CN102234767B - 镀膜装置及镀膜方法 - Google Patents

Abstract

一种镀膜装置，其包括过渡腔体、镀膜腔体、阀门、多个料杆、第一料架、第二料架以及料杆转移装置。所述料杆转移装置设置于过渡腔体内。所述阀门连接于所述过渡腔体和镀膜腔体之间，用于在开启时连通过渡腔体和镀膜腔体，并用于在关闭时隔离过渡腔体和镀膜腔体。所述第一料架和第二料架均用于设置所述多个料杆。所述料杆转移装置包括驱动机构、夹爪及挡板。所述夹爪用于将所述多个料杆自所述第一料架一一转移至第二料架，或者用于将所述多个料杆自所述第二料架一一转移至第一料架。所述挡板设置于所述驱动机构，并靠近所述夹爪，所述挡板用于将转移过程中从料杆上脱落的工件从所述阀门处移除。本技术方案还提供一种镀膜方法。

Description

镀膜装置及镀膜方法

技术领域

本发明涉及镀膜领域，尤其涉及一种可保护镀膜靶材、提高镀膜效率的镀膜装置及使用该镀膜装置的镀膜方法。

背景技术

镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。镀膜技术是利用物理、化学手段在固体表面涂覆一层特殊性能的薄膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁或绝缘等许多优越性能，从而达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。溅镀是镀膜技术中的一种，其利用辉光放电产生的离子去撞击靶材，将靶材内的原子撞出而沉积在基材上。由于溅镀具有极佳的沉积效率、大尺寸的沉积厚度控制、精确的成份控制及较低的制造成本等优点，因此在工业上的应用非常广泛。

现在为提高电子产品表面的耐磨性、光泽度等性能，在其表面溅镀形成具有高金属质感与各种色彩艳丽饱满效果的多层膜已日渐普及。通常经由溅镀方式在电子产品外壳等元件上形成膜层包括以下步骤：首先，将待镀的元件装载在工作腔内并对该工作腔进行抽真空；其次，对工作腔内的待镀元件进行预热；再次，通过溅镀在待镀元件表面形成膜层；最后，打开工作腔门，将形成有膜层的元件取出。当取出形成有膜层的元件时，工作腔内的真空环境被破坏，位于工作腔内的靶材可能接触到空气而被氧化。此外，在对下一批的元件进行镀膜时，还需要再一次地对工作腔抽真空，才可继续进行后续的预热及溅镀的工序。如此，在多批次的生产过程中，不仅需要多次进行抽真空，导致生产效率低，还可能损坏镀膜靶材，不利于提高镀膜质量。

发明内容

因此，有必要提供一种镀膜装置及镀膜方法，以保护镀膜靶材、提高镀膜效率。

一种镀膜装置，其包括过渡腔体、镀膜腔体、阀门、多个料杆、第一料架、第二料架以及料杆转移装置。所述多个料杆用于设置多个工件。所述第一料架和料杆转移装置设置于过渡腔体内。所述第二料架设置于镀膜腔体内。所述阀门连接于所述过渡腔体和镀膜腔体之间，用于在开启时连通过渡腔体和镀膜腔体，并用于在关闭时隔离过渡腔体和镀膜腔体。所述第一料架和第二料架均用于设置多个料杆。所述料杆转移装置包括驱动机构、夹爪及挡板。所述夹爪用于在驱动机构驱动下，在过渡腔体和镀膜腔体连通时将所述多个料杆自所述第一料架一一转移至第二料架，或者用于将所述多个料杆自所述第二料架一一转移至第一料架。所述挡板设置于所述驱动机构并靠近所述夹爪，用于将转移过程中从料杆上脱落的工件从所述阀门处移除。

一种使用如上所述的镀膜装置的镀膜方法，包括步骤：提供多个待镀膜的工件和如上所述的镀膜装置，将所述多个工件固设于所述多根料杆；将固设有多个工件的多根料杆设置于所述第一料架，并对过渡腔体进行预热；开启阀门，通过料杆转移装置将过渡腔体内完成预热的多个料杆一一转移至镀膜腔体内的第二料架，从而使多个工件位于镀膜腔体；关闭阀门，对镀膜腔体内的多个工件进行镀膜；再次开启阀门，通过料杆转移装置将镀膜腔体内的多个料杆一一转移至过渡腔体内的第一料架。

