JP2011191640A - 基板処理方法、表示素子の製造方法及び表示素子の製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】装置全体の大型を抑制できる基板処理方法を提供する。
【解決手段】供給された基板FBに所定の処理を施し回収する基板処理方法であって、基板の一端を他端と接合して基板を無端状に形成する形成工程と、無端状の基板を搬送する搬送工程と、搬送された基板に所定の処理を施す処理工程と、所定の処理が施された基板を回収する回収工程と、を有する。
【選択図】図1
【解決手段】供給された基板FBに所定の処理を施し回収する基板処理方法であって、基板の一端を他端と接合して基板を無端状に形成する形成工程と、無端状の基板を搬送する搬送工程と、搬送された基板に所定の処理を施す処理工程と、所定の処理が施された基板を回収する回収工程と、を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板処理方法、表示素子の製造方法及び表示素子の製造装置に関するものである。また、本発明は、例えば表示素子を駆動する駆動回路又は薄膜トランジスタも製造する基板処理方法、表示素子の製造方法及び製造装置に関するものである。
ディスプレイ装置などに用いられる表示素子を構成する発光素子として、例えば有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)素子が知られている。有機EL素子は、基板上に陽極及び陰極を有すると共に、これら陽極と陰極との間に挟まれた有機発光層を有する構成となっている。有機EL素子は、陽極から有機発光層へ正孔を注入して有機発光層において正孔と電子とを結合させ、当該結合時の発光光によって表示光が得られるようになっている。有機EL素子は、基板上に例えば陽極及び陰極に接続される電気回路などが形成されている。
表示素子を作製する手法の1つとして、例えばロール・トゥー・ロール方式(以下、単に「ロール方式」と表記する)と呼ばれる手法が知られている(例えば、特許文献1参照)。ロール方式は、基板供給側のローラに巻かれた1枚の長尺状の基板を送り出すと共に送り出された基板を基板回収側のローラで巻き取りながら基板を搬送し、基板が送り出されてから巻き取られるまでの間に、処理装置において、有機EL素子を構成する発光層や陽極、陰極、電気回路などを基板上に順次形成する手法である。
しかしながら、例えば、上述したような従来のロール方式では、必要処理工程を順次並べて構成すると、装置全体が大型化してしまうという問題がある。
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、装置全体の大型化を抑制できる基板処理方法、表示素子の製造方法及び表示素子の製造装置を提供することを目的とする。
本発明の第1の態様に従えば、供給された基板に所定の処理を施し回収する基板処理方法であって、基板の一端を他端と接合して基板を無端状に形成する形成工程と、無端状の基板を搬送する搬送工程と、搬送された基板に所定の処理を施す処理工程と、所定の処理が施された基板を回収する回収工程と、を有する基板処理方法が提供される。
本発明の第2の態様に従えば、供給される基板に所定の処理を施す表示素子の製造装置であって、基板の一端を他端と接合して基板を無端状に形成する基板接合部と、無端状の基板を搬送する搬送部と、搬送される基板に所定の処理を施す基板処理部と、を備える表示素子の製造装置が提供される。
本発明の第3の態様に従えば、基板に表示素子を形成する工程を有する表示素子の製造方法であって、第1の態様の基板処理方法を用いて表示素子を形成することを含む、表示素子の製造方法が提供される。
本発明の第3の態様に従えば、基板に表示素子を形成する工程を有する表示素子の製造方法であって、第1の態様の基板処理方法を用いて表示素子を形成することを含む、表示素子の製造方法が提供される。
本発明によれば、装置全体の大型化を抑制できる基板処理方法、表示素子の製造方法及び表示素子の製造装置を提供することができる。
以下、本発明の基板処理方法及び表示素子の製造装置の一実施形態を、図1ないし図9を参照して説明する。
まず、本実施形態における表示素子の製造装置としての基板処理装置の一例について説明する。
まず、本実施形態における表示素子の製造装置としての基板処理装置の一例について説明する。
図1は、本実施形態に係る基板処理装置FPAの構成を示す図である。基板処理装置FPAは、帯状に形成されたシート基板(基板)FBを長手方向に搬送させながら当該シート基板FBに対して処理を行う装置である。以下、基板処理装置FPAの説明においては、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。XYZ直交座標系のうちシート基板FBの搬送方向(シート基板FBの長手方向)をX軸方向とし、当該シート基板FBの搬送方向と直交する方向(シート基板FBの短手方向、又はシート基板FBの幅方向)をY軸方向とし、X軸方向及びY軸方向のそれぞれと直交する方向をZ軸方向とする。
図1に示すように、基板処理装置FPAは、シート基板FBを供給する基板供給部SU、シート基板FBを搬送する搬送部RA、シート基板FBの一端を他端と接合してシート基板FBを無端状に形成する基板接合部110、シート基板FBの処理面Fpに対して所定の処理を行う基板処理部PR、所定の処理が行われたシート基板FBを回収する回収部200(図4参照)及び、これらの各部を制御する制御部CONT(図4参照)を備えている。基板処理装置FPAは、例えば工場などに設置されて用いられる。
シート基板FBとしては、例えば、矩形に形成されており、長手方向及び短手方向を有するように形成されている。シート基板FBは、可撓性を有するように形成されている。本実施形態における可撓性とは、例えば基板に少なくとも自重程度の所定の力を加えても線断や破断することがなく、該基板を撓めることが可能な性質をいう。また、上記可撓性は、該基板の材質、大きさ、厚さ、又は温度などの環境、等に応じて変わる。
シート基板FBとしては、例えば耐熱性の樹脂フィルム、ステンレス鋼などを用いることができる。一例として、樹脂フィルムは、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエステル樹脂、エチレンビニル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、セルロース樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、酢酸ビニル樹脂、などの材料を用いることができる。なお、シート基板FBとしては、1枚の帯状の基板を用いても構わないが、複数の単位基板を接続して帯状に形成される構成としても構わない。
シート基板FBは、例えば200℃程度の熱を受けても寸法が変わらないように熱膨張係数が小さい方が好ましい。例えば、無機フィラーを樹脂フィルムに混合して熱膨張係数を小さくすることができる。無機フィラーの例としては、酸化チタン、酸化亜鉛、アルミナ、酸化ケイ素などの酸化物が挙げられる。
基板処理装置FPAにおいて処理対象となるシート基板FBのY方向(短手方向)の寸法は例えば1m〜2m程度に形成されており、X方向(長手方向)の寸法は例えば10m以上に形成されている。勿論、この寸法は一例に過ぎず、これに限られることは無い。例えばシート基板FBのY方向の寸法が50cm以下であっても構わないし、2m以上であっても構わない。また、シート基板FBのX方向の寸法が10m以下であっても構わない。
基板供給部SUは、例えばロール状に巻かれたシート基板FBを基板処理部PRへ送り出して供給する。基板供給部SUには、例えばシート基板FBを巻きつける軸部や当該軸部を回転させる回転駆動源などが設けられている。この他、例えばロール状に巻かれた状態のシート基板FBを覆うカバー部などが設けられた構成であっても構わない。
基板接合部110は、基板供給部SUから供給され搬送部RAを順次通過させたシート基板FBの一端を他端と接合することにより、シート基板FBを図1に示すように、無端帯状に形成するためのものであって、例えば熱融着装置や粘着テープ貼着装置等で構成されている(形成工程の一例)。
搬送部RAは、X方向及びZ方向に互いに間隔をあけて配置された複数(ここでは4つ)の吸着ローラ部(ローラ部)R1、シート基板FBの搬送方向を非接触で変える非接触ローラ部(第2ローラ部)R2、非接触ローラR2の間でシート基板FBの搬送方向を変えるローラ部R31、R32とを有している(搬送工程の一例)。吸着ローラ部R1、非接触ローラ部R2、ローラ部R31、32は、いずれもY軸と平行な軸線周りに回転するものである。ウェット工程、すなわち現像装置170あるいはエッチング装置180が不要な場合、制御部CONTは、ローラ部R31、R32を+Z方向に移動させるか、又は現像装置170の現像槽171及びエッチング装置180のエッチング槽181を−Z方向に移動させる。これによって、シート基板FBがウェット処理に対応していない場合でも、本実施形態における基板処理装置FPAを用いることができる。
各吸着ローラR1は、シート基板FBの裏面Fbを吸着して搬送するものであって、図2に示すように、固定されたベース部111と、ベース部111の周囲を回転する円筒状の回転部112とを有している。ベース部111には、シート基板FBとの接触領域(図2に示す吸着ローラR1では、9時〜12時の領域)に位置して吸引空間113が設けられている。吸引空間113は、吸引装置114により負圧吸引される。
回転部112は、径方向に貫通し母線方向に延在するとともに、周方向に間隔をあけて複数設けられた吸着溝112aを有している。吸着溝112aは、上記シート基板FBとの接触領域に位置するときに、回転部112の内周面側で吸引空間113に開口して、吸引空間113における負圧を回転部112の外周面側に作用させる。
複数の吸着ローラ部R1のうち、少なくとも一部の吸着ローラ部R1には、駆動機構(不図示)が取り付けられている。
複数の吸着ローラ部R1のうち、少なくとも一部の吸着ローラ部R1には、駆動機構(不図示)が取り付けられている。
非接触ローラ部R2は、シート基板FBの搬送方向を非接触で変える非接触型の搬送方向変更部であって、図3に示すように、ベース部115と、ベース部111の周囲に設けられた円筒状の外筒部116とを有している。ベース部115には、シート基板FBの処理面Fpとの対向領域(図3に示す吸着ローラR2では、9時〜12時の領域)に位置して供給空間117が設けられている。供給空間117には、気体供給装置118により気体(例えばエア)が供給される。
外筒部116は、径方向に貫通し母線方向に延在するとともに、周方向に間隔をあけて複数設けられた供給溝116aを有している。非接触ローラ部R2は、気体供給装置118によって外筒部116の内周面側で上記供給空間117に開口する供給溝116aから外筒部116の外周側に気体を供給し、シート基板FBの処理面Fpとの間に気体層を形成する。
図1に戻り、基板処理部PRは、計測装置120、洗浄装置130、成膜処理装置140、焼成装置150、パターン形成装置(露光装置)160、現像装置170、エッチング装置180、乾燥装置190を有している。なお、現像装置170及びエッチング装置180は、それぞれ水洗機能を有している。
計測装置120は、シート基板FBに形成されたマーク(指標マーク)を検出して、その位置情報を含む出力信号を制御部CONTに出力したり、シート基板FBの表面状態を検査して制御部CONTに出力するものである(図4参照)。制御部CONTは、計測装置120からの出力信号に基づいて、回収部200によるシート基板FBの回収を制御する。
洗浄装置130は、シート基板FBの処理面Fpを成膜前に洗浄処理するものであって、例えば大気圧プラズマ装置や紫外線照射装置などで構成される。
洗浄装置130は、シート基板FBの処理面Fpを成膜前に洗浄処理するものであって、例えば大気圧プラズマ装置や紫外線照射装置などで構成される。
成膜処理装置140は、シート基板FBの処理面Fpに対して例えば有機EL素子等の表示素子を形成するための各種の成膜装置を有している(処理工程の一例)。このような装置としては、例えば処理面Fp上に隔壁を形成するための隔壁形成装置、発光素子を形成するための発光層形成装置、トランジスタ素子の各部を形成するための半導体形成装置、電極形成装置、絶縁層形成装置、配線を形成するための配線形成装置、容量素子を形成するための容量素子形成装置などが挙げられる。
このような上述の成膜処理装置140は、例えば液滴塗布装置(例えばインクジェット型塗布装置、スプレー型塗布装置など)、蒸着装置、スパッタリング装置などの真空成膜装置や各種印刷装置から構成されており、レジスト塗布、表面改質剤塗布、電極層形成、各種絶縁膜塗布、半導体材料塗布、発光層塗布などに用いられる。これらの各装置は、例えばシート基板FBの搬送経路上に適宜設けられている。このような処理装置は、基本的には焼成前の成膜処理が主な処理内容であって、ブランク状態で塗布する場合もあれば、インクジェットやナノインプリント等のようにパターン構造を持った形で印刷する場合もある。
焼成装置150は、シート基板FBの片面又は両面に対して、シート基板FBの処理面Fpに形成された成膜を加熱などの手段を用いてして焼成処理又は硬化処理を行うものであって、例えばヒータ、赤外線照射装置等で構成される。
パターン形成装置(露光装置)160は、例えば、図1の右上に位置する吸着ローラR1に吸着保持されたシート基板FBに対して露光処理を行うものであり、光源装置、マスクステージ装置、投影光学装置(マスクとシート基板FBとを密接させてマスクのパターンを露光するプロキシミティ露光を行う場合は不要)等を備えている。なお、上述の成膜処理装置140によってパターン構造を有した形で成膜された場合、パターン形成装置160は不要となる。また、10μmのパターン線幅を必要とする場合には、パターン形成装置160を用いるようにしてもよい。
パターン形成装置(露光装置)160は、例えば、図1の右上に位置する吸着ローラR1に吸着保持されたシート基板FBに対して露光処理を行うものであり、光源装置、マスクステージ装置、投影光学装置(マスクとシート基板FBとを密接させてマスクのパターンを露光するプロキシミティ露光を行う場合は不要)等を備えている。なお、上述の成膜処理装置140によってパターン構造を有した形で成膜された場合、パターン形成装置160は不要となる。また、10μmのパターン線幅を必要とする場合には、パターン形成装置160を用いるようにしてもよい。
現像装置170は、現像液DLが貯留された現像槽171を有しており、露光処理が行われたシート基板FBに対して現像処理を行うものである。現像槽171は、ローラ部R31(すなわち、搬送されるシート基板FB)が現像液DLに浸漬される位置に配置される。
エッチング装置180は、現像装置170で現像処理が行われたシート基板FBに対してエッチング処理を行うものであって、エッチング液CLが貯留されたエッチング槽181を有している。エッチング槽181は、ローラ部R32(すなわち、搬送されるシート基板FB)がエッチング液CLに浸漬される位置に配置される。
乾燥装置190は、エッチング装置180でエッチング処理が行われたシート基板FBの両面に対して乾燥処理を行うものであって、例えばブロワーやヒータ等で構成される。なお、上述の現像装置170、エッチング装置180、及び乾燥装置190は、パターン形成装置160と同様に必要な工程でそれぞれ用いればよい。
回収部200は、上述のような一連の処理が少なくとも1回以上行われたシート基板FBを回収するものであって、例えば無端状に形成されたシート基板FBを切断する切断装置や、搬送部RAにおけるローラ部R1、R2、R31〜R32の少なくとも一つを移動させて、シート基板FBに対する張力を解放してシート基板FBを搬送部RAから離脱可能とする解放装置、及び切断されたシート基板FB、あるいは搬送装置RAから離脱可能となったシート基板FBを搬出する搬出装置等を有している(回収工程の一例)。
図4は、基板処理装置FPAに係る制御系を示すブロック図である。
この図に示すように、計測装置120の計測結果(出力信号)は制御部CONTに入力する。制御部CONTは、基板接合部110、搬送装置RA、基板供給部SU、回収部200、洗浄装置130、成膜処理装置140、焼成装置150、パターン形成装置(露光装置)160、現像装置170(現像液DLの供給・回収等)、エッチング装置180(エッチング液CLの供給・回収等)、乾燥装置190の動作を制御する。
この図に示すように、計測装置120の計測結果(出力信号)は制御部CONTに入力する。制御部CONTは、基板接合部110、搬送装置RA、基板供給部SU、回収部200、洗浄装置130、成膜処理装置140、焼成装置150、パターン形成装置(露光装置)160、現像装置170(現像液DLの供給・回収等)、エッチング装置180(エッチング液CLの供給・回収等)、乾燥装置190の動作を制御する。
上記のように構成された基板処理装置FPAは、制御部CONTの制御により、いわゆるロール・トゥ・ロール方式(以下、ロール方式と表記する)によって表示素子を製造する。以下、上記構成の基板処理装置FPAを用いて表示素子を製造する工程の一例を説明する。
まず、基板供給部SUに設けられるローラに帯状のシート基板FBを巻き付けた状態にする。制御部CONTは、この巻き付けた状態において、基板供給部SUから所定長さで当該シート基板FBが送り出されるようにする。次に、制御部CONTは、送り出された当該シート基板FBを搬送装置RAの吸着ローラR1に吸着させた状態で搬送させ、図1に示すように、シート基板FBの先端部を非接触ローラ部R2及びローラ部31、32に巻回(係合)させる。そして、制御部CONTは、基板供給部SUの直近の吸着ローラR1(図1の左上の吸着ローラR1)において、図2に示すように、シート基板FBの先端部をシート基板FBの後端部と重ね合わせ、基板接合部110ににおける熱融着やテープ貼着により接合させる。これにより、シート基板FBは、無端状に形成される。
なお、シート基板FBの搬送装置RAへの装着は、作業者が行う手順としてもよい。
なお、シート基板FBの搬送装置RAへの装着は、作業者が行う手順としてもよい。
搬送装置RAに装着された無端帯状のシート基板FBは、搬送装置RAによって適宜搬送されつつ、洗浄装置130による処理面Fpの洗浄処理、成膜処理装置140による成膜処理等の各種処理、焼成装置150による膜焼成処理、パターン形成装置(露光装置)160による露光処理、現像装置170による現像処理、エッチング装置180によるエッチング処理、乾燥装置190による乾燥処理が順次行われる。
上記搬送装置RAの吸着ローラR1によるシート基板FBの搬送の際には、図2に示すように、シート基板FBとの接触領域に位置する吸着溝112aから吸引空間113を通じて負圧が供給されるため、シート基板FBは安定して回転部112に吸着保持される。また、負圧を供給していた吸着溝112aが回転部112の回転によってシート基板FBとの接触領域から外れる場合、吸引空間113を通じての負圧供給が停止されるため、シート基板FBは円滑に回転部112から離間して送り出されることになる。
また、上記搬送装置RAの非接触ローラ部R2によるシート基板FBの搬送の際には、外筒部116におけるシート基板FBとの対向領域において、供給溝116aから供給空間117を通じて気体が供給されて気体層が形成されるため、非接触ローラ部R2はシート基板FBの搬送方向を非接触で変えることができる。従って、上記成膜処理装置140における処理で、例えば成膜等が形成された処理面Fpが非接触ローラ部R2と対向する場合でも、処理面Fpの成膜等を損傷させることなく、シート基板FBの搬送方向を変えることができる。
そして、本実施形態における基板処理装置FPAは、シート基板FBに対して積層構造体を形成する場合等、上記の処理を複数回繰り返して行う場合には、搬送装置RAによりシート基板FBを周回させつつ、上記の処理を順次行わせる。このとき、本実施形態における基板処理装置FPAは、一度目の処理でシート基板FBに形成された成膜等に二度目以降の処理を行う場合には、シート基板FBに形成されている指標マークを計測装置120で計測し、制御部CONTがこの計測結果に基づいて、シート基板FBの位置合わせを行わせる。
なお、シート基板FBに形成され計測装置120により計測される指標マークとしては、予め指標マークが形成されたシート基板FBを基板供給部SUから供給する構成や、成膜処理装置140によりシート基板FBの処理面Fpに成膜を形成する工程で成膜する構成としてもよい。
一方、本実施形態における基板処理装置FPAは、シート基板FBに対する処理が完了した場合や、シート基板FBに対する処理で何らかのトラブルが生じた場合には、回収部200によりシート基板FBを回収する。具体的には、本実施形態における基板処理装置FPAは、回収部200が切断装置を有する場合には、シート基板FBに形成されている指標マークを計測装置120で計測して切断位置を求め、切断装置によりこの切断位置でシート基板FBを切断して分離することで、搬送装置RAからシート基板FBを離脱させて回収する。
また、本実施形態における基板処理装置FPAは、回収部200が上述の解放装置を有する場合には、搬送部RAにおけるローラ部R1、R2、R31〜R32の少なくとも一つをZ軸方向に移動させて、シート基板FBに対する張力を解放してシート基板FBを搬送部RAから離脱可能とした後に、搬出装置あるいは作業者により搬送装置RAからシート基板FBを離脱させて回収する。
このように、本実施形態では、シート基板FBの一端を他端と接合した無端状のシート基板FBを用いるため、繰り返してシート基板FBを同一ループで流すことが可能となり、基板処理装置FPAの大型化を抑制できる。また、本実施形態における基板処理装置FPAは、シート基板FBを長尺の状態で扱う場合と比較して、操作領域が限定されるため、操作性が良くなる。また、本実施形態では、計測装置120を用いてシート基板FBの表面状態を観察することによって、所定の処理後や加工ミス等が生じた後の不具合部分の特定あるいは成膜処理装置140による修正操作などの対応が容易となり、生産性の向上に寄与できる。
また、本実施形態では、無端状に形成したシート基板FBを周回させて、所定の処理を複数回行うことにより、積層構造体を容易に形成することができるとともに、本実施形態では、シート基板FBの処理面Fpと対向してシート基板FBの搬送方向を変える非接触ローラ部R2がシート基板FBに対して非接触であるため、処理面Fpを汚したり、傷等を付けることを防止でき、歩留まりの向上にも寄与できる。
続いて、上記の基板処理装置FPAを用いて形成される表示素子について、図5乃至図8を参照して説明する。
図5は、本実施形態に係る表示素子1(素子基板)の構成を示す平面図である。
図5に示すように、表示素子1は、シート基板FB上に発光素子2、トランジスタ素子3、容量素子4、配線5などが設けられた構成になっている。
図5は、本実施形態に係る表示素子1(素子基板)の構成を示す平面図である。
図5に示すように、表示素子1は、シート基板FB上に発光素子2、トランジスタ素子3、容量素子4、配線5などが設けられた構成になっている。
シート基板FB上には、隔壁BAが形成されている。隔壁BAは、シート基板FB上の領域を形状及び寸法がほぼ等しい複数の領域に区画する。本実施形態では、隔壁BAは矩形に形成されたシート基板FBの直交する2辺の方向に沿って格子状に設けられている。このため、隔壁BAによって区画される複数の領域はシート基板FBの直交する2辺に沿ってマトリクス状に配置されている。
発光素子2は、隔壁BAによって区画されマトリクス状に配置された各領域内にそれぞれ設けられている。マトリクス状に区画された領域は、シート基板FBの直交する2辺の延在方向に沿って配置されている。この複数の発光素子2は、赤色の光を表示する赤色発光素子2R、緑色の光を表示する緑色発光素子2G、青色の光を表示する青色発光素子2Bを含んでいる。本実施形態では、赤色発光素子2R、緑色発光素子2G及び青色発光素子2Bが一方向(例えば、区画された領域又はサブ画素2SPの短手方向)にそれぞれ一列に配置されており、各発光素子2の列が他方向(例えば、区画された領域又はサブ画素2SPの長手方向)に繰り返し配置された構成になっている。
図6は、シート基板FB上の1つのサブ画素2SPの構成を示す平面図である。図7は、図6におけるA−A´断面に沿った構成を示す図である。
図7に示すように、サブ画素2SP内において、各発光素子2は、シート基板FBの表面側から順に陽極21、有機発光層22、陰極23を有しており、陽極21と陰極23との間に有機発光層22が挟まれた構成となっている。
図7に示すように、サブ画素2SP内において、各発光素子2は、シート基板FBの表面側から順に陽極21、有機発光層22、陰極23を有しており、陽極21と陰極23との間に有機発光層22が挟まれた構成となっている。
発光素子2は、陽極21から有機発光層22へ正孔を注入すると共に陰極23から有機発光層22へ電子を注入し、有機発光層22において正孔と電子とを結合させ、当該結合時の発光光によって表示光を得る構成となっている。本実施形態では、陰極23が、例えば複数の発光素子2に跨って形成される共通電極となるように形成されていることが好ましい。
本実施形態では、例えば有機発光層22で発生した表示光が陰極23側に進行する構成(いわゆるトップエミッション型)になっている。したがって、陰極23は、表示光を透過可能な構成となっており、例えば陰極23の材料としてITO(Indium tin oxide)などの透明導電材料が用いられている。本実施形態では、例えば表示素子1の外部から供給される表示信号(映像信号)などに基づいて陽極21と陰極23との間に輝度情報に応じた電流が流されるようになっている。
トランジスタ素子3は、シート基板FB上のうち発光素子2の例えば下層側に形成されており、例えば1つの発光素子2に対して複数設けられている。本実施形態では、トランジスタ素子3として、例えば2つの薄膜トランジスタTR1及びTR2が用いられている。2つの薄膜トランジスタTR1及びTR2は、例えば同一構成として形成されている。本実施形態において、薄膜トランジスタTR1はスイッチング素子として動作するスイッチ用トランジスタであり、薄膜トランジスタTR2は発光素子2に電流を供給(制御)する駆動用トランジスタである。
図6及び図7に示すように、薄膜トランジスタTR1及びTR2は、それぞれ半導体層30、ソース電極31、ドレイン電極32、ゲート電極33を有しており、いわゆる電界効果型トランジスタを構成している。
薄膜トランジスタTR1及びTR2は、例えば隔壁BAによって区画された各領域内に等しい個数ずつ設けられており、当該領域内における位置が領域毎にほぼ同一になっている。したがって、薄膜トランジスタTR1及びTR2は、区画された領域毎にそれぞれ等しいパターンとなるように配置されている。
半導体層30は、ソース領域30S、ドレイン領域30D及びチャネル領域30Cを有している。ソース領域30Sは、ソース電極31に接続されている。ドレイン領域30Dはドレイン電極32に接続されている。チャネル領域30Cは、ソース領域30Sとドレイン領域30Dとの間に設けられている。
ソース電極31の一方の端部31a及びドレイン電極32の一方の端部32aは、所定の隙間を空けて互いに向き合うように配置されている。端部31a及び端部32aは、互いに向き合う面がほぼ平坦に形成されている。このため、ソース電極31とドレイン電極32との間には、一定間隔の隙間(ゲート幅34)が形成された状態になっている。半導体層30のチャネル領域30Cは、ゲート幅34に重なる位置に設けられている。また、このチャネル領域30Cは、ゲート絶縁層35(図7参照)を介してゲート電極33に重なるように配置されている。
容量素子4は、隔壁BAによって区画される領域毎に設けられており、上記の表示信号(又は、表示信号の輝度情報)を一時的に保持する。容量素子4は、例えばトランジスタ素子3のうち薄膜トランジスタTR1のドレイン電極32に接続されていると共に、薄膜トランジスタTR2のゲート電極33に接続されている。
図5及び図6に示すように、配線5は、電源供給ライン50、ソースバスライン51、ゲートバスライン52及びグランド線GDを有している。電源供給ライン50は、薄膜トランジスタTR2のソース電極31に接続されている。ソースバスライン51は、薄膜トランジスタTR1のソース電極31に接続されている。ゲートバスライン52は、薄膜トランジスタTR1のゲート電極33に接続されている。グランド線GDは、容量素子4に接続されていると共に、発光素子2の例えば陰極23に接続されている
上記の表示素子1は、例えば隣接する3つの発光素子2(赤色発光素子2R、緑色発光素子2G及び青色発光素子2Bが1つずつ)を組とした画素2Pが構成される。1つの画素2Pに含まれる発光素子2は、それぞれ画素2Pのサブ画素2SPとなる。表示素子1は、サブ画素2SPごとに表示が可能になっており、赤色、緑色、青色の3色の表示を調整することで、画像や文字などが表示されるようになっている。なお、1つのサブ画素2SPについての回路構成については、図8に示されている。
次に、上記構成の表示素子1を基板処理装置FPAを用いて製造する工程を説明する。
なお、以下の説明においては、主として成膜処理装置140における処理について説明し、他の基板処理部PRの処理については省略または簡略化する。
また、以下の説明では、シート基板FBを周回させて所定の処理を行う際には1回目から順次第1周回処理、第2周回処理、…と称するものとする。さらに、成膜時のパターニングに用いられるレジストについては図示を省略している。
なお、以下の説明においては、主として成膜処理装置140における処理について説明し、他の基板処理部PRの処理については省略または簡略化する。
また、以下の説明では、シート基板FBを周回させて所定の処理を行う際には1回目から順次第1周回処理、第2周回処理、…と称するものとする。さらに、成膜時のパターニングに用いられるレジストについては図示を省略している。
まず、第1周回処理では、シート基板FB上に絶縁膜形成材料を含むインクを塗布・硬化させて絶縁膜N1を形成した後に、第2周回処理では、絶縁膜N1上にレジストを塗布し、さらにパターン形成装置(露光装置)160によりゲート電極33の位置に露光処理を施し、現像・エッチング処理を行ってゲート電極33用の凹部を形成する。続く第3周回処理では、この凹部に導電性材料(例えば金属微粒子)を含むインクを塗布して硬化させることでゲート電極33を成膜する。
続く第4周回処理では、ゲート電極33及び絶縁膜N1上に絶縁膜形成材料を含むインクを塗布・硬化させてゲート絶縁層35を形成した後に、第5周回処理では、ゲート絶縁層35上に半導体層形成材料を含むインクを塗布・硬化させて半導体層30を形成する。そして、第6周回処理では、導電性材料を含むインクを、絶縁膜N1、ゲート絶縁層35、半導体層30に跨るように塗布して硬化させることでソース電極31及びドレイン電極32を成膜する。なお、このときソース電極31及びドレイン電極32は、ゲート幅34が形成されるように離間して成膜される。
続く第7周回処理では、第1〜第6周回処理で形成された絶縁膜N1、ゲート電極33、ゲート絶縁層35、半導体層30、ソース電極31及びドレイン電極32を覆うように絶縁膜形成材料を含むインクを塗布・硬化させて絶縁膜N2を形成する。
そして、続く第8周回処理では、絶縁膜N2上にレジストを塗布し、さらにパターン形成装置(露光装置)160によりポスト電極36の位置に露光処理を施し、現像・エッチング処理を行ってゲート電極33用の凹部を形成する。続く第9周回処理では、この凹部に導電性材料(例えば金属微粒子)を含むインクを塗布して硬化させることでドレイン電極32に接続するポスト電極36を形成する。
この後、上記と同様の手順を繰り返すことにより、陽極21、有機発光層22、陰極23を形成する。
この後、上記と同様の手順を繰り返すことにより、陽極21、有機発光層22、陰極23を形成する。
このように、本実施形態では、上記の基板処理装置FPAを用い、シート基板FBを複数回、周回させることにより、積層構造体である発光素子2を有する表示素子1を容易に形成することが可能である。
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、上記基板処理部PRに含まれる各種の装置は一例であり、シート基板FBに対して所定の処理を施すものであれば、他の装置が適宜変更・追加された構成であってもよい。また、基板処理装置FPAの構成は、上記実施形態に示したものに限定されるものではなく、例えば図9に示されるように、搬送装置RA、基板接合部110、基板処理部PR、回収部200等が特定の雰囲気(真空、ドライエア、窒素等の不活性ガス)に維持されたチャンバ210内に収容される構成や、各構成装置をそれぞれ個別のチャンバ内に収容し、チャンバ間を搬送する構成であってもよい。
これにより、本実施形態における基板処理装置FPAは、各構成装置による処理特性に応じた最適な環境でシート基板FBに対する処理を行うことが可能になる。
これにより、本実施形態における基板処理装置FPAは、各構成装置による処理特性に応じた最適な環境でシート基板FBに対する処理を行うことが可能になる。
また、上記実施形態では、シート基板FBを周回させて所定の処理を複数回実施する構成を例示したが、これに限られるものではなく一度の周回でシート基板FBに対する処理を完了させてもよい。
また、上記実施形態においては、表示素子1の例として、有機発光層22を有する有機ELの表示素子を挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば無機EL、液晶表示素子、電子ペーパに用いられる電気泳動素子などの他の表示素子についても、本発明の適用は可能である。また、本実施形態においては、上記の表示素子1を用いて有機ELディスプレイなどの表示装置を構成することも可能である。
2…発光素子、 110…基板接合部、 120…計測装置、 130…洗浄装置、 140…成膜処理装置、 160…パターン形成装置(露光装置)、 170…現像装置、 200…回収部、 FB…シート基板(基板)、 FPA…基板処理装置(製造装置)、 PR…基板処理部、 R1…吸着ローラ部(ローラ部)、 R2…非接触ローラ部(第2ローラ部)、 RA…搬送部
Claims (19)
- 供給された基板に所定の処理を施し回収する基板処理方法であって、
前記基板の一端を他端と接合して前記基板を無端状に形成する形成工程と、
前記無端状の基板を搬送する搬送工程と、
搬送された前記基板に前記所定の処理を施す処理工程と、
前記所定の処理が施された前記基板を回収する回収工程と、
を有することを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1記載の基板処理方法において、
前記所定の処理を施す前に、前記基板に形成された指標マークを計測する工程を有することを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1または2記載の基板処理方法において、
前記処理工程は、前記無端状の基板を周回させて前記所定の処理を複数回施すことを含むことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項3記載の基板処理方法において、
前記複数回の所定の処理によって積層構造体を形成する工程を有することを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の基板処理方法において、
前記搬送工程は、前記基板の裏面を吸着して搬送することを含むことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から5のいずれか一項に記載の基板処理方法において、
前記搬送工程は、前記基板の表面と対向して配置され当該表面に向けて気体を噴出することにより、前記基板の搬送方向を非接触で変えることを含むことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載の基板処理方法において、
前記処理工程は、前記基板の裏面がローラ部に当接して支持された前記基板の表面に前記所定の処理を施すことを含むことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の基板処理方法において、
前記所定の処理は、前記基板の表面を洗浄する工程と、
洗浄した前記表面に所定の材料を塗布する工程と、
を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から8のいずれか一項に記載の基板処理方法において、
前記所定の処理は、前記基板の表面に露光処理を行う工程と、
前記露光処理が行われた前記基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の基板処理方法において、
前記所定の処理は、前記基板にパターンを形成すること
を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から10のいずれか一項に記載の基板処理方法において、
前記所定の処理が施された前記基板の接合領域を分離する工程、
を有することを特徴とする基板処理方法。 - 基板に表示素子を形成する工程を有する表示素子の製造方法であって、
請求項1から請求項11のうちいずれか一項に記載の基板処理方法を用いて、前記表示素子を形成することを含む
ことを特徴とする表示素子の製造方法。 - 供給される基板に所定の処理を施す表示素子の製造装置であって、
前記基板の一端を他端と接合して前記基板を無端状に形成する基板接合部と、
前記無端状の基板を搬送する搬送部と、
搬送される前記基板に前記所定の処理を施す基板処理部と、
を備えることを特徴とする表示素子の製造装置。 - 請求項13に記載の表示素子の製造装置であって、
前記所定の処理が施された前記基板を回収する回収部、
を備えることを特徴とする表示素子の製造装置。 - 請求項13または14に記載の表示素子の製造装置において、
前記搬送部は、前記基板の裏面を吸着して搬送するローラ部を有することを特徴とする表示素子の製造装置。 - 請求項15記載の表示素子の製造装置において、
前記基板処理部の少なくとも一つは、前記基板の裏面が前記ローラ部に当接して支持された前記基板の表面に前記所定の処理を施すことを特徴とする表示素子の製造装置。 - 請求項13から16のいずれか一項に記載の表示素子の製造装置において、
前記基板の表面と対向配置されて当該表面に向けて気体を噴出し、前記基板の搬送方向を非接触で変える第2ローラ部を備えることを特徴とする表示素子の製造装置。 - 請求項13から17のいずれか一項に記載の表示素子の製造装置において、
前記基板処理部は、前記基板に形成された指標マークを計測する計測装置、前記基板の表面を洗浄する洗浄装置、前記基板の表面に所定の材料を塗布する塗布装置、前記基板の表面に露光処理を行う露光装置、前記露光処理が行われた前記基板を現像する現像装置の少なくとも一つを含むことを特徴とする表示素子の製造装置。 - 請求項13から18のいずれか一項に記載の表示素子の製造装置において、
前記搬送部及び前記基板処理部を制御して、前記無端状の基板を周回させて前記所定の処理を複数回施させる制御装置を有することを特徴とする表示素子の製造装置。
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