ES2617664T3 - Procedimiento de enfoque automático y dispositivo de enfoque automático - Google Patents
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Abstract
Procedimiento de enfoque automático, en el que la luz desde una fuente de luz (12) a través de dos orificios de un medio (28) es dividida en dos trayectorias de la luz (48, 50), es enfocada en un foco de luz de medición (52) en una muestra (6) y es reflejada desde allí y la luz reflejada es conducida a través de un sistema óptico (22) en dos trayectorias de luz (48, 50) correspondientes sobre al menos dos elementos detectores (72, 74), en el que el foco de luz de medición (52) se mueve en capas de la muestra (6) que reflejan luz con diferente intensidad, y la luz reflejada es conducida a través de al menos un orificio de pantalla (46), que corresponde en su forma a la forma de la fuente de luz (12), está dispuesto en un plano de la imagen del sistema óptico (22) y está dispuesto fuera de un eje óptico (20) del sistema óptico (22); y los elementos detectores (72, 74) están dispuestos de tal forma que en este caso las curvas de una propiedad de radiación registrada por los elementos detectores (72, 74) son diferentes entre sí y se ajusta una posición de enfoque en función de las curvas.
Description
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DESCRIPCION
Procedimiento de enfoque automatico y dispositivo de enfoque automatico
La solicitud se refiere a un procedimiento de enfoque automatico, en el que se enfoca luz de una fuente de luz en un foco de luz de medicion en una muestra y se refleja desde allf y la luz reflejada es conducida a traves de un sistema optico y al menos un orificio de pantalla en dos trayectorias de la luz sobre al menos dos elementos detectores.
Estado de la tecnica
Para el enfoque automatico de microscopios sobre una muestra se conocen dos metodos:
- Se mide la posicion de una muestra o la distancia de la muestra con respecto a un punto de referencia, siendo investigada la luz reflejada por la muestra sobre esquemas, intensidad o similares o por medios interferometricos.
- Se investiga la imagen de la muestra con respecto a contraste, resolucion, correlacion automatica o contraste de fases.
En el microscopio, una muestra esta constituida habitualmente de un material de muestra a investigar, que se aplica sobre un soporte de muestra transparente a la luz y se cubre con una cubierta de cristal fina transparente a la luz. Una medicion de la posicion del material de la muestra conduce con frecuencia a la medicion de la posicion de uno de los planos de reflexion en los lfmites de la capa de la muestra. Puesto que una reflexion en la capa lfmite del aire y la cubierta de cristal es mucho mas fuerte que una reflexion en una capa lfmite en el material de la muestra, la reflexion del aire-cubierta de cristal irradia tipicamente la reflexion, adecuada para un enfoque automatico, en una capa lfmite en el material de la muestra.
Se conoce a partir del documento US 6.130.745 medir la posicion de una capa de reflexion gruesa por encima o por debajo de la muestra y deducir a partir del espesor de la muestra la posicion del material de la muestra, que esta dispuesto a una distancia conocida de la capa de reflexion. Sin embargo, tipicamente, en la muestra descrita, en el caso de utilizacion de sistemas de alta resolucion, las tolerancias en los espesores de capa (por ejemplo, de la cubierta de cristal o del soporte del objeto) son mayores que la nitidez de la profundidad del sistema de reproduccion y no siempre se puede garantizar un enfoque con tal metodo.
El documento WO2005015120 se refiere a un dispositivo para la deteccion del foco en un dispositivo de medicion optica como un microscopio. La invencion es adecuada con preferencia para la deteccion para la medicion de muestras biologicas o qmmicas.
Un cometido de la invencion es indicar un procedimiento de enfoque automatico, con el que se puede ajustar por medio de enfoque un sistema optico, por ejemplo un microscopio, de una manera rapida y exacta a una capa reflectante de una muestra.
Solucion del cometido
Este cometido se soluciona por medio de un procedimiento de acuerdo con la reivindicacion 1.
Tambien superficies, por ejemplo superficies lfmites, deben entenderse a continuacion como capas. Una de las capas es de manera mas ventajosa una superficie lfmite. Las trayectorias de la luz estan separadas de manera mas conveniente, al menos parcialmente, unas de las otras, en particular estan separadas unas de las otras en el sistema optico. La separacion se realiza de manera mas conveniente a traves de una zona sombreada entre las trayectorias de la luz. El sombreado se puede generar a traves de una pantalla.
La curva se puede registrar por medio de mediciones puntuales en varias posiciones del foco de luz de medicion, de una manera mas conveniente separadas segun las trayectorias de la luz. La propiedad de radiacion de la luz reflejada puede ser la intensidad de la radiacion. La posicion ajustada del foco es una posicion deseada del foco, en la que el sistema optico esta dispuesto de manera mas conveniente con relacion a la muestra de tal forma que una toma de la imagen de la muestra conduce a imagenes deseadas.
Ademas, a traves de la invencion se puede determinar la longitud del recorrido optico de las trayectorias de la luz. La longitud del recorrido optico se puede medir en este caso desde la muestra hacia una pantalla delante de un detector. De manera mas conveniente, se seleccionan diferentes las longitudes del recorrido optico de las trayectorias de la luz. De este modo, a traves de la evaluacion separada de las longitudes del recorrido optico de las trayectorias de la luz se puede generar una senal de desviacion hacia una estructura de la muestra reflectante / dispersante seleccionada y se puede enfocar sobre ella o sobre un plano objetivo del foco dispuesto a una distancia conocida de ella. Una capa reflectante de luz puede ser una estructura de la muestra reflectante y/o de control y puede ser especialmente una capa lfmite, en particular una capa lfmite o bien superficie lfmite adyacente al material de la muestra.
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El procedimiento de enfoque automatico es un procedimiento para el enfoque automatico del sistema optico sobre una posicion deseada del foco o bien un plano objetivo del foco, por ejemplo dentro de la muestra. Si se enfoca sobre un plano objetivo del foco, el sistema optico puede reproducir mtidamente un objeto dispuesto allf en un plano de la imagen, en el que de manera mas conveniente esta dispuesto un detector o bien una camara. De acuerdo con el enfoque automatico se puede reproducir la muestra con la ayuda de una camara.
La muestra puede comprender un material de muestra preparado para la investigacion, un soporte, sobre el que se aplica una cubierta de cristal que lo cubre. De la misma manera es adecuada una estructura de capas transparente a la luz pata la luz de enfoque automatico, en cuyos lfmites de la capa aparece reflexion o dispersion de la luz utilizada para el enfoque automatico. La muestra no tiene que presentar transparencia a la luz de enfoque automatico despues de la capa destinada para el enfoque. La reflexion / dispersion en una capa lfmite, que se describe aqrn se puede provocar tambien a traves de capa de partfculas reflectante / dispersante o bien capa de lugares defectuosos en el material. Los lfmites de la capa se pueden tratar previamente (por ejemplo, por azogamiento, para elevar las senales para el sistema de enfoque automatico).
El plano de enfoque es aquel plano dentro de la muestra, sobre el que debe enfocarse el sistema optico o desde el que debe alejarse la posicion del foco deseado a una distancia predeterminada. El plano objetivo del foco es de manera mas conveniente un plano de reflexion, en el que se refleja luz incidente, puede ser una capa lfmite dentro de la muestra, por ejemplo el plano de una superficie lfmite del cristal-material de la muestra. De la misma manera se podna aprovechar la dispersion en la propia muestra.
La luz conducida sobre las trayectorias de la luz procede de manera mas conveniente de una fuente de luz comun, de manera que como fuente de luz no solo se designa material originalmente radiante sino tambien una capa reflectante, un orificio de pantalla o similar. Tfpicamente se utiliza una fuente de luz urn o bien bidimensional. Las dos trayectorias de la luz estan formadas de manera mas conveniente simetricas entre sf y en particular simetricas al eje optico del sistema optico.
La fuente de luz, que esta especialmente en forma de punto o en firma de lmeas o en forma de franjas o que comprende varios puntos de luz, es enfocada en el foco de luz de medicion en la muestra a traves de la optica. De esta manera, se puede reproducir en la muestra. El foco de luz de medicion esta normalmente en forma de punto, pero puede ser, de acuerdo con la forma de la fuente de luz de manera alternativa uni o polidimensional y puede comprender, por ejemplo, varios puntos. El foco de la luz de medicion esta de manera mas conveniente en el foco o cerca del foco del sistema optico de enfoque. El foco del sistema optico puede ser un plano de enfoque. Un objeto que se encuentra en el foco del sistema optico es reproducido mtidamente por el sistema optico en un plano de la imagen. Tambien es posible que el foco de la luz de medicion se encuentre a una distancia preajustada desde el foco del sistema optico. De esta manera se puede ajustar el foco de luz de medicion sobre un plano de reflexion, por ejemplo, una capa lfmite entre la cubierta de cristal y el material de la muestra, de manera que el foco del sistema optico esta, por ejemplo, a una distancia de 20 mm desde la capa lfmite en el material de la muestra.
Se refleja una parte de la luz que incide sobre la muestra. Por reflejar se puede entender a continuacion una reflexion y/o una dispersion. La capa que refleja la luz puede ser una capa reflectante y/o dispersante. Cuando se habla a continuacion de reflexion, debe poder estan comprendida al mismo tiempo una dispersion.
Las dos trayectorias de la luz estan guiadas de manera mas conveniente simetricas alrededor del eje optico del sistema optico. De manera mas conveniente inciden en diferentes direcciones sobre la muestra, de manera que sus reflejos se pueden irradiar en diferentes direcciones y de este modo se pueden evaluar de manera separada una de la otra. Se facilita la deteccion de las capas individuales en una estructura de capas cuando se selecciona el angulo de las trayectorias de la luz incidente de tal manera que los reflejos no son recubiertos por capas adyacentes. Si se utiliza una capa dispersante para la determinacion de la posicion del foco, entonces la division de las trayectorias de la luz debena realizarse en primer lugar en la trayectoria de deteccion.
