて複雑になる。

【０００８】したがってこのような装置において、処理されるべき工作物の製造コスト全体
をさらに大きく引き下げるのは全く困難である。

【０００９】また上記のような工作物では多くの場合、その処理についてより高い品質が求
められる傾向にある。例えば切削工具の性能、または機械部品の抗負荷能力につ
いてより高度の要求がなされると、時としてまたそれらの処理についてもより高
い品質が求められる。場合によってはより高度な処理品質要求と、処理量の引き
上げという第一の要求とを同時に満たすことは、開発にあたっての一つの挑戦で
あることが容易に理解される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】

この発明の第一の局面における目的は、工作物を個々に処理する上述のような
装置の利点を維持しながらも、バッチ処理装置によって高い処理量が達成され、
かつ必要とあれば、工作物を個々に処理する装置の処理品質に関する利点も低コ
ストで実現可能な、初めに述べられたような装置を提供することである。高処理
量を可能にし、その建造および操作コストが低く、かつその処理が十分に再現可
能な装置が提供されるべきである。そのような装置においては、上述の意味にお
いて極めて複雑な形状の工作物本体の三次元処理、特に被覆処理が可能であるべ
きである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】

この課題は、請求項１の特徴において優れた、初めに述べられたような真空処
理装置によって解決する。したがって処理材料としてはもはや個々の工作物では
なく、それぞれ多数の工作物受容部を備えた個々の工作物担体が挿入される。少
なくとも被覆処理において所望される三次元処理はさらに、あらかじめ設けられ
た処理室の少なくとも一つにおいて受容部内の工作物が、ないし受容部とともに
工作物が移動することによって実現される。

【００１２】したがってこの発明によると、周知のワンプロセスバッチ装置が、この発明に
よる装置の処理室となり、バッチ装置からバッチ装置への運搬はこの発明による
と周囲雰囲気を介さず、排気可能な分配室を介して行われ、したがって全処理が
真空状態で行われる。したがってまた、個々の処理室をプロセス技術上互いに、
そのつど必要な範囲で分離すること、あるいは処理室を分配室から分離すること
が可能であり、したがって必要とあれば高い品質要求を満たすことができる。

【００１３】しかしながらまず第一には、前記バッチ装置あたりの処理量が維持されるだけ
でなく、さらに引き上げられる。

【００１４】この発明の装置はさらに実際、常に少なくとも一つの被覆室を有する。この被覆室は低圧ＣＶＤ処理室として形成され得るが、特に磨耗保護層システ
ムを低コストで布設できるよう、少なくとも一つのプラズマ放電経路と、反応ガ
スを含有するガス貯蔵装置と接続する少なくとも一つの流入口とを有するよう提
案される。換言すれば、室のうちの少なくとも一つはＰＶＤ処理室として、また
はＰＥＣＶＤ処理室として形成されるのが好ましい。

【００１５】より複雑な層構造を同時に形成するため、または二つ以上の連続した複数のプ
ロセスで工作物を処理するためには、例えばスパッタリングやエッチングのよう
なそれぞれ順次行われるべき処理プロセスに支障をきたさない限り、一つの処理
室内に複数のプラズマ放電経路が設けられる場合も考えられ、それに応じて場合
によっては複数の反応ガス流入口が設けられ得る。

【００１６】磨耗保護層システムの布設のためには、ガス貯蔵装置に窒素および／または水
素および／または炭素含有ガスおよび／または珪素含有ガスが備えられるのが好
ましい。

【００１７】処理室がＰＶＤ処理室として形成された場合、その処理室は周囲に蒸気の粒子
を飛散させる少なくとも一つの蒸気吹き出し点を有する。蒸気の粒子は例えばス
パッタリングによって固体ターゲットから、または熱蒸化によって溶解物から、
あるいは陰極におけるアーク蒸発のような上記の技術の混合によって遊離される
。遊離材料は、好ましくはＴｉ、Ｗ、Ａｌおよび／またはＣｒあるいは珪素を含
有する好ましくは金属または金属合金であり、あるいは前記金属／合金のうちの
一つの酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物、酸炭化物（オキシカーバイド）、酸
窒化炭素（オキシカーボナイトライド）である。前記金属結合は反応性または非
反応性布設される。被覆固相構成要素を遊離するには、好ましくは以下の吹き出
し点が用いられる。

【００１８】 ― 熱蒸化を用いる蒸化吹き出し点、例えば陽極アーク蒸化吹き出し点、また
は電子線蒸化吹き出し点等 ― 陰極アーク蒸化吹き出し点 ― スパッタ吹き出し点、好ましくはマグネトロン吹き出し点特に磨耗保護層システムの布設にはさらに、あらかじめ設けられる少なくとも
二つの処理室のうちの一方が高温室および／またはエッチング室であるよう提案
される。

【００１９】同じ一つの処理室において、例えば加熱ならびにエッチング等、複数の処理段
階が行われ得るかぎり、諸段階の順序およびそのプロセスパラメータを制御する
時間制御ユニットが前記室と作用接続されるのが好ましい。これによって、必要
な運搬段階の数が減らされ、あるいは処理室が節減される。

【００２０】この発明の真空処理装置には好ましくは時間制御ユニットが設けられるが、こ
のユニットは一方では分配室内の処理材料運搬配置のための駆動装置と、他方で
は少なくとも一つの処理室の駆動装置および／または駆動接続と作用接続され、
運搬サイクルと処理サイクル、ならびに操作サイクルの時間順序を制御する。

【００２１】さらに好ましい実施形態においては、密閉しながら開口部と作用接続可能なパ
ッキン配置が処理材料運搬配置に設けられるよう提案されるが、このパッキン配
置は場合によっては、処理材料運搬配置の往復運動とは関わりなく制御可能であ
る。これによって、操作室と分配室との間の開口部、および／または処理室と分
配室との間の開口部を場合によっては選択的に、例えばスルース弁のようにプロ
セス技術上閉ざすことが可能となるが、これは圧力間隙等による圧力段の設置に
よるものであっても、運搬配置および当該開口部におけるパッキン配置の互いに
接触する部材による完全な真空分離によるものであっても構わない。

【００２２】その際、場合によってはある特定の開口部、例えば加熱室と分配室との間の接
続開口部等を対応する室の稼動中、分配室に対してプロセス技術上閉じないこと
は、特にその他の処理室が別々に排気可能であり、かつそれらの作動中開口部が
それぞれプロセス技術上閉じられる場合、全く問題ない。

【００２３】室のプロセス技術上の分離は、そのような分離を必要とする工作物のための単
数ないし複数の工作物担体に、担体と一体となって装置中を移動するパッキン機
構が固定配備されることによって特に容易となる。

【００２４】初めに述べられたように、三次元の極めて複雑な形状の工作物本体を隙間なく
完全に三次元処理すること、特に被覆することはしばしば大変重要である。これ
は、例えばエッチングまたはスパッタ被覆のための処理室において、工作物と特
に方向付けされた吹き出し点との間に相対運動が生じることによって達成される
。さらに、最終的に工作物受容部に働きかける駆動接続が駆動装置と各々の工作
物担体との間に設けられるよう提案される。室側の固定吹き出し点と工作物担体
との間に相対運動、特に好ましくは回転運動が生じると、それによってしばしば
既に十分な三次元処理が保証される。ある好ましい実施形態においてはしかしな
がら、工作物担体において移動するよう載置された工作物受容部にも前記駆動接
続がさらに設置され、その結果、特に遊星伝動装置の場合のように、一方では工
作物担体が、他方ではその上の工作物受容部が特に回転運動を初める。

【００２５】さらに好ましくは、選択的に呼び出し可能で自由にプログラミングかつ保存さ
れたシーケンスによって好ましくは自由にプログラミング可能な、中央制御ユニ
ットが装置全体のために設けられる。この制御ユニットは運搬配置の操作のサイ
クルを決める一方、少なくとも一つの処理室における駆動装置および／または駆
動接続、ならびに弁の操作、すなわち例えば分配室につながる供給室のスルース
弁の操作、そして特に室のプロセス操作のサイクルを決める。

【００２６】はじめに述べられたような工作物担体を室から室へと運搬する際には、各々の
室と各々の工作物担体とを、例えば工作物にバイアスをかけるためには電気的に
、あるいは最終的に工作物を回転駆動するためには機械的に、連結する必要があ
る。また、工作物担体に供給される冷却媒体等のための、その他の連結も所望さ
れ得る。そのような連結を実現するには、初めに述べられたような装置において
少なくとも処理室の一つに処理室円錐台歯車が、ならびに工作物担体には突出し
た工作物担体円錐台歯車が設けられ、処理室内の工作物担体が加工位置にあると
、処理室円錐台歯車とそれぞれの工作物担体円錐台歯車の正面、好ましくは小さ
い方の正面の少なくとも一つが重なり合う。その際好ましくは、円錐台歯車の少
なくとも一つが軸方向にばねによって載置され、したがって、工作物担体がその
歯車によって、好ましくは平面運動、特に直線運動で室内に供給されると、円錐
台歯車はまずその外側表面に沿って互いに接触し、互いにぶつかり合う外側表面
のくさび効果によってばね力に抗して固定され、上述のように重なり合う。

