EP0906888B1 - Anordnung zum verhindern des Nachtropfens von Flüssigkeiten aus einer Abgabeöffnung - Google Patents

Anordnung zum verhindern des Nachtropfens von Flüssigkeiten aus einer Abgabeöffnung Download PDF

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EP0906888B1
EP0906888B1 EP98115683A EP98115683A EP0906888B1 EP 0906888 B1 EP0906888 B1 EP 0906888B1 EP 98115683 A EP98115683 A EP 98115683A EP 98115683 A EP98115683 A EP 98115683A EP 0906888 B1 EP0906888 B1 EP 0906888B1
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EP
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pipe
liquid
line
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chamber
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Franz Sumnitsch
Willibald Pirker
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Lam Research AG
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SEZ AG
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67C—CLEANING, FILLING WITH LIQUIDS OR SEMILIQUIDS, OR EMPTYING, OF BOTTLES, JARS, CANS, CASKS, BARRELS, OR SIMILAR CONTAINERS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; FUNNELS
    • B67C3/00—Bottling liquids or semiliquids; Filling jars or cans with liquids or semiliquids using bottling or like apparatus; Filling casks or barrels with liquids or semiliquids
    • B67C3/02—Bottling liquids or semiliquids; Filling jars or cans with liquids or semiliquids using bottling or like apparatus
    • B67C3/22—Details
    • B67C3/26—Filling-heads; Means for engaging filling-heads with bottle necks
    • B67C3/2608—Filling-heads; Means for engaging filling-heads with bottle necks comprising anti-dripping means

Definitions

  • the invention relates to an arrangement for preventing Leakage of liquids from line openings.
  • Such Lines are used, for example, at the Manufacture of semiconductor wafers on this Apply treatment fluids.
  • Such lines (Elution units) are e.g. in etching devices, such as they are described in EP 0 444 714 B.
  • Valves are often used which suck back a small amount of liquid when closing.
  • these valves with a 1 ⁇ 4-inch hose (inside diameter approx. 5 mm, cross section approx. 0.2 cm 2 )
  • suck-back valves suck the liquid column back approx. 10 cm, which is approx. 2 ml liquid.
  • a 1 ⁇ 4 inch hose results in a flow rate of approx. 2 m / sec. Since silicon wafers are getting bigger (currently diameters up to 300 mm), an ever increasing volume flow is necessary for the treatment. Volume flows of up to 6 l / min are currently required.
  • a dosing device is known from EP 402 535 B1 a valve, an adjustable piston and on the Outlet opening has a porous insert.
  • the piston moves after the Closing the valve away from the outlet opening, so that in the Area of the outlet opening creates negative pressure To prevent liquid from exiting drip out.
  • DD 250 846 A3 there is a chamber valve for drip-free Closing liquid containers described, the of of the liquid to be dosed through a chamber Cuff is formed.
  • the cuff is open Valve compressed (small interior of the chamber) and stretched when the valve is closed (large interior of the Chamber).
  • In the chamber is created by enlarging her Volume when closing the valve (stretching the cuff) a negative pressure, causing the liquid from the Outlet opening is withdrawn.
  • the liquid remains with the valve according to DD 250 846 A3 in the chamber of the valve and / or in the area between Outlet opening and valve. Gassing liquids would drip this facility anyway.
  • the object of the invention is to provide an arrangement with which the dripping, even with high volume flow and / or when conveying liquids containing gas, is reliably prevented.
  • the above object is reliable solved and dripping from line openings in particular even with high volume flow and in the case of gas containing Liquids reliably prevented because of liquid sucked away immediately in front of the outlet opening of the line is so that liquid does not come out of the opening of the line can leak more (drip).
  • the chamber is closed vacuum is applied in due course, around the Outlet opening arranged.
  • FIG. 1 shows a section of an arrangement according to FIG Invention, along the line B-B in Fig. 2, Fig. 2 Section along the line A-A in Fig. 1 and Fig. 3 a example embodiment of the circuit of the arrangement according to the invention.
  • shut-off device see FIG. 3
  • a suck-back valve is trained.
  • the line 2 is one Device 1 assigned, which is used to prevent dripping Liquid from the outlet opening 6 to the line 2 prevent.
  • a line 5 is connected via which in the chamber 3 Vacuum can be generated.
  • line 5 is connected a vacuum source (see. Fig. 3) connected, in which 5 shut-off devices leading to the vacuum source can be provided.
  • a vacuum source see. Fig. 3
  • 5 shut-off devices leading to the vacuum source can be provided in the wall of line 2 are in Area of the chamber 3 several through openings 7 (in In principle, a single through opening 7) is sufficient.
