CN102443766A

CN102443766A - 镀膜料架及具有该镀膜料架的镀膜设备

Info

Publication number: CN102443766A
Application number: CN2010105100370A
Authority: CN
Inventors: 王仲培
Original assignee: Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd; Hon Hai Precision Industry Co Ltd
Current assignee: Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd; Hon Hai Precision Industry Co Ltd
Priority date: 2010-10-15
Filing date: 2010-10-15
Publication date: 2012-05-09

Abstract

一种镀膜料架包括一第一料架及一第二料架。所述第一料架具有多个平行设置的且可绕其自身的中心轴旋转的第一挂件杆。所述第二料架具有多个平行设置的且可绕其自身的中心轴旋转的第二挂件杆。所述第一料架与所述第二料架同心设置且所述第二料架位于所述第一料架的内侧。所述镀膜料架进一步包括至少一个连接臂，所述连接臂连接所述第一料架与所述第二料架，使得所述第一料架与所述第二料架可以同时绕所述第一料架与所述第二料架的共同中心轴旋转。利用所述镀膜料架可以有效提高镀膜产能，且易于调节控制镀膜角度。本发明另外提供一种具有所述镀膜料架的镀膜设备。

Description

镀膜料架及具有该镀膜料架的镀膜设备

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其设计一种可提高镀膜生产率的镀膜料架及具有该镀膜料架的镀膜设备。

背景技术

随着各种电子产品的普及应用，消费者的要求越来越高，除要求满足使用功能外，消费者对电子产品的外观、触摸质感等也有了新的要求。比如，要求产品外壳具有绚丽的色彩、金属质感、耐磨损等。

利用反应式磁控溅射镀膜法对产品外壳进行镀膜加工，可使电子产品获得具有各种色彩的、高金属质感的多层膜外壳，满足目前消费者的需求。

但是，随着外型的不断变化，产品的几何形状变得日趋复杂，使得镀膜的难度也随之增加。使用传统的磁控溅镀装置进行镀膜加工时，传统的磁控溅镀装置中的料架基本都是通过带动待镀膜件围绕设置于镀膜腔中央位置的镀膜源(靶材)旋转来改变镀膜角度。由此，对于待镀膜件中的复杂形状部分，特别是一些突起部的后方部分，易产生镀膜不充分的现象，影响镀膜元件的镀膜质量，造成产品不良率的增加。同时，传统的磁控溅镀装置通常是在单个圆周上设置料架，其可承载的待镀膜件数量较为有限，对溅镀靶材的利用率较低，镀膜产能不高。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种易于实现的、可有效解决现有技术中存在的问题的镀膜料架及具有该镀膜料架的镀膜设备。

一种镀膜料架包括一个第一料架及一个第二料架。所述第一料架具有多个平行设置的且可绕其自身的中心轴旋转的第一挂件杆。所述第二料架具有多个平行设置的且可绕其自身的中心轴旋转的第二挂件杆。所述第一料架与所述第二料架同心设置且所述第二料架位于所述第一料架的内侧。所述镀膜料架进一步包括至少一个连接臂，所述连接臂连接所述第一料架与所述第二料架，使得所述第一料架与所述第二料架可以同时绕所述第一料架与所述第二料架的共同中心轴旋转。

一种镀膜设备，其具有一个镀膜腔体。所述镀膜腔体内部设置有一个镀膜料架。所述镀膜料架包括一个第一料架及一个第二料架。所述第一料架具有多个平行设置的且可绕其自身的中心轴旋转的第一挂件杆。所述第二料架具有多个平行设置的且可绕其自身的中心轴旋转的第二挂件杆。所述第一料架与所述第二料架同心设置且所述第二料架位于所述第一料架的内侧。所述镀膜料架进一步包括至少一个连接臂，所述连接臂连接所述第一料架与所述第二料架，使得所述第一料架与所述第二料架可以同时绕所述第一料架与所述第二料架的共同中心轴旋转。

