JP2006307338A - 給電ローラならびにめっき被膜付きフィルムの製造装置および方法 - Google Patents

Abstract

【課題】安定した生産を維持でき、異常突起粒状物や凹み状欠陥の少ないめっき被膜付きフィルムの製造を行うことができる陰極ローラおよびめっき被膜付きフィルムの製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】導電面を有するフィルムを搬送しながらフィルム導電面を陰極ローラに接触させ、その前または／および後に配置されためっき浴にてフィルム導電面にめっき被膜を施すめっき被膜付きフィルムの製造に使用する陰極ローラであって、ローラ表面に粗面化処理および丸め処理を施してなる表面を有することを特徴とするめっき用陰極ローラおよびめっき被膜付きフィルムの製造装置および製造方法。
【選択図】図１

Description

本発明は、給電ローラならびに被膜付きフィルムの製造装置および方法に関する。

フィルムを搬送しながら連続的にめっき被膜を形成する方法は、例えば特許文献１、および特許文献２に記載されている様に、フィルムの導電面または金属フィルムを陰極ローラに接触させ、その前または後に陽極が投入されためっき液を入れためっき槽を配し、このめっき液中にフィルムを搬送し、陰極−陽極間を通電することでめっき被膜を形成する方法が知られている。上記のようなめっき浴槽を多数配列してフィルム等をこれらに順次投入することにより、容易にフィルム上に厚膜化した所望厚みのめっき被膜を形成することが可能である。

近年、電子機器、電子部品、半導体パッケージ等で利用される様になってきたフレキシブル回路用基板として、ポリイミドフィルムあるいはポリエステルフィルムと銅箔とを合わせた形態の配線基板が注目されている。この基板としては、フィルムに接着剤を介して銅箔を貼り合わせたいわゆる”３層型”と呼ばれるものがまず発達した。 ところが、３層型プリント回路用基板は、接着剤にエポキシ系樹脂あるいはアクリル系樹脂が用いられているため、それに含まれる不純物イオンにより電気特性が劣化するという欠点を有している。また、接着剤の耐熱温度が高々１００℃〜１５０℃であるため、ベースフィルム材質としてポリイミドを使用したとしても、その高耐熱性（３００℃以上）が十分に生かされない。そのため、高温実装を必要とするＩＣチップのワイヤーボンディングなどにおいては、加熱温度を高められないなどの高スペック化の障害となっている。また、３層型プリント回路用基板では、銅箔の一般的な膜厚が１８μｍあるいは３５μｍであるため、８０μｍピッチ（銅配線４０μｍ、ギャップ４０μｍ）以下のパターンニングを行うには銅箔が厚すぎてエッチング率が著しく低下し、銅箔の表面側の回路幅と接着剤面側の回路幅が著しく異なり、あるいはエッチングで全体が著しく細り、目標とする回路パターンが得られないという欠点もある。

そこで、近年、上記のような３層型における問題点を解決するために、フィルム上に接着剤を介さないで各種蒸着法、例えば真空蒸着法、スパッタリング法あるいは各種イオンプレーティング法などのＰＶＤ法、金属を含む薬品を気化し蒸着させるいわゆるＣＶＤ法等で、まずフィルムに各種金属を蒸着した後に、または無電解めっき法で各種金属をめっきした後に、電解銅めっきすることにより得られる、いわゆる”２層型”の基板が提案されている。この２層型基板は、電解銅めっきで銅膜厚を自由に変化させることができ、例えば８μｍの銅膜厚とすれば、６０μｍピッチの回路パターンが簡単に作成できるようになり、かつ、各種フィルムの耐熱温度をそのまま反映できるという特徴をもつ。

以上の様な状況から、めっき被膜つきフィルムの需要が高まりつつある。このようにフィルムにめっきを施す場合、フィルム導電面に給電するための給電用ローラは、ローラ表面をめっき液などの導電性を有する液体で濡らしローラ表面とフィルム導電面との導電率を調整するためにローラ表面に液膜を形成させたり、めっき槽からめっき液がフィルムに随伴し持ち込まれたりするために、ローラ表面とフィルムとの間にめっき液などの液体が介在していることが多く、このためフィルムがグリップを失って蛇行したり、ローラとフィルムがスリップしてキズ欠点やシワ欠点が発生するなどの問題が生じることがある。また、ローラ表面とフィルムとの間に噛み込む液の量がばらつくなどして潤滑状態が変わると、摩擦係数が大きく変わってしまうため張力安定性や搬送安定性などが大きく損なわれることがある。さらに、めっき液が介在するとローラ表面とフィルム導電面とが密着せず、ローラ表面とフィルム導電面との間に局所的なめっき回路が形成されることにより部分的な析出が起こり、異常突起粒状物や凹み状欠陥が発生しやすい。

この課題を解消するには、特許文献３において提案されているようにローラ表面の全面に溝を設けることや、特許文献４において提案されているように表面を粗面化して液を排除しやすくすることが有効である。

しかしながら、本発明者らの知見によると、細かな溝加工については加工費が高く、生産コストの増加につながることがあるし、溝が粗いと効果を奏しないことがある。また粗面化加工については従来の加工方法では最表面に鋭利な突起が現れやすく、この突起がフィルム導電面にキズをつけてしまう。

なお、本発明に一見類似する技術を開示した文献として、特許文献５がある。
特開平７−２２４７３号公報 特開２０００−１９２７９３号公報 特開２００３−５５７８２号公報 特開平１０−８８３８９号公報 特開２００３−１４６５０５号公報

本発明の目的は、上記の問題を解決し、傷や異常突起粒状物、凹み状欠陥の少ないめっき被膜付きフィルムの製造を行うことができ、低コストで安定した生産を維持できる給電用ローラならびにめっき被膜付きフィルムの製造装置および製造方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明によれば、導電面を有するフィルムを搬送しながら給電するための給電用ローラであって、ローラ表面の有効面において、最大粗さＲｍａｘが３０μｍ以上であり、かつ、面内の最大高さと、最大高さから中心線平均粗さＲａの３倍だけ低い高さとの間の高さに存在する部位の面積の総和が、前記有効面全体の面積の１０％以上３０％以下である給電用ローラが提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、導電面を有するフィルムを搬送しながら給電するための給電用ローラであって、ローラ表面の有効面において、最大粗さＲｍａｘが３０μｍ以上１ｍｍ以下であり、かつ、面内の最大高さと、最大高さから中心線平均粗さＲａの３倍だけ低い高さとの間の高さに存在する部位の面積の総和が、前記有効面全体の面積の１０％以上３０％以下である給電用ローラが提供される。