De manera mas ventajosa, la luz del sistema de enfoque automatico tiene otra frecuencia que la luz, que se puede utilizar para la investigacion o bien para la reproduccion de la muestra. La propiedad de la luz es de manera mas conveniente la intensidad de la luz.
El sistema optico puede ser el de un microscopio. Presenta un eje optico, que esta dirigido normalmente perpendicular a un plano de la muestra, en el que se extiende la muestra.
La trayectoria de la luz entre la fuente de luz y la capa de reflexion o bien entre la capa de reflexion y el detector se pueden designar como trayectorias de iluminacion o bien trayectorias de deteccion. Por lo tanto, una trayectoria de la luz de enfoque automatico consta de una trayectoria de iluminacion y una trayectoria de deteccion. La diferencia en la longitud del recorrido optico se puede generar ahora tanto en la trayectoria de iluminacion, en la trayectoria de deteccion asf como en ambas trayectorias. A continuacion se describe una realizacion en la trayectoria de deteccion.
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La medicion de la longitud del recorrido optico de las trayectorias se realiza por medio de al menos una, en particular en cada caso una pantalla, delante de los detectores. A traves de un posicion de las trayectorias de la luz, en funcion de las longitudes del recorrido, en la pantalla se puede deducir de esta manera la longitud del recorrido optico del sistema. A continuacion se describe una realizacion posible.
Los elementos detectores estan dispuestos, por ejemplo, con relacion a un elemento del sistema optico, por ejemplo con relacion a una pantalla, de tal manera que las curvas de una propiedad de la radiacion registrada por los elementos detectores son diferentes entre sr El elemento del sistema optico puede ser una pantalla, por ejemplo, inmediatamente delante de los elementos detectores, un divisor del rayo, un espejo u otro elemento apropiado.
Si se refleja luz desde una trayectoria de la luz en dos capas superpuestas de la muestra, entonces el recorrido de la luz o bien la longitud del recorrido optico de la luz desde una de las capas, por ejemplo hacia el detector o una pantalla delante del detector, es mas largo que el recorrido de la luz o bien la longitud del recorrido optico desde la otra capa. De esta manera, los dos recorridos de la luz desde ambas capas, por ejemplo hacia los elementos detectores, pueden ser diferentes. De manera mas conveniente, los recorridos de la luz se extienden de tal forma que son bloqueados de forma diferente en una pantalla delante de los elementos detectores, por ejemplo se bloquea total o parcialmente uno de los recorridos de la luz y el otro se bloquea parcialmente o nada en absoluto. De esta manera, los recorridos de la luz se pueden detectar individualmente y sin otro recorrido de la luz desde otra capa.
De manera mas conveniente, el reflejo principal desde una capa lfmite de cristal aire por encima de la muestra es suprimido por una pantalla delante de los elementos detectores, mientras que el foco de luz de medicion se mueve a traves de capas subyacentes que reflejan luz de diferente intensidad. En este caso, luz de estas capas puede pasar la pantalla. De este modo, se pueden reconocer capas reflectantes claramente mas debiles que la capa lfmite de cristal-aire.
La pantalla o bien su orificio de pantalla esta dispuesto en un plano de la imagen del sistema optico, es decir, en un plano, en el que se reproduce un objeto enfocado por el sistema optico. El orificio de pantalla es una copia de la fuente de luz.
La luz, que se refleja por el foco de la luz de medicion se reproduce de manera mas conveniente en el plano de la pantalla de acuerdo con la forma del foco de luz de medicion. La pantalla esta dispuesta de manera mas ventajosa de tal modo que deja pasar luz reflejada en el foco de luz de medicion, en particular de la misma intensidad. En este caso, la pantalla bloquea de manera mas conveniente la luz que ha sido reflejada por encima y por debajo del foco de luz de medicion totalmente o asimetricamente con respecto a las dos trayectorias de la luz.
El orificio de la pantalla no esta dispuesto de manera mas conveniente, como es habitual, simetricamente alrededor del eje optico del sistema optico, sino asimetricamente con respecto al eje optico, en particular asimetricamente al eje optico de las dos trayectorias de la luz en el lugar del orificio de la pantalla. En particular, esta dispuesto completamente por encima del eje optico. De este modo, se puede conseguir de una manera sencilla una seleccion de una u otra trayectoria de la luz para una evaluacion separada en diferentes posiciones del foco de luz de medicion.
Se puede conseguir un enfoque especialmente exacto cuando las curvas son detectadas de manera continua.
En una forma de realizacion ventajosa de la invencion, se ajusta un foco del sistema optico de tal manera que las senales de los elementos detectores estan en una relacion fija entre sf. Cuando la luz incide sobre los elementos detectores en una relacion fija se puede detectar de una manera sencilla una posicion de simetna entre las trayectorias de la luz y, por lo tanto, el plano objetivo del foco. Esto se puede realizar de una manera todavfa mas sencilla cuando las senales son de la misma intensidad. La diferencia de las longitudes del recorrido de las trayectorias se selecciona para que en el caso de superposicion de las senales, las senales se solapen en un flanco y de esta manera presenten un punto de interseccion. En este punto de interseccion, las senales son de la misma intensidad. Con la ayuda de un punto de anulacion de la senal diferencial se puede detectar facilmente la misma intensidad de las senales.
Otra forma de realizacion de la invencion preve que se detecte una posicion objetiva de un foco del sistema optico con la ayuda de las senales de los elementos detectores y se ajuste el foco con la ayuda de la posicion objetiva detectada a traves de un actuador. La posicion objetiva puede ser una posicion emitida por un actuador, por ejemplo aquella, en la que las senales de los elementos detectores son iguales. Tambien es posible utilizar este ajuste solo como ajuste previo. De manera alternativa o, por ejemplo, como ajuste fino es concebible adicionalmente conseguir la posicion objetiva a traves de una regulacion, siendo utilizadas las senales del detector como senales de entrada de regulacion y una senal para el control del actuador como senal de salida de regulacion.
Se puede conseguir un enfoque automatico sencillo y fiable cuando los elementos detectores estan calibrados de tal forma que la intensidad de su senal, que es provocada por luz reflejada por una lfmite, es igual. En este caso, la posicion del foco se encuentra de manera mas conveniente en la capa reflectante o bien en la capa que refleja la
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luz. De manera alternativa, los elementos detectores pueden ser ajustados de tal forma que su intensidad de la luz es selectivamente diferente por ejemplo para conseguir una desviacion selectiva del foco.
Se puede conseguir una buena orientacion en la busqueda de la posicion objetiva del foco o bien del plano objetivo del foco cuando el foco de luz de medicion se mueve a traves del plano objetivo del foco sobre una superficie lfmite de la muestra-luz y el reflejo de la superficie lfmite de la muestra-luz se utiliza para la orientacion aproximada.
Para la investigacion de una muestra puede ser necesario que se investigue en diferentes lugares, por ejemplo cuando es mayor que un campo de vision del microscopio. A tal fin, se mueve despues de una primera investigacion perpendicularmente al eje optico del sistema optico y a continuacion se investiga de nuevo. Se puede conseguir un enfoque automatico rapido despues de tal movimiento, las senales de los elementos detectores despues de un movimiento de la muestra perpendicularmente al eje optico del sistema optico son verificadas con respecto a la factibilidad en cuanto a un ajuste aproximado existente como anteriormente sobre el plano objetivo del foco. Si existe factibilidad, se puede prescindir de un nuevo enfoque completo costoso de tiempo. La factibilidad puede ser un valor lfmite en la diferencia de las senales, que no se puede exceder. La verificacion de la factibilidad se puede utilizar, ademas, para el ajuste aproximado, de manera que cuando existe factibilidad, se realiza solamente todavfa un ajuste fino.
Otra forma de realizacion ventajosa de la invencion preve que la fuente de luz presente un patron de luz, que es reproducido en la muestra. El patron de luz puede ser un patron uni, bi o tridimensional y esta reproducido de manera mas conveniente en un plano perpendicular al eje optico del sistema optico en la muestra. En este caso, se detecta luz reflejada desde varios puntos del patron de luz separados, respectivamente, segun las trayectorias de la luz. De esta manera, a partir de la pluralidad de posiciones objetivas se puede reconocer, en varios puntos maestros, un basculamiento del plano objetivo del foco, por ejemplo con respecto al eje optico. Las senales generadas de esta manera se pueden utilizar para la regulacion del enfoque automatico.
Ademas, la invencion se refiere a un dispositivo de enfoque automatico con un sistema optico para el enfoque de luz en un foco de luz de medicion en una muestra y para la conduccion de luz reflejada desde allf a traves de un orificio de pantalla sobre al menos dos elementos detectores.
Se propone que la instalacion de enfoque automatico comprenda un actuador y un medio de control para el movimiento de un elemento del sistema optico o de la muestra a traves del actuador, de tal manera que el foco de luz de medicion se mueve en capas de la muestra que reflejan luz de diferente intensidad, de modo que los elementos detectores estan dispuestos de tal forma que en este caso la curvas de una propiedad de radiacion registrada por los elementos detectores son diferentes y el medio de control para la evaluacion de las curvas esta previsto en varias posiciones del foco de luz de medicion.
Durante el movimiento del elemento del sistema optico con relacion a la muestra, el actuador puede mover el elemento o la muestra con relacion a un punto de referencia fijo, por ejemplo un suelo.
De manera mas ventajosa, el medio de control esta configurado para controlar una o varias o todas las etapas del procedimiento indicadas anteriormente.
De manera mas ventajosa, el dispositivo de enfoque automatico comprende un sistema de medicion, que esta previsto para registrar la distancia del elemento del sistema optico con relacion a la muestra o una distancia dependiente de ella, en particular por vfas no-opticas. Tan pronto como se ha encontrado la posicion de enfoque optico, se puede medir la distancia con el otro sistema de medicion y se puede mantener durante la iluminacion de la muestra.