相对于现有技术，本发明的镀膜料架具有如下优点：其一，利用同心设置的第一料架与第二料架，可以大幅的提高可承载的待镀膜件数量，增加对溅镀靶材的利用率，提高镀膜产能。其二，所述镀膜料架的挂件杆随第一料架或第二料架旋转的同时，还可以绕其自身的中心轴旋转，由此，可以充分的调节承载于挂件杆上的待镀膜件相对于镀膜源的整体镀膜角度及局部镀膜角度，确保待镀膜件中的复杂形状部分，特别是一些突起部的后方部分得到充分的镀膜，避免待镀膜件不同部位产生镀膜不充分的现象，提高待镀膜件的镀膜质量。其三，利用简单的连接臂将同心设置的第一料架与第二料架设为一个整体，便于简化设置驱动机构控制所述镀膜料架的整体运动。其四，第一料架与第二料架中的挂件杆相互错开，可以有效地避免镀膜加工时因遮挡而影响镀膜效果的问题。

附图说明

图1是本发明第一实施例提供的镀膜料架的示意图。

图2是图1所示的镀膜料架的俯视图。

图3是图1所示的镀膜料架的传动机构的局部示意图。

图4是图3所示的镀膜料架的工作原理图。

图5是本发明第二实施例提供的具有图1所示镀膜料架的镀膜设备的示意图。

主要元件符号说明

第一料架 10

第一安装架 11

第一挂件杆 13

第一从动齿轮 15

中间齿轮 17

第二料架 20

第二安装架 21

第二挂件杆 23

第二从动齿轮 25

连接臂 30

第一端 31

第二端 32

驱动机构 50

驱动轴 51

第一驱动齿轮 53

第二驱动齿轮 55

镀膜料架 100

镀膜设备 200

镀膜腔体 210

靶座 220

具体实施方式

下面将结合附图及实施例对本技术方案作进一步详细说明。

请参阅图1，本发明第一实施例提供一种镀膜料架100，其用于承载待镀膜件，所述镀膜料架100包括一个第一料架10，一个第二料架20，及两个连接臂30。

所述第一料架10具有一个第一安装架11，及多个第一挂件杆13。所述多个第一挂件杆13平行设置于所述第一安装架11。本实施例中，所述第一安装架11为圆形结构，所述多个第一挂件杆13沿所述第一安装架11的圆周均匀间隔设置。每一所述第一挂件杆13均可以绕其自身的中心轴旋转。

所述第二料架20具有一个第二安装架21，及多个第二挂件杆23。所述多个第二挂件杆23平行设置于所述第二安装架21。本实施例中，所述第二安装架21为圆形结构，所述多个第二挂件杆23沿所述第二安装架21的圆周均匀间隔设置。每一所述第二挂件杆23均可以绕其自身的中心轴旋转。

请一并参阅图2，所述第一料架10与所述第二料架20同心设置，所述第二料架20位于所述第一料架10的内侧，所述第一料架10与所述第二料架20具有一个共同中心轴。所述第一料架10的第一挂件杆13与所述第二料架20的第二挂件杆23相互平行，且均平行于所述第一料架10与所述第二料架20的共同中心轴。

所述连接臂30连接所述第一料架10与所述第二料架20，使所述第一料架10与所述第二料架20可以同时绕所述第一料架10与所述第二料架20的共同中心轴旋转。本实施例中，所述两个连接臂30相对地设置于所述第一料架10与所述第二料架20的顶部，且于所述第一料架10与所述第二料架20之间连接所述第一料架10与所述第二料架20。每一所述连接臂30均具有一个第一端31，及一个与所述第一端31相对的第二端32。所述第一端31与所述第一料架10的第一安装架11相连接。所述第二端32与所述第二料架20的第二安装架21相连接。由此，所述连接臂30使所述第一料架10与所述第二料架20形成一个整体，便于简化设计所述镀膜料架100的驱动源，实现所述镀膜料架100的整体驱动。

可以理解的是，所述连接臂30与所述第一料架10及所述第二料架20之间可以通过销与孔、螺栓与螺纹孔、或者凸缘与凹槽的配合结构实现连接，只要能够实现使所述第一料架10与所述第二料架20形成一个整体即可。