本技术方案提供的镀膜装置具有过渡腔体和镀膜腔体，并通过阀门连通于过渡腔体和镀膜腔体之间。其中，过渡腔体用于预热工件，镀膜腔体仅用于镀膜。使用本技术方案的镀膜装置进行镀膜时，具有以下优势：首先，工件在过渡腔体内预热完成后可直接送入镀膜腔体内进行镀膜，省去了等待预热或等待抽真空的时间，提高镀膜效率。其次，在镀膜完成后，工件从镀膜腔体送入过渡腔体，关闭阀门，再从过渡腔体取出工件，可避免镀膜腔体接触外界环境，从而避免镀膜腔体内的镀膜靶材被损坏。再次，当有工件从料杆上脱落时，由于挡板的存在，工件不会落入阀门处，使得阀门得以正常运作，而不必人工去除该工件，避免破坏过渡腔体或镀膜腔体的真空环境，省去了再次抽真空的过程。

附图说明

图1是本技术方案实施例提供的镀膜装置的结构示意图。

图2是本技术方案实施例提供的镀膜装置的料杆的立体结构示意图。

图3是图1中III部分的放大图。

图4是图1中IV部分的放大图。

图5是将一个待镀膜的工件设置于料杆的示意图。

图6是将料杆转移至镀膜腔体的分解示意图。

图7是将料杆转移至镀膜腔体的示意图。

主要元件符号说明

镀膜装置 10

过渡腔体 11

第一开口 111

镀膜腔体 12

第二开口 121

阀门     13

密封壳体 130

移动插板 131

连通开口 132

料杆     14

承靠部   140

杆体     141

卡销     142

承载盘   143

第一料架 15

第一顶板     150

第一支撑杆   151

第一底板     152

上表面       153

下表面       154

内侧面       155

外侧面       156

第一承载槽   157

第一放置座   158

第一放置孔   159

第一导向槽   1590

第二料架     16

第二顶板     160

第二支撑杆   161

第二底板     162

第二承载孔   167

料杆转移装置 17

驱动机构     170

夹爪         171

挡板         172

驱动器     173

输出轴     174

抽真空装置 18

导管       180

工件       20

具体实施方式

下面将结合附图及实施例，对本技术方案提供的镀膜装置作进一步的详细说明。

请一并参阅图1至图4，本技术方案提供一种镀膜装置10，其包括过渡腔体11、镀膜腔体12、阀门13、多个料杆14、第一料架15、第二料架16及料杆转移装置17。

所述过渡腔体11可为圆筒形，其包括依次相连接的顶壁、侧壁和底壁。所述侧壁上开设有第一开口111。本实施例中，所述过渡腔体11为透明材质。

所述镀膜腔体12与所述过渡腔体11相邻设置。所述镀膜腔体12也为圆筒形，其也包括依次相连接的顶壁、侧壁和底壁。所述侧壁上开设有第二开口121。所述第二开口121靠近所述第一开口111。本实施例中，所述镀膜腔体12也为透明材质。

所述阀门13连接于所述过渡腔体11的第一开口111和镀膜腔体12的第二开口121之间，用于在开启时连通过渡腔体11和镀膜腔体12，并用于在关闭时隔离过渡腔体11和镀膜腔体12。本实施例中，所述阀门13为插板阀，其包括密封壳体130和移动插板131。所述密封壳体130用于连通所述过渡腔体11和镀膜腔体12，并使所述过渡腔体11和镀膜腔体12与外界隔离开。所述密封壳体130具有连通于过渡腔体11的第一开口111和镀膜腔体12的第二开口121之间的连通开口132。所述移动插板131可相对于所述密封壳体130移动，以开放或封闭所述连通开口132。

每个料杆14均包括如图2所示的承靠部140、杆体141、卡销142和多个承载盘143。所述杆体141大致为圆柱体形，其一端设置有所述承靠部140，另一端设置有卡销142。所述承靠部140的横截面可为圆形，其基本与杆体141同轴连接。所述卡销142与所述杆体141基本垂直，即，卡销142的中心轴线与杆体141的中心轴线基本垂直。所述多个承载盘143彼此间隔地套设于所述杆体141上，且均位于所述承靠部140和卡销142之间。每个承载盘143均用于承载多个工件，从而每个料杆14均可以承载多个工件进行镀膜。