Para el registro de las imagenes en color se conoce utilizar una camara de color con un detector sensible al color. Un detector sensible al color esta limitado normalmente a tres colores. Cuando se utiliza un patron de Bayer, un pixel esta constituido en cada caso por una celula detectora sensible al azul, una celula detectora sensible al rojo y dos celulas detectoras sensibles al verde, a partir de cuyas senales de componen todos los colores intermedios. Debido a las cuatro celulas conductoras necesarias por pixel, la resolucion de tal detector de color es reducida.
Para alcanzar una alta resolucion de la imagen unida con una alta resolucion del color, se conoce un espectrografo lineal. Un objeto es escaneado lmea por lmea, de manera que la imagen de una lmea es extendida espectralmente, por ejemplo a traves de un prisma, de manera que resulta una imagen tridimensional de la lmea. De esta manera, se registra lmea por lmea una imagen tridimensional y se memoria y las imagenes individuales se componen en una imagen en color tridimensional.
Ademas, se conoce mover varios filtros de color unos detras de los otros delante del detector y de esta manera registrar varias imagenes de un objeto en diferentes zonas de frecuencia sucesivamente. Las tomas se pueden combinar en una imagen hiperespectral.
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Un cometido de la invencion es indicar un procedimiento para el registro de una imagen de un objeto, con el que se pueden tomar imagenes en color de alta resolucion.
Este cometido se soluciona por medio de un procedimiento para la toma de una imagen de un objeto, en el que el objeto se reproduce a traves de un sistema optico sobre varios elementos detectores de un detector y se divide la imagen con un filtro de luz con varias zonas de filtro que filtran de forma diferente en varias zonas de la imagen filtradas de forma diferente. De acuerdo con la invencion, se propone que las zonas de la imagen filtradas de forma diferente sean reproducidas al mismo tiempo sobre el detector, en particular adyacentes entre sb Se puede prescindir de un cambio de filtros delante del detector y se pueden realizar tomas rapidas sucesivas del objeto.
El filtro de luz puede ser un filtro espectral o un filtro de polarizacion. Se puede disponer inmediatamente delante del detector o directamente sobre el detector. De manera mas conveniente, el filtro de luz esta dispuesto en un plano de la imagen del sistema optico, siendo tolerable 1/10 de la anchura del foco del sistema optico en el filtro de luz como distancia desde el plano matematico de la imagen y pudiendo considerarse todavfa en el plano de la imagen. El filtro de luz puede ser un filtro de cantos, filtro de interferencia o filtro de absorcion. Las zonas del filtro pueden filtrar espectralmente de forma diferente, de manera que las zonas de la imagen son filtradas espectralmente diferentes. Pueden adoptar formas concretas, por ejemplo franjas, un patron de tablero de ajedrez y/o un micropatron, en el que las zonas de filtro presentan una longitud y/o una anchura inferior a 100 mm. De manera mas conveniente, las zonas de filtro son en su extension mayores que dos, en particular, mayores que diez elementos detectores o pfxeles. De la misma manera es posible una curva caractenstica del filtro variable continuamente en el espacio.
El detector puede estar realizado como chip y es de manera mas conveniente sensible a todas las zonas espectrales de las zonas del filtro. Puede ser un sensor CCD (Dispositivo Acoplado con Carga) o un sensor-CMOS (Semiconductor de Oxido Metalico Complementario). Los elementos detectores estan dispuestos de manera mas conveniente como rejillas bidimensionales en forma de una matriz. El detector esta realizado de manera mas conveniente como detector monocromo y es sensible en la zona espectral del filtro estructurado.
Las dimensiones de las zonas del filtro estan adaptadas de manara mas ventajosa a las dimensiones de los elementos detectores, por ejemplo porque una anchura y/o longitud de una zona de filtro es, respectivamente, un multiplo de numero entero de una magnitud de uno de los elementos detectores del detector, por ejemplo m x n elementos detectores. El filtro de luz puede estar fijado directamente en el detector, por ejemplo metalizado directamente sobre un chip detector, o directamente sobre las superficies sensibles del chip.
Las zonas de filtro corresponden de manera mas conveniente a una estructura y/o division de una imagen de la muestra o bien de la muestra o de recipientes de muestras. Pueden ser tan grandes como secciones regulares de la estructura de la imagen de la muestra y/o pueden presentar su forma.
En una forma de realizacion ventajosa de la invencion, las zonas del filtro son movidas desde una toma hacia la toma siguiente del objeto sobre un patron de la imagen, de manera que cada punto del patron de la imagen se registra en varias propiedades de la luz, en particular espectros. Estos valores son asociados de manera mas conveniente al punto y se pueden representar y/o memorizar. El patron de la imagen puede ser en este caso toda la imagen o un fragmento de la imagen. El movimiento es un movimiento relativo, de manera que las zonas del filtro pueden estar es reposo, por ejemplo, con relacion a una carcasa de detector, y el patron de la imagen se mueve, o a la inversa.
En el caso de una toma multiple de cada punto en varias propiedades de la luz, por ejemplo colores, a partir de las varias tomas se puede componente una imagen en color. A traves de la division del filtro de la luz en las zonas del filtro, en el caso de un movimiento del filtro de la luz solamente es suficiente un movimiento pequeno en la magnitud de una dimension de una unica zona del filtro, de manera que no debe moverse todo el filtro de luz fuera del detector y moverse un filtro de luz nuevo hacia el detector. Debido al recorrido de movimiento reducido se puede realizar el movimiento muy rapidamente.
Para la consecucion de un alto rendimiento de la luz es ventajoso que los valores de las senales en los elementos detectores individuales dentro de una zona del filtro, que se pueden asociar durante un movimiento de la imagen de la muestra con relacion al detector de una zona de muestras, se pueden acumular en un valor. Tales valores acumulados de una zona de muestras de diferentes zonas del filtro se pueden reunir en la informacion general de la propiedad de la luz de la zona de muestras.
El patron de la imagen puede permanecer en reposo durante el movimiento de las zonas del filtro hacia el detector, de manera que las zonas del filtro se mueven con relacion al detector. El movimiento de la imagen sobre el detector se puede realizar con la ayuda de un movimiento del sistema optico o de una parte del sistema optico con relacion al detector. Otra posibilidad consiste en el movimiento del filtro y del detector con relacion al sistema optico, que descansa, por ejemplo, con relacion a una carcasa de la camara. En terminos generales, uno o dos de los tres elementos formados por detector, filtro de luz y sistema optico, pueden ser retenidos en cada caso en reposo, por
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ejemplo, con relacion a una carcasa de la camara, en cambio los dos elementos restantes o el elemento restante son moviles con relacion a los otros elementos.
De manera mas ventajosa, el sistema optico es parte de un microscopio, cuya carcasa esta conectada fijamente con una mesa de muestras, sobre la que se puede mover el objeto en forma de una muestra, por ejemplo sobre una mesa movil, en particular con la ayuda de un accionamiento de motor y de un control de la posicion a traves de un medio de control.
De manera mas ventajosa, el objeto se mueve con relacion al sistema optico y el filtro de luz y el objeto es registrado en varias tomas, respectivamente, por secciones de la imagen, de manera que la posicion de las zonas del filtro es inalterada en cada caso en las zonas del filtro. El sistema optico puede descansar en este caso en una carcasa, por ejemplo de un microscopio, y el objeto y con el el patron de luz del objeto se conducen por delante del sistema optico, de manera que las secciones de la imagen y con ellas las zonas del filtro migran sobre toda la imagen.
Si, por ejemplo, el objeto es alargado, por ejemplo en forma de una serie de muestras, entonces a traves de una pluralidad de zonas de la imagen tomadas de manera sucesiva se puede registrar todo el objeto, de manera que cada punto de la imagen del objeto ha sido registrado en muchos colores o en cada color o bien a traves de cada zona del filtro. De esta manera se puede registrar muy efectivamente una imagen en color de todo el objeto. Se puede prescindir de un movimiento del filtro de color con relacion al sistema optico y al detector. Puesto que un dispositivo para la toma de imagenes de muestras es conducido con frecuencia sobre un actuador para el movimiento controlado de las muestras a lo largo del dispositivo de registro, por ejemplo del microscopio, el dispositivo de toma puede permanecer retenido en este caso de manera especialmente sencilla.
De manera mas conveniente, las zonas de filtro estan realizadas como franjas, que se extienden desde un lado de la imagen hacia el lado opuesto de la imagen y estan alineadas en su direccion longitudinal perpendicularmente a la direccion del movimiento. Tambien es suficiente una extension desde un lado de la seccion de la imagen hacia el lado opuesto de la seccion de la imagen. De esta manera se puede conducir cada punto de la imagen del objeto de manera especialmente sencilla sobre todas las zonas de filtro del filtro de luz.
De manera mas ventajosa, el movimiento es tal que un punto de la imagen se mueve desde una toma a la toma siguiente en la medida de la anchura de una zona del filtro. La anchura es en cada caso de manera mas conveniente varios pixeles. En este caso, es conveniente una zona de solape mas pequena, por ejemplo de acuerdo con la exactitud duplicada del actuador movil.
Para conseguir una resolucion especialmente alta, en particular en secciones de la imagen especialmente interesantes, es ventajoso que el movimiento desde una toma de la imagen hacia la toma de la imagen siguiente sea inferior a un pixel de la imagen. A traves del movimiento en la zona de subpixel, se puede calcular una resolucion de subpixel.
La prevision del movimiento se predetermina de manera mas ventajosa por un medio de control, que reconoce de manera automatica zonas especialmente interesantes de la imagen y activa un movimiento de subpixel. El movimiento se puede realizar en diferentes modos, en los que el movimiento desde una toma a la toma siguiente es la anchura de una zona de pixel o de un modo de subpixel, en el que el movimiento son varios pfxeles del detector. Tambien es posible un control de solo dos de los tres modos descritos.
