JP5214898B2 - 給電方法、ウェブの連続電解めっき装置およびめっき膜付きプラスチックフィルムの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、給電方法、ウェブの連続電解めっき装置およびめっき膜付きプラスチックフィルムの製造方法に関する。

従来、プラスチックフィルム等のウェブを搬送しながら、ウェブに連続的にめっき被膜を形成する方法としては、ウェブの導電面または金属ウェブを給電ロールに接触させ、その前または後に陽極の投入しためっき浴を配し、めっき浴にてめっき被膜を形成する方法が知られている。この様な方法でウェブに連続的にめっき被膜を形成すれば、陰極−陽極を配置したユニットを繰り返し通すことで、容易にウェブ上に厚膜化した所望厚みのめっき被膜を形成することが可能である。（特許文献１参照）
近年、電子機器、電子部品および半導体パッケージ等で利用される様になってきたフレキシブル回路用基板として、ポリイミドフィルムあるいはポリエステルフィルムと銅箔とを合わせた形態の配線基板が注目されている。この基板には、ウェブに接着剤を介して銅箔を貼り合わせた、通称”３層型”と呼ばれるものと、ウェブに接着剤を介さないで金属被膜をめっき等で形成する、通称”２層型”と呼ばれるフレキシブル回路用基板がある。これらのうち、後者の２層型の方が、回路の配線ピッチの微細化の進行に伴ってより注目されている。

これらフレキシブル回路用基板に関する現状は、以下のようになっている。３層型プリント回路用基板は、接着剤にエポキシ系樹脂あるいはアクリル系樹脂が用いられているため、それに含まれる不純物イオンにより電気特性が劣化するという欠点を有しており、また、接着剤の耐熱温度が高々１００℃〜１５０℃であるため、ベースフィルム材質としてポリイミドを使用したとしても、その高耐熱性（３００℃以上）十分に生かされないので、高温実装を必要とするＩＣチップへのワイヤーボンディングなどにおいては、加熱温度のスペックダウンを余儀なくされている。また、３層型プリント回路用基板では、銅箔の一般的な膜厚が１８μｍあるいは３５μｍであるため、８０μｍピッチ（銅配線４０μｍ、ギャップ４０μｍ）以下のパターンニングを行うには銅が厚すぎてエッチング率が著しく低下し、銅箔の表面側の回路幅と接着剤面側の回路幅が著しく異なり、あるいはエッチングで全体が著しく細り、目標とする回路パターンが得られないという欠点もある。

近年、上記のような３層型における問題点を解決するために、ウェブ上に接着剤を介さないで各種蒸着法、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法あるいは各種イオンプレーティング法などのＰＶＤ法、金属を含む薬品を気化し蒸着させるいわゆるＣＶＤ法等で、まずウェブ表面に各種金属を蒸着した後に、または無電解めっき法で各種金属をめっきした後に、電解銅めっきすることにより得られる、通称”２層型”の基板が提案されている。この２層型基板は、電解銅めっきで銅膜厚を自由に変化させることができ、例えば、８μｍの銅膜厚であれば、４０μｍピッチの回路パターンが簡単に作成できるようになり、かつ、各種ウェブの耐熱温度がそのまま反映できるという特徴をもつ。

以上の様な状況から、めっき被膜つきフィルムの需要が高まりつつある。しかしながら従来の方法では前述したように給電ロールにウェブ導電面を接触させて搬送させるため、非常にデリケートなウェブ導電面に擦過キズやこれに伴うバリ状の突起などが発生することがある。また給電ロールはウェブ全幅に接触させるため、ウェブ幅が広くなれば給電ロール全長がその分長くなり、強度を保つためにロール径を大きくせざるを得なく、給電装置自体の大きさが大きくなってしまう課題もある。

近年、回路パターンの微細化が進展してきており、これに伴ってめっき被膜に要求される表面品位も厳しくなってきている。そのため微小な擦過キズや突起が発生しないプロセスの開発が鋭意進められている。

特許文献２には、ウェブの端部を給電クリップで挟んで掴み、そのままめっき液を通過させてウェブにめっきを施すクリップ方式と呼ばれるめっきプロセスが提案されており、この方法によると製品化しないウェブ端部のみを把持するので製品には微小キズ等発生せず、良好な表面品位を得ることが可能である。しかしながら給電クリップを搬送するための大がかりな搬送システムや、給電クリップに析出しためっき被膜を除去する解めっき工程等大がかりな付帯設備が必要となる。まためっき液中に浮遊する異物はザラと呼ばれるめっき欠点の原因となるため、めっき液中は高いクリーン度が要求されるが、そのめっき液の上部に様々な可動部が配置されるため摩耗粉等の異物によりめっき液が汚染されやすい状況である。さらに給電クリップで把持した部分にはめっきされず、その部分だけ導電膜の膜厚が薄くなるため抵抗値が大きくなり、大電流を投入した際にジュール熱で周囲が変色・変質するなどの問題が発生する。

特許文献３には、ウェブの端部に板バネ状の給電電極を押しつけて給電し、ウェブにめっきを施す方法が提案されており、この方法も同様に製品部においてはキズ等の少ない良好な表面品位が得られる。しかしながら給電電極が常時擦過状態であるため電極が摩耗すると同時に、摩耗粉によってめっき液や周囲の機器が汚染されることとなる。また電極によって常にブレーキが掛けられた状態となるため、ウェブの幅方向に張力分布を生じることとなり、安定搬送の観点から大きな障害となりうる。

特許文献４にはロール状の給電電極を用いた一般的な縦型めっき装置が例示されており、給電ロール形状のひとつの種類として、両端部のみがウェブと接するように中央部のロール外径を小さくした、いわゆるダンベル形状の給電電極が提案されている。この方法によればロールが接触しないウェブ中央部については擦過キズ等の表面欠点の少ない製品を製造することが可能である。しかし、ロールの角速度が両端部でそれぞれ同一となるため、ウェブと接触する両端部の外径が少しでも一致していなければ両端部で周速差を生じることとなるため、極めて高い加工精度が要求される。また万が一狂ってしまった場合はどちらかが滑りながら接触するため電極の摩耗や、幅方向に張力分布を生じるなどの問題が発生する。

