JP2000082807A - 光伝達手段を備えた装置 - Google Patents
光伝達手段を備えた装置Info
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Abstract
の光伝達手段、特に、集積度を高めることができる光伝
達手段を備えた装置を提供する。 【解決手段】装置(半導体デバイス)1は、基板2を有
している。この基板2上には、発光素子3と、この発光
素子3を駆動する図示しない駆動回路と、受光素子(光
検出素子)5と、前記発光素子3からの光を前記受光素
子5へ導く導光路(導波路)4と、増幅回路6と、配線
(電気配線)7と、回路8とが、それぞれ設置されてい
る。発光素子3からの光(光信号)は、導光路4を経
て、受光素子5で受光され、光電変換される。受光素子
5からの電気信号は、増幅回路6で増幅され、配線7を
介して回路8に入力される。回路8は、この電気信号に
基づいて作動する。
Description
た装置に関する。
液晶表示素子)等の装置では、所定の素子と所定の素子
とを電気配線で接続し、電気信号のみで情報を伝達して
回路を駆動している。
配線(配線)に付随する容量および配線抵抗のために、
信号が遅延するという欠点がある。半導体デバイスの高
密度化が進めば進む程、この信号の遅延は大きくなり、
それが半導体デバイスの高速化の大きな障害になってい
る。また、配線抵抗により発熱するという欠点がある。
られているが、その用途は、比較的大型の装置に限られ
ている。
信号による情報の伝達方式とは異なる方式の光伝達手
段、特に、集積度と高速性を高めることができる光伝達
手段を備えた装置を提供することにある。
(1)〜(18)の本発明により達成される。
の発光素子を有する発光部と、薄膜で構成された少なく
とも1つの受光素子を有する受光部と、前記発光部から
の光を前記受光部へ導く導光路とを集積してなる光伝達
手段を備えていることを特徴とする光伝達手段を備えた
装置。
記導光路は、少なくとも1次元方向に設置されている上
記(1)に記載の光伝達手段を備えた装置。
記導光路は、同一基板上に設置されている上記(1)ま
たは(2)に記載の光伝達手段を備えた装置。
複数の発光素子を有する上記(1)ないし(3)のいず
れかに記載の光伝達手段を備えた装置。
ク波長が異なる複数の発光素子を有する上記(1)ない
し(3)のいずれかに記載の光伝達手段を備えた装置。
素子からの光を受光する複数の受光素子を有する上記
(4)または(5)に記載の光伝達手段を備えた装置。
も1つの薄膜が、インクジェット方式によりパターン形
成されたものである上記(1)ないし(6)のいずれか
に記載の光伝達手段を備えた装置。
構成されている上記(1)ないし(7)のいずれかに記
載の光伝達手段を備えた装置。
光学フィルターとで構成されている上記(1)ないし
(7)のいずれかに記載の光伝達手段を備えた装置。
異なる複数の薄膜を積層してなる分布反射型多層膜ミラ
ーである上記(9)に記載の光伝達手段を備えた装置。
も1つの薄膜が、インクジェット方式によりパターン形
成されたものである上記(1)ないし(10)のいずれか
に記載の光伝達手段を備えた装置。
されている上記(1)ないし(11)のいずれかに記載の
光伝達手段を備えた装置。
フィルターとで構成されている上記(1)ないし(11)
のいずれかに記載の光伝達手段を備えた装置。
いる上記(1)ないし(13)のいずれかに記載の光伝達
手段を備えた装置。
1つの薄膜が、インクジェット方式によりパターン形成
されたものである上記(14)に記載の光伝達手段を備え
た装置。
(1)ないし(15)のいずれかに記載の光伝達手段を備
えた装置。
を有し、該複数の回路ブロックのそれぞれが前記発光部
と前記受光部とを備えている上記(1)ないし(15)の
いずれかに記載の光伝達手段を備えた装置。
所定の回路ブロック間が、前記導光路で結合され、該回
路ブロック間において、該導光路を介して信号を光によ
り送信・受信するよう構成されている上記(17)に記載
の光伝達手段を備えた装置。
た装置を添付図面に示す好適実施例に基づいて詳細に説
明する。
の実施例の主要部を模式的に示す図である。
ス)1は、基板2を有している。この基板2上には、発
光素子3と、この発光素子3を駆動する駆動回路を備
え、発光素子3に信号を送り出す図示しない回路(送信
側の回路)と、受光素子(光検出素子)5と、前記発光
素子3からの光を前記受光素子5へ導く導光路(導波
路)4と、増幅回路6と、配線(電気配線)7と、回路
8とが、それぞれ設置されている。
前記駆動回路を備えた信号を送り出す回路を構成する各
素子およびその配線と、導光路4と、受光素子5と、増
幅回路6を構成する各素子およびその配線と、配線7
と、回路8を構成する各素子およびその配線とが集積さ
れている。
ガラス、Si単結晶、セラミックス、石英等が挙げられ
る。
子5は、それぞれ、一部分または全部が薄膜で構成され