また、本発明の別の形態によれば、導電面を有するフィルムを搬送しながら給電するための給電用ローラであって、ローラ表面の有効面の最表面が粗面化処理および丸め処理がなされた表面を有する給電用ローラが提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記粗面化処理が、球状の粒子を吹き付ける工程を含む処理である給電用ローラが提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記丸め処理が、最表面を２種類以上の番手の異なる研磨布紙を用いて研磨することによってなされたものである給電用ローラが提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記丸め処理が、ケミカルエッチングによってなされたものである給電用ローラが提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記給電用ローラの片方の軸受け部分をデータムＡ、他方の軸受け部分をデータムＢとしたときの振れ公差が０．３ｍｍ以下であり、かつ、ローラ表面の直径バラツキが０．１ｍｍ以下である給電用ローラが提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、
前記有効面の材質が銅または銅合金である給電用ローラが提供される。

また、本発明の別の形態によれば、フィルムを搬送しながら該フィルムにめっき被膜を形成するめっき被膜付きフィルムの製造装置であって、少なくとも、上記に記載の給電用ローラの前記搬送の方向における、その上流および／または下流に配設されためっき槽と、ロール状に巻かれたフィルムを巻き出して該めっき槽に供給するための巻き出し手段と、前記めっき槽において前記めっき被膜を成膜されたフィルムをロール状に巻き取るための巻き取り手段とを備えてなるめっき被膜付きフィルムの製造装置が提供される。

また、本発明の別の形態によれば、上記に記載の給電用ローラを陰極ローラとして用いてフィルムに銅めっき被膜を形成するめっき被膜付きフィルムの製造方法が提供される。

また、本発明の別の形態によれば、ローラ表面の有効面全体に粒径０．０３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の粒子を吹き付けて凹凸を形成し、Ｐ４０以上Ｐ６００以下の研磨布紙で表面を研磨した後、Ｐ８００以上Ｐ２０００以下の番手の研磨布紙で再度研磨する給電用ローラの製造方法が提供される。

また、本発明の別の形態によれば、ローラ表面の有効面全体に粒径０．０３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下のランダム形状の粒子を吹き付けて凹凸を形成し、Ｐ４０以上Ｐ６００以下の研磨布紙で表面を研磨した後、Ｐ８００以上Ｐ２０００以下の番手の研磨布紙で再度研磨する給電用ローラの製造方法が提供される。

また、本発明の別の形態によれば、ローラ表面の有効面全体に粒径０．０３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の粒子を吹き付けて凹凸を形成し、Ｐ４０以上Ｐ６００以下の研磨布紙で表面を研磨した後、バフ研磨する給電用ローラの製造方法が提供される。

また、本発明の別の形態によれば、ローラ表面の有効面全体に粒径０．０３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下のランダム形状の粒子を吹き付けて凹凸を形成し、Ｐ４０以上Ｐ６００以下の研磨布紙で表面を研磨した後、バフ研磨する給電用ローラの製造方法が提供される。

また、本発明の別の形態によれば、ローラ表面の有効面全体に粒径０．０３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の粒子を吹き付けて凹凸を形成し、該ローラの材質に対して腐食性を有する液体にて該凹凸をエッチングする給電用ローラの製造方法が提供される。

また、本発明の別の形態によれば、ローラ表面の有効面全体に粒径０．０３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下のランダム形状の粒子を吹き付けて凹凸を形成し、該ローラの材質に対して腐食性を有する液体にて該凹凸をエッチングする給電用ローラの製造方法が提供される。

また、本発明の別の形態によれば、ローラ表面の有効面全体に粒径０．０３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の球状の粒子を吹き付けて凹凸を形成し、該ローラの材質に対して腐食性を有する液体にて該凹凸をエッチングする給電用ローラの製造方法が提供される。

また、本発明の別の形態によれば、ローラ表面の有効面全体を、該ローラの材質に対して腐食性を有する液体にてエッチングする給電用ローラの製造方法が提供される。

本発明において、「フィルム」とは、紙、樹脂フィルム、金属箔などのような、幅に対して厚さが充分薄く、長さが充分長い、いわゆるウェブをいう。本発明の効果が特に顕著に得られるのは樹脂フィルムや紙のウェブである。樹脂フィルムの材質としては、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂が好ましく用いられる。電子回路材料等で使用する銅つきフィルムを形成する場合には、汎用的なポリエステル樹脂が好ましく用いられ、回路ＩＣ等の実装でのハンダ耐熱性の関係でポリイミド樹脂が好ましく用いられる。より具体的に例示すると、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレート、ポリエチレン−α，β−ビス（２−クロルフェノキシエタン−４，４’−ジカルボキシレート）などのポリエステル、ポリエーテルエーテルケトン、芳香族ポリアミド、ポリアリレート、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリパラジン酸、ポリオキサジアゾールおよびこれらのハロゲン基あるいはメチル基置換体などが挙げられる。また、これらの共重合体や、他の有機重合体を含有するものであってもよい。これらの樹脂に公知の添加剤、例えば、滑剤、可塑剤などが添加されていてもよい。上記樹脂の中、下記化学式(1)〜(5)から選ばれる少なくとも一種の繰り返し単位を８５モル％以上含むポリマーやこれを含む混合物を溶融押出して得られる未延伸フィルムを、二軸方向に延伸配向して機械特性を向上せしめたフィルムが特に好ましく使用される。

また、下記(6)〜(15)から選ばれる少なくとも一種の繰り返し単位を含むポリマーやこれを含む混合物からなり、湿式あるいは乾式製膜したフィルム、あるいはフィルムを二軸延伸および／または熱処理せしめたフィルムも好ましく使用される。

フレキシブル回路用の場合、基材であるプラスチックフィルムの厚さは６〜１２５μｍ程度のものが多用され、中でも１２〜５０μｍの厚さのものが好適に用いられる。

「導電面を有するフィルム」とは、上記のようなフィルムの片面または両面に、導電性を有する材料が最表層に配置されるように単層または多層の膜が成膜されたフィルムを言う。たとえば、ポリイミドフィルムの片面に、ニッケルクロム合金の薄膜を形成し、その上に銅の薄膜を形成した導電面を有するフィルムが好適に用いられる。