【００２７】好ましい一実施形態においては、工作物側の円錐台歯車が工作物担体回転駆動
装置において工作物受容部と連結され得るが、この場合工作物担体の処理位置に
おいて工作物担体側の円錐台歯車と連結されるモータ回転駆動装置が室側に設け
られる。

【００２８】最終的には工作物担体の工作物受容部のための、室側の回転駆動装置は好まし
くは、室側の円錐台歯車を介して工作物担体側の円錐台歯車に働きかけ、あるい
は室側の円錐台歯車からは独立して作用する駆動装置を介して、工作物担体側の
円錐台歯車に働きかける。

【００２９】前記歯車が駆動伝達に利用されない、あるいは駆動伝達のみには利用されない
、この発明による装置のもう一つの好ましい実施形態においては、室側ならびに
工作物担体側の円錐台歯車が少なくともその円錐台正面、特に小さい方の正面の
少なくとも一つにおいて電気伝導性を有するよう形成され、工作物担体側の円錐
台歯車の電気伝導性表面が工作物受容部と電気伝導接続されるが、それに対して
室側の円錐台歯車の小さな電気伝導性表面は、好ましくは調整可能な電源と接続
される。こうして、各々の室と工作物担体との機械的駆動連結および／または電
気的接続連結が、あらかじめ設けられた円錐台歯車によって可能となる。

【００３０】前述のように、この連結は初めに述べられた装置の好ましい一実施形態を形成
するが、請求項２４に記載されたように室側の円錐台歯車と工作物担体側の円錐
台歯車とが設けられ、それらの正面、好ましくは小さい方の表面の少なくとも一
つを含む表面が、室内の工作物担体が処理位置にあると互いに重なり、したがっ
て室から工作物担体への機械的駆動接続および／または電気的伝動接続が成立す
ることによって、この電気的および／または機械的連結配置が基本的には真空処
理室と、室内において処理されるべき工作物を有する工作物担体との間において
、すなわち室が一つの装置においても利用されるよう提案される。

【００３１】さらに初めに述べられたような処理装置の好ましい一実施形態においては、分
配室の処理材料運搬配置においてそれぞれ個々の工作物担体につき、一対のレバ
ー配置を有する交差機構が一つ設けられる。前記レバー配置は中央において互い
に旋回可能なように載置され、旋回ベアリングからそれぞれのレバー端部ベアリ
ングまでのレバーアームの長さが同じである。もう一つの好ましい実施形態にお
いては、交差機構の末端にあるレバー旋回ベアリングの少なくとも一つが、分配
室の中央に設けられた運搬配置の中央部分において直線的に変位するよう載置さ
れ、交差機構駆動装置は、この少なくとも一つの、直線的に動くよう載置された
交差機構の端部ベアリングのための直線駆動装置を含み、あるいは好ましくは伝
動レバーを有するカム円板を介して交差機構レバーの一つに作用する非直線駆動
装置を含む。

【００３２】一番初めに述べられたような処理装置において、比較的大きな、好ましくは４
ｍｂａｒより大きい圧力差がある室間をプロセス技術上分離せねばならない場合
、前述のパッキンプレートによるプロセス技術上の分離は、運搬配置からは独立
して作動可能な伸展装置によってさらに補強されるのが好ましい。この伸展装置
は好ましくは、モータによって変位するローラ装置を室側またはパッキンプレー
ト側に、それに対応する湾曲プレートをパッキンプレート側または室側に有し、
このローラ配置が湾曲プレートの湾曲路と作用接続してパッキンプレートと開口
部縁部との間におけるパッキン加圧を提供または解除する。

【００３３】このさらなるパッキン補強は好ましくは初めに述べられた装置においても利用
されるが、例えばスルース室におけるように処理室が例えば一つしか設けられな
い装置においても当然利用可能である。こうして基本的には、開口部には駆動さ
れて移動するパッキンプレートが設けられ、開口部領域にはモータ駆動装置を備
える伸展装置が装着されることによって、あらかじめ定められたパッキン加圧が
パッキンプレートと開口部縁部との間に提供される、工作物を連続輸送または処
理するための開口部を少なくとも一つ備える、請求項２９に記載のこの発明によ
る真空処理装置が得られる。

【００３４】次に図面を参考にこの発明の説明がなされる。

【００３５】

【発明の実施の形態】

この発明の一局面によると、この発明の装置において工作物がそこの上で処理
される工作物担体は、工作物の三次元処理を可能にするために、所与の処理室の
うちの少なくとも一つにおいて、好ましくは回転運動によって移動する。

【００３６】図１には、例えば軸工具を処理するための、この発明において利用される第一
の工作物担体の構造原理が示される。円筒状の工作物担体１が、例えば摩擦車ま
たは歯車３形状の回転連結配置を有する。中央軸７に沿って複数の担体トレー５
が配置され、そこに受容容器１０に入った工作物９が載置される。矢印Ａで概略
的に示された駆動伝達によって、そのつど必要とされる処理室の工作物担体１が
回転運動し、Ｑで概略的に示された、方向付けされた処理効果が所望されたよう
に三次元で工作物に作用する。

【００３７】図１に示された簡単な実施形態においては、受容容器１０が担体トレー５に固
定装着され、したがってトレーといっしょに軸Ａの周りを回転する。さらなる実
施形態においては容器１０および、その中に受容された工作物も、ω₁₀で示され
たように、それ自体が回転する。これは、容器１０がトレー５に回転載置され、
かつ１１で示されたように例えば突出した回転体を有することによって、極めて
簡単に実現される。工作物担体１に対して固定配置されたストッパ１１ａが容器
１０の回転体１１の運動経路に侵入し、容器１０がストッパ１１ａの側を通過す
る度に、この容器１０は回転角度エレメントのまわりをω₁₀の方向にさらに回転
する。容器１０の運動経路沿いにいくつのストッパ１１ａが配置されるかによっ
て、トレーが一回転する間に、容器１０の回転角度が一回または複数回増加する
。

【００３８】この発明において用いられる工作物担体のもう一つの好ましい実施形態におい
ては、工作物ないしその受容部が、例えば遊星駆動伝達装置によって、工作物担
体とは異なる動きをする。そのような形態が例えば図２に示される。この形態は
支持トレー２３を備える中空軸２２を含む。配置２２／２３には、例えば摩擦ま
たは歯車などの駆動連結車２５が固定される。中空軸２２内には、その端部に歯
車２９を備える駆動軸２７が通る。歯車２９の反対側には、もう一つの駆動伝達
装置３１が駆動軸２７に設けられ、これによって、歯車２９を備えた駆動軸２７
はそれぞれの処理室に対して例えば固定保持される。遊星歯車３３は歯車２９と
係合し、駆動アンカ３５を駆動する。駆動アンカには担体トレー３７が固定され
、ここに受容容器３７に入った工作物４１がはめ込まれる。

【００３９】摩擦ないし歯車２５を介した駆動によって工作物担体２０が回転運動ω₁し、同時に担体トレー３７が、遊星駆動接続２９／３３を介して、受容容器３９の形
でそれに設けられた工作物受容部とともに回転する。

【００４０】図２について上に説明された工作物担体技術のもう一つの形態においては、個
々の受容容器３９が、図１に示されたと同様の技術で、ω₃₉で示唆されたように
さらにまた回転し得る。

【００４１】図１４には、この発明において用いられる工作物担体のもう一つの好ましい実
施形態の透視図が示される。環状の基盤プレート１４０および、同様に環状の終
端プレート１４２から、長手アンカ１４４によってカルーセル式保持器が形成さ
れる。このカルーセル式保持器は個々の処理室内において、図１４にω₁₄₀で示されたように、回転する。アンカ１４４に並行して回転アンカ１４６が設けられ
、双方の保持プレート１４０および１４２において回転運動するよう載置される
。歯車１４８によってこれらの回転アンカ１４６は中央固定歯車リム１５０に係
合し、その結果、保持器がω₁₄₀で回転する間、回転アンカ自体はω₁₄₆で回転す
る。回転アンカ１４６には図１と同様に回転トレー１５５が、トレー１５５自体
に回転載置され回転駆動される受容容器１５６とともに配置される。図１の、概
略的に示されたストッパ１１ａはバー１４５によって形成されるか、あるいはそ
れに固定されて、そこからトレー１５５の容器の回転路へと突き出す。

【００４２】図１、２および１４には基本的に、既に述べられたように、室が一つの装置に
も、以下に説明されるような複数の室を有するこの発明の装置にも使用され得る
、工作物担体が示される。

【００４３】専門用語に従い、中央軸７または駆動軸７ないし３５を備え、そこから担体ト
レー５ないし３７が張り出す構造を工作物担体の「木」とすると、前記工作物担
体は一つ（図１）または複数（図２、１４）の工作物の木を有する。そこでは、
ω₁₄₀またはω₁に対応する、工作物担体の軸を中心とした小木の大きな回転運動
、および／または図１、２のωまたはω₂、ないし図１４のω₁₄₆に対応する、小
木のそれ自体の軸を中心とする回転運動、および／または図１のω₁₀および図２
のω₃₉に示されるような、工作物そのものの、より小さな自転運動が実現される
。