所述第一料架15可转动地设置于所述过渡腔体11内，用于设置多个料杆14。所述第一料架15包括一个第一顶板150、多个第一支撑杆151和一个第一底板152。所述第一底板152与所述第一顶板150相对设置。所述多个第一支撑杆151垂直连接于所述第一顶板150和第一底板152之间。所述第一顶板150用于与所述多根料杆14的承靠部140对应配合。所述第一底板152用于与所述多根料杆14的卡销142对应配合，从而将所述多根料杆14设置于所述第一顶板150和第一底板152之间。本实施例中，所述第一料架15的中心轴线与所述过渡腔体11的中心轴线重合，所述第一料架15可在过渡腔体11内绕自身的中心轴线转动。本实施例中，所述第一支撑杆151的数量为四个。所述第一顶板150可为圆环形板体，其包括圆环形的上表面153、圆环形的下表面154以及连接于所述上表面153和下表面154之间的内侧面155和外侧面156。所述内侧面155靠近所述第一顶板150中心，外侧面156远离所述第一顶板150中心。所述第一顶板150开设有多个用于设置料杆14一端的第一承载槽157。所述多个第一承载槽157环绕所述第一顶板150的中心等角度分布。每一第一承载槽157均为自所述外侧面156向所述内侧面155方向开设的盲槽，其横截面为弓形。所述第一承载槽157在靠近所述外侧面156处的宽度略大于料杆14的杆体141的直径，从而料杆14的杆体141可自靠近所述外侧面156的一侧卡入所述第一承载槽157。所述第一承载槽157的直径小于料杆14的承靠部140的直径，从而可使料杆14的承靠部140承靠于第一顶板150的上表面153。如此则可将所述料杆14悬挂于所述第一料架15。所述第一底板152也为圆环形板体，其横截面积略大于所述第一顶板150的横截面积。所述第一底板152具有与所述多个第一承载槽157一一对应的多个第一放置座158。每一第一放置座158均可绕自身轴线转动。每一第一放置座158均为圆柱体形，其包括相连接的顶面、侧面和底面。每一第一放置座158均开设有相连通的第一放置孔159和第一导向槽1590。所述第一放置孔159为自第一放置座158顶面的中心向底面方向开设的圆柱形的盲孔。所述第一放置孔159的形状与料杆14的杆体141形状相匹配。所述第一导向槽1590为自所述第一放置座158侧面向所述第一放置座158中心轴线方向开设的长条形槽。所述第一导向槽1590沿平行于所述过渡腔体11中心轴线方向开设。所述第一导向槽1590用于与所述料杆14的卡销142相卡合，使得所述料杆14可在所述第一放置座158转动时也随之转动。

所述第二料架16可转动地设置于所述镀膜腔体12内，用于设置多个料杆14以使得料杆14上的工件在所述镀膜腔体12内进行镀膜。所述第二料架16与所述第一料架15的结构相同，也具有一个第二顶板160、多个第二支撑杆161和一个第二底板162。所述第二底板162与所述第二顶板160相对设置。所述多个第二支撑杆161垂直连接于所述第二顶板160和第二底板162之间。本实施例中，所述第二料架16的中心轴线与所述镀膜腔体12的中心轴线重合，所述第二料架16可在镀膜腔体12内绕自身的中心轴线转动。所述第二顶板160具有多个用于设置料杆14一端的第二承载孔167。所述第二底板162也具有多个第二放置座。每一第二放置座也开设有相连通的第二放置孔和第二导向槽。

