JP2001223375A5 - 搬送装置、成膜装置、太陽電池及び太陽電池の作製方法 - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の端から他方の端に、可撓性基板を連続して搬送させる手段を備えた搬送装置であって、
前記一方の端と前記他方の端との間に、半径Ｒの円弧に沿って、中心軸が平行になるように配列した複数の円筒形ローラーを設け、前記可撓性基板を、前記複数の円筒形ローラーのそれぞれの曲面に接して搬送させる機構を設けたことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記複数の円筒形ローラーを配列する円弧の半径Ｒが０．５〜１０ｍであることを特徴とする搬送装置。
【請求項３】
一方の端から他方の端に、可撓性基板を連続して搬送させる手段を備えた成膜装置にであって、
前記一方の端と前記他方の端との間に、半径Ｒの円弧に沿って、中心軸が平行になるように配列した複数の円筒形ローラーを設け、前記可撓性基板を、前記複数の円筒形ローラーのそれぞれの曲面に接して搬送させる機構を設けたことを特徴とする成膜装置。
【請求項４】
請求項３において、
複数の円筒形ローラーを配列する円弧の半径Ｒが０．５〜１０ｍであることを特徴とする成膜装置。
【請求項５】
請求項３または４において、
真空室と、真空室内にガスを導入する手段と、前記ガスを排気する手段と、前記ガスをプラズマ化するためのエネルギー供給手段を設けた事を特徴とする成膜装置。
【請求項６】
請求項３乃至請求項５のいずれか一項に記載の成膜装置は、プラズマＣＶＤ装置であることを特徴とする成膜装置。
【請求項７】
対向した２つの電極の一方が複数の円筒形ローラーを有しており、
前記複数の円筒形ローラーの中心軸は、円弧に沿って配列されており、
前記２つの電極の一方は、前記円弧の中心軸と前記２つの電極の他方との間に配置されていることを特徴とする成膜装置。
【請求項８】
対向した２つの電極の一方が複数の円筒形ローラーを有しており、
前記複数の円筒形ローラーの中心軸は、円弧に沿って配列されており、
前記２つの電極の一方が、前記円弧の中心軸と前記２つの電極の他方との間に配置されている成膜用真空室を複数有していることを特徴とする成膜装置。
【請求項９】
請求項７又は請求項８において、
前記２つの電極の一方は、可撓性基板の搬送支持部と兼用されていることを特徴とする成膜装置。
【請求項１０】
請求項９において、
可撓性基板の搬送部を有し、
前記可撓性基板の搬送部は、前記搬送支持部と第１及び第２のローラーとを有し、
前記搬送支持部は、前記第１のローラーと前記第２のローラーとの間に配置されており、
前記可撓性基板の搬送は、前記第１のローラーから巻き出され前記第２のローラーで巻き取られることによって行われることを特徴とする成膜装置。
【請求項１１】
請求項９において、
可撓性基板の搬送部を有し、
前記可撓性基板の搬送部は、前記搬送支持部と第１及び第２のローラーとを有し、
前記搬送支持部は、前記第１のローラーと前記第２のローラーとの間に配置されており、
前記第１のローラーの中心軸の方向と、前記第２のローラーの中心軸の方向と、前記複数の円筒形ローラーの中心軸の方向と、は平行であることを特徴とする成膜装置。
【請求項１２】
請求項１０又は請求項１１において、
巻き出し用真空室と、巻き取り用真空室と、を有し、
前記第１のローラーは、前記巻き出し用真空室内に配置されており、
前記第２のローラーは、前記巻き取り用真空室内に配置されていることを特徴とする成膜装置。
【請求項１３】
請求項８乃至請求項１２のいずれか一項において、
前記２つの電極の一方は、接地されており、
前記２つの電極の他方は、電源と接続されていることを特徴とする成膜装置。
【請求項１４】
請求項８乃至請求項１３のいずれか一項において、
前記２つの電極の一方は、ヒーターと兼用されていることを特徴とする成膜装置。
【請求項１５】
請求項８乃至請求項１４のいずれか一項において、
成膜用真空室と、前記成膜用真空室内にガスを導入する手段と、前記ガスを排気する手段と、を有し、
前記２つの電極は、前記成膜用真空室内に配置されていることを特徴とする成膜装置。
【請求項１６】
請求項８乃至請求項１５のいずれか一項に記載の成膜装置は、プラズマＣＶＤ装置であることを特徴とする成膜装置。
【請求項１７】
請求項３乃至請求項１６に記載の成膜装置を用いて作製することを特徴とする太陽電池。
【請求項１８】
可撓性基板を搬送しながら、前記可撓性基板上に成膜を行う太陽電池の作製方法であって、
前記成膜は、
前記可撓性基板を、２つの電極の一方に設けられた複数の円筒形ローラーのそれぞれの曲面に接触させて搬送しながら行い、
前記複数の円筒形ローラーの中心軸は、円弧に沿って配列されていることを特徴とする太陽電池の作製方法。
【請求項１９】
可撓性基板を複数の成膜用真空室内で搬送しながら、前記可撓性基板上に成膜を行う太陽電池の作製方法であって、
前記成膜は、
前記可撓性基板を、２つの電極の一方に設けられた複数の円筒形ローラーのそれぞれの曲面に接触させて搬送しながら行い、
前記複数の円筒形ローラーの中心軸は、円弧に沿って配列されていることを特徴とする太陽電池の作製方法。
【請求項２０】
請求項１８又は請求項１９において、
前記２つの電極の一方と、前記２つの電極の他方と、の間で前記可撓性基板上に成膜が行われることを特徴とする太陽電池の作製方法。
【請求項２１】
請求項１８乃至請求項２０において、
前記可撓性基板の搬送は、前記複数の円筒形ローラーと、第１及び第２のローラーと、によって行われ、
前記第１のローラーは前記可撓性基板を巻き出し、前記第２のローラーは前記可撓性基板を巻き取ること特徴とする太陽電池の作製方法。
【請求項２２】
請求項２１において、
前記可撓性基板の搬送中は、
前記第１のローラーに、前記第２のローラーと逆回転のトルクをかけていることを特徴とする太陽電池の作製方法。
【請求項２３】
請求項１８乃至請求項２２のいずれか一項において、
前記成膜は、プラズマＣＶＤによって行われることを特徴とする太陽電池の作製方法。
【請求項２４】
請求項１８乃至請求項２３のいずれか一項において、
前記２つの電極の一方は、接地されており、
前記２つの電極の他方は、電源と接続されていることを特徴とする太陽電池の作製方法。
【請求項２５】
請求項１８乃至請求項２４のいずれか一項において、
前記２つの電極の一方は、ヒーターと兼用されていることを特徴とする太陽電池の作製方法。