【００４４】全ての実施形態に共通するのは、図１、図２および図１４にＡで示されたよう
に、工作物担体への回転駆動伝達が行われねばならないという点である。以下に
おいては、固定された室からの駆動伝達によって一体的に回転駆動される、例え
ば図１、図２または図１４のように形成された工作物担体を、回転庫と呼ぶ。

【００４５】回転庫の工作物を挿入または取り出す際には、回転庫を処理室に連結されたま
まにしておくのが普通である。これは、モータ駆動等の信号技術の接続、工作物
にバイアスをかけるための電機信号、冷却媒体導管等のためである。以下におい
て明らかになるであろうように、この発明の一局面においてその基本となる複数
の室を有する装置は、１バッチの処理に対応して、回転庫を一括して操作するよ
う設計される。これを前提として、回転庫への機械的回転連結Ａならびに場合に
よっては、特に工作物にバイアスを提供するための電気信号連結を実現するとい
う問題が解決されるべきであり、これによって前記回転庫の一体的操作、特に挿
入ないし取り出しを一括して行うことが可能となる。すなわちこの連結は、自動
的に連結ないし連結解除されるに適したものでなければならない。例えば図１４
の回転庫において、一つの装置室に連結されたままの状態でこの回転庫に工作物
を一つ一つ挿入するために必要な時間の割合を考慮すると、前記回転庫が一括し
て操作される場合、すなわち一括して運搬、挿入および荷下しされる場合に、装
置の停止時間および作動時間に関して大きな利点があることが容易にわかる。

【００４６】図１５には、基本的には固定された装置部分と、全体として一括操作される回
転庫との間において作用する、電気および／または回転駆動連結の好ましい実施
形態が示される。

【００４７】真空処理室の内壁部分２００に、挿入されるべき回転庫２０５の回転軸Ｚ₂₀₁ が位置決めされるべき位置に対応する室の軸Ｚ₂₀₀を基準として、円錐台歯車２０７が設けられる。少なくとも小さい方の円錐正面２０７_oは電気伝導性で、好ましくは円錐台の外側表面２０７_mもまたそうである。好ましくは円錐台歯車２０７全体が電気伝導性材料からなる。

【００４８】円錐台歯車２０７には、回転庫２０５の工作物にかけられる電圧に対応する電
気信号Ｓ_elが与えられる。圧力ばねは配置２０９は傘歯車２０７を矢印Ｆの方向
に外側に向けて固定する。

【００４９】概略的に図示された回転庫２０５は、例えば図１、図２および図１４と同様に
回転駆動Ａを引き継ぐための、回転庫２０５に（回転庫の形状に応じて）固定ま
たは回転載置される円錐台歯車２１１を有するが、この歯車のうち少なくとも小
さい方の正面２１１_uが、また好ましくは円錐台外側表面２１１_mも、電気伝導性
材料によって製造される。好ましくはまた、円錐台歯車２１１全体が電気伝導性
材料からなる。Ｓ’_elで概略的に示されたように、円錐台歯車２１１から最終的
には回転庫２０５の工作物に到る電気接続が成立する。

【００５０】信号矢印Ｓ_elとＳ’_elとの間を電気的に連結し、かつそれを解除するため、回
転庫２０５はＫで示された連結／連結解除方向に好ましくは平面上を、さらに好
ましくは直線的に移動し、外側表面２１１_mが外側表面２０７_mに衝突し、それに
続く回転庫２０５のさらなる運動によって傘歯車２０７がばね２０９の力に抗し
て押し戻され、まずは外側表面を介して、最後には小さい方の円錐正面２０７_o ないし２１１_uを介して電気連結が成立する。図１５に破線で示されたのは、円錐台歯車２１１の係合連結位置である。

【００５１】ここまでは、もっぱら電気的連結を提供するための方法について論じられてき
た。ところで、傘歯車２０７および２１１の相対的回転運動については様々な場
合が考えられる。

【００５２】・回転庫２０５が円錐台歯車２１１に対して、図１５のＡとは異なる回転運動
をし、したがって傘歯車２１１が回転庫２０５に固定されず回転載置されている
場合、円錐台歯車２１１は円錐台歯車２０７に固定されたままで伝動接触エレメ
ントとしてのみ作用する。

【００５３】・円錐台歯車２１１がＡにしたがって回転運動し、回転庫２０５の少なくとも
一部がともに回転運動すべき場合、これは、室壁２００にばねによって固定され
た円錐台歯車２０７が回転載置され、駆動モータ２１３によって駆動（破線で図
示）されることによって可能である。この場合、歯車２０７、２１１の接触表面
に好ましくは溝がつけられ、駆動伝達付着表面として機能する。

【００５４】・破線で記入された位置における円錐台歯車２１１の駆動が、後に説明される
ように、円錐台歯車２０７を介して提供されない場合、二つの可能性が考えられ
る。すなわち、歯車２１１が回転しない歯車２０７の表面を引きずるように移動
するか、あるいは好ましくは、歯車２０７が惰力回転歯車として形成され、破線
位置において駆動される歯車２１１とともに軸Ｚ₂₀₀の周りを回転するか、である。

【００５５】円錐台歯車２０７と２１１との間の回転駆動伝達および電気信号伝達機能は分
別されるのが好ましい。これはさらに図１５に示されたような好ましい実施形態
において実現される。円錐台歯車２１１は、かみ合い冠または摩擦接触冠として
形成された駆動冠２１５を担う。円錐台歯車２１１が駆動冠２１５と回転庫２０
５とともに連結位置へとＫにしたがって軸Ｚ₂₀₀方向に動くと、駆動冠２１５は室側の駆動歯車２１９と接触する。駆動歯車２１９は室壁２００に対して軸Ｚ₂₁ ₉ を中心に回転載置されるが、この軸Ｚ₂₁₉は、概略的に図示されたばね配置２１
７によって固定され、移動平面Ｅ_Kと並行に、回転庫の運動方向Ｋにおいて変位可能である。駆動冠２１５はしたがって、連結している間は駆動歯車２１９と接
触し、ばね配置２１７の力に抗して駆動歯車２１９を記入された方向Ｄへと圧迫
する。その際、駆動連結が成立する。駆動冠２１５に対応して駆動歯車２１９は
摩擦車として、あるいは好ましくは歯車として形成される。この歯車は場合によ
っては伝動装置を介して、信号Ｍで示されたように駆動モータ２１３’によって
駆動され、摩擦またはかみ合い接触を介して円錐台歯車２１１を駆動する。その
際、円錐台歯車２０７は、壁２００に固定するよう取り付けられている場合、電
気接触を摩擦によって確保し、また好ましくは惰力回転歯車として形成されて、
円錐台歯車２１１とともに惰力回転する。

【００５６】図１５に示された連結配置によって、後に述べられるような複数の室を有する
装置において、また室が一つの装置においても、例えば図１５の２０５のような
工作物回転庫全体を一度に室から室へと運搬、挿入ないし取り出すことが可能と
なり、その際所望の機械的および／または電気的連結ないし連結解除を自動的に
行うことが可能となる。

【００５７】以下に説明される全ての装置形状においては、対応して設けられる回転庫ない
し工作物担体への連結の問題は、好ましくは図１５において説明されたように、
解決される。

【００５８】さらに図１および２に破線で示され、また図１４の工作物担体においても完全
に実現可能なように、一般的には図１５の回転庫である、工作物担体１ないし２
０にはそれぞれ、指示プレート２１と、特に以下において説明されるパッキンプ
レート４９が、工作物が支持プレート２１において回転載置されるよう、接続さ
れる。これによって、図面からわかるように、工作物担体が挿入された処理室の
それぞれの分配室からのパッキンプレート４９によるプロセス技術上の分離を同
時に可能にする、あるいは一般的に、工作物担体が供給される室の開口部をプロ
セス技術上閉じることができる、工作物担体配置が提供される。

【００５９】以下の図面、すなわち以下において提示されるこの発明の全ての装置において
は、図１および／または図２および／または図１４の工作物担体ないし、そこに
示されたタイプの回転庫２０５が用いられ得る。

【００６０】図３および４に示された装置は中央分配室４０を有する。中央分配室４０には
、中央軸Ｚの周りを駆動装置４２によって回転可能なように、運搬ロボット４３
が設けられる。運搬ロボット４３は、図４からわかるように、軸Ｚに対して放射
状に繰り出し得るアーム４５を有し、このアームは必要とあれば分配室内の周囲
に対してベロー状に被覆される。アーム４５はそれぞれ、図１、図２または図１
４の原理にしたがって構成された円筒状の工作物担体４７を運搬可能である。こ
こに図示された実施形態では、また特に図３からわかるように、工作物担体４７
にはパッキンプレート４９（図１、２）が配置され、工作物担体４７と一体的に
運搬される。アーム４５の水平作動平面に合わせられた、分配室４０の供給開口
部５１には、少なくとも一つの入／出スルース室５３が、または少なくとも一つ
の入スルース室および一つの出スルース門室がそれぞれフランジを介して接合さ
れ、ならびに、好ましくは少なくとも一つが被覆室である処理室、例えばスパッ
タ吹き出し点５７を備えるスパッタ室５５、二つのスパッタ吹き出し点６１およ
び６３を備えるさらなるスパッタ室５９、さらに６５、および冷却室６７が接合
される。

