KR101903600B1

KR101903600B1 - 기판 이송 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 이를 이용하는 기판 처리 방법

Info

Publication number: KR101903600B1
Application number: KR1020110096493A
Authority: KR
Inventors: 장재혁
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2011-09-23
Filing date: 2011-09-23
Publication date: 2018-10-04
Also published as: US9663314B2; US20150232296A1; KR20130032729A; US20130078371A1; US9022270B2

Abstract

기판 이송 유닛은 복수의 제1 이송 롤들 및 복수의 제2 이송 롤들을 포함한다. 상기 제1 이송 롤들은 기판의 제1 면과 접촉한다. 상기 제1 이송 롤들은 양전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함한다. 상기 제2 이송 롤들은 상기 기판의 상기 제1 면과 접촉한다. 상기 제2 이송 롤들은 음전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함한다. 상기 제2 이송 롤들은 상기 제1 이송 롤들과 교대로 배치된다. 이에 따라, 기판의 공정 면을 효과적으로 보호할 수 있다.

Description

기판 이송 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 이를 이용하는 기판 처리 방법 {SUBSTRATE TRANSFERRING UNIT, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS HAVING THE SAME AND METHOD OF PROCESSING SUBSTRATE USING THE SAME}

본 발명은 기판 이송 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 이를 이용하는 기판 처리 방법에 관한 것으로, 기판의 공정 면을 보호할 수 있는 기판 이송 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 이를 이용하는 기판 처리 방법에 관한 것이다.

롤투롤 공정은 얇은 기판을 공급 롤로부터 회수 롤로 연속적으로 이송시키면서 공정을 진행하는 방식을 의미한다. 상기 기판은 종이, 플라스틱, 금속 호일 및 박형 유리를 포함할 수 있다.

최근에는 가볍고 휴대가 편하며 경제적이고 내구성이 강한 플렉서블 표시 장치가 개발되고 있다. 상기 롤투롤 공정을 사용하면 상기 플렉서블 표시 장치의 표시 패널의 제조 공정을 자동화, 신속화할 수 있고, 따라서 생산성을 향상시킬 수 있다.

일반적으로 상기 롤투롤 공정에서는 공정이 진행되는 상기 기판의 상면 및 상기 상면에 반대되는 하면에 각각 이송 롤들이 접촉하여 상기 기판을 이송시키게 된다.

상기 이송 롤이 상기 기판의 공정 면에 접촉하는 경우, 상기 공정 면에 스크래치 등의 데미지가 발생할 수 있다. 특히, 상기 이송 롤이 상기 표시 패널의 기판의 공정 면에 접촉하는 경우, 상기 기판 상에 형성되는 신호 배선에 단선이 발생하여 상기 표시 패널의 생산성이 감소하거나, 상기 기판 상에 얼룩이 발생하여 상기 표시 패널의 표시 품질이 악화되는 문제점이 있다.

상기 기판의 공정 면을 보호하기 위해 보호 시트를 접착 및 제거하는 경우, 상기 표시 패널의 제조 비용이 증가하는 문제점이 있다. 뿐만 아니라, 상기 보호 시트에 의해 공정 면이 오염될 수도 있다. 예를 들어, 배향막이 민감한 경우, 상기 보호 시트에 의해 배향력을 상실할 수 있다.

상기 기판의 공정 면을 보호하기 위해 계단형 이송 롤을 사용할 수 있다. 상기 계단형 이송 롤의 중심부에는 함몰부가 형성되어 상기 기판과 접촉하지 않는다. 상기 계단형 이송 롤의 가장자리부는 상기 기판과 접촉하여, 상기 기판을 이송시킨다. 상기 계단형 이송 롤은 상기 가장자리부만이 상기 기판과 접촉하므로 구동 전달력이 약하다. 또한, 상기 계단형 이송 롤 및 상기 기판의 접촉 면적을 증가시킬 경우, 상기 기판의 이용 효율이 감소하는 문제점이 있다.

상기 기판의 공정 면을 보호하기 위해 공기 부상 이송 롤을 사용할 수 있다. 상기 공기 부상 이송 롤을 사용할 경우, 소음이 발생할 수 있고, 상기 표시 패널의 제조 비용이 증가하는 문제점이 있다. 또한, 상기 공기 부상 이송 롤은 공기를 이용하므로, 상기 공기 부상 이송 롤은 진공 상태에서는 사용할 수 없는 문제점이 있다.

이에, 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로 본 발명의 목적은 기판의 공정 면을 효과적으로 보호할 수 있는 기판 이송 유닛을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상기 기판 이송 유닛을 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 상기 기판 처리 장치를 이용하는 기판 처리 방법을 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 기판 이송 유닛은 복수의 제1 이송 롤들 및 복수의 제2 이송 롤들을 포함한다. 상기 제1 이송 롤들은 기판의 제1 면과 접촉한다. 상기 제1 이송 롤들은 양전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함한다. 상기 제2 이송 롤들은 상기 기판의 상기 제1 면과 접촉한다. 상기 제2 이송 롤들은 음전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함한다. 상기 제2 이송 롤들은 상기 제1 이송 롤들과 교대로 배치된다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판은 플렉서블 기판일 수 있다. 상기 제1 이송 롤들 및 상기 제2 이송 롤들은 곡선을 따라 배치될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 이송 롤들의 상기 중심부는 금속을 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 이송 롤들의 상기 주변부는 절연 물질을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 이송 유닛은 상기 기판의 상기 제1 면과 접촉하고 전하에 의해 대전되지 않는 복수의 제3 이송 롤들을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 하나의 상기 제1 이송 롤 및 하나의 상기 제2 이송 롤은 반복적으로 교대로 배치될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 두 개의 상기 제1 이송 롤들 및 두 개의 상기 제2 이송 롤들은 반복적으로 교대로 배치될 수 있다.