所述料杆转移装置17包括驱动机构170、夹爪171及挡板172。所述驱动机构170包括机械连接的驱动器173及输出轴174。所述夹爪171机械连接于所述输出轴174。本实施例中，所述料杆转移装置17的驱动器173设置于所述过渡腔体11内，且位于所述过渡腔体11的中心处。所述夹爪171正对所述过渡腔体11的第一开口111，从而也与所述阀门13的连通开口132相对。所述夹爪171用于在驱动机构170的驱动下，在过渡腔体11和镀膜腔体12连通时将所述多个料杆14自所述第一料架15一一转移至第二料架16，或者用于将所述多个料杆14自所述第二料架16一一转移至第一料架15。所述夹爪171具有第一爪、第二爪、驱动元件和弹性体。所述第一爪和第二爪相对设置的，且共同构成一个夹持空间。所述弹性体位于所述夹持空间内。当所述夹持空间有其他物体，如料杆14时，驱动元件驱动所述弹性体发生形变，从而将料杆14夹持于所述第一爪和第二爪之间。所述挡板172设置于所述驱动机构170并靠近所述夹爪171，用于将转移过程中从料杆14上脱落的工件从所述阀门13处移除。所述挡板172优选为不锈钢材质。具体地，所述挡板172套设于所述输出轴174上靠近所述夹爪171处，且靠近所述过渡腔体11的底壁。如此，当转移过程中有工件从料杆14上脱落，该工件经过挡板172时与所述挡板172发生碰撞，从而被挡入过渡腔体11或镀膜腔体12内，而不会滞留于所述阀门13的连通开口132处阻碍阀门13的关闭。优选地，所述挡板172沿所述过渡腔体11中心和镀膜腔体12中心的连线方向的长度大于所述移动插板131的厚度，以确保工件不会落入所述连通开口132内。当然，所述挡板172还可以为球体、三棱锥、四棱锥或其他不规则形状。优选地，其靠近所述过渡腔体11或镀膜腔体12的顶壁处的横截面积小于靠近底壁处的横截面积，如此，可助于将从料杆14上脱落的工件导引至所述过渡腔体11或镀膜腔体12内。当然，所述料杆转移装置17还可以置于所述镀膜腔体12内，所述夹爪171正对第二开口121。

当需要将第一料架15上正对第一开口111的一个料杆14转移到第二料架16时，可采取以下顺序：所述夹爪171在驱动器173的带动下沿垂直于所述过渡腔体11中心轴线方向向靠近第一开口111处移动以夹取该料杆14，然后沿所述过渡腔体11中心轴线方向移动以使料杆14脱离第一放置孔159，再继续沿垂直于所述过渡腔体11中心轴线方向移动以使料杆14脱离第一承载槽157并通过所述阀门13的连通开口132进入镀膜腔体12。此时，可通过转动镀膜腔体12内的第二料架16，使第二料架16的一组第二承载孔167和第二放置孔正对所述夹爪171。所述夹爪171带动料杆14进入镀膜腔体12后，先进入第二承载孔167并与第二承载孔167的孔壁接触，再沿所述镀膜腔体12的中心轴线方向移动以使料杆14的一端承载于第二顶板160，另一端沿第二导向槽插入第二放置孔，从而将位于第一料架15的料杆14转移到第二料架16上。

优选地，所述镀膜装置10还可包括第一抽真空装置、第二抽真空装置、第一加热装置和第二加热装置。所述第一抽真空装置与所述过渡腔体相连通，用于对过渡腔体抽真空。所述第二抽真空装置与所述镀膜腔体相连通，用于对镀膜腔体抽真空。所述第一加热装置设置于所述过渡腔体，用于加热过渡腔体。所述第二加热装置设置于所述镀膜腔体，用于加热镀膜腔体。

当然，所述镀膜装置10还应包括位于镀膜腔体12内的镀膜靶材、辅助电极以及与镀膜腔体12相连通的供气装置等。

请一并参阅图1和图5至图7，使用本技术方案提供的镀膜装置10对工件进行镀膜时，可采取以下步骤：

首先，提供多个待镀膜的工件20，将工件20固设于所述多根料杆14。

所述工件20可为电子产品外壳。通过夹具（图未示）将所述工件20固设于所述料杆14的承载盘143上，如图5所示。

然后，将固设有多个工件20的多根料杆14设置于所述第一料架15，并对过渡腔体11进行预热。开启所述加热装置对工件20进行预热。预热时，所述第一料架15绕所述过渡腔体11的中心轴线转动，每一料杆14均绕其自身的中心轴线转动，以使得各个工件20的各处受热均匀。优选地，在预热之前，开启抽真空装置对所述过渡腔体11抽真空。