【００６１】図４においては室５３、５５、５９および６５は装填されており、一方、室６
７は荷出しされたところである。

【００６２】この装置形状においては、それぞれの室に一つの工作物担体４７が納まってい
る限り、開口部５１は分配室４０に対してパッキンプレート４９によって同時に
隔絶されていることがわかる。

【００６３】図３からわかるように、例えばスパッタ室５５および／または５９および／ま
たは６５におけるように、方向付けされた処理効果を有する室には特に、駆動連
結７１を備える回転駆動装置６９が設けられ、これによって、図１、図２および
図１４について説明されたように、工作物担体４７の少なくとも一部がそこで回
転運動する。好ましくは図１５について説明された連結技術が利用される。

【００６４】さらに図４からわかるように、既にそこで処理された工作物担体４７が取り出
され、それと同時にパッキン壁４９が取り外されると、室６７は分配室４０に対
して開かれている。

【００６５】さらに、この装置には時間制御ユニット７３が設けられるが、このユニットは
特に、Ｓ（Ω）に対応する運搬ロボット４３の回転運動、Ｓ（Ｈ）に対応する運
搬アーム４５の往復運動、およびＳ（ω₄₇）に対応する工作物担体４７の回転運
動を制御する。磨耗保護層システムを析出させるため、図３および図４に図示さ
れたスパッタ室のような被覆室においては磨耗保護層材料が、それぞれＰＶＤま
たはＰＥＣＶＤ被覆方法によって布設される。ここでＰＶＤ被覆方法は反応性の
方法として行われ得るが、そのためには当該室にガス貯蔵容器より反応性ガスが
供給される。この方法はしかしながらまた非反応性の方法としても実現可能であ
る。磨耗保護システムの布設は、ユニット７３の制御によって、図４にΩで示さ
れた順の作動サイクルで行われる。すなわち、室６７において前処理が、続いて
反応性または非反応性のエッチングが、そして反応性または非反応性の被覆が行
われる。

【００６６】図５および図６には、この発明によるさらなる装置形状が示されるが、専門家
に関するかぎり、図３および図４の説明の後ではこれについて何ら特別な説明は
必要ない。図３および４において既に説明された部材については同じ参照符が付
された。図５および図６の装置が図３および図４の装置と異なるのは、図５およ
び図６の運搬ロボット４３’が複数の運搬アーム４５を有し、したがって中央分
配室４０に設けられた複数の室に、より高いサイクル頻度で供給することが可能
である。

【００６７】ここでは、時間制御ユニット７３を介して、ロボット４３’に設けられた複数
のアーム４５（図６参照）が、好ましくは任意に入力された順序で繰り出され、
あるいは引き戻され得る。

【００６８】図５および６においては例えば、室５３および５９にそれぞれ工作物担体４７
が装填され、プレート４９により密閉されて操作を待つ状態である一方、室６５
および５５は荷出しされたところ、あるいは装填されるところである。しかしな
がら、室への同期的、同時供給が望ましい場合が多い。

【００６９】特に図６から、もう一つの実現可能性が容易に理解される。運搬ロボット４３
’はここでは、これまで説明されたように軸Ｚの周りを制御されて回転可能であ
るか、あるいは分配室４０に固定配置され得る。後者の場合、工作物担体４７は
分配室４０において、４７’で示されたようにカルーセルによって、それぞれア
ーム４５の一つおよび開口部５１の一つと整列する位置へと運搬される。アーム
４５によっては、カルーセルから室への、および室からカルーセルへの放射状の
運搬運動のみが実現される。そのように設けられたカルーセル７５の回転運動は
、図６にω₇₅で示唆される。カルーセル４７’ならびに、Ｚの周りを回転可能な
ロボット４３’を用いることによって、室への供給の柔軟性がはるかに高められ
る。

【００７０】図７から図１０にはこの発明のさらなる装置が示されるが、図９の形状では分
配室に室が４つ、図１０では５つフランジを介して接合される。これまでの説明
から、これらの装置の構造および機能については専門家には明らかであろう。ま
た、同じ部材ないし連結部については、図３から図６において使用されたものと
同じ参照符が付された。図７から図１０に示された装置における本質的相違点は
、中央ロボット４３に設けられた放射状往復運搬機構の構造である。

【００７１】特に図７および図８からわかるように、原則的には図３および図４による形状
では一つの、図５および図６による形状では複数の交差機構レバー配置４５’が
中央ロボット４３に設けられ、工作物担体４７をパッキンプレート４９とともに
それぞれの処理室に向けてその中へと運搬し、あるいはその中から外へと運搬す
る。図７および図８と同様、図９には前記機構４５’が繰り出した状態が、図１
０には引き戻された状態が示される。

【００７２】図３から図６の装置に設けられたような、放射状に直線的に繰り出され得る運
搬アーム４５の代わりに、あるいは図７から図１０、さらにまた図１３において
設けられたような交差機構の形態で放射状に繰り出す機関の代わりに、例えば図
１１および図１２の装置において示されたような、さらなる往復機関構造が設け
られ得る。これは、放射状往復機関４５”が複数のアームを有するレバー配置に
よって実現されるものであり、前記レバー配置は垂直な軸Ｙの周りを相互に旋回
可能である。図１１および図１２の装置の構造は、前記放射状往復機構の他は、
既に図３から図１０について説明された装置の構造と同様である。

【００７３】図１３に示された装置の形状は実際、最小限の形状で、工作物、特に切削処理
のための工具、または機械部品に磨耗保護層システムを布設するのに特に適して
いる。

【００７４】図１３の装置は分配室４０内に、図７および図８のように形成された四つの交
差機構往復アーム４５’を備える、中央軸Ｚの周りを回転可能な運搬ロボット４
３’を有する。工作物担体４７は、往復プレート２１およびパッキンプレート４
９と共に運搬され、設けられた室内へと納められ、あるいはそれらから引き戻さ
れる。供給ないしスルース室５３、前処理、特に加熱室５４、および少なくとも
一つの、図示された例では二つの、被覆室５６ａ、５６ｂが設けられる。処理サ
イクルは好ましくは、ω_zで示された方向へ進む。ここでも、図３ないし図５で既に説明されたような時間制御ユニット７３が設けられ、この装置の時間的に互
いに依存する操作を場合によっては自由なプログラミングで制御する。特に室５
６ａ、５６ｂでは工作物担体４７が、好ましくは、図２について説明されたよう
に、その上の工作物のための工作物受容部も、ω₅₆で示されたように回転する。

【００７５】図７から図１０について既にその原理が説明された装置に設けられる交差機構
駆動装置４５’の、二つの好ましい実施形態の一方が図１６および図１７に、他
方が図１８から図２０に示される。既に図７から図１０について説明された部材
については同じ参照符が用いられる。

【００７６】中央ロボット部４３_zには、それぞれ交差機構レバー配置４５”を介して、工作物担体４７が、それに対応するパッキンプレート４９とともに設けられる。図
１６から図２０の関連でまず注意を引くのは、交差機構レバー配置４５”の実現
および駆動である。したがって、それと関わりない装置部分についてはここでは
触れない。

【００７７】軸Ｚを中心に回転載置された、ロボット４３の中央部分４３_zには、一般に５０で示される室の数に応じて、交差機構レバー配置４５”が設けられる。概観を
得るため図１６ではこれらの配置の側面図のみが概略的に示されるが、図１７の
部分横断面図ではより詳細に示される。

【００７８】中央ロボット部分４３_zには、少なくとも二つの交差機構レバー配置に共有の、あるいは好ましくは、設けられたレバー配置のそれぞれについて個々に、例え
ば引張棒、または好ましくは軸駆動装置２３０を備える直線駆動装置が設けられ
る。

【００７９】第一の、図１７では好ましくは双方向レバーとして形成されたレバー２３２₁ は、図１６からわかるように、その上方端部が中央部分４３_zの２３４に旋回載置される。その下方端部は上／下走行ローラ２３７によって、好ましくは導かれ
て、パッキンプレート４９に接する。

【００８０】交差機構の第二のレバー２３２₂は先に述べられたレバー２３２₁の２３６に、
中央回転ベアリング２３６とそれぞれの端部ベアリングとの間における両レバー
２３２₁および２３２₂の脚部が同じ長さとなるように、旋回載置される。レバー
２３２₂の上方端部は２３８においてパッキンプレート４９に旋回載置され、その下方端部は、部分４３_zに沿って直線的に軸駆動装置２３０によって上下駆動されるキャリッジ２４２に、２４０において旋回載置される。

【００８１】駆動装置２４４に駆動されて、交差機構レバー配置４５”のためのそれぞれの
軸駆動装置２３０が選択的に動かされ、それにしたがってキャリッジ２４２が軸
Ｚの方向において直線的に上下する。回転ベアリング２３６とレバー２３２₁および２３２₂の端部ベアリング部分との間の脚部が同じ長さであるため、パッキンプレート４９は軸Ｚに対して確実に平行かつ直線的に繰り出され、あるいは引
き戻される。

