CN102234768B - 溅镀装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种溅镀装置，其用来对金属材质的待镀工件镀膜。该溅镀装置包括一个用于对该待镀工件进行预热的第一腔体、一个用于对该待镀工件溅镀的第二腔体、一个设置于该第一腔体或该第二腔体内的传动机构、一个连接该第一腔体和该第二腔体的能处于开启或关闭状态的通道及至少一个设置于该传动机构上的磁性元件。该第一腔体及该第二腔体内设置有多个料杆。该传动机构用于经过该通道在该第一腔体及该第二腔体之间传送该料杆，该磁性元件跟随该传动机构一起运动并能吸起从该料杆上脱落的待镀工件。如此，方便从腔体中取出脱落的待镀工件。

Description

溅镀装置
技术领域
本发明涉及一种溅镀技术，尤其涉及一种溅镀装置。
背景技术
目前，在对金属外壳等待镀工件的表面进行镀膜一般都采用物理气相沉积法(PVD)进行镀膜制程，常见的采用物理气相沉积法进行镀膜的溅镀装置一般都具有单一腔体。
现有技术中，在使用具有单一腔体的溅镀装置进行溅镀时，首先打开腔体将待镀工件置于该腔体内，然后关闭腔体阀门并对该腔体进行抽真空，抽完真空后对放置于该腔体内的待镀工件进行加热，加热完成后开始对该待镀工件进行溅镀制程。当溅镀完成后，需要将腔体门打开以便将完成镀膜的待镀工件拿出，此时由于腔体门处于开启状态，外部空气就会进入到镀膜腔体中，这样设置于该腔体内的靶材就会很容易被进入腔体内的氧气所氧化，从而对下一次的溅镀制程产生影响。而且，当进行下一次溅镀制程时，还要再一次进行抽真空、加热待镀工件等过程，这样就会使得整个溅镀制程较为费时，并且影响产品质量。
为了解决上述问题，则要使用至少两个溅镀腔体，待镀工件需要在这些腔体之间传送，在传送过程中该待镀工件就很容易从料杆上脱落，此时，需要中断溅镀过程或者等溅镀结束后才能从腔体中取出脱落的待镀工件，给溅镀制程带来不必要的麻烦。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种方便从腔体中取出脱落的待镀工件的溅镀装置。
一种溅镀装置，其用来对金属材质的待镀工件镀膜。该溅镀装置包括一个用于对该待镀工件进行预热的第一腔体、一个用于对该待镀工件溅镀的第二腔体、一个设置于该第一腔体或该第二腔体内的传动机构、一个连接该第一腔体和该第二腔体的能处于开启或关闭状态的通道及至少一个设置于该传动机构上的磁性元件。该第一腔体及该第二腔体内设置有多个料杆。该传动机构用于经过该通道在该第一腔体及该第二腔体之间传送该料杆，该磁性元件跟随该传动机构一起运动并能吸起从该料杆上脱落的待镀工件。
与现有技术相比，在该传动机构上设置有磁性元件，金属材质的待镀工件在两个腔体之间传送时，该磁性元件跟随该传动机构一起运动能够吸起从该料杆上脱落的待镀工件，可以很方便地从腔体中取出脱落的待镀工件。
附图说明
图1为本发明提供的溅镀装置的结构示意图。
图2为图1中的溅镀装置的使用状态图。
图3为图1中III部分的放大图。
图4为图1中IV部分的放大图。
图5为图4的立体剖视图。
主要元件符号说明
溅镀装置            100
第一腔体            10
第一底板            11
第二腔体            20
第二底板            21
通道                30
阀门                31
旋转架              40
料杆                41
第一端              411
第二端              412
凸柱                412a
固定架              42
上承载盘            421
卡槽                421a
下承载盘            422
支撑杆            423
定位座            43
空心柱            431
间隔空间          431a
连杆机构          432
主动杆            432a
传动杆            432b
被动杆            432c
容置槽            432d
穿孔              432e
传动机构          50
驱动件            51
传动臂            52
伸缩杆            521
夹具              522
磁性元件          60
具体实施方式
为了对本发明的溅镀装置做进一步的说明，举以下实施方式并配合附图进行详细说明。
