JP2000082807A - 光伝達手段を備えた装置 - Google Patents

光伝達手段を備えた装置

Info

Publication number
JP2000082807A
JP2000082807A JP10251014A JP25101498A JP2000082807A JP 2000082807 A JP2000082807 A JP 2000082807A JP 10251014 A JP10251014 A JP 10251014A JP 25101498 A JP25101498 A JP 25101498A JP 2000082807 A JP2000082807 A JP 2000082807A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
light emitting
layer
organic
light receiving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10251014A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4258860B2 (ja
Inventor
Tatsuya Shimoda
達也 下田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP25101498A priority Critical patent/JP4258860B2/ja
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to EP99940547A priority patent/EP1043780A4/en
Priority to CNB2004100040645A priority patent/CN1277319C/zh
Priority to CNB998020117A priority patent/CN1181564C/zh
Priority to KR1020007004867A priority patent/KR100626562B1/ko
Priority to US09/530,754 priority patent/US6430325B1/en
Priority to PCT/JP1999/004664 priority patent/WO2000014813A1/ja
Priority to EP05075817A priority patent/EP1569280A3/en
Priority to TW088114987A priority patent/TW434899B/zh
Publication of JP2000082807A publication Critical patent/JP2000082807A/ja
Priority to US10/175,449 priority patent/US6775428B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4258860B2 publication Critical patent/JP4258860B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/60OLEDs integrated with inorganic light-sensitive elements, e.g. with inorganic solar cells or inorganic photodiodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/12Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof structurally associated with, e.g. formed in or on a common substrate with, one or more electric light sources, e.g. electroluminescent light sources, and electrically or optically coupled thereto
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/12004Combinations of two or more optical elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/4214Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element having redirecting reflective means, e.g. mirrors, prisms for deflecting the radiation from horizontal to down- or upward direction toward a device
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/43Arrangements comprising a plurality of opto-electronic elements and associated optical interconnections
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0216Coatings
    • H01L31/02161Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/02162Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/08Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
    • H01L31/10Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
    • H01L31/101Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
    • H01L31/102Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier
    • H01L31/105Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier the potential barrier being of the PIN type
    • H01L31/1055Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier the potential barrier being of the PIN type the devices comprising amorphous materials of Group IV of the Periodic Table
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/12Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof structurally associated with, e.g. formed in or on a common substrate with, one or more electric light sources, e.g. electroluminescent light sources, and electrically or optically coupled thereto
    • H01L31/16Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof structurally associated with, e.g. formed in or on a common substrate with, one or more electric light sources, e.g. electroluminescent light sources, and electrically or optically coupled thereto the semiconductor device sensitive to radiation being controlled by the light source or sources
    • H01L31/167Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof structurally associated with, e.g. formed in or on a common substrate with, one or more electric light sources, e.g. electroluminescent light sources, and electrically or optically coupled thereto the semiconductor device sensitive to radiation being controlled by the light source or sources the light sources and the devices sensitive to radiation all being semiconductor devices characterised by potential barriers
    • H01L31/173Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof structurally associated with, e.g. formed in or on a common substrate with, one or more electric light sources, e.g. electroluminescent light sources, and electrically or optically coupled thereto the semiconductor device sensitive to radiation being controlled by the light source or sources the light sources and the devices sensitive to radiation all being semiconductor devices characterised by potential barriers formed in, or on, a common substrate
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K65/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element and at least one organic radiation-sensitive element, e.g. organic opto-couplers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/06Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
    • H01L31/075Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PIN type, e.g. amorphous silicon PIN solar cells
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K30/00Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/38Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10Deposition of organic active material
    • H10K71/12Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/548Amorphous silicon PV cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Optical Communication System (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】電気信号による情報の伝達方式とは異なる方式
の光伝達手段、特に、集積度を高めることができる光伝
達手段を備えた装置を提供する。 【解決手段】装置(半導体デバイス)1は、基板2を有
している。この基板2上には、発光素子3と、この発光
素子3を駆動する図示しない駆動回路と、受光素子(光
検出素子)5と、前記発光素子3からの光を前記受光素
子5へ導く導光路(導波路)4と、増幅回路6と、配線
(電気配線)7と、回路8とが、それぞれ設置されてい
る。発光素子3からの光(光信号)は、導光路4を経
て、受光素子5で受光され、光電変換される。受光素子
5からの電気信号は、増幅回路6で増幅され、配線7を
介して回路8に入力される。回路8は、この電気信号に
基づいて作動する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光伝達手段を備え
た装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の半導体デバイス(例えば、TFT
液晶表示素子)等の装置では、所定の素子と所定の素子
とを電気配線で接続し、電気信号のみで情報を伝達して
回路を駆動している。
【0003】しかしながら、前記従来の装置では、電気
配線(配線)に付随する容量および配線抵抗のために、
信号が遅延するという欠点がある。半導体デバイスの高
密度化が進めば進む程、この信号の遅延は大きくなり、
それが半導体デバイスの高速化の大きな障害になってい
る。また、配線抵抗により発熱するという欠点がある。
【0004】光ファイバーによる情報の伝達手段は、知
られているが、その用途は、比較的大型の装置に限られ
ている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、電気
信号による情報の伝達方式とは異なる方式の光伝達手
段、特に、集積度と高速性を高めることができる光伝達
手段を備えた装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
(1)〜(18)の本発明により達成される。
【0007】(1) 薄膜で構成された少なくとも1つ
の発光素子を有する発光部と、薄膜で構成された少なく
とも1つの受光素子を有する受光部と、前記発光部から
の光を前記受光部へ導く導光路とを集積してなる光伝達
手段を備えていることを特徴とする光伝達手段を備えた
装置。
【0008】(2) 前記発光部、前記受光部および前
記導光路は、少なくとも1次元方向に設置されている上
記(1)に記載の光伝達手段を備えた装置。
【0009】(3) 前記発光部、前記受光部および前
記導光路は、同一基板上に設置されている上記(1)ま