「給電用ローラ」とは、前記導電面を有するフィルムの導電面に接触し、フィルムを搬送または案内すると同時にフィルム導電面に電流を供給するためのローラをいう。

「ローラ表面の有効面」とは、前記給電用ローラのローラ表面において、フィルム導電面に接触する部分をいう。

「最大粗さＲｍａｘ」、「面内の最大高さ」、「中心線平均粗さＲａ」、「最大高さと、最大高さから中心線平均粗さＲａの３倍だけ低い高さとの間の高さに存在する部位の面積の総和」について、測定方法を含めて以下に説明する。

ローラ長手方向７３９μｍ、円周方向５５４μｍの矩形領域を測定面として面粗さを測定する。測定面内の形状は、まず、ローラ面が円筒面であるためこれをローラ外径の曲率半径に基づいて平面に写像するような座標変換を施す。このように座標変換された後の各部の高さを最高高さの点を基準としてこの点からの相対的な高さとして評価する。このような形状の測定は、たとえば、（株）キーエンス社の超深度形状測定顕微鏡で対物レンズ倍率２０倍で測定した形状データを（株）キーエンス社の画像解析アプリケーションで曲面補正して解析することで得られる。

この測定データから中心線平均粗さＲａ及び最大粗さＲｍａｘを得る。このときのＲａは面内平均、Ｒｍａｘは面内の最大高低差となる。測定面積をローラ長手方向に１０２４分割、円周方向に７６８分割して、それぞれの微小面積内の平均高さｈ_Ａを測定結果から求める。ｈ_Ａは、まず任意の高さを基準（つまり高さ０の点）とした微小面積内の平均高さｈ_Ｔをそれぞれの微小面積について求め、そのｈ_Ｔの最大値をｈ_Ａの基準とし、換算して求める。式（１）の計算を行って、高さｎにおける負荷率Ｃ_ｎを算出する。計算結果から、横軸に高さｎ、縦軸に負荷率Ｃ_ｎをプロットすることにより図４の負荷率曲線を作成し、この負荷率曲線から「まるめ度」を求める。「まるめ度」は、測定面内の最大高さと、最大高さからＲａの３倍だけ低い高さとの間の高さに存在する面積の総和の、測定面積全体に対する比である。ローラ表面全体の粗さプロファイルを測定することは現実的には困難であるので、ローラ表面の有効面において、ローラ長手方向に３点、それぞれ円周方向に３点、合計９点を測定し、その平均値をローラの代表値とする。

「研磨布紙」とは、紙や布などのベースの上にアルミナやセラミックなどの砥粒を接着した、いわゆる研磨布紙であり、その「番手」は砥粒の大きさを示し、砥粒の大きさを表す数字の前にＰ（ピー）を付けて表す。番手の数値が小さいほど砥粒の大きさが大きい。番手については、ＪＩＳＲ６０１０−２０００に定義されている。

「ケミカルエッチング」とは、素材に、たとえば硫酸や塩酸のような、その素材に対して腐食性を有する液体を塗ったり、または素材を液体に浸したりして素材の表面を溶解させることを言う。たとえば素材を陽極にして酸液中で通電し、電気溶解させる電解研磨処理などが好適に用いられる。

「ローラ表面の直径バラツキ」とは、測定を簡便に行うため、本発明においてはローラ軸方向に３点、それぞれの点で回転方向に９０°異なる２つの位置でローラ表面の直径を測定し、この６点の測定値の最大値と最小値の差をいう。

「振れ公差」とは、ＪＩＳＢ００２１−１９９８に規定の通り、データム軸直線Ａ−Ｂに関してローラを回転させたときのローラ表面の半径方向振れが、公差（本発明の好ましい形態においては０．３ｍｍ）を超えてはならない、という規定である。データム軸直線Ａ−Ｂはローラ表面の回転の基準となる中心軸であり、データムＡとデータムＢをそれぞれ支持したときのローラ回転中心軸である。データムＡ及びデータムＢは理論的に正確な幾何学的基準である必要があり、本発明においては実際のローラ回転中心軸と一致させるため、ローラ両端軸受け部分をそれぞれデータムＡ、データムＢとしている。測定を簡便に行うため本発明においてはローラ軸方向中央部と、ローラ表面の有効面両端部の３点で測定し、最大値を振れとする。

「銅合金」とは、銅を含む合金の中で、含有する元素のうち銅の重量が最大の金属を言う。

「ランダム形状の粒子」とは、ＪＩＳＺ０３１１−２００４に規定のブラスト処理用金属系研磨剤ならびにＪＩＳＺ０３１２に規定のブラスト処理用非金属系研磨剤のうち、グリッドに当たる、使用前の状態で、稜角を持つ角張った形状であり、丸い部分がその粒子の１／２未満の粒子をいう。

「球状の粒子」とは、ＪＩＳＺ０３１１−２００４に規定のブラスト処理用金属系研磨剤ならびにＪＩＳＺ０３１２に規定のブラスト処理用非金属系研磨剤のうち、ショットに当たる、使用前の状態で、稜角、破砕面または他の鋭い表面欠陥がなく、長径が短径の２倍以内の球形状の粒子をいう。

本発明によれば、ローラ表面に形成した粗面の凹部に液が逃げられるため、ローラとフィルムがスリップしにくく、滑りによるスリキズや蛇行のない、安定した搬送が可能である。

また凸部エッジによる引っ掻きキズの発生を抑え、良好な品質のめっき被膜付きフィルムを安定的に生産することが可能である。

さらに、本発明の好ましい形態においては、給電用ローラのローラ表面とめっき被膜の材質を同一としたので、異常突起粒状物や凹み状欠陥の少ないめっき被膜付きフィルムの製造を行うことができる。

以下、本発明の最良の実施形態の例を図面を参照しながら詳細に説明する。

この給電用ローラをフレキシブル回路基板用の銅付きフィルムの製造におけるめっき用陰極ローラとして用いた銅めっき被膜付きフィルムの製造装置を使った銅めっき被膜付きフィルムの製造を例にとって説明する。

図１に本発明を適用した銅めっき被膜付きフィルムの製造装置の一例の概略縦断面図を示す。

図１は、長尺フィルムをロール状体から巻き出し、めっきし、巻き取る連続式の電気めっき装置を示している。主たる工程は、片面にスパッタリング等によりごく薄い銅被膜をあらかじめ形成したフィルム導電面１８ａをポリイミド製のベースフィルム１８ｂの片面に形成した電解めっき前の導電面を有するフィルム１８のロール状体である電解めっき前フィルムロール状体２０１を巻き出す巻出し部２２０、導電面を有するフィルム１８のフィルム導電面１８ａに酸洗、脱脂、水洗等の処理を施す前処理部２２１、電気めっき部２２２、めっき液を除去したり、洗い流したり、防錆処理、さらにこれを洗い流す処理、さらに、乾燥などを行う後処理部２２３、加工を終えたフィルムをロール状体に巻き取る巻き取り部２２４からなっており、巻出し部２２０にて電解めっき前フィルムロール状体２０１を巻き出し、電気めっき部２２２において導電面を有するフィルム１８のフィルム導電面１８ａ上に銅めっき被膜を形成する加工を行い、巻き取り部２２４にて加工を終えたフィルムを巻き取って電解めっき被膜付きフィルムロール状体２１５を製造するものである。尚、電気めっき被処理部である導電面が清浄な場合は、前処理を省略しても構わないし、また、必要に応じて後処理工程を省略しても構わない。