En una forma de realizacion ventajosa de la invencion, el filtro de luz es un filtro de cantos, cuya frecuencia de los cantos vana en el desarrollo especial del filtro de luz perpendicularmente al canto y en particular perpendicularmente al movimiento. De esta manera, a traves del control de la anchura de la etapa de movimiento desde una toma a la toma siguiente se puede controlar la resolucion del calor de una imagen general a partir de las tomas. El filtro de luz esta conectado de manera mas conveniente con un actuador y un medio de control, que sirve para el control de un movimiento del filtro de luz.
Ademas, se propone que el filtro de luz comprenda dos filtros de cantos dispuestos uno detras del otro en la trayectoria de los rayos de la reproduccion, cuya frecuencia de los cantos vana en el desarrollo espacial de los filtros de los cantos, respectivamente, perpendiculares al canto - y en particular perpendicularmente al movimiento - con el desarrollo de la frecuencia opuesto entre sf. De esta manera, - en el caso de una disposicion correspondiente de los filtros de los cantos entre sf - se puede generar una ventana de transmision espacial, que se puede incrementar o reducir a traves de un movimiento de los filtros de los cantos entre sf tanto en el espacio como tambien espectralmente. De esta manera, se puede conseguir una alta variabilidad en frecuencia y en la zona espacial de las imagenes tomadas.
Se puede conseguir una adaptacion espectral especialmente buena de detector y filtro de luz, cuando el detector presenta varias zonas de deteccion sensibles, diferentes en la sensibilidad del color, respectivamente, en una zona de color y delante de cada zona del detector esta dispuesta al menos en cada caso una zona de filtro. Esta esta adaptada de manera mas ventajosa en su zona de color a la zona de color del detector, de manera que las zonas de
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color del filtro de luz son diferentes. La adaptacion se realiza de manera mas ventajosa, colocado la transmision de la zona de filtro en la zona de sensibilidad de la zona correspondiente del detector y no en una zona de color de una de las otras zonas del detector.
Las diferentes zonas del detector pueden estar dispuestas en el espacio directamente adyacentes entre sf, por ejemplo en una matriz coherente de elementos detectores, o separadas unas de las otras en el espacio, de manera que el sistema optico comprende uno o varios elementos para la direccion de la reproduccion del objeto sobre varias zonas del detector, por ejemplo un espejo dicroico o similar. Las zonas del detector son accionadas de manera mas ventajosa de forma sincronizada, de manera que se registra al mismo tiempo una reproduccion del objeto sobre las zonas del detector en varios canales del color.
Otra forma de realizacion ventajosa de la invencion preve que las zonas del filtro presenten diferentes valores de transmision y los valores de transmision estan adaptados a la curva caractenstica de la toma del detector, en particular para la consecucion de una iluminacion uniforme de la imagen en el caso de una sensibilidad espectral inconstante. De esta manera, se puede conseguir un resultado especialmente buenos de la imagen. La adaptacion se puede realizar a traves de una magnitud diferente de las zonas del filtro. Otra posibilidad consiste en la adaptacion de una anchura diferente de la transmision de la frecuencia de las zonas del filtro en el detector. De esta manera, una anchura de la transmision de la frecuencia en una zona de frecuencia, en la que el detector es menor sensible, puede ser mayor y, en una zona de frecuencia, en la que el detector de mas sensible, puede ser menor.
Ademas, es posible adaptar la intensidad de la transmision, es decir, una atenuacion de la zona del filtro, al detector, para que se seleccione una atenuacion mas elevada en una zona de la frecuencia, en la que el detector es mas sensible en otras zonas de la frecuencia.
De la misma manera se puede conseguir una alta calidad de la imagen cuando las zonas de filtro presentan diferentes valores de transmision y una activacion de los elementos detectores esta adaptada a un valor de transmision de la zona de filtro que lo cubre. De esta manera se puede elevar una amplificacion, se puede prolongar un tiempo de integracion y se pueden agrupar pfxeles, cuando una zona de filtro presenta una alta atenuacion frente a otra zona de filtro. De esta manera se puede conseguir una iluminacion uniforme de la imagen en todas las zonas de la frecuencia. Si el valor de transmision de una zona del filtro es especialmente alto, tambien es posible leer solo uno de cada dos pfxeles.
De manera mas ventajosa, la activacion diferentes de los elementos detectores sigue un movimiento de las zonas del filtro sobre el detector. Si se mueve, por ejemplo, el filtro de luz sobre el detector, entonces se puede detectar este movimiento, de manera que a cada zona de filtro se pueden asociar los elementos detectores, que son cubiertos por la zona. El control de los elementos detectores se puede adaptar de esta manera por pfxeles a la zona del filtro asociada en cada caso.
La invencion se refiere, ademas, a un dispositivo para el registro de una imagen de un objeto con un detector, que comprende varios elementos detectores, con un sistema optico para la reproduccion del objeto sobre el detector y con un filtro de luz con varias zonas de filtro que filtran de forma diferente.
Se pueden realizar tomas en color de alta resolucion cuando el filtro de luz esta dispuesto de tal forma que se reproducen varias zonas de la imagen del objeto, filtradas de forma diferente a traves de las zonas de filtro sobre el detector.
El dispositivo comprende un medio de control que esta previsto de manera mas ventajosa para controlar una, varias o todas las etapas del procedimiento mencionadas anteriormente.
La invencion se explica en detalla con la ayuda de ejemplos de realizacion, que se representan en los dibujos. En este caso:
La figura 1 muestra un microscopio con un dispositivo de enfoque automatico en una representacion esquematica.
La figura 2 muestra una trayectoria de los rayos o bien una trayectoria de iluminacion representada de forma esquematica del dispositivo de enfoque automatico sobre una muestra.
Las figuras 3 a 6 muestran trayectorias de los rayos de reflexion o bien trayectorias de deteccion desde la muestra sobre dos elementos detectores.
La figura 7 muestra un diagrama de senales de los elementos detectores y de una distancia de trabajo modificada sobre el tiempo.
La figura 8 muestra un diagrama esquematico de las senales con una senal diferencial.
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La figura 9 muestra una proyeccion de un punto de luz sobre una muestra movil oblicua.
La figura 10 muestra una proyeccion de un patron de fuentes de luz sobre una muestra oblicua en reposo.
La figura 11 muestra una separacion de una trayectoria de los rayos a traves de un espeso semi-transparente.
La figura 12 muestra una separacion de una trayectoria de los rayos a traves de un espejo dicroico.
La figura 13 muestra una representacion esquematica de un microscopio dirigido sobre una muestra con una camara con un filtro de luz sobre un detector.
La figura 14 muestra una trayectoria de los rayos de una muestra sobre tres detectores.
Las figuras 15 a 18 muestran un detector con un filtro de luz en cuatro posiciones diferentes con relacion a una muestra.
La figura 19 muestra un esquema de un filtro de cantos con un canto variable continuamente en la superficie del filtro.
La figura 20 muestra un diagrama de transmision, que resulta a partir de dos filtros de cantos dispuestos uno detras del otro, y
La figura 21 muestra un diagrama de sensibilidad de un detector.
La figura 1 muestra un dispositivo de enfoque automatico 2, que esta integrado es un sistema de reproduccion optica 4. El sistema de reproduccion optica es en esta forma de realizacion especial un microscopio para el analisis de fluorescencia de material biologico en una muestra 6. A tal fin, el sistema de reproduccion optica 4 comprende un detector de imagen 8 o bien una camara, que esta conectado con un medio de control 10 ara el control de la toma y la memorizacion de las imagenes tomadas, o un ocular para la observacion directa de la muestra. El medio de control 10 es parte tanto del sistema de reproduccion optica 4 como tambien del dispositivo de enfoque automatico 2 y sirve para el control del procedimiento de enfoque automatico descrito a continuacion.
El dispositivo de enfoque automatico 2 comprende una fuente de luz 12, que proporciona luz para el procedimiento de enfoque automatico. Puede proporcionar tambien la luz para el analisis de fluorescencia, de manera que, en general, puede ser mas conveniente que el sistema de reproduccion optica comprenda a tal fin otra fuente de luz no representada. La fuente de luz 12 presenta un generador de luz 14, por ejemplo un LED (Diodo Emisor de Luz), y una optica para la formacion de la luz irradiada, que puede comprender un difusor de luz. Un diafragma 18 con un patron de apertura genera un patron de fuentes de luz uni o bidimensional, que esta de manera mas conveniente simetrico a un eje optico 20 de un sistema optico 22, que puede comprender, ademas, de la optica 16, otros elementos opticos 24 y un objetivo 26 del sistema de reproduccion optica 4. Una fuente de luz definida en el espacio puede sustituir tambien a los elementos 16 y 18. Un medio 28, que es equivalente a una abertura, separa la iluminacion de la muestra 6 desde la fuente de luz 12 en varias trayectorias de la luz, que se extienden de forma separada unas de las otras desde el medio 28 hacia la muestra 6 y se llevan en la muestra 6 a un foco de luz de medicion comun trayectorias de iluminacion). El medio 28 puede estar colocado de manera alternativa en la trayectoria de deteccion (ver mas abajo) entre los elementos 30 y 46, en particular durante el enfoque sobre objetos de dispersion.
A traves dos divisores del haz 30, 32 en forma de espejos dicroicos o semi-transparentes se conduce luz desde la fuente de luz 12 hasta el objetivo 26 del sistema de reproduccion optica 4, que esta alojado en una carcasa de microscopio 34 y enfoca la luz sobre la muestra 6. A tal fin, el objetivo 26 comprende un elemento optico 36, por ejemplo una lente, que es movil de forma controlable por medio de un actuador 38 a lo largo del eje optico 20 del objetivo 26. El control de la posicion del elemento optico 36 y, por lo tanto, del foco en la muestra 6 se realiza a traves del medio de control 10. El actuador propiamente dicho puede comprender un medidor de la distancia independiente.