其次，请一并参阅图6和图7，为确保图面清晰，该图6和图7中每一料杆14均省去了承载盘143及工件20，可以理解，在实际操作中，工件20是固设于承载盘143上的。开启阀门13，通过料杆转移装置17将过渡腔体11内完成预热的多根料杆14一一转移到镀膜腔体12内的第二料架16，从而使多个工件20位于镀膜腔体12。具体地，开启阀门13后，夹爪171沿垂直于所述过渡腔体11的中心轴线方向移动。接触并夹取到正对第一开口111的一个料杆14后，沿所述过渡腔体11中心轴线方向移动以使料杆14靠近卡销142处脱离第一放置孔159。再继续沿垂直于所述过渡腔体11中心轴线方向移动以使料杆14的承靠部140脱离第一承载槽157并通过所述阀门13的连通开口132进入镀膜腔体12。此时，可通过转动镀膜腔体12内的第二料架16，使第二料架16的一组第二承载孔167和第二放置孔正对所述夹爪171。所述夹爪171带动料杆14进入镀膜腔体12后，杆体141靠近承靠部140的端部进入第二承载孔167并与第二承载孔167的孔壁接触，杆体141靠近卡销142的端部对准第二放置孔。再使料杆14沿所述镀膜腔体12的中心轴线方向移动以使料杆14插入第一放置孔159，并使卡销142与第二导向槽相卡合，承靠部140承载于第二顶板160。夹爪171沿垂直于所述过渡腔体11的中心轴线方向回到过渡腔体11内，此时，第一料架15已转动了一个角度，另一料杆14正对第一开口111。夹爪171夹取到该料杆14后，第二料架16也转动了一个角度，使得另一组没有设置料杆14的第二承载孔167和第二放置孔正对第二开口121。如此，可依次将过渡腔体11内的所有料杆14均转移至镀膜腔体12内。在该移动过程中，可能会有工件20因晃动而脱离料杆14。由于所述夹爪171下方具有挡板172，工件20在坠落过程中会与挡板172发生碰撞，从而进入过渡腔体11或镀膜腔体12内，而不会落入阀门13处阻碍到移动插板131相对于所述密封壳体130移动，使得阀门13得以正常工作。而不需要人工去除脱落的工件20，避免破坏过渡腔体11或镀膜腔体12内的真空环境，省去了抽真空的过程。

再次，关闭阀门13，对第二料架16上的工件20进行镀膜。对第二料架16上的工件20进行镀膜时，第二料架16绕所述镀膜腔体12的中心轴线转动，每一料杆14均绕自身轴线转动，如此，可使各个工件20的各处镀膜均匀。

当然，若在第二料架16上留出至少一个用于设置料杆14的空位，还可以在镀膜腔体12内的工件20镀膜的同时，往所述第一料架15上设置下一批次的工件20，抽真空后，对所述下一批次的工件20进行预热。相应地，所述第一料架15也预留出至少一个用于设置料杆14的空位。

最后，再次开启阀门13，通过料杆转移装置17将镀膜腔体12内的多个料杆14一一转移到过渡腔体11内的第一料架15。此时，第一料架15上的工件20均已完成镀膜。关闭阀门13，即可取出完成镀膜的工件20。

可以理解，若所述下一批次的工件20也完成预热，夹爪171将镀膜腔体12内的一个完成镀膜的料杆14置入第一料架15上预留的空位后，可从第一料架15上夹取一个完成预热的下一批次的工件20带入镀膜腔体12并置于第二料架16。再夹取一个第二料架16上完成镀膜的料杆14置于第一料架15。上述过程中，所述第一料架15和第二料架16都在转动。如此，可依次将镀膜腔体12内的所有完成镀膜的料杆14均转移至过渡腔体11内，并将过渡腔体11内的所有完成预热的下一批次的工件20均转移至镀膜腔体12内。然后，关闭阀门13，对镀膜腔体12内的下一批次的工件20进行镀膜，并将完成镀膜的工件20从过渡腔体11内取出。

本技术方案提供的镀膜装置具有过渡腔体和镀膜腔体，并通过阀门连通于过渡腔体和镀膜腔体之间。其中，过渡腔体用于预热工件，镀膜腔体仅用于镀膜。使用本技术方案的镀膜装置进行镀膜时，具有以下优势：首先，工件在过渡腔体内预热完成后可直接送入镀膜腔体内进行镀膜，省去了等待预热或等待抽真空的时间，提高镀膜效率。其次，在镀膜完成后，工件从镀膜腔体送入过渡腔体，关闭阀门，再从过渡腔体取出工件，可避免镀膜腔体接触外界环境，从而避免镀膜腔体内的镀膜靶材被损坏。再次，当有工件从料杆上脱落时，由于挡板的存在，工件不会落入阀门处，使得阀门得以正常运作，而不必人工去除该工件，避免破坏过渡腔体或镀膜腔体的真空环境，省去了再次抽真空的过程。