【００８２】図１６には、パッキンプレート４９が完全に取り外され、引き戻された際のレ
バー２３２₁の位置が破線で示される。ローラ２３７ならびにベアリング２３６の軌道もさらに破線で示された。

【００８３】もう一つの駆動実現形態が図１９に概略的に示される。中央旋回ベアリング２３６を備える二等辺配置４５”の旋回ベアリング２３４
はここでも変位しないよう部材４３_zに配置される。それぞれの交差機構レバー配置４５”には、または複数の、あるいは全ての前記配置に共通して、好ましく
はラックまたはねじ棒２５０の形の直線駆動装置が設けられる。ラック２５０は
各々、クランク円板２５２がそれぞれ変位しないよう部材４３_zに回転載置された、対応するクランク円板２５２のかみ合いにそれぞれ係合する。クランク円板
２５２はそれぞれ伝動レバー２５４によって、レバー側では旋回ベアリング２５
６を介して、クランク円板側では同２５８を介して、それぞれのレバー２３２₂ と接続される。旋回ベアリング２４０は好ましくは、中央部材４３_zの滑車領域に沿って転がり下りる誘導ローラ２４６として形成される。ローラ２４６の浮揚
は、概略的に示されたように、例えば導溝２６０があるため起こり得ない。

【００８４】図１９の右側では室５０がパッキンプレート４９で閉ざされており、したがっ
て交差機構レバー配置４５”が繰り出した状態であるが、図１９の左側では同配
置が引き戻されており、室およびパッキンプレートは図示されていない。クラン
ク円板２５２には、交差機構レバー配置４５”が完全に引っ込められた位置と、
完全に繰り出した位置との間でそれが旋回する際の、それぞれの回転方向がΩで
記入されている。

【００８５】この交差機構レバー駆動装置の長所は特にその有利な駆動特性にある。すなわ
ち、それぞれの交差位置における歯車比が、図１６および図１７の実施形態にお
けるよりも、要求に応じてうまく調整される。これによって必要な駆動力を、し
たがってモーメントの負荷および伝達される力を大幅に削減することができ、駆
動装置２４４をより低コストで、場合によっては圧力シリンダとして実現するこ
とも可能となる。その場合には、制御コストが大幅に削減される。

【００８６】図１８には、図１６から図１９の交差機構レバー配置の動きが概略的に示され
る。この配置は、図１６の実施形態のようにキャリッジ２４２に、したがってベ
アリング２４０に作用する直線駆動装置によって駆動されるか、あるいはレバー
２３２₂の旋回角度に直接影響が及ぼされる図１９の駆動装置によって駆動されるが、どちらの場合においても中央部材４３_zにはベアリング２３４が変位しないよう配置される。ベアリング２４０は、図１６の実施形態のキャリッジ２４２
を介して駆動されようと、あるいは図１８のローラ２４６および滑車領域２４８
によっても示されたように、図１９の実施形態にしたがって惰力走行しようと、
いずれにせよ軸Ｚに平行して直線的に上下に変位される。

【００８７】図１９の実施形態においても、また図１６のそれにおいても、パッキンプレー
ト側のベアリング２３８は変位しないよう配置されるが、ベアリング２３７は上
下に変位する。

【００８８】図１８に一点鎖線で示されたパッキンプレート４９は軸Ｚに対して平行かつ直
線的に、内側または外側へ向けてＮの方向に移動することがわかる。

【００８９】中央分配室４０と、それに接続する室５０との圧力差があまりに大きく、約４
ｍｂａｒより大きい場合、これまでに説明されたパッキンプレート４９のための
駆動装置の他に、さらなるパッキン補強が設けられるのが好ましい。これについ
ては図２１を参照して説明される。

【００９０】このパッキン補強方法は、基板担体の構造ならびに選択された送り機構とは関
わりがなく、したがってその説明はこれらとは切り離して行われる。

【００９１】図２１には中央分配室４０の内壁４０ａの部分断面図が示される。これに、例
えばスルース室、被覆室、加熱室等の室５０がフランジを介して接合される。室
５０の供給開口部５０ａは、室５０の接続プレート２６２に設けられる。

【００９２】分配室には、軸２６５の周りを回転駆動されるように伝動レバー２６４が載置
される。双方向矢印Ｒで示されるように、レバー２６４は駆動されて行きつ戻り
つ旋回し得る。その軸２６５とは反対側の端部はベアリング２６８において、伝
動レバー２６６と関節状に接続される。好ましくは双方向レバーとして形成され
る伝動レバー２６６は、そのベアリング２６８とは反対側の端部２７０において
、もう一つのレバー２７２に旋回載置される。レバー２７２は、接続プレート２
６２に２７４において旋回載置される。

【００９３】レバー２６６と２７２との間の旋回軸２７１と同軸上に加圧ローラ２７６が設
けられる。

【００９４】パッキンプレート４９には曲線パッキンリング２７８が装着され、その曲面２
８０は、室４０に対して開口部５０ａを規定する平面Ｅ２６０に対して、かつレ
バー配置２６６／２７２を前提として、最大Ｄ_maxまで増加する距離を確定する。

【００９５】パッキンプレート４９が前記運搬技術によって、好ましくは開口部５０ａの周
りにあらかじめ設けられたパッキン２８２に付着すると、図２のレバー２６４が
軸２６５を介してモータ駆動され、時計の針の方向に旋回し、その結果加圧ロー
ラ２７６は、一点鎖線で示されたように曲面パッキンリング２７８の曲面２８０
上を駆動される。これは、平面Ｅ２６０に対する最大距離Ｄ_maxを過ぎる直後まで続く。これによって、１ｂａｒまでの差圧には密閉によって容易に耐える高密
閉度の加圧が、パッキンプレート４９と開口部５０ａの縁部との間において安定
的に保証される。ロール２７６がＤ_max領域を過ぎると、レバー２６４の駆動装置は停止し得る。

【００９６】しかしながら、特に磨耗および摩損の理由により、ローラ２７６はＤ_maxによって規定される死点を超えては駆動されないのが好ましい。この好ましい実施例
においては、駆動装置が軸２６５を介して永久に作用し、したがってパッキンプ
レート４９に必要なパッキン力を、能動的な永久伸張固定によって保証する。

【００９７】上に述べられた全ての装置形状を振り返りながら、室が一つの装置にも目を転
じると、図２１に示されたパッキン補強は、解除可能な任意のパッキンプレート
が、異なる圧力下で作動し、かつ少なくともその内の一つが真空室である二つの
室間の開口部に、高加圧であてがわれねばならない場合、常に利用可能である。

【００９８】磨耗保護層システムを布設するための最小限の形状において、この装置は以下
を含む。

【００９９】 ― 処理室５３ ― 工作物を加熱し、ガス消毒、ないし表面の汚れを分解し、かつ最後に以下
の室において必要な被覆温度を得るための前処理室５４室５４における加熱は、放射式過熱および／または、この室内で陽極電位にお
かれた工作物において発生するグロー放電またはアーク放電の電子流によって行
われ得る。

【０１００】さらに室５４における前処理は、例えば好ましくはスパッタエッチングによる
エッチング段階を含み得る。ここでは工作物表面が、好ましくはアーク吹き出し
点によって、アルゴンイオンまたは金属エッチングの際には金属イオンのイオン
放射に曝される。好ましいのはＡｒイオンによるイオンエッチングである。

【０１０１】これによって、工作物の金属表面の酸化物またはその他の汚染層が除去され、
以後の被覆の準備が整う。

【０１０２】前記最小形状に前処理室５４に続いて最後に、例えば図１３に室５６ａないし
５６ｂで示されたような、選択された被覆方法に必要な吹き出し点が含まれる。
室５６ｂで示されたように、ここでは吹き出し点５８ａないし５８ｂを用いて例
えば順番に次々と実施される被覆プロセス、かつ／またはエッチングプロセスが
間に挿み込まれた被覆プロセス等、複数の処理プロセスが実行され得る。特に工
作物電位を制御し、かつプロセス雰囲気内に流入する様々なガスＧの流入を、例
えば活性ガスの流入と純粋な不活性ガスの流入とを切り替えることによって制御
すると、同一処理室における例えばスパッタエッチングとスパッタ被覆との切り
替えが可能である。

【０１０３】時間制御ユニット７３は、あらかじめ備えられた吹き出し点および／または処
理ガスＧのためのガス供給管に例えば係合することによって、既に説明された装
置の運動の他にプロセスの進行も制御する。

【０１０４】図１３に示されたように複数の室が用いられる、この発明による装置のもう一
つの好ましい作動方法においては、供給室５３では分配室４０への装填および取
り出しが、加熱室５４では放射加熱による加熱のほかにエッチング段階も行われ
るが、それに対して図１３に５６ｂで示されたような多機能室ではさらなる処理
が行われる。すなわち、約５分間のＡｒまたは金属イオン照射による再度のエッ
チング、次に約２０分間のアーク吹き出し点による金属付着層、好ましくはマグ
ネトロン吹き出し点を用いたクロム付着層のスパッタ被覆または被覆、そして約
３０分間の第二のマグネトロン吹き出し点による炭化タングステンからなる中間
層のスパッタである。最後に第四の室では、炭化タングステンのスパッタと同時
にアセチレンを注入することによって機能層が実現される。この方法では、図１
３の回転方向ω_zを見ると、室５６ａと５６ｂとが逆になっている。