ている。
され、前記受光素子5により受光部が構成される。
光素子5により、光伝達手段が構成される。
例えば、有機EL素子を用いることができる。
用いた場合のその構成例と、導光路4の構成例とを示す
断面図である。
透明電極31と、発光層(有機EL)32と、金属電極
33と、遮光部とインク拡がり防止用壁とを兼ねた隔壁
(バンク)34とで構成されている。この有機EL素子
3aは、後述する導光路4上に設置されている。以下、
具体的に有機EL素子3aの構造を説明する。
層43上に形成されている。
それぞれ、隔壁34の内側に形成されている。この場
合、SiO2 層43上に透明電極31が形成され、該
透明電極31上に発光層32が形成されている。
に金属電極33が形成されている。
される。
0nm程度とするのが好ましい。
2を形成する共役系高分子有機化合物の前駆体そのもの
を、あるいは該前駆体と、発光層32の発光特性を変化
させるための蛍光色素等を所定の溶媒に溶解または分散
させた有機EL素子用組成物(発光層32用の組成物)
を加熱処理し、その有機EL素子用組成物中の前記前駆
体を高分子化した薄膜(固体薄膜)で構成される。ある
いは、他の例として、前記発光層32は、有機溶媒に可
溶な共役系高分子そのものを、あるいは該共役系高分子
と、発光層32の発光特性を変化させるための蛍光色素
等を有機溶媒に溶解させた組成物(発光層32用の組成
物)を乾燥あるいは加熱処理して得た高分子の薄膜で構
成される。
nm程度とするのが好ましい。
構成される。
0nm程度とするのが好ましい。
2 等で構成される。
発光層32の合計の厚さより大きくするのが好ましい。
素子3aを駆動する図示しない駆動回路を備えた送信側
の回路が設置されている。
から透明電極31と金属電極33との間に所定の電圧が
印加されると、発光層32に電子および正孔(ホール)
が注入され、それらは印加された電圧によって生じる電
場により発光層32中を移動し再結合する。この再結合
に際しエキシトン(励起子)が生成し、このエキシトン
が基底状態へ戻る際にエネルギー(蛍光・リン光)を放
出する。すなわち、発光する。なお、上記の現象をEL
発光と言う。
する。
ングにより、有機EL素子3aを製造する。
製造方法とは、インクジェット方式により、すなわち所
定の組成物(吐出液)をヘッドから吐出(噴出)させ
て、所定の薄膜(層)材料をパターン形成し、それを固
化して薄膜とする方法を言う。以下、具体的にインクジ
ェットプリンティングによる有機EL素子3aの製造方
法を説明する。
よる有機EL素子3aの製造方法を説明するための図で
ある。
ば、フォトリソグラフィーにより形成する。
成物をインクジェット方式によりパターン形成する。す
なわち、インクジェット用のヘッドのノズル90から透
明電極31用の組成物を噴出させて所定のパターンを形
成する。
31用の組成物を加熱処理し、固化させ、透明電極31
を形成する。
物をインクジェット方式によりパターン形成する。すな
わち、インクジェット用のヘッドのノズル100から発
光層32用の組成物を噴出させて所定のパターンを形成
する。
2用の組成物の層320を加熱処理し、該層320中の
共役系高分子有機化合物の前駆体を高分子化させる。す
なわち、層320を固化させ、発光層32を形成する。
えば、スパッターあるいは蒸着法により形成し、有機E
L素子3aが得られる。
なわちインクジェット方式によれば、微細なパターニン
グを容易に、短時間で、かつ正確に行うことができる。
また、組成物の吐出量の増減により膜厚の調整を容易か
つ正確に行うことができるので、それによって膜の性状
や発色バランス、輝度等の発色能を容易かつ自由に制御
することができる。
する有機EL素子3aを基板2上、特にTFT(薄膜ト
ランジスタ)回路、あるいは一般の単結晶Siベースの
IC等のように微細な素子が集積されている基板2上
に、容易に形成することができる。
層41と、SiO2 層43と、これらSiO2 層4
1とSiO2 層43の間に設けられたITO層42と
で構成されている。この場合、基板2上にSiO2 層
41が形成されている。
μm 程度とするのが好ましい。
0μm 程度とするのが好ましい。
〜10μm 程度とするのが好ましい。
くとも有機EL素子3a(発光素子3)から後述するP
INフォトダイオード5a(受光素子5)まで延在して
おり、有機EL素子3aからの光をPINフォトダイオ
ード5aへ導く。
D、PVD等)とフォトリソグラフィーとを用いて製造
することができる。
子3aのように、インクジェットプリンティングにより
製造することもできる。すなわち、導光路4を構成する
少なくとも1つの薄膜(層)は、前述した有機EL素子
3aのように、所定の組成物をインクジェット方式によ
りパターン形成し、それを固化させて製造できる。この
場合には、前述したインクジェットプリンティングによ
る効果が得られる。
トダイオードを用いることができる。
イオードを用いた場合のその構成例と、導光路4の構成