请参阅图1及图2，本发明实施例提供的一种溅镀装置100，其用来对金属材质的待镀工件(图未示)镀膜。其中，该待镀工件的材质为铁材质或含有铁的合金等，即只要能够被具有磁性的元件所吸附即可。该溅镀装置100包括一个第一腔体10、一个第二腔体20、一个通道30、两个旋转架40、一个传动机构50及一个磁性元件60。
该第一腔体10用来对待镀工件进行预热，该第二腔体20用来对在该第一腔体10内完成预热制程的待镀工件进行溅镀。该第一腔体10与该第二腔体20的结构相同，且该第一腔体10和该第二腔体20分别包括一个第一底板11和一个第二底板21。在其他实施方式中，该第一腔体10与该第二腔体20也可以不同。
该通道30设置于该第一腔体10及第二腔体20之间，使该第一腔体10与该第二腔体20通过该通道30相互连通。在该第一腔体10内完成预热的待镀工件经由该通道30被传送进入该第二腔体20内进行溅镀制程。在该通道30中，还设置有一个阀门31用来控制该通道30的开启与关闭。
该两个旋转架40分别设置于该第一腔体10及该第二腔体20内用来承载待镀工件。该旋转架40包括一个料杆41及一个用于固定该料杆41的固定架42。该固定架42能够在驱动力的带动下在该第一腔体10内转动。在其他实施方式中，该旋转架40也可以设置于该第二腔体20内。
请结合图3及图4，该料杆41为柱状杆体，该料杆41包括一个呈“T”型的第一端411及一个与该第一端411相对的第二端412，该第二端412在靠近端部的位置垂直于该料杆41向外延伸有一个凸柱412a。该料杆41可拆卸的装设在该固定架42上。该料杆41的杆体上间隔分布有用于承载被镀工件的悬挂架(图未示)。
该固定架42包括一个环状上承载盘421、一个与该上承载盘421相对设置的环状下承载盘422及设置于该上承载盘421及下承载盘422之间的多个支撑杆423。该支撑杆423用于支撑固定该上承载盘421及下承载盘422。
该上承载盘421的外缘间隔设置有多个与该料杆41的第一端411相对应的卡槽421a，通过该第一端411与该卡槽421a卡合使该料杆41能够垂直悬挂于该上承载盘421。该下承载盘422设置有与该卡槽421a对应的定位座43。该定位座43包括一个空心柱431及一个收容于该空心柱431的连杆机构432，该连杆机构432可使该料杆41的第二端412带动该料杆41进行自转。
请结合图5，具体地，该连杆机构432包括一个主动杆432a、一个传动杆432b及一个被动杆432c。该空心柱431的侧壁不连续而具有一个间隔空间431a。该被动杆432c收容于该间隔空间431a。该传动杆432b的中部铰接固定在该空心柱431的侧壁上，该主动杆432a设置于该空心柱431内。在该连杆机构432的主动杆432a设置有容置槽432d，该被动杆432c设置有穿孔432e，该传动杆432b的一端收容于该容置槽432d内，另一端穿设于该穿孔432e，该主动杆432a及被动杆432c通过该容置槽432d与穿孔432e结构与该传动杆432b相互铰接。该料杆41对该主动杆432a施力使该传动杆432b带动该被动杆432c运动从而使得该被动杆432c与该凸柱412a相互交叉，该定位座43旋转时通过该料杆41与该连杆机构432相互交叉来带动该料杆41进行自转。
可以理解，该主动杆432a及被动杆432c还可以通过螺栓或其它方式相互铰接，只要使得该被动杆432c在该主动杆432a的带动下能够沿该空心柱431的轴线方向向上运动即可。
该传动机构50为机械手，其设置于该第一腔体10内。该传动机构50包括一个驱动件51和两个传动臂52。该传动臂52在该驱动件51的驱动下可以伸长和缩短。该传动臂52包括一个与该驱动件51连接的伸缩杆521和一个位于该传动臂52的一端用来夹持该料杆41的夹具522。在其他实施方式中，该传动机构50也可以设置于该第二腔体20内。该传动臂52也可以为一个或多个。
该磁性元件60设置于该伸缩杆521上，该磁性元件60到该第一底板11或该第二底板21的距离小于该磁性元件60与该夹具522之间的距离。优选地，该磁性元件60设置于靠近该第一底板11或该第二底板21的伸缩杆521上。另外，该磁性元件60与该夹具522之间的距离大于该磁性元件60的磁场能够分布的最大距离。如此，可以避免挂在该悬挂架上的待镀工件被吸附到该磁性元件60上。优选地，该磁性元件60到该第一底板11或该第二底板21的距离在该磁性元件60的磁场能够分布的最大距离以内。如此，可以保证能够吸起从该悬挂架上脱落的待镀工件。