【０１０５】この発明の装置はとくに、ＰＶＤまたはプラズマＣＶＤ方による磨耗保護層の
析出に用いられる。

【０１０６】ここでは以下の磨耗層が布設されるのが好ましい。 ― 例えばＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＡｌＮ、ＣｒＮからなる硬質材料層、およ
び例えば前記材料の複数層からなる層システム ― 例えば水素含有炭素層および水素非含有炭素層、窒化炭素―炭化珪素層、
炭素―珪素−酸化物層、金属炭素層、炭化金属―炭素層、硫化金属層、等の摩擦
軽減層、および例えば前記材料よりなる多層システム。

【０１０７】ここで上記硬質材料層は好ましくは、ドリル刃やフライス等の細断工具、ない
し鋳型および父型のような変形工具に、５５０℃より低い温度で析出される。

【０１０８】それに対して摩擦軽減層は好ましくは、動力装置、伝動装置、ポンプの構成要
素のような精密部材に２５０℃より低い温度で析出されるが、好ましくはその下
の硬質材料層と組み合わされて、細断または変形工具にも利用される。

【０１０９】この発明の装置において、この発明にしたがって行われる被覆プロセスの例は
以下のとおりである。

【０１１０】 ― 炭化タングステン―炭素層を析出するための、炭化タングステンのスパッ
タリング、およびプロセス室へのアセチレンの同時注入 ― 水素含有炭素層を析出するための、ＨＦプラズマによるアセチレンの分解上記プラズマプロセスではまたパルスＤＣプラズマが利用され得る。

【０１１１】 ― 水素非含有炭素層を析出するための、黒鉛ターゲットの陰極アーク蒸化ここではアーク蒸化の際、レーザ融発とアーク蒸化が組み合わされるという意
味で、プラズマアークがレーザによって導かれ得る。

【０１１２】 ― 硬質材料層および摩擦軽減炭素層を析出するための、ＴｉＡｌＮ等の硬質
材料層の反応性陰極アーク蒸化、およびそれに続く、黒鉛ターゲットの陰極アー
ク蒸化による水素非含有炭素層の布設この発明の装置はその際、それぞれの処理室において例えば以下の処理が行わ
れる。

【０１１３】 ― 室１：基板の装填および取り出し、およびプロセス圧に下がるまでの排気 ― 室２：基板の前処理、すなわち、 ― ガス消毒、ないしその表面汚染物質の分解、および被覆温度の獲得のため
の工作物の加熱。加熱は放射加熱によって、またはプラズマ放電からの電子照射
によって行われ得るが、その際基板はプラズマに対して陽極として接続される。

【０１１４】 ― 表面エッチングのための、好ましくはアルゴンイオンまたは金属イオンに
よる工作物表面のイオン照射。エッチングの目的は、続いて布設される層が十分
に付着するように、酸化物またはその他の結合層を有しない工作物の金属表面を
生産することである。イオンはプラズマ放電によって得られる。

【０１１５】 ― 室３：工作物の被覆。この室は、選択された被覆方法に必要な吹き出し点を含む。磨
耗保護層の工作物への十分な付着を保証するために、場合によっては被覆プロセ
スの前にさらなるエッチング段階が設けられる。その場合、サイクル時間をより
短くすることによってこの発明の装置における処理量を増やすため、被覆プロセ
スの一部はもう一つの室４で行われ得る。その他には、室４は通風の前に基板を
冷却するために利用される。

【０１１６】この発明の装置はしたがって、少なくとも三つの処理室を含む。中央分配室の
工作物は室から室へ同期的に移動するか、あるいは中間室を介して個々に処理室
に分配される。

【０１１７】以下は、特に好ましい炭化タングステン―炭素層を析出する場合に、四室形状
のこの発明の装置を作動させるための、特に好ましい実施例である。ここでこの
発明の装置を作動させる際には基本的に、装置の同期サイクルを可能にし、それ
によって最適処理量を達成するために、各処理室における工作物の処理時間が基
本的に同じになるよう、個々の処理段階がそれぞれの処理室に割り振られるよう
、努められる。

【０１１８】室１：既に被覆された工作物の通風、取り出し、次の工作物バッチの装填、
および以下に記された圧力ｐ_Tまでの排気。１０^-6ｍｂａｒ≦ｐ_T≦５・１０^-2ｍｂａｒ、典型的にはｐ_T≒１０^-3ｍｂａｒこの圧力は、装置内を占める圧力に相当する。調整された圧力ｐ_Tは一般に、引渡しの際に基板が新しく入った基板によって、その他の室で汚染されないよう
、選択される。

【０１１９】この段階は３０分から６０分かかる。室２：１５分から３０分の放射式加熱による加熱、次にアルゴンプラズマま
たは金属イオンプラズマにおけるエッチング。ここで工作物の温度Ｔは以下に保
たれる。１５０℃≦Ｔ≦２５０℃ エッチング率は、工作物のバイアス電圧とイオン流に依存し、毎分５から５０
ｎｍである。エッチング段階はここでも１５から３０分である。

【０１２０】室３：好ましくは再びアルゴンイオンによる、５から１０分間のアルゴンま
たは金属イオンプラズマにおける再度のエッチング。その後、マグネトロン吹き
出し点による、厚さ０．１から１μｍのクロム付着層のスパッタ、ならびに第二
のマグネトロン吹き出し点による炭化タングステンからなる厚さ０．１から１μ
ｍの中間層のスパッタ。前記被覆段階はそれぞれ５分から３０分である。

【０１２１】室４：炭化タングステンのスパッタ、およびアセチレンの同時注入による機
能層の析出。厚さ１から５μｍの機能層が布設され、流量１５０ｓｃｃｍから５
００ｓｃｃｍのアセチレンが注入される。この段階は３０分から１００分である
。

【０１２２】上述のように、個々の段階の長さは好ましくは、各室における工作物の処理時
間が基本的には同じになるように、すなわち例えば四室のそれぞれにおいて約５
０分となるように、互いに調整されるのが好ましい。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の装置において用いられる工作物担体の第一の実施形態
の概略図である。

【図２】この発明の装置において好んで用いられる工作物担体の第二の型
の、図１と同様の図である。

【図３】この発明の装置の第一の実施形態の概略縦断面図である。

【図４】図３の装置の線ＩＶ−ＩＶに沿った横断面図である。

【図５】この発明の装置のもう一つの実施例の構造を概略的に示す、図３
と同様の図である。

【図６】図５の装置のＶＩ−ＶＩに沿った、図４と同様の図である。

【図７】処理室に工作物担体が挿入された、この発明の装置のもう一つの
実施形態の部分縦断面図である。

【図８】工作物担体が分配室内に引き戻された状態の装置の、図７と同様
の図である。

【図９】図７および図８に示された原理に従って構成された、四室装置の
断面図である。

【図１０】この発明による五室装置の、図９と同様の図である。

【図１１】この発明によるさらなる装置の概略縦断面図である。

【図１２】図１１の装置の線ＸＩ−ＸＩに沿った横断面図である。

【図１３】基本的には図７から図１０と同様の構造の、この発明による装
置のさらなる実施形態の縦断面図である。

【図１４】この発明において利用される工作物担体のもう一つの好ましい
実施形態の、部分的に簡素化された透視図である。

【図１５】処理室と、その中に処理のために挿入された工作物担体との間
の機械および／または電気信号のための、好ましい連結装置の概略図である。

【図１６】工作物担体のための交差機構運搬駆動装置を備える、この発明
による装置の好ましい一実施形態の、部分的に簡素化された図７と同様の概略図
である。

【図１７】図１６の装置の部分断面上面図である。

【図１８】分配室にある工作物担体のための交差機構駆動装置の、もう一
つの好ましい実施形態の原理を示す概略図である。

【図１９】図１８の原理を前提とした、図１８の交差機構駆動装置を備え
るこの発明の装置のさらに簡略化された、図７と同様の部分概略図である。

【図２０】図１９と同様の構造を有する装置の、図１７と同様の部分断面
図である。

【図２１】プロセス中、開口部にあてがわれるパッキンプレートのあらか
じめ定められたパッキン加圧を補強するための伸展機構の実現を示す、開口部を
介して連結される二つの真空装置室の部分断面図である。

【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書

【提出日】平成１２年３月２８日（２０００．３．２８）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【請求項３】前記少なくとも一つの処理室に、蒸気の粒子を周囲雰囲気内
に遊離する吹き出し点が設けられることを特徴とし、遊離された材料が以下の材
料、すなわち、 ― 少なくともＴｉ、Ｗ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｍｏのグループからなる金属または合
金 ― Ｓｉ、Ｃ ― 前記金属ないし合金の酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物、酸炭化物、酸
窒化炭素、硫化物のうちの少なくとも一つを含む、請求項１または２のいずれかに記載の装置。