例とを示す断面図である。
ド5aは、受光部窓電極51と、p型a−SiC層(p
型半導体層)52と、i型a−Si層(半導体層)53
と、n型a−SiC層(n型半導体層)54と、受光部
上部電極と配線(電気配線)を兼ねたAl−Si−Cu
層55とで構成されている。
層52、i型a−Si層53、n型a−SiC層54お
よびAl−Si−Cu層55は、図4中下側からこの順
序で積層されている。
受光部窓電極51が前述した導光路4のITO層42と
対面するように、該導光路4上に設置されている。な
お、導光路4の前記受光部窓電極51と対応する部分に
は、SiO2 層43は形成されていない。
構成されている。
1μm 程度とするのが好ましい。
2、i型a−Si層53、n型a−SiC層54および
Al−Si−Cu層55の厚さは、それぞれ、50nm、
800nm、50nmおよび1μm とすることができる。
の値に限定されない。すなわち、各層の厚さに関して
は、相当なバリエーションが存在し、各層の厚さは、そ
れぞれ、かなりの自由度を有する。
した有機EL素子3aのように、インクジェットプリン
ティングにより製造することもできる。すなわち、PI
Nフォトダイオード5aを構成する少なくとも1つの薄
膜(層)は、前述した有機EL素子3aのように、所定
の組成物をインクジェット方式によりパターン形成し、
それを固化させて製造できる。この場合には、前述した
インクジェットプリンティングによる効果が得られる。
前述したPINフォトダイオード5aの他に、有機系の
光検出材料(有機素子)を用いることができる。この有
機系の光検出材料としては、例えは、前述した有機EL
素子3aと同様のものを用いることができる。例えば、
PPVとシアノ−PPVの混合物等が使用される。
ダイオード5aには、増幅回路6の入力側が接続されて
いる。
PチャネルおよびNチャネルのMOS−FET(電解効
果トランジスタ)を有するCMOS型のデジタル増幅回
路61、図6に示すバイポーラトランジスタおよびMO
S−FETを有するBi−CMOS型のデジタル増幅回
路62、図7および図8に示す電流増幅器(アナログ増
幅回路)631とA/D変換器632とで構成された増
幅回路63等が挙げられる。
(アナログ信号)は、電流増幅器631に入力され、そ
の電流値(信号のレベル)が増幅されて、A/D変換器
632に入力される。そして、この増幅された信号は、
A/D変換器632でアナログ信号からデジタル信号に
変換され、出力される。
出力側には、配線7を介して所定の回路8が接続されて
いる。
形成されたFET(電界効果トランジスタ)を有する回
路や、TFT(薄膜トランジスタ)を有する回路等が挙
げられる。
では、発信(生成)された電気信号が駆動回路に入力さ
れ、この駆動回路は、その電気信号に基づいて、有機E
L素子3a(発光素子3)を駆動し、発光させる。これ
により、光信号(光)が生成される。すなわち、有機E
L素子3aは、駆動回路により駆動されて、前記電気信
号を光信号(光)に変換し、それを送出(送信)する。
子3aの発光層32からの光は、図2中の矢印で示すよ
うに、透明電極31およびSiO2 層43を透過し、
ITO層42に入射する。そして、その光は、以降、S
iO2 層41とITO層42の界面およびSiO2 層
43とITO層42の界面で反射を繰り返しつつITO
層42内をPINフォトダイオード5a(受光素子5)
に向って進む。
の光は、図4中の矢印で示すように、受光部窓電極51
から入射する。すなわち、PINフォトダイオード5a
で受光される。
は、受光光量に応じた大きさの電流、すなわち電気信号
(信号)が出力される(光信号が電気信号に変換され出
力される)。
は、増幅回路6で増幅され、配線7を介して回路8に入
力される。回路8は、この信号に基づいて作動する。
ば、微細な素子を集積した装置1内において主に光通信
により情報(信号)を伝達するようになっているので、
有機EL素子3aとPINフォトダイオード5aとの間
では電気配線の抵抗による発熱がなく、これにより、装
置1からの発熱を低減することができる。
イオード5aとの間では信号の遅延がないので、応答性
の良い装置(回路)を実現することができる。
Nフォトダイオード5a等は、インクジェットプリンテ
ィングにより基板2上に形成した場合、装置1の生産性
が向上し、量産に有利である。
他の実施例を説明する。
の他の実施例の主要部を模式的に示す図である。なお、
図9は、平面図である。
は、発光部が発光特性(本実施例では発光する光のピー
ク波長)の異なる複数(本実施例では3つ)の発光素子
30で構成され、受光部が対応する前記発光素子30か
らの光を受光する複数(本実施例では3つ)の受光素子
50で構成されている。このような構成により、同一の
導光路4を用いて複数(本実施例では3種)の情報(信
号)を同時に通信することができる。以下、この装置1
0を具体的に説明する。
