CN102534516A - 溅镀装置 - Google Patents

Abstract

一种溅镀装置，包括一个本体、一个承载装置及至少一个驱动齿轮装置。该本体包括一个顶板、一个底板及一个侧壁。该承载装置包括一个与底板的上轴承座转动连接的外圈承载架、一个与底板的下轴承座转动连接的内圈承载架。该外圈承载架包括多个第一料杆，多个第一料杆均匀间隔设置且排布成一个外圈，相邻两个第一料杆间具有第一间距。该内圈承载架包括多个第二料杆，每个第二料杆的直径小于该第一间距。该多个第二料杆均匀间隔设置且排布成一个位于该外圈内且与外圈同轴的内圈。该驱动齿轮装置设置于该内圈承载架与外圈承载架之间并用于驱动该多个第一料杆与该多个第二料杆同时反向转动。该溅镀装置可以放置更多的被镀工件，提高镀膜效率。

Description

溅镀装置

技术领域

本发明涉及镀膜领域，具体地，涉及一种溅镀装置。

背景技术

一种现有的溅镀装置包括一个本体及一个承载架，该本体呈中空圆柱状，并包括一个顶板及一个与该顶板相对的底板、及一个垂直连接该顶板与底壁的侧壁，该侧壁的内表面上设置有溅射用的靶材。该承载架包括一个与该顶板平行且靠近该顶板设置的转盘及多个用于卡持被镀工件的料杆，该多个料杆垂直于转盘设置，且排布成一个与转盘同轴的圆圈。镀膜时，靶材粒子飞向该多个料杆上的被镀工件，该转盘转动以使该多个料杆绕着该转盘的轴线转动。然而，上述转盘仅设有一圈料杆，每次装载的工件数量有限，镀膜效率低。

发明内容

鉴于以上内容，有必要提供一种提高镀膜效率的溅镀装置。

一种溅镀装置，包括一个本体、一个安装于本体内的承载装置及至少一个驱动齿轮装置。所述本体包括一个顶板、一个与所述顶板相对的底板及一个连接所述顶板与底板的侧壁，所述顶板安装有一个上轴承座，所述底板安装有一个下轴承座。所述承载装置包括一个与所述上轴承座转动连接的外圈承载架及一个与所述下轴承座转动连接的内圈承载架。所述外圈承载架包括多个垂直于所述顶板设置的第一料杆。所述多个第一料杆均匀间隔设置且排布成一个外圈，相邻两个第一料杆间具有第一间距。所述内圈承载架包括多个垂直于所述顶板设置的第二料杆，所述每个第二料杆的直径小于所述第一间距。所述多个第二料杆均匀间隔设置且排布成一个位于所述外圈内并与外圈同轴的内圈。所述驱动齿轮装置设置于所述内圈承载架与外圈承载架之间并用于驱动所述多个第一料杆与所述多个第二料杆绕所述内圈与外圈的共同的中轴线同时反向转动。

相较现有技术，本发明包括多个第一料杆与第二料杆，如此，每次镀膜时可以放置更多的被镀工件，提高镀膜效率。另外，在镀膜过程中，所述多个第一料杆与所述多个第二料杆绕所述内圈与外圈的共同中轴线同时反向转动，每个第二料杆的直径小于所述第一间距，因此每个第二料杆在平行于顶板的方向上将位于相邻第一料杆的第一间距之间，可以防止所述多个第一料杆在平行于顶板的方向上对所述多个第二料杆产生遮挡，使被镀工件的镀膜更均匀。