상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 공급부, 공급 구동부, 패터닝부, 회수 구동부 및 회수부를 포함한다. 상기 공급부는 기판을 공급하는 공급 롤을 포함한다. 상기 공급 구동부는 상기 공급부에 인접하여 배치되고 상기 기판을 공급하기 위한 구동력을 제공한다. 상기 패터닝부는 상기 기판에 패턴을 형성한다. 상기 회수 구동부는 상기 기판을 회수하기 위한 구동력을 제공한다. 상기 회수부는 상기 회수 구동부에 인접하여 배치되고 상기 기판을 회수한다. 상기 공급 구동부, 상기 패터닝부, 상기 회수 구동부 중 적어도 어느 하나는 복수의 제1 이송 롤들 및 복수의 제2 이송 롤들을 포함한다. 상기 제1 이송 롤들은 상기 기판의 제1 면과 접촉하고 양전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함한다. 상기 제2 이송 롤들은 상기 기판의 상기 제1 면과 접촉하고 음전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함하며 상기 제1 이송 롤들과 교대로 배치된다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 장치는 상기 기판의 상기 제1 면과 접촉하고 전하에 의해 대전되지 않는 복수의 제3 이송 롤들을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 장치는 상기 패터닝부 및 상기 회수 구동부 사이에 배치되며 상기 패턴이 형성된 상기 기판을 이송시켜 공정 시간을 조절하는 어큐물레이터를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 어큐물레이터는 곡선을 따라 배치되는 상기 제1 이송 롤들 및 상기 제2 이송 롤들을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 장치는 상기 어큐물레이터 및 상기 회수 구동부 사이에 배치되며 상기 기판에 제2 패턴을 형성하는 제2 패터닝부 및 상기 제2 패터닝부 및 상기 회수 구동부 사이에 배치되며 상기 제2 패턴이 형성된 기판을 이송시켜 공정 시간을 조절하는 제2 어큐물레이터를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판이 상기 어큐물레이터를 통과하는 데에 소요되는 시간은 상기 기판이 상기 제2 어큐물레이터를 통과하는 데에 소요되는 시간과 상이할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 장치는 상기 패터닝부 및 상기 회수 구동부 사이에 배치되며 상기 기판 상에 형성된 패턴을 건조하는 건조부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 장치는 상기 기판의 장력을 센싱하는 센싱 롤을 포함하고 상기 기판의 장력을 일정하게 유지하기 위한 장력 피드백 신호를 생성하는 장력 센싱부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 공급 구동부, 상기 패터닝부 및 상기 회수 구동부는 진공 상태에서 동작할 수 있다.

상기한 본 발명의 또 다른 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 기판 처리 방법은 기판의 제1 면과 접촉하고 양전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함하는 복수의 제1 이송 롤들에 양전하를 인가하는 단계, 상기 기판의 상기 제1 면과 접촉하고 음전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함하고, 상기 제1 이송 롤들과 교대로 배치되는 복수의 제2 이송 롤들에 음전하를 인가하는 단계, 공급 롤에 감겨 있는 기판을 공급하는 단계, 상기 기판에 패턴을 형성하는 단계 및 상기 기판을 회수 롤에 감아 상기 기판을 회수하는 단계를 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 방법은 상기 패턴이 형성된 기판을 이송시켜 공정 시간을 조절하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 방법은 상기 기판의 장력을 센싱하는 단계 및 상기 기판의 장력을 일정하게 유지하기 위한 장력 피드백 신호를 생성하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 패턴을 형성하는 단계는 진공 상태에서 처리될 수 있다.

이와 같은 기판 이송 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 이를 이용하는 기판 처리 방법에 따르면, 이송 롤들이 기판의 공정 면과 접촉하지 않으므로 기판의 공정 면을 효과적으로 보호할 수 있다.

상기 기판이 표시 패널의 구성 요소인 경우, 상기 표시 패널의 생산성을 향상시킬 수 있고, 상기 표시 패널의 표시 품질을 향상시킬 수 있으며, 표시 패널의 제조 비용을 절감할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1의 A 부분을 나타내는 확대 단면도이다.
도 3은 도 1의 B 부분을 나타내는 확대 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 유닛을 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치의 일부를 나타내는 단면도이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 단면도이다.

도 1을 참조하면, 상기 기판 처리 장치는 공급부(100), 공급 구동부(200), 패터닝부(300), 어큐물레이터(400), 건조부(500), 회수 구동부(600) 및 회수부(700)를 포함한다.

상기 공급부(100)는 기판(S)을 상기 패터닝부(300)에 공급하는 공급 롤을 포함한다. 상기 공급부(100)는 상기 기판(S)을 상기 패터닝부(300)에 공급하기 위해 적어도 하나 이상의 이송 롤(R)을 포함한다.

상기 기판(S)은 플렉서블 기판일 수 있다. 상기 기판(S)은 플라스틱, 금속 호일 또는 박형 유리를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 기판(S)은 폴리카보네이트(PC)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 기판(S)은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)를 포함할 수 있다.

상기 공급 구동부(200)는 상기 공급부(100)에 인접하여 배치된다. 상기 공급 구동부(200)는 상기 공급부(100)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 공급 구동부(200)는 상기 기판(S)을 공급하기 위한 구동력을 제공한다. 상기 공급 구동부(200)는 기판 이송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 공급 구동부(200)는 복수의 상기 이송 롤들(R)을 포함할 수 있다.

상기 공급 구동부(200)는 상기 기판(S)을 직선을 따라 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 공급 구동부(200)는 상기 기판(S)을 곡선을 따라 이동시킬 수 있다.

상기 공급 구동부(200)는 진공 상태에서 동작할 수 있다.

상기 이송 롤들(R)은 상기 기판(S)의 제1 면에만 접촉한다. 상기 기판(S)은 공정이 진행되는 공정 면 및 상기 공정 면에 반대되는 공정이 진행되지 않는 면을 포함할 수 있다. 상기 기판(S)의 제1 면은 공정이 진행되지 않는 면일 수 있다.

상기 이송 롤들(R)의 반지름은 배치 위치 및 기능에 따라 다양하게 설정될 수 있다. 이와는 달리, 상기 이송 롤들(R)의 반지름은 모두 동일할 수 있다.

상기 이송 롤들(R)에 대해서는 도 2 및 도 3을 참조하여 더욱 상세히 설명한다.

상기 패터닝부(300)는 상기 공급 구동부(200)에 인접하여 배치된다. 상기 패터닝부(300)는 상기 공급 구동부(200)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 패터닝부(300)는 상기 기판(S) 상에 패턴을 형성한다. 상기 패터닝부(300)는 상기 기판(S)의 공정 면 상에 패턴을 형성한다.

상기 패터닝부(300)는 기판 이송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 패터닝부(300)는 복수의 상기 이송 롤들(R)을 포함할 수 있다.

상기 패터닝부(300)는 상기 기판(S)을 직선을 따라 이동시키면서 상기 기판(S) 상에 패턴을 형성할 수 있다. 또한, 상기 패터닝부(300)는 상기 기판(S)을 곡선을 따라 이동시키면서 상기 기판(S) 상에 패턴을 형성할 수 있다.