La luz reflejada por la muestra 6 pasa a traves del objetivo 26 en direccion opuesta, como se indica por medio de una flecha de trazos, y se conduce a traves del divisor del haz 32, por una parte, a una optica 40 y al detector de imagenes 8 y, por otra parte, a traves del divisor del haz 30 y otra optica 42 hacia un detector 44, que comprende varios elementos detectores (trayectoria de la deteccion). Los elementos detectores pueden ser sensores individuales, por ejemplo fotodiodos o una rejilla de sensores. Delante del detector 44 esta dispuesta una pantalla del sistema optico 22 con un orificio de pantalla 46, que esta formado de manera correspondiente al orificio de la pantalla 18 y esta dispuesto en el plano de la imagen del sistema optico 22, en el que se genera una imagen de la muestra 6 y, por lo tanto, del patron de fuentes de luz reproducido en la muestra 6. El orificio de la pantalla 46 puede comprender uno o varios orificios y se designa a continuacion solo como orificio de la pantalla 46. El detector 44
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suministra sus senales al medio de control 10, que las evalua y las utiliza como entrada de control o de regulacion para un control del actuador 38. El medio de control puede procesar, ademas, la senal de la distancia independiente del actuador 38 y la puede utilizar opcionalmente para la regulacion.
La figura 2 muestra una trayectoria de los rayos (trayectoria de iluminacion) representada de forma esquematica del dispositivo de enfoque automatico 2 en dos trayectorias de la luz 48, 50 sobre la muestra 6. En este ejemplo de realizacion, el patron de luz de la fuente de luz 12 esta reducido a un punto de luz, que irradia a traves de dos orificios del medio 28 para la separacion en las trayectorias de la luz 48, 50. En una pantalla 18, que genera, por ejemplo, dos puntos de luz, como se representa en la figura 1, se divide la luz desde cada punto de luz en dos trayectorias de la luz 48, 50, como se indica a traves del medio 28 en la figura 1.
La luz desde ambas trayectorias de la luz 48, 50 es enfocada en un foco de luz de medicion 52 en forma de punto en la muestra 6, que puede tener la forma de la fuente de luz y esta, por ejemplo, en forma de punto, y es alargado de acuerdo con una fuente de luz en forma de ranura o tiene otra forma discrecional. Puesto que tanto para la luz de medicion desde la fuente de luz 12 como tambien la luz para la investigacion de las muestras se conducen a traves del objetivo 26, el foco de medicion de la luz 52 puede estar en el foco de la camara o bien del sistema de reproduccion optica 4, que puede ser un plano del foco. No obstante, tambien es posible que el foco de la luz de medicion 52 este alejado en la medida de una distancia 54 predeterminada desde un foco 56 de la camara.
La muestra 6 tfpica comprende un soporte de muestras 58, sobre el que se aplica material de muestra biologica 60, que esta cubierto con una tapa de cristal 62 transparente fina. Esta muestra 6 refleja luz incidente en tres superficies lfmites 64, 66, 68, a saber, la superficie lfmite aire-cristal 64 que refleja fuerte, en la superficie lfmite del cristal- material de la muestra 66 que refleja claramente menos fuerte y en la superficie lfmite del material de la muestra- cristal 68, que no se considera en detalle a continuacion, de manera que en el caso de materiales muy finos de la muestra las senales con una combinacion de las superficies lfmites 66 y 68. La superficie lfmite del cristal-material de la muestra 66 forma en este caso un plano objetivo del foco 70, descrito en este primer ejemplo de realizacion, en el que el foco de luz de medicion 52 debe conducirse a traves del procedimiento de enfoque automatico.
El procedimiento de enfoque automatico realizado hasta ahora se describe con la ayuda de las figuras 3 a 8. Las figuras 3 a muestran el sistema optico 22 y el objetivo 26 de manera muy simplificada sobre la muestra 6, que se indica solo con la ayuda de las superficies lfmites 64, 66. El detector 44 se representa con la ayuda de dos elementos detectores 72, 74, que estan dispuestos a ambos lados del eje optico 20. En una disposicion como en la figura 1 con dos fuentes de luz puntuales estaban presentes cuatro elementos detectores. El orificio de pantalla 46 delante del detector 44 tiene de manera mas conveniente la misma forma que la fuente de luz, es decir, en forma de punto o bien en forma de cfrculo en este ejemplo de realizacion. Esta dispuesto de tal manera que se coloca desplazado asimetricamente con respecto al eje optico 20, de modo que el eje 20 se encuentra fuera del orificio de la pantalla 46, es decir, que no traviesa.
Las dos trayectorias de la luz 48, 50 se representa en forma de punto fino en su parte que incide sobre la muestra 6 y se dirige sobre el foco de luz de medicion 52, que se encuentra en el soporte de las muestras 58, es decir, debajo del plano objetivo del foco 70, que es identico con la superficie lfmite 66. Las diferentes trayectorias de la luz desde las diversas superficies lfmites 64, 66 hacia el orificio de la pantalla 46 o bien hacia los elementos detectores 72, 74 se representan de forma diferente. La trayectoria de la luz del reflejo principal, reflejado por la superficie lfmite 64 que refleja fuertemente, se representa con lmeas continuas y la trayectoria de la luz reflejada por la superficie lfmite 66 que refleja de forma menos fuerte se representa con lmeas de trazos. Esta claro que, por una parte, en el foco de luz de medicion 52 no se refleja ninguna luz o una cantidad de luz insignificantemente pequena y, por otra parte, la luz reflejada por las superficies lfmites 64, 66 no encuentra el orificio de la pantalla 46, de manera que no llega ninguna luz desde allf hacia los elementos detectores 72, 74.
En la figura 4, la muestra 6 se mueve hacia abajo en comparacion con la reproduccion en la figura 3, como se indica por medio de flechas, de manera que el foco de luz de medicion 52 se ha movido hacia arriba con relacion a la muestra 6. El movimiento de la muestra 6 es equivalente al movimiento del objetivo 26 con la ayuda del actuador 38. En la posicion de la muestra 6 representada en la figura 4 con relacion al objetivo 26, el foco de luz de medicion 52 esta apenas por debajo de la superficie lfmite 66. A traves de la asimetna del orificio de la pantalla 46 con relacion al eje optico 20, la luz reflejada en esta posicion pasa desde la trayectoria de la luz 48 a traves del orificio de la pantalla 46 y cae sobre el elemento detector 72, en cambio la luz desde la trayectoria de la luz 50 no encuentra el orificio de la pantalla 46, de manera que el elemento detector 74 permanece en la sombra.
En el caso de otro movimiento de la muestra 6 hacia abajo o del foco de luz de medicion 52 en la muestra 6 hacia arriba, el foco de luz de medicion 52 alcanza la capa lfmite 66 y el plano objetivo del foco 70, como se representa en la figura 5. Las reflexiones de ambas trayectorias de la luz 48, 50 se cruzan en el plano de la imagen, en el que estan dispuestos la pantalla y el orificio de la pantalla 46. Debido al orificio asimetrico de la pantalla 46 fuera del eje optico 20 se ensombrecen en gran medida ambas trayectorias de la luz 48, 50, pero no totalmente debido a la abertura plana de las trayectorias de la luz 48, 50. Ambos elementos detectores 72, 74 reciben en cada caso casi o
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la misma cantidad de luz y emiten una senal igual al medio de control 10.
La figura 6 muestra las trayectorias de la luz 48, 50 durante todavfa otro movimiento de la muestra 6 hacia abajo o del foco de luz de medicion 52 en la muestra 6 hacia arriba. El foco de luz de medicion 52 abandona la capa lfmite 66 y se aproxima a la capa lfmite 64, de manera que la reflexion de la capa lfmite 66, que solo llega todavfa al elemento detector 74, permanece en adelante en la sombra y la reflexion de la capa lfmite 64 cae cada vez mas fuerte a traves del orificio de pantalla 46 sobre el elemento detector 72.
El orificio de pantalla 46 esta dispuesto en el plano de la imagen del objetivo 26. La luz reflejada desde el foco de luz de medicion 52 pasa a traves del orificio de pantalla 46 y en concreto de una manera mas conveniente con la misma intensidad desde ambas trayectorias de la luz 48, 50. El orificio de pantalla 46 esta dispuesto en este caso de tal forma que la luz, que se refleja desde encima o desde debajo del foco de luz de medicion 52, pasa con diferente intensidad desde las dos trayectorias de la luz 48, 50 a traves del orificio de la pantalla 46. Una iluminacion de la misma intensidad de los elementos detectores 72, 74 significa, por lo tanto, que una de las capas lfmites 64, 66 se encuentra en el foco de luz de medicion. El orificio de pantalla es en este caso de manera mas ventajosa solo tan grande que la luz desde una capa lfmite 64 66, que esta mas alejada de 100 mm desde el foco de luz de medicion 52, no puede pasar desde ninguna de las trayectorias de la luz 48, 50 a traves del orificio de pantalla.
A traves del orificio de pantalla 46 se posibilita una seleccion de la luz desde diferentes trayectorias de la luz de acuerdo con la longitud del recorrido optico. De la misma manera se posibilita una seleccion de la luz desde diferentes trayectorias de la luz de acuerdo con su diferente direccion sobre los elementos detectores 72, 74.
En la figura 7 se representan las amplitudes A de la senal 76 del elemento detector 72 y de la senal 78 del elemento detector 74 durante un movimiento del foco de luz de medicion 52 en la muestra 6, como se describe con relacion a las figuras 3 a 6, sobre el tiempo t. Ademas, se representa el movimiento de la posicion 80 del foco de luz de medicion 52 en direccion-z, que esta paralelo al eje optico 20 del objetivo 26, sobre el tiempo t en correlacion con las senales 76, 78. Se marcan cuatro instantes III, IV, V, VI, que corresponden a las posiciones 80 del foco de luz de medicion 52 en las figuras 3, 4, 5, 6.