図１において、電解めっき前フィルムロール状体２０１から巻き出された電解めっき前の導電面を有するフィルム１８は、ターンローラ２０３によってフィルム幅方向が重力方向と略平行になるように搬送され、アキュムレータ２０５を通して、速度調整ローラ部２０４を通り、フィルム導電面１８ａを清浄にするための酸洗及び脱脂処理を行う酸洗脱脂処理部２０６、水洗部２０７を経て、搬送ローラ１４ａ，１４ｂと陰極ローラ１０ａ、およびめっき槽２０ａからなる電気めっき部２２２に入る。

図２は、図１の電気めっき部の拡大図である。陰極ローラ１０ａにフィルム導電面１８ａを接触させた後、硫酸による酸洗部１９ａを通り、めっき槽２０ａを通った後、もう一度硫酸による酸洗部１９ｂを通り、次の陰極ローラ１０ｂに接触させる。銅ボール２１ａを充填したケース１７ａを陽極、陰極ローラ１０ａを陰極として、整流器１３ａにより給電し、フィルム導電面１８ａにめっき被膜を形成する。以下、この繰り返しで、各陰極ローラを陰極とし、各ケースを陽極として、めっき被膜を形成する。

図２の一点鎖線内のユニットを１ユニットとして、この繰り返しとなるが、１ユニットで形成されるめっき膜厚を厚くしたい場合などは投入電流を大きくしめっき槽のフィルム搬送方向の長さを伸ばすため、図３に示すようにめっき槽２０ｂの前後に陰極ローラ１０ｃ，１０ｄを配したもの（一点鎖線内）を１ユニットとしてもよいし、両面めっきの場合は両面に導電面を形成したフィルムの両面に陰極ローラを配し、給電することでこれを成すことが出来る。電流条件は導電面を有するフィルム１８に対して、０．２〜１０Ａ／ｄｍ^２の電流密度となるようにして、フィルムにめっき被膜を形成する。その後、この繰り返しで、めっき被膜を順次形成させ、トータルでフィルムの導電面に１〜３０μｍの厚みのめっき被膜を形成する。

尚、めっき槽内のめっき液１６ａ，１６ｂは、導電面を有するフィルム１８が通過する液シールローラ部１５ａ，１５ｂから流出するため、ポンプ２２ａ，２２ｂによって流出しためっき液１６ａ，１６ｂをめっき槽２０ａ，２０ｂ内に戻している。また、フィルム表面と陰極ローラ１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄおよび搬送ローラ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ，１４ｅ，１４ｆ，１４ｇ，１４ｈの表面が乾燥するとめっき面の傷や非導電面の汚れの原因となるため、図示しないが陰極ローラ１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄおよび搬送ローラ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ，１４ｅ，１４ｆ，１４ｇ，１４ｈの上に設置された硫酸吹き付け装置によって常に濡れた状態を保っている。ユニットが複数ある場合は各ユニットについてこれらの工程が行われる。

図１に戻る。導電面を有するフィルム１８は、電気めっき部２２２を通過することでフィルム導電面１８ａに銅めっき被膜が形成され、めっき液を除去するための水洗部２０８ａ、めっき膜を保護する防錆処理液の入った防錆処理部２０９、過剰な防錆処理液を除去する水洗部２０８ｂを経て、水分を除去する乾燥炉をもつ乾燥工程部２１０を通り、張力検出部２１１で張力を検出され、速度制御ローラ部２１２を経て巻き取り部２２４で巻き取られて電解めっき被膜付きフィルムロール状体２１５となる。こうして所望の電解めっき被膜付きフィルムロール状体２１５が得られるのである。

上記のようなめっき工程においては、めっき品質向上のため陰極ローラの表面は常に濡れた状態が保たれており、このためフィルムとローラ表面との間には液膜が介在するようにされる。この液膜によってフィルムが浮いてしまうとグリップを失い、滑りによるスリキズやフィルムの蛇行といったトラブルや、異常突起粒状物や凹み状欠陥といっためっき膜の欠点が発生する原因となる。

そこで、本実施形態の陰極ローラにおいては表面を粗面化して液膜を排除できるようにしている。ここで粗面化とは、高さまたは深さが１ｍｍ以下の凹凸をランダムもしくは規則的に配置するように加工することをいう。好ましくは、高さまたは深さは２００μｍ以下がよい。粗面化手段としてはランダム形状の粒子を高圧エアによって素材に吹き付けて表面に凹凸を形成させるサンドブラスト、ランダム形状の粒子をローターの回転力によって素材に吹き付けて表面に凹凸を形成させるショットブラスト、鋼球を素材に吹き付けるショットピーニング、型の凹凸をそのまま素材に転写させるエンボス加工、切削加工などによる溝加工などが好適に用いられる。なお、球状粒子を素材に吹き付けて表面に凹凸を形成する加工方法を用いることにより、ランダム形状の粒子を用いたブラスト加工などと比較して全体的になめらかな形状になると同時に、表面硬度が高くなり耐摩耗性が向上し、経時変化が小さく寿命の長い給電ローラを製作可能となる。球状粒子を素材に吹き付ける加工方法には、ガラスビーズを高圧エアまたはローターの回転力によって素材に吹き付けるガラスビーズブラストや鋼球を素材に吹き付けるショットピーニングなどの方法が特に好適に用いられる。しかしこのような粗面化処理を施すだけでは最表面に鋭利な突起が残ってしまうことがある。図５ａに粗面化加工後の断面模式図を示す。この図においてハッチングで示しているローラ表面５０１は、粗面化手段によって凹凸を形成されており、凸部分５０２は図示のように鋭利な形状となっていることが多い。