在传送过程中，该传动机构50从该第一腔体10内抓取该料杆41后，首先会沿轴向向上行走一段距离以将该料杆41从定位座43中取出，接着将该料杆41推离位于该第一腔体10内的旋转架40并经由该通道30进入该第二腔体20内，位于该第二腔体20内的旋转架40在驱动力的控制下使其上的卡槽421a以及定位座43正对该传动臂52的前进方向，该传动臂52将该料杆41推入位于该第二腔体20内的旋转架40的卡槽421a内，然后再沿轴向向下运动将该料杆41放入位于该第二腔体20内的旋转架40的定位座43内以使该料杆41固定在该位于该第二腔体20内的旋转架40上，最后传动臂52松开该料杆41并退回到该第一腔体10内直至该磁性元件60与该驱动件51抵持。此时，该两个旋转架40在驱动力的带动下，同时旋转相同的角度，使该位于该第一腔体10内的旋转架40上的下一个料杆41正对该传动臂52，此时传动臂52再次进行相同的料杆41传输动作，直至将该位于该第一腔体10内的旋转架40上的料杆41全部传输固定到该位于该第二腔体20内的旋转架40上。
在上述传送过程中，若有待镀工件从该悬挂架上脱落，例如：落在该第一底板11、该第二底板21或该通道30处，则跟随该伸缩杆521一起运动的磁性元件60会将该脱落的待镀工件吸附上来。待该传动机构50的传动臂52缩到该第一腔体10内时，可以取下吸附在该磁性元件60上的待镀工件进行相应的处理，例如，若没有进行溅镀过的可挂在该悬挂架上重新进行溅镀，已经溅镀过的可直接取下。
其中，从该磁性元件60远离该夹具522的一端到该夹具522在沿该伸缩杆521的轴向上的距离小于该固定架42的半径。如此，使该传动机构50的夹具522在缩回后能够收容于该旋转架40内。
在该传动机构上设置有磁性元件，金属材质的待镀工件在两个腔体之间传送时，该磁性元件跟随该传动机构一起运动能够吸起从该料杆上脱落的待镀工件，即使待镀元件落到通道处，也能方便取出脱落的待镀工件。
可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种溅镀装置，其用来对金属材质的待镀工件镀膜，该溅镀装置具有一个用于对该待镀工件进行预热的第一腔体、一个用于对该待镀工件溅镀的第二腔体、一个设置于该第一腔体或该第二腔体内的传动机构及一个连接该第一腔体和该第二腔体的能处于开启或关闭状态的通道，该第一腔体及该第二腔体内设置有多个料杆，其特征在于：该溅镀装置还包括至少一个设置于该传动机构上的磁性元件，该传动机构用于经过该通道在该第一腔体及该第二腔体之间传送该料杆，该磁性元件跟随该传动机构一起运动并能吸起从该料杆上脱落的待镀工件。
2.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：该传动机构包括一个驱动件和至少一个传动臂，该至少一个传动臂包括与该驱动件连接的伸缩杆和位于该传动臂的一端用来夹持该料杆的夹具。
3.如权利要求2所述的溅镀装置，其特征在于：该磁性元件设置于该伸缩杆，该第一腔体与该第二腔体的结构相同，且该第一腔体和该第二腔体分别包括一个第一底板和一个第二底板，该磁性元件到该第一底板或该第二底板的距离小于该磁性元件与该夹具之间的距离。
4.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：该磁性元件到该第一底板或该第二底板的距离在该磁性元件的磁场能够分布的最大距离以内。
5.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：该磁性元件与该夹具之间的距离大于该磁性元件的磁场能够分布的最大距离。
6.如权利要求2所述的溅镀装置，其特征在于：该溅镀装置包括两个分别设置于该第一腔体及该第二腔体内的结构相同的固定架，该固定架用来承载料杆，从该磁性元件远离该夹具的一端到该夹具在沿该伸缩杆的轴向上的距离小于该固定架的半径。
7.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：在该通道内设置有一阀门用来控制该通道的开启与关闭。
8.如权利要求6所述的溅镀装置，其特征在于：该料杆为柱状杆体，该料杆的一端为“T”型端，另一端在靠近端部的位置垂直于该料杆向外延伸有一个凸柱。
9.如权利要求8所述的溅镀装置，其特征在于：该固定架包括两个相对设置的环状上承载盘及下承载盘，该上承载盘及下承载盘之间设置有多个支撑杆，该上承载盘及下承载盘通过该支撑杆支撑固定，在该上承载盘的外缘间隔设置有多个与该“T”型端相对应的卡槽，通过该“T”型端与该卡槽卡合使该料杆能够垂直悬挂于该上承载盘，该下承载盘设置有与该卡槽对应的定位座，该定位座包括一个空心柱及一个收容于该空心柱的连杆机构，该料杆延伸有凸柱的一端通过该连杆机构带动该料杆进行自转。
10.如权利要求9所述的溅镀装置，其特征在于：该连杆机构包括一个主动杆、一个传动杆及一个被动杆，该传动杆的中部铰接固定在该空心柱的侧壁上，该主动杆设置于该空心柱内，该主动杆及该被动杆分别沿该空心柱的轴线方向铰接固定于该传动杆的两端，该料杆对该主动杆施力使该传动杆带动该被动杆运动从而使得该被动杆与该凸柱相互交叉，该定位座旋转时通过该料杆与该连杆机构相互交叉来带动该料杆进行自转。
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