附图说明

图1为本发明溅镀装置的主视图。

图2为图1所示溅镀装置的承载装置的立体示意图。

图3为图2溅镀装置的的承载装置沿III-III方向的剖视图。

主要元件符号说明

溅镀装置            100

本体                10

顶板                101

上轴承座            1011

底板                102

下轴承座            1021

侧壁                103

靶材                1031

承载装置            20

外圈承载架          21

第一环形部          211

第二环形部          212

第一料杆            213

第一间距            D

上连接架            214

第一连杆            2141

第二连杆            2142

上枢轴                2143

内圈承载架            22

第三环形部            221

第四环形部            222

第二料杆              223

下连接架              224

第三连杆              2241

第四连杆              2242

下枢轴                2243

驱动齿轮装置          30

上齿轮                31

下齿轮                32

驱动轴                33

马达装置              40

中心轴线              A-A

具体实施方式

请参考图1至3，本发明溅镀装置100包括一个本体10、一个承载装置20、一个驱动齿轮装置30及一个马达装置40。

所述本体10大致呈中空圆柱状(图未示)，包括一个顶板101、一个底板102及一个连接所述顶板101与底板102的侧壁103。所述顶板101与底板102相对且平行。所述顶板101上安装有一个上轴承座1011，所述底板102安装有一个下轴承座1021。所述上轴承座1011与下轴承座1021同轴设置。所述侧壁103且垂直于所述顶板101与所述底板102。所述侧壁103内表面设有一对相对的靶材1031，可以理解的是，所述侧壁103内表面上也可以仅设置一个靶材。

所述承载装置20包括一个外圈承载架21及一个套于外圈承载架21内的内圈承载架22。所述外圈承载架21包括一个环形的第一环形部211、一个与所述第一环形部211相对的环形的第二环形部212、多个第一料杆213及一个上连接架214。所述第一环形部211靠近所述顶板101。所述第二环形部212靠近所述底板102且与所述第一环形部211同轴设置。所述第二环形部212内圆周上设有内齿牙2121。所述多个第一料杆213用于放置被镀工件(图未示)，每个第一料杆213的两端分别与所述第一环形部211与第二环形部212相转动连接。所述多个第一料杆213垂直于所述顶板101，且均匀间隔设置于所述第一环形部211与第二环形部212的之间并排布成一个外圈，相邻两个第一料杆213之间具有第一间距D。所述上连接架214其大致呈V字形，其连接在所述第一环形部211且位于所述多个第一料杆213相背一侧，并包括一个第一连杆2141、一个第二连杆2142、一个位于第一连杆2141与第二连杆2142连接处的上枢轴2143。所述第一连杆2141与第二连杆2142连接至所述第一环形部211，所述上枢轴2143位于所述第一环形部211的中心轴位置。所述上枢轴2143用于安装至所述上轴承座1011。

所述内圈承载架22包括一个环形的第三环形部221、一个与所述第三环形部相对的环形的第四环形部222、多个第二料杆223及一个下连接架224。所述第三环形部221靠近所述顶板101。所述第四环形部222位于第二环形部212下方且靠近所述底板102，所述第四环形部222与所述第一环形部211、第二环形部212及第三环形部221同轴设置。所述第四环形部222外圆周上设有外齿牙2221。所述多个第二料杆223用于放置被镀工件，每个第二料杆223的两端分别与所述第三环形部221与第四环形部222相转动连接。所述多个第二料杆223垂直于所述顶板101，且均匀间隔于所述第三环形部221与第四环形部222之间并排布成一个内圈，所述内圈位于所述外圈内并与外圈同轴的具有共同的中心轴线A-A。所述每个第二料杆223的直径小于所述第一间距D。所述下连接架224大致呈V字形，其连接在所述第四环形部222且位于所述多个第二料杆223相背一侧，并包括一个第三连杆2241、一个第四连杆2242、一个位于第三连杆2241与第四连杆2242连接处的下枢轴2243。所述第三连杆2241与所述第四连杆2242连接至所述第四环形部222，所述下枢轴2243位于所述第四环形部222的中心轴位置。所述下枢轴2243用于安装至所述下轴承座1021。

所述驱动齿轮装置30设置于外圈承载架21与所述内圈承载架22之间，其包括一个上齿轮31、一个与上齿轮31同轴设置的下齿轮32及一个穿设于上齿轮31与下齿轮32中心位置的驱动轴33。所述上齿轮31安装于所述驱动轴33的一端，并与所述内齿牙2121相互啮合。所述下齿轮32位于所述上齿轮31的下方且与所述外齿牙2221相互啮合。所述驱动轴33用于同时带动所述上齿轮31与下齿轮32转动；所述驱动轴33远离上齿轮31的另一端延伸至所述本体10的外部并连接至所述马达装置40。