このような単純な粗面化をしただけのローラ表面では、上記凸部分５０２等がフィルム導電面にキズを付ける原因となることから、本実施形態においては丸め処理を施している。丸め処理の方法としては、粗めの番手、例えばＰ４０〜Ｐ６００の研磨布紙で１回研削した後に細かい番手、たとえばＰ８００以上Ｐ２０００以下の研磨布紙やバフなどで研磨する方法や、電解研磨や薬液による溶解処理などのケミカルエッチングなどの手法が好適に用いられる。中でもケミカルエッチングによれば素材に作った凹凸の全体的プロファイルを大きく乱すことなく凸部をなめらかな形状に仕上げることが可能となるためより好ましい。

特に、粗面化処理は球状粒子を用いた手法を用いることで谷部分５１２を円弧状のなめらかな形状とし、その丸め処理にエッチングを用いることにより凸部分５０２をなめらかな形状に仕上げることで、全体的になめらかな形状となりキズ等の発生を小さく抑えることが可能となり、また耐摩耗性がより高い表面が得られる。さらに摩耗が進んでも、もともと鋭利な突起形状が形成されにくいこともあって長期間安定して使用することが出来るため特に好適である。

図５ｂに丸め処理後の断面模式図を示す。最表面をなめらかに仕上げることで、粗面の液排除機能との相乗効果によりローラ表面とフィルム導電面との真実接触面積が大きく増加し、異常突起粒状物や凹み状欠陥などのめっき膜の欠点を防止できる。また、ローラ表面とフィルムとの間に噛み込む液の量が変化することによって潤滑状態が大きく変わったとしても、それによる摩擦係数の変動を小さく抑えることが出来、安定した張力制御、搬送制御が可能となる。

なお、旋盤などによる機械研削や硬い砥石による研磨を行った場合、その断面は図５ｃの断面模式図に示すように、鋭利な凸部分５０２を削った平坦部のエッジ５０３によってフィルム導電面にキズをつけやすくなることから好ましくないこともある。なお、得られる表面形状が上記方法によって得られるものに近づけるのが好ましいが、上記のような粗面化した後に丸め処理を行う加工方法には限らない。例えば彫刻によって粗面化加工と丸め加工を同時に行っても良い。

上記のように粗面化処理および丸め処理を施した表面凹凸の最大粗さＲｍａｘは大きい方が液を排除できる能力が大きくなるので、３０μｍ以上が好ましく、凸部高さが摩耗や特に腐食によって経時で低くなる傾向にあるため、結晶粒サイズよりも大きな５０μｍ以上とすることがより好ましい。また表面の丸め具合としては、その面の粗さ曲線の最大高さと、最大高さからＲａの３倍だけ低い高さとの間の高さに存在する面積の総和が、全体の１０％以上であることであることが好ましい。さらに発明者らの知見によれば、その面の粗さ曲線の最大高さと、最大高さからＲａの３倍だけ低い高さとの間の高さに存在する面積の総和が、全体の１０％以上で、かつ、最大高さと、最大高さからＲａだけ低い高さとの間の高さに存在する面積の総和が全体の５％以下となるように仕上げることで、粗さ曲線の山の頂上の形状がなめらかになる。図６に示すように凹部の液５０５の表面張力などの影響によりフィルム５０４がローラ表面形状にフィットしようとして密着性がさらに向上し、一層良好な品質が得られるので、より好ましい。一方、液膜排除の観点からは、面の粗さ曲線の最大高さと、最大高さからＲａの３倍だけ低い高さとの間の高さに存在する面積の総和は、全体の３０％以下とするのが好ましい。３０％を超えると液膜の排除性能が低下してくるためウェブの安定搬送に必要な摩擦力を得られなくなることがあり好ましくなく、５０％を超えるとウェブを安定搬送できなくなるので使えない。

ところで、特許文献５には、薄手のフィルムをスリキズ、引きつれ、面写り等の欠陥を発生させることなく搬送するための搬送ローラが提案されている。その内容は、ローラ表面に微細な凹部と平坦部とを有し、凹部の平均深さが５μｍ以上５０μｍ以下で、平坦部の占有面積が５０％以上７０％以下であるというものである。一見本発明と酷似しているように見えるが、本発明が解決しようとする課題は、キズや突起、凹み状欠点の発生が少ない給電用ローラを提供することであり、求める特性や使用する環境、メカニズム等が大きく異なる。

特許文献５は、ウェブとローラ表面との間に液が介在しないような環境でウェブを搬送するものである。本発明の用途のような、ウェブとローラ表面との間に液が介在するような環境においては平坦部の占有面積が大きすぎるためウェブとローラ表面との間の液膜を排除できず、液膜の潤滑効果によりスリップを起こし、スリキズを発生させてしまう。なお、特許文献５には、平坦部の占有面積が５０％未満の場合には面写りが発生したと記載されている。

また平坦部の占有面積が５０％を超えてくると、連続的な平坦部（平地）に独立的な凹部（くぼみ）が存在するような凹凸配置となる傾向にある。対して本発明によるローラ表面は連続的な凹部（海）に独立的な凸部（島）が存在するような凹凸配置を形成する。本発明の主要な用途であるめっき工程においては、ウェブがめっき液を随伴していることが多く、特許文献５のローラを用いた場合には、ウェブがローラに抱きついたときに凹部に捕捉されるめっき液は、次にローラからウェブが離れるまでその場に留まることとなる。するとその部位においては陰極ローラとウェブ導電面との間にめっき液が存在する形となり、相対的に陰極ローラを陰極とし、ウェブ導電面を陽極とするめっき回路が形成されるため、ウェブ導電面にいわゆる「ザラ」と呼ばれるめっき欠陥が発生することがある。一方で本発明によるローラ表面においては、凹部の連続性が途絶えることが極めて少ないため、連続した凹部の中を捕捉されためっき液が自由に流動することができるため、めっき回路が形成されず「ザラ」が生じにくい。

また、めっき被膜つきフィルム、特に、プラスチックフィルムのような柔軟な基材の上に形成されためっき被膜つきフィルムの場合、フィルム導電面の導電膜は非常に薄くデリケートであることが多く、特許文献５のローラ表面では、平坦部のエッジで導電膜にキズをつけることがある。またローラとフィルムとの間に介在する液は酸であることがほとんどで、その場合陰極ローラは非常に腐食しやすいため、設けた平坦部がすぐに溶解して全体が平滑になり、液の排除性能が劣化することとなる。