Para el enfoque automatico de la muestra 6 se conecta en primer lugar el generador de luz 14 de la fuente de luz de enfoque automatico 12 y se mueve el objetivo 26 o bien su elemento optico 36 movil a traves del actuador 38 a su posicion de partida - en las figuras en la direccion de la muestra 6 totalmente hacia abajo -, con lo que el foco de luz de medicion 52 se encuentra dentro de la muestra 7 y allf de manera mas conveniente dentro del soporte de las muestras 58.
A continuacion se mueve el actuador 38 de tal manera que el foco de luz de medicion 52 se mueve totalmente a traves del material de la muestra 60 y a traves del interior del plano objetivo del foco 70. Al mismo tiempo, se registran las senales 76, 78 de los elementos detectores 72, 74 y de manera mas conveniente tambien una senal de posicion del actuador 38. En primer lugar se eleva la senal 76 del elemento detector 72 para caer de nuevo rapidamente. Luego se eleva la senal 78 del elemento detector 74 y cae de la misma manera rapidamente, ambas de acuerdo con la incidencia de la luz a traves del orificio de la pantalla 46, como se describe con relacion a las figuras 4 a 6.
En particular, se registra la posicion del punto de interseccion de los flancos de las senales 76, 78 - en la posicion objetiva siguiente - en la que el foco de luz de medicion 52 se encuentra en el plano objetivo del foco 70. Esta posicion objetiva es detectada a traves del medio de control 10, que esta conectado con el actuador 38, que emite su posicion o bien la del elemento optico 36 constantemente o a demanda del medio de control 10 al medio de control 10.
La nueva subida fuerte primero de la senal 76 y luego de la senal 78 por encima de un valor lfmite g se considera como signo y orientacion de que el foco de luz de medicion 52 de la superficie lfmite 64 que refleja fuertemente se aproxima y, por lo tanto, se encuentra por encima del plano objetivo del foco 70. Se detiene el movimiento del foco de luz de medicion 52 hacia arriba.
Ahora en otra etapa sencilla del procedimiento, se puede ajustar el actuador 38 de manera correspondiente a la posicion objetiva detectada y se enfoca la muestra 6 muy activamente. El foco de luz de medicion 52 se ajusta sobre el plano objetivo del foco 70 y, por lo tanto, tambien el foco del microscopio 4, cuando el foco de luz de medicion 52 se encuentra en este foco. En otro caso, se ajusta el foco a un plano deseado, que esta alejado del plano objetivo del foco 70 en un recorrido conocido.
Se consigue un enfoque mas exacto cuando se invierte el movimiento del foco de luz de medicion 52 y el foco de luz de medicion 52 se conduce esta vez mas lento en el interior del material de la muestra 60, como se representa en la figura 7. Se forma de nuevo un maximo de la senal 76, y un ajuste de las senales 76, 78 para la igualdad de las senales lleva el foco de luz de medicion 52 al plano objetivo del foco 70.
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En un procedimiento alternativo, se puede comenzar de tal manera que el foco de luz de medicion 52 se encuentra por encima de la muestra 6 y se introduce desde alU en la muestra 6. Se reconoce claramente el reflejo principal que aparece en primer lugar desde la capa lfmite de cristal-aire 64. Puesto que el espesor de la cubierta de cristal 62 se conoce, por ejemplo 170 mm, se puede desplazar el foco de la luz de medicion 52 activamente alrededor de este o un recorrido alto menos hacia abajo. Entonces se puede reducir la velocidad de avance y se puede desplazar el foco de medicion de la luz 52 a continuacion hacia abajo hasta que las senales 76, 78 son de la misma intensidad.
Una regulacion sobre la posicion objetiva con la ayuda de las figuras 76, 78 se explica a continuacion con la ayuda de la figura 8. Se forma una senal diferencial 82 a partir de la diferencia entre las senales 76, 78, por ejemplo a traves de sustraccion de las senales 76, 78 y se utiliza como variable de regulacion con el punto de anulacion 84 como valor objetivo de regulacion. En el punto de anulacion 84, el foco de luz de medicion 52 se encuentra en la posicion objetiva 86. De manera mas ventajosa, el detector 44 esta calibrado a tal fin de tal forma que las senales 75, 78 son iguales cuando el foco de luz de medicion 52 se encuentra en el plano objetivo del foco 70. Si el foco de luz de medicion 52 debe estar un poco fuera de la capa lfmite reflectante 66, entonces puede existir una desviacion sobre una senal 76, 78 o se puede amplificar mas o menos una senal 76, 78. De esta manera, se desplaza el punto de anulacion 84 de manera correspondiente en direccion-z. Si se conoce la relacion entre desviacion o amplificacion y el desplazamiento, entonces se puede ajustar el plano objetivo del foco 70 de manera correspondiente alrededor de la superficie lfmite 66, sin que deba modificarse el procedimiento de enfoque automatico descrito con relacion a las figuras 7 y 8. El ajuste correspondiente del detector 44 se puede realizar como calibracion antes de un procedimiento de enfoque automatico o durante el procedimiento de enfoque automatico de acuerdo con la instruccion correspondiente del medio de control 10.
Despues del ajuste o regulacion de la posicion del foco, se puede desconectar el generador de luz 14 y se puede regular o mantener la posicion del foco por medio de la senal de posicion del actuador 38. Esto tiene la ventaja de que el patron de luz de enfoque automatico durante la iluminacion no se reproduce con la camara-Opcionalmente, el generador de luz 14 puede permanecer conectado continuamente y se puede realizar la regulacion de acuerdo con la senal diferencial 82.
Ahora se pueden tomar imagenes de la muestra 6 o bien del material de la muestra 60, dado el caso en varias posiciones-z. Estas se pueden alcanzar a traves de un control correspondiente del actuador 38. Tambien es posible alcanzarlas a traves de un desplazamiento de una o de ambas senales 76, 78.
Para la toma de varias imagenes de una muestra grande 6 se mueve esta en direccion -x-y 88, es decir, perpendicularmente al eje-s o bien al eje optico 20, como se indica en la figura 9. El enfoque se puede mantener en este caso. Sin embargo, si la muestra 6 esta oblicua, el foco de la luz de medicion 52 resbala en la medida de un recorrido 90 en direccion-z dentro de la muestra 6. Para reconocer esto, se verifica la factibilidad de las senales 76, 78 en la nueva posicion-x-y. En el caso de que las senales 76, 78 no correspondan a lo esperado, es decir, que se encuentran fuera de los valores lfmites, se inicia una nueva localizacion del plano objetivo del foco 70, como se describe con relacion a la figura 7. Si las senales 76, 78 son aceptables, se puede comenzar directamente con la regulacion, por ejemplo, sobre el punto de anulacion 84.
La figura 10 muestra una proyeccion de un patron de fuentes de luz sobre una muestra oblicua en reposo 6. Con la ayuda de un unico punto de luz de enfoque automatico no se puede reconocer si la muestra esta oblicua con relacion al eje optico 20. Sin embargo, el foco de la luz de medicion 52 comprende varios puntos de enfoque 92, por ejemplo puesto que un patron de luz se reproduce en varios puntos del foco 92 en la muestra, se pueden evaluar de manera separada reflexiones desde cada punto del foco 92, respectivamente, sobre al menos dos trayectorias de la luz, como se ha descrito anteriormente. De esta manera se puede reconocer que los planos objetivos de foco hallados en cada caso con respecto a los puntos individuales del foco 92 no son identicos. Se puede emitir una senal de error, de manera que la muestra 6 es insertada de nuevo y precisamente en su soporte de fijacion.
La figura 11 y la figura 12 muestran esquemas de deteccion alternativos, que utilizan dos trayectorias opticas no separadas en el espacio en el sistema optico 22. En la figura 11 se separa un rayo en la trayectoria de deteccion solo despues del sistema optico 22 y delante de los detectores 72, 74 por medio de un espejo semitransparente 94. Por medio de dos orificios de la pantalla 46, que estan dispuestos asimetricos con respecto al espejo 94 delante de los detectores 72, 74, se detecta la senal de la distancia de los trayectos poco diferentes. La asimetna se representa por medio de las diferentes distancias 96, 98 de los orificios de la pantalla 46 perpendicularmente al espejo 94.
En la figura 12, el generador de luz 14 emite radiacion con dos frecuencias diferentes (X1, X2), que son separadas delante de los detectores 72, 74 por medio de un espejo dicroico 200. De nuevo con la ayuda de los orificios de la pantalla 46 se genera la senal de la distancia. En este caso, los orificios de la pantalla 46 pueden estar dispuestos simetricos con respecto al espejo dicroico 100, cuando el mdice de refraccion del sistema optico 22 separa suficientemente en el espacio las trayectorias de la luz de las diferentes frecuencias, como se representa en la figura 12 a traves de las distancias de las dos trayectorias de la luz delante del espejo 100.
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Tambien en los ejemplos de realizacion de la figura 11 y de la figura 12 se posibilita a traves de un medio optico, en estos casos el espejo semitransparente 94 o el espejo dicroico 100, una seleccion de la luz desde diferentes trayectorias de la luz de acuerdo con diferentes direcciones hacia los elementos detectores 72, 74.
La figura 13 muestra una representacion esquematica de un sistema de reproduccion optica 102 realizado, por ejemplo, como microscopio, que esta dirigido sobre una muestra 106 que esta dispuesta sobre una mesa de muestras 104. El sistema de reproduccion optica 120 comprende una fuente de luz 108, cuyos rayos de luz estan dirigidos en una trayectoria de los rayos indicada con una flecha 110 de lmea continua con la ayuda de un sistema optico 112 y de un espejo dicroico 114 sobre la muestra 106. El sistema optico 112 incluye al mismo tiempo un objetivo 116, que es desplazable con la ayuda de un actuador 18 con relacion a una carcasa de microscopio 120 a lo largo del eje optico 122 de la trayectoria de los rayos para el enfoque de la muestra 106.