所述马达装置40安装于所述本体10的外部，用于带动所述驱动齿轮装置30转动。

使用所述溅镀装置100进行电镀时，在第一料杆213与第二料杆223上放置被镀工件，开启所述马达装置40带动所述驱动齿轮装置30转动，所述靶材103 1的粒子射向所述外圈承载架21与内圈承载架22，所述上齿轮31与下齿轮32将分别带动所述第二环形部212、第四环形部222绕着所述外圈与内圈的共同的中心轴线A-A转动，且所述第二环形部212与第四环形部222的转动方向相反，如此，使所述多个第一料杆213与所述多个第二料杆223绕着所述外圈与内圈的共同的中心轴线A-A同时反向转动。每个第二料杆223的直径小于所述第一间距，因此每个第二料杆223在平行于顶板101的方向上将位于相邻第一料杆213的第一间距D之间，可以防止所述第一料杆213在平行于所述顶板101的方向上对所述多个第二料杆223产生遮挡，使得所述多个第一料杆213与所述多个第二料杆223上的被镀工件的镀膜更为均匀。

可以理解的是，可以设置两个驱动齿轮装置分别与所述外圈承载架21与所述内圈承载架22相啮合，并分别驱动所述外圈承载架21与所述内圈承载架22转动并使所述多个第一料杆213所述多个第二料杆223相对转动。

可以理解的是，所述第二环形部212与第四环形部222可设置在同一水平高度，所述驱动齿轮装置30可以仅包括一个齿轮，该齿轮位于所述第二环形部212与所述第四环形部222之间并同时与所述内齿牙2121与外齿牙2221相互啮合。

可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种溅镀装置，包括一个本体、一个安装于本体内的承载装置及至少一个驱动齿轮装置；所述本体包括一个顶板、一个与所述顶板相对的底板及一个连接所述顶板与底板的侧壁，所述顶板安装有一个上轴承座，所述底板安装有一个下轴承座；所述承载装置包括一个与所述上轴承座转动连接的外圈承载架及一个与所述下轴承座转动连接的内圈承载架；所述外圈承载架包括有多个垂直于所述顶板设置的第一料杆；所述多个第一料杆均匀间隔设置且排布成一个外圈，相邻两个第一料杆间具有一第一间距；所述内圈承载架包括多个垂直于所述顶板设置的第二料杆，所述每个第二料杆的直径小于所述第一间距，所述多个第二料杆均匀间隔设置且排布成一个位于所述外圈内且与外圈同轴的内圈；所述驱动齿轮装置设置于所述内圈承载架与外圈承载架之间并用于驱动所述多个第一料杆与所述多个第二料杆绕所述外圈与内圈的共同的中心轴线同时反向转动。

2.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：所述外圈承载架包括一个环形的第一环形部、与第一环形部相对的环形的第二环形部，所述多个第一料杆间隔设置于所述第一环形部与所述第二环形部之间，且每个第一料杆的两端分别与所述第一环形部与第二环形部转动连接。

3.如权利要求2所述的溅镀装置，其特征在于：所述第二环形部的内圆周上设有内齿牙。

4.如权利要求2所述的溅镀装置，其特征在于：所述外圈承载架还包括一个与所述第一环形部连接且位于所述多个第一料杆相背一侧的上连接架，所述上连接架设有一个位于所述第一环形部的中心轴的上枢轴，所述上枢轴用于安装至上轴承座。

5.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：所述内圈承载架包一个环形的第三环形部、一个与第三环形部相对的环形的第四环形部，所述多个第二料杆间隔设置于所述第三环形部与第四环形部之间，且每个第二料杆的两端分别与所述第三环形部与第四环形部转动连接。

6.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于：所述第四环形部的外圆周上设有外齿牙。

7.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于：所述内圈承载架还包括一个与所述第四环形部连接且位于所述多个第二料杆相背一侧的下连接架，所述下连接架设有一个位于所述第四环形部的中心轴的下枢轴，所述下枢轴用于安装至所述下轴承座。

8.如权利要求6所述的溅镀装置，其特征在于：所述驱动齿轮装置包括一个上齿轮、一个下齿轮及一个穿设于上齿轮、下齿轮的中心轴位置的驱动轴，所述上齿轮与所述内齿牙啮合，所述下齿轮与上齿轮同轴设置并位于上齿轮下方，所述下齿轮与所述外齿牙啮合。

9.如权利要求8所述的溅镀装置，其特征在于：所述驱动轴的一端延伸出所述本体的外部并与一个驱动马达连接。

10.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：所述侧壁上设置有靶材。

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