ローラ表面は、フィルム幅の範囲内においてローラ表面の周速とフィルム搬送速度との間に速度差を生じないように精度良く仕上げる必要がある。発明者らの知見によれば、ローラ表面直径のバラツキが０．１ｍｍ以下で、かつ、ローラ両端軸受け部分基準でローラ表面の振れ公差を０．３ｍｍ以下に仕上げることにより、めっき面に有害なキズ等の発生を抑えることができ、好ましい。より好ましくは、ローラ表面直径のバラツキが０．０５ｍｍ以下、かつ、前記振れ公差を０．１ｍｍ以下に抑えることにより、陰極ローラ表面に起因する欠点はほとんど発生しないことを確認している。ローラ表面の直径のバラツキの測定は、ローラ表面の軸方向の中央部１点とローラ表面の有効面の両端部との３点、それぞれの回転方向に９０°異なる２つの位置で直径をマイクロメータやπテープを用いて測定する。６点の直径の最大値と最小値の差を直径バラツキとする。振れの測定は、以下の方法で行う。まずローラ両端の軸受け部分にベアリングを取り付け、ローラが回転可能なように支持する。このとき支持が弱くローラが振動するようであれば振れ測定値に影響するのでしっかり支持できるように構成する。測定する場所は、給電用ローラのローラ軸方向の中央部１点とローラ表面の有効面の両端部との３点で、ダイヤルゲージや変位計等を用いてローラを１回転させたときのローラ表面の振れを測定する。３点の測定値の最大値をローラの振れとする。

なお、ローラ表面の有効面の材質については、フィルム導電面に給電するという機能上、導電性材料を用いる必要がある。通電による発熱を抑制するため、抵抗率８×１０^−８Ωｍ以下の金属を用いることが好ましい。平坦部の溶解を抑えるために耐食性ステンレススチールであるＳＵＳ３１６を用いた場合、材料が持つ電気抵抗が銅などより高いため、問題となることがある。つまり、電気抵抗が大きいと陰極ローラからフィルム導電面に電流を流す際に電気エネルギー損失が大きくなりエネルギーコストが増大するばかりでなく、めっきするのに必要な電流を流すために必要な電圧が大きくなるため大容量の電源が必要となる。また、電流が流れる際に発生する熱によって、フィルム接触範囲内で不均一に陰極ローラの腐食が助長され、その結果、傷や給電斑によるめっき斑といった欠点を発生させることがある。さらに、発熱によって陰極ローラ端部に設置されたロータリーコネクタ等の電気部品が故障する場合もあり問題となる。そこで、少なくともフィルム導電面に接触する部分の材質は銅または銅を主成分とする合金であることがより好ましい。これは、フィルム導電面とローラ表面およびその間に介在するめっき液によって形成されるめっき回路によって、ローラ表面にめっき被膜金属が析出するためで、ローラ表面がめっき被膜金属の主成分である銅であれば析出物とローラ表面の結合力が強く容易に剥がれないが、違う金属である場合は結合力が弱く析出物がローラ表面から剥離し、フィルム導電面に乗り移り異常突起粒状物を生じ、また、乗り移った析出物が後で脱落することにより凹み状欠陥を生じ表面品位を著しく低下させるためである。また、銅を用いることによってフィルム導電面とローラ表面との接触抵抗が下がるために電位差が減少し、析出を抑えることも出来る。

このような陰極ローラをめっき被膜付きフィルムの製造装置に用いて銅付きフィルムを生産することにより、低コストで安定した生産を維持でき、異常突起粒状物、凹み状欠陥の少ない銅付きフィルムの製造を行うことができる。言うまでもないが、銅以外の被膜を形成するときはその金属やその金属を含む合金で表面が形成された給電ロールを使うのがよい。

以上の陰極ローラを用いためっき被膜付きフィルムの製造装置を用いてフレキシブル回路基板用銅めっき被膜付きフィルムの製造を行ったので、その一例を以下に示す。なお、以下に、銅めっき被膜付きフィルムの製造にあたって用いた各特性値の測定方法を示す。

（１）プラスチックフィルムの表面張力
ＪＩＳ Ｋ６７６６−１９７７（ポリエチレン及びポリプロピレンの濡れ試験方法）に準じ、表面張力５６×１０^−３Ｎ／ｍ（５６ｄｙｎｅ／ｃｍ）以下はホルムアミド／エチレングリコールモノエチルエーテル混合溶液を、標準液として表面張力を求めた。また、表面張力５７×１０^−３〜７３×１０^−３Ｎ／ｍ（５７〜７３ｄｙｎｅ／ｃｍ）の範囲は、水（７２．８×１０^−３Ｎ／ｍ）／エチレングリコール（４７．７×１０^−３Ｎ／ｍ）の混合液を標準液として、表面張力を求めた。

（２）接触角
協和界面科学（株）製品ＦＡＣＥ接触角計を用い、液滴法によって求めた。

（３）フィルム導電面の導電膜の膜厚
触針式表面粗さ計を用いて、評価した。尚、試料は導電膜未形成のフィルムに溶剤で除去可能なインクを一部分に塗布しておいて導電膜を形成し、ついで成膜後にインク塗布部分を除去して測定した。

（４）めっき膜の膜厚
めっき被膜の一部分をエッチング液により除去し、（株）キーエンス製のレーザ顕微鏡を用いて、その段差を測定して求めた。

（５）ローラ表面スペック測定
（株）キーエンス製３次元形状測定装置を用いて測定した。

［実施例］
（１）導電面付きフィルムの製作
減圧装置の中で、ロール状に巻き取った銅被膜未形成のフィルムを巻き出しながら導電膜製膜処理し、その後フィルムを巻き取りロール状体にする装置で、プラズマ処理、ニッケル−クロム層成膜、銅層成膜を行った。

厚さ２５μｍ、幅５２０ｍｍ、長さ１２５００ｍのポリイミドフィルム”カプトン”１（米国デュポン社の登録商標）のロール状体を用意した。上記フィルムの片面に、２ｍ／分の速度でアルゴンガスのグロー放電プラズマ処理を実施した。処理は高電圧を印加した棒状の電極に対して２ｃｍの距離でフィルムを搬送し、かつ接地電極となっている電極対をもつ内部電極方式のプラズマ装置を使用した。アルゴンガス圧力は２．５Ｐａ、１次出力電圧２ｋＶ、高周波電源周波数１１０ｋＨｚの条件でフィルムを２ｍ／分の速度で処理し、グロー放電プラズマ層を形成した。なお、処理されたフィルムの表面張力は、７０×１０^−６Ｎ／ｍｍ（７０ｄｙｎｅ／ｃｍ）以上で、接触角は４３度であった。