La radiacion reflejada o dispersada desde la muestra 106 es conducida en una trayectoria de los rayos indicada con una flecha de trazos a traves del espejo dicroico 114 y a traves de elementos opticos 124 solo indicados del sistema optico 112 a una camara 126, que presenta un detector 128 con un filtro de luz 130. El detector 128 comprende una pluralidad de elementos detectores 132 dispuestos en una matriz bidimensional, que estan realizados como elementos CCD y estan fijados sobre un chip. El filtro de luz 130 es un filtro espectral con varias zonas de filtro 134, que filtran de manera espectral diferente, que estan dispuestas de la misma manera sobre el chip y en la trayectoria de los rayos inmediatamente delante de los elementos detectores 132.
La mesa de muestras 104 y con ella la muestra 106 son desplazables con la ayuda de un actuador 136 perpendicularmente al eje optico 122 del objetivo 116, como se indica por medio de flechas 138, de manera que se pueden realizar varias tomas de la muestra 106 en diferentes posiciones de la muestra 106 con relacion al microscopio 102. El actuador 136 puede ser activado a traves de un medio de control 140 del microscopio 12, de manera que se puede ajustar un recorrido de desplazamiento de la muestra 16 de toma a toma a un valor predeterminado o determinado por el medio de control. El medio de control 140 puede ser al mismo tiempo un medio de control 140 de la camara 126 o un medio de control adicional del microscopio 102 fuera de la camara 126.
A traves del medio de control 140, se pueden activar de manera alternativa o adicional al actuador 136, un actuador 142 del filtro de luz 130 y/o un actuador 144 del detector 128, de manera que las zonas de filtro 134 y/o los elementos detectores 132 son moviles de forma activada con relacion al sistema optico 112 pero perpendicularmente al eje optico 122 de la trayectoria de los rayos que inciden en la camara 126. De esta manera, una imagen de un objeto de la muestra 16 puede migrar de una o varias maneras sobre el filtro de luz 130 y/o el detector 128.
Una forma de realizacion alternativa de un detector 146 con varias zonas de deteccion 148, 150, 152 se representa en la figura 14. La descripcion siguiente se limita esencialmente a las diferencias con respecto al ejemplo de realizacion de la figura 13, a la que se remite con relacion a las caractensticas y funciones que permanecen iguales. Los componentes que permanecen esencialmente iguales estan identificados, en principio, con los mismos signos de referencia y se asumen las caractensticas no mencionadas, sin describirlas de nuevo.
Por medio de dos divisores del haz dicroicos 154, 156 se divide la radiacion reflejada por la muestra 6 de acuerdo con tres zonas espectrales y se conducen sobre las zonas espectrales 148, 150, 152. Las zonas espectrales 148, 150, 152 son en cada caso solo en una de las zonas espectrales sensibles o mas sensibles que en las otras zonas espectrales. Delante de cada zona del detector 148, 150, 152 esta dispuesta en cada caso una zona de filtro 158, 160, 162, de manera que las zonas de filtro 158, 160, 162 solamente en una de las zonas espectrales es transparente o mas transparente que en las otras zonas espectrales. Su transparencia esta adaptada espectralmente a la zona de deteccion 148, 150, 152 asociada a ellas en cada caso. Una o todas las zonas del filtro 158, 160, 162 pueden estar divididas de nuevo en subzonas que filtran en cada caso espectralmente de forma diferente, como se representa en la figura 14. A traves de la division en zonas del detector 148, 150, 152 de diferente sensibilidad espectral con zonas de filtro 158, 160, 162 que filtran en cada caso de forma espectralmente diferente, se puede conseguir un rendimiento de la luz especialmente alto sobre una zona espectral amplia.
En las figuras 15 a 18 se representan en cada caso la reproduccion de una muestra 106, que presenta 3 x 10 recipientes de muestras 164, que pueden representar tambien superficies de muestras, tambien son concebibles numeros considerablemente mayores, en los que esta contenida en cada caso la misma o distinta sustancia de muestra. Los recipientes de muestras 164 estan dispuestos en una matriz rectangular y estan fijados en la mesa de muestras 104. En la sustancia de muestra se encuentran objetos 166 a investigar. La muestra 106 presenta en su totalidad y en sus objetos un patron de imagen.
El detector 128 y sus 11 x 15 elementos detectores rectangulares 132 se representan, para mayor claridad con lmeas de trazos, en cambio el filtro de luz 130 con sus 5 zonas de filtro 134 en forma de franjas se representan con lmeas continuas. Las franjas de las zonas de filtro 134 estan dispuestas perpendiculares a la direccion del movimiento de la mesa de muestras, que se representa por medio de una flecha 138. Para la distincion mejorada de
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las lmeas, se muestra la representacion de la muestra con lmea de puntos.
La figura 15 muestra el detector 128 y la reproduccion de la muestra 106 en una posicion mutua, en la que se realiza una toma de la muestra 106, pero no la primera, como se explica a continuacion. La toma representa una seccion de la imagen con cinco zonas de la imagen, en la que se reproducen doce recipientes de muestra 164 con todo el contenido y tres recipientes de muestras 164 solo parcialmente. Respectivamente, doce recipientes de muestras 164 son reproducidos a traves de una zona de filtro 134 y, por lo tanto, en su zona espectral. A traves de una zona de filtro 134 se reproduce en cada caso una de cinco zonas de la imagen de la seccion de la imagen. Cada zona de filtro 134 y cada zona de la imagen cubren en este caso perpendicularmente a la direccion del movimiento de la muestra 106 exactamente tres elementos detectores 132, mas en general: exactamente el mismo numero de elementos detectores 132.
Para el registro siguiente se mueve mas la reproduccion de la muestra 106 en la medida del recorrido de la anchura de las zonas del filtro 134, de manera que se puede ver la anchura en la direccion del movimiento de la muestra 106. Ahora se toma otra seccion de la imagen de la muestra 106, de manera que esta seccion de la imagen cubre otra seccion de la muestra y otros objetos 166. La posicion de las zonas del filtro 134 en las secciones de la imagen permanece igual, pero no con relacion a las secciones de la muestra y los objetos 166. Con la segunda toma se reproducen los recipientes de la muestra 164 reproducidos de nuevo en otro espectro, es decir, en otro color.
La figura 17 presenta la muestra 106 de nuevo desplazada en la medida de la anchura de las zonas de filtro 134, de manera que los recipientes de la muestra reproducidos ahora tres veces son reproducidos en tres espectros diferentes. De esta manera, se reproducen todas las zonas de la muestra 106 y todos los recipientes de la muestra 164 al menos de manera tan frecuente como zonas del filtro estan presentes, en el ejemplo de realizacion mostrado al menos cinco veces, de manera que cada zona de la muestra esta tomada en cinco espectros. A partir de estas cinco imagenes se puede componer para cada zona de muestran un a imagen de cinco colores. Para reproducir cinco veces cada zona de la muestra, se toma registra en la primera toma la muestra 106 solo a traves de una zona del filtro, en la segunda toma a traves de dos zonas del filtro 134 y asf sucesivamente. Por lo tanto, la figura 15 muestra la quinta toma de la muestra 106.
La muestra 106 es reproducida en su totalidad, reproduciendo la muestra 106 por secciones de la imagen sobre el detector 128 y realizando varias reproducciones que se solapan parcialmente de la muestra 106 y los objetos 166. En este caso, se realizan al menos tantas reproducciones como secciones de filtro diferentes 134 estan presentes. En cada caso, a partir de tantas reproducciones que se solapan como secciones de filtro diferentes 134 estan presentes, se genera una imagen de cuatro colores de la muestra 106 o bien de un objeto 166, por ejemplo por el medio de control 140.
Las tomas son evaluadas en este caso a traves de un medio de evaluacion, que puede ser el medio de control 40, que esta conectado con el detector 128 de acuerdo con la tecnica de senales. En este caso, se reconoce, por ejemplo, que un objeto 168 tiene una importancia especial y debena representarse con una resolucion especialmente alta. Si se reconoce este cometido, entonces se mueve la muestra 106 de una toma a la siguiente solo menos que una longitud de pixel, es decir, una longitud de un elemento detector 132, como se puede reconocer en la figura 18 en comparacion con la figura 17. El objeto se mueve en este caso de toma a toma de acuerdo con subpixel sobre un lfmite entre dos zonas de filtro 134. A partir de las tomas se puede conseguir en la zona, que ha sido superada por el lfmite, una resolucion, que esta en la zona de subpixel, de manera que se puede representar el objeto 168 con resolucion especialmente alta.
De manera alternativa a un movimiento de la muestra 106 hacia el microscopio 102, se puede mover el filtro de luz 130 y/o el detector 128 con relacion a la muestra 106 y, por ejemplo, con relacion a la carcasa del microscopio 120.
En otra forma de realizacion, la carga de los elementos detectores individuales dentro de una zona del filtro con la reproduccion de la muestra se puede desplazar de acuerdo con los elementos detectores y solo se lee despues de uno o varios desplazamientos. O bien las cargas, que estan asociadas durante el desplazamiento de la reproduccion de la muestra dentro de una zona del filtro a una posicion de la muestra, se pueden asociar a un valor espectral de pixel. De esta manera, se puede acumular la carga de la muestra generada por la luz durante un periodo de tiempo mas largo.
La figura 19 muestra un diagrama doble, en el que la superficie de filtro de un filtro de luz 170 se representa en direccion-x y en direccion-y.