【請求項４】処理室が以下の吹き出し点、すなわち、 ― 熱蒸化吹き出し点 ― 陰極アーク蒸化吹き出し点 ― スパッタ吹き出し点、好ましくはマグネトロン吹き出し点 ― ＰＥＣＶＤのためのプラズマ吹き出し点のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする、請求項３に記載の装置。

【請求項５】少なくとも一つの処理室が、ＰＶＤ処理および／またはＰＥ
ＣＶＤのための室であることを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の
装置。

【請求項６】前記少なくとも二つの処理室のうち他方が加熱室であること
を特徴とする、請求項１から５のいずれかに記載の装置。

【請求項７】前記少なくとも二つの処理室のうち他方がエッチング室であ
ることを特徴とする、請求項１から６のいずれかに記載の装置。

【請求項８】前記少なくとも二つの処理室のうち他方がエッチングおよび
加熱室であり、かつ加熱およびエッチング作動の順序を制御する時間制御ユニッ
トが前記エッチングおよび加熱室と作用接続されることを特徴とする、請求項１
から７のいずれかに記載の装置。

【請求項９】時間制御ユニットと作用接続された、少なくとも一つの処理
室が様々な工作物処理用に設計されており、前記ユニットは前記処理室における
さまざまな処理の時間順序を制御する、請求項１から８のいずれかに記載の装置
。

【請求項１０】少なくとも、運搬配置のための駆動装置および／または駆
動接続と、前記少なくとも一つの処理室の駆動装置と作用接続され、運搬サイク
ルおよび処理サイクルの順序を制御する時間制御ユニットが設けられることを特
徴とする、請求項１から９のいずれかに記載の装置。

【請求項１１】工作物が室に留まる時間が基本的に同じであるように、前
記時間制御ユニットが装置を制御することを特徴とする、請求項１０に記載の装
置。

【請求項１２】密封しながら開口部と作用接続し得るパッキン配置を、場
合によっては運搬配置の動きに関わりなく制御可能なように、運搬配置に有することを特徴とする、請求項１から１１のいずれかに記載の装置。

【請求項１３】工作物受容部への駆動接続が、駆動装置と工作物担体との
間の駆動接続を含むことを特徴とする、請求項１から１２のいずれかに記載の装置。

【請求項１４】前記駆動接続がさらに、工作物担体において移動可能なよ
うに載置された工作物受容部に作用することを特徴とする、請求項１３に記載の
装置。

【請求項１５】分配室の運搬配置が中央軸の周りを回転運動し、かつそれ
ぞれの工作物担体につき、前記中央軸に対して放射状に動く受容配置を少なくと
も一つ有することを特徴とする、請求項１から１４のいずれかに記載の装置。

【請求項１６】少なくとも処理材料運搬配置駆動装置と、前記少なくとも
一つの処理室の駆動装置と、さらにスルース弁駆動装置と作用接続される、好ま
しくは自由にプログラミング可能な時間制御ユニットを有することを特徴とする
、請求項１から１５のいずれかに記載の装置。

【請求項１７】開口部のためのパッキン配置が、それぞれ工作物担体と接
続されて、一体となることを特徴とする、請求項１から１６のいずれかに記載の
装置。

【請求項１８】室の内部に突き出す処理室円錐台歯車（２０７）を前記処
理室（５３，５５，５９，６５，６７）のうちの少なくとも一つに有し、かつ突
出した工作物担体円錐台歯車（２１１）を工作物担体（１，２０，４７，２０５
）が有することを特徴とし、工作部物担体が処理室内において加工位置につくと
、処理室円錐台歯車と工作物担体円錐台歯車との正面、好ましくは小さい方の正
面の少なくとも一つが重なる、請求項１から１７のいずれかに記載の装置。

【請求項１９】円錐台歯車の一つが工作物担体および／または処理室側（
２０７）において軸方向に弾性を有するよう（２０９）載置されることを特徴と
する、請求項１８に記載の装置。

【請求項２０】工作物担体側の円錐台歯車（２１１）が工作物担体の工作
物受容部と回転駆動連結され、かつ工作物担体（２０５）が処理位置にあると、
室側のモータ回転駆動装置（２１３，２１３’）が、工作物担体側の円錐台歯車
（２１１）と連結されることを特徴とする、請求項１８または１９のいずれかに
記載の装置。

【請求項２１】工作物担体側の円錐台歯車（２１１）への室側の回転駆動
（２１３）が、室側の円錐台歯車（２０７）を介して、あるいは室側の円錐台歯
車とは関わりなく作用する駆動装置（２１３’）を介して行われることを特徴と
する、請求項１８から２０のいずれかに記載の装置。

【請求項２２】室側の円錐台歯車（２０７）ならびに工作物担体側の円錐
台歯車（２１１）が少なくともその小さな円錐台正面において電気伝導性であり
、かつ工作物担体側の円錐台歯車（２１１）の電気伝導性表面は工作物受容部と
電気伝導（５’_el）接続し、室側の円錐台歯車（２０７）の小さな電気伝導性正
面は好ましくは調整可能な電源と接続されることを特徴とする、請求項１８から２１のいずれかに記載の装置。

【請求項２３】旋回ベアリング（２３６）からそれぞれのレバー端部ベア
リングまでのレバーアームの長さが同じであるように、互いに中央において旋回
載置（２３６）された一対のレバー配置（２３２₁，２３２₂）を備える交差機構
（４５’）をそれぞれ一つ、分配室（４０）内の運搬配置（４３）がそれぞれ個
々の工作物担体（１，２０，４７，２０５）について有することを特徴とする、
請求項１から２２のいずれかに記載の装置。

【請求項２４】前記交差機構（４５’）の端部レバー旋回ベアリング（２
３４，２４０）の少なくとも一つが、運搬配置の中央配置（４３_z）に直線的に変位するよう載置され、かつ前記交差機構駆動装置が、直線的に移動するよう載
置された前記少なくとも一つの端部ベアリング（２３４，２４０）のための直線
駆動装置（２３０）、または旋回駆動装置を含み、好ましくは、カム円板（２５２）およびレバー（２５４）を介して前記交差機構レバー（２３２₁，２３２₂）
の一つに作用する駆動装置を含むことを特徴とする、請求項２３に記載の装置。

【請求項２５】室間を接続する開口部のために、一体となるよう接続され
るパッキンプレートを備える工作物担体（１，２０，４７，２０５）を有し、さ
らに、開口部に当てられたパッキンプレート（４９）に係合し、運搬配置とは関
わりなく作動可能な伸展装置（２７６，２７８）が開口部の少なくとも一つに設
けられることを特徴とする、請求項１から２４のいずれかに記載の装置。

【請求項２６】前記伸展配置が室側またはパッキンプレート側にモータで
変位するローラ配置（２７６）を、ならびにパッキンプレート側または室側に曲
面プレート（２７８）を含み、かつ前記ローラ配置が、パッキンプレート（４９
）と開口部縁部との間においてパッキン加圧を提供または解除するために、曲面
プレート（２７８）の曲面路（２８０）と作用接続することを特徴とする、請求
項２５に記載の装置。

【請求項２７】真空処理室と、室内で処理されるべき工作物を備える工作
物担体との間における電気および／または機械連結配置であって、工作物担体が
処理位置にあると、その小さな正面が室内において互いに重なり、室から工作物
担体への機械的駆動接続および／または電気伝動接続を成立させる、室側の円錐
台歯車（２０７）と工作物担体側の円錐台歯車（２１１）とを含むことを特徴と
する、配置。