상기 패터닝부(300)는 패터닝 유닛(310), 고정부(320) 및 지지대(330)를 포함할 수 있다. 상기 패터닝 유닛(310)은 상기 기판(S)의 공정 면 상에 배치되어 상기 기판(S) 상에 패턴을 형성한다. 상기 고정부(320)는 상기 패터닝 유닛(310)을 고정한다. 상기 고정부(320)는 상기 패터닝 유닛(310)을 일정 방향으로 이동시키는 구동부의 역할을 할 수 있다. 상기 지지대(330)는 상기 기판(S)을 공정 위치에 배치시킨다.

상기 패터닝부(300)는 프린팅 공정에 의해 패턴을 형성할 수 있다. 예를 들어, 상기 패터닝부(300)는 롤 프린팅부 일 수 있다. 상기 패터닝 유닛(310)은 인쇄 롤을 포함할 수 있다. 상기 인쇄 롤은 상기 고정부(320)에 의해 고정되며, 상기 고정부(320)와 함께 이동하면서 상기 기판(S) 상에 패턴을 형성할 수 있다.

상기 패터닝부(300)는 포토 레지스트 공정에 의해 패턴을 형성할 수 있다. 예를 들어, 상기 패터닝부(300)는 화학 기상 증착, 스퍼터링 등의 공정을 수행할 수 있다.

상기 패터닝부(300)는 진공 상태에서 동작할 수 있다.

상기 어큐물레이터(400)는 상기 패터닝부(300)에 인접하여 배치된다. 상기 어큐물레이터(400)는 상기 패터닝부(300)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 어큐물레이터(400)는 상기 패턴이 형성된 상기 기판(S)을 이송시켜 공정 시간을 조절한다. 예를 들어, 상기 어큐물레이터(400)는 상기 패터닝부(300)의 패터닝 공정과 다른 공정들 간의 공정 시간을 조절한다. 상기 패터닝부(300)의 패터닝 공정과 상기 건조부(500)의 건조 공정 간의 공정 시간을 조절할 수 있다. 상기 어큐물레이터(400)는 복수의 패터닝 공정들 간의 공정 시간을 조절할 수 있다.

상기 어큐물레이터(400)는 상기 기판(S)의 이송 경로의 길이를 적절히 설정하여 상기 기판(S)의 출력 시간을 조절할 수 있다. 예를 들어, 상기 패터닝부(300)의 패터닝 공정이 다른 공정에 비해 짧은 경우, 상기 어큐물레이터(400)의 기판(S) 이송 경로를 상대적으로 길게 제조하여 상기 기판(S)의 출력 시간을 지연시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 패터닝부(300)의 패터닝 공정이 다른 공정에 비해 긴 경우, 상기 어큐물레이터(400)의 기판 이송 경로를 상대적으로 짧게 제조하여 상기 기판(S)의 출력 시간을 앞당길 수 있다.

상기 어큐물레이터(400)는 기판 이송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 어큐물레이터(400)는 복수의 상기 이송 롤들(R)을 포함할 수 있다.

상기 어큐물레이터(400)는 상기 기판(S)을 직선을 따라 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 어큐물레이터(400)는 상기 기판(S)을 곡선을 따라 이동시킬 수 있다. 특히, 상기 어큐물레이터(400)는 상기 기판(S)의 출력 시간을 지연시키기 위해 상기 기판(S)의 이송 경로를 곡선 형태로 형성할 수 있다.

상기 어큐물레이터(400)는 진공 상태에서 동작할 수 있다.

도시한 바와 달리, 하나의 공정만을 수행하는 경우 또는 복수의 공정들의 공정 시간이 실질적으로 동일한 경우, 상기 어큐물레이터(400)는 생략될 수 있다.

상기 건조부(500)는 상기 어큐물레이터(400)에 인접하여 배치된다. 상기 건조부(500)는 상기 어큐물레이터(400)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 건조부(500)는 상기 기판(S) 상에 형성된 패턴을 건조한다. 상기 건조부(500)는 오븐을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 건조부(500)는 열로 상기 패턴을 건조할 수 있다. 예를 들어, 상기 건조부(500)는 자외선으로 상기 패턴을 건조할 수 있다. 예를 들어, 상기 건조부(500)는 마이크로파로 상기 패턴을 건조할 수 있다.

상기 건조부(500)는 상기 기판(S)의 이송 경로의 길이를 적절히 설정하여 상기 기판(S)이 건조되는 시간을 조절할 수 있다. 예를 들어, 상기 기판 이송 경로를 길게 형성하는 경우, 상기 기판(S)의 건조 시간이 길어진다.

상기 건조부(500)는 기판 이송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 건조부(500)는 복수의 상기 이송 롤들(R)을 포함할 수 있다.

상기 건조부(500)는 상기 기판(S)을 직선을 따라 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 건조부(500)는 상기 기판(S)을 곡선을 따라 이동시킬 수 있다. 특히, 상기 건조부(500)는 상기 기판(S)의 충분한 건조 시간을 확보하기 위해 복수의 곡선 형태의 기판 이송 경로를 포함할 수 있다.

상기 건조부(500)는 진공 상태에서 동작할 수 있다.

도시한 바와 달리, 상기 패터닝부(300)에서 형성된 패턴이 건조를 필요로 하지 않는 경우 상기 건조부(500)는 생략될 수 있다. 또한, 상기 건조부(500)는 상기 패터닝부(300) 내에 형성될 수 있다.

상기 회수 구동부(600)는 상기 건조부(500)에 인접하여 배치된다. 상기 회수 구동부(600)는 상기 건조부(500)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 회수 구동부(600)는 상기 기판(S)을 회수하기 위한 구동력을 제공한다. 상기 회수 구동부(600)는 기판 이송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 회수 구동부(600)는 복수의 상기 이송 롤들(R)을 포함할 수 있다.

상기 회수 구동부(600)는 상기 기판(S)을 직선을 따라 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 회수 구동부(600)는 상기 기판(S)을 곡선을 따라 이동시킬 수 있다.

상기 회수 구동부(600)는 진공 상태에서 동작할 수 있다.

상기 회수부(700)는 상기 회수 구동부(600)에 인접하여 배치된다. 상기 회수부(700)는 상기 회수 구동부(600)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 회수부(700)는 상기 기판(S)을 회수하는 회수 롤을 포함한다. 상기 회수부(700)는 상기 기판(S)을 회수하기 위해 적어도 하나 이상의 이송 롤(R)을 포함한다.

도 2는 도 1의 A 부분을 나타내는 확대 단면도이다.

도 2를 참조하면, A 부분은 상기 기판(S)을 직선으로 이송하는 기판 이송 유닛을 나타낸다. 상기 기판 이송 유닛은 복수의 제1 이송 롤들(R1, R3, R5) 및 복수의 제2 이송 롤들(R2, R4, R6)을 포함한다.