有している。この基板2上には、複数(本実施例では3
つ)の発光素子30と、各発光素子30を駆動する図示
しない駆動回路と、複数(本実施例では3つ)の受光素
子(光検出素子)50と、前記発光素子30からの光を
前記受光素子50へ導く導光路(導波路)4と、複数
(本実施例では3つ)の増幅回路60と、複数(本実施
例では3つ)の配線(電気配線)70と、回路8とが、
それぞれ設置されている。
30と、前記駆動回路を構成する各素子およびその配線
と、導光路4と、3つの受光素子50と、3つの増幅回
路60を構成する各素子およびその配線と、3つの配線
70と、回路8を構成する各素子およびその配線とが集
積されている。
ガラス、Si単結晶、セラミックス、石英等が挙げられ
る。
素子50は、それぞれ、一部分または全部が薄膜で構成
されている。
発光素子30は、発光する光のピーク波長が異なる。こ
こで、前記3つの発光素子30が発光する光のピーク波
長をそれぞれ、λ1 、λ2 およびλ3 とする。これ
らλ1 、λ2 およびλ3 は、受光素子50側で選択
的に受光できるように、ある程度乖離しているのが好ま
しい。
有機EL層(発光層32)の材料や組成をそれぞれ変え
たり、また、フィルター特性をそれぞれ変えることで構
成することができる。
路4の構成例とを示す断面図である。
明電極31と、発光層(有機EL)32と、金属電極3
3と、遮光部とインク拡がり防止用壁とを兼ねた隔壁
(バンク)34とで構成された有機EL素子3aと、光
学フィルター35とで構成されている。各発光素子30
は、後述する導光路4上に設置されている。以下、具体
的に発光素子30の構造を説明する。
層43上に形成されている。
学フィルター35は、それぞれ、隔壁34の内側に形成
されている。この場合、SiO2 層43上に、光学フ
ィルター35が形成され、該光学フィルター35上に透
明電極31が形成され、該透明電極31上に発光層32
が形成されている。
に金属電極33が形成されている。この金属電極は、各
有機EL素子3aの共通電極となっている。
質として、有機ELを用いると、発光波長の選択の自由
度が大きく、事実上、特定の材料を選択したり、材料を
複合化することで、あらゆる長さの波長の選択が可能で
ある。
子のエネルギーが有機物質の禁止帯幅に対応するHOM
O(最高被占準位)−LUMO(最低空準位)間のエネ
ルギー差に相当するようなものが選択される。例えば、
低分子、高分子、特に主鎖に共役系の発達した共役高分
子、導電性高分子や色素分子が選択される。
いる場合、例えば青色発光させるには、アントラセン、
PPCP、Zn(Ox Z)2 、ジスチルベンゼン(D
SB)、その誘導体(PESB)等が用いられる。ま
た、例えば緑色発光させるには、Alq3 、コロネン
等が用いられる。また、例えば赤色発光させるには、B
PPC、ペリレン、DCM等が用いられる。
光材料を用いる場合、例えば、赤色発光をさせるために
はPAT等、オレンジ色発光をさせるにはMEH−PP
V等、青色発光をさせるにはPDAF、FP−PPP、
RO−PPP、PPP等、紫色発光をさせるにはPMP
S等が用いられる。
O−PPV、CN−PPV、PdPhQx 、PQx 、
PVK(ポリ(N−ビニルカルバゾール))、PPS、
PNPS、PBPS等が用いられる。
能力の劣る色素分子等のドーパントインクの混合濃度や
吐出回数を制御することで発光波長(発光色)を変える
ことができる。
光色素をドープすると発光色を調節することができる。
ル−1,3,−ブタジエン(TPB)、クマリン6、D
CM1の色素をドープすると、それぞれ、発光色を青
色、緑色、オレンジ色にすることができる。
プすると幅広いスペクトルが得られる。
ープ可能に構成する場合には、発光色を緑から赤まで任
意に変えることができる。
等)は、光学フィルター35によってもある程度調節可
能である。
が発光され、その波長を調節する場合には、光学フィル
ター35として、通常の吸収型の光学カラーフィルター
(色フィルター)を用いることができ、これにより所望
の色(波長)の光のみを通過させて光信号にすることが
できる。
ば、分布反射型多層膜ミラー(DBRミラー)を用いる
こともできる。例えば、有機EL素子3aから発光した
光は、通常100nm以上の波長帯域(波長の広がり)を
有するが、光学フィルター35としてDBRミラーを用
いると、この波長を狭帯域化(波長の広がりを狭く)す
ることができる。そして、複数のDBRミラーを用いる
と、例えば、100nm程度の波長帯域を有する光から、
異なるピーク波長を有し、鋭いピークを持つ複数の光を
得ることができる。
の材料を変えることによっても各発光素子30のピーク
波長をそれぞれ、λ1 、λ2 およびλ3 に設定する
ことができ、また、光学フィルター35を変えることに
よっても各発光素子30のピーク波長をそれぞれ、λ1
、λ2 およびλ3 に設定することができる。
料を変え、かつ、光学フィルター35を変えることによ