特許文献５には、不織布のかさ高性などの特性を損なわずにめっきするためにウェブ中央部を接触させず、ウェブ上端部のみをめっき浴から露出させてその露出部に帯状電極を密着させて給電する方法が提案されている。この方法も同様に中央部は擦過キズや打痕が生じない高品位なめっき膜が得られる。しかしながら、この方法によるとウェブ上端は常時めっきされないため膜厚が非常に薄く、抵抗が大きいため大電流投入時にジュール熱による膜の変色・変質が生じる。また厚み方向に弾力性の乏しいプラスチックフィルム等のウェブにおいては、ガイドロールでウェブと帯状電極を挟み込んでニップ力によって密着させようとしても、ガイドロール部分にしか密着力が発生しないためニップした箇所以外の電極とウェブとの接触抵抗が大きくなる。このため大電流投入時に熱による問題を生じさせることがある。

特許文献６には搬送ローラ上において幅の小さな回転体を押しつける搬送方法が提案されており、回転体は給電電極を兼ねることができるとなっている。この方法を用いて、回転体を給電電極としてウェブ端部に設置することにより、搬送ローラに抱きついている面の反対面はキズの少ない製品を製造することが可能である。しかしながら、本発明者らの知見によると、この方式では搬送ローラの材質を柔らかい材質にすると電極エッジでウェブに折れジワを発生させてしまうため硬い材質のローラを用いる必要があり、そのため搬送ローラに抱きつける面はキズ問題が解消されない場合がある。
特開平７−２２４７３号公報 特表２００５−５０７４６３号公報 特開２００５−２４８２６９号公報 特開２００３−３２１７９６号公報 特開平８−２０９３８３号公報 特開２００４−２６３２１５号公報

本発明の目的は、上記のような課題を解消し、めっき被膜表面に微小欠陥を発生させない電解めっき装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の電解めっき装置は以下の構成からなる。

すなわち、本発明によれば、表面に導電性を付与したウェブを連続的に搬送しながらめっき処理槽内で電解めっきを施す電解めっき方法であって、前記ウェブの幅方向片側端部または両側端部に前記ウェブを対向するように少なくとも２つの回転体により前記ウェブを挟持し、前記回転体のうち少なくとも１つを給電電極として用いて、前記ウェブに対して給電を施し、前記電極を前記ウェブの幅方向端部から０．５ｍｍ以上２０ｍｍ以下の領域のみに幅方向接触幅１ｍｍあたり２Ｎ以上１００Ｎ以下の接触圧をもって圧接し、前記回転体を前記ウェブの搬送速度と略同速で回転させる電解めっき方法が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記電極として前記めっき処理槽外に配設されたもののみを用い、前記めっき処理槽の搬送方向上流および／または下流でのみ前記ウェブのめっき対象部位において給電する電解めっき方法が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記ウェブの幅方向が鉛直方向に沿うように向けて長手方向に搬送する電解めっき方法が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記給電電極とともにウェブを挟持する受け側回転体として、該受け側回転体の表層部に弾性体を有するものを用いる電解めっき方法が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記給電電極として、表層部に導電層を備え、該導電層の内側に弾性体層を有するものを用いる電解めっき方法が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記受け側回転体のウェブとの幅方向接触幅が、前記給電電極のウェブとの幅方向接触幅より１ｍｍ以上１５ｍｍ以下だけ広い電解めっき方法が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記受け側回転体のウェブとの幅方向接触幅が、前記給電電極のウェブとの幅方向接触幅より狭い電解めっき方法が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記給電電極が前記導電面に接触する接触面積が下記数式を満たすよう接触圧を付与する電解めっき方法が提供される。

Ａ：給電電極と前記導電面との接触面積［ｍｍ^２］
Ｉ：給電電極への投入電流値［Ａ］
Ｒ：給電電極と前記導電面との接触抵抗値［Ω］
ｔ：給電電極と前記導電面との接触部分の前記導電面の導電層厚み［ｍｍ］
Ｑ：限界熱量係数［Ｗ／ｍｍ^３］＝５．５×１０^３
また、本発明の別の形態によれば、少なくとも一方の表面に導電面を有するウェブを連続的に搬送しながらめっき処理槽内で電解めっきを施す電解めっき装置であって、前記導電面の幅方向片側端部のみに圧接可能なようにウェブを挟んで対向して配設された少なくとも２つの回転体を有し、前記２つの回転体の間に接触長さ１ｍｍあたり２Ｎ以上１００Ｎ以下の接触圧をかけられる押し圧付与手段を有し、前記２つの回転体のうち少なくとも１つが給電電極を構成するものであり、前記回転体が前記ウェブの搬送速度と略同速で回転可能であるウェブの連続電解めっき装置が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記電極が前記めっき処理槽外にのみ配設されたウェブの連続電解めっき装置が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、ウェブの幅方向が鉛直方向に沿うように向けて長手方向に搬送する搬送手段を有し、前記給電電極が前記ウェブの上端部のみに圧接するよう配設されたウェブの連続電解めっき装置が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、少なくとも一方の表面に導電面を有するウェブを連続的に搬送しながらめっき処理槽内で電解めっきを施す電解めっき装置であって、前記ウェブの導電面の幅方向両側端部のみに圧接可能なようにウェブを挟んで対向して配設された少なくとも２つの回転体を有し前記２つの回転体の間に接触長さ１ｍｍあたり２Ｎ以上１００Ｎ以下の接触圧をかけられる押し圧付与手段を有し、前記２つの回転体のうち少なくとも１つが給電電極を構成するものであり、前記回転体が前記ウェブの搬送速度と略同速で回転可能であるウェブの連続電解めっき装置が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記給電電極とともにウェブを挟持する受け側回転体が、該受け側回転体の最表層に弾性体を有するウェブの連続電解めっき装置が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記給電電極は、表層部に導電層を備え、該導電層の内側に弾性体層を有するウェブの連続電解めっき装置が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記受け側回転体のウェブとの幅方向接触幅が、前記給電電極のウェブとの幅方向接触幅より１ｍｍ以上１５ｍｍ以下だけ広いウェブの連続電解めっき装置が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記受け側回転体のウェブとの幅方向接触幅が、前記給電電極のウェブとの幅方向接触幅より狭いウェブの連続電解めっき装置が提供される。

また、本発明の別の形態によれば、前記ウェブとしてプラスチックフィルムを用い、製造工程の少なくとも一部に前記給電方法または前記連続電解めっき装置を用いるめっき膜付きプラスチックフィルムの製造方法が提供される。

本発明において、「導電性」は、表面抵抗率１００Ω／□以下であれば「導電性を有する」ものとする。

「導電面」とは、ウェブの表面のうち、導電性を有する面をいう。片面のみが導電面であってもよく、両面が導電面であってもよい。

「搬送手段」とは、少なくともウェブを走行させる力を付与する機構とウェブを案内する機構からなる。例えば搬送ロール群やベルトコンベアが「搬送手段」にあたる。

「回転体がウェブの搬送速度と略同速で回転する」とは、回転体の周速とウェブの搬送速度との速度差が±１０％以下で回転することをいう。また、速度差はより小さい方がよく、±５％以下で回転することが好ましい。さらに好ましくは速度差を±１％以下で回転させることが好ましい。回転体がウェブに従動回転して略同速で回転しても良いし、積極的に回転体を駆動させてウェブ搬送速度と同期させても良い。

「めっき対象部位」とは、めっき処理槽におけるめっきが行われる部位のことをいう。

「表面抵抗率」とは、単位面積あたりの抵抗値をいう。測定方法はＪＩＳ Ｋ７１９４−１９９４に準拠して４探針法にて行い、厚さの項を無視することで表面抵抗率が求められる。単位は「Ω」となるが、ここでは抵抗値「Ω」と明確に区別するため、表面抵抗率の単位として一般的に用いられている「Ω／□」（オーム・パー・スクエア）を用いる。

なお、本発明において、受け側回転体のウェブとの接触幅方向幅が、給電電極のウェブとの接触幅方向幅より１ｍｍ以上１５ｍｍ以下だけ広い場合には、給電電極とフィルム導電面との接触抵抗を減少させることができるので好ましい。なお、受け側回転体の表層部が弾性体の場合、変形等によって給電電極が受け側回転体に食い込むような形状となりウェブに折れジワが生じる場合があるが、この部分は最終的に切り捨てられ、製品とはならないため問題ない。

また、本発明において、受け側回転体のウェブとの接触幅方向幅が、給電電極のウェブとの接触幅方向幅より狭い場合には、強い押し圧を付与し受け側回転体の変形が大きくなっても、接触幅方向への広がりが給電電極接触幅以上に大きくなることはなく、そのためウェブに折れジワ等発生させることがないため好ましい。受け側回転体のウェブとの接触幅方向幅は、給電電極のウェブとの接触幅方向幅より０．５ｍｍ以上５ｍｍ以下だけ狭い場合が好ましい。

本発明によれば、給電電極となる金属体をウェブの製品面に接触させることなくウェブ導電面へのめっき処理が可能となり、擦過キズやこれに伴う微小突起の発生を抑制し、表面欠点の少ない高品位なめっき膜を形成することが可能となる。加えて０．５Ｎ／ｍｍ以上の線圧でニップすれば、給電電極とウェブ導電面との接触抵抗が小さく抑えられるため、給電電極近傍での発熱による膜の変色や変質を抑制することが可能である。さらに給電電極が回転体であるので、ウェブの走行を阻害する力の発生が抑えられ安定搬送が可能であり、また摩耗粉等の汚染物を発生させることも抑制できる。

また、給電電極自体の大きさが小さくできるため、給電装置自体の大きさをコンパクトにすることが可能となる。このことは同じ装置全長でもめっき処理槽をより長くとることにつながり、生産性向上ならびに装置コストダウンに寄与する。

また本発明に係わる好ましい形態によれば、めっき処理槽外にのみ給電電極を設けることにより、給電電極自体へのめっき金属の析出が抑制されるため給電性能が安定するとともに、解めっき工程等の付帯工程が不要となり、装置コストダウンに寄与する。また、給電電極が接触する領域にもめっき処理が施されることにより給電電極接触部の膜抵抗に起因する発熱も抑制することが出来る。

また、従来は同じ電流密度でめっき処理する場合でもウェブ導電膜の膜抵抗が大きい場合にはより大きな電圧が必要であったが、本発明に係る好ましい形態においては、給電電極の回転中心からめっき処理槽入り口までの距離を最適化することにより小さな電圧でめっき処理が可能であり、消費電力を抑制することが可能である。

また本発明は、柔軟なウェブであるプラスチックフィルムを安定的に搬送することが可能なため、めっき膜付きプラスチックフィルムの製造に好適なものである。さらに比較的柔らかくキズが発生しやすい銅をめっきする場合においては特に好適であり、高い表面品位が要求されるフレキシブル回路用基板の製造には本発明の表面欠点抑制効果ならびにウェブの搬送安定性の効果が最も得られることとなる。

以下、本発明の一実施形態の例をフレキシブル回路基板用片面銅めっき膜付きプラスチックフィルムの製造に適用した場合を例にとって、図面を参照しながら説明する。

図１Ａは、本実施形態によるウェブの連続電解めっき装置の一例の概略平面図である。長尺フィルムを巻き出し、めっき処理し、製品ロールとして巻き取る多段式連続電解めっき装置である。主たる工程は、プラスチックフィルム１１１の片面にあらかじめスパッタリング法などによりごく薄い銅合金からなる導電膜１１２を形成した片面導電膜付きフィルム１１を巻き取ったロール状体から巻き出す巻き出し部１２、巻き出した導電膜付きフィルム１１の導電膜１１２に脱脂や洗浄などを施す前処理洗浄部１３、導電膜１１２に接触して給電を行う給電部１４とめっき処理槽１５を備えためっき処理部１６、めっき被膜の酸化防止のための防錆や、洗浄、乾燥を行う後処理部１７、加工を終えたフィルムを巻き取る巻き取り部１８からなっている。なお、めっき前の導電膜１１２が清浄な状態であれば前処理洗浄部１３は省略しても構わないし、必要に応じて後処理部１７は省略しても構わない。

めっき処理部１６において、給電部１４にて導電膜１１２に接する給電電極１４１とプラスチックフィルム１１１に接する受け側回転体１４２とにより導電膜付きフィルム１１がニップされ、導電膜１１２に給電電極１４１から給電されることによりめっき処理槽１５にてめっき浴に浸漬された導電膜１１２が陰極となり、陽極１５１との間で電気めっき回路が形成されてめっき処理される。めっき処理槽１５の出入り口にはフィルムが通るためのスリットが設けられており、このスリットからのめっき液の漏れ出しを抑制してめっき処理槽１５にめっき液を保持するためのシールユニット１５２が設けられている。シールユニット１５２は２つの例えばゴムローラなどの弾性ローラでフィルムを挟み込んでシールするユニットや２枚の板の間隙をコントロールして液漏れ量を制御するユニットが好適に用いられる。

投入される導電膜付きフィルム１１のプラスチックフィルム１１１の厚みは５μｍ〜８０μｍのものが好適に用いられる。材質としてはポリエステル樹脂やポリイミド樹脂が好適に用いられ、特に半導体パッケージ用途などの耐熱性の要求される製品についてはポリイミドフィルムを用いることが好ましい。導電膜１１２を形成する方法としては導電膜を接着剤でフィルムに貼り付ける方法やスパッタ法、蒸着法などの方法によってフィルムに直接製膜する方法など様々な方法が適用可能であるが、接着剤を用いて貼り付ける方法ではフィルムの耐熱温度よりも接着剤の耐熱温度の方が低い場合が多く、耐熱性の観点から導電膜をフィルムに直接製膜する方法が好ましく、製造コストの観点からスパッタ法により製膜することがより好ましい。導電膜１１２の膜厚は０．０２μｍ〜０．５μｍ製膜したものが好適に用いられ、膜の電気抵抗が大きいために発生するロスを少なく抑えるために０．０８μｍ以上とし、かつ生産性の観点から０．２５μｍ以下とすることがより好ましい。

給電部１４の一例について、電極近傍を拡大した概略図を図１Ｂに示す。導電膜付きフィルム１１を挟んで対向するように、回転可能に支持された給電電極１４１ならびに受け側回転体１４２を配置し、押し圧付与手段１４３にて押し圧を付与し、給電端子１４４から給電電極１４１に電流を投入する。押し圧付与手段１４３は、例えばバネやエアシリンダを用いることができる。なお、電極はフィルム両端部に設置しても良いし、片側端部のみに設置しても良い。押し圧と接触による電気抵抗の関係の一例を図２に示す。接触抵抗が大きいと、電極と導電面との接触部でジュール熱が発生するため導電膜が熱により変色したり変質する問題を生じるため、電極と導電面との接触幅ｔについて１ｍｍあたり２Ｎ以上の押し圧を付与することが好ましく、さらに安定的に接触させるために接触幅１ｍｍあたり５Ｎ以上、さらには接触幅１ｍｍあたり８Ｎ以上の押し圧を付与することがより好ましい。また接触幅１ｍｍあたり１００Ｎを超える大きな押し圧を付与しても接触抵抗値は大きく減少することはなく、大きな押し圧に耐えるために構造が複雑化したり大型化するデメリットの方が大きいので、押し圧上限は１００Ｎ以下とすることが好ましい。押し圧は、例えばバネで押し圧を付与する場合はバネ定数と変位量の積で求められ、エアシリンダで押し圧を付与する場合はエアシリンダ受圧面積とエア圧力から求められる。またフィルム端部から給電電極内側エッジまでの距離Ｈは、できるだけ擦過キズ等のない領域を広く確保するために２０ｍｍ以下とすることが好ましく、給電電極とフィルム導電面との接触領域を確保しつつ出来るだけ接触しない領域を大きく取るために５ｍｍ〜１２ｍｍとするのがより好ましい。

給電電極１４１ならびに受け側回転体１４２は回転可能に支持されており、フィルムの搬送に伴って従動回転可能となっているが、どちらかの回転体または両方の回転体に積極的にトルクを与えて駆動しても良い。フィルムの両端部に電極を設けるときは、それぞれの電極は独立に回転するのが良い。特許文献４に開示されたダンベル形状の電極のように両端が機械的に結合されて回転すると微妙な速度差が発生しやすいという傾向がある。

給電電極１４１の材質は銅やチタンなどの導電性の良い金属材料を用いるのが好ましく、フィルムがめっき処理槽のめっき液を持ち込んでくることもあるので、導電性が良くさらに耐食性のある材料を用いるのがより好ましい。給電電極１４１の構造の一例を図１Ｃおよび図１Ｄに概略断面図にて示す。図１Ｃのようにある材質で単層の電極としても良く、電極表面に例えば白金めっきなどの表面処理を施して用いても良い。電極の大きさは出来るだけ小さい方が、装置が小さくできるため好ましい。図１Ｄに示すように、例えばゴムなどのような弾性体１４５の表層部に、例えばニッケルやチタンのような金属を厚さ０．０２以上１ｍｍ以下の円筒状にした導電性薄肉円筒導電層１４６をはめ込み、これに電極１４７を接触させて給電するような構造にすることにより、弾性体１４５が押し圧によって変形し、これに伴って導電性薄肉円筒導電層１４６も変形し、フィルム導電面への接触面積が大きく取れるのでより好ましい。

また、受け側回転体の最表層に弾性体を設けることでも同様の効果が得られるので好適である。金属製回転体同士を接触幅１ｍｍあたり２Ｎの押し圧でニップしたときと同等の接触抵抗を得るには、弾性体を用いた回転体の場合では接触幅１ｍｍあたり０．５Ｎ以上の押し圧を付与すれば充分である。これは弾性体を用いた回転体の方が小さな力で大きく変形できるため、接触面積を大きく取ることができるからである。金属製回転体同士を強い力でニップしても接触面積はさほど増加しない。この場合の接触面積は非常に小さくなるが、その小さな接触面にすべての電流が流れようとするため、接触部の単位面積あたりのジュール熱は非常に大きくなる。例えば同じ電流値を投入するとき面の接触抵抗値が同じ場合、接触面積が２倍になれば単位面積当たりのジュール熱は１／２となり、その分温度上昇が抑えられることとなる。このことから、弾性体のたわみを利用して接触面積をより大きくすることは熱的トラブルの防止につながるため、特に大電流を投入するめっきに好適である。発明者らが実験から得た知見によれば、接触面積は式３の範囲内となるようニップ圧を付与すれば基材が焼損するほど発熱することなく給電できるため好ましく、より好ましくは、式４の範囲内となるようニップ圧を付与すれば熱収シワや乾燥ムラ等を発生させることなく給電が可能となる。なお、式３および式４の中のＱ：限界熱量係数については発明者らが実施した実験から求めた係数であり、ある膜厚の導電膜を設けた基材にある接触面積の電極を接続して電流を投入し、熱収シワや焼損等の熱的問題が発生するときの電極接触部の単位面積あたりのジュール熱による発熱量を求め、それを導電膜厚さで割った数値に安全率を掛けたものである。

Ａ：給電電極とウェブ導電面との接触面積［ｍｍ^２］
Ｉ：給電電極への投入電流値［Ａ］
Ｒ：給電電極とウェブ導電面との接触抵抗値［Ω］
ｔ：給電電極とウェブ導電面との接触部分の導電膜厚み［ｍｍ］
Ｑ_１：限界熱量係数［Ｗ／ｍｍ^３］＝５．５×１０^３

Ａ：給電電極とウェブ導電面との接触面積［ｍｍ^２］
Ｉ：給電電極への投入電流値［Ａ］
Ｒ：給電電極とウェブ導電面との接触抵抗値［Ω］
ｔ：給電電極とウェブ導電面との接触部分の導電膜厚み［ｍｍ］
Ｑ_２：限界熱量係数［Ｗ／ｍｍ^３］＝０．７×１０^３
弾性体の材質としてはニトリルゴムやフッ素ゴム等のゴムやポリエステル等の樹脂が好適に用いられ、耐薬品性に優れるフッ素ゴムが特に好適である。弾性体のゴム硬度としては、ＪＩＳ−Ａ硬度で４０°以上９０°以下が好ましい。弾性体層厚さは何でも良いが、硬度が柔らかすぎてたわむのを防ぐために、接触幅よりも厚さを小さくするのが好適である。
給電端子１４４は、回転可能でかつ電気的に接続されている必要があり、金属電極を給電端子に接触させるような構造や、スリップリングやロータリーコネクタなどの接続端子が好適に用いられる。

受け側回転体１４２の材質はステンレスなど何でも構わないが、フィルムが持ち込んだめっき液に触れる可能性があるので耐食性を有する材料を用いるのが好ましい。構造は単層構造でも多層構造でも良いが、表層にゴムなどの弾性体を備えた多層構造のものが、フィルム導電面と給電電極との接触面積を大きく取れるため好ましい。

給電電極のフィルム導電面と接触する面の表面粗度は、ＪＩＳ Ｂ０６０１−２００１に規定の算術平均粗さでＲａ＝０．１μｍ〜５０μｍとするのが好ましい。凹凸が大きい表面、すなわち算術平均粗さの大きな表面は、その表面積が大きくなるので接触面積増大に寄与するが、あまり大きすぎるとフィルム導電面が接触面の凹凸に密着することが出来ず、真実接触面積は小さくなる。適度な押し圧で接触面積を確保するために、Ｒａ＝０．８〜６．３μｍとするのがより好ましい。

図１Ａに戻る。図１Ａでは給電部１４はめっき処理槽１５の前にのみ設置しているが、めっき処理槽１５の後ろのみ、または前後に設置しても良く、めっき処理槽１５の内部に設置しても良いが、めっき処理槽１５の内部に設置する場合は給電電極１４１自体にめっき金属が析出するため、解めっき手段が必要となり装置が複雑になるため、めっき処理槽外に設置することが好ましい。

投入する導電膜付きフィルム１１の導電膜１１２の表面抵抗率が０．１Ω／□以上の場合、給電電極からめっき処理槽入り口までの距離Ｘが長いほど所定電流を流すために要する電圧が大きくなり、電力ロスが大きくなってしまう。このため給電電極からめっき処理槽入り口までの距離Ｘは式５を満たすようにすることが好ましい。

Ｘ：前記給電電極の前記ウェブと接する回転体の回転中心と最も近いめっき処理槽出入り口までのウェブ搬送方向の距離［ｍｍ］
Ｂ：給電電極の搬送方向長さ「ｍｍ」
Ｉ：電流密度［Ａ／ｄｍ^２］
Ｗ：ウェブ導電面の幅［ｍｍ］
Ｌ：めっき処理槽長さ［ｍｍ］
ρ：投入する導電膜付きフィルムの導電膜表面抵抗率［Ω／□］
ｔ：給電電極とウェブ導電面とが接触する幅方向接触幅［ｍｍ］
Ｎ：給電電極係数（両端に配設の場合は２、片側のみ配設の場合は１）
式５は発明者らが鋭意検討の結果得られた知見をもとに導き出したものである。左の項はＸの下限を示し、めっき処理槽外に設置するために物理的に給電部１４とめっき液が当たらないための距離である。右の項はＸの上限を示す。まず物体に通電するとジュール熱が発生するが、熱量に関して通電に影響の出ない範囲を実験的に求め、次に給電電極からめっき処理槽入り口までの膜抵抗と投入電流から発熱量を計算し、先に実験的に求めた通電に影響の出ない熱量以下となるようなＸを導き出す。投入電流密度Ｉ及び導電膜表面抵抗率ρに反比例する。なお、５００は実験的に求めた係数で、安全率等も考慮に入れている。

ここまで説明してきた連続電解めっき装置は、表面品位の高い製品が製造できるので、めっき膜付きプラスチックフィルムの製造に好適に用いることができる。電子配線用途、特にフレキシブル回路基板用途の製造に適しており、中でも半導体パッケージ用途など配線ピッチが細かく微細加工が必要なため非常に高い表面品位を要求される用途に用いられるめっき膜付きプラスチックフィルムの製造には特に好適に用いられる。

以下に具体的な実施例をもって本発明を詳細に説明する。なお、本発明はこれらの具体的な実施例に限定されるものではない。
［実施例１］
給電部の装置構成は図１Ｂに示すとおりである。ベアリングケース１４０１、スライドガイド１４０３、ブラケット１４０２、ならびに押し圧付与用バネ１４３はステンレス鋼にて製作した。押し圧付与用バネ１４３のバネ定数は１４．７Ｎ／ｍｍのものを用いた。給電電極は図１Ｃに示す構造にてチタン製のものを用いた。フィルムとの接触部となる円板状部材は外径６０ｍｍ、厚み１０ｍｍとし、両肩Ｃ１面取りを施しフィルムとの接触幅は８ｍｍとした。接触面の算術平均粗さは、ＪＩＳ Ｂ０６０１−２００１に規定の算術平均粗さに準拠し、英国テーラーホブソン社製表面粗さ測定器“サートロニック２５”を用いて測定したところ、４．７μｍであった。なお軸端部には米国メルコタック社製“ロータリーコネクタＭＯＤＥＬ１２５０−ＳＣ“を取り付け、回転しながら給電可能な構成とした。受け側回転体はステンレス鋼を用い、外径１００ｍｍ、厚み１２ｍｍとし、両肩Ｃ１面取りを施しフィルムとの接触幅は１０ｍｍとした。
図３は給電電極とフィルム導電面との接触抵抗測定方法を示す概念図である。１５ｍｍ幅のフィルムの幅方向端部から５ｍｍの位置に給電電極ならびに受け側回転体の厚さ方向の中心を合わせるようにして、厚さ３８μｍのポリイミドフィルムの片面に銅を８．５μｍめっきしたフィルムを挟み、電源の片側を給電端子に、もう片方をフィルム幅方向端部から１２ｍｍの位置で電極接触部近傍に接続し、図３に示すような回路を構成して抵抗値の測定を行った。直流電源３１から０．５Ａの定電流を投入し、電圧計３２にて電圧を測定し、オームの法則より抵抗値を算出した。押し圧を変化させ、抵抗値の変化を測定した結果を図４に示す。この際に用いたフィルムの表面抵抗率は、ＪＩＳ Ｋ７１９４−１９９４に準拠し、三菱化学製表面抵抗率測定器“ロレスタ−ＧＰ”ＭＣＰ−Ｔ６００を用いて測定した結果、１．９２×１０^−３Ω／□であった。

同じ測定を、厚さ３８μｍのポリイミドフィルムの片面に銅合金を０．１μｍスパッタリング法にて製膜したフィルムを用いて行った。結果を図９に示す。なお、スパッタ法で製膜した導電膜の表面抵抗率は３．５×１０^−１Ω／□であった。

図５は通電長さを変えたときの抵抗値を測定した測定方法を示す概念図である。５２０ｍｍ幅のフィルムを用いて、フィルム端部から５ｍｍの位置に給電電極ならびに受け側回転体の厚さ方向の中心を合わせるようにして、厚さ３８μｍのポリイミドフィルムの片面に銅を８．５μｍめっきしたフィルムを挟み、電源の片側を給電端子に、もう片側を電極接触位置から搬送方向に５００ｍｍ離したところに接続し、図５に示すような回路を構成して抵抗値の測定を行った。直流電源３１から０．５Ａの定電流を投入し、電圧計３２にて電圧を測定し、オームの法則より抵抗値を算出した。給電電極とフィルムとが接している点から測定位置までのフィルム搬送方向の距離を５００ｍｍとし、給電電極から測定位置までのフィルム幅方向の距離を変えて抵抗値を測定した結果を図６に示す。
厚さ３８μｍで５２０ｍｍ幅の長尺なポリイミドフィルムを用いて、フィルム片端部から５ｍｍの位置に給電電極ならびに受け側回転体の厚さ方向の中心を合わせるようにして１カ所に給電部を設置し、接触幅１ｍｍあたり１０Ｎ／ｍｍ及び２０Ｎ／ｍｍの接触圧を付与してフィルムを２ｍ／ｍｉｎの速度で搬送させた。結果、いずれの接触圧においてもフィルム張力により回転可能であり、蛇行やシワの発生はなく、また接触部以外では擦過キズの発生も認められなかった。

以上の結果から、上記給電部を用いた連続電解めっき装置にてフレキシブル回路基材用途の銅めっき膜付きポリイミドフィルムを製造すると、主に製品とするフィルム幅方向中央部には給電電極等が接触しないため、擦過キズ等表面欠点の少ない製品が得られることがわかる。
［実施例２］
実施例１と同様の給電部構成を用いて、受け側回転体を外径９０ｍｍ、接触幅方向幅６．５ｍｍとし、表層部に５ｍｍ厚のゴムを巻いたものを用いた。ゴムはＪＩＳ−Ａ硬度で８０°（板厚５ｍｍのサンプル板で測定）のニトリルゴムを用いた。

この給電部を用いて実施例１と同様の各種テストを行い、それぞれ図４、図６、図９に示す結果を得た。

厚さ３８μｍで５２０ｍｍ幅の長尺なポリイミドフィルムを用いて、フィルム片端部から５ｍｍの位置に給電電極ならびに受け側回転体の厚さ方向の中心を合わせるようにして１カ所に給電部を設置し、接触幅１ｍｍあたり１０Ｎ／ｍｍ及び２０Ｎ／ｍｍの接触圧を付与してフィルムを２ｍ／ｍｉｎの速度で搬送させた。結果、いずれの接触圧においても蛇行やシワの発生はなく、また接触部以外では擦過キズの発生も認められなかった。接触圧が２０Ｎ／ｍｍでは従動回転可能であったが、回転に必要なトルクが大きいため補助的に給電電極を回転させた方が安定的に搬送可能であった。

以上の結果から、上記給電部を用いた連続電解めっき装置にてフレキシブル回路基材用途の銅めっき膜付きポリイミドフィルムを製造すると、主に製品とするフィルム幅方向中央部には給電電極等が接触しないため、擦過キズ等表面欠点の少ない製品が得られることがわかる。
［実施例３］
実施例１と同様の給電部構成を用いて、受け側回転体を外径９０ｍｍ、接触幅方向幅１２ｍｍとし、表層部に５ｍｍ厚のゴムを巻いたものを用いた。ゴムは板厚５ｍｍのサンプル板のＪＩＳ−Ａ硬度で８０°のニトリルゴムを用いた。

この給電部を用いて実施例１と同様の各種テストを行い、それぞれ図４、図６に示す結果を得た。

厚さ３８μｍで５２０ｍｍ幅の長尺なポリイミドフィルムを用いて、フィルム片端部から５ｍｍの位置に給電電極ならびに受け側回転体の厚さ方向の中心を合わせるようにして１カ所に給電部を設置し、接触幅１ｍｍあたり１０Ｎ／ｍｍ及び２０Ｎ／ｍｍの接触圧を付与してフィルムを２ｍ／ｍｉｎの速度で搬送させた。結果、いずれの接触圧においても給電電極のエッジ部においてフィルムに折れジワが発生することを確認したが、製品となる中央部においては擦過キズ等の発生は認められなかった。接触圧が２０Ｎ／ｍｍでは従動回転可能であったが、回転に必要なトルクが大きいため補助的に給電電極を回転駆動させた方が安定的に搬送可能であった。

以上の結果から、上記給電部を用いた連続電解めっき装置にてフレキシブル回路基材用途の銅めっき膜付きポリイミドフィルムを製造すると、主に製品とするフィルム幅方向中央部には給電電極等が接触しないため、擦過キズ等表面欠点の少ない製品が得られることがわかった。
［実施例４］
実施例１と同様の給電部構成を用いて、受け側回転体を外径９０ｍｍ、幅方向接触幅７ｍｍとし、表層に５ｍｍ厚のゴムを巻いたものを用いた。ゴムは板厚５ｍｍのサンプル板でＪＩＳ−Ａ硬度４０°のエチレンプロピレンゴムを用いた。この給電部を図１Ａに示すめっき装置の給電部１４に用い、電流値を１７０Ａに設定して連続めっき実験を行った。基材には３８μｍポリイミドフィルム“カプトンＥＮ”（東レデュポン株式会社製）の片側表面に導電膜として７μｍの銅を製膜したものを用い、ニップ圧を５Ｎ／ｍｍに設定した。このときの接触面積は２００ｍｍ^２であった。なお、接触抵抗値は３０ｍΩで、式３に当てはめて計算すると接触面積範囲は２２ｍｍ^２≦Ａ≦１０００ｍｍ^２となり、範囲内に入っている。

この結果、基材の焼損等の熱的問題を発生させることなく良好にめっき可能であった。
［比較例１］
従来のロール状電極において、実施例１と同様の測定を行った。ロール状電極はロール外径８０ｍｍ、ロール面長５８０ｍｍで、真鍮製軸に銅製ローラを取り付けた構成とし、ローラ面長の中央とフィルム幅方向中心を合わせるようにセッティングした。

給電電極とフィルム導電面との接触抵抗測定方法を図７に示す。ローラ表面に５２０ｍｍ幅のフィルムの導電面が接するように９０°抱き付け、電源の片側を給電端子に、もう片側を給電端子側のフィルム幅方向端部から２ｍｍの位置、搬送方向にはローラとフィルムとが離れ始める場所から３ｍｍの位置に接続し、垂れ下がったフィルムの中央付近におもりＭを取り付けることによりフィルム張力を４０Ｎ〜４００Ｎまで設定して測定したが、いずれの張力条件においても、８．５μｍの銅めっき膜では１２０ｍΩ、０．１μｍの銅合金スパッタ膜では２００ｍΩで安定した。本比較例に対して実施例１〜３はいずれも低い抵抗を示すことを確認した。

また図８に示す回路を構成し、通電長さと抵抗値の関係を、フィルム張力５０Ｎにて測定した。結果を図６に示す。なお、図６の横軸の「幅方向位置」とは、図８中の「幅方向位置」に対応する。

上記ロール状電極を用いた連続電解めっき装置にてフレキシブル回路基材用途の銅めっき膜付きポリイミドフィルムを製造すると、擦過キズが１００％発生し、うち約１０％は製品として不良品と判定される程度の悪いキズであった。
［図４、図６、図９のまとめ］
・ 図４、図９：押し圧力と抵抗値の関係
（ａ）比較例１の給電方法においては、８．５μｍめっき膜に対して抵抗値は１２０ｍΩであった。これに対して実施例１〜３においては図４に示す結果となった。比較例１（従来技術）並の給電能力を得るために抵抗値を比較例１の抵抗値（１２０ｍΩ）以下とするには、実施例１〜３いずれも２Ｎ／ｍｍ以上の押し圧を付与すればよいことがわかる。

（ｂ）比較例１の給電方法においては、０．１μｍスパッタ膜に対して抵抗値は２００ｍΩであった。これに対して実施例１〜３においては図９に示す結果となった。比較例１（従来技術）並の給電能力を得るために抵抗値を比較例１の抵抗値（２００ｍΩ）以下とするには、実施例１〜３いずれも２Ｎ／ｍｍ以上の押し圧を付与すればよいことがわかる。

（ｃ）押し圧の増加に対する抵抗値の低減傾向について、実施例１よりも実施例２，３の方が顕著な傾向にある。これは受け側回転体にゴムを用いているため、押し圧により変形して給電電極へのフィルム導電面の接触面積が著しく増加したためと考えられる。

（ｄ）実施例２と３との違いは、受け側回転体の接触幅が、実施例２に対して実施例３の方が大きく、接触面積が実施例３の方が大きいため抵抗値が低くなったものと考えられる。給電電極エッジにおいてフィルムに折れジワが発生する場合があるが、この部分は最終的に切り捨てられ、製品とはならないため問題ないことが多い。ただし、折れジワの発生は、搬送中のトラブルの原因となることがあり、また、最終的に切り捨てられる場合に取りしろが大きくなるため製品の幅が狭くなるので、そのおそれを回避したいときは、抵抗値の問題がない限り、実施例２の形態の方が好ましい。なお、折れジワが発生しにくい場合や、折れジワが発生しても搬送中のトラブルの原因とならないような場合には、実施例３の形態の方が好ましい。
・ 図６：フィルム幅方向位置と抵抗値の関係
（ａ）比較例は幅方向全面に電極が接触して給電しているが、実施例１〜３においては端部のみに接触して給電するため幅方向給電ムラが懸念されるので検証を行った。

（ｂ）比較例では図６に示すとおり６０ｍΩ〜１２０ｍΩの範囲の抵抗値が得られており、最大値と最小値を比較するとおよそ倍ほどの違いが見られた。バラツキが大きいことに関してはフィルム導電面の面内抵抗バラツキの影響を受けていると思われる。一方、実施例１〜３の抵抗値はそれぞれ以下に示すとおりである。すなわち、実施例１の抵抗値は６０〜９０ｍΩの範囲、実施例２の抵抗値は２５〜４０ｍΩの範囲、実施例３の抵抗値は１０〜２０ｍΩの範囲、と比較例に比べて抵抗値のバラツキがほぼ同等であり、幅方向給電ムラは従来技術と遜色ないレベルを確保したと言える。

本発明は、銅めっき被膜付きフィルムの製造に限らず、その他金属の電解めっき装置、樹脂フィルム以外の基材を用いた電解めっき装置などにも応用することができるが、その応用範囲がこれらに限られるものではない。

本実施形態によるウェブの連続電解めっき装置の一例の概略平面図である。 給電部の一例の電極近傍を拡大した概略斜視図である。 給電電極の一例の構造を示した概略断面図である。 給電電極の一例の構造を示した概略断面図である。 押し圧と接触抵抗の関係の一例を示したグラフである。 給電電極とフィルム導電面との接触抵抗測定方法を示す概念図である。 押し圧と接触抵抗との関係を示したグラフである。 通電長さを変えたときの抵抗値を測定した測定方法を示す概念図である。 通電長さと抵抗値との関係を示すグラフである。 比較例で用いたロール状電極とフィルム導電面との接触抵抗測定方法を示す概念図である。 比較例で用いたロール状電極において通電長さを変えたときの抵抗値を測定した測定方法を示す概念図である。 押し圧と接触抵抗との関係を示したグラフである。

符号の説明

１１ 導電膜付きフィルム
１１１ プラスチックフィルム
１１２ 導電膜
１２ 巻き出し部
１３ 前処理洗浄部
１４ 給電部
１４１ 給電電極
１４２ 受け側回転体
１４３ 押し圧付与手段
１４４ 給電端子
１４５ 弾性体
１４６ 導電性薄肉円筒導電層
１４７ 電極
１４０１ ベアリングケース
１４０２ ブラケット
１４０３ スライドガイド
１４０４ ベアリング
１５ めっき処理槽
１５１ 陽極
１５２ シールユニット
１６ めっき処理部
１７ 後処理部
１８ 巻き取り部
３１ 直流電源
３２ 電圧計

Claims (17)

1. 表面に導電性を付与したウェブを連続的に搬送しながらめっき処理槽内で電解めっきを施す電解めっき方法であって、前記ウェブの幅方向片側端部または両側端部に前記ウェブを対向するように少なくとも２つの回転体により前記ウェブを挟持し、前記回転体のうち少なくとも１つを給電電極として用いて、前記ウェブに対して給電を施し、前記電極を前記ウェブの幅方向端部から０．５ｍｍ以上２０ｍｍ以下の領域のみに幅方向接触幅１ｍｍあたり２Ｎ以上１００Ｎ以下の接触圧をもって圧接し、前記回転体を前記ウェブの搬送速度と略同速で回転させることを特徴とする電解めっき方法。
2. 前記電極として前記めっき処理槽外に配設されたもののみを用い、前記めっき処理槽の搬送方向上流および／または下流でのみ前記ウェブのめっき対象部位において給電することを特徴とする請求項１に記載の電解めっき方法。
3. 前記ウェブの幅方向が鉛直方向に沿うように向けて長手方向に搬送することを特徴とする請求項１または２に記載の電解めっき方法。
4. 前記給電電極とともにウェブを挟持する受け側回転体として、該受け側回転体の表層部に弾性体を有するものを用いることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電解めっき方法。
5. 前記給電電極として、表層部に導電層を備え、該導電層の内側に弾性体層を有するものを用いることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の電解めっき方法。
6. 前記受け側回転体のウェブとの幅方向接触幅が、前記給電電極のウェブとの幅方向接触幅より１ｍｍ以上１５ｍｍ以下だけ広いことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の電解めっき方法。
7. 前記受け側回転体のウェブとの幅方向接触幅が、前記給電電極のウェブとの幅方向接触幅より狭いことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の電解めっき方法。
8. 前記給電電極が前記導電面に接触する接触面積が下記数式を満たすよう接触圧を付与することを特徴とする請求項４〜７のいずれかに記載の電解めっき方法。
   

   

   Ａ：給電電極と前記導電面との接触面積［ｍｍ^２］
   Ｉ：給電電極への投入電流値［Ａ］
   Ｒ：給電電極と前記導電面との接触抵抗値［Ω］
   ｔ：給電電極と前記導電面との接触部分の前記導電面の導電層厚み［ｍｍ］
   Ｑ：限界熱量係数［Ｗ／ｍｍ^３］＝５．５×１０^３
9. 少なくとも一方の表面に導電面を有するウェブを連続的に搬送しながらめっき処理槽内で電解めっきを施す電解めっき装置であって、前記導電面の幅方向片側端部のみに圧接可能なようにウェブを挟んで対向して配設された少なくとも２つの回転体を有し、前記２つの回転体の間に接触長さ１ｍｍあたり２Ｎ以上１００Ｎ以下の接触圧をかけられる押し圧付与手段を有し、前記２つの回転体のうち少なくとも１つが給電電極を構成するものであり、前記回転体が前記ウェブの搬送速度と略同速で回転可能であることを特徴とするウェブの連続電解めっき装置。
10. 前記電極が前記めっき処理槽外にのみ配設されたことを特徴とする請求項９に記載のウェブの連続電解めっき装置。
11. ウェブの幅方向が鉛直方向に沿うように向けて長手方向に搬送する搬送手段を有し、前記給電電極が前記ウェブの上端部のみに圧接するよう配設されたことを特徴とする請求項９または１０に記載のウェブの連続電解めっき装置。
12. 少なくとも一方の表面に導電面を有するウェブを連続的に搬送しながらめっき処理槽内で電解めっきを施す電解めっき装置であって、前記導電面の幅方向両側端部のみに圧接可能なようにウェブを挟んで対向して配設された少なくとも２つの回転体を有し、前記２つの回転体の間に接触長さ１ｍｍあたり２Ｎ以上１００Ｎ以下の接触圧をかけられる押し圧付与手段を有し、前記２つの回転体のうち少なくとも１つが給電電極を構成するものであり、前記回転体が前記ウェブの搬送速度と略同速で回転可能であることを特徴とするウェブの連続電解めっき装置。
13. 前記給電電極とともにウェブを挟持する受け側回転体が、該受け側回転体の最表層に弾性体を有することを特徴とする請求項９〜１２のいずれかに記載のウェブの連続電解めっき装置。
14. 前記給電電極は、表層部に導電層を備え、該導電層の内側に弾性体層を有することを特徴とする請求項９〜１３のいずれかに記載のウェブの連続電解めっき装置。
15. 前記受け側回転体のウェブとの幅方向接触幅が、前記給電電極のウェブとの幅方向接触幅より１ｍｍ以上１５ｍｍ以下だけ広いことを特徴とする請求項９〜１４のいずれかに記載のウェブの連続電解めっき装置。
16. 前記受け側回転体のウェブとの幅方向接触幅が、前記給電電極のウェブとの幅方向接触幅より狭いことを特徴とする請求項９〜１４のいずれかに記載のウェブの連続電解めっき装置。
17. 前記ウェブとしてプラスチックフィルムを用い、製造工程の少なくとも一部に請求項１〜８のいずれかに記載の給電方法または請求項９〜１６のいずれかに記載の連続電解めっき装置を用いることを特徴とするめっき膜付きプラスチックフィルムの製造方法。

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