상기 제1 및 제2 이송 롤들(R1 내지 R6)은 직선을 따라 배치된다. 상기 제1 및 제2 이송 롤들(R1 내지 R6)은 상기 기판(S)의 제1 면과 접촉한다. 상기 기판(S)의 제1 면은 상기 기판(S)의 공정 면(S1)에 반대되는 면이다.

상기 제1 및 제2 이송 롤들(R1 내지 R6)은 각각 구동 모터에 연결된다. 상기 제1 및 제2 이송 롤들(R1 내지 R6)은 일 방향으로 회전하면서 상기 기판(S)을 이동시킨다. 상기 기판(S)은 상기 제1 및 제2 이송 롤들(R1 내지 R6)과 상기 기판(S) 간의 마찰력에 의해 이동한다. 예를 들어, 상기 제1 및 제2 이송 롤들(R1 내지 R6)은 시계 방향으로 회전할 수 있다. 이때, 상기 기판(S)은 좌측에서 우측 방향으로 이동할 수 있다.

상기 제1 이송 롤들(R1, R3, R5)은 각각 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함한다. 상기 중심부는 전극부일 수 있다. 상기 중심부는 금속을 포함할 수 있다. 상기 주변부는 절연 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 주변부는 폴리 이미드 또는 산화 알루미늄과 같은 세라믹을 포함할 수 있다.

상기 제1 이송 롤들(R1, R3, R5)의 중심부는 양전하(+)로 대전된다. 상기 제1 이송 롤들(R1, R3, R5)의 중심부에 대응되는 상기 기판(S)의 일 부분은 정전기 유도에 의해 음전하(-)가 유도된다. 따라서, 상기 기판(S) 및 상기 제1 이송 롤들(R1, R3, R5) 사이에는 인력이 작용한다.

상기 기판(S) 및 상기 제1 이송 롤들(R1, R3, R5) 간의 인력은 상기 제1 이송 롤들(R1, R3, R5)에 인가되는 전압의 제곱에 비례하고, 상기 제1 이송 롤들(R1, R3, R5)의 상기 주변부의 두께의 제곱에 반비례하며, 상기 제1 이송 롤들(R1, R3, R5)의 상기 주변부의 유전율에 비례한다.

상기 기판(S)은 상기 제1 이송 롤들(R1, R3, R5)과 상기 기판(S)간의 마찰력에 의해 이동하는데, 상기 기판(S) 및 상기 제1 이송 롤들(R1, R3, R5)간의 인력은 상기 마찰력의 수직항력으로 작용한다.

상기 제2 이송 롤들(R2, R4, R6)은 각각 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함한다. 상기 중심부는 전극부일 수 있다. 상기 중심부는 금속을 포함할 수 있다. 상기 주변부는 절연 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 주변부는 폴리 이미드 또는 산화 알루미늄과 같은 세라믹을 포함할 수 있다.

상기 제2 이송 롤들(R2, R4, R6)의 중심부는 음전하(-)로 대전된다. 상기 제2 이송 롤들(R2, R4, R6)의 중심부에 대응되는 상기 기판(S)의 일 부분은 정전기 유도에 의해 양전하(+)가 유도된다. 따라서, 상기 기판(S) 및 상기 제2 이송 롤들(R2, R4, R6) 사이에는 인력이 작용한다.

상기 기판(S)은 상기 제2 이송 롤들(R2, R4, R6)과 상기 기판(S)간의 마찰력에 의해 이동하는데, 상기 기판(S) 및 상기 제2 이송 롤들(R2, R4, R6)간의 인력은 상기 마찰력의 수직항력으로 작용한다.

결과적으로, 상기 제1 및 제2 이송 롤들(R1 내지 R6)은 상기 기판(S)의 공정 면(S1)에 접촉하지 않고 정전기 유도를 이용하여 상기 기판(S)을 이송할 수 있다. 따라서, 상기 기판 이송 과정에서 상기 기판(S)의 공정 면이 효과적으로 보호될 수 있다.

상기 제1 이송 롤들(R1, R3, R5) 및 상기 제2 이송 롤들(R2, R4, R6)은 서로 교대로 배치된다. 예를 들어, 하나의 상기 제1 이송 롤 및 하나의 상기 제2 이송 롤은 반복적으로 교대로 배치될 수 있다. 도시한 바와 달리, 두 개의 상기 제1 이송 롤들 및 두 개의 상기 제2 이송 롤들은 반복적으로 교대로 배치될 수 있다. 세 개 이상의 1군의 상기 제1 이송 롤들 및 세 개 이상의 1군의 상기 제2 이송 롤들은 반복적으로 교대로 배치될 수 있다.

도 3은 도 1의 B 부분을 나타내는 확대 단면도이다.

도 3을 참조하면, B 부분은 상기 기판(S)을 곡선으로 이송하는 방향 전환 유닛을 나타낸다. 상기 방향 전환 유닛은 복수의 제1 이송 롤들(R8, R10, R12) 및 복수의 제2 이송 롤들(R9, R11, R13)을 포함한다.

상기 제1 및 제2 이송 롤들(R8 내지 R13)은 곡선을 따라 배치된다. 상기 제1 및 제2 이송 롤들(R8 내지 R13)은 상기 기판(S)의 제1 면과 접촉한다. 상기 기판(S)의 제1 면은 상기 기판(S)의 공정 면(S1)에 반대되는 면이다.

상기 제1 및 제2 이송 롤들(R8 내지 R13)은 각각 구동 모터에 연결된다. 상기 제1 및 제2 이송 롤들(R8 내지 R13)은 일 방향으로 회전하면서 상기 기판(S)을 이동시킨다. 상기 기판(S)은 상기 제1 및 제2 이송 롤들(R8 내지 R13)과 상기 기판(S) 간의 마찰력에 의해 이동한다. 예를 들어, 상기 제1 및 제2 이송 롤들(R8 내지 R13)은 시계 방향으로 회전할 수 있다. 이때, 상기 기판(S)은 하측 방향으로 이동하다가 상측 방향으로 이동할 수 있다.

상기 제1 및 제2 이송 롤들(R8 내지 R13)은 각각 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함한다. 상기 중심부는 전극부일 수 있다. 상기 주변부는 절연 물질을 포함할 수 있다.

상기 제1 이송 롤들(R8, R10, R12)의 중심부는 양전하(+)로 대전된다. 상기 제1 이송 롤들(R8, R10, R12)의 중심부에 대응되는 상기 기판(S)의 일 부분은 정전기 유도에 의해 음전하(-)가 유도된다. 따라서, 상기 기판(S) 및 상기 제1 이송 롤들(R8, R10, R12) 사이에는 인력이 작용한다.