【請求項２８】ガス貯蔵装置が、 ― 窒素 ― 水素 ― 炭素含有ガス ― 珪素含有ガスのうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする、請求項２に記載の装置を含むシステム。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＢＲ，ＣＡ，ＣＮ，ＪＰ，ＫＲ，ＭＸ，ＵＳ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも、 ― 基本的に一平面に沿って制御されて駆動される処理材料運搬配置を備える
排気可能な中央分配室と、 ― 分配室のための少なくとも一つの供給室と、ならびに処理材料のための少
なくとも二つの処理室とを備え、前記少なくとも三つの室は供給開口部を介して
前記分配室と連絡し、処理材料は前記開口部を通して室から室へと処理材料運搬
配置によって運搬可能である、真空被覆装置であって、 ― 前記処理材料は、それぞれに複数の工作物受容部を備える、前記装置の個
々の工作物担体によって形成され、かつ ― 前記処理室における工作物の三次元処理を保証するために、前記処理室の
少なくとも一つには駆動装置が設けられ、前記駆動装置と、処理室ステーション
に供給された工作物担体の工作物受容部との間には、制御による設定および解除
が可能な駆動接続が設けられることを特徴とする、装置。
【請求項２】前記少なくとも一つの処理室は被覆室であり、かつＰＶＤま
たはＰＥＣＶＤによって層を析出させるための吹き出し点を好ましくは少なくと
も一つ含み、さらに、活性ガスを有するガス貯蔵装置と接続された流入部を好ま
しくは少なくとも一つ有することを特徴とする、請求項１に記載の被覆装置。
【請求項３】ガス貯蔵装置が、 ― 窒素 ― 水素 ― 炭素含有ガス ― 珪素含有ガスのうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする、請求項２に記載の装置。
【請求項４】前記少なくとも一つの処理室に、蒸気の粒子を周囲雰囲気内
に遊離する吹き出し点が設けられることを特徴とし、遊離された材料が以下の材
料、すなわち、 ― 少なくともＴｉ、Ｗ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｍｏのグループからなる金属または合
金 ― Ｓｉ、Ｃ ― 前記金属ないし合金の酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物、酸炭化物、酸
窒化炭素、硫化物のうちの少なくとも一つを含む、請求項１から３のいずれかに記載の装置。
【請求項５】処理室が以下の吹き出し点、すなわち、 ― 熱蒸化吹き出し点 ― 陰極アーク蒸化吹き出し点 ― スパッタ吹き出し点、好ましくはマグネトロン吹き出し点 ― ＰＥＣＶＤのためのプラズマ吹き出し点のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする、請求項４に記載の装置。
【請求項６】少なくとも一つの処理室が、ＰＶＤ処理および／またはＰＥ
ＣＶＤのための室であることを特徴とする、請求項１から５のいずれかに記載の
装置。
【請求項７】前記少なくとも二つの処理室のうち他方が加熱室であること
を特徴とする、請求項１から６のいずれかに記載の装置。
【請求項８】前記少なくとも二つの処理室のうち他方がエッチング室であ
ることを特徴とする、請求項１から７のいずれかに記載の装置。
【請求項９】前記少なくとも二つの処理室のうち他方がエッチングおよび
加熱室であり、かつ加熱およびエッチング作動の順序を制御する時間制御ユニッ
トが前記エッチングおよび加熱室と作用接続されることを特徴とする、請求項１
から８のいずれかに記載の装置。
【請求項１０】時間制御ユニットと作用接続された、少なくとも一つの処
理室が様々な工作物処理用に設計されており、前記ユニットは前記処理室におけ
るさまざまな処理の時間順序を制御する、請求項１から９のいずれかに記載の装
置。
【請求項１１】少なくとも、処理材料運搬配置のための駆動装置および／
または駆動接続と、前記少なくとも一つの処理室の駆動装置と作用接続され、運
搬サイクルおよび処理サイクルの順序を制御する時間制御ユニットが設けられる
ことを特徴とする、請求項１から１０のいずれかに記載の装置。
【請求項１２】処理材料が室に留まる時間が基本的に同じであるように、
前記時間制御ユニットが装置を制御することを特徴とする、請求項１１に記載の
装置。
【請求項１３】密封しながら開口部と作用接続し得るパッキン配置が、場
合によっては処理材料運搬配置の動きに関わりなく制御可能なように、処理材料
運搬配置に設けられることを特徴とする、請求項１から１２のいずれかに記載の
装置。
【請求項１４】工作物受容部への駆動接続が、駆動装置と工作物担体との
間の駆動接続を含むことを特徴とする、請求項１から１３のいずれかに記載の配
置。
【請求項１５】前記駆動接続がさらに、工作物担体において移動可能なよ
うに載置された工作物受容部に作用することを特徴とする、請求項１４に記載の
装置。
【請求項１６】分配室の処理材料運搬配置が中央軸の周りを回転運動し、
かつそれぞれの工作物担体につき、前記中央軸に対して放射状に動く受容配置を
少なくとも一つ有することを特徴とする、請求項１から１５のいずれかに記載の
装置。
【請求項１７】少なくとも処理材料運搬配置駆動装置と、前記少なくとも
一つの処理室の駆動装置と、さらにスルース弁駆動装置と作用接続される、好ま
しくは自由にプログラミング可能な時間制御ユニットが設けられることを特徴と
する、請求項１から１６のいずれかに記載の装置。
【請求項１８】開口部のためのパッキン配置が、それぞれ工作物担体と接
続されて、一体となることを特徴とする、請求項１から１７のいずれかに記載の
装置。
【請求項１９】室の内部に突き出す処理室円錐台歯車（２０７）が前記処
理室（５３，５５，５９，６５，６７）のうちの少なくとも一つに設けられ、か
つ突出した工作物担体円錐台歯車（２１１）を工作物担体（１，２０，４７，２
０５）が有することを特徴とし、工作部物担体が処理室内において加工位置につ
くと、処理室円錐台歯車と工作物担体円錐台歯車との正面、好ましくは小さい方
の正面の少なくとも一つが重なる、請求項１から１８のいずれかに記載の装置。
【請求項２０】円錐台歯車の一つが工作物担体および／または処理室側（
２０７）において軸方向に弾性を有するよう（２０９）載置されることを特徴と
する、請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】工作物担体側の円錐台歯車（２１１）が工作物担体の工作
物受容部と回転駆動連結され、かつ工作物担体（２０５）が処理位置にあると、
室側のモータ回転駆動装置（２１３，２１３’）が、工作物担体側の円錐台歯車
（２１１）と連結されることを特徴とする、請求項１９または２０のいずれかに
記載の装置。
【請求項２２】工作物担体側の円錐台歯車（２１１）への室側の回転駆動
（２１３）が、室側の円錐台歯車（２０７）を介して、あるいは室側の円錐台歯
車とは関わりなく作用する駆動装置（２１３’）を介して行われることを特徴と
する、請求項１９から２１のいずれかに記載の装置。
【請求項２３】室側の円錐台歯車（２０７）ならびに工作物担体側の円錐
台歯車（２１１）が少なくともその小さな円錐台正面において電気伝導性であり
、かつ工作物担体側の円錐台歯車（２１１）の電気伝導性表面は工作物受容部と
電気伝導（５’_el）接続し、室側の円錐台歯車（２０７）の小さな電気伝導性正
面は好ましくは調整可能な電源と接続されることを特徴とする、請求項１９から
２２のいずれかに記載の装置。
【請求項２４】真空処理室と、室内で処理されるべき工作物を備える工作
物担体との間における電気および／または機械連結配置であって、工作物担体が
処理位置にあると、その小さな正面が室内において互いに重なり、室から工作物
担体への機械的駆動接続および／または電気伝動接続を成立させる、室側の円錐
台歯車（２０７）と工作物担体側の円錐台歯車（２１１）とを含むことを特徴と
する、配置。
【請求項２５】旋回ベアリング（２３６）からそれぞれのレバー端部ベア
リングまでのレバーアームの長さが同じであるように、互いに中央において旋回
載置（２３６）された一対のレバー配置（２３２₁，２３２₂）を備える交差機構
（４５’）をそれぞれ一つ、分配室（４０）内の処理材料運搬配置（４３）がそ
れぞれ個々の工作物担体（１，２０，４７，２０５）について有することを特徴
とする、請求項１から２３のいずれかに記載の装置。
【請求項２６】前記交差機構（４５’）の端部レバー旋回ベアリング（２
３４，２４０）の少なくとも一つが、運搬配置の中央配置（４３_z）に直線的に変位するよう載置され、かつ前記交差機構駆動装置が、直線的に移動するよう載
置された前記少なくとも一つの端部ベアリング（２３４，２４０）のための直線
駆動装置（２３０）、または旋回駆動装置を含み、好ましくは、カム円板（２５
２）およびレバー（２５４）を介して前記交差機構レバー（２３２₁，２３２₂）
の一つに作用する駆動装置を含むことを特徴とする、請求項２５に記載の装置。
【請求項２７】室間を接続する開口部のために、一体となるよう接続され
るパッキンプレートを備える工作物担体（１，２０，４７，２０５）が設けられ
、さらに、開口部に当てられたパッキンプレート（４９）に係合し、運搬配置と
は関わりなく作動可能な伸展装置（２７６，２７８）が開口部の少なくとも一つ
に設けられることを特徴とする、請求項１から２６のいずれかに記載の装置。
【請求項２８】前記伸展配置が室側またはパッキンプレート側にモータで
変位するローラ配置（２７６）を、ならびにパッキンプレート側または室側に曲
面プレート（２７８）を含み、かつ前記ローラ配置が、パッキンプレート（４９
）と開口部縁部との間においてパッキン加圧を提供または解除するために、曲面
プレート（２７８）の曲面路（２８０）と作用接続することを特徴とする、請求
項２７に記載の装置。
【請求項２９】工作物の連続輸送または処理のための開口部を少なくとも
一つ備える真空処理装置であって、開口部に対して駆動されて移動するパッキン
プレート（４９）が設けられ、さらに前記パッキンプレートおよび開口部縁部の
あらかじめ定めされたパッキン加圧を提供ないし解除するためのモータ駆動装置
を備える伸展装置が開口部領域に装着されることを特徴とする、装置。
【請求項３０】前記伸展装置が室側またはパッキンプレート側にローラ配
置を、さらにパッキンプレート側または室側に曲面円板配置を有し、かつ前記ロ
ーラ配置がモータ駆動によって前記曲面円板の曲面上を転がることによって前記
加圧が提供ないし解除されることを特徴とする、請求項２９に記載の装置。