次いで、アルゴンガス圧２．６×１０^−２Ｐａにて、クロム２０％、ニッケル８０％のターゲットを用いて３０ｎｍのニッケルクロム層をＤＣマグネトロンスパッタ法を適用して形成した。その後、純度９９．９９％の銅をターゲットとして用い、１００ｎｍの銅層をＤＣマグネトロンスパッタ法を適用して形成した。

上記フィルムは、導電膜形成のための条件出しやリード部分を除いて、長さ１２０００ｍの導電膜つきフィルムとして製造した。

（２）めっき被膜の形成
上記（１）で得られた導電膜つきフィルムのロール状体１２０００ｍを、３０００ｍのロール状体に４分割して、４本の５２０ｍｍ×３０００ｍの電解めっき前フィルムロール状体となし、そのうち２本を次に示す銅めっき被膜付きフィルムの製造装置に通してめっき被膜を形成した。

銅めっき被膜付きフィルムの製造装置として、図１に示すに示す装置を用いて、陽極に銅を用いて、上記電解めっき前フィルムロール状体のスパッタ膜面側に銅のめっき被膜を８μｍの厚さに形成した。図２一点鎖線内のユニットを第１、第２ユニット、図３一点鎖線内のユニットを第３〜第１０ユニットとしてめっき回路およびめっき装置を構成した。

電解めっき前フィルムの前処理条件、めっき条件は、表１に示すとおりであった。なお、銅めっきは、ユニットが進むにつれて徐々に電流密度が上昇するように設定し、第１から第１０ユニットに進むに連れて整流器の電流設定条件は２０Ａ〜４５０Ａまで徐々に上昇させていった。

フィルム搬送張力はめっき槽入り口側で全幅あたり４５Ｎ、めっき槽出口側で全幅あたり１８０Ｎになるよう設定し、搬送速度は１ｍ／分とした。

陰極ローラには、外径７９ｍｍ、面長５７０ｍｍのローラを用い、その表面に表２の実施例１〜３に示す条件の粗面化処理及び丸め処理を施工した。その結果得られた表面の性状は、同じく表２に示すとおりであった。表面性状の測定は、（株）キーエンスの超深度形状測定顕微鏡ＶＫ−８５００を用いて、対物レンズ倍率２０倍でローラ長手方向に５５４μｍ、円周方向に７３９μｍの矩形領域の表面形状を測定し、測定データを（株）キーエンスの画像解析アプリケーションにて曲面補正を行い、この解析データから表１中の各パラメータを求めた。なお、測定場所は、ローラ軸方向にローラ有効面の両端部と中央部の３点、それぞれ円周方向に約１２０度等配で３点、計９点のパラメータを求め、その平均値をローラの代表値とした。また、摩擦係数の測定は、図７に示すようにローラ表面に導電膜付きフィルムを導電面がローラ表面に接するように９０度巻き付け、片端に０．１ｋｇのおもりを取り付けてもう片端をプッシュプルゲージで引っ張って滑動中の最大摩擦力を求め、式２に代入して摩擦係数を求めた。液中摩擦係数はフィルムとローラが接触している部位に常に水が流れるように充分な量の水を供給しながら測定し、乾燥摩擦係数は湿度４０％の室内で水に濡れることがないようにして測定を行った。

粗面化処理に関して、実施例１のＳｉＣブラストならびに実施例２及び比較例４のアルミナブラストは、いずれもランダム形状の炭化珪素粒子あるいはアルミナ粒子を用い、実施例３のガラスビーズブラストは球状のガラス粒子を用いた。丸め処理に関しては、実施例１はＰ４００のサンドペーパーで１回研磨した後Ｐ１０００のサンドペーパーで仕上げる処理を行い、実施例２はＰ１０００のサンドペーパーで１回研磨した後にエッチング液中に完全に沈めてエッチングする処理を行い、実施例３は粗面化処理後にエッチング液中に完全に沈めてエッチングする処理を行った。エッチング液は、銅に対して腐食性を有する液体であれば何でも良いが、今回は反応過程を観察できるようにするため、反応速度の比較的遅い硫酸を用いた。

上記条件にて導電面付きフィルムに銅めっきを施し、目視検査にて銅めっき膜表面を観察し、めっき表面の異常な突起や凹み、キズの有無、ならびに１ヶ月間使用した時点（約２３０００ｍ分の原反をめっき加工）において表面欠点の発生状況の経時変化を評価した。評価結果は、同じく表２に示すとおりであった。実施例１〜３はいずれも丸め度１２％〜１５％で、このときの液中摩擦係数は０．３５〜０．４１であり、ロールとフィルムとが液で潤滑された状態であっても安定して搬送可能であることを確認した。また実施例１〜３はいずれも比較例に対して表面欠点発生率を低くすることができたが、中でも実施例３は経時変化も小さく抑えることができた。

［比較例］
陰極ローラの粗面化処理及び丸め処理を表２の比較例１〜４に示す条件として製作した陰極ローラを用いて、実施例と同じ装置および同じ条件で銅付きフィルムを製造した。表面スペック及び評価結果は、同じく表２に示すとおりであった。比較例１，２はいずれも丸め度１％未満で、このときの液中摩擦係数は０．１程度であり、ロールとフィルムとが液で潤滑された状態においてはスリップが発生することがあった。また比較例３は丸め度が４２％で、このときの液中摩擦係数は０．０６であり、潤滑状態ではスリップするため搬送が全く安定しなかった。なお表中の各パラメータは実施例と同一の測定方法で行い、回転不良はローラがフィルムに対してスリップを起こしたか否か、ピンホールは銅めっき被膜がなくなる程度の深いキズによるピンホール、スリキズは銅めっき被膜表面に生じた深さの小さいスリキズ、凹みはキズ以外の要因でめっき被膜の厚さが局所的に薄くなっている部分、突起はめっき被膜の厚さが局所的に厚くなっている部分を示している。

このように上記の給電用ローラを陰極ローラとして用いることにより、安定した生産を維持し、且つ、表面品位の良好な銅めっき被膜付きフィルムを製造することが出来た。

本発明は、銅めっき被膜付きフィルムの製造に限らず、その他金属の電解めっき装置、樹脂フィルム以外の基材を用いた電解めっき装置などにも応用することができるが、その応用範囲がこれらに限られるものではない。

本発明の一実施形態に係るめっき用陰極ローラを用いためっき装置の一例の全体を示す概略横断面図である。 図１の一部を拡大した図で、めっき浴と給電方法の一例を示す概略図である。 図１の一部を拡大した図で、めっき浴と給電方法の別の一例を示す概略図である。 負荷率曲線と「まるめ度」の関係を示すグラフである。 ローラ表面の粗面化後の断面模式図である。 ローラ表面の粗面化処理および丸め処理後の断面模式図である。 ローラ表面の粗面化後、機械研削したときの断面模式図である。 本発明の一実施形態に係るローラ表面にフィルムが接する様子を模式化した断面模式図である。 本発明の一実施形態における摩擦係数の測定方法を示した概念図である。

符号の説明

１０ａ，１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ：陰極ローラ
１１：軸受け
１２：ロータリーコネクタ
１３：整流器
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ：整流器
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ，１４ｅ，１４ｆ，１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊ：搬送ローラ
１５ａ，１５ｂ：液シールローラ部
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ：めっき液
１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ：陽極（ケース）
１８：導電面を有するフィルム
１８ａ：フィルム導電面
１８ｂ：ベースフィルム
１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ：酸洗部
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ：めっき槽
２１ａ，２１ｂ：銅ボール
２２ａ，２２ｂ：ポンプ
２０１：電解めっき前フィルムロール状体
２０２：搬送ローラ
２０３：ターンローラ
２０４：速度調整ローラ部（Ｓ字ラップ）
２０５：アキュムレータ
２０６：酸洗脱脂処理部
２０７：水洗部
２０８ａ，２０８ｂ：水洗部
２０９：防錆処理部
２１０：乾燥工程部
２１１：張力検出部
２１２：速度制御ローラ部（Ｓ字ラップ）
２１３：ターンローラ
２１４：搬送ローラ
２１５：電解めっき被膜付きフィルムロール状体
２２０：巻出し部
２２１：前処理部
２２２：電気めっき部
２２３：後処理部
２２４：巻き取り部
５０１：ローラ表面
５０２：凸部分
５０３：平坦部のエッジ
５０４：フィルム
５０５：液
５１２：谷部分
７０１：プッシュプルゲージ
７０２：導電膜付きフィルム
７０３：おもり
７０４：ローラ

Claims (17)

1. 導電面を有するフィルムを搬送しながら給電するための給電用ローラであって、ローラ表面の有効面において、最大粗さＲｍａｘが３０μｍ以上であり、かつ、面内の最大高さと、最大高さから中心線平均粗さＲａの３倍だけ低い高さとの間の高さに存在する部位の面積の総和が、前記有効面全体の面積の１０％以上３０％以下であることを特徴とする給電用ローラ。
2. 導電面を有するフィルムを搬送しながら給電するための給電用ローラであって、ローラ表面の有効面において、最大粗さＲｍａｘが３０μｍ以上１ｍｍ以下であり、かつ、面内の最大高さと、最大高さから中心線平均粗さＲａの３倍だけ低い高さとの間の高さに存在する部位の面積の総和が、前記有効面全体の面積の１０％以上３０％以下であることを特徴とする請求項１に記載の給電用ローラ。
3. 導電面を有するフィルムを搬送しながら給電するための給電用ローラであって、ローラ表面の有効面の最表面が粗面化処理および丸め処理がなされた表面を有することを特徴とする請求項１または２に記載の給電用ローラ。
4. 前記粗面化処理が、球状の粒子を吹き付ける工程を含む処理であることを特徴とする請求項３に記載の給電用ローラ。
5. 前記丸め処理が、最表面を２種類以上の番手の異なる研磨布紙を用いて研磨することによってなされたものであることを特徴とする請求項３または４に記載の給電用ローラ。
6. 前記丸め処理が、ケミカルエッチングによってなされたものであることを特徴とする請求項３または４に記載の給電用ローラ。
7. 前記給電用ローラの片方の軸受け部分をデータムＡ、他方の軸受け部分をデータムＢとしたときの振れ公差が０．３ｍｍ以下であり、かつ、ローラ表面の直径バラツキが０．１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の給電用ローラ。
8. 前記有効面の材質が銅または銅合金であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の給電用ローラ。
9. フィルムを搬送しながら該フィルムにめっき被膜を形成するめっき被膜付きフィルムの製造装置であって、請求項１〜８のいずれかに記載の給電用ローラと、該給電用ローラの前記搬送の方向における上流および／または下流に配設されためっき槽と、ロール状に巻かれたフィルムを巻き出して前記めっき槽に供給するための巻き出し手段と、前記めっき槽において前記めっき被膜を成膜されたフィルムをロール状に巻き取るための巻き取り手段とを備えてなることを特徴とするめっき被膜付きフィルムの製造装置。
10. 請求項１〜８のいずれかに記載の給電用ローラを陰極ローラとして用いてフィルムに銅めっき被膜を形成することを特徴とするめっき被膜付きフィルムの製造方法。
11. ローラ表面の有効面全体に粒径０．０３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の粒子を吹き付けて凹凸を形成し、Ｐ４０以上Ｐ６００以下の研磨布紙で表面を研磨した後、Ｐ８００以上Ｐ２０００以下の番手の研磨布紙で再度研磨することを特徴とする給電用ローラの製造方法。
12. ローラ表面の有効面全体に粒径０．０３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下のランダム形状の粒子を吹き付けて凹凸を形成し、Ｐ４０以上Ｐ６００以下の研磨布紙で表面を研磨した後、Ｐ８００以上Ｐ２０００以下の番手の研磨布紙で再度研磨することを特徴とする給電用ローラの製造方法。
13. ローラ表面の有効面全体に粒径０．０３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の粒子を吹き付けて凹凸を形成し、Ｐ４０以上Ｐ６００以下の研磨布紙で表面を研磨した後、バフ研磨することを特徴とする給電用ローラの製造方法。
14. ローラ表面の有効面全体に粒径０．０３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下のランダム形状の粒子を吹き付けて凹凸を形成し、Ｐ４０以上Ｐ６００以下の研磨布紙で表面を研磨した後、バフ研磨することを特徴とする給電用ローラの製造方法。
15. ローラ表面の有効面全体に粒径０．０３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の粒子を吹き付けて凹凸を形成し、該ローラの材質に対して腐食性を有する液体にて該凹凸をエッチングすることを特徴とする給電用ローラの製造方法。
16. ローラ表面の有効面全体に粒径０．０３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下のランダム形状の粒子を吹き付けて凹凸を形成し、該ローラの材質に対して腐食性を有する液体にて該凹凸をエッチングすることを特徴とする給電用ローラの製造方法。
17. ローラ表面の有効面全体に粒径０．０３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の球状の粒子を吹き付けて凹凸を形成し、該ローラの材質に対して腐食性を有する液体にて該凹凸をエッチングすることを特徴とする給電用ローラの製造方法。

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