り、各発光素子30のピーク波長をそれぞれ、λ1 、
λ2およびλ3 に設定するのが好ましい。
の薄膜を積層したもの、特に、屈折率の異なる2種の薄
膜で構成されたペアを複数有するもの(周期的に積層し
たもの)である。
えば、半導体材料や誘電体材料等が挙げられ、これらの
うちでは誘電体材料が好ましい。これらは、通常の真空
成膜法を用いて、形成することができる。また、誘電体
材料は、有機溶媒に可溶な有機化合物を出発原料として
用いることができ、前述したインクジェット方式による
パターン形成への適用が容易となる。
述した装置1の有機EL素子3aのように、インクジェ
ットプリンティングにより製造することもできる。すな
わち、各発光素子30の有機EL素子3aを構成する少
なくとも1つの薄膜(層)は、前述した装置1の有機E
L素子3aのように、所定の組成物をインクジェット方
式によりパターン形成し、それを固化させて製造でき
る。この場合には、前述したインクジェットプリンティ
ングによる効果が得られる。
学フィルター35)を構成する薄膜は、液相成膜法によ
り形成されることもできる。
構成成分を溶媒に溶解または分散させた組成物(液体)
を薄膜材料(塗布液)とし、該薄膜材料を気化させない
で薄膜を形成する方法を言う。
述した装置1の有機EL素子3aのように、インクジェ
ットプリンティングにより製造するのがよい。すなわ
ち、各DBRミラーを構成する各薄膜は、前述した装置
1の有機EL素子3aのように、前記組成物をインクジ
ェット方式によりパターン形成し、それを固化させて製
造できる。この場合には、前述したインクジェットプリ
ンティングによる効果が得られる。
2 層41と、SiO2 層43と、これらSiO2 層
41とSiO2 層43の間に設けられたITO層42
とで構成されている。この場合、基板2上にSiO2
層41が形成されている。
iO2 層43の厚さは、それぞれ、前述した装置1の
それと同様であるので説明を省略する。
くとも各発光素子30から各受光素子50まで延在して
おり、各発光素子30からの光をそれぞれ対応する受光
素子50へ導く。
aのように、インクジェットプリンティングにより製造
できる。すなわち、導光路4を構成する少なくとも1つ
の薄膜(層)は、前述した有機EL素子3aのように、
所定の組成物をインクジェット方式によりパターン形成
し、それを固化させて製造する。この場合には、前述し
たインクジェットプリンティングによる効果が得られ
る。
ォトダイオードと所定の光学フィルターとで構成するこ
とができ、また、前述した装置1と同様の有機素子と所
定の光学フィルターとで構成することができる。
路4の構成例とを示す断面図、図12は、図11中のA
−A線での断面図である。
は、受光部窓電極51と、p型a−SiC層(p型半導
体層)52と、i型a−Si層(半導体層)53と、n
型a−SiC層(n型半導体層)54と、受光部上部電
極と配線(電気配線)を兼ねたAl−Si−Cu層55
とで構成されたPINフォトダイオード5aと、光学フ
ィルター56とで構成されている。
51、p型a−SiC層52、i型a−Si層53、n
型a−SiC層54およびAl−Si−Cu層55は、
図11中下側からこの順序で積層されている。この場
合、光学フィルター56は、受光部窓電極51を覆うよ
うに形成されている。
が光学フィルター56を介して前述した導光路4のIT
O層42と対面するように、該導光路4上に設置されて
いる。なお、導光路4の前記受光部窓電極51と対応す
る部分には、SiO2 層43は形成されていない。
さは、それぞれ、前述した装置1のそれと同様であるの
で説明を省略する。
i層53、n型a−SiC層54およびAl−Si−C
u層55の厚さは、それぞれ、前述した装置1のそれと
同様であるので説明を省略する。
対応する発光素子30からの光のピーク波長が、それぞ
れ、λ1 、λ2 およびλ3 であるとき、前記対応す
る発光素子30からの光(λ1 、λ2 およびλ3 の
うちの所定の1つの波長をピーク波長とする光)のみを
選択的に最大限通過させるように、それぞれ、光学特性
が設定されている。
ば、前述した分布反射型多層膜ミラー(DBRミラー)
を用いることができる。光学フィルター56としてDB
Rミラーを用いると、光学カラーフィルターを用いるよ
りも、より狭い波長帯域の光を選択でき、波長の長さ方
向の分解能が高まる。
5aは、前述した有機EL素子3aのように、インクジ
ェットプリンティングによっても製造できる。すなわ
ち、PINフォトダイオード5aを構成する少なくとも
1つの薄膜(層)は、前述した有機EL素子3aのよう
に、所定の組成物をインクジェット方式によりパターン
形成し、それを固化させて製造できる。この場合には、
前述したインクジェットプリンティングによる効果が得
られる。
学フィルター56)を構成する薄膜は、前述した液相成
膜法によっても形成することができる。
述した有機EL素子3aのように、インクジェットプリ
ンティングにより製造するのがよい。すなわち、各DB
Rミラーを構成する各薄膜は、前述した有機EL素子3
aのように、前記組成物をインクジェット方式によりパ
ターン形成し、それを固化させて製造するのが好まし
い。この場合には、前述したインクジェットプリンティ
ングによる効果が得られる。
0のPINフォトダイオード5aには、それぞれ、対応
する増幅回路60の入力側が接続されている。
れぞれ、対応する配線70を介して所定の回路8が接続
されている。
は、それぞれ、前述した装置1のそれと同様であるので
説明を省略する。
は、例えば、最先端の0.18μmルールを用いたLS
Iトランジスタから、TFTのような2〜3μm ルール
のトランジスタ回路まで、幅広い範囲の集積度に対応で
きる。
れぞれ、前述したように、図示しない駆動回路により駆
動されて発光する。すなわち、各有機EL素子3aは、
それぞれ、光信号(光)を送出(送信)する。以下、代
表的に、ピーク波長がλ1に関する信号伝達の場合を説
明する。
各発光層32からは、各々の発光層32の材質や構造に
応じて異なる波長の光が発せられ、それぞれ、図10中
の矢印で示すように、透明電極31を透過し、光学フィ
ルター35でさらに狭帯域化され、ピーク波長がλ1
の光、λ2 の光およびλ3 の光とされて、該光学フィ
ルター35から出射される。
れたピーク波長がλ1 の光(以下、「特定波長の光」
と言う)、すなわち光学フィルター35を透過した特定
波長の光は、SiO2 層43を透過し、ITO層42
に入射する。そして、その光は、以降、SiO2 層4
1とITO層42の界面およびSiO2 層43とIT
O層42の界面で反射を繰り返しつつITO層42内を
PINフォトダイオード5aに向って進む。
L素子3aからの特定波長の光は、図11および図12
中の矢印で示すように、対応する受光素子50の光学フ
ィルター56のみを透過し、対応する受光素子50のP
INフォトダイオード5aの受光部窓電極51から入射
する。すなわち、対応するPINフォトダイオード5a
のみで受光される。
れぞれ、ピーク波長がλ2 およびλ3 の光が発せら
れ、導光路4によりこの受光素子50へ導かれるが、前
記両光は、それぞれ、この受光素子50の光学フィルタ
ー56でカットされ受光されない。
受光光量に応じた大きさの電流、すなわち電気信号(信
号)が出力される(光信号が電気信号に変換され出力さ
れる)。
は、増幅回路60で増幅され、配線70を介して回路8
に入力される。回路8は、この信号に基づいて作動す
る。
する信号伝達の場合もそれぞれ前記と同様である。
同様に、装置10からの発熱を低減することができ、さ
らに信号の伝達遅延が大幅に改善され、応答性の良い装
置(回路)を実現することができ、また、装置10の生
産性が向上し、量産に有利である。
ピーク波長が異なる複数の発光素子30と、対応する前
記発光素子30からの光(特定波長の光)を受光する複
数の受光素子50を有しているので、同一の導光路4を
使用して同時に複数の情報を伝達することができる(同
一の導光路4を使用した多チャンネルの光通信による情
報伝達が可能となる)。このため、電気配線のみの装置
に比べ、配線の簡素化を図ることができる。そして、電
気配線のみの装置に比べ、配線の占める領域を減少させ
ることができ、これにより、同一機能を有する装置を小
さく形成することができる。すなわち、集積度が高ま
る。
0や各受光素子50は、図9中横方向に並んでいるが、
本発明では、それらが、それぞれ、図9中縦方向に並ん
でいてもよい。
ー35や光学フィルター56は、本発明では、DBRミ
ラーに限らず、この他、例えば、光学カラーフィルター
等で構成してもよい。
ター35を省略し、有機EL素子3aの発光層32の発
光特性(特に、発光する光のピーク波長)を変えること
で、発光素子30の発光特性(特に、発光する光のピー
ク波長)を変えてもよい。
て、光学フィルター35を省略せずに、かつ有機EL素
子3aの発光層32の発光特性(特に、発光する光のピ
ーク波長)を変えてもよい。
実際に、LSI回路やTFT回路のような半導体回路に
組み込まれる場合に利用される本発明の光伝送手段を備
えた装置100の実施例を示す図である。
つの回路ブロック81(A)および82(B)が設置
(形成)されている。
この発光素子301を駆動する駆動回路11と、受光素
子502と、増幅素子602とをそれぞれ有している。
2と、この発光素子302を駆動する駆動回路12と、
受光素子501と、増幅素子601とをそれぞれ有して
いる。
れた導光路401を介して、前記受光素子501に光を
伝達し得るように、該受光素子501に結合されてい
る。これと同様に、前記発光素子302は、基板2上に
設置された導光路402を介して、前記受光素子502
に光を伝達し得るように、該受光素子502に結合され
ている。
ブロック81と回路ブロック82との間で、互いに、電
気信号を光信号に変換してその信号を送信・受信するこ