La direccion-z es la direccion del eje optico 22 en la entrada en la camara 126. Ademas, se representa la absorcion A del filtro de luz 170. Cuanto mas alta es la transmision del filtro de luz 170, tanto mas reducida es la absorcion A. En la zona rayada, la absorcion es de manera ideal proxima a 100 % y el filtro de luz 170 no es transparente a la luz. El filtro de luz 170 es un filtro de cantos con un canto 172 con una longitud de ondas X establecida. La longitud de ondas X depende de la posicion del canto 172 en la direccion-x del filtro 170. Mas a la derecha, en el filtro la longitud
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de ondas X del canto es mas alta que mas a la izquierda. En el ejemplo representado, la modificacion de la longitud de ondas del canto por recorrido del filtro de luz en direccion-x es constante. Tambien son concebibles otras relaciones con modificacion lineal o no lineal. En el filtro de luz 170, muchnsimas zonas del filtro o un numero infinito de zonas del filtro que filtran de forma espectral diferentes estan dispuestas muy estrecha so infinitamente estrechas adyacentes entre sl
En el caso de utilizacion del filtro de luz 170 en lugar del filtro de luz 130 en las figuras 15 -18, cada zona de la muestra se puede reproducir con frecuencia opcional en diferentes espectros, de manera que una resolucion espectral de la imagen total de la muestra 106 depende del recorrido de movimiento de la muestra 106 de toma a toma. De esta manera, se puede seleccionar libremente la resolucion espectral de toda la imagen.
Si se disponen dos filtros de canto 174, 176 con un desarrollo opuesto de los cantos uno detras del otro, como se representa en la figura 20, entonces se puede ajustar mutuamente una ventana de transmision 178 tanto en su dilatacion espacial Ax como tambien en su dilatacion espectral AX a traves del movimiento del filtro de cantos 174, 176. Se pueden excluir zonas espectrales y se puede ajustar una resolucion espectral.
Una adaptacion del filtro de luz 130 al detector 128 se representa en la figura 21. En la figura 21 se representa un diagrama de la sensibilidad E del detector 128 sobre la longitud de onda X de la luz registrada. La sensibilidad E depende de la longitud de onda X de la luz y es una longitud de onda X1 menor que una longitud de onda X2 Para conseguir una iluminacion lo mas uniforme posible de las tomas de la muestra 106 sobre toda la zona espectral relevante, la zona de filtro 134, que transmite en la longitud de onda X1, del filtro de luz 130 es transmisiva en una zona de longitudes de ondas AX1 mayor que la zona de filtro 134, que transmite en la longitud de onda X2, del filtro de luz 130, que solamente transmite en la zona menor de longitudes de ondas AX2.
Otra posibilitad para la consecucion de una iluminacion lo mas uniforme posible de las tomas de la muestra 106 sobre toda la zona espectral relevante consiste en realizar una adaptacion electronica de los elementos detectores 132 a la zona del filtro 134 que se encuentra delante de ellos. En el caso de una zona del filtro 134 menos transmisiva, se puede activar de otra manera un elemento detector 132 asociado a esta zona del filtro 134 que un elemento detector 132, que esta asociado a una zona del filtro 134 mas transmisiva. La activacion diferente se puede conseguir a traves de un ajuste diferente de la ganancia y/o del tiempo de integracion de los elementos detectores 312. Tambien es concebible la union de pixeles, es decir, la agrupacion de dos o mas pfxeles o bien elementos detectores 132, lo mismo que un submuestreo, es decir, una lectura solo de cada n elemento detector 132, con n = 1, 2, 3 ... El control correspondiente se puede realizar por el medio de control 140.
En un ejemplo de realizacion especialmente ventajoso, durante la adaptacion electronica de los elementos detectores 132 se tiene en cuenta un desplazamiento de las zonas de filtro 134 delante de los elementos detectores 132. A tal fin, debe conocerse la posicion del filtro de luz 130 con respecto al detector, por ejemplo a traves de senales de posicion de uno de los actuadores 142, 144.
Lista de signos de referencia
2 Dispositivo de enfoque automatico
4 Microscopio
6 Muestra
8 Detector de imagenes
10 Medio de control
12 Fuente de luz
14 Generador de luz
16 Optica
18 Pantalla
20 Eje optico
22 Sistema optico
24 Elemento optico
26 Objetivo
28 Medios
30 Divisor del rayo
32 Divisor del rayo
34 Carcasa del microscopio
36 Elemento optico
38 Actuador
40 Optica
42 Optica
44 Detector
46 Orificio del diafragma
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Trayectoria de la luz Trayectoria de la luz Foco de luz de medicion Distancia Foco
Soporte de muestras
Material de muestras
Tapa de cristal
Superficie lfmite
Superficie lfmite
Superficie lfmite
Plazo objetivo del foco
Elemento detector
Elemento detector
Senal
Senal
Posicion
Senal diferencial
Punto de anulacion
Posicion del objetivo
Direccion
Recorrido
Punto de enfoque
Espejo
Distancia
Distancia
Espejo
Microscopio
Mesa de muestras
Muestra
Fuente de luz
Flecha
Sistema optico Espejo Objetivo Actuador
Carcasa del microscopio
Eje optico
Elementos opticos
Camara
Detector
Filtro de luz
Elemento detector
Zona del filtro
Actuador
Flecha
Medios de control Actuador Actuador Detector
Zona del detector Zona del detector Zona del detector Espejo Espejo
Zona del filtro
Zona del filtro
Zona del filtro
Recipiente de muestras
Objeto
Objeto
Filtro de luz
Canto
Filtro de cantos
- 176
- Filtro de cantos
- 178
- Ventana de transmision
- A
- Absorcion
- E
- Sensibilidad
- 5 A
- Longitud de ondas
- AA
- Zona de longitudes de ondas
- A
- Amplitud
- g
- Valor Kmite
- t
- Tiempo
- 10 z
- Direccion del eje optico
Claims (12)
- 51015202530354045505560REIVINDICACIONES1. - Procedimiento de enfoque automatico, en el que la luz desde una fuente de luz (12) a traves de dos orificios de un medio (28) es dividida en dos trayectorias de la luz (48, 50), es enfocada en un foco de luz de medicion (52) en una muestra (6) y es reflejada desde allf y la luz reflejada es conducida a traves de un sistema optico (22) en dos trayectorias de luz (48, 50) correspondientes sobre al menos dos elementos detectores (72, 74), en el que el foco de luz de medicion (52) se mueve en capas de la muestra (6) que reflejan luz con diferente intensidad, y la luz reflejada es conducida a traves de al menos un orificio de pantalla (46), que corresponde en su forma a la forma de la fuente de luz (12), esta dispuesto en un plano de la imagen del sistema optico (22) y esta dispuesto fuera de un eje optico (20) del sistema optico (22); y los elementos detectores (72, 74) estan dispuestos de tal forma que en este caso las curvas de una propiedad de radiacion registrada por los elementos detectores (72, 74) son diferentes entre sf y se ajusta una posicion de enfoque en funcion de las curvas.
- 2. - Procedimiento de acuerdo con la reivindicacion 1, caracterizado porque la luz reflejada desde el foco de la luz de medicion (52) desde las dos trayectorias de la luz (48, 50) incide con la misma intensidad sobre los elementos detectores (72, 74).
- 3. - Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque la luz, que se refleja desde encima o desde debajo del foco de luz de medicion (52) incide con diferente intensidad sobre los elementos detectores (72, 74).
- 4. - Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque a traves de un medio optico se realiza una seleccion de la luz reflejada desde diferentes capas lfmites (64, 66) de acuerdo con diferente longitud del recorrido optico.
- 5. - Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque a traves de un medio optico se realiza una seleccion de la luz reflejada desde diferentes capas lfmites (64, 66) de acuerdo con direcciones diferentes sobre los elementos detectores (72, 74).
- 6. - Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque las trayectorias de la luz (48, 50) estan separadas una de la otra por medio de una zona sombreada.
- 7. - Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque la luz en las trayectorias de la luz (48, 50) presenta diferentes propiedades espectrales y las trayectorias de la luz (48, 50) son separadas delante de los elementos detectores (72, 74) de acuerdo con las propiedades espectrales.
- 8. - Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque las curvas son registradas continuamente.
- 9. - Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque se ajusta un foco del sistema optico (22) de tal manera que las senales (76, 78) de los elementos detectores (72, 74) estan en una relacion fija entre sf y en particular son de la misma intensidad.
- 10. - Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque el foco de la luz de medicion (52) se ajusta a una capa lfmite (66) que refleja luz y a continuacion se mueve la muestra (6) perpendicularmente al eje optico (30) del sistema optico (22) y las senales (76, 78) de los elementos detectores (72, 74) son verificadas a continuacion sobre la factibilidad con respecto a un ajuste aproximado existente como anteriormente sobre la capa lfmite (86) reflectante.
- 11. - Procedimiento de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque la fuente de luz (12) presenta un patron de luz, que se reproduce en la muestra (6), de manera que la luz reflejada desde varios puntos patrones del patron de luz es detectada por separado, respectivamente, segun las trayectorias de la luz (48, 50).
- 12. - Dispositivo de enfoque automatico (2), que comprende una fuente de luz (12); un medio (28) con dos orificios para la division de la luz desde la fuente de luz en dos trayectorias de la luz (48, 50); un objetivo (26) para el enfoque de la luz dividida en un foco de luz de medicion (52) en una muestra (6) y para la conduccion de la luz reflejada allf en dos trayectorias de luz correspondientes sobre al menos dos elementos detectores (72, 74); y un sistema optico (22) para la reproduccion del patron de fuentes de luz generado en la muestra en un plano de la imagen del sistema optico (22); al menos un orificio de pantalla (46), que corresponde en su forma a la forma de la fuente de luz (12), que esta dispuesta en dicho plano de la imagen y fuera de un eje optico (20) del sistema optico (22); un actuador (38) y un medio de control (10) para el movimiento de un elemento (36) del objetivo (26) con relacion a la muestra (6) a traves del actuador (38), de tal manera que el foco de la luz de medicion (52) se mueve en capas de la muestra (6) que reflejan luz de diferente intensidad; de tal manera que la luz reflejada es conducida a traves del al menos unorificio de la pantalla (46), de manera que los elementos detectores (72, 74) estan dispuestos de tal forma que en este caso las curvas de una propiedad de radiacion registrada por los elementos detectores (72, 74) son diferentes y el medio de control (10) esta previsto para la evaluacion de las curvas en varias posiciones del foco de luz de medicion (52).5
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