  • the through openings 7 can be designed as perforations be so have a very small diameter.
  • the Distance of the area in which the through openings 7 in the pipeline 2 are provided, from the outlet opening 6 the line 2 can be chosen arbitrarily small.
  • measures can be provided with which the Passages 7 closed in the wall of line 2 when liquid flows through line 2.
  • Such Measures can be shut-off devices, e.g. in shape a sleeve rotatable relative to the end of the line 2, in the holes are provided. If the sleeve is twisted like this, that the holes in the sleeve with the passage opening 7th align, the negative pressure in chamber 3 acts for suction of liquid residues.
  • FIG. 3 A possible circuit, like the device 1 only when needed made effective, so the chamber 3 with negative pressure can be applied is shown in Fig. 3.
  • Line 8 is a compressed air line that divides into two branches.
  • the simultaneous shutdown of the liquid flow 9 in the Line 2 and switching on the vacuum in chamber 3 can be ensured in the following way.
  • Over a Venturi nozzle 12 with the compressed air flow 11 in one Branch of the compressed air line 8 generates a suction stream 10 which the chamber 3 is subjected to negative pressure.
  • This with compressed air controlled valves by switching the Control air from one valve to another with a three-way valve 15 reached.
  • the valve 13 for the liquid flow can, but does not have to be designed as a return valve.
  • the negative pressure can be generated by a vacuum pump become.
  • the suction flow is via its own Valve switched.
  • the simultaneous switching off of the Liquid flow and switching on of the suction flow takes place in this case e.g. electric.
  • the Drop suction device 1 has a housing 4, which the End of the line 2 surrounds forming a chamber 3.
  • the Chamber 3 protrudes with the inside of line 2 Through openings 7 in connection and can be used for suction in the area of the outlet opening 6 after switching off the Liquid flow remaining through line 2 Liquid residues via a line 5 with negative pressure be charged.
  • a circuit is proposed which only operates the droplet suction device 1, e.g. the chamber 3 pressurized when the Liquid flow through line 2 through line 2 assigned shut-off device is interrupted.

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Verhindern des Nachtropfens von Flüssigkeiten aus Leitungsöffnungen. Solche Leitungen werden beispielsweise verwendet, um bei der Fertigung von Halbleiterwafern auf diese Behandlungsflüssigkeiten aufzubringen. Solche Leitungen (Eluierungseinheiten) werden z.B. in Ätzvorrichtungen, wie sie in der EP 0 444 714 B beschrieben sind, verwendet.
Eine andere Anwendung von Leitungen, bei welchen das Nachtropfen verhindert werden soll, sind beispielsweise Füllanlagen in der Getränkeindustrie.
Bei Vorschlägen zur Lösung des Problems des Nachtropfens ist zu berücksichtigen, daß die Maßnahmen den konstanten Volumenstrom und die konstante Fließgeschwindigkeit der Flüssigkeit aus der Leitung nicht beeinträchtigen darf und daß sowohl das Einschalten, als auch das Ausschalten des Flüssigkeitsstromes ohne (wesentliche) Zeitverzögerung erfolgen muß. Angestrebt ist es, daß die aus der Leitung austretende Flüssigkeitssäule ohne Nachtropfen abreißt, wenn beispielsweise ein Absperrorgan geschlossen wird. Nachtropfen ist unerwünscht, da im Bereich der Halbleitertechnik einzelne Tropfen auf der Oberfläche eines Halbleiterwafers (Siliziumwafers) ein unregelmäßiges Prozeßergebnis zur Folge hätten. So kann beispielsweise ein Tropfen einer Ätzsäure zu einer unerwünschten Ätzspur führen. In der Getränkeindustrie ist das Nachtropfen nachteilig, weil die Gebinde, in die ein Getränk abgefüllt wird, außen durch nachtropfendes Getränk verschmutzt werden, so daß diese unansehnlich werden (meist sind Säfte klebrig!)