상기 제2 이송 롤들(R9, R11, R13)의 중심부는 음전하(-)로 대전된다. 상기 제2 이송 롤들(R9, R11, R13)의 중심부에 대응되는 상기 기판(S)의 일 부분은 정전기 유도에 의해 양전하(+)가 유도된다. 따라서, 상기 기판(S) 및 상기 제2 이송 롤들(R9, R11, R13) 사이에는 인력이 작용한다.

결과적으로, 상기 제1 및 제2 이송 롤들(R1 내지 R6)은 상기 기판(S)의 공정 면(S1)에 접촉하지 않고 정전기 유도를 이용하여 상기 기판(S)의 이송 방향을 전환할 수 있다. 따라서, 상기 방향 전환 과정에서 상기 기판(S)의 공정 면이 효과적으로 보호될 수 있다.

상기 제1 이송 롤들(R8, R10, R12)및 상기 제2 이송 롤들(R9, R11, R13)은 서로 교대로 배치된다. 예를 들어, 하나의 상기 제1 이송 롤 및 하나의 상기 제2 이송 롤은 반복적으로 교대로 배치될 수 있다.

본 실시예에 따르면, 기판 이송 과정 및 방향 전환 과정에서 이송 롤들이 기판의 공정 면과 접촉하지 않으므로 기판의 공정 면을 효과적으로 보호할 수 있다.

또한, 상기 기판이 표시 패널의 구성 요소인 경우, 상기 기판의 공정 면을 보호하여 상기 표시 패널의 생산성을 향상시킬 수 있고, 상기 표시 패널의 표시 품질을 향상시킬 수 있으며 상기 표시 패널의 제조 비용을 절감할 수 있다.

또한, 상기 계단형 이송 롤과 비교할 때, 기판의 이용 효율을 증가시킬 수 있다.

또한, 상기 공기 부상 이송 롤과 비교할 때, 진공 상태에서 기판의 처리가 가능하고, 공정에서의 소음을 방지할 수 있으며, 기판의 제조 비용을 절감할 수 있다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 유닛을 나타내는 단면도이다.

본 실시예에 따른 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법은 기판 이송 유닛을 제외하면 도 1 내지 도 3에 따른 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법과 실질적으로 동일하므로, 동일하거나 대응되는 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용하고, 반복되는 설명은 생략한다.

도 1 및 도 4를 참조하면, 상기 기판 처리 장치는 공급부(100), 공급 구동부(200), 패터닝부(300), 어큐물레이터(400), 건조부(500), 회수 구동부(600) 및 회수부(700)를 포함한다.

상기 건조부(500)는 상기 기판(S) 상에 형성된 패턴을 건조한다. 상기 건조부(500)는 오븐을 포함할 수 있다.

도 4를 참조하면, 상기 기판 이송 유닛은 복수의 제1 이송 롤들(R15, R18), 복수의 제2 이송 롤들(R16, R19) 및 복수의 제3 이송 롤들(R17, R20)을 포함한다.

상기 제1 내지 제3 이송 롤들(R15 내지 R20)은 직선을 따라 배치된다. 상기 제1 내지 제3 이송 롤들(R15 내지 R20)은 상기 기판(S)의 제1 면과 접촉한다. 상기 기판(S)의 제1 면은 상기 기판(S)의 공정 면(S1)에 반대되는 면이다.

상기 제1 및 제2 이송 롤들(R15, R16, R18, R19)은 각각 구동 모터에 연결된다. 상기 제1 및 제2 이송 롤들(R15, R16, R18, R19)은 일 방향으로 회전하면서 상기 기판(S)을 이동시킨다. 상기 기판(S)은 상기 제1 및 제2 이송 롤들(R15, R16, R18, R19)과 상기 기판(S) 간의 마찰력에 의해 이동한다. 예를 들어, 상기 제1 및 제2 이송 롤들(R15, R16, R18, R19)은 시계 방향으로 회전할 수 있다. 이때, 상기 기판(S)은 좌측에서 우측 방향으로 이동할 수 있다.

상기 제3 이송 롤들(R17, R20)은 구동 모터에 연결되지 않을 수 있다. 상기 제3 이송 롤들(R17, R20)은 능동적으로 회전하지 않고, 기판(S)이 이동함에 따라 수동적으로 회전한다.

상기 제1 및 제2 이송 롤들(R15, R16, R18, R19)은 각각 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함한다. 상기 중심부는 전극부일 수 있다. 상기 주변부는 절연 물질을 포함할 수 있다.

상기 제3 이송 롤들(R17, R20)은 전극부를 포함하는 중심부 및 상기 중심부를 감싸고 절연 물질을 포함하는 주변부를 포함할 수 있다. 이와는 달리, 상기 제3 이송 롤들(R17, R20)은 전극부를 포함하지 않고, 절연 물질만을 포함할 수 있다.

상기 제1 이송 롤들(R15, R18)의 중심부는 양전하(+)로 대전된다. 상기 제1 이송 롤들(R15, R18)의 중심부에 대응되는 상기 기판(S)의 일 부분은 정전기 유도에 의해 음전하(-)가 유도된다. 따라서, 상기 기판(S) 및 상기 제1 이송 롤들(R15, R18) 사이에는 인력이 작용한다.

상기 제2 이송 롤들(R16, R19)의 중심부는 음전하(-)로 대전된다. 상기 제2 이송 롤들(R16, R19)의 중심부에 대응되는 상기 기판(S)의 일 부분은 정전기 유도에 의해 양전하(+)가 유도된다. 따라서, 상기 기판(S) 및 상기 제2 이송 롤들(R16, R19) 사이에는 인력이 작용한다.

결과적으로, 상기 제1 및 제2 이송 롤들(R15, R16, R18, R19)은 상기 기판(S)의 공정 면(S1)에 접촉하지 않고 정전기 유도를 이용하여 상기 기판(S)의 이송 방향을 전환할 수 있다. 따라서, 상기 방향 전환 과정에서 상기 기판(S)의 공정 면이 효과적으로 보호될 수 있다.

상기 제3 이송 롤들(R17, R20)은 전하에 의해 대전되지 않는다. 상기 제3 이송 롤들(R17, R20)은 기판의 이송 경로를 형성하는 역할을 할 뿐, 능동적으로 상기 기판(S)을 이송시키지 않는다.

상기 제1 이송 롤들(R15, R18), 상기 제2 이송 롤들(R16, R19) 및 상기 제3 이송 롤들(R17, R20)은 서로 교대로 배치될 수 있다. 예를 들어, 하나의 상기 제1 이송 롤, 하나의 상기 제2 이송 롤 및 하나의 상기 제3 이송 롤은 반복적으로 교대로 배치될 수 있다.