可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种镀膜装置，其包括过渡腔体、镀膜腔体、阀门、多个料杆、第一料架、第二料架以及料杆转移装置，所述多个料杆用于设置多个工件，所述第一料架和料杆转移装置设置于过渡腔体内，所述第二料架设置于镀膜腔体内，所述阀门连接于所述过渡腔体和镀膜腔体之间，用于在开启时连通过渡腔体和镀膜腔体，并用于在关闭时隔离过渡腔体和镀膜腔体，所述第一料架和第二料架均用于设置所述多个料杆，所述料杆转移装置包括驱动机构、夹爪及挡板，所述夹爪用于在驱动机构驱动下，在过渡腔体和镀膜腔体连通时将所述多个料杆自所述第一料架一一转移至第二料架，或者用于将所述多个料杆自所述第二料架一一转移至第一料架，所述挡板设置于所述驱动机构，并靠近所述夹爪，所述挡板用于将转移过程中从料杆上脱落的工件从所述阀门处移除。

2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述驱动机构包括机械连接的驱动器和输出轴，所述夹爪机械连接于所述输出轴，并与所述阀门相对，所述挡板设置于所述输出轴。

3.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述阀门为插板阀，其包括密封壳体和移动插板，所述密封壳体具有连通所述过渡腔体和镀膜腔体的连通开口，所述移动插板可相对于所述密封壳体移动，以开放或封闭所述连通开口。

4.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述料杆包括一个承靠部、一个杆体、一个卡销和多个承载盘，所述承靠部设置于杆体的一端，所述卡销设置于杆体的另一端，所述承靠部和卡销用于将所述杆体固设于第一料架或第二料架，所述多个承载盘用于承载多个工件，所述多个承载盘依次间隔套设于所述杆体，且位于承靠部和卡销之间。

5.如权利要求4所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一料架包括第一顶板、与第一顶板相对的第一底板以及多根支撑于第一顶板和第一底板之间的第一支撑杆，所述第一顶板用于与所述多根料杆的承靠部对应配合，所述第一底板用于与所述多根料杆的卡销对应配合，所述多根料杆的杆体相对于过渡腔体的中心轴线等角度分布于所述第一顶板和第一底板之间。

6.如权利要求4所述的镀膜装置，其特征在于，所述第二料架包括第二顶板、与第二顶板相对的第二底板以及多根支撑于第二顶板和第二底板之间的第二支撑杆，所述第二顶板用于与所述多根料杆的承靠部对应配合，所述第二底板与第一顶板相对，用于与所述多根料杆的卡销对应配合，所述多根料杆的杆体相对于镀膜腔体的中心轴线等角度分布于所述第一顶板和第一底板之间。

7.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一料架与过渡腔体同轴设置，且可相对于过渡腔体转动，所述第二料架与镀膜腔体同轴设置，且可相对于镀膜腔体转动。

8.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置还包括第一抽真空装置、第二抽真空装置、第一加热装置和第二加热装置，所述第一抽真空装置与所述过渡腔体相连通，用于对过渡腔体抽真空，所述第二抽真空装置与所述镀膜腔体相连通，用于对镀膜腔体抽真空，所述第一加热装置设置于所述过渡腔体，用于加热过渡腔体，所述第二加热装置设置于所述镀膜腔体，用于加热镀膜腔体。

9.一种镀膜方法，包括步骤：

提供多个待镀膜的工件和如权利要求1所述的镀膜装置，将所述多个工件固设于所述多根料杆；

将固设有多个工件的多根料杆设置于所述第一料架，并对过渡腔体进行预热；

开启阀门，通过料杆转移装置将过渡腔体内完成预热的多个料杆一一转移至镀膜腔体内的第二料架，从而使多个工件位于镀膜腔体；

关闭阀门，对镀膜腔体内的多个工件进行镀膜；

再次开启阀门，通过料杆转移装置将镀膜腔体内的多个料杆一一转移至过渡腔体内的第一料架。

10.如权利要求9所述的镀膜方法，其特征在于，将镀膜腔体内的多个料杆一一转移至过渡腔体内的第一料架之后，再次关闭阀门，从多个料杆上获取多个完成镀膜的工件。

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