本实施例中，每一所述第一挂件杆13及每一所述第二挂件杆23均沿其长度方向设置有多个用于承载待镀膜件的承载盘(图未示)。

可以理解的是，设置于所述第一挂件杆13及所述第二挂件杆23上的承载盘，也可以与对应的挂件杆设成不同角度，如，承载盘与对应的挂件杆相平行、相垂直或相倾斜，由此，可以调节承载于所述承载盘上的待镀膜件的待镀表面的角度，便于待镀膜件的待镀表面进行不同角度的膜层镀制。

本实施例中，所述第一料架10与所述第二料架20的共同中心轴与任意一个所述第一挂件杆13及任意一个所述第二挂件杆23均不在同一直线上。由此，可以避免所述第一挂件杆13与所述第二挂件杆23之间的待镀膜件因相互遮挡，而影响同一方向的镀膜。

优选地，任意两个相邻的所述第一挂件杆13的中垂线上均设置有一个所述第二挂件杆23。

请一并参阅图3与图4，本实施例中，所述镀膜料架100的底部设置有齿轮传动机构。相邻的两个所述第一挂件杆13之间、相邻的两个所述第二挂件杆23之间、以及所述第一挂件杆13与所述第二挂件杆23之间，分别通过齿轮传动实现相互连接。由此，可以实现所述多个第一挂件杆13之间、所述多个第二挂件杆23之间的动力传递、以及所述第一挂件杆13与所述第二挂件杆23之间的动力传递。当然，相邻的两个所述第一挂件杆13之间、相邻的两个所述第二挂件杆23之间、以及所述第一挂件杆13与所述第二挂件杆23之间，也可以分别通过皮带传动或链条传动实现相互连接。只要能分别实现所述多个第一挂件杆13之间、所述多个第二挂件杆23之间、以及所述第一挂件杆13与所述第二挂件杆23之间的动力传递即可。

可以理解的是，由于所述多个第一挂件杆13之间相互动力传递，以及所述多个第二挂件杆23之间相互动力传递，因此，只需在相邻的一个第一挂件杆13与一个第二挂件杆23之间设置齿轮传动、皮带传动、或链条传动，即可实现所述多个第一挂件杆13与所述多个第二挂件杆23之间的动力传递。

进一步地，所述镀膜料架100具有一个驱动机构50，所述驱动机构50驱动所述第一料架10与所述第二料架20同时绕共同中心轴旋转，并且驱动所述第一挂件杆13与所述第二挂件杆23分别绕各自的中心轴旋转。本实施例中，所述驱动机构50具有一个驱动轴51，一个套设于所述驱动轴51上的第一驱动齿轮53，及一个套设于所述驱动轴51上的第二驱动齿轮55。所述第一驱动齿轮53与设置于所述第一料架10的第一安装架11的外沿的齿相互啮合，实现所述驱动机构50与所述第一料架10的机械传动。所述第二驱动齿轮55与设置于一个所述第一挂件杆13上的第一从动齿轮15相互啮合，实现所述驱动机构50与所述第一挂件杆13的机械传动。所述第一从动齿轮15通过一个中间齿轮17与设置于一个所述第二挂件杆23上的第二从动齿轮25相互啮合，实现所述第一挂件杆13与所述第二挂件杆23之间的动力传递。所述第一驱动齿轮53与所述第一料架10的传动比与所述第二驱动齿轮55与所述第一从动齿轮15的传动比不相等。由此，所述镀膜料架100只需一个所述驱动机构50，即可使所述第一料架10与所述第二料架20作为一个整体实现同时转动，并且可以实现所述第一挂件杆13与所述第二挂件杆23的分别转动。

请参阅图5，本发明第二实施例提供一种镀膜设备200，其具有一个镀膜腔体210，一个靶座220，及一个所述镀膜料架100。

所述镀膜腔体210为真空腔体。

所述靶座220设置于所述镀膜腔体210的中央区域，其用于承载镀膜源(靶材)。

所述镀膜料架100设置于所述镀膜腔体210的内部围绕所述靶座220设置，所述镀膜料架100的中心轴与所述镀膜腔体210的中心轴同轴。

镀膜加工时，通过所述镀膜料架100中的驱动机构50(图未示)，驱动所述镀膜料架100相对于所述靶座220的整体转动，并驱动所述镀膜料架100中的第一挂件杆13及第二挂件杆23分别绕各自的中心轴旋转。由此，可以控制承载于所述第一挂件杆13及所述第二挂件杆23上的待镀膜件，调节待镀膜件相对于镀膜源的整体镀膜角度及局部镀膜角度，使待镀膜件的各个镀膜表面得到充分的镀膜，获得具有较佳质量的膜层。