또한, 전하에 의해 대전되지 않는 상기 제3 이송 롤들을 이용하여 상기 기판 이송 구동력을 적절히 조절하고, 기판의 제조 비용을 절감할 수 있다.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 단면도이다.

본 실시예에 따른 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법은 장력 센싱부를 더 포함하는 것을 제외하면 도 1 내지 도 3에 따른 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법과 실질적으로 동일하므로, 동일하거나 대응되는 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용하고, 반복되는 설명은 생략한다.

도 5를 참조하면, 상기 기판 처리 장치는 공급부(100), 공급 구동부(200), 장력 센싱부(250), 패터닝부(300), 어큐물레이터(400), 건조부(500), 회수 구동부(600) 및 회수부(700)를 포함한다.

상기 이송 롤들(R)은 상기 기판(S)의 제1 면과 접촉한다. 상기 기판(S)의 제1 면은 상기 기판(S)의 공정 면(S1)에 반대되는 면이다.

상기 이송 롤들(R)은 각각 구동 모터에 연결된다. 상기 이송 롤들(R)은 일 방향으로 회전하면서 상기 기판(S)을 이동시킨다.

상기 장력 센싱부(250)는 상기 공급 구동부(200)에 인접하여 배치된다. 상기 장력 센싱부(250)는 상기 공급 구동부(200)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 장력 센싱부(250)는 상기 기판(S)의 장력을 센싱하고 상기 기판(S)의 장력을 일정하게 유지한다.

상기 장력 센싱부(250)는 상기 기판(S)의 장력을 센싱하는 센싱 롤(SR)을 포함한다. 상기 장력 센싱부(250)는 상기 센싱 롤(SR)이 센싱한 장력을 기초로 상기 기판(S)의 장력을 일정하게 유지하기 위한 장력 피드백 신호를 생성하는 신호 생성부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 기판 처리 장치는 상기 장력 피드백 신호를 기초로 상기 이송 롤들(R)에 연결되는 구동 모터들의 구동력을 제어한다.

본 실시예에서는 상기 장력 센싱부(250)가 상기 패터닝부(300) 앞에 배치되는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되지 않는다. 상기 장력 센싱부(250)는 상기 기판(S)의 장력이 일정하게 유지되어야 하는 부분에 대응하여 배치될 수 있다. 상기 장력 센싱부(250)는 상기 기판(S)의 장력을 일정하기 유지하기 위해 상기 기판 처리 장치 내에 복수 개 형성될 수 있다.

상기 패터닝부(300)는 상기 장력 센싱부(250)에 인접하여 배치된다. 상기 패터닝부(300)는 상기 장력 센싱부(250)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

또한, 상기 기판(S)의 장력을 일정하게 유지하여 상기 기판(S)의 생산성 및 품질을 향상시킬 수 있다.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치의 일부를 나타내는 단면도이다.

본 실시예에 따른 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법은 복수의 패터닝부 및 복수의 어큐물레이터를 포함하는 것을 제외하면 도 1 내지 도 3에 따른 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법과 실질적으로 동일하므로, 동일하거나 대응되는 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용하고, 반복되는 설명은 생략한다.

도 1 및 도 6을 참조하면, 상기 기판 처리 장치는 공급부(100), 공급 구동부(200), 복수의 패터닝부들(300A 내지 300D), 복수의 어큐물레이터들(400A 내지 400D), 건조부(500), 회수 구동부(600) 및 회수부(700)를 포함한다.

제1 패터닝부(300A)는 상기 공급 구동부(200)에 인접하여 배치된다. 상기 제1 패터닝부(300A)는 상기 공급 구동부(200)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 제1 패터닝부(300A)는 상기 기판(S) 상에 제1 패턴을 형성한다. 상기 제1 패터닝부(300A)는 상기 기판(S)의 공정 면 상에 상기 제1 패턴을 형성한다. 예를 들어, 상기 제1 패턴은 컬러필터 기판의 블랙 매트릭스 패턴일 수 있다.

상기 제1 패터닝부(300A)는 기판 이송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 제1 패터닝부(300A)는 복수의 상기 이송 롤들(R)을 포함할 수 있다.

상기 제1 어큐물레이터(400A)는 상기 제1 패터닝부(300A)에 인접하여 배치된다. 상기 제1 어큐물레이터(400A)는 상기 제1 패터닝부(300A)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 제1 어큐물레이터(400A)는 상기 제1 패턴이 형성된 상기 기판(S)을 이송시켜 공정 시간을 조절한다. 예를 들어, 상기 제1 어큐물레이터(400A)는 상기 제1 패터닝부(300A)의 패터닝 공정과 다른 공정들 간의 공정 시간을 조절한다. 상기 제1 패터닝부(300A)의 패터닝 공정과 상기 건조부(500)의 건조 공정 간의 공정 시간을 조절할 수 있다. 상기 제1 어큐물레이터(400A)는 복수의 패터닝부(300B 내지 300D)의 복수의 패터닝 공정들 간의 공정 시간을 조절할 수 있다.

상기 제1 어큐물레이터(400A)는 기판 이송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 제1 어큐물레이터(400A)는 복수의 상기 이송 롤들(R)을 포함할 수 있다.

제2 패터닝부(300B)는 상기 제1 어큐물레이터(400A)에 인접하여 배치된다. 상기 제2 패터닝부(300B)는 상기 제1 어큐물레이터(400A)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 제2 패터닝부(300B)는 상기 기판(S) 상에 제2 패턴을 형성한다. 상기 제2 패터닝부(300B)는 상기 기판(S)의 공정 면 상에 상기 제2 패턴을 형성한다. 예를 들어, 상기 제2 패턴은 컬러필터 기판의 청색 컬러 필터 패턴일 수 있다.

상기 제2 패터닝부(300B)는 기판 이송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 제2 패터닝부(300B)는 복수의 상기 이송 롤들(R)을 포함할 수 있다.

상기 제2 어큐물레이터(400B)는 상기 제2 패터닝부(300B)에 인접하여 배치된다. 상기 제2 어큐물레이터(400B)는 상기 제2 패터닝부(300B)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 제2 어큐물레이터(400B)는 상기 제1 패턴 및 제2 패턴이 형성된 상기 기판(S)을 이송시켜 공정 시간을 조절한다. 예를 들어, 상기 제2 어큐물레이터(400B)는 상기 제2 패터닝부(300B)의 패터닝 공정과 다른 공정들 간의 공정 시간을 조절한다. 상기 제2 패터닝부(300B)의 패터닝 공정과 상기 건조부(500)의 건조 공정 간의 공정 시간을 조절할 수 있다. 상기 제2 어큐물레이터(400B)는 복수의 패터닝부(300A, 300C, 300D)의 복수의 패터닝 공정들 간의 공정 시간을 조절할 수 있다.