たは(2)に記載の光伝達手段を備えた装置。
【0010】(4) 前記発光部は、発光特性の異なる
複数の発光素子を有する上記(1)ないし(3)のいず
れかに記載の光伝達手段を備えた装置。
【0011】(5) 前記発光部は、発光する光のピー
ク波長が異なる複数の発光素子を有する上記(1)ない
し(3)のいずれかに記載の光伝達手段を備えた装置。
【0012】(6) 前記受光部は、対応する前記発光
素子からの光を受光する複数の受光素子を有する上記
(4)または(5)に記載の光伝達手段を備えた装置。
【0013】(7) 前記発光素子を構成する少なくと
も1つの薄膜が、インクジェット方式によりパターン形
成されたものである上記(1)ないし(6)のいずれか
に記載の光伝達手段を備えた装置。
【0014】(8) 前記発光素子は、有機EL素子で
構成されている上記(1)ないし(7)のいずれかに記
載の光伝達手段を備えた装置。
【0015】(9) 前記発光素子は、有機EL素子と
光学フィルターとで構成されている上記(1)ないし
(7)のいずれかに記載の光伝達手段を備えた装置。
【0016】(10) 前記光学フィルターは、屈折率の
異なる複数の薄膜を積層してなる分布反射型多層膜ミラ
ーである上記(9)に記載の光伝達手段を備えた装置。
【0017】(11) 前記受光素子を構成する少なくと
も1つの薄膜が、インクジェット方式によりパターン形
成されたものである上記(1)ないし(10)のいずれか
に記載の光伝達手段を備えた装置。
【0018】(12) 前記受光素子は、有機素子で構成
されている上記(1)ないし(11)のいずれかに記載の
光伝達手段を備えた装置。
【0019】(13) 前記受光素子は、有機素子と光学
フィルターとで構成されている上記(1)ないし(11)
のいずれかに記載の光伝達手段を備えた装置。
【0020】(14) 前記導光路は、薄膜で構成されて
いる上記(1)ないし(13)のいずれかに記載の光伝達
手段を備えた装置。
【0021】(15) 前記導光路を構成する少なくとも
1つの薄膜が、インクジェット方式によりパターン形成
されたものである上記(14)に記載の光伝達手段を備え
た装置。
【0022】(16) 薄膜トランジスタを有する上記
(1)ないし(15)のいずれかに記載の光伝達手段を備
えた装置。
【0023】(17) 同一基板上に複数の回路ブロック
を有し、該複数の回路ブロックのそれぞれが前記発光部
と前記受光部とを備えている上記(1)ないし(15)の
いずれかに記載の光伝達手段を備えた装置。
【0024】(18) 前記複数の回路ブロックのうちの
所定の回路ブロック間が、前記導光路で結合され、該回
路ブロック間において、該導光路を介して信号を光によ
り送信・受信するよう構成されている上記(17)に記載
の光伝達手段を備えた装置。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、本発明の光伝達手段を備え
た装置を添付図面に示す好適実施例に基づいて詳細に説
明する。
【0026】図1は、本発明の光伝達手段を備えた装置
の実施例の主要部を模式的に示す図である。
【0027】同図に示すように、装置(半導体デバイ
ス)1は、基板2を有している。この基板2上には、発
光素子3と、この発光素子3を駆動する駆動回路を備
え、発光素子3に信号を送り出す図示しない回路(送信
側の回路)と、受光素子(光検出素子)5と、前記発光
素子3からの光を前記受光素子5へ導く導光路(導波
路)4と、増幅回路6と、配線(電気配線)7と、回路
8とが、それぞれ設置されている。
【0028】すなわち、基板2上には、発光素子3と、
前記駆動回路を備えた信号を送り出す回路を構成する各
素子およびその配線と、導光路4と、受光素子5と、増
幅回路6を構成する各素子およびその配線と、配線7
と、回路8を構成する各素子およびその配線とが集積さ
れている。
【0029】基板2の構成材料としては、例えば、各種
ガラス、Si単結晶、セラミックス、石英等が挙げられ
る。
【0030】また、発光素子3、導光路4および受光素
子5は、それぞれ、一部分または全部が薄膜で構成され
ている。
【0031】なお、前記発光素子3により発光部が構成
され、前記受光素子5により受光部が構成される。
【0032】また、前記発光素子3、導光路4および受
光素子5により、光伝達手段が構成される。
【0033】この装置1における発光素子3としては、
例えば、有機EL素子を用いることができる。
【0034】図2は、発光素子3として有機EL素子を
用いた場合のその構成例と、導光路4の構成例とを示す
断面図である。
【0035】同図に示すように、有機EL素子3aは、
透明電極31と、発光層(有機EL)32と、金属電極
33と、遮光部とインク拡がり防止用壁とを兼ねた隔壁
(バンク)34とで構成されている。この有機EL素子
3aは、後述する導光路4上に設置されている。以下、
具体的に有機EL素子3aの構造を説明する。
【0036】隔壁34は、後述する導光路4のSiO
層43上に形成されている。
【0037】また、透明電極31および発光層32は、
それぞれ、隔壁34の内側に形成されている。この場
合、SiO 層43上に透明電極31が形成され、該
透明電極31上に発光層32が形成されている。
【0038】そして、前記隔壁34および発光層32上
に金属電極33が形成されている。
【0039】透明電極31は、例えば、ITO等で構成
される。
【0040】また、透明電極31の厚さは、50〜50
0nm程度とするのが好ましい。
【0041】発光層32は、例えば、主として発光層3
2を形成する共役系高分子有機化合物の前駆体そのもの
を、あるいは該前駆体と、発光層32の発光特性を変化
させるための蛍光色素等を所定の溶媒に溶解または分散
させた有機EL素子用組成物(発光層32用の組成物)
を加熱処理し、その有機EL素子用組成物中の前記前駆
体を高分子化した薄膜(固体薄膜)で構成される。ある
いは、他の例として、前記発光層32は、有機溶媒に可
溶な共役系高分子そのものを、あるいは該共役系高分子
と、発光層32の発光特性を変化させるための蛍光色素
等を有機溶媒に溶解させた組成物(発光層32用の組成
物)を乾燥あるいは加熱処理して得た高分子の薄膜で構
成される。
【0042】また、発光層32の厚さは、50〜500
nm程度とするのが好ましい。
【0043】金属電極33は、例えば、Al−Li等で
構成される。
【0044】また、金属電極33の厚さは、10〜50
0nm程度とするのが好ましい。
【0045】隔壁34は、例えば、ポリイミド、SiO
等で構成される。
【0046】また、隔壁34の厚さは、透明電極31と
発光層32の合計の厚さより大きくするのが好ましい。
【0047】前述したように、基板2上には、有機EL
素子3aを駆動する図示しない駆動回路を備えた送信側
の回路が設置されている。
【0048】この有機EL素子3aでは、前記駆動回路
から透明電極31と金属電極33との間に所定の電圧が
印加されると、発光層32に電子および正孔(ホール)
が注入され、それらは印加された電圧によって生じる電
場により発光層32中を移動し再結合する。この再結合
に際しエキシトン(励起子)が生成し、このエキシトン
が基底状態へ戻る際にエネルギー(蛍光・リン光)を放
出する。すなわち、発光する。なお、上記の現象をEL
発光と言う。
【0049】次に、有機EL素子3aの製造方法を説明
する。
【0050】本実施例では、インクジェットプリンティ
ングにより、有機EL素子3aを製造する。
【0051】このインクジェットプリンティングによる
製造方法とは、インクジェット方式により、すなわち所
定の組成物(吐出液)をヘッドから吐出(噴出)させ
て、所定の薄膜(層)材料をパターン形成し、それを固
化して薄膜とする方法を言う。以下、具体的にインクジ
ェットプリンティングによる有機EL素子3aの製造方
法を説明する。
【0052】図3は、インクジェットプリンティングに
よる有機EL素子3aの製造方法を説明するための図で
ある。
【0053】同図に示すように、まず、隔壁34を例え
ば、フォトリソグラフィーにより形成する。
【0054】次いで、予め用意した透明電極31用の組
成物をインクジェット方式によりパターン形成する。す
なわち、インクジェット用のヘッドのノズル90から透
明電極31用の組成物を噴出させて所定のパターンを形
成する。
【0055】そして、このパターン形成された透明電極
31用の組成物を加熱処理し、固化させ、透明電極31
を形成する。
【0056】次いで、予め用意した発光層32用の組成
物をインクジェット方式によりパターン形成する。すな
わち、インクジェット用のヘッドのノズル100から発
光層32用の組成物を噴出させて所定のパターンを形成
する。
【0057】そして、このパターン形成された発光層3
2用の組成物の層320を加熱処理し、該層320中の
共役系高分子有機化合物の前駆体を高分子化させる。す
なわち、層320を固化させ、発光層32を形成する。
【0058】図2に示すように、最後に、電極33を例
えば、スパッターあるいは蒸着法により形成し、有機E
L素子3aが得られる。
【0059】かかるインクジェットプリンティング、す
なわちインクジェット方式によれば、微細なパターニン
グを容易に、短時間で、かつ正確に行うことができる。
また、組成物の吐出量の増減により膜厚の調整を容易か
つ正確に行うことができるので、それによって膜の性状
や発色バランス、輝度等の発色能を容易かつ自由に制御
することができる。
【0060】従って、所望の特性、寸法、パターンを有
する有機EL素子3aを基板2上、特にTFT(薄膜ト
ランジスタ)回路、あるいは一般の単結晶Siベースの
IC等のように微細な素子が集積されている基板2上
に、容易に形成することができる。
【0061】図2に示すように、導光路4は、SiO
層41と、SiO 層43と、これらSiO 層4
1とSiO 層43の間に設けられたITO層42と
で構成されている。この場合、基板2上にSiO
41が形成されている。
【0062】SiO 層41の厚さは、50nm〜10
μm 程度とするのが好ましい。
【0063】また、ITO層42の厚さは、30nm〜1
0μm 程度とするのが好ましい。
【0064】また、SiO 層43の厚さは、50nm
〜10μm 程度とするのが好ましい。
【0065】図1に示すように、この導光路4は、少な
くとも有機EL素子3a(発光素子3)から後述するP
INフォトダイオード5a(受光素子5)まで延在して
おり、有機EL素子3aからの光をPINフォトダイオ
ード5aへ導く。
【0066】この導光路4は、既存の薄膜形成法(CV
D、PVD等)とフォトリソグラフィーとを用いて製造
することができる。
【0067】さらに、導光路4は、前述した有機EL素
子3aのように、インクジェットプリンティングにより
製造することもできる。すなわち、導光路4を構成する
少なくとも1つの薄膜(層)は、前述した有機EL素子
3aのように、所定の組成物をインクジェット方式によ
りパターン形成し、それを固化させて製造できる。この
場合には、前述したインクジェットプリンティングによ
る効果が得られる。
【0068】受光素子5としては、例えば、PINフォ
トダイオードを用いることができる。
【0069】図4は、受光素子5としてPINフォトダ
イオードを用いた場合のその構成例と、導光路4の構成
例とを示す断面図である。
【0070】同図に示すように、PINフォトダイオー
ド5aは、受光部窓電極51と、p型a−SiC層(p
型半導体層)52と、i型a−Si層(半導体層)53
と、n型a−SiC層(n型半導体層)54と、受光部
上部電極と配線(電気配線)を兼ねたAl−Si−Cu
層55とで構成されている。
【0071】これら受光部窓電極51、p型a−SiC
層52、i型a−Si層53、n型a−SiC層54お
よびAl−Si−Cu層55は、図4中下側からこの順
序で積層されている。
【0072】このPINフォトダイオード5aは、その
受光部窓電極51が前述した導光路4のITO層42と
対面するように、該導光路4上に設置されている。な
お、導光路4の前記受光部窓電極51と対応する部分に
は、SiO 層43は形成されていない。
【0073】受光部窓電極51は、例えば、ITO等で
構成されている。
【0074】この受光部窓電極51の厚さは、50nm〜
1μm 程度とするのが好ましい。
【0075】また、1例として、p型a−SiC層5
2、i型a−Si層53、n型a−SiC層54および
Al−Si−Cu層55の厚さは、それぞれ、50nm、
800nm、50nmおよび1μm とすることができる。
【0076】但し、前記各層の厚さは、それぞれ、前記
の値に限定されない。すなわち、各層の厚さに関して
は、相当なバリエーションが存在し、各層の厚さは、そ
れぞれ、かなりの自由度を有する。
【0077】このPINフォトダイオード5aは、前述
した有機EL素子3aのように、インクジェットプリン
ティングにより製造することもできる。すなわち、PI
Nフォトダイオード5aを構成する少なくとも1つの薄
膜(層)は、前述した有機EL素子3aのように、所定
の組成物をインクジェット方式によりパターン形成し、
それを固化させて製造できる。この場合には、前述した
インクジェットプリンティングによる効果が得られる。
【0078】また、本発明では、受光素子5としては、
前述したPINフォトダイオード5aの他に、有機系の
光検出材料(有機素子)を用いることができる。この有
機系の光検出材料としては、例えは、前述した有機EL
素子3aと同様のものを用いることができる。例えば、
PPVとシアノ−PPVの混合物等が使用される。
【0079】図1に示すように、前述したPINフォト
ダイオード5aには、増幅回路6の入力側が接続されて
いる。
【0080】増幅回路6としては、例えば、図5に示す
PチャネルおよびNチャネルのMOS−FET(電解効
果トランジスタ)を有するCMOS型のデジタル増幅回
路61、図6に示すバイポーラトランジスタおよびMO
S−FETを有するBi−CMOS型のデジタル増幅回
路62、図7および図8に示す電流増幅器(アナログ増
幅回路)631とA/D変換器632とで構成された増
幅回路63等が挙げられる。
【0081】なお、増幅回路63の場合には、電気信号
(アナログ信号)は、電流増幅器631に入力され、そ
の電流値(信号のレベル)が増幅されて、A/D変換器
632に入力される。そして、この増幅された信号は、
A/D変換器632でアナログ信号からデジタル信号に
変換され、出力される。
【0082】図1に示すように、前述した増幅回路6の
出力側には、配線7を介して所定の回路8が接続されて
いる。
【0083】回路8としては、例えば、Si単結晶上に
形成されたFET(電界効果トランジスタ)を有する回
路や、TFT(薄膜トランジスタ)を有する回路等が挙
げられる。
【0084】次に、装置1の作用を説明する。
【0085】前述したように、図示しない送信側の回路
では、発信(生成)された電気信号が駆動回路に入力さ
れ、この駆動回路は、その電気信号に基づいて、有機E
L素子3a(発光素子3)を駆動し、発光させる。これ
により、光信号(光)が生成される。すなわち、有機E
L素子3aは、駆動回路により駆動されて、前記電気信
号を光信号(光)に変換し、それを送出(送信)する。
【0086】この場合、図2に示すように、有機EL素
子3aの発光層32からの光は、図2中の矢印で示すよ
うに、透明電極31およびSiO 層43を透過し、
ITO層42に入射する。そして、その光は、以降、S
iO 層41とITO層42の界面およびSiO
43とITO層42の界面で反射を繰り返しつつITO
層42内をPINフォトダイオード5a(受光素子5)
に向って進む。
