JP2009057632A - 薄膜積層体の製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 帯状可撓性基板1の幅方向が鉛直方向になるようにして、基板を水平方向に搬送する基板搬送手段23、51と、この基板の搬送方向に沿って連続して配列され、基板の表面に成膜を行う複数の成膜室42a〜42mと、これら複数の成膜室のそれぞれの間に配置され、基板の鉛直方向上側の端部を挟む複数対のグリップローラ44a〜44mとを備えた薄膜積層体の製造装置において、これら複数対のグリップローラが、各ローラの回転方向を、基板1の搬送方向に対して上方に傾けて設置されている。
【選択図】 図2
Description
上述した図4及び図5に示す構造のグリップローラを用いて、帯状可撓性基板の持ち上げ力を測定する試験を行った。グリップローラにはシリコンゴム製のものを用いた。また、基板には、カプトンフィルムを用いた。グリップローラの基板に対する加圧力は、4.4N、8.9N、16.3Nと変化させた。また、各加圧力において、グリップローラの回転方向の角度θを、0〜7°まで1°ずつ変化させた。持ち上げ力は、搬送前に、基板を基準レベルまで引っ張り上げた時の基板を持上げている力を予め測定しておき、搬送開始後、基板の高さが安定した場合の上向き方向の力の変化量を測定することで求めた。
図6及び図7に示す実験装置を用いて、帯状可撓性基板の鉛直方向の蛇行を定量的に測定する試験を行った。図6に示す実験装置は、側端位置制御部が成膜部の巻出側にある点と、成膜室がない点を除いて、図1及び図2に示す装置と基本的な構成は同じである。図6に示す実験装置には、上下のグリップローラ(θU、θLともに1°)をそれぞれ9セット設置するとともに、これらの中間の位置および最後の位置に、上のみのグリップローラ(θUは1.5°)をそれぞれ連続で2セット設置した。これらグリップローラが設置された区間、すなわち、EPC蛇行センサが付いたローラとフィードローラとの間は、20mの長さにした。また、図7に示す実験装置は、中間の位置および最後の位置に、上記の上のみのグリップローラを設置せずに、中間の位置に、3本のEPCローラからなる中間室を設置した点を除いて、図6の実験装置と同じ構成とした。
図6の実験装置に帯状可撓性基板としてカプトンフィルムを使用した場合の結果を、図8に示す。図8のグラフに示すように、基板はほとんど蛇行せず、基板が基準位置から変位した量は±2.5mm以内におさまった。また、図7の実験装置にカプトンフィルムを使用した場合の結果を図9に示す。この中間室を設けた図7の実験装置の結果も、基準位置からの変位量が±2.5mm以内であった。このように、中間室を設けていない図6の実験装置は、中間室を設けた図7の実験装置と同様に、基板の蛇行がほとんど発生しなかった。
図12に示す実験装置を用いて、帯状可撓性基板の鉛直方向の蛇行を定量的に測定する試験を行った。この実施例では、成膜室の直線ライン後にターン室とスパッタ室が追加されるライン構成となっている。直線ラインにはロールによる支持はなく、グリップローラのみで支持する構成になっている。グリップローラとしては、各成膜室のために上下にグリップローラGR1〜GR15を設置したともに、その最後尾のグリップローラGR15とターン室手前のロールR2との間に、上下に2対のグリップローラGR19、20をそれぞれ連続して設置した。これら2対のグリップローラGR19、20は、ロールR2から60mm、80mmの位置にそれぞれ設置した。また、スパッタ室用に上下に3対のグリップローラGR16〜18を設置した。持ち上げに使用しないグリップローラGR1〜5、11〜15は、加圧力を15N、θUを1°として搬送を開始した。支持部のグリップローラGR6〜10は、加圧力を15N、θUを2.5°とした。帯状可撓性基板としてはカプトンフィルムを使用した。
図12の実験装置において、最後尾の2対のグリップローラの一方または両方を使用しなかった場合についても同様に、基板の変位量を測定した。その結果を図16に示す。なお、持ち上げに使用しないグリップローラGR1〜5、11〜15は、加圧力を15N、θUを1°として搬送を開始した。支持部のグリップローラGR6〜10については、加圧力を15N、θUを1.5°とした。また、最後尾の2対のグリップローラGR19、20を使用した場合も、一対のグリップローラGR19のみを使用した場合も、どちらもθU=6°、θL=1°とした。帯状可撓性基板としてはカプトンフィルムを使用した。
10 巻出部
11 巻出コア
12 補助ローラ
13 張力検出ローラ
20 巻出側駆動部
21 巻出側フィルム駆動ローラ
22 張力検出ローラ
23 補助ローラ
40 成膜部
42 成膜室
44、46 グリップローラ
50 側端位置制御部
51 蛇行検出ローラ
52 側端位置制御ローラ
60 巻取側駆動部
61 補助ローラ
62 張力検出ローラ
63 巻取側フィルム駆動ローラ
70 巻取部
71 巻取りコア
72 補助ローラ
73 張力検出ローラ
80 壁
81 高電圧電極
82 接地電極
83 排気管
88 中心点
90 固定用板
91 ローラ固定用軸
92 ローラ固定部
93 ローラ可動部
94 回転支持部
95 ハンドル部
96、97 ヒンジ
98 レバー
99 バー
Claims (4)
- 帯状可撓性基板の表面に複数の薄膜を積層して薄膜積層体を製造する装置であって、
前記基板の幅方向が鉛直方向になるようにして、前記基板を水平方向に搬送する基板搬送手段と、
前記基板の搬送方向に沿って連続して配列され、前記基板の表面に成膜を行う複数の成膜室と、
前記複数の成膜室のそれぞれの間に配置され、前記基板の鉛直方向上側の端部を挟む複数対のグリップローラと
を備えており、前記複数対のグリップローラが、各ローラの回転方向を、前記基板の搬送方向に対して上方に傾けて設置されている薄膜積層体の製造装置。 - 前記複数の成膜室の間に配列され、前記基板の鉛直方向下側の端部を挟む複数対のグリップローラを更に備えており、前記下側の端部を挟む複数対のグリップローラが、各ローラの回転方向を、前記基板の搬送方向に対して下方に傾けて設置されている請求項1に記載の薄膜積層体の製造装置。
- 前記複数の成膜室のうちの中央に位置する2室の成膜室の間において、前記上側の端部を挟む対のグリップローラが、連続して2対以上設置されている請求項1又は2に記載の薄膜積層体の製造装置。
- 前記複数の成膜室のうち、前記基板の搬送方向の最後尾に位置する成膜室の後において、前記上側の端部を挟む対のグリップローラと、前記下側の端部を挟む対のグリップローラとが、連続して2対以上それぞれ設置されている請求項2又は3に記載の薄膜積層体の製造装置。
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JP2008200549A JP2009057632A (ja) | 2007-08-03 | 2008-08-04 | 薄膜積層体の製造装置 |
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- 2008-08-04 JP JP2008200549A patent/JP2009057632A/ja active Pending
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