상기 제2 어큐물레이터(400B)는 기판 이송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 제2 어큐물레이터(400B)는 복수의 상기 이송 롤들(R)을 포함할 수 있다.

편의 상, 상기 제2 어큐물레이터(400B)의 이송 경로는 상기 제1 어큐물레이터(400A)의 이송 경로와 동일한 것으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않는다.

상기 제2 어큐물레이터(400B)의 이송 경로는 상기 제1 어큐물레이터(400A)의 이송 경로와 상이할 수 있다. 따라서, 상기 기판(S)이 상기 제1 어큐물레이터(400A)를 통과하는 데에 소요되는 시간은 상기 기판(S)이 상기 제2 어큐물레이터(400B)를 통과하는 데에 소요되는 시간과 상이할 수 있다.

제3 패터닝부(300C)는 상기 제2 어큐물레이터(400B)에 인접하여 배치된다. 상기 제3 패터닝부(300C)는 상기 제2 어큐물레이터(400B)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 제3 패터닝부(300C)는 상기 기판(S) 상에 제3 패턴을 형성한다. 상기 제3 패터닝부(300C)는 상기 기판(S)의 공정 면 상에 상기 제3 패턴을 형성한다. 예를 들어, 상기 제3 패턴은 컬러필터 기판의 녹색 컬러 필터 패턴일 수 있다.

상기 제3 패터닝부(300C)는 기판 이송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 제3 패터닝부(300C)는 복수의 상기 이송 롤들(R)을 포함할 수 있다.

상기 제3 어큐물레이터(400C)는 상기 제3 패터닝부(300C)에 인접하여 배치된다. 상기 제3 어큐물레이터(400C)는 상기 제3 패터닝부(300C)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 제3 어큐물레이터(400C)는 상기 제1 패턴 내지 제3 패턴이 형성된 상기 기판(S)을 이송시켜 공정 시간을 조절한다. 예를 들어, 상기 제3 어큐물레이터(400C)는 상기 제3 패터닝부(300C)의 패터닝 공정과 다른 공정들 간의 공정 시간을 조절한다. 상기 제3 패터닝부(300C)의 패터닝 공정과 상기 건조부(500)의 건조 공정 간의 공정 시간을 조절할 수 있다. 상기 제3 어큐물레이터(400C)는 복수의 패터닝부(300A, 300B, 300D)의 복수의 패터닝 공정들 간의 공정 시간을 조절할 수 있다.

상기 제3 어큐물레이터(400C)는 기판 이송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 제3 어큐물레이터(400C)는 복수의 상기 이송 롤들(R)을 포함할 수 있다.

편의 상, 상기 제3 어큐물레이터(400C)의 이송 경로는 상기 제1 및 제2 어큐물레이터들(400A, 400B)의 이송 경로와 동일한 것으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 상기 제3 어큐물레이터(400C)의 이송 경로는 상기 제1 및 제2 어큐물레이터들(400A, 400B)의 이송 경로와 상이할 수 있다.

제4 패터닝부(300D)는 상기 제3 어큐물레이터(400C)에 인접하여 배치된다. 상기 제4 패터닝부(300D)는 상기 제3 어큐물레이터(400C)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 제4 패터닝부(300D)는 상기 기판(S) 상에 제4 패턴을 형성한다. 상기 제4 패터닝부(300D)는 상기 기판(S)의 공정 면 상에 상기 제4 패턴을 형성한다. 예를 들어, 상기 제4 패턴은 컬러필터 기판의 적색 컬러 필터 패턴일 수 있다.

상기 제4 패터닝부(300D)는 기판 이송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 제4 패터닝부(300D)는 복수의 상기 이송 롤들(R)을 포함할 수 있다.

상기 제4 어큐물레이터(400D)는 상기 제4 패터닝부(300D)에 인접하여 배치된다. 상기 제4 어큐물레이터(400D)는 상기 제4 패터닝부(300D)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

상기 제4 어큐물레이터(400D)는 상기 제1 패턴 내지 제4 패턴이 형성된 상기 기판(S)을 이송시켜 공정 시간을 조절한다. 예를 들어, 상기 제4 어큐물레이터(400D)는 상기 제4 패터닝부(300D)의 패터닝 공정과 다른 공정들 간의 공정 시간을 조절한다. 상기 제4 패터닝부(300D)의 패터닝 공정과 상기 건조부(500)의 건조 공정 간의 공정 시간을 조절할 수 있다. 상기 제4 어큐물레이터(400D)는 복수의 패터닝부(300A 내지 300C)의 복수의 패터닝 공정들 간의 공정 시간을 조절할 수 있다.

상기 제4 어큐물레이터(400D)는 기판 이송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 제4 어큐물레이터(400D)는 복수의 상기 이송 롤들(R)을 포함할 수 있다.

편의 상, 상기 제4 어큐물레이터(400D)의 이송 경로는 상기 제1 내지 제3 어큐물레이터들(400A 내지 400C)의 이송 경로와 동일한 것으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 상기 제4 어큐물레이터(400D)의 이송 경로는 상기 제1 내지 제3 어큐물레이터들(400A 내지 400C)의 이송 경로와 상이할 수 있다.

상기 건조부(500)는 상기 제4 어큐물레이터(400D)에 인접하여 배치된다. 상기 건조부(500)는 상기 제4 어큐물레이터(400D)에서 출력되는 상기 기판(S)을 수용한다.

본 실시예에 따른 기판 처리 장치에 의해 표시 패널의 컬러필터 기판을 형성할 수 있다.

또한, 상기 기판의 공정 면을 보호하여 상기 표시 패널의 생산성을 향상시킬 수 있고, 상기 표시 패널의 표시 품질을 향상시킬 수 있으며 상기 표시 패널의 제조 비용을 절감할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 기판 이송 과정 및 방향 전환 과정에서 이송 롤들이 기판의 공정 면과 접촉하지 않으므로 기판의 공정 면을 효과적으로 보호할 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100: 공급부 200: 공급 구동부
300: 패터닝부 310: 패터닝 유닛
320: 고정부 330: 지지대
300A: 제1 패터닝부 300B: 제2 패터닝부
300C: 제3 패터닝부 300D: 제4 패터닝부
400: 어큐물레이터 400A: 제1 어큐물레이터
400B: 제2 어큐물레이터 400C: 제3 어큐물레이터
400D: 제4 어큐물레이터 500: 건조부
600: 회수 구동부 700: 회수부
R: 이송 롤 S: 기판
SR: 센싱 롤

Claims

기판의 제1 면과 접촉하고 양전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함하는 복수의 제1 이송 롤들;
상기 기판의 상기 제1 면과 접촉하고 음전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함하고, 상기 제1 이송 롤들과 교대로 배치되는 복수의 제2 이송 롤들;
상기 기판의 상기 제1 면과 접촉하고 전하에 의해 대전되지 않는 복수의 제3 이송 롤들;
상기 제1 이송 롤들에 공통적으로 연결되고, 상기 제1 이송 롤들에 상기 양전하를 대전하는 제1 신호선; 및
상기 제2 이송 롤들에 공통적으로 연결되고, 상기 제2 이송 롤들에 상기 음전하를 대전하는 제2 신호선을 포함하고,
상기 제3 이송 롤들 중 적어도 어느 하나는 상기 제1 이송 롤 및 상기 제2 이송 롤 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 유닛.
제1항에 있어서, 상기 기판은 플렉서블 기판이며,
상기 제1 이송 롤들 및 상기 제2 이송 롤들은 곡선을 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 유닛.
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 이송 롤들의 상기 중심부는 금속을 포함하고,
상기 제1 및 제2 이송 롤들의 상기 주변부는 절연 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 유닛.
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제1항에 있어서, 하나의 상기 제1 이송 롤 및 하나의 상기 제2 이송 롤은 반복적으로 교대로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 유닛.
제1항에 있어서, 두 개의 상기 제1 이송 롤들 및 두 개의 상기 제2 이송 롤들은 반복적으로 교대로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 유닛.
기판을 공급하는 공급 롤을 포함하는 공급부;
상기 공급부에 인접하여 배치되고 상기 기판을 공급하기 위한 구동력을 제공하는 공급 구동부;
상기 기판에 패턴을 형성하는 패터닝부;
상기 기판을 회수하기 위한 구동력을 제공하는 회수 구동부;
상기 회수 구동부에 인접하여 배치되고 상기 기판을 회수하는 회수 롤을 포함하는 회수부를 포함하고,
상기 공급 구동부, 상기 패터닝부, 상기 회수 구동부 중 적어도 어느 하나는 상기 기판의 제1 면과 접촉하고 양전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함하는 복수의 제1 이송 롤들, 상기 기판의 상기 제1 면과 접촉하고 음전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함하며 상기 제1 이송 롤들과 교대로 배치되는 복수의 제2 이송 롤들, 상기 기판의 상기 제1 면과 접촉하고 전하에 의해 대전되지 않는 복수의 제3 이송 롤들, 상기 제1 이송 롤들에 공통적으로 연결되고, 상기 제1 이송 롤들에 상기 양전하를 대전하는 제1 신호선 및 상기 제2 이송 롤들에 공통적으로 연결되고, 상기 제2 이송 롤들에 상기 음전하를 대전하는 제2 신호선을 포함하고,
상기 제3 이송 롤들 중 적어도 어느 하나는 상기 제1 이송 롤 및 상기 제2 이송 롤 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제7항에 있어서, 상기 기판은 플렉서블 기판이며,
상기 제1 이송 롤들 및 상기 제2 이송 롤들은 곡선을 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제7항에 있어서, 상기 제1 및 제2 이송 롤들의 상기 중심부는 금속을 포함하고,
상기 제1 및 제2 이송 롤들의 상기 주변부는 절연 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
삭제
제7항에 있어서, 상기 패터닝부 및 상기 회수 구동부 사이에 배치되며 상기 패턴이 형성된 상기 기판을 이송시켜 공정 시간을 조절하는 어큐물레이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제11항에 있어서, 상기 어큐물레이터는 곡선을 따라 배치되는 상기 제1 이송 롤들 및 상기 제2 이송 롤들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제11항에 있어서, 상기 어큐물레이터 및 상기 회수 구동부 사이에 배치되며 상기 기판에 제2 패턴을 형성하는 제2 패터닝부 및 상기 제2 패터닝부 및 상기 회수 구동부 사이에 배치되며 상기 제2 패턴이 형성된 기판을 이송시켜 공정 시간을 조절하는 제2 어큐물레이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제13항에 있어서, 상기 기판이 상기 어큐물레이터를 통과하는 데에 소요되는 시간은 상기 기판이 상기 제2 어큐물레이터를 통과하는 데에 소요되는 시간과 상이한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제7항에 있어서, 상기 패터닝부 및 상기 회수 구동부 사이에 배치되며 상기 기판 상에 형성된 패턴을 건조하는 건조부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제7항에 있어서, 상기 기판의 장력을 센싱하는 센싱 롤을 포함하고 상기 기판의 장력을 일정하게 유지하기 위한 장력 피드백 신호를 생성하는 장력 센싱부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제7항에 있어서, 상기 공급 구동부, 상기 패터닝부 및 상기 회수 구동부는 진공 상태에서 동작하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
기판의 제1 면과 접촉하고 양전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함하는 복수의 제1 이송 롤들에 제1 신호선을 통하여 양전하를 인가하는 단계;
상기 기판의 상기 제1 면과 접촉하고 음전하로 대전되는 중심부 및 상기 중심부를 감싸는 주변부를 포함하고, 상기 제1 이송 롤들과 교대로 배치되는 복수의 제2 이송 롤들에 제2 신호선을 통하여 음전하를 인가하는 단계;
공급 롤에 감겨 있는 기판을 공급하는 단계;
상기 기판에 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 기판을 회수 롤에 감아 상기 기판을 회수하는 단계를 포함하고,
상기 제1 신호선은 상기 제1 이송 롤들에 공통적으로 연결되고,
상기 제2 신호선은 상기 제2 이송 롤들에 공통적으로 연결되며,
상기 제1 이송 롤 및 상기 제2 이송 롤 사이에 상기 기판의 상기 제1 면과 접촉하고 전하에 의해 대전되지 않는 제3 이송 롤을 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
제18항에 있어서, 상기 기판은 플렉서블 기판이며,
상기 제1 이송 롤들 및 상기 제2 이송 롤들은 곡선을 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
제18항에 있어서, 상기 패턴이 형성된 기판을 이송시켜 공정 시간을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
제18항에 있어서, 상기 기판의 장력을 센싱하는 단계; 및
상기 기판의 장력을 일정하게 유지하기 위한 장력 피드백 신호를 생성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
제18항에 있어서, 상기 패턴을 형성하는 단계는 진공 상태에서 처리되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.