とができるようになっている。すなわち、回路ブロック
81から送信された光信号を回路ブロック82で受信す
ることができ、逆に、回路ブロック82から送信された
光信号を回路ブロック81で受信することができるよう
になっている。
た装置1と同様の構成材料でよい。
2、受光素子501、502、導光路401および40
2についても、それぞれ、前述した装置1と同様の材
料、構造でよく、また、前述した装置1と同様の製造プ
ロセスを適用することができる。
2は、それぞれ、通常、バイポーラトランジスタやMO
S−FET等を用いた電子回路で構成される。
び602としては、それぞれ、前述した装置1と同様
に、図5、図6、図7および図8に示すような電子回路
を使用することができる。
とほぼ同様であるが、回路ブロック81および82がそ
れぞれ送信と受信とを(特に平行して)行うことができ
る点、すなわち、回路ブロック81から82への送信
と、回路ブロック82から81への送信とを(特に平行
して)行うことができる点が、装置1と異なる。
1のように、光信号を形成する光として1種類の光のみ
を使用しているが、これに限らず、前述した装置10の
ように、ピーク波長の異なる複数の光を使用した送受信
機能を持たせてもよいことは言うまでもない。この場合
は、前述した装置100と、前述した装置10とを適宜
組み合わせることにより実現することができる。
の半導体集積回路を具現化している半導体チップにおい
て、1つの半導体チップ内における回路ブロック間(所
定の回路ブロックと他の回路ブロックとの間)の信号伝
達装置、所定の半導体チップと他の半導体チップとの間
の信号伝達装置、半導体チップを実装した回路ボードと
被実装チップとの間の信号伝達装置、所定の前記回路ボ
ードと他の回路ボードとの間の信号伝達装置等に適用さ
れる。
は、TFT回路間(所定のTFT回路と他のTFT回路
との間)の信号伝達装置や、TFT回路と一般の半導体
回路との間の信号伝達装置にも適用できる。
は、例えば、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレ
イ、有機ELディスプレイ等のフラットパネルディスプ
レイに信号を送る装置にも適用できる。
を、図示の各実施例に基づいて説明したが、本発明はこ
れらに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の
機能を有する任意の構成のものに置換することができ
る。
光路および受光素子が、1次元方向に設置されている
が、本発明では、発光素子、導光路および受光素子が、
2次元方向に設置(基板上に2次元方向に設置)されて
いてもよい。
の発光部、受光部および導光路を有していてもよい。
び受光素子が、3次元方向に設置されていてもよい。以
下、この実施例を図14に基づいて簡単に説明する。
バイス)20は、第1層20a、第2層20b、第3層
20c、第4層20dおよび第5層20eをこの順序で
基板2上に積層してなる多層の装置である。
13と受光部227の関係は、前述した装置1や装置1
0の発光部と受光部の関係と同様である。
て垂直な方向における)発光部と該発光部に図示しない
導光路を介して接続されている受光部の関係、すなわ
ち、発光部211と受光部223の関係、発光部212
と受光部221の関係、発光部213と受光部224の
関係、発光部214と受光部222、225および22
64の関係も、それぞれ、前述した装置1や装置10の
発光部と受光部の関係と同様である。
造するのが好ましい。
層20c、第4層20dおよび第5層20eをそれぞれ
図示しない所定の基板上に形成する。
の方法で剥離し、基板2上に転写する。以下、これと同
様に、第2層20b、第3層20c、第4層20dおよ
び第5層20eを前記基板から剥離し、所定の方法で位
置合わせを行いつつ、順次、重ねる(転写する)。この
方法の詳細は、本願出願人による特開平10−1259
30号を採用することができる。
装置10と同様の効果が得られるとともに、容易に、高
集積化を図ることができる。
は、5層に限らず、例えば、2〜4層、または6層以上
であってもよい。
機EL素子で構成されているが、本発明では、発光素子
は、これに限らず、例えば、無機EL素子、発光ダイオ
ード(LED)、半導体レーザ(レーザダイオード)等
で構成されていてもよい。
INフォトダイオードで構成されているが、本発明で
は、受光素子は、これに限らず、例えば、PNフォトダ
イオード、アバランシェフォトダイオード等の各種フォ
トダイオード、フォトトランジスタ、フォトルミネッセ
ンス(有機フォトルミネッセンス)等で構成されていて
もよい。
構成要件を適宜組み合わせてもよい。
段を備えた装置によれば、微細な素子を集積した装置内
において主に光通信により情報(信号)を伝達するよう
になっているので、装置からの発熱を低減することがで
き、また、信号の遅延が大幅に低減され、応答性の良い
装置(回路)を実現することができる。
ト方式によりパターン形成した場合には、微細なパター
ニングを容易に、短時間で、かつ正確に行うことができ
る。そして、組成物の吐出量の増減により膜厚の調整を
容易かつ正確に行うことができるので、それによって膜
の性状等を容易かつ自由に制御することができる。
易に発光および受光素子と半導体素子とのハイブリッド
化が達成できる。
する素子を基板(例えば、Si単結晶基板や、TFT回
路等のように微細な素子が集積されている基板)上に、
容易に形成することができ、これにより装置の生産性が
向上し、量産に有利である。
発光素子を有する場合、特に、発光部が、発光する光の
ピーク波長の異なる複数の発光素子を有する場合には、
同一の導光路を使用して同時に複数の情報を伝達するこ
とができる。このため、電気配線のみの装置に比べ、配
線の簡素化を図ることができる。そして、電気配線のみ
の装置に比べ、配線の占める領域を減少されることがで
き、また、熱の発生を抑制することができ、これにより
高集積化を図ることができる。
要部を模式的に示す図である。
を用いた場合のその構成例と、導光路の構成例とを示す
断面図である。
素子の製造方法を説明するための図である。
ダイオードを用いた場合のその構成例と、導光路の構成
例とを示す断面図である。
である。
路図である。
ロック図である。
図である。
の主要部を模式的に示す図である。
の構成例とを示す断面図である。
の構成例とを示す断面図である。
例の主要部を模式的に示す図である。
例の主要部を模式的に示す図である。
Claims (18)
- 【請求項1】 薄膜で構成された少なくとも1つの発光
素子を有する発光部と、薄膜で構成された少なくとも1
つの受光素子を有する受光部と、前記発光部からの光を
前記受光部へ導く導光路とを集積してなる光伝達手段を
備えていることを特徴とする光伝達手段を備えた装置。 - 【請求項2】 前記発光部、前記受光部および前記導光
路は、少なくとも1次元方向に設置されている請求項1
に記載の光伝達手段を備えた装置。 - 【請求項3】 前記発光部、前記受光部および前記導光
路は、同一基板上に設置されている請求項1または2に
記載の光伝達手段を備えた装置。 - 【請求項4】 前記発光部は、発光特性の異なる複数の
発光素子を有する請求項1ないし3のいずれかに記載の
光伝達手段を備えた装置。 - 【請求項5】 前記発光部は、発光する光のピーク波長
が異なる複数の発光素子を有する請求項1ないし3のい
ずれかに記載の光伝達手段を備えた装置。 - 【請求項6】 前記受光部は、対応する前記発光素子か
らの光を受光する複数の受光素子を有する請求項4また
は5に記載の光伝達手段を備えた装置。 - 【請求項7】 前記発光素子を構成する少なくとも1つ
の薄膜が、インクジェット方式によりパターン形成され
たものである請求項1ないし6のいずれかに記載の光伝
達手段を備えた装置。 - 【請求項8】 前記発光素子は、有機EL素子で構成さ
れている請求項1ないし7のいずれかに記載の光伝達手
段を備えた装置。 - 【請求項9】 前記発光素子は、有機EL素子と光学フ
ィルターとで構成されている請求項1ないし7のいずれ
かに記載の光伝達手段を備えた装置。 - 【請求項10】 前記光学フィルターは、屈折率の異な
る複数の薄膜を積層してなる分布反射型多層膜ミラーで
ある請求項9に記載の光伝達手段を備えた装置。 - 【請求項11】 前記受光素子を構成する少なくとも1
つの薄膜が、インクジェット方式によりパターン形成さ
れたものである請求項1ないし10のいずれかに記載の
光伝達手段を備えた装置。 - 【請求項12】 前記受光素子は、有機素子で構成され
ている請求項1ないし11のいずれかに記載の光伝達手
段を備えた装置。 - 【請求項13】 前記受光素子は、有機素子と光学フィ
ルターとで構成されている請求項1ないし11のいずれ
かに記載の光伝達手段を備えた装置。 - 【請求項14】 前記導光路は、薄膜で構成されている
請求項1ないし13のいずれかに記載の光伝達手段を備
えた装置。 - 【請求項15】 前記導光路を構成する少なくとも1つ
の薄膜が、インクジェット方式によりパターン形成され
たものである請求項14に記載の光伝達手段を備えた装
置。 - 【請求項16】 薄膜トランジスタを有する請求項1な
いし15のいずれかに記載の光伝達手段を備えた装置。 - 【請求項17】 同一基板上に複数の回路ブロックを有
し、該複数の回路ブロックのそれぞれが前記発光部と前
記受光部とを備えている請求項1ないし15のいずれか
に記載の光伝達手段を備えた装置。 - 【請求項18】 前記複数の回路ブロックのうちの所定
の回路ブロック間が、前記導光路で結合され、該回路ブ
ロック間において、該導光路を介して信号を光により送
信・受信するよう構成されている請求項17に記載の光
伝達手段を備えた装置。
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