Zur Lösung des geschilderten Problems sind bisher verschiedene Vorschläge gemacht worden. Häufig werden Ventile verwendet, die beim Schließen eine geringe Menge an Flüssigkeit zurücksaugen. Diese Ventile (sogenannte suck-back-Ventile) saugen bei einem ¼-Zoll-Schlauch (Innendurchmesser ca. 5 mm, Querschnitt ca. 0,2 cm2) die Flüssigkeitssäule etwa 10 cm zurück, das sind etwa 2 ml Flüssigkeit. Bei einem Volumenstrom von 2,5 l/min ergibt sich bei einem ¼-Zoll-Schlauch eine Fließgeschwindigkeit von ca. 2 m/sek. Da Siliziumwafer immer größer werden (derzeit Durchmesser bis 300 mm), wird für die Behandlung ein immer größerer Volumenstrom notwendig. Derzeit werden Volumenströme bis zu 6 l/min verlangt. Dies erfordert bei einem ¼-Zoll-Schlauch eine Fließgeschwindigkeit von annähernd 5 m/sek, was zusätzliche Probleme mit sich bringt (hoher Druckverlust in der Leitung, starke Verzögerungen beim Fließen der Flüssigkeitssäule beim Abschalten). Um dies zu vermeiden, geht man zu größeren Schlauchdurchmessern (3/8-Zoll-Schlauch) über. Durch die größeren Schlauchdurchmesser sinkt die Fließgeschwindigkeit wieder auf die ursprünglichen 2 m/sek. Bei einem 3/8-Zoll-Schlauch (Innendurchmesser ca. 8 mm, Querschnitt ca. 0,5 cm2) entspricht das Rücksaugvolumen der suck-back-Ventile nur mehr einer Rücksaughöhe von 4 cm. Dies hat zur Folge, daß es bei größeren Leitungsquerschnitten zusammen mit der geringen Rücksaughöhe ungeachtet der Verwendung von suck-back-Ventilen immer wieder zu unerwünschtem Nachtropfen kommt. Dies insbesondere, weil sich der wegen der Oberflächenspannung am unteren Ende der Flüssigkeitssäule ausbildende Meniskus kippt, eine Luftblase nach oben wandert und Flüssigkeit nachtropft.
Ein weiteres Problem ergibt sich beim Fördern von Gase enthaltenden Flüssigkeiten, bei dem es schon bei geringem Volumenstrom trotz der Anwendung von suck-back-Ventilen infolge der Blasenbildung in der Leitung zum Nachtropfen kommt.
Aus der EP 402 535 B1 ist eine Dosiervorrichtung bekannt, die ein Ventil, einen verstellbaren Kolben und an der Austrittsöffnung einen porösen Einsatz aufweist.
Bei der bekannten Vorrichtung bewegt sich der Kolben nach dem Schließen des Ventils von der Austrittsöffnung weg, so daß im Bereich der Austrittsöffnung Unterdruck entsteht, der Flüssigkeit daran hindern soll, aus der Austrittsöffnung herauszutropfen.
In der DD 250 846 A3 ist ein Kammerventil zum tropfenfreien Schließen von Flüssigkeitsbehältern beschrieben, dessen von der zu dosierenden Flüssigkeit durchströmte Kammer durch eine Manschette gebildet wird. Die Manschette ist bei offenem Ventil zusammengedrückt (kleiner Innenraum der Kammer) und bei geschlossenem Ventil gedehnt (großer Innenraum der Kammer). In der Kammer entsteht durch das Vergrößern ihres Volumens beim Schließen des Ventils (Dehnen der Manschette) ein Unterdruck, wodurch die Flüssigkeit von der Austrittsöffnung zurückgezogen wird.
Die Flüssigkeit verbleibt beim Ventil nach DD 250 846 A3 in der Kammer des Ventils und/oder im Bereich zwischen Austrittsöffnung und Ventil. Gasende Flüssigkeiten würden bei dieser Einrichtung trotzdem nachtropfen.
In der US 3,792,724 wird eine Füllanlage beschrieben, bei der unmittelbar bei der Austrittsöffnung der Leitung eine Einrichtung vorgesehen ist, die im Bereich der Austrittsöffnung verbliebene Flüssigkeit von der Austrittsöffnung durch Absaugen entfernt. Um dies hier zu ermöglichen ist die Austrittsöffnung mit einem Sieb abgedeckt, durch das die Flüssigkeit hindurchströmen muß.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Anordnung zur Verfügung zu stellen, mit der das Nachtropfen, auch bei hohem Volumenstrom und/oder beim Fördern von Gas enthaltenden Flüssigkeiten, zuverlässig verhindert wird.
Gelöst wird diese Aufgabe mit einer Anordnung mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruches 1.
Bevorzugte und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Mit der Erfindung wird die oben gestellte Aufgabe zuverlässig gelöst und ein Nachtropfen aus Leitungsöffnungen insbesondere auch bei hohem Volumenstrom und im Falle von Gas enthaltenden Flüssigkeiten zuverlässig verhindert, da Flüssigkeit unmittelbar vor der Austrittsöffnung der Leitung weggesaugt wird, so daß Flüssigkeit aus der Öffnung der Leitung nicht mehr austreten (nachtropfen) kann.
In einer einfachen Ausführungsform ist die Kammer, die zu gegebener Zeit mit Unterdruck beaufschlagt wird, rund um die Austrittsöffnung angeordnet.
Vorteilhaft ist es hierbei, wenn im Bereich der Austrittsöffnung in der Wand der Leitung über den Umfang der Leitung verteilt mehrere Löcher vorgesehen sind, durch die Flüssigkeit unter der Wirkung des in der rings um die Austrittsöffnung vorgesehenen Kammer herrschenden Unterdrucks abgesaugt wird.
Um unerwünschtes Abziehen von Flüssigkeit im Bereich des Endes der Leitung durch die mit Unterdruck beaufschlagte Kammer zu verhindern, wird Unterdruck in der Kammer am Ende der Leitung erst dann erzeugt, wenn das Fördern von Flüssigkeit durch die Leitung abgestoppt worden ist (oder knapp vorher), z.B. indem die Kammer erst beim Schließen des Absperrorgans in der Leitung, welche den Flüssigkeitsstrom durch die Leitung unterbricht, mit Unterdruck beaufschlagt wird.
Über die mit Unterdruck beaufschlagte Kammer abgesaugte Flüssigkeit, wodurch also das Nachtropfen zuverlässig verhindert wird, kann entsorgt oder dem Flüssigkeitskreislauf wieder zugeführt werden.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung der in den Zeichnungen gezeigten Ausführungsbeispiele der Erfindung Es zeigt: Fig. 1 einen Schnitt einer Anordnung gemäß der Erfindung, längs der Linie B-B in Fig. 2, Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie A-A in Fig. 1 und Fig. 3 eine beispielsweise Ausführungsform der Schaltung der erfindungsgemäßen Anordnung.
In den Fig. 1 und 2 ist das Austrittsende einer (Rohr)Leitung 2 dargestellt. Flüssigkeit tritt aus der Leitung 2 über eine Öffnung 6 an deren Ende aus. Um den Flüssigkeitsstrom durch die Leitung 2 zu steuern, ist wenigstens ein Absperrorgan (vgl. Fig. 3) vorgesehen das beispielsweise als Rücksaugventil (suck-back-Ventil) ausgebildet ist.
Mit (kurzem) Abstand von ihrem Ende 6 ist der Leitung 2 eine Einrichtung 1 zugeordnet, die dazu dient, das Nachtropfen von Flüssigkeit aus der Austrittsöffnung 6 der Leitung 2 zu verhindern.
Im gezeigten Ausführungsbeispiel besteht die Einrichtung 1 zum Absaugen von Flüssigkeit (-stropfen) aus einem beispielsweise zylinderförmigen, rings um die Leitung 2 angeordneten Gehäuse 4, das nach außen hin eine sich rings um die Leitung 2 erstreckende Kammer 3 begrenzt. An das Gehäuse 4 ist eine Leitung 5 angeschlossen, über die in der Kammer 3 Unterdruck erzeugt werden kann. Hierzu ist die Leitung 5 mit einer Unterdruckquelle (vgl. Fig. 3) verbunden, wobei in der zur Unterdruckquelle führenden Leitung 5 Absperrorgane vorgesehen sein können. In der Wand der Leitung 2 sind im Bereich der Kammer 3 mehrere Durchgangsöffnungen 7 (im Prinzip genügt eine einzige Durchgangsöffnung 7) vorgesehen. Die Durchgangsöffnungen 7 können als Perforation ausgebildet sein, also einen sehr kleinen Durchmesser aufweisen. Der Abstand des Bereiches, in dem die Durchgangsöffnungen 7 in der Rohrleitung 2 vorgesehen sind, von der Austrittsöffnung 6 der Leitung 2 kann beliebig klein gewählt werden.
Wenn die Kammer 3 in dem Gehäuse 4 mit Unterdruck beaufschlagt ist, werden Flüssigkeitsreste, die nach dem Abstoppen des Flüssigkeitsstromes in der Leitung 2 im Bereich der Durchgangsöffnungen 7 zurückbleiben, durch die Durchgangsöffnungen 7 in die Kammer 3 und weiter durch die Leitung 5 abgesaugt. So wird ein Nachtropfen von Flüssigkeit aus der Austrittsöffnung 6 der Leitung 2 verhindert.
Um zu verhindern, daß Flüssigkeit, die aus der Austrittsöffnung 6 am Ende der Leitung 2 austreten soll, wenn z.B. eine Ätzflüssigkeit auf einen Halbleiterwafer aufgebracht wird, durch die Durchgangsöffnungen 7 und die Kammer 3 in die Leitung 5 abgesaugt wird, wird die Leitung 5 und damit die Kammer 3 nur im Bedarfsfall, also bei unterbrochenem Flüssigkeitsstrom mit Unterdruck beaufschlagt.
Alternativ können Maßnahmen vorgesehen sein, mit welchen die Durchtrittsöffnungen 7 in der Wand der Leitung 2 geschlossen werden, wenn Flüssigkeit durch die Leitung 2 strömt. Solche Maßnahmen können Absperreinrichtungen sein, z.B. in Form einer gegenüber dem Ende der Leitung 2 verdrehbaren Hülse, in der Löcher vorgesehen sind. Wenn die Hülse so verdreht wird, daß die Löcher in der Hülse mit der Durchtrittsöffnung 7 fluchten, wirkt der Unterdruck in der Kammer 3 zum Absaugen von Flüssigkeitsresten.
Eine mögliche Schaltung, wie die Einrichtung 1 nur bei Bedarf wirksam gemacht, also die Kammer 3 mit Unterdruck beaufschlagt werden kann, ist in Fig. 3 gezeigt.
Durch die Leitung 2 fließt die Flüssigkeit. Die Leitung 8 ist eine Druckluftleitung, die sich in zwei Äste teilt. Das gleichzeitige Abschalten des Flüssigkeitsstroms 9 in der Leitung 2 und Einschalten des Unterdrucks in der Kammer 3 kann auf folgende Weise sichergestellt werden. Über eine Venturidüse 12 wird mit dem Druckluftstrom 11 in dem einen Ast der Druckluftleitung 8 ein Absaugstrom 10 erzeugt, der die Kammer 3 mit Unterdruck beaufschlagt. In dem Moment, in dem das Ventil 13 in der Leitung 2 für den Flüssigkeitsstrom abschaltet, öffnet das Ventil 14 für den Absaugstrom 10. Dies wird bei druckluftgesteuerten Ventilen durch Umschalten der Steuerluft von einem zum anderen Ventil mit einem Dreiwege-Ventil 15 erreicht. Das Ventil 13 für den Flüssigkeitsstrom kann, aber muß nicht als Rücksaugventil ausgeführt sein. Die Trennung von Gas und Flüssigkeit, in dem Mediumstrom der von der Einrichtung 1 mit der Kammer 3 kommt, erfolgt in an sich bekannter Weise, z.B. durch einen Tropfenabscheider 16. Die Abluft wird in den Abzug 17 geführt. Flüssigkeit wird entweder über eine Leitung 18 entsorgt oder über eine Leitung 19 dem Flüssigkeitskreislauf wieder zugeführt.
In einer anderen Ausführungsform der Erfindung (nicht gezeigt) kann der Unterdruck durch eine Vakuumpumpe erzeugt werden. In diesem Fall wird der Absaugstrom über ein eigenes Ventil geschaltet. Das gleichzeitige Abschalten des Flüssigkeitsstroms und Einschaltung des Absaugstroms erfolgt in diesem Fall z.B. elektrisch.
Für beide Ausführungsformen gilt, daß das gleichzeitige Schalten von Flüssigkeitsstrom und Absaugstrom auch ein um eine Zeitspanne, z.B. um ein paar Sekunden zeitversetzt erfolgen kann. Bevorzugt ist, daß das Absaugen von Flüssigkeit über die Kammer 3 kurz vor dem Abschalten des Flüssigkeitsstromes durch die Leitung 2 aktiviert wird.
Durch das seitliche Absaugen wird bei der Erfindung der nach unten weisende Meniskus der Flüssigkeitssäule immer wieder neu gebildet, auch wenn der Meniskus "kippt", so daß keine Luftblase entstehen kann, die nach oben wandert und Flüssigkeit nachtropfen kann.
Zusammenfassend kann ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wie folgt dargestellt werden:
Um das Nachtropfen von Flüssigkeit aus der Austrittsöffnung 6 einer Leitung 2 zu verhindern, ist dem Ende der Leitung 2 eine Tropfenabsaugeinrichtung 1 zugeordnet. Die Tropfenabsaugeinrichtung 1 besitzt ein Gehäuse 4, welches das Ende der Leitung 2 unter Ausbilden einer Kammer 3 umgibt. Die Kammer 3 steht mit dem Inneren der Leitung 2 über Durchgangsöffnungen 7 in Verbindung und kann zum Absaugen von im Bereich der Austrittsöffnung 6 nach dem Abschalten des Flüssigkeitsstromