JP2000252484A - 非晶質シリコン系薄膜光電変換装置の製造方法 - Google Patents
非晶質シリコン系薄膜光電変換装置の製造方法Info
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Abstract
ることにより生産のコストおよび効率を改善するととも
に、良好な性能を有する非晶質シリコン系薄膜光電変換
装置の製造方法を提供する。 【解決手段】 非晶質シリコン系薄膜光電変換装置に含
まれるp型半導体層、i型非晶質シリコン系光電変換層
およびn型半導体層の少なくとも1層が以下の条件で成
膜される。反応室内に導入される原料ガスの主成分とし
てシラン系ガスと、水素を含む希釈ガスとが用いられ、
かつシラン系ガスに対する希釈ガスの流量が4倍以下
で、プラズマCVD反応室内の圧力のうちシラン系ガス
の分圧が1.2Torr以上5.0Torr以下で、か
つアノード電極に配置された基板の表面とカソード電極
面との距離が8mm以上15mm以下である。
Description
薄膜光電変換装置の製造方法に関し、特に非晶質シリコ
ン系薄膜光電変換装置として良好な性能を得るととも
に、生産コストおよび効率を改善し得る製造方法に関す
るものである。
非晶質シリコン系太陽電池があり、非晶質光電変換材料
は通常200℃前後の低い成膜温度の下でプラズマCV
D法によって形成されるので、ガラス、ステンレス、有
機フィルムなどの安価な基板上に形成することができ、
低コストの光電変換装置のための有力材料として期待さ
れている。また、非晶質シリコンにおいては可視光領域
での吸収係数が大きいので、500nm以下の薄い膜厚
の非晶質光電変換層を用いた太陽電池において15mA
/cm2 以上の短絡電流が実現されている。
p型半導体層、i型非晶質光電変換層およびn型半導体
層の各々は、通常プラズマCVD法によって形成され、
従来のプラズマCVD反応室内の圧力は1Torr以下
であった。
ン系太陽電池を製造する方法は、たとえばUSP5,6
46,050に開示されている。この文献には、非晶質
シリコン系太陽電池中の非晶質シリコン層を、圧力が
1.0Torrより高く10Torr以下、希釈ガスの
原料ガスに対する希釈比が5:1〜200:1などの条
件で形成することが示されている。
力が1Torr以下では成膜速度が遅くなる。
た非晶質シリコン層の成膜条件では、原料ガスに対する
希釈ガスの量が多すぎる。言い換えれば、希釈ガスに対
する原料ガスの量が少なすぎる。このため、プラズマC
VD反応室内に供給される原料ガス量が少なくなり、こ
の場合も成膜速度が遅くなるという問題点があった。
なされたもので、原料ガスの利用効率を高めて成膜速度
を向上させることにより生産のコストおよび効率を改善
するとともに、良好な性能を有する非晶質シリコン系薄
膜光電変換装置の製造方法を提供することである。
非晶質シリコン系薄膜光電変換装置の製造方法は、p型
半導体層とi型の非晶質シリコン系光電変換層とn型半
導体層との積層構造を有する非晶質シリコン系薄膜光電
変換装置をプラズマCVD法を利用して製造する方法で
あって、プラズマCVD反応室内に導入される原料ガス
の主成分としてシラン系ガスと、水素を含む希釈ガスと
を用い、かつシラン系ガスに対する希釈ガスの流量を4
倍以下とし、プラズマCVD反応室内の圧力のうちシラ
ン系ガスの分圧を1.2Torr以上5.0Torr以
下とし、かつ一方電極上に載置された基板表面と一方電
極に対向する他方電極面との距離(以下、単に電極間距
離と称する)を8mm以上15mm以下とする条件下
で、p型半導体層、i型の非晶質シリコン系光電変換層
およびn型半導体層の少なくとも1層を形成することを
特徴とする。
薄膜光電変換装置の製造方法では、希釈条件、圧力条件
および電極間距離を所定範囲としているため、プラズマ
を電極間に効率よく閉じ込めることができる。これによ
り、成膜速度が向上しシラン系ガスなどの原料ガスの利
用効率も高くなるため、非晶質シリコン系薄膜光電変換
装置の製造コストを低下させることができる。また従来
方法で作製した光電変換装置(たとえば太陽電池)とほ
ぼ同性能のものが得られ、かつ長期間の光照射による光
電変換特性の劣化、つまり光劣化率も抑制できる。
量を4倍以下としたのは、4倍を超えると従来例と同
様、反応室内の原料ガス量が少なくなり、成膜速度が遅
くなるからである。
以上5.0Torr以下としたのは、1.2Torr未
満では反応室内の原料ガス量が少なく成膜速度が遅くな
り、5.0Torrを超えると反応室内にパウダー状の
生成物やダストなどが大量に発生するからである。
下としたのは、8mm未満ではプラズマ放電が困難にな
るとともに電極間距離を電極面内で均一にすることが困
難となるため成膜が面内で不均一となり、15mmを超
えると放電を維持することができなくなるからである。
薄膜光電変換装置の製造方法は、p型半導体層とi型の
非晶質シリコン系光電変換層とn型半導体層との積層構
造を有する非晶質シリコン系薄膜光電変換装置をプラズ
マCVD法を利用して製造する方法であって、プラズマ
CVD反応室内に導入される原料ガスの主成分としてシ
ラン系ガスを用いて希釈ガスを用いず、プラズマCVD
反応室内の圧力のうちシラン系ガスの分圧を1.2To
rr以上5.0Torr以下とし、かつ一方電極上に載
置された基板表面と一方電極に対向する他方電極面との
距離を8mm以上15mm以下とする条件下で、p型半
導体層、i型の非晶質シリコン系光電変換層およびn型
半導体層の少なくとも1層を形成することを特徴とす
る。
薄膜光電変換装置の製造方法においても、上述した一の
局面と同様、希釈条件、圧力条件および電極間距離を所
定範囲としているため、プラズマを電極間に効率よく閉
じ込めることができる。これにより、成膜速度が向上し
シラン系ガスなどの原料ガスの利用効率も高くなるた
め、非晶質シリコン系薄膜光電変換装置の製造コストを
低下させることができる。また従来方法で作製した光電
変換装置とほぼ同性能のものが得られ、光劣化率も抑制
することができる。
原料ガスを多く供給することが可能となり、成膜速度を
向上させることができる。
規定理由については上述した一の局面と同様である。
は、対向電極面の単位面積当りのシラン系ガスの流量が
0.05sccm/cm2 以下である。
物やダストなどの発生を抑制することができる。
は、上記条件下で形成される層の成膜速度が12nm/
分以上である。
きる。上記一および他の局面において好ましくは、一方
電極は、成膜中に加熱されるアノード電極であり、他方
電極はカソード電極である。
に行なうことができる。
て図に基づいて説明する。
される非晶質シリコン系薄膜光電変換装置の構成を概略
的に示す断面図である。
透明の基板1上に、透明導電膜2が成膜される。透明導
電膜2は、たとえばSnO2 よりなるが、これ以外にI
TOやZnOなどの透明導電性酸化膜より形成されても
よい。
型非晶質光電変換層112とn型半導体層113とがプ
ラズマCVD法により順次形成される。これにより、非
晶質型光電変換ユニット11が形成される。
光電変換層112およびn型半導体層113のうちの少
なくとも1層は、プラズマCVD反応室内に導入される
原料ガスの主成分としてシラン系ガスと、水素を含む希
釈ガスとが用いられ、かつシラン系ガスに対する希釈ガ
スの流量が4倍以下で、プラズマCVD反応室内の圧力
のうちシラン系ガスの分圧が1.2Torr以上5.0
Torr以下で、かつ加熱されたアノード電極(接地電
極)に密着して配置された基板の表面と対向側カソード
電極面との距離が8mm以上15mm以下の条件下で形
成される。
1.5Torr以上5.0Torr以下とされることが
好ましい。
ば導電型決定不純物原子であるボロンが0.01原子%
以上ドープされたp型非晶質シリコン薄膜などが用いら
れ得る。しかし、p型半導体層111についてのこれら
の条件は限定的なものではなく不純物原子としてはたと
えばアルミニウムなどでもよく、また非晶質シリコンカ
ーバイドや非晶質シリコンゲルマニウムなどの合金材料
の層が用いられてもよい。
は、ノンドープのi型非晶質シリコン薄膜や微小の不純
物を含む弱p型もしくは弱n型で光電変換効率を十分に
備えているシリコン系薄膜材料が使用され得る。また、
i型非晶質光電変換層112はこれらの材料に限定され
ず、非晶質シリコンカーバイドや非晶質シリコンゲルマ
ニウムなどの合金材料の層が用いられてもよい。
ば導電型決定不純物原子であるリンが0.01原子%以
上ドープされたn型非晶質シリコン薄膜などが用いられ
得る。しかし、n型半導体層113についてのこれらの
条件は限定的なものではなく、非晶質シリコンカーバイ
ドや非晶質シリコンゲルマニウムなどの合金材料の層が
用いられてもよい。
スを用いた場合について説明したが、反応室内に導入さ
れる原料ガスの主成分としてシラン系ガスを用い、希釈
ガスを用いなくともよい。
/分以上であることが好ましい。また上記条件の下での
対向電極面(カソード電極面)の単位面積当りのシラン
系ガスの流量は0.05sccm/cm2 以下であるこ
とが好ましい。
よび電極間距離を所定範囲内としているため、プラズマ
を電極間に効率よく閉じ込めることができる。これによ
り、成膜速度が向上しシラン系ガスなどの原料ガスの利
用効率も高くなるため、非晶質シリコン系薄膜光電変換
装置の製造コストを低下させることができる。また従来
方法で作製した光電変換装置(たとえば太陽電池)とほ
ぼ同性能のものが得られ、長期間の光照射による光電変
換特性の劣化、つまり光劣化率も抑制することができ
る。
倍以下としたのは、4倍を超えると従来例と同様、反応
室内の原料ガス量が少なくなり、成膜速度が遅くなるか
らである。
以上としたのは、1.2Torr未満では反応室内の原
料ガス量が少なく、成膜速度が遅くなるからである。ま
たシラン系ガスの分圧を5.0Torr以下としたの
は、5.0Torrを超えると反応室内にパウダー状の
生成物やダストなどが大量に発生するからである。
8mm未満ではプラズマ放電が困難になるとともに、電
極間距離を電極面内で均一にすることが困難となるため
成膜が面内で不均一となるからである。また電極間距離
を15mm以下としたのは、15mmを超えると放電を
維持することができなくなるからである。
ス(非晶質)シリコン太陽電池を作製した。基板1には
ガラスを用い、透明導電膜2にはSnO2 を用いた。こ
の上に、ボロンドープのp型アモルファスシリコンカー
バイド(a−SiC)層111を10nm、ノンドープ
のアモルファスシリコン光電変換層112を350n
m、リンドープのn型アモルファスシリコン層113を
20nmの膜厚で、それぞれプラズマCVD法により成
膜した。これにより、p−i−n接合のアモルファスシ
リコン光電変換ユニット11を形成した。さらに、裏面
電極部12として、ZnO膜121を80nm、Ag膜
122を300nmの膜厚で、それぞれスパッタ法によ
り形成した。
は、平行平板型プラズマCVD法で堆積した。そのとき
の成膜条件については、下地温度を200℃、反応室内
圧力を2.0Torr、単位電極面積当りのシランガス
流量を0.03sccm/cm 2 、単位電極面積当りの
水素ガス流量を0.015sccm/cm2 (シランガ
スと水素ガスとの流量比を2:1、シランガス分圧を
1.33Torr)、放電電力密度を40mW/c
m2 、成膜速度を20nm/分とした。
光3としてAM1.5、100mW/cm2 光量を用い
たときの光電変換効率は10.1%であった。また、こ
の太陽電池に長時間(550時間)連続してAM1.
5、100mW/cm2 光量の光を照射した後の安定化
効率は8.0%であった。
ず、かつそれ以外の条件を上述と同様にした場合に得ら
れたアモルファスシリコン太陽電池も上記と同様の光電
変換効率および安定化効率を示した。
ルファスシリコン太陽電池を作製した。i型光電変換層
112の成膜条件以外は実施例1と全く同じとした。
は、平行平板型プラズマCVD法で堆積した。そのとき
の成膜条件については、下地温度を180℃、反応室内
圧力を0.1Torr、単位電極面積当りのシランガス
流量を0.06sccm/cm 2 、水素ガスは用いず、
放電電力密度を15mW/cm2 、成膜速度を6nm/
分とした。
光3としてAM1.5、100mW/cm2 光量を用い
たときの光電変換効率は10.6%であった。また、こ
の太陽電池に長時間(550時間)連続してAM1.
5、100mW/cm2 光量の光を照射した後の安定化
効率は実施例1とほぼ同じく8.0%であった。
は2倍、成膜時間は3.3倍要していることから、シラ
ンガスの利用効率は非常に悪くなった。
装置の製造方法では、希釈条件、圧力条件および電極間
距離を所定範囲としているため、プラズマを電極間に効
率よく閉じ込めることができる。これにより、成膜速度
が向上しシラン系ガスなどの原料ガスの利用効率も高く
なるため、非晶質シリコン系薄膜光電変換装置の製造コ
ストを低下させることができる。また従来方法で作製し
た光電変換装置(たとえば太陽電池)とほぼ同性能のも
のが得られ、かつ長期間の光照射による光電変換特性の
劣化、つまり光劣化率も抑制できる。
量を4倍以下としたのは、4倍を超えると従来例と同
様、反応室内の原料ガス量が少なくなり、成膜速度が遅
くなるからである。
以上5.0Torr以下としたのは、1.2Torr未
満では反応室内の原料ガス量が少なく成膜速度が遅くな
り、5.0Torrを超えると反応室内にパウダー状の
生成物やダストなどが大量に発生するからである。
下としたのは、8mm未満ではプラズマ放電が困難にな
るとともに電極間距離を電極面内で均一にすることが困
難となるため成膜が面内で不均一となり、15mmを超
えると放電を維持することができなくなるからである。
た非晶質シリコン系薄膜光電変換装置の構成を概略的に
示す断面図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 p型半導体層とi型の非晶質シリコン系
光電変換層とn型半導体層との積層構造を有する非晶質
シリコン系薄膜光電変換装置をプラズマCVD法を利用
して製造する方法であって、 プラズマCVD反応室内に導入される原料ガスの主成分
としてシラン系ガスと、水素を含む希釈ガスとが用いら
れ、かつ前記シラン系ガスに対する希釈ガスの流量を4
倍以下とし、前記プラズマCVD反応室内の圧力のうち
シラン系ガスの分圧を1.2Torr以上5.0Tor
r以下とし、かつ一方電極上に載置された基板表面と前
記一方電極に対向する他方電極面との距離を8mm以上
15mm以下とする条件下で、前記p型半導体層、前記
i型の非晶質シリコン系光電変換層および前記n型半導
体層の少なくとも1層を形成することを特徴とする、非
晶質シリコン系薄膜光電変換装置の製造方法。 - 【請求項2】 p型半導体層とi型の非晶質シリコン系
光電変換層とn型半導体層との積層構造を有する非晶質
シリコン系薄膜光電変換装置をプラズマCVD法を利用
して製造する方法であって、 プラズマCVD反応室内に導入される原料ガスの主成分
としてシラン系ガスを用いて希釈ガスを用いず、前記プ
ラズマCVD反応室内の圧力のうちシラン系ガスの分圧
を1.2Torr以上5.0Torr以下とし、かつ一
方電極上に載置された基板表面と前記一方電極に対向す
る他方電極面との距離を8mm以上15mm以下とする
条件下で、前記p型半導体層、前記i型の非晶質シリコ
ン系光電変換層および前記n型半導体層の少なくとも1
層を形成することを特徴とする、非晶質シリコン系薄膜
光電変換装置の製造方法。 - 【請求項3】 前記対向電極面の単位面積当りの前記シ
ラン系ガスの流量が、0.05sccm/cm2 以下で
あることを特徴とする、請求項1または2に記載の非晶
質シリコン系薄膜光電変換装置の製造方法。 - 【請求項4】 前記条件下で形成される層の成膜速度が
12nm/分以上であることを特徴とする、請求項1〜
3のいずれかに記載の非晶質シリコン系薄膜光電変換装
置の製造方法。 - 【請求項5】 前記一方電極は、成膜中に加熱されるア
ノード電極であり、前記他方電極はカソード電極であ
る、請求項1〜4のいずれかに記載の非晶質シリコン系
薄膜光電変換装置の製造方法。
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