另外，本领域技术人员还可以在本发明精神内做其它变化，当然，这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。

Claims

1.一种镀膜料架，其包括：

一个第一料架，其具有多个平行设置的且可绕其自身的中心轴旋转的第一挂件杆；及

一个第二料架，其具有多个平行设置的且可绕其自身的中心轴旋转的第二挂件杆；

其特征在于：

所述第一料架与所述第二料架同心设置且所述第二料架位于所述第一料架的内侧；所述镀膜料架进一步包括至少一个连接臂，所述连接臂连接所述第一料架与所述第二料架，使得所述第一料架与所述第二料架可以同时绕所述第一料架与所述第二料架的共同中心轴旋转。

2.如权利要求1所述的镀膜料架，其特征在于，所述镀膜料架具有两个所述连接臂，所述两个连接臂相对地设置于所述第一料架与所述第二料架的顶部，且于所述第一料架与所述第二料架之间连接所述第一料架与所述第二料架，每一所述连接臂均具有一个第一端及一个与所述第一端相对的第二端，所述第一端与所述第一料架相连接，所述第二端与所述第二料架相连接。

3.如权利要求1所述的镀膜料架，其特征在于，所述第一挂件杆与所述第二挂件杆相互平行且均平行于所述第一料架与所述第二料架的共同中心轴，所述第一料架与所述第二料架的共同中心轴与任意一个第一挂件杆及任意一个第二挂件杆均不在同一直线上。

4.如权利要求3所述的镀膜料架，其特征在于，任意两个相邻的所述第一挂件杆的中垂线上均设置有一个所述第二挂件杆。

5.如权利要求1所述的镀膜料架，其特征在于，每一所述第一挂件杆及每一所述第二挂件杆均沿其长度方向设置有多个用于承载待镀膜件的承载盘。

6.如权利要求1所述的镀膜料架，其特征在于，所述第一挂件杆与所述第二挂件杆之间通过齿轮传动、皮带传动、或链条传动实现相互连接。

7.如权利要求6所述的镀膜料架，其特征在于，相邻的两个所述第一挂件杆之间及相邻的两个所述第二挂件杆之间分别通过齿轮传动、皮带传动、或链条传动实现相互连接。

8.如权利要求7所述的镀膜料架，其特征在于，所述镀膜料架进一步包括一个驱动机构，所述驱动机构与所述第一料架及一个所述第一挂件杆分别相互连接实现机械传动，所述驱动机构驱动所述第一料架带动所述第二料架绕所述共同中心轴旋转，且驱动所述第一挂件杆与所述第二挂件杆分别绕自身的中心轴旋转。

9.如权利要求8所述的镀膜料架，其特征在于，所述驱动机构具有一个驱动轴，一个套设于所述驱动轴上的第一驱动齿轮，及一个套设于所述驱动轴上的第二驱动齿轮；所述第一驱动齿轮与设置于所述第一料架的外沿的齿相互啮合，实现所述驱动机构与所述第一料架的机械传动；所述第二驱动齿轮与设置于一个所述第一挂件杆上的第一从动齿轮相互啮合，实现所述驱动机构与所述第一挂件杆的机械传动；所述第一从动齿轮通过一个中间齿轮与设置于一个所述第二挂件杆上的第二从动齿轮相互啮合，实现所述第一挂件杆与所述第二挂件杆之间的动力传递；所述第一驱动齿轮与所述第一料架的传动比与所述第二驱动齿轮与所述从动齿轮的传动比不相等。

10.一种镀膜设备，其具有一个镀膜腔体，其特征在于，所述镀膜腔体内部设置有一个如权利要求1～9任一项所述的镀膜料架。