JP2000247933A - 芳香族ジアミン化合物並びにそれを用いたポリアミド酸及びポリイミド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】耐熱性低比誘電率樹脂を提供する。 【解決手段】一般式（３）で表される繰り返し単位を含
有して成り、重量平均分子量が１０００〜１０００００
０であることを特徴とするポリイミド。（一般式（３）
において、ｌ、ｍはそれぞれ独立に０〜４の整数であ
り、ｎは０〜５の整数である。但し、ｌ＋ｍ＋ｎ≧１で
ある。Ａｒは単環式もしくは縮合多環式の芳香族基及び
これらの芳香環が直接もしくは連結基により相互に連結
された非縮合多環式芳香族基から選ばれる炭素数６〜５
０の４価の芳香族基である。） 【化１】

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、新規な芳香族ジア
ミン化合物、並びに該ジアミン化合物から得られるポリ
アミド酸およびポリイミド等に関する。

【０００２】

【従来の技術】大規模集積回路（ＬＳＩ）は、微細加工
技術の進歩を反映して、高集積化、多機能化、高性能化
の一途をたどっている。その結果、回路抵抗や配線間の
コンデンサー容量（以下、それぞれ「寄生抵抗」、「寄
生容量」という．）が増大して、消費電力が増大するだ
けでなく、遅延時間も増大して、デバイスの信号スピー
ドが低下する大きな要因となっている。そのため、寄生
抵抗や寄生容量を下げることが求められており、その解
決策の一つとして、配線の周辺を低誘電率の層間絶縁膜
で被うことにより、寄生容量を下げて、デバイスの高速
化に対応しようとしている。具体的には、従来の層間絶
縁膜に用いられている酸化ケイ素膜を、より誘電率の小
さい有機膜に替える試みがなされている。しかし、層間
絶縁膜には、低誘電性とともに、実装基板製造時の薄膜
形成工程や、チィップ接続、ピン付け等の後工程に耐え
られる優れた耐熱性を有することが必要である。代表的
な低誘電性有機材料としてポリテトラフルオロエチレン
等のフッ素樹脂が知られているが、この樹脂の場合耐熱
性が不十分である。また、耐熱性の有機材料が知られて
いるが、従来のポリイミドの比誘電率は３．０〜３．５
程度であり、低誘電性の面で満足できない。すなわち、
十分な高耐熱性と低誘電性とを同時に兼ね備えた絶縁材
料は、未だ見出されていないのが現状である。

【０００３】また、光通信関係、特に光導波路のクラッ
ド材には低屈折率、低複屈折率であることが期待されて
いる。さらに、安定な物性値を保つには、吸水率が小さ
いことが必要である。しかし、これらの性能に充分満足
のいくポリイミドは得られていない。これらのポリイミ
ドを得るためには、主鎖や側鎖に嵩高い基、またはエー
テルなどの結合基を導入して、低複屈折性を発現させ、
さらに、モノマーであるテトラカルボン酸二無水物また
はジアミンに低誘電性、低屈折率性を発現する置換基を
導入する方法が考えられる。例えば、エポキシ樹脂にお
いては、ジャーナル オブ ポリマー サイエンス（Jo
urnal of Polymer Science)のパート（part）Ｃ、ポリ
マー レターズ（Polymer Letters）、第２４巻、第２
４９項（1986）に示されているようにエポキシ樹脂の硬
化剤に多フッ素置換基を導入することにより、これまで
のエポキシ樹脂の中で最も低い誘電率を達成している。
また特開昭６１−４４９６９号公報で示されているよう
に屈折率においても多フッ素置換基を導入することによ
り、これまでのエポキシ樹脂の中で最も低い屈折率を達
成している。このようにポリイミド骨格に嵩高い基、ま
たはエーテルなどの結合基を導入し、さらにフッ素置換
基を導入することにより、誘電率、屈折率、複屈折率の
低減が期待できる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる問題
を解決せしめ、優れた耐熱性と低誘電性と低屈折性を同
時に兼ね備えた絶縁材料として有用なポリイミド、並び
にポリイミドを生成しうる芳香族ジアミンおよびポリア
ミド酸を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、一般式（１）
で表されることを特徴とする芳香族ジアミン化合物であ
り、

【０００６】

【化４】

【０００７】（一般式（１）において、ｌ、ｍはそれぞ
れ独立に０〜４の整数であり、ｎは０〜５の整数であ
る。但し、ｌ＋ｍ＋ｎ≧１である。） 第二に、一般式（２）で表される繰り返し単位を含有し
て成り、重量平均分子量が１０００〜１００００００で
あることを特徴とするポリアミド酸であり、

【０００８】

【化５】

【０００９】（一般式（２）において、ｌ、ｍはそれぞ
れ独立に０〜４の整数であり、ｎは０〜５の整数であ
る。但し、ｌ＋ｍ＋ｎ≧１である。Ａｒは単環式もしく
は縮合多環式の芳香族基及びこれらの芳香環が直接もし
くは連結基により相互に連結された非縮合多環式芳香族
基から選ばれる炭素数６〜５０の４価の芳香族基であ
る。） 第三に、一般式（３）で表される繰り返し単位を含有し
て成り、重量平均分子量が１０００〜１００００００で
あることを特徴とするポリイミドである。

【００１０】

【化６】

【００１１】（一般式（３）において、ｌ、ｍはそれぞ
れ独立に０〜４の整数であり、ｎは０〜５の整数であ
る。但し、ｌ＋ｍ＋ｎ≧１である。Ａｒは単環式もしく
は縮合多環式の芳香族基及びこれらの芳香環が直接もし
くは連結基により相互に連結された非縮合多環式芳香族
基から選ばれる炭素数６〜５０の４価の芳香族基であ
る。）

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明について、詳細に説明す
る。発明者らは、本発明の芳香族ジアミン化合物を用い
て合成したポリイミドが、良好な耐熱性と低誘電率、低
屈折率に優れていることを見出し、完成するに至った。

【００１３】本発明における一般式（１）で表される本
発明のジアミン化合物において、ｌ、ｍはそれぞれ独立
に０〜４の整数であり、ｎは０〜５の整数である。但
し、ｌ＋ｍ＋ｎ≧１であり、好ましくはｌ＋ｍ＋ｎ≧２
である。本発明のジアミン化合物の具体例としては、
４，４’−ジアミノ−２”−トリフルオロメチルトリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３”−トリフルオ
ロメチルトリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−
４”−トリフルオロメチルトリフェニルアミン、３，
３’−ジアミノ−２”−トリフルオロメチルトリフェニ
ルアミン、３，３’−ジアミノ−３”−トリフルオロメ
チルトリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４”−
トリフルオロメチルトリフェニルアミン、２，２’−ジ
アミノ−２”−トリフルオロメチルトリフェニルアミ
ン、２，２’−ジアミノ−３”−トリフルオロメチルト
リフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４”−トリフ
ルオロメチルトリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ
−２，２’−ビス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ビス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミ
ノ−２”，３”−ビス（トリフルオロメチル）トリフェ
ニルアミン、４，４’−ジアミノ−２”，４”−ビス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’
−ジアミノ−２”，５”−ビス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２”，６”
−ビス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
４，４’−ジアミノ−３”，４”−ビス（トリフルオロ
メチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−
３”，５”−ビス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、３，３’−ジアミノ−２，２’−ビス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミ
ノ−４，４’−ビス（トリフルオロメチル）トリフェニ
ルアミン、３，３’−ジアミノ−５，５’−ビス（トリ
フルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジア
ミノ−６，６’−ビス（トリフルオロメチル）トリフェ
ニルアミン、３，３’−ジアミノ−２”，３”−ビス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’
−ジアミノ−２”，４”−ビス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２”，５”
−ビス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
３，３’−ジアミノ−２”，６”−ビス（トリフルオロ
メチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−
３”，４”−ビス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、３，３’−ジアミノ−３”，５”−ビス（トリ
フルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジア
ミノ−３，３’−ビス（トリフルオロメチル）トリフェ
ニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，４’−ビス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジ
アミノ−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、２，２’−ジアミノ−６，６’−ビス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’
−ジアミノ−２”，３”−ビス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−２”，４”
−ビス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
２，２’−ジアミノ−２”，５”−ビス（トリフルオロ
メチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−
２”，６”−ビス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、２，２’−ジアミノ−３”，４”−ビス（トリ
フルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジア
ミノ−３”，５”−ビス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，２’，２”−
トリス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
４，４’−ジアミノ−２，２’，３”−トリス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミ
ノ−２，２’，４”−トリス（トリフルオロメチル）ト
リフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，３’，
２”−トリス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、４，４’−ジアミノ−３，３’，３”−トリス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジ
アミノ−３，３’，４”−トリス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２”，
３”，４”−トリス（トリフルオロメチル）トリフェニ
ルアミン、４，４’−ジアミノ−２”，３”，５”−ト
リス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，
４’−ジアミノ−２”，３”，６”−トリス（トリフル
オロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ
−２”，４”，５”−トリス（トリフルオロメチル）ト
リフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２”，４”，
６”−トリス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、４，４’−ジアミノ−２”，５”，６”−トリス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’
−ジアミノ−３”，４”，５”−トリス（トリフルオロ
メチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−
２，２’，２”−トリス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，２’，３”−
トリス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
３，３’−ジアミノ−２，２’，４”−トリス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミ
ノ−４，４’，２”−トリス（トリフルオロメチル）ト
リフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，４’，
３”−トリス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、３，３’−ジアミノ−４，４’，４”−トリス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジ
アミノ−５，５’，２”−トリス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，
５’，３”−トリス（トリフルオロメチル）トリフェニ
ルアミン、３，３’−ジアミノ−５，５’，４”−トリ
ス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，
３’−ジアミノ−６，６’，２”−トリス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−
６，６’，３”−トリス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、３，３’−ジアミノ−６，６’，４”−
トリス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
３，３’−ジアミノ−２”，３”，４”−トリス（トリ
フルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジア
ミノ−２”，３”，５”−トリス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２”，
３”，６”−トリス（トリフルオロメチル）トリフェニ
ルアミン、３，３’−ジアミノ−２”，４”，５”−ト
リス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，
３’−ジアミノ−２”，４”，６”−トリス（トリフル
オロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ
−２”，５”，６”−トリス（トリフルオロメチル）ト
リフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−３”，４”，
５”−トリス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、２，２’−ジアミノ−３，３’，２”−トリス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジ
アミノ−３，３’，３”−トリス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
３’，４”−トリス（トリフルオロメチル）トリフェニ
ルアミン、２，２’−ジアミノ−４，４’，２”−トリ
ス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，
２’−ジアミノ−４，４’，３”−トリス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−
４，４’，４”−トリス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、２，２’−ジアミノ−５，５’，２”−
トリス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
２，２’−ジアミノ−５，５’，３”−トリス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミ
ノ−５，５’，４”−トリス（トリフルオロメチル）ト
リフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−６，６’，
２”−トリス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、２，２’−ジアミノ−６，６’，３”−トリス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジ
アミノ−６，６’，４”−トリス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−２”，
３”，４”−トリス（トリフルオロメチル）トリフェニ
ルアミン、２，２’−ジアミノ−２”，３”，５”−ト
リス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，
２’−ジアミノ−２”，３”，６”−トリス（トリフル
オロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ
−２”，４”，５”−トリス（トリフルオロメチル）ト
リフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−２”，４”，
６”−トリス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、２，２’−ジアミノ−２”，５”，６”−トリス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’
−ジアミノ−３”，４”，５”−トリス（トリフルオロ
メチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−
２”，３”，４”−トリス（トリフルオロメチル）トリ
フェニルアミン、２，２’−ジアミノ−２”，３”，
５”−トリス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、２，２’−ジアミノ−２”，３”，６”−トリス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’
−ジアミノ−２”，４”，５”−トリス（トリフルオロ
メチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−
２”，４”，６”−トリス（トリフルオロメチル）トリ
フェニルアミン、２，２’−ジアミノ−２”，５”，
６”−トリス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、２，２’−ジアミノ−３”，４”，５”−トリス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’
−ジアミノ−２，２’，２”，３”−テトラキス（トリ
フルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジア
ミノ−２，２’，２”，４”−テトラキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−
２，２’，２”，５”−テトラキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，
２’，２”，６”−テトラキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，２’，
３”，４”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，２’，３”，
５”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、４，４’−ジアミノ−３，３’，２”，３”−
テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、４，４’−ジアミノ−３，３’，２”，４”−テト
ラキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
４，４’−ジアミノ−３，３’，２”，５”−テトラキ
ス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，
４’−ジアミノ−３，３’，２”，６”−テトラキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’
−ジアミノ−３，３’，３”，４”−テトラキス（トリ
フルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジア
ミノ−３，３’，３”，５”−テトラキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−
２，３，２’，３’−テトラキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，
５，２’，５’−テトラキス（トリフルオロメチル）ト
リフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，６，
２’，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，５，３’，
５’−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、４，４’−ジアミノ−２”，３”，４”，５”
−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、４，４’−ジアミノ−２”，３”，４”，６”−テ
トラキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
４，４’−ジアミノ−２”，３”，５”，６”−テトラ
キス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，
３’−ジアミノ−２，２’，２”，３”−テトラキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’
−ジアミノ−２，２’，２”，４”−テトラキス（トリ
フルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジア
ミノ−２，２’，２”，５”−テトラキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−
２，２’，２”，６”−テトラキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，
２’，３”，４”−テトラキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，２’，
３”，５”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，４’，２”，
３”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、３，３’−ジアミノ−４，４’，２”，４”−
テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、３，３’−ジアミノ−４，４’，２”，５”−テト
ラキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
３，３’−ジアミノ−４，４’，２”，６”−テトラキ
ス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，
３’−ジアミノ−４，４’，３”，４”−テトラキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’
−ジアミノ−４，４’，３”，５”−テトラキス（トリ
フルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジア
ミノ−５，５’，２”，３”−テトラキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−
５，５’，２”，４”−テトラキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，
５’，２”，５”−テトラキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，５’，
２”，６”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，５’，３”，
４”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、３，３’−ジアミノ−５，５’，３”，５”−
テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、３，３’−ジアミノ−６，６’，２”，３”−テト
ラキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
３，３’−ジアミノ−６，６’，２”，４”−テトラキ
ス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，
３’−ジアミノ−６，６’，２”，５”−テトラキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’
−ジアミノ−６，６’，２”，６”−テトラキス（トリ
フルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジア
ミノ−６，６’，３”，４”−テトラキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−
６，６’，３”，５”−テトラキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，
４，２’，４’−テトラキス（トリフルオロメチル）ト
リフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，５，
２’，５’−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，６，２’，
６’−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、３，３’−ジアミノ−４，５，４’，５’−テ
トラキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
３，３’−ジアミノ−４，６，４’，６’−テトラキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’
−ジアミノ−５，６，５’，６’−テトラキス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミ
ノ−２”，３”，４”，５”−テトラキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−
２”，３”，４”，６”−テトラキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−
２”，３”，５”，６”−テトラキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
３’，２”，３”−テトラキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，３’，
２”，４”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，３’，２”，
５”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、２，２’−ジアミノ−３，３’，２”，６”−
テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、２，２’−ジアミノ−３，３’，３”，４”−テト
ラキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
２，２’−ジアミノ−３，３’，３”，５”−テトラキ
ス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，
２’−ジアミノ−４，４’，２”，３”−テトラキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’
−ジアミノ−４，４’，２”，４”−テトラキス（トリ
フルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジア
ミノ−４，４’，２”，５”−テトラキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−
４，４’，２”，６”−テトラキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
４’，３”，４”−テトラキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，４’，
３”，５”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、２，２’−ジアミノ−５，５’，２”，
３”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、２，２’−ジアミノ−５，５’，２”，４”−
テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、２，２’−ジアミノ−５，５’，２”，５”−テト
ラキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
２，２’−ジアミノ−５，５’，２”，６”−テトラキ
ス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，
２’−ジアミノ−５，５’，３”，４”−テトラキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’
−ジアミノ−５，５’，３”，５”−テトラキス（トリ
フルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジア
ミノ−６，６’，２”，３”−テトラキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−
６，６’，２”，４”−テトラキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−６，
６’，２”，５”−テトラキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−６，６’，
２”，６”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、２，２’−ジアミノ−６，６’，３”，
４”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、２，２’−ジアミノ−６，６’，３”，５”−
テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、２，２’−ジアミノ−３，４，３’，４’−テトラ
キス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，
２’−ジアミノ−３，５，３’，５’−テトラキス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジ
アミノ−３，６，３’，６’−テトラキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−
４，５，４’，５’−テトラキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
６，４’，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）ト
リフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−５，６，
５’，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、２，２’−ジアミノ−２”，３”，
４”，５”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、２，２’−ジアミノ−２”，３”，
４”，６”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、２，２’−ジアミノ−２”，３”，
５”，６”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，２’，２”，
３”，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，２’，２”，
３”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，２’，２”，
３”，６”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，２’，２”，
４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，２’，２”，
４”，６”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，２’，３”，
４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，３’，２”，
３”，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，３’，２”，
３”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，３’，２”，
３”，６”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，３’，２”，
４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，３’，２”，
４”，６”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，３’，３”，
４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，３，２’，
３’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，３，２’，
３’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，３，２’，
３’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，５，２’，
５’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，５，２’，
５’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，５，２’，
５’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，６，２’，
６’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，６，２’，
６’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，６，２’，
６’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，５，３’，
５’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，５，３’，
５’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，５，３’，
５’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２”，３”，
４”，５”，６”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，２’，
２”，３”，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，２’，
２”，３”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，２’，
２”，３”，６”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，２’，
２”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，２’，
２”，４”，６”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，２’，
３”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，４’，
２”，３”，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，４’，
２”，３”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，４’，
２”，３”，６”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，４’，
２”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，４’，
２”，４”，６”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，４’，
３”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，５’，
２”，３”，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，５’，
２”，３”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，５’，
２”，３”，６”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，５’，
２”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，５’，
２”，４”，６”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，５’，
３”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−６，６’，
２”，３”，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−６，６’，
２”，３”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−６，６’，
２”，３”，６”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−６，６’，
２”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−６，６’，
２”，４”，６”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−６，６’，
３”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，４，
２’，４’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，４，
２’，４’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，４，
２’，４’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，５，
２’，５’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，５，
２’，５’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，５，
２’，５’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，６，
２’，６’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，６，
２’，６’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，６，
２’，６’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，５，
４’，５’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，５，
４’，５’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，５，
４’，５’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，６，
４’，６’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，６，
４’，６’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，６，
４’，６’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，６，
５’，６’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，６，
５’，６’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，６，
５’，６’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２”，
３”，４”，５”，６”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
３’，２”，３”，４”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
３’，２”，３”，５”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
３’，２”，３”，６”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
３’，２”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
３’，２”，４”，６”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
３’，３”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
４’，２”，３”，４”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
４’，２”，３”，５”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
４’，２”，３”，６”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
４’，２”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
４’，３”，４”，６”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
４’，３”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−５，
５’，２”，３”，４”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−５，
５’，２”，３”，５”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−５，
５’，２”，３”，６”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−５，
５’，２”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−５，
５’，２”，４”，６”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−５，
５’，３”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−６，
６’，２”，３”，４”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−６，
６’，２”，３”，５”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−６，
６’，２”，３”，６”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−６，
６’，２”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−６，
６’，２”，４”，６”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−６，
６’，３”，４”，５”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
４，３’，４’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
４，３’，４’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
４，３’，４’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
５，３’，５’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
５，３’，５’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
５，３’，５’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
６，３’，６’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
６，３’，６’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
６，３’，６’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
５，４’，５’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
５，４’，５’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
５，４’，５’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
６，４’，６’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
６，４’，６’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
６，４’，６’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−５，
６，５’，６’，２”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−５，
６，５’，６’，３”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−５，
６，５’，６’，４”−ペンタキス（トリフルオロメチ
ル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−２”，
３”，４”，５”，６”−ペンタキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，
２’，２”，３”，４”，５”−ヘキサキス（トリフル
オロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ
−２，２’，２”，３”，４”，６”−ヘキサキス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジ
アミノ−２，２’，２”，３”，５”，６”−ヘキサキ
ス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，
４’−ジアミノ−３，３’，２”，３”，４”，５”−
ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、４，４’−ジアミノ−３，３’，２”，３”，
４”，６”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，３’，２”，
３”，５”，６”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，３，
２’，３’，２”，３”−ヘキサキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，
３，２’，３’，２”，４”−ヘキサキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−
２，３，２’，３’，２”，５”−ヘキサキス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミ
ノ−２，３，２’，３’，２”，６”−ヘキサキス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジ
アミノ−２，３，２’，３’，３”，４”−ヘキサキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’
−ジアミノ−２，３，２’，３’，３”，５”−ヘキサ
キス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，
４’−ジアミノ−２，５，２’，５’，２”，３”−ヘ
キサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
４，４’−ジアミノ−２，５，２’，５’，２”，４”
−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、４，４’−ジアミノ−２，５，２’，５’，２”，
５”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、４，４’−ジアミノ−２，５，２’，５’，
２”，６”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，５，２’，
５’，３”，４”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，５，
２’，５’，３”，５”−ヘキサキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−２，
６，２’，６’，２”，３”−ヘキサキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−
２，６，２’，６’，２”，４”−ヘキサキス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミ
ノ−２，６，２’，６’，２”，５”−ヘキサキス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジ
アミノ−２，６，２’，６’，２”，６”−ヘキサキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，４’
−ジアミノ−２，６，２’，６’，３”，４”−ヘキサ
キス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、４，
４’−ジアミノ−２，６，２’，６’，３”，５”−ヘ
キサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
４，４’−ジアミノ−３，５，３’，５’，２”，３”
−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、４，４’−ジアミノ−３，５，３’，５’，２”，
４”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、４，４’−ジアミノ−３，５，３’，５’，
２”，５”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，５，３’，
５’，２”，６”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，５，
３’，５’，３”，４”−ヘキサキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−３，
５，３’，５’，３”，５”−ヘキサキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ−
２，３，５，２’，３’，５’−ヘキサキス（トリフル
オロメチル）トリフェニルアミン、４，４’−ジアミノ
−２，３，６，２’，３’，６’−ヘキサキス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミ
ノ−２，２’，２”，３”，４”，５”−ヘキサキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’
−ジアミノ−２，２’，２”，３”，４”，６”−ヘキ
サキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
３，３’−ジアミノ−２，２’，２”，３”，５”，
６”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、３，３’−ジアミノ−４，４’，２”，３”，
４”，５”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，４’，２”，
３”，４”，６”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，４’，
２”，３”，５”，６”−ヘキサキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，
５’，２”，３”，４”，５”−ヘキサキス（トリフル
オロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ
−５，５’，３”，４”，６”，５”−ヘキサキス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジ
アミノ−５，５’，２”，３”，５”，６”−ヘキサキ
ス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，
３’−ジアミノ−６，６’，２”，３”，４”，５”−
ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、３，３’−ジアミノ−６，６’，２”，３”，
４”，６”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、３，３’−ジアミノ−６，６’，２”，
３”，５”，６”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，４，
２’，４’，２”，３”−ヘキサキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，
４，２’，４’，２”，４”−ヘキサキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−
２，４，２’，４’，２”，５”−ヘキサキス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミ
ノ−２，４，２’，４’，２”，６”−ヘキサキス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジ
アミノ−２，４，２’，４’，３”，４”−ヘキサキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’
−ジアミノ−２，４，２’，４’，３”，５”−ヘキサ
キス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，
３’−ジアミノ−２，５，２’，５’，２”，３”−ヘ
キサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
３，３’−ジアミノ−２，５，２’，５’，２”，４”
−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、３，３’−ジアミノ−２，５，２’，５’，２”，
５”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、３，３’−ジアミノ−２，５，２’，５’，
２”，６”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，５，２’，
５’，３”，４”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−２，５，
２’，５’，３”，５”−ヘキサキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−
Q，６，２’，６’，２”，３”−ヘキサキス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミ
ノ−２，６，２’，６’，２”，４”−ヘキサキス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジ
アミノ−２，６，２’，６’，２”，５”−ヘキサキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’
−ジアミノ−２，６，２’，６’，２”，６”−ヘキサ
キス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，
３’−ジアミノ−２，６，２’，６’，３”，４”−ヘ
キサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
３，３’−ジアミノ−２，６，２’，６’，３”，５”
−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、３，３’−ジアミノ−４，５，４’，５’，２”，
３”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、３，３’−ジアミノ−４，５，４’，５’，
２”，４”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，５，４’，
５’，２”，５”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，５，
４’，５’，２”，６”−ヘキサキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−４，
５，４’，５’，３”，４”−ヘキサキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−
４，５，４’，５’，３”，５”−ヘキサキス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミ
ノ−４，６，４’，６’，２”，３”−ヘキサキス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジ
アミノ−４，６，４’，６’，２”，４”−ヘキサキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’
−ジアミノ−４，６，４’，６’，２”，５”−ヘキサ
キス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，
３’−ジアミノ−４，６，４’，６’，２”，６”−ヘ
キサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
３，３’−ジアミノ−４，６，４’，６’，３”，４”
−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、３，３’−ジアミノ−４，６，４’，６’，３”，
５”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、３，３’−ジアミノ−５，６，５’，６’，
２”，３”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，６，５’，
６’，２”，４”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，６，
５’，６’，２”，５”−ヘキサキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−５，
６，５’，６’，２”，６”−ヘキサキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミノ−
５，６，５’，６’，３”，４”−ヘキサキス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジアミ
ノ−５，６，５’，６’，３”，５”−ヘキサキス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’−ジ
アミノ−２，４，５，２’，４’，５’−ヘキサキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，３’
−ジアミノ−２，４，６，２’，４’，６’−ヘキサキ
ス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、３，
３’−ジアミノ−２，５，６，２’，５’，６’−ヘキ
サキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
３，３’−ジアミノ−４，５，６，４’，５’，６’−
ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン
２，２’−ジアミノ−３，３’，２”，３”，４”，
５”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、２，２’−ジアミノ−３，３’，２”，３”，
４”，６”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，３’，２”，
３”，５”，６”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，４’，
２”，３”，４”，５”−ヘキサキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
４’，２”，３”，４”，６”−ヘキサキス（トリフル
オロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ
−４，４’，２”，３”，５”，６”−ヘキサキス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジ
アミノ−５，５’，２”，３”，４”，５”−ヘキサキ
ス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，
２’−ジアミノ−５，５’，２”，３”，４”，６”−
ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、２，２’−ジアミノ−５，５’，２”，３”，
５”，６”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、２，２’−ジアミノ−６，６’，２”，
３”，４”，５”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−６，６’，
２”，３”，４”，６”−ヘキサキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−６，
６’，２”，３”，５”，６”−ヘキサキス（トリフル
オロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ
−３，４，３’，４’，２”，３”−ヘキサキス（トリ
フルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジア
ミノ−３，４，３’，４’，２”，４”−ヘキサキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’
−ジアミノ−３，４，３’，４’，２”，５”−ヘキサ
キス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，
２’−ジアミノ−３，４，３’，４’，２”，６”−ヘ
キサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
２，２’−ジアミノ−３，４，３’，４’，３”，４”
−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、２，２’−ジアミノ−３，４，３’，４’，３”，
５”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、２，２’−ジアミノ−３，５，３’，５’，
２”，３”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，５，３’，
５’，２”，４”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，５，
３’，５’，２”，５”−ヘキサキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−３，
５，３’，５’，２”，６”−ヘキサキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−
３，５，３’，５’，３”，４”−ヘキサキス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミ
ノ−３，５，３’，５’，３”，５”−ヘキサキス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジ
アミノ−３，６，３’，６’，２”，３”−ヘキサキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’
−ジアミノ−３，６，３’，６’，２”，４”−ヘキサ
キス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，
２’−ジアミノ−３，６，３’，６’，２”，５”−ヘ
キサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
２，２’−ジアミノ−３，６，３’，６’，２”，６”
−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、２，２’−ジアミノ−３，６，３’，６’，３”，
４”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、２，２’−ジアミノ−３，６，３’，６’，
３”，５”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，５，４’，
５’，２”，３”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，５，
４’，５’，２”，４”−ヘキサキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，
５，４’，５’，２”，５”−ヘキサキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−
４，５，４’，５’，２”，６”−ヘキサキス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミ
ノ−４，５，４’，５’，３”，４”−ヘキサキス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジ
アミノ−４，５，４’，５’，３”，５”−ヘキサキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’
−ジアミノ−４，６，４’，６’，２”，３”−ヘキサ
キス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，
２’−ジアミノ−４，６，４’，６’，２”，４”−ヘ
キサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
２，２’−ジアミノ−４，６，４’，６’，２”，５”
−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、２，２’−ジアミノ−４，６，４’，６’，２”，
６”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、２，２’−ジアミノ−４，６，４’，６’，
３”，４”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン、２，２’−ジアミノ−４，６，４’，
６’，３”，５”−ヘキサキス（トリフルオロメチル）
トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−５，６，
５’，６’，２”，３”−ヘキサキス（トリフルオロメ
チル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−５，
６，５’，６’，２”，４”−ヘキサキス（トリフルオ
ロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミノ−
５，６，５’，６’，２”，５”−ヘキサキス（トリフ
ルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジアミ
ノ−５，６，５’，６’，２”，６”−ヘキサキス（ト
リフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’−ジ
アミノ−５，６，５’，６’，３”，４”−ヘキサキス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，２’
−ジアミノ−５，６，５’，６’，３”，５”−ヘキサ
キス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、２，
２’−ジアミノ−３，４，５，３’，４’，５’−ヘキ
サキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン、
２，２’−ジアミノ−３，４，６，３’，４’，６’−
ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミ
ン、２，２’−ジアミノ−３，５，６，３’，５’，
６’−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン、２，２’−ジアミノ−４，５，６，４’，
５’，６’−ヘキサキス（トリフルオロメチル）トリフ
ェニルアミン等を挙げることができる。

【００１４】芳香族ジアミン化合物は、例えば、一般式
（４）で表されるアニリン誘導体と一般式（５）で表さ
れるニトロハロベンゼン化合物とを反応（一般式
（６））させた後、得られるジニトロ化合物を還元する
ことにより得ることができる。

【００１５】

【化７】

【００１６】（一般式（４）において、ｐは０〜５の整
数である。）

【００１７】

【化８】

【００１８】（一般式（５）において、ｑは０〜４の整
数であり、ＸはＦ、Ｃｌ、Ｂｒのハロゲン化合物であ
る。）

【００１９】

【化９】

【００２０】（一般式（６）において、ｐは０〜５の整
数であり、ｑは０〜４の整数であり、Ｘはハロゲン化合
物である。） 一般式（４）で表されるアニリン誘導体と一般式（５）
で表されるニトロハロベンゼン化合物との反応は、該ア
ニリン誘導体に対して、該ニトロハロベンゼン化合物
（単独もしくは2種類以上を混合して使用することがで
きる。）を２倍モル以上、好ましくは２〜３倍モルを有
機溶媒中、フッ化セシウムの存在下で、温度３０〜２５
０℃、好ましくは、５０℃〜１８０℃で０．５〜２４時
間反応させることにより実施される。有機溶媒の好まし
い具体例としては、ベンゼン、トルエン、キシレン等の
芳香族炭化水素類、アセトン、メチルエチルケトン等の
ケトン類、１，２−ジクロロエタン、クロロベンゼン等
のハロゲン化炭化水素類、１，２−ジメトキシエタン、
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレング
リコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコール
ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、１，３−ジオ
キサン、１，４−ジオキサン等のエーテル類、Ｎ，Ｎ−
ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミ
ド、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチル−２−ピロリド
ン、スルホラン等の非プロトン性極性溶媒等を挙げるこ
とができる。

【００２１】これらの有機溶媒は、単独でまたは２種以
上を混合して使用することができる。反応溶液を貧溶媒
中に添加して、生成化合物を凝固させる。その後、ろ過
あるいは有溶媒を留去することにより、所定の芳香族ジ
ニトロ化合物を得ることができる。得られた芳香族ジニ
トロ化合物は、そのまま、あるいは再結晶によりさらに
精製を行った後、還元反応に用いる。芳香族ジニトロ化
合物の還元方法としては、特に限定されるものではな
く、例えば、ニトロ基をアミノ基に還元する公知の方法
を用いることができる。芳香族ジニトロ化合物の還元反
応は、例えば、ニツケル、パラジウム、白金等の金属触
媒や、これら金属を適宜の担体に担持させた担持触媒、
あるいはニッケル、銅等のラネー触媒等の水素化触媒の
存在下で、反応に不活性な反応溶媒中、温度２０〜２０
０℃、圧力を常圧〜５０ｋｇｆ／ｃｍ²とし、水素を用
いる還元方法や金属（Ｓｎ（またはＳｎＣｌ₂）、Ｆ
ｅ、Ｚｎ）と塩酸（塩酸で分子の他の部分に加水分解が
起こるときには酢酸（例：ニトロアセトアニリド）を用
い金属の沈降を防ぐため激しい撹拌下に室温〜１５０℃
で還元する方法等がある。これらの方法を用い、芳香族
ジニトロ化合物から芳香族ジアミノ化合物への還元が実
施される。得られた芳香族ジアミン化合物は、そのま
ま、あるいは再結晶等によって精製して、本発明におけ
るポリアミド酸の製造に用いる。

【００２２】本発明のポリアミド酸は、前記一般式
（２）で表される繰り返し単位を含有し、一般式（２）
において、Ａｒは単環式もしくは縮合多環式の芳香族
基、及びこれらの芳香族が直接もしくは連結基により相
互に連結された非縮合多環式芳香族基から選ばれる炭素
数６〜５０の４価の芳香族基である。またｌ＋ｍ＋ｎ≧
１を満足するｌ、ｍそれぞれ独立に０〜４の整数であ
り、ｎは０〜５の整数である。Ａｒの好ましい具体的な
例として下記に示すような分子構造を挙げることができ
る。

【００２３】

【化１０】

【００２４】本発明のポリアミド酸は、前記一般式
（２）で表される繰り返し単位を含有するが、該ポリア
ミド酸においては、前記一般式（２）のアミンの結合
位、ｌ、ｍ、ｎあるいはＡｒのいずれか一つ以上が異な
る２種類以上の繰り返し単位が含有されていてもよく、
この場合、２種類以上の繰り返し単位は、ポリアミド酸
の分子鎖中にランダム状にも、ブロック状にも結合する
ことができる。本発明のポリアミド酸の重量平均分子量
は、１０００〜１００００００であり、好ましくは、５
０００〜５０００００である。本発明のポリアミド酸
は、イミド化率が５０％を超えない範囲内で、部分的に
イミド化されていても良い。

【００２５】本発明のポリアミド酸は、前記芳香族ジア
ミン化合物と下記一般式（７）で表されるテトラカルボ
ン酸二無水物とを有機溶媒中で重縮合させることによっ
て製造することができる。

【００２６】

【化１１】

【００２７】（また一般式（７）のＡｒは一般式（２）
におけるＡｒと同義である。） 本発明のポリアミド酸を製造するに当たり、本発明の芳
香族ジアミン化合物は、単独もしくは２種類以上を混合
して使用することができる。

【００２８】また本発明で用いるテトラカルボン酸二無
水物の好ましい具体例としては、ピロメリット酸二無水
物、３−フルオロピロメリット酸二無水物、３，６−ジ
フルオロピロメリット酸二無水物、３，６−ビス（トリ
フルオロメチル）ピロメリット酸二無水物、１，２，
３，４−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、３，
３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物、２，２’，３，３’−ベンゾフェノンテトラカル
ボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルテト
ラカルボン酸二無水物、３，３”，４，４”−テルフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物、３，３”’，４，
４”’−クァテルフェニルテトラカルボン酸二無水物、
３，３””，４，４””−キンクフェニルテトラカルボ
ン酸二無水物、２，２’，３，３’−ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物、メチレン−４，４’−ジフタル酸
二無水物、１，１−エチニリデン−４，４’−ジフタル
酸二無水物、２，２−プロピリデン−４，４’−ジフタ
ル酸二無水物、１，２−エチレン−４，４’−ジフタル
酸二無水物、１，３−トリメチレン−４，４’−ジフタ
ル酸二無水物、１，４−テトラメチレン−４，４’−ジ
フタル酸二無水物、１，５−ペンタメチレン−４，４’
−ジフタル酸二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカル
ボキシフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフ
ルオロプロパン二無水物、ジフルオロメチレン−４，
４’−ジフタル酸二無水物、１，１，２，２−テトラフ
ルオロ−１，２−エチレン−４，４’−ジフタル酸二無
水物、１，１，２，２，３，３−ヘキサフルオロ−１，
３−トリメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、
１，１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロ−
１，４−テトラメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水
物、１，１，２，２，３，３，４，４，５，５−デカフ
ルオロ−１，５−ペンタメチレン−４，４’−ジフタル
酸二無水物、オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、
チオ−４，４’−ジフタル酸二無水物、スルホニル−
４，４’−ジフタル酸二無水物、１，３−ビス（３，４
−ジカルボキシフェニル）−１，１，３，３−テトラメ
チルシロキサン二無水物、１，３−ビス（３，４−ジカ
ルボキシフェニル）ベンゼン二無水物、１，４−ビス
（３，４−ジカルボキシフェニル）ベンゼン二無水物、
１，３−ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ベン
ゼン二無水物、１，４−ビス（３，４−ジカルボキシフ
ェノキシ）ベンゼン二無水物、１，３−ビス［２−
（３，４−ジカルボキシフェニル）−２−プロピル］ベ
ンゼン二無水物、１，４−ビス［２−（３，４−ジカル
ボキシフェニル）−２−プロピル］ベンゼン二無水物、
ビス［３−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニ
ル］メタン二無水物、ビス［４−（３，４−ジカルボキ
シフェノキシ）フェニル］メタン二無水物、２，２−ビ
ス［３−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニ
ル］プロパン二無水物、２，２−ビス［４−（３，４−
ジカルボキシフェノキシ）フェニル］プロパン二無水
物、２，２−ビス［３−（３，４−ジカルボキシフェノ
キシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフ
ルオロプロパン二無水物、２，２−ビス［４−（３，４
−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］プロパン二無水
物、ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ジメチル
シラン二無水物、１，３−ビス（３，４−ジカルボキシ
フェニル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサ
ン二無水物、２，３，６，７，−ナフタレンテトラカル
ボン酸二無水物、１，２，５，６，−ナフタレンテトラ
カルボン酸二無水物、３，４，９，１０−ペリレンテト
ラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−アントラセン
テトラカルボン酸二無水物、１，２，７，８−フェナン
トレンテトラカルボン酸二無水物、１，３−ビス（３，
４−ジイカルボキシフェニル）−１，１，３，３−テト
ラメチルジシロキサン、１，２，３，４−ブタンテトラ
カルボン酸二無水物、１，２，３，４−シクロブタンテ
トラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボ
ン酸二無水物、シクロヘキサン−１，２，３，４−テト
ラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−１，２，４，
５−テトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−
ビシクロヘキシルテトラカルボン酸二無水物、カルボニ
ル−４，４’−ビス（シクロヘキサン−１，２−ジカル
ボン酸）二無水物、メチレン−４，４’−ビス（シクロ
ヘキサン−１，２−ジカルボン酸）二無水物、１，２−
エチレン−４，４’−ビス（シクロヘキサン−１，２−
ジカルボン酸）二無水物、１，１エチニリデン−４，
４’−ビス（シクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸）
二無水物、２，２−プロピリデン−４，４’−ビス（シ
クロヘキサン−１，２−ジカルボン酸）二無水物、１，
１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピ
リデン−４，４’−ビス（シクロヘキサン−１，２−ジ
カルボン酸）二無水物、オキシ−４，４’−ビス（シク
ロヘキサン−１，２−ジカルボン酸）二無水物、チオ−
４，４’−ビス（シクロヘキサン−１，２−ジカルボン
酸）二無水物、スルホニル−４，４’−ビス（シクロヘ
キサン−１，２−ジカルボン酸）二無水物、２，２’−
ジフルオロ−３，３’４，４’−ビフェニルテトラカル
ボン酸二無水物、５，５’−ジフルオロ−３，３’４，
４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、６，６’
−ジフルオロ−３，３’４，４’−ビフェニルテトラカ
ルボン酸二無水物、２，２’，５，５’，６，６’−ヘ
キサフルオロ−３，３’４，４’−ビフェニルテトラカ
ルボン酸二無水物、２，２’−ビス（トリフルオロメチ
ル）−３，３’４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物、５，５’−ビス（トリフルオロメチル）−
３，３’４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物、６，６’−ビス（トリフルオロメチル）−３，３’
４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，
２’，５，５’−テトラキス（トリフルオロメチル）−
３，３’４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物、２，２’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメ
チル）−３，３’４，４’−ビフェニルテトラカルボン
酸二無水物、５，５’，６，６’−テトラキス（トリフ
ルオロメチル）−３，３’４，４’−ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物、２，２’，５，５’，６，６’−
ヘキサキス（トリフルオロメチル）−３，３’４，４’
−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３’−ジ
フルオロオキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，
５’−ジフルオロオキシ）−４，４’−ジフタル酸二無
水物、６，６’−ジフルオロオキシ−４，４’−ジフタ
ル酸二無水物、３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサ
フルオロオキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，
３’−ビス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−
ジフタル酸二無水物、５，５’−ビス（トリフルオロメ
チル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、６，
６’−ビス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−
ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’−テトラキス
（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸
二無水物、３，３’，６，６’−テトラキス（トリフル
オロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、
５，５’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチ
ル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，
３’，５，５’，６，６’−ヘキサキス（トリフルオロ
メチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，
３’−ジフルオロスルホニル−４，４’−ジフタル酸二
無水物、５，５’−ジフルオロスルホニル−４，４’−
ジフタル酸二無水物、６，６’−ジフルオロスルホニル
−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，
５’，６，６’−ヘキサフルオロスルホニル−４，４’
−ジフタル酸二無水物、３，３’−ビス(トリフルオロ
メチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、
５，５’−ビス(トリフルオロメチル）スルホニル−
４，４’−ジフタル酸二無水物、６，６’−ビス(トリ
フルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二
無水物、３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサフルオ
ロスルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，
３’，５，５’−テトラキス(トリフルオロメチル）ス
ルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，
６，６’−テトラキス(トリフルオロメチル）スルホニ
ル−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’，６，
６’−テトラキス(トリフルオロメチル）スルホニル−
４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’，
６，６’−ヘキサキス（トリフルオロメチル）スルホニ
ル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’−ジフル
オロ−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−
ジフタル酸二無水物、５，５’−ジフルオロ−２，２−
パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無
水物、６，６’−ジフルオロ−２，２−パーフルオロプ
ロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，
３’，５，５’，６，６’−ヘキサフルオロ−２，２−
パーフルオロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水
物、３，３’−ビス（トリフルオロメチル）−２，２−
パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無
水物、５，５’−ビス（トリフルオロメチル）−２，２
−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二
無水物、６，６’−ジフルオロ−２，２−パーフルオロ
プロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，
３’，５，５’−テトラキス（トリフルオロメチル）−
２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタ
ル酸二無水物、３，３’，６，６’−テトラキス（トリ
フルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン
−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’，６，６’
−テトラキス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフ
ルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、
３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサキス（トリフル
オロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−
４，４’−ジフタル酸二無水物９−フェニル−９−（ト
リフルオロメチル）キサンテン−２，３，６，７−テト
ラカルボン酸二無水物、９，９−ビス（トリフルオロメ
チル）キサンテン−２，３，６，７−テトラカルボン酸
二無水物、ビシクロ[２，２，２］オクト−７−エン−
２，３，５，６−テトラカルボン酸二無水物、９，９−
ビス〔４−（３，４−ジカルボキシ）フェニル〕フルオ
レン二無水物および、９，９−ビス〔４−（２，３−ジ
カルボキシ）フェニル〕フルオレン二無水物等を挙げる
ことができる。これらのテトラカルボン酸は単独または
２種以上を混合して使用することができる。また、本発
明のポリアミド酸を製造する際には、本発明のポリイミ
ドの特性を実質的に損なわない範囲内で、前記芳香族ジ
アミン化合物に加えて、それ以外のジアミン化合物も使
用することができる。この場合、前記芳香族ジアミン化
合物以外のジアミン化合物の使用量は、第二発明のポリ
アミド酸の製造に用いられる全芳香族ジアミン化合物
の、好ましくは５０モル％以下、さらに好ましくは３０
モル％以下である。

【００２９】芳香族ジアミン化合物との重縮合反応は、
通常、有機溶媒中で行われる。有機溶媒としては、例え
ば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル
メトキシアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルメトキシアセ
トアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ−シクロヘ
キシル−２−ピロリドン、Ｎ−メチルカプロラクタム、
１，２−ジメトキシエタン、ジエチレングリコールジメ
チルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエー
テル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラ
ヒドロフラン、１，３−ジオキサン、１，４−ジオキサ
ン、ピリジン、ピコリン、ジメチルスルホキシド、ジメ
チルスルホン、テトラメチル尿素、ｍ−クレゾール、ガ
ンマブチロラクトン、シクロヘキサノン、シクロペンタ
ノン等をあげることができる。これらの有機溶媒は単独
でまたは２種以上を混合して使用することができる。

【００３０】前記重縮合反応における反応原料の濃度
は、通常、２〜５０重量％、好ましくは５〜３０重量％
であり、反応温度は、通常、６０℃以下、好ましくは５
０℃以下である。反応圧力は特に限定されず、通常、常
圧で実施することができる。また、反応時間は、通常、
０．５〜２４時間である。このような重縮合反応によ
り、前記一般式（２）で表される繰り返し単位を含有す
るポリアミド酸を得ることができる。

【００３１】本発明のポリイミドは、前記一般式（２）
で表される繰り返し単位を含有するポリアミド酸を脱水
して閉環してイミド化することにより、製造することが
できる。従って、一般式（３）におけるｌ、ｍ、ｎおよ
びＡｒは一般式（２）のそれと各々同じである。前記イ
ミド化に際しては、加熱イミド化、または、化学イミド
化を採用することができる。前記加熱イミド化法として
は、例えば、(a)ポリアミド酸溶液をガラス、金属等の
表面平滑な基板上に流延して加熱する方法、あるいは、
(b)ポリアミド酸溶液をそのまま加熱する方法が適用さ
れる。これらの方法におけるポリアミド酸の溶媒として
は、例えば、ポリアミド酸の製造に使用されるものと同
様の有機溶媒を挙げることができる。前記(a)の加熱イ
ミド化法では、ポリアミド酸を基板上に流延して形成さ
れた薄膜を、常圧下または減圧下で加熱することにより、
フィルム状のポリイミドを得ることができる。この場合
の温度は通常、１００〜４００℃、好ましくは１５０〜
３５０℃であり、反応中に徐々にまたは段階的に温度を
上げることが好ましい。また、前記(b)の加熱イミド化
法では、ポリアミド酸溶液を加熱することにより、ポリ
イミドが粉末ないし、溶液として得られる。この場合の
加熱温度は、通常、８０〜３００℃、好ましくは、１００
〜２５０℃である。また、(b)の加熱イミド化法に際し
ては、副生する水の除去を容易とするため、水と共沸
し、特に反応系外で水と容易に分離しうる成分、例え
ば、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素
を存在させることもできる。さらに、(b)の加熱イミド
化法に際しては、脱水閉環を促進させるため、第三級ア
ミン、例えば、トリメチルアミン、トリエチルアミン、
トリ−ｎ−プロピルアミン、トリ−ｉ−プロピルアミ
ン、トリ−ｎ−ブチルアミン等の脂肪族第三級アミン
類、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニ
リン等の芳香族第三級アミン類、ピリジン、キノリン、
イソキノリン等の複素環式第三級アミン類等の触媒をポ
リアミド酸１００重量部当たり、例えば１０〜４００重
量部用いることもできる。

【００３２】次に、前記化学イミド化法としては、例え
ば、(c)ポリアミド酸を脱水環化させる閉環剤を用い、
溶液状態でポリイミド化する方法が採用され、ポリイミ
ドが粉末あるいは溶液として得られる。この方法で使用
される溶媒としても、例えば、ポリアミド酸の製造に使
用されるものと同様の有機溶媒を挙げることができる。
(c)の化学イミド化方法に使用される閉環剤としては、
例えば、無水酢酸、無水プロピオン酸、無水酪酸のよう
な無水物等を挙げることができる。これらの閉環剤は、
単独でまたは２種類以上を混合して使用することがで
き、その使用量は、前記一般式（２）で表される繰り返
し単位１モル当たり通常２〜２００モル、好ましくは２
〜１００モルである。(3)の化学イミド化における反応
温度は、通常、０〜２００℃である。なお、化学イミド
化法においても、前記加熱イミド化法の場合と同様に第
三級アミンを触媒として使用することができる。前記加
熱イミド化法または化学イミド化法によりポリイミドが
粉末として得られた場合は、濾過、噴霧乾燥、水蒸気蒸
留等の適宜の方法により、ポリイミド粉末を媒体から回
収することができる。本発明のポリイミドのイミド化率
は、５０％以上、好ましくは９０％以上である。

【００３３】本発明のポリイミドの重量平均分子量は、
１０００〜１００００００であり、好ましくは、５００
０〜５０００００である。本発明のポリイミドは、低誘
電率、低屈折率でかつ耐熱性に優れ、その誘電率（１ｋ
Ｈｚ）は、３．０以下、屈折率（膜面に対して平行方向
（ＴＥ））は１．６０以下であり、イミド化後の５％重
量減少温度は通常４００℃以上、好ましくは５００℃以
上である。しかも、本発明のポリイミドは、各種溶剤に
対する溶解性にも優れている。したがって、本発明のポ
リイミドは、特にＬＳＩにおける層間絶縁膜として極め
て好適に使用することができるほか、一般の絶縁材料、
耐熱性材料としても有用である。本発明のポリイミドか
ら層間絶縁膜を形成する際には、その前駆体物質である
前記ポリアミド酸のワニスあるいはペースト、該ポリイ
ミドのフィルム等が使用される。前記層間絶縁膜の形成
法を例示すると、下記の通りである。

【００３４】（イ）ポリアミド酸のワニスをデバイスの
層間に流延し、ワニス中の過剰の溶媒を過熱下および／
または減圧下で除去して、該ポリアミド酸の薄膜を形成
した後、例えば、１００〜４００℃、常圧下または加圧下
で、該ポリアミド酸を脱水閉環してイミド化する方法、
（ロ）フィルム状のポリイミドをデバイスの層間に配置
し、例えば、１００〜４００℃、常圧または加圧下で、圧
着する方法。また、ポリイミドをフィルム状で取得する
方法としては、例えば、（ハ）予め離型処理した基板、
例えば、ガラス、テフロン、ポリエステル等の基板上
に、ポリアミド酸のワニスを流延し、徐々に加熱して溶
媒を除去しつつ脱水閉環し、イミド化する方法、（ニ）
ポリイミドの粉末を、プレス成形、射出成形等の適宜の
方法によりフィルム状に形成する方法等を採用すること
ができる。本発明のポリイミドを層間絶縁膜として使用
する場合の具体例としては、半導体の多層配線の層間絶
縁膜、多層プリント基板のリジット板やフレキソ印刷等
の層間絶縁膜、パッケージやＭＣＭ基板等の層間絶縁膜
等を挙げることができる。また、本発明のポリアミド酸
あるいは本発明のポリイミドワニスを基板上に流延した
後、加熱し、乾燥することによって、厚さ数十〜数百μｍ
のポリイミドのドライフィルムを得ることもできる。こ
のようなドライフィルムは多くの用途、例えば、半導体
のパッシベーション膜（ストレスバッファー膜）、α線
遮断膜、フレキソ印刷版のカバーレイフィルム、フレキ
ソ印刷版のオーバーコート等として使用することもでき
る。さらに、本発明のポリイミドの前記以外の用途とし
ては、ダイボンディング用接着剤、リードオンチップ
（ＬＯＣ）用接着剤、多層リードフレーム用接着フィル
ム等を挙げることができる。

【００３５】

【実施例】以下本発明をより詳細に説明するために、実
施例および比較例をあげて説明するが、本発明はこれら
の例によって限定されるものではない。

【００３６】特性の測定方法 重量平均分子量の測定 ゲルパーミネーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）を
用いて、ポリスチレン換算にて重量平均分子量（Ｍｗ）
を測定した。 膜厚の測定 シリコンウエハーに製膜した膜に傷を付け、その傷の深
さを測定し、その深さを膜の厚さとした。 比誘電率の測定 ポリイミド膜の１ｋＨｚにおける静電容量を横川ヒュー
レットパッカード製のＬＣＲメーター４２８４Ａを用い
て測定し、下記式により比誘電率（ε）を求めた。 ε＝Ｃ・ｄ／ε₀・Ｓ 但し、Ｃは静電容量、ｄは試料膜厚、ε₀は真空中の誘
電率、Ｓは上部電極膜厚である。 屈折率の測定 Ｈｅ−Ｎｅレーザーの波長（６３３ｎｍ）を用い、プリ
ズムカップラー法で２０℃で測定し、膜面に対して平行
方向の屈折率（ＴＥ）と垂直方向の屈折率（ＴＭ）およ
びそれらの差である複屈折率を求めた。

【００３７】赤外吸収スペクトル（ＩＲ）測定 ジニトロ対、ジアミン、ポリアミド酸はＫＢｒ法で測定
し、ポリイミドはシリコンウエハー上に製膜したものを
そのまま測定した。 核磁気共鳴スペクトル（１Ｈ−ＮＭＲ）の測定 溶媒ＤＭＳＯ−ｄ₆に溶解し、２７０ＭＨｚで測定し
た。 ガラス転移温度(Ｔｇ)の測定 示差走査熱量計（ＤＳＣ）により、窒素雰囲気中、昇温
速度２０℃／分で測定した。 ５％重量減少温度（Ｔｄ５）の測定 熱天秤を用い、窒素中、昇温速度１０℃／分で加熱し
て、５％重量減少を示した温度を測定した。

【００３８】実施例１ 芳香族ジアミンＡの製造 ４，４’−ジニトロ−３”−トリフルオロメチルトリフ
ェニルアミンの合成 ３−アミノ−ベンゾトリフルオリド１４．４９ｇ（０．
０９モル）、ｐ−フルオロニトロベンゼン２５．３８ｇ
（０．１８モル）をジメチルスルホオキシド３６０ｍｌ
に溶解した。この溶液にフッ化セシウム２７．３６ｇを
加え１０５〜１１０℃で６時間反応させた。反応液を冷
却後、水１．５ｌに注いだ。析出した固体を濾過で分離
し、粗生成物を得た。収量は２８．７３ｇであった。ク
ロロホルムで再結晶し、黄色の固体を得た。

【００３９】融点１８３〜１８５℃ 赤外吸収スペクトル：１５２０，１３４５ｃｍ^-1（ＮＯ
₂） ８８７，８４３，７８９ｃｍ^-1（ＣＨ）¹ Ｈ−ＮＭＲ：（ＤＭＳＯ−ｄ₆，ｐｐｍ）：７．２６
（ｄ，４Ｈ，Ａｒ−Ｈ），７．５６−７．６５（ｍ，２
Ｈ，Ａｒ−Ｈ），７．７０−７．７８（ｍ，２Ｈ，Ａｒ
−Ｈ），８．２２（ｄ，４Ｈ，Ａｒ−Ｈ） 元素分析値（Ｃ₁₉Ｈ₁₂Ｎ₃Ｏ₄Ｆ₃） 計算値（％）Ｃ：５６．５８，Ｈ：２．９８，Ｎ：１
０．４２ 実測値（％）Ｃ：５６．６３，Ｈ：２．９５，Ｎ：１
０．４８。

【００４０】４，４’−ジアミノ−３”−トリフルオロ
メチルトリフェニルアミン（芳香族ジアミンＡ）の合成 ４，４’−ジニトロ−３”−トリフルオロメチルトリフ
ェニルアミン１６．１２ｇ、酢酸３６ｇ、濃塩酸１１
８．８ｇ、無水塩化第一スズ５４ｇを混合し、室温で２
時間撹拌した後、１００℃で５時間撹拌した。反応液を
冷却後、固体を濾過で分離した。この固体を水１００ｍ
ｌに懸濁し、３０％ＮａＯＨ水溶液でｐＨ〜９にした
後、濾過する。得られた固体に酢酸エチル溶液２５０ｍ
ｌを加え撹拌した後、濾過した。濾液の酢酸エチル溶液
を水層から分離後、さらに水洗し、無水硫酸ナトリウム
で乾燥した。この溶液から溶媒を留去することにより、
粗生成物を得た。収量は１１．５７ｇであった。クロロ
ホルムで再結晶することにより、白色の結晶を得た。こ
のジアミンの赤外吸収スペクトル（ＩＲ）および¹Ｈ−
ＮＭＲスペクトル（ＤＭＳＯ−ｄ₆，ｐｐｍ）をそれぞ
れ図１、図２に示す。

【００４１】融点１１３〜１１４℃ 赤外吸収スペクトル：３４０６，３３１０，３２１０ｃ
ｍ^-1（ＮＨ₂） ８８３，８３１，７９２ｃｍ^-1（ＣＨ）¹ Ｈ−ＮＭＲ：（ＤＭＳＯ−ｄ₆，ｐｐｍ）：５．１３
（ｓ，４Ｈ，ＮＨ₂），６．５８（ｄ，４Ｈ，Ａｒ−
Ｈ），６．７０（ｓ，１Ｈ，Ａｒ−Ｈ），６．７７
（ｄ，１Ｈ，Ａｒ−Ｈ），６．８９（ｄ，５Ｈ，Ａｒ−
Ｈ），７．２５（ｔ，１Ｈ，Ａｒ−Ｈ） 元素分析値（Ｃ₁₉Ｈ₁₆Ｎ₃Ｆ₃） 計算値（％）Ｃ：６６．４７，Ｈ：４．６６，Ｎ：１
２．２４ 実測値（％）Ｃ：６６．４１，Ｈ：４．６０，Ｎ：１
２．２７。

【００４２】実施例２ 芳香族ジアミンＢの製造 ４，４’−ジニトロ−３”，５”−ビス（トリフルオロ
メチル）トリフェニルアミンの合成 ３，５−ビス（トリフルオロメチル）アニリン１７．１
８ｇ、ｐ−フルオロニトロベンゼン２１．２５ｇ（０．
１５モル）をジメチルスルホオキシド３００ｍｌに溶解
した。この溶液にフッ化セシウム２２．８ｇを加え１０
５〜１１０℃で６時間反応させた。反応液を冷却後、水
１．５ｌに注いだ。析出した固体を濾過で分離し、粗生
成物を得た。収量は２６．５ｇであった。クロロホルム
で再結晶し、黄色の結晶を得た。

【００４３】融点１９６〜１９８℃ 赤外吸収スペクトル：１５１５，１３４３ｃｍ^-1（ＮＯ
₂） ８８７，８４５ｃｍ^-1（ＣＨ）¹ Ｈ−ＮＭＲ：（ＤＭＳＯ−ｄ₆，ｐｐｍ）：７．３２
（ｄ，４Ｈ，Ａｒ−Ｈ），７．９５（ｓ，２Ｈ，Ａｒ−
Ｈ），８．０４（ｓ，１Ｈ，Ａｒ−Ｈ），８．２４
（ｄ，４Ｈ，Ａｒ−Ｈ） 元素分析値（Ｃ₂₀Ｈ₁₁Ｎ₃Ｏ₄Ｆ₆） 計算値（％）Ｃ：５０．９６，Ｈ：２．３４，Ｎ：８．
９２ 実測値（％）Ｃ：５０．８６，Ｈ：２．３０，Ｎ：８．
９５。

【００４４】４，４’−ジアミノ−３”，５”−ビス
（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン（芳香族ジ
アミンＢ）の合成 ４，４’−ジニトロ−３”，５”−ビス（トリフルオロ
メチル）トリフェニルアミン１８．８４ｇ、酢酸３６
ｇ、濃塩酸１１８．８ｇ、無水塩化第一スズ５４ｇを混
合し、室温で２時間撹拌した後、１００℃で４時間撹拌
した。反応液を冷却後、固体を濾過で分離した。この固
体を水１００ｍｌに懸濁し、３０％ＮａＯＨ水溶液でｐ
Ｈ〜９にした後、濾過する。得られた固体に酢酸エチル
溶液２５０ｍｌを加え撹拌した後、濾過した。濾液の酢
酸エチル溶液を水層から分離後、さらに水洗し、無水硫
酸ナトリウムで乾燥した。この溶液から溶媒を留去する
ことにより、粗生成物を得た。収量は１３．６４ｇであ
った。クロロホルムで再結晶することにより、白色の結
晶を得た。このジアミンの赤外吸収スペクトル（ＩＲ）
および¹Ｈ−ＮＭＲスペクトル（ＤＭＳＯ−ｄ₆，ｐｐ
ｍ）をそれぞれ図３、図４に示す。

【００４５】融点１８２〜１８４℃ 赤外吸収スペクトル：３４３４，３３００，３２１０ｃ
ｍ^-1（ＮＨ₂） ８７３，８３１ｃｍ^-1（ＣＨ） １Ｈ−ＮＭＲ：（ＤＭＳＯ−ｄ₆，ｐｐｍ）：５．２３
（ｓ，４Ｈ，ＮＨ₂），６．６１（ｄ，４Ｈ，Ａｒ−
Ｈ），６．８７（ｓ，２Ｈ，Ａｒ−Ｈ），６．９９
（ｄ，４Ｈ，Ａｒ−Ｈ），７．１５（ｔ，１Ｈ，Ａｒ−
Ｈ） 元素分析値（Ｃ₂₀Ｈ₁₅Ｎ₃Ｆ₆） 計算値（％）Ｃ：５８．３９，Ｈ：３．６５，Ｎ：１
０．２２ 実測値（％）Ｃ：５８．３０，Ｈ：３．６１，Ｎ：１
０．２８。

【００４６】実施例３ 芳香族ジアミンＣの製造 ４，４’−ジニトロ−２，２’，３”，５”−テトラキ
ス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミンの合成 ３，５−ビス（トリフルオロメチル）アニリン１６．０
３ｇ（０．０７モル）、２−フルオロ−５−ニトロベン
ゾトリフルオリド２９．２６ｇ（０．１４モル）をジメ
チルスルホオキシド２８０ｍｌに溶解した。この溶液に
フッ化セシウム２１．２８ｇを加え１０５〜１１０℃で
６時間反応させた。反応液を冷却後、水１．２ｌに注
ぐ。油層を分離し、エーテル１００ｍｌを加え、放置す
ると生成物の結晶が析出した。濾過により、結晶を分離
し、減圧下で乾燥した。収量は２８．８８ｇであった。
クロロホルムで再結晶し、黄色の結晶を得た。

【００４７】融点１６３〜１６５℃ 赤外吸収スペクトル：１５３０，１３４９ｃｍ^-1（ＮＯ
₂） ８８３，８５０ｃｍ^-1（ＣＨ）¹ Ｈ−ＮＭＲ：（ＤＭＳＯ−ｄ₆，ｐｐｍ）：７．５４
（ｄ，２Ｈ，Ａｒ−Ｈ），７．６３（ｓ，２Ｈ，Ａｒ−
Ｈ），７．９４（ｓ，１Ｈ，Ａｒ−Ｈ），８．５０−
８．５７（ｍ，４Ｈ，Ａｒ−Ｈ） 元素分析値（Ｃ₂₂Ｈ₉Ｎ₃Ｏ₄Ｆ₁₂） 計算値（％）Ｃ：４３．４９，Ｈ：１．４８，Ｎ：６．
９２ 実測値（％）Ｃ：４３．５５，Ｈ：１．４５，Ｎ：６．
９０。

【００４８】４，４’−ジアミノ−２，２’，３”，
５”−テトラキス（トリフルオロメチル）トリフェニル
アミン（芳香族ジアミンＣ）の合成 ４，４’−ジニトロ−２，２’，３”，５”−テトラキ
ス（トリフルオロメチル）トリフェニルアミン１５．１
８ｇ、酢酸２２．５ｇ、濃塩酸７４．３ｇ、無水塩化第
一スズ３３．８ｇを混合し、室温で２時間撹拌した後、
１００℃で５時間撹拌した。反応液を冷却後、固体を濾
過で分離した。この固体を水１００ｍｌに懸濁し、３０
％ＮａＯＨ水溶液でｐＨ〜９にした後、濾過する。得ら
れた固体に酢酸エチル溶液２００ｍｌを加え撹拌した
後、濾過した。濾液の酢酸エチル溶液を水層から分離
後、さらに水洗し、無水硫酸ナトリウムで乾燥した。こ
の溶液から溶媒を留去することにより、粗生成物を得
た。収量は１２．２９ｇであった。クロロホルムで再結
晶することにより、白色の結晶を得た。このジアミンの
赤外吸収スペクトル（ＩＲ）および¹Ｈ−ＮＭＲスペク
トル（ＤＭＳＯ−ｄ₆，ｐｐｍ）をそれぞれ図５、図６
に示す。

【００４９】融点１８８〜１９０℃ 赤外吸収スペクトル：３４４８，３３４６，３２３２ｃ
ｍ^-1（ＮＨ₂） ８７７，８３９ｃｍ^-1（ＣＨ）¹ Ｈ−ＮＭＲ：（ＤＭＳＯ−ｄ₆，ｐｐｍ）：５．７６
（ｓ，４Ｈ，ＮＨ₂），６．８３−７．０４（ｍ，８
Ｈ，Ａｒ−Ｈ），７．４０（ｓ，１Ｈ，Ａｒ−Ｈ） 元素分析値（Ｃ₂₂Ｈ₁₃Ｎ₃Ｆ₁₂） 計算値（％）Ｃ：４８．２６，Ｈ：２．３８，Ｎ：７．
６８ 実測値（％）Ｃ：４８．１９，Ｈ：２．３５，Ｎ：７．
７３。

【００５０】実施例４ ポリアミド酸の製造 窒素気流下、実施例１で得られたジアミン化合物Ａを
３．４ｇ（０．０１モル）をＮ−メチルピロリドン（Ｎ
ＭＰ）１８．４ｇに溶解させ、室温にした。ここに、
２，２-ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）１，
１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン二無水物
（１）４．４ｇ（０．０１モル）をＮＭＰ１３．１ｇと
ともに加えて、２０℃で１２時間反応させさせポリアミ
ド酸の溶液を得た。重量平均分子量（Ｍｗ）は１０．１
×１０⁴であった。このポリアミド酸の赤外吸収スペク
トルを図７に、¹Ｈ−ＮＭＲスペクトル（ＤＭＳＯ−
ｄ₆，ｐｐｍ）を図１５に示す。

【００５１】ポリイミドの製造 前述ポリアミド酸溶液を住友電工社製四弗化エチレン樹
脂製フィルター（ポアサイズ２μｍ）を用いて濾過し
た。つぎに、この溶液を６×６ｃｍのＡｌ基板上および
シリコンウエハー上に回転塗布し、ついで、ホットプレ
ート（大日本スクリーン社製ＳＫＷ−６３６）を用い
て、８０℃で３分、１２０℃で３分プリベークし、さら
にオーブン（光洋リンドバーグ製イナートオーブン）を
用いて、１４０℃で０．５時間、３５０℃で１時間加熱
することにより、ポリイミド膜を得た。その後、Ａｌ基
板上に形成したこのポリイミド膜上にマスクをしてＡｌ
を真空蒸着し、上部電極を形成して比誘電率（ε）測定
試料とした。その結果、ε＝２．９７であり低い値であ
った。

【００５２】次に、シリコンウエハー上に形成したポリ
イミド膜を用いて、まず屈折率を測定した後、ガラス転
移温度（Ｔｇ）及び、５％重量減少温度（Ｔｄ５）を測
定した。その結果、屈折率は、ＴＥ＝１．５９７、ＴＭ
＝１．５８９８、複屈折率は０．００７２であり、屈折
率、複屈折率ともに小さな値となった。また、Ｔｇ＝２
８５℃、Ｔｄ５＝５４４℃であり、高い耐熱性を有する
ことが確認された。このポリイミドの赤外吸収スペクト
ル（ＩＲ）を図８に示す。

【００５３】実施例５〜７、比較例１〜２ 芳香族ジアミン化合物およびテトラカルボン酸二無水物
を表１に示すとおりとした以外は実施例４と同様にし
て、ポリアミド酸の合成とポリイミド膜の作製を行った
後、実施例４と同様にして、各ポリアミド酸の重量平均
分子量（Ｍｗ）、各ポリイミド膜の比誘電率（ε）、ガ
ラス転移温度（Ｔｇ）および５％重量減少温度（Ｔｄ
５）を測定した。これらの結果を表１に示した。また、
実施例５〜７のポリアミド酸およびポリイミドの赤外吸
収スペクトル（ＩＲ）を、図９〜１４に示す。また、実
施例５〜７のポリアミド酸の１Ｈ−ＮＭＲスペクトル
（ＤＭＳＯ−ｄ₆，ｐｐｍ）を図１６〜１８に示す。

【００５４】

【表１】

【００５５】

【発明の効果】本発明のポリイミドは、低誘電率、低屈
折率、低複屈折率で、かつ耐湿性、耐熱性に優れてお
り、プリント基板やＬＳＩ用の層間絶縁膜や光部品等と
して極めて良好に使用することができる。また、本発明
の芳香族ジアミン化合物およびポリアミド酸は当該ポリ
イミドの出発原料および中間体として有用である。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１で合成したジアミンのＩＲスペクトル

【図２】実施例１で合成したジアミンの¹Ｈ−ＮＭＲス
ペクトル

【図３】実施例２で合成したジアミンのＩＲスペクトル

【図４】実施例２で合成したジアミンの¹Ｈ−ＮＭＲス
ペクトル

【図５】実施例３で合成したジアミンのＩＲスペクトル

【図６】実施例３で合成したジアミンの¹Ｈ−ＮＭＲス
ペクトル

【図７】実施例４で合成したポリアミド酸のＩＲスペク
トル

【図８】実施例４で得られたポリイミドのＩＲスペクト
ル

【図９】実施例５で合成したポリアミド酸のＩＲスペク
トル

【図１０】実施例５で得られたポリイミドのＩＲスペク
トル

【図１１】実施例６で合成したポリアミド酸のＩＲスペ
クトル

【図１２】実施例６で得られたポリイミドのＩＲスペク
トル

【図１３】実施例７で合成したポリアミド酸のＩＲスペ
クトル

【図１４】実施例７で得られたポリイミドのＩＲスペク
トル

【図１５】実施例４で合成したポリアミド酸の¹Ｈ−Ｎ
ＭＲスペクトル

【図１６】実施例５で合成したポリアミド酸の¹Ｈ−Ｎ
ＭＲスペクトル

【図１７】実施例６で合成したポリアミド酸の¹Ｈ−Ｎ
ＭＲスペクトル

【図１８】実施例７で合成したポリアミド酸の¹Ｈ−Ｎ
ＭＲスペクトル

フロントページの続き Ｆターム(参考） 4H006 AA01 AB46 AB84 AB91 AB93 BJ50 BM10 BM71 BS10 BU46 BV74 4J043 PA08 PA09 PA19 PC145 PC146 QB15 QB26 QB31 RA35 SA06 SA42 SA43 SA44 SA47 SA54 SB01 SB02 TA22 TA47 TA48 TA67 TA68 TA70 TA71 TB01 TB02 UA022 UA032 UA042 UA082 UA122 UA131 UA132 UA141 UA142 UA152 UA162 UA222 UA232 UA252 UA262 UA622 UA662 UA672 UB012 UB022 UB052 UB062 UB102 UB122 UB132 UB152 UB211 UB241 UB282 UB302 UB312 UB352 UB402 VA021 VA022 VA032 VA041 VA061 VA062 VA072 VA081 VA101 VA102 XA15 XA16 XA18 XA19 YA06 YA08 ZA46 ZB11 ZB47 ZB50

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一般式（１）で表されることを特徴とする
   芳香族ジアミン化合物。 【化１】 （一般式（１）において、ｌ、ｍはそれぞれ独立に０〜
   ４の整数であり、ｎは０〜５の整数である。但し、ｌ＋
   ｍ＋ｎ≧１である。）
2. 【請求項２】一般式（２）で表される繰り返し単位を含
   有して成り、重量平均分子量が１０００〜１０００００
   ０であることを特徴とするポリアミド酸。 【化２】 （一般式（２）において、ｌ、ｍはそれぞれ独立に０〜
   ４の整数であり、ｎは０〜５の整数である。但し、ｌ＋
   ｍ＋ｎ≧１である。Ａｒは単環式もしくは縮合多環式の
   芳香族基、及びこれらの芳香環が直接もしくは連結基に
   より相互に連結された非縮合多環式芳香族基から選ばれ
   る炭素数６〜５０の４価の芳香族基である。）
3. 【請求項３】一般式（３）で表される繰り返し単位を含
   有して成り、重量平均分子量が１０００〜１０００００
   ０であることを特徴とするポリイミド。 【化３】 （一般式（３）において、ｌ、ｍはそれぞれ独立に０〜
   ４の整数であり、ｎは０〜５の整数である。但し、ｌ＋
   ｍ＋ｎ≧１である。Ａｒは単環式もしくは縮合多環式の
   芳香族基及びこれらの芳香環が直接もしくは連結基によ
   り相互に連結された非縮合多環式芳香族基から選ばれる
   炭素数６〜５０の４価の芳香族基である。）