【0087】図4に示すように、有機EL素子3aから
の光は、図4中の矢印で示すように、受光部窓電極51
から入射する。すなわち、PINフォトダイオード5a
で受光される。
【0088】そして、PINフォトダイオード5aから
は、受光光量に応じた大きさの電流、すなわち電気信号
(信号)が出力される(光信号が電気信号に変換され出
力される)。
【0089】PINフォトダイオード5aからの信号
は、増幅回路6で増幅され、配線7を介して回路8に入
力される。回路8は、この信号に基づいて作動する。
【0090】以上説明したように、この装置1によれ
ば、微細な素子を集積した装置1内において主に光通信
により情報(信号)を伝達するようになっているので、
有機EL素子3aとPINフォトダイオード5aとの間
では電気配線の抵抗による発熱がなく、これにより、装
置1からの発熱を低減することができる。
【0091】また、有機EL素子3aとPINフォトダ
イオード5aとの間では信号の遅延がないので、応答性
の良い装置(回路)を実現することができる。
【0092】また、有機EL素子3a、導光路4、PI
Nフォトダイオード5a等は、インクジェットプリンテ
ィングにより基板2上に形成した場合、装置1の生産性
が向上し、量産に有利である。
【0093】次に、本発明の光伝達手段を備えた装置の
他の実施例を説明する。
【0094】図9は、本発明の光伝達手段を備えた装置
の他の実施例の主要部を模式的に示す図である。なお、
図9は、平面図である。
【0095】図9に示す装置(半導体デバイス)10で
は、発光部が発光特性(本実施例では発光する光のピー
ク波長)の異なる複数(本実施例では3つ)の発光素子
30で構成され、受光部が対応する前記発光素子30か
らの光を受光する複数(本実施例では3つ)の受光素子
50で構成されている。このような構成により、同一の
導光路4を用いて複数(本実施例では3種)の情報(信
号)を同時に通信することができる。以下、この装置1
0を具体的に説明する。
【0096】図9に示すように、装置10は、基板2を
有している。この基板2上には、複数(本実施例では3
つ)の発光素子30と、各発光素子30を駆動する図示
しない駆動回路と、複数(本実施例では3つ)の受光素
子(光検出素子)50と、前記発光素子30からの光を
前記受光素子50へ導く導光路(導波路)4と、複数
(本実施例では3つ)の増幅回路60と、複数(本実施
例では3つ)の配線(電気配線)70と、回路8とが、
それぞれ設置されている。
【0097】すなわち、基板2上には、3つの発光素子
30と、前記駆動回路を構成する各素子およびその配線
と、導光路4と、3つの受光素子50と、3つの増幅回
路60を構成する各素子およびその配線と、3つの配線
70と、回路8を構成する各素子およびその配線とが集
積されている。
【0098】基板2の構成材料としては、例えば、各種
ガラス、Si単結晶、セラミックス、石英等が挙げられ
る。
【0099】また、発光素子30、導光路4および受光
素子50は、それぞれ、一部分または全部が薄膜で構成
されている。
【0100】前述したように、この装置10における各
発光素子30は、発光する光のピーク波長が異なる。こ
こで、前記3つの発光素子30が発光する光のピーク波
長をそれぞれ、λ 、λ およびλ とする。これ
らλ 、λ およびλ は、受光素子50側で選択
的に受光できるように、ある程度乖離しているのが好ま
しい。
【0101】この装置10における各発光素子30は、
有機EL層(発光層32)の材料や組成をそれぞれ変え
たり、また、フィルター特性をそれぞれ変えることで構
成することができる。
【0102】図10は、発光素子30の構成例と、導光
路4の構成例とを示す断面図である。
【0103】同図に示すように、各発光素子30は、透
明電極31と、発光層(有機EL)32と、金属電極3
3と、遮光部とインク拡がり防止用壁とを兼ねた隔壁
(バンク)34とで構成された有機EL素子3aと、光
学フィルター35とで構成されている。各発光素子30
は、後述する導光路4上に設置されている。以下、具体
的に発光素子30の構造を説明する。
【0104】隔壁34は、後述する導光路4のSiO
層43上に形成されている。
【0105】また、透明電極31、発光層32および光
学フィルター35は、それぞれ、隔壁34の内側に形成
されている。この場合、SiO 層43上に、光学フ
ィルター35が形成され、該光学フィルター35上に透
明電極31が形成され、該透明電極31上に発光層32
が形成されている。
【0106】そして、前記隔壁34および発光層32上
に金属電極33が形成されている。この金属電極は、各
有機EL素子3aの共通電極となっている。
【0107】次に、発光層32について述べる。発光物
質として、有機ELを用いると、発光波長の選択の自由
度が大きく、事実上、特定の材料を選択したり、材料を
複合化することで、あらゆる長さの波長の選択が可能で
ある。
【0108】有機発光材料としては、発光材料中の励起
子のエネルギーが有機物質の禁止帯幅に対応するHOM
O(最高被占準位)−LUMO(最低空準位)間のエネ
ルギー差に相当するようなものが選択される。例えば、
低分子、高分子、特に主鎖に共役系の発達した共役高分
子、導電性高分子や色素分子が選択される。
【0109】有機発光材料として、低分子有機材料を用
いる場合、例えば青色発光させるには、アントラセン、
PPCP、Zn(O Z) 、ジスチルベンゼン(D
SB)、その誘導体(PESB)等が用いられる。ま
た、例えば緑色発光させるには、Alq 、コロネン
等が用いられる。また、例えば赤色発光させるには、B
PPC、ペリレン、DCM等が用いられる。
【0110】また、有機発光材料として、高分子有機発
光材料を用いる場合、例えば、赤色発光をさせるために
はPAT等、オレンジ色発光をさせるにはMEH−PP
V等、青色発光をさせるにはPDAF、FP−PPP、
RO−PPP、PPP等、紫色発光をさせるにはPMP
S等が用いられる。
【0111】その他、有機発光材料として、PPV、R
O−PPV、CN−PPV、PdPhQ 、PQ
PVK(ポリ(N−ビニルカルバゾール))、PPS、
PNPS、PBPS等が用いられる。
【0112】特に、PVKは、Eu錯体等キャリア輸送
能力の劣る色素分子等のドーパントインクの混合濃度や
吐出回数を制御することで発光波長(発光色)を変える
ことができる。
【0113】例えば、PVKからなる有機発光材料に蛍
光色素をドープすると発光色を調節することができる。
【0114】PVKに、1,1,4,4−テトラフェニ
ル−1,3,−ブタジエン(TPB)、クマリン6、D
CM1の色素をドープすると、それぞれ、発光色を青
色、緑色、オレンジ色にすることができる。
【0115】また、PVKに3種類の色素を同時にドー
プすると幅広いスペクトルが得られる。
【0116】また、PPVにローダミンBやDCMをド
ープ可能に構成する場合には、発光色を緑から赤まで任
意に変えることができる。
【0117】また、光の波長(ピーク波長や波長帯域
等)は、光学フィルター35によってもある程度調節可
能である。
【0118】白色光のような波長帯域(帯域)の広い光
が発光され、その波長を調節する場合には、光学フィル
ター35として、通常の吸収型の光学カラーフィルター
(色フィルター)を用いることができ、これにより所望
の色(波長)の光のみを通過させて光信号にすることが
できる。
【0119】また、光学フィルター35としては、例え
ば、分布反射型多層膜ミラー(DBRミラー)を用いる
こともできる。例えば、有機EL素子3aから発光した
光は、通常100nm以上の波長帯域(波長の広がり)を
有するが、光学フィルター35としてDBRミラーを用
いると、この波長を狭帯域化(波長の広がりを狭く)す
ることができる。そして、複数のDBRミラーを用いる
と、例えば、100nm程度の波長帯域を有する光から、
異なるピーク波長を有し、鋭いピークを持つ複数の光を
得ることができる。
【0120】このように有機EL素子3aの発光層32
の材料を変えることによっても各発光素子30のピーク
波長をそれぞれ、λ 、λ およびλ に設定する
ことができ、また、光学フィルター35を変えることに
よっても各発光素子30のピーク波長をそれぞれ、λ
、λ およびλ に設定することができる。
【0121】但し、有機EL素子3aの発光層32の材
料を変え、かつ、光学フィルター35を変えることによ
り、各発光素子30のピーク波長をそれぞれ、λ
λおよびλ に設定するのが好ましい。
【0122】前記DBRミラーは、屈折率の異なる複数
の薄膜を積層したもの、特に、屈折率の異なる2種の薄
膜で構成されたペアを複数有するもの(周期的に積層し
たもの)である。
【0123】前記薄膜を構成する構成成分としては、例
えば、半導体材料や誘電体材料等が挙げられ、これらの
うちでは誘電体材料が好ましい。これらは、通常の真空
成膜法を用いて、形成することができる。また、誘電体
材料は、有機溶媒に可溶な有機化合物を出発原料として
用いることができ、前述したインクジェット方式による
パターン形成への適用が容易となる。
【0124】各発光素子30の有機EL素子3aは、前
述した装置1の有機EL素子3aのように、インクジェ
ットプリンティングにより製造することもできる。すな
わち、各発光素子30の有機EL素子3aを構成する少
なくとも1つの薄膜(層)は、前述した装置1の有機E
L素子3aのように、所定の組成物をインクジェット方
式によりパターン形成し、それを固化させて製造でき
る。この場合には、前述したインクジェットプリンティ
ングによる効果が得られる。
【0125】また、各発光素子30のDBRミラー(光
学フィルター35)を構成する薄膜は、液相成膜法によ
り形成されることもできる。
【0126】前記液相成膜法とは、前記薄膜を構成する
構成成分を溶媒に溶解または分散させた組成物(液体)
を薄膜材料(塗布液)とし、該薄膜材料を気化させない
で薄膜を形成する方法を言う。
【0127】さらに好ましくは、各DBRミラーは、前
述した装置1の有機EL素子3aのように、インクジェ
ットプリンティングにより製造するのがよい。すなわ
ち、各DBRミラーを構成する各薄膜は、前述した装置
1の有機EL素子3aのように、前記組成物をインクジ
ェット方式によりパターン形成し、それを固化させて製
造できる。この場合には、前述したインクジェットプリ
ンティングによる効果が得られる。
【0128】図10に示すように、導光路4は、SiO
層41と、SiO 層43と、これらSiO
41とSiO 層43の間に設けられたITO層42
とで構成されている。この場合、基板2上にSiO
層41が形成されている。
【0129】SiO 層41、ITO層42およびS
iO 層43の厚さは、それぞれ、前述した装置1の
それと同様であるので説明を省略する。
【0130】図9に示すように、この導光路4は、少な
くとも各発光素子30から各受光素子50まで延在して
おり、各発光素子30からの光をそれぞれ対応する受光
素子50へ導く。
【0131】この導光路4は、前述した有機EL素子3
aのように、インクジェットプリンティングにより製造
できる。すなわち、導光路4を構成する少なくとも1つ
の薄膜(層)は、前述した有機EL素子3aのように、
所定の組成物をインクジェット方式によりパターン形成
し、それを固化させて製造する。この場合には、前述し
たインクジェットプリンティングによる効果が得られ
る。
【0132】受光素子50としては、例えば、PINフ
ォトダイオードと所定の光学フィルターとで構成するこ
とができ、また、前述した装置1と同様の有機素子と所
定の光学フィルターとで構成することができる。
【0133】図11は、受光素子50の構成例と、導光
路4の構成例とを示す断面図、図12は、図11中のA
−A線での断面図である。
【0134】これらの図に示すように、各受光素子50
は、受光部窓電極51と、p型a−SiC層(p型半導
体層)52と、i型a−Si層(半導体層)53と、n
型a−SiC層(n型半導体層)54と、受光部上部電
極と配線(電気配線)を兼ねたAl−Si−Cu層55
とで構成されたPINフォトダイオード5aと、光学フ
ィルター56とで構成されている。
【0135】これら光学フィルター56、受光部窓電極
51、p型a−SiC層52、i型a−Si層53、n
型a−SiC層54およびAl−Si−Cu層55は、
図11中下側からこの順序で積層されている。この場
合、光学フィルター56は、受光部窓電極51を覆うよ
うに形成されている。
【0136】各受光素子50は、その受光部窓電極51
が光学フィルター56を介して前述した導光路4のIT
O層42と対面するように、該導光路4上に設置されて
いる。なお、導光路4の前記受光部窓電極51と対応す
る部分には、SiO 層43は形成されていない。
【0137】受光部窓電極51の構成材料およびその厚
さは、それぞれ、前述した装置1のそれと同様であるの
で説明を省略する。
【0138】また、p型a−SiC層52、i型a−S
i層53、n型a−SiC層54およびAl−Si−C
u層55の厚さは、それぞれ、前述した装置1のそれと
同様であるので説明を省略する。
【0139】各受光素子50の光学フィルター56は、
対応する発光素子30からの光のピーク波長が、それぞ
れ、λ 、λ およびλ であるとき、前記対応す
る発光素子30からの光(λ 、λ およびλ
うちの所定の1つの波長をピーク波長とする光)のみを
選択的に最大限通過させるように、それぞれ、光学特性
が設定されている。
【0140】これら光学フィルター56としては、例え
ば、前述した分布反射型多層膜ミラー(DBRミラー)
を用いることができる。光学フィルター56としてDB
Rミラーを用いると、光学カラーフィルターを用いるよ
りも、より狭い波長帯域の光を選択でき、波長の長さ方
向の分解能が高まる。
【0141】各受光素子50のPINフォトダイオード
5aは、前述した有機EL素子3aのように、インクジ
ェットプリンティングによっても製造できる。すなわ
ち、PINフォトダイオード5aを構成する少なくとも
1つの薄膜(層)は、前述した有機EL素子3aのよう
に、所定の組成物をインクジェット方式によりパターン
形成し、それを固化させて製造できる。この場合には、
前述したインクジェットプリンティングによる効果が得
られる。
【0142】また、各受光素子50のDBRミラー(光
学フィルター56)を構成する薄膜は、前述した液相成
膜法によっても形成することができる。
【0143】さらに好ましくは、各DBRミラーは、前
述した有機EL素子3aのように、インクジェットプリ
ンティングにより製造するのがよい。すなわち、各DB
Rミラーを構成する各薄膜は、前述した有機EL素子3
aのように、前記組成物をインクジェット方式によりパ
ターン形成し、それを固化させて製造するのが好まし
い。この場合には、前述したインクジェットプリンティ
ングによる効果が得られる。
【0144】図9に示すように、前述した各受光素子5
0のPINフォトダイオード5aには、それぞれ、対応
する増幅回路60の入力側が接続されている。
【0145】そして、各増幅回路60の出力側には、そ
れぞれ、対応する配線70を介して所定の回路8が接続
されている。
【0146】なお、増幅回路60および回路8について
は、それぞれ、前述した装置1のそれと同様であるので
説明を省略する。
【0147】このような装置10および前述した装置1
は、例えば、最先端の0.18μmルールを用いたLS
Iトランジスタから、TFTのような2〜3μm ルール
のトランジスタ回路まで、幅広い範囲の集積度に対応で
きる。
【0148】次に、装置10の作用を説明する。
【0149】各発光素子30の有機EL素子3aは、そ
れぞれ、前述したように、図示しない駆動回路により駆
動されて発光する。すなわち、各有機EL素子3aは、
それぞれ、光信号(光)を送出(送信)する。以下、代
表的に、ピーク波長がλに関する信号伝達の場合を説
明する。
【0150】図10に示すように、有機EL素子3aの
各発光層32からは、各々の発光層32の材質や構造に
応じて異なる波長の光が発せられ、それぞれ、図10中
の矢印で示すように、透明電極31を透過し、光学フィ
ルター35でさらに狭帯域化され、ピーク波長がλ
の光、λ の光およびλ の光とされて、該光学フィ
ルター35から出射される。
【0151】前記所定の光学フィルター35から出射さ
れたピーク波長がλ の光(以下、「特定波長の光」
と言う)、すなわち光学フィルター35を透過した特定
波長の光は、SiO 層43を透過し、ITO層42
に入射する。そして、その光は、以降、SiO 層4
1とITO層42の界面およびSiO 層43とIT
O層42の界面で反射を繰り返しつつITO層42内を
PINフォトダイオード5aに向って進む。
【0152】図11および図12に示すように、有機E
L素子3aからの特定波長の光は、図11および図12
中の矢印で示すように、対応する受光素子50の光学フ
ィルター56のみを透過し、対応する受光素子50のP
INフォトダイオード5aの受光部窓電極51から入射
する。すなわち、対応するPINフォトダイオード5a
のみで受光される。
【0153】なお、他の2種の発光素子30からは、そ
れぞれ、ピーク波長がλ およびλ の光が発せら
れ、導光路4によりこの受光素子50へ導かれるが、前
記両光は、それぞれ、この受光素子50の光学フィルタ
ー56でカットされ受光されない。
【0154】前記PINフォトダイオード5aからは、
受光光量に応じた大きさの電流、すなわち電気信号(信
号)が出力される(光信号が電気信号に変換され出力さ
れる)。
【0155】PINフォトダイオード5aからの信号
は、増幅回路60で増幅され、配線70を介して回路8
に入力される。回路8は、この信号に基づいて作動す
る。
【0156】なお、ピーク波長がλ およびλ に関
する信号伝達の場合もそれぞれ前記と同様である。
【0157】この装置10によれば、前述した装置1と
同様に、装置10からの発熱を低減することができ、さ
らに信号の伝達遅延が大幅に改善され、応答性の良い装
置(回路)を実現することができ、また、装置10の生
産性が向上し、量産に有利である。
【0158】そして、この装置10では、発光する光の
ピーク波長が異なる複数の発光素子30と、対応する前
記発光素子30からの光(特定波長の光)を受光する複
数の受光素子50を有しているので、同一の導光路4を
使用して同時に複数の情報を伝達することができる(同
一の導光路4を使用した多チャンネルの光通信による情
報伝達が可能となる)。このため、電気配線のみの装置
に比べ、配線の簡素化を図ることができる。そして、電
気配線のみの装置に比べ、配線の占める領域を減少させ
ることができ、これにより、同一機能を有する装置を小
さく形成することができる。すなわち、集積度が高ま
る。
【0159】なお、前記装置10における各発光素子3
0や各受光素子50は、図9中横方向に並んでいるが、
本発明では、それらが、それぞれ、図9中縦方向に並ん
でいてもよい。
【0160】また、前記装置10における光学フィルタ
ー35や光学フィルター56は、本発明では、DBRミ
ラーに限らず、この他、例えば、光学カラーフィルター
等で構成してもよい。
【0161】また、前記装置10において、光学フィル
ター35を省略し、有機EL素子3aの発光層32の発
光特性(特に、発光する光のピーク波長)を変えること
で、発光素子30の発光特性(特に、発光する光のピー
ク波長)を変えてもよい。
【0162】また、本発明では、前記装置10におい
て、光学フィルター35を省略せずに、かつ有機EL素
子3aの発光層32の発光特性(特に、発光する光のピ
ーク波長)を変えてもよい。
【0163】図13は、前述した装置1または10が、
実際に、LSI回路やTFT回路のような半導体回路に
組み込まれる場合に利用される本発明の光伝送手段を備
えた装置100の実施例を示す図である。
【0164】同図に示すように、同一基板上2には、2
つの回路ブロック81(A)および82(B)が設置
(形成)されている。
【0165】回路ブロック81は、発光素子301と、
この発光素子301を駆動する駆動回路11と、受光素
子502と、増幅素子602とをそれぞれ有している。
【0166】また、回路ブロック82は、発光素子30
2と、この発光素子302を駆動する駆動回路12と、
受光素子501と、増幅素子601とをそれぞれ有して
いる。
【0167】前記発光素子301は、基板2上に設置さ
れた導光路401を介して、前記受光素子501に光を
伝達し得るように、該受光素子501に結合されてい
る。これと同様に、前記発光素子302は、基板2上に
設置された導光路402を介して、前記受光素子502
に光を伝達し得るように、該受光素子502に結合され
ている。
【0168】この装置100は、内部に設置された回路
ブロック81と回路ブロック82との間で、互いに、電
気信号を光信号に変換してその信号を送信・受信するこ
とができるようになっている。すなわち、回路ブロック
81から送信された光信号を回路ブロック82で受信す
ることができ、逆に、回路ブロック82から送信された
光信号を回路ブロック81で受信することができるよう
になっている。
【0169】装置100の基板2の構成材料は、前述し
た装置1と同様の構成材料でよい。
【0170】また、装置100の発光素子301、30
2、受光素子501、502、導光路401および40
2についても、それぞれ、前述した装置1と同様の材
料、構造でよく、また、前述した装置1と同様の製造プ
ロセスを適用することができる。
【0171】また、装置100の駆動回路11および1
2は、それぞれ、通常、バイポーラトランジスタやMO
S−FET等を用いた電子回路で構成される。
【0172】そして、装置100の増幅回路601およ
び602としては、それぞれ、前述した装置1と同様
に、図5、図6、図7および図8に示すような電子回路
を使用することができる。
【0173】この装置100の作用は、前述した装置1
とほぼ同様であるが、回路ブロック81および82がそ
れぞれ送信と受信とを(特に平行して)行うことができ
る点、すなわち、回路ブロック81から82への送信
と、回路ブロック82から81への送信とを(特に平行
して)行うことができる点が、装置1と異なる。
【0174】なお、この装置100では、前述した装置
1のように、光信号を形成する光として1種類の光のみ
を使用しているが、これに限らず、前述した装置10の
ように、ピーク波長の異なる複数の光を使用した送受信
機能を持たせてもよいことは言うまでもない。この場合
は、前述した装置100と、前述した装置10とを適宜
組み合わせることにより実現することができる。
【0175】本発明の光伝達手段を備えた装置は、一般
の半導体集積回路を具現化している半導体チップにおい
て、1つの半導体チップ内における回路ブロック間(所
定の回路ブロックと他の回路ブロックとの間)の信号伝
達装置、所定の半導体チップと他の半導体チップとの間
の信号伝達装置、半導体チップを実装した回路ボードと
被実装チップとの間の信号伝達装置、所定の前記回路ボ
ードと他の回路ボードとの間の信号伝達装置等に適用さ
れる。
【0176】さらに、本発明の光伝達手段を備えた装置
は、TFT回路間(所定のTFT回路と他のTFT回路
との間)の信号伝達装置や、TFT回路と一般の半導体
回路との間の信号伝達装置にも適用できる。
【0177】また、本発明の光伝達手段を備えた装置
は、例えば、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレ
イ、有機ELディスプレイ等のフラットパネルディスプ
レイに信号を送る装置にも適用できる。
【0178】以上、本発明の光伝達手段を備えた装置
を、図示の各実施例に基づいて説明したが、本発明はこ
れらに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の
機能を有する任意の構成のものに置換することができ
る。
【0179】例えば、前記各実施例では、発光素子、導
光路および受光素子が、1次元方向に設置されている
が、本発明では、発光素子、導光路および受光素子が、
2次元方向に設置(基板上に2次元方向に設置)されて
いてもよい。
【0180】また、本発明では、光伝達手段が、複数組
の発光部、受光部および導光路を有していてもよい。
【0181】また、本発明では、発光素子、導光路およ
び受光素子が、3次元方向に設置されていてもよい。以
下、この実施例を図14に基づいて簡単に説明する。
【0182】図14に示すように、この装置(半導体デ
バイス)20は、第1層20a、第2層20b、第3層
20c、第4層20dおよび第5層20eをこの順序で
基板2上に積層してなる多層の装置である。
【0183】この場合、第5層20eにおける発光部2
13と受光部227の関係は、前述した装置1や装置1
0の発光部と受光部の関係と同様である。
【0184】また、異なる層間における(基板2に対し
て垂直な方向における)発光部と該発光部に図示しない
導光路を介して接続されている受光部の関係、すなわ
ち、発光部211と受光部223の関係、発光部212
と受光部221の関係、発光部213と受光部224の
関係、発光部214と受光部222、225および22
64の関係も、それぞれ、前述した装置1や装置10の
発光部と受光部の関係と同様である。
【0185】この装置20は、例えば、下記のように製
造するのが好ましい。
【0186】まず、第1層20a、第2層20b、第3
層20c、第4層20dおよび第5層20eをそれぞれ
図示しない所定の基板上に形成する。
【0187】次いで、第1層20aを前記基板から所定
の方法で剥離し、基板2上に転写する。以下、これと同
様に、第2層20b、第3層20c、第4層20dおよ
び第5層20eを前記基板から剥離し、所定の方法で位
置合わせを行いつつ、順次、重ねる(転写する)。この
方法の詳細は、本願出願人による特開平10−1259
30号を採用することができる。
【0188】この装置20によれば、前述した装置1や
装置10と同様の効果が得られるとともに、容易に、高
集積化を図ることができる。
【0189】なお、本発明では、装置を構成する層の数
は、5層に限らず、例えば、2〜4層、または6層以上
であってもよい。
【0190】また、前記各実施例では、発光素子が、有
機EL素子で構成されているが、本発明では、発光素子
は、これに限らず、例えば、無機EL素子、発光ダイオ
ード(LED)、半導体レーザ(レーザダイオード)等
で構成されていてもよい。
【0191】また、前記各実施例では、受光素子が、P
INフォトダイオードで構成されているが、本発明で
は、受光素子は、これに限らず、例えば、PNフォトダ
イオード、アバランシェフォトダイオード等の各種フォ
トダイオード、フォトトランジスタ、フォトルミネッセ
ンス(有機フォトルミネッセンス)等で構成されていて
もよい。
【0192】また、本発明では、前記各実施例の所定の
構成要件を適宜組み合わせてもよい。
【0193】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光伝達手
段を備えた装置によれば、微細な素子を集積した装置内
において主に光通信により情報(信号)を伝達するよう
になっているので、装置からの発熱を低減することがで
き、また、信号の遅延が大幅に低減され、応答性の良い
装置(回路)を実現することができる。
【0194】また、素子を構成する薄膜をインクジェッ
ト方式によりパターン形成した場合には、微細なパター
ニングを容易に、短時間で、かつ正確に行うことができ
る。そして、組成物の吐出量の増減により膜厚の調整を
容易かつ正確に行うことができるので、それによって膜
の性状等を容易かつ自由に制御することができる。
【0195】このようにインクジェット方式により、容
易に発光および受光素子と半導体素子とのハイブリッド
化が達成できる。
【0196】従って、所望の特性、寸法、パターンを有
する素子を基板(例えば、Si単結晶基板や、TFT回
路等のように微細な素子が集積されている基板)上に、
容易に形成することができ、これにより装置の生産性が
向上し、量産に有利である。
【0197】また、発光部が、発光特性の異なる複数の
発光素子を有する場合、特に、発光部が、発光する光の
ピーク波長の異なる複数の発光素子を有する場合には、
同一の導光路を使用して同時に複数の情報を伝達するこ
とができる。このため、電気配線のみの装置に比べ、配
線の簡素化を図ることができる。そして、電気配線のみ
の装置に比べ、配線の占める領域を減少されることがで
き、また、熱の発生を抑制することができ、これにより
高集積化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光伝達手段を備えた装置の実施例の主
要部を模式的に示す図である。
【図2】本発明において、発光素子として有機EL素子
を用いた場合のその構成例と、導光路の構成例とを示す
断面図である。
【図3】インクジェットプリンティングによる有機EL
素子の製造方法を説明するための図である。
【図4】本発明において、受光素子としてPINフォト
ダイオードを用いた場合のその構成例と、導光路の構成
例とを示す断面図である。
【図5】本発明における増幅回路の構成例を示す回路図
である。
【図6】本発明における増幅回路の他の構成例を示す回
路図である。
【図7】本発明における増幅回路の他の構成例を示すブ
ロック図である。
【図8】本発明における電流増幅器の構成例を示す回路
図である。
【図9】本発明の光伝達手段を備えた装置の他の実施例
の主要部を模式的に示す図である。
【図10】本発明における発光素子の構成例と、導光路
の構成例とを示す断面図である。
【図11】本発明における受光素子の構成例と、導光路
の構成例とを示す断面図である。
【図12】図11中のA−A線での断面図である。
【図13】本発明の光伝達手段を備えた装置の他の実施
例の主要部を模式的に示す図である。
【図14】本発明の光伝達手段を備えた装置の他の実施
例の主要部を模式的に示す図である。
【符号の説明】
1、10、20、100 装置 2 基板 3、30 発光素子 301、302 発光素子 3a 有機EL素子 11、12 駆動回路 31 透明電極 32 発光層 320 層 33 金属電極 34 隔壁 35 光学フィルター 4 導光路 401、402 導光路 41 SiO 層 42 ITO層 43 SiO 層 5、50 受光素子 501、502 受光素子 5a PINフォトダイオード 51 受光部窓電極 52 p型a−SiC層 53 i型a−Si層 54 n型a−SiC層 55 Al−Si−Cu層 56 光学フィルター 6、60 増幅回路 601、602 増幅回路 61 CMOS型のデジタル増幅回路 62 Bi−CMOS型のデジタル増幅回路 63 増幅回路 631 電流増幅器 632 A/D変換器 7、70 配線 8 回路 801、802 回路ブロック 2a 第1の層 2b 第2の層 2c 第3の層 2d 第4の層 2e 第5の層 211〜214 発光部 221〜227 受光部 90 ノズル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H04B 10/28 H05B 33/14 A 10/02 G02B 6/12 B H05B 33/02 H04B 9/00 W 33/14

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 薄膜で構成された少なくとも1つの発光
    素子を有する発光部と、薄膜で構成された少なくとも1
    つの受光素子を有する受光部と、前記発光部からの光を
    前記受光部へ導く導光路とを集積してなる光伝達手段を
    備えていることを特徴とする光伝達手段を備えた装置。
  2. 【請求項2】 前記発光部、前記受光部および前記導光
    路は、少なくとも1次元方向に設置されている請求項1
    に記載の光伝達手段を備えた装置。
  3. 【請求項3】 前記発光部、前記受光部および前記導光
    路は、同一基板上に設置されている請求項1または2に
    記載の光伝達手段を備えた装置。
  4. 【請求項4】 前記発光部は、発光特性の異なる複数の
    発光素子を有する請求項1ないし3のいずれかに記載の
    光伝達手段を備えた装置。
  5. 【請求項5】 前記発光部は、発光する光のピーク波長
    が異なる複数の発光素子を有する請求項1ないし3のい
    ずれかに記載の光伝達手段を備えた装置。
  6. 【請求項6】 前記受光部は、対応する前記発光素子か
    らの光を受光する複数の受光素子を有する請求項4また
    は5に記載の光伝達手段を備えた装置。
  7. 【請求項7】 前記発光素子を構成する少なくとも1つ
    の薄膜が、インクジェット方式によりパターン形成され
    たものである請求項1ないし6のいずれかに記載の光伝
    達手段を備えた装置。
  8. 【請求項8】 前記発光素子は、有機EL素子で構成さ
    れている請求項1ないし7のいずれかに記載の光伝達手
    段を備えた装置。
  9. 【請求項9】 前記発光素子は、有機EL素子と光学フ
    ィルターとで構成されている請求項1ないし7のいずれ
    かに記載の光伝達手段を備えた装置。
  10. 【請求項10】 前記光学フィルターは、屈折率の異な
    る複数の薄膜を積層してなる分布反射型多層膜ミラーで
    ある請求項9に記載の光伝達手段を備えた装置。
  11. 【請求項11】 前記受光素子を構成する少なくとも1
    つの薄膜が、インクジェット方式によりパターン形成さ
    れたものである請求項1ないし10のいずれかに記載の
    光伝達手段を備えた装置。
  12. 【請求項12】 前記受光素子は、有機素子で構成され
    ている請求項1ないし11のいずれかに記載の光伝達手
    段を備えた装置。
  13. 【請求項13】 前記受光素子は、有機素子と光学フィ
    ルターとで構成されている請求項1ないし11のいずれ
    かに記載の光伝達手段を備えた装置。
  14. 【請求項14】 前記導光路は、薄膜で構成されている
    請求項1ないし13のいずれかに記載の光伝達手段を備
    えた装置。
  15. 【請求項15】 前記導光路を構成する少なくとも1つ
    の薄膜が、インクジェット方式によりパターン形成され
    たものである請求項14に記載の光伝達手段を備えた装
    置。
  16. 【請求項16】 薄膜トランジスタを有する請求項1な
    いし15のいずれかに記載の光伝達手段を備えた装置。
  17. 【請求項17】 同一基板上に複数の回路ブロックを有
    し、該複数の回路ブロックのそれぞれが前記発光部と前
    記受光部とを備えている請求項1ないし15のいずれか
    に記載の光伝達手段を備えた装置。
  18. 【請求項18】 前記複数の回路ブロックのうちの所定
    の回路ブロック間が、前記導光路で結合され、該回路ブ
    ロック間において、該導光路を介して信号を光により送
    信・受信するよう構成されている請求項17に記載の光
    伝達手段を備えた装置。
JP25101498A 1998-09-04 1998-09-04 光伝達手段を備えた装置 Expired - Fee Related JP4258860B2 (ja)

Priority Applications (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25101498A JP4258860B2 (ja) 1998-09-04 1998-09-04 光伝達手段を備えた装置
EP05075817A EP1569280A3 (en) 1998-09-04 1999-08-27 Device having light transmission means
CNB998020117A CN1181564C (zh) 1998-09-04 1999-08-27 带有光传输部件的装置
KR1020007004867A KR100626562B1 (ko) 1998-09-04 1999-08-27 광 전달 장치 및 이를 제조하는 방법
US09/530,754 US6430325B1 (en) 1998-09-04 1999-08-27 Device having a light transmission device
PCT/JP1999/004664 WO2000014813A1 (fr) 1998-09-04 1999-08-27 Dispositif dote de moyens de communication optiques
EP99940547A EP1043780A4 (en) 1998-09-04 1999-08-27 DEVICE WITH OPTICAL COMMUNICATION MEANS
CNB2004100040645A CN1277319C (zh) 1998-09-04 1999-08-27 带有光传输部件的装置
TW088114987A TW434899B (en) 1998-09-04 1999-08-31 Device with optical communication means
US10/175,449 US6775428B2 (en) 1998-09-04 2002-06-20 Device having a light transmission device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25101498A JP4258860B2 (ja) 1998-09-04 1998-09-04 光伝達手段を備えた装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000082807A true JP2000082807A (ja) 2000-03-21
JP4258860B2 JP4258860B2 (ja) 2009-04-30

Family

ID=17216361

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25101498A Expired - Fee Related JP4258860B2 (ja) 1998-09-04 1998-09-04 光伝達手段を備えた装置

Country Status (7)

Country Link
US (2) US6430325B1 (ja)
EP (2) EP1569280A3 (ja)
JP (1) JP4258860B2 (ja)
KR (1) KR100626562B1 (ja)
CN (2) CN1277319C (ja)
TW (1) TW434899B (ja)
WO (1) WO2000014813A1 (ja)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002026440A (ja) * 2000-06-30 2002-01-25 Seiko Epson Corp 素子実装方法と光伝送装置
JP2002299598A (ja) * 2001-04-03 2002-10-11 Fujitsu Ltd 半導体装置
JP2003077675A (ja) * 2001-06-20 2003-03-14 Showa Denko Kk 有機発光素子および発光材料
JP2003332560A (ja) * 2002-05-13 2003-11-21 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置及びマイクロプロセッサ
JP2005241897A (ja) * 2004-02-26 2005-09-08 Kyocera Corp 光電子混在基板
JP2007299674A (ja) * 2006-05-01 2007-11-15 Matsushita Electric Works Ltd 発光パネル式照明器具
JP2008134639A (ja) * 2007-11-30 2008-06-12 Kyocera Corp 半導体装置
KR101139283B1 (ko) 2002-05-13 2012-04-26 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치
JP2017508279A (ja) * 2014-01-14 2017-03-23 マサチューセッツ インスティテュート オブ テクノロジー 集積回路を形成する方法およびそれに関連する集積回路
WO2019069752A1 (ja) * 2017-10-04 2019-04-11 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子及び電子装置

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4258860B2 (ja) * 1998-09-04 2009-04-30 セイコーエプソン株式会社 光伝達手段を備えた装置
US6555890B2 (en) * 2000-05-23 2003-04-29 Sensors Unlimited, Inc. Method for combined fabrication of indium gallium arsenide/indium phosphide avalanche photodiodes and p-i-n photodiodes
TW492205B (en) * 2001-07-05 2002-06-21 Delta Optoelectronics Inc Manufacturing method of OLED
JP4522698B2 (ja) 2001-08-30 2010-08-11 シャープ株式会社 有機el装置の製造方法
US6813431B2 (en) * 2002-02-26 2004-11-02 Intel Corporation Integrated photodevice and waveguide
JP3838964B2 (ja) * 2002-03-13 2006-10-25 株式会社リコー 機能性素子基板の製造装置
CN1282909C (zh) * 2002-08-09 2006-11-01 精工爱普生株式会社 曝光头及使用该曝光头的图像形成装置
JP2004191392A (ja) * 2002-12-06 2004-07-08 Seiko Epson Corp 波長多重チップ内光インターコネクション回路、電気光学装置および電子機器
JP2004348044A (ja) * 2003-05-26 2004-12-09 Seiko Epson Corp 表示装置、表示方法及び表示装置の製造方法
JP4115403B2 (ja) * 2004-02-18 2008-07-09 キヤノン株式会社 発光体基板及び画像表示装置
KR100721551B1 (ko) * 2004-03-17 2007-05-23 삼성에스디아이 주식회사 백색 발광 유기전계발광소자 및 그를 구비하는유기전계발광표시장치
US8102447B2 (en) * 2005-01-14 2012-01-24 National University Corporation Gunma University Photographing device
US20060210215A1 (en) * 2005-03-15 2006-09-21 Shigenori Aoki Optical transceiver array
KR100775377B1 (ko) 2006-06-28 2007-11-12 전자부품연구원 전기 광 회로기판 및 그 제조방법
DE102006040788B4 (de) 2006-08-31 2013-02-07 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Integrierter Optokoppler mit organischem Lichtemitter und anorganischem Photodetektor
EP1939955A3 (en) * 2006-12-27 2015-12-23 CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement Optical device and system and method for fabricating the device
CN102856324B (zh) * 2012-09-18 2014-12-10 厦门大学 用于塑料光纤通信的硅基单片光电集成接收芯片
DE102012222461A1 (de) 2012-12-06 2014-06-12 Osram Opto Semiconductors Gmbh Organisches optoelektronisches Bauelement
US9094135B2 (en) * 2013-06-10 2015-07-28 Freescale Semiconductor, Inc. Die stack with optical TSVs
US10230458B2 (en) 2013-06-10 2019-03-12 Nxp Usa, Inc. Optical die test interface with separate voltages for adjacent electrodes
US9442254B2 (en) 2013-06-10 2016-09-13 Freescale Semiconductor, Inc. Method and apparatus for beam control with optical MEMS beam waveguide
US9435952B2 (en) 2013-06-10 2016-09-06 Freescale Semiconductor, Inc. Integration of a MEMS beam with optical waveguide and deflection in two dimensions
US9810843B2 (en) 2013-06-10 2017-11-07 Nxp Usa, Inc. Optical backplane mirror
US9766409B2 (en) 2013-06-10 2017-09-19 Nxp Usa, Inc. Optical redundancy
US10644077B1 (en) 2015-10-28 2020-05-05 Apple Inc. Display with array of light-transmitting windows
US10157590B1 (en) 2015-12-15 2018-12-18 Apple Inc. Display with localized brightness adjustment capabilities
US10163984B1 (en) 2016-09-12 2018-12-25 Apple Inc. Display with embedded components and subpixel windows

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3705309A (en) * 1971-02-05 1972-12-05 Westinghouse Electric Corp Thin film optoelectronic semiconductor device using light coupling
JPS4718350U (ja) 1971-03-30 1972-10-31
JPS57167688A (en) * 1981-04-07 1982-10-15 Omron Tateisi Electronics Co Multiwavelength light-emitting and light-receiving element
JPS57181177A (en) * 1981-04-30 1982-11-08 Omron Tateisi Electronics Co Element for light emission and detection
JPS6136982A (ja) * 1984-07-28 1986-02-21 Alps Electric Co Ltd フオトカプラ
WO1990009038A1 (en) * 1989-02-03 1990-08-09 British Telecommunications Public Limited Company Optical detector
US5315129A (en) * 1990-08-20 1994-05-24 University Of Southern California Organic optoelectronic devices and methods
US5233187A (en) * 1991-01-22 1993-08-03 Canon Kabushiki Kaisha Multi-wavelength light detecting and/or emitting apparatuses having serially arranged grating directional couplers
JPH0697420A (ja) * 1992-09-14 1994-04-08 Nippon Steel Corp 光結合素子
JPH0697489A (ja) * 1992-09-10 1994-04-08 Hitachi Ltd 電子機器結合システム
US5528399A (en) * 1992-10-29 1996-06-18 Sharp Kabushiki Kaisha Optical address type display device with uniformly functioning optical switching elements each provided for each pixel
WO1994017556A1 (en) * 1993-01-26 1994-08-04 Fci-Fiberchem, Inc. Optical sensor with electroluminescent light source and polymer light detector
JPH06268254A (ja) * 1993-03-15 1994-09-22 Toshiba Corp 半導体装置
JPH06326348A (ja) * 1993-05-13 1994-11-25 Nippon Sheet Glass Co Ltd 光カプラ
US5555333A (en) * 1993-07-12 1996-09-10 Ricoh Company, Ltd. Optical module and a fabrication process thereof
US5504323A (en) * 1993-12-07 1996-04-02 The Regents Of The University Of California Dual function conducting polymer diodes
US5682402A (en) * 1995-01-10 1997-10-28 Hitachi, Ltd. Organic luminescent devices with a multiplex structure
JP3401356B2 (ja) * 1995-02-21 2003-04-28 パイオニア株式会社 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法
JP3036436B2 (ja) * 1996-06-19 2000-04-24 セイコーエプソン株式会社 アクティブマトリックス型有機el表示体の製造方法
GB2315594B (en) * 1996-07-22 2000-08-16 Cambridge Display Tech Ltd Sensing device
EP1365443A3 (en) * 1996-09-19 2004-11-17 Seiko Epson Corporation Matrix type display device and manufacturing method thereof
JP3899566B2 (ja) * 1996-11-25 2007-03-28 セイコーエプソン株式会社 有機el表示装置の製造方法
JP4258860B2 (ja) * 1998-09-04 2009-04-30 セイコーエプソン株式会社 光伝達手段を備えた装置

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002026440A (ja) * 2000-06-30 2002-01-25 Seiko Epson Corp 素子実装方法と光伝送装置
JP2002299598A (ja) * 2001-04-03 2002-10-11 Fujitsu Ltd 半導体装置
JP2003077675A (ja) * 2001-06-20 2003-03-14 Showa Denko Kk 有機発光素子および発光材料
KR101139283B1 (ko) 2002-05-13 2012-04-26 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치
JP2003332560A (ja) * 2002-05-13 2003-11-21 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置及びマイクロプロセッサ
JP2005241897A (ja) * 2004-02-26 2005-09-08 Kyocera Corp 光電子混在基板
JP4609374B2 (ja) * 2006-05-01 2011-01-12 パナソニック電工株式会社 発光パネル式照明器具
JP2007299674A (ja) * 2006-05-01 2007-11-15 Matsushita Electric Works Ltd 発光パネル式照明器具
JP2008134639A (ja) * 2007-11-30 2008-06-12 Kyocera Corp 半導体装置
JP2017508279A (ja) * 2014-01-14 2017-03-23 マサチューセッツ インスティテュート オブ テクノロジー 集積回路を形成する方法およびそれに関連する集積回路
US10324256B2 (en) 2014-01-14 2019-06-18 Massachusetts Institute Of Technology Method of forming an integrated circuit and related integrated circuit
WO2019069752A1 (ja) * 2017-10-04 2019-04-11 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子及び電子装置
KR20200057703A (ko) * 2017-10-04 2020-05-26 소니 세미컨덕터 솔루션즈 가부시키가이샤 고체 촬상 소자 및 전자 장치
JPWO2019069752A1 (ja) * 2017-10-04 2020-11-05 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子及び電子装置
US11350051B2 (en) 2017-10-04 2022-05-31 Sony Semiconductor Solutions Corporation Solid-state imaging element and electronic device
KR102578925B1 (ko) * 2017-10-04 2023-09-15 소니 세미컨덕터 솔루션즈 가부시키가이샤 고체 촬상 소자 및 전자 장치
JP7449695B2 (ja) 2017-10-04 2024-03-14 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子及び電子装置

Also Published As

Publication number Publication date
US6775428B2 (en) 2004-08-10
WO2000014813A1 (fr) 2000-03-16
JP4258860B2 (ja) 2009-04-30
CN1519595A (zh) 2004-08-11
EP1043780A4 (en) 2004-11-17
KR20010031799A (ko) 2001-04-16
CN1277319C (zh) 2006-09-27
CN1181564C (zh) 2004-12-22
EP1043780A1 (en) 2000-10-11
US20030026517A1 (en) 2003-02-06
EP1569280A2 (en) 2005-08-31
CN1287691A (zh) 2001-03-14
US6430325B1 (en) 2002-08-06
KR100626562B1 (ko) 2006-09-22
TW434899B (en) 2001-05-16
EP1569280A3 (en) 2006-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000082807A (ja) 光伝達手段を備えた装置
US6117529A (en) Organic electroluminescence devices and displays
US6081632A (en) Method of producing optical waveguide system, optical device and optical coupler employing the same, optical network and optical circuit board
KR100881263B1 (ko) 컬러 발광 장치
US6245393B1 (en) Method of making a display
US7567030B2 (en) Organic electroluminescent device, method of manufacturing organic electroluminescent device, and electronic apparatus
CN101322247B (zh) 电致发光装置及其制造方法
Manousiadis et al. Organic semiconductors for visible light communications
Ohmori et al. Realization of polymeric optical integrated devices utilizing organic light-emitting diodes and photodetectors fabricated on a polymeric waveguide
US7629061B2 (en) Heterostructure devices using cross-linkable polymers
KR20040093143A (ko) 컬러 발광 장치
TW201022375A (en) Color conversion film using polymeric dye, and multicolor light emitting organic el device
CN109844578A (zh) 光源单元、以及使用其的显示器及照明装置
JP2003500799A (ja) 有機発光デバイス
WO2002011209A2 (en) Method of patterning color changing media for organic light emitting diode display devices
WO2007023707A1 (ja) バイファンクション有機ダイオードによる双方向光通信方法及びそのシステム
US20030007736A1 (en) Optical transmission module and optical transceiver
JP2003264081A (ja) 赤色蛍光変換フィルタ及びそれを用いた有機発光素子
WO2010010730A1 (ja) 色変換基板の製造方法
CN114300504A (zh) 显示面板
CN102138364A (zh) 共轭高分子共聚物、使用该共聚物的色变换膜和多色发光有机el器件
KR20040086276A (ko) 주사 디스플레이
CN113410744B (zh) 一种多功能有机薄膜激光器件、制备方法及其应用
JP2010541138A (ja) 波長変換器を備えた発光デバイスおよび波長変換器を備えた発光デバイスの製造方法
JP2003014995A (ja) 光伝送モジュール、及び光トランシーバ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040322

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071225

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080131

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080527

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080725

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081014

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081208

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090120

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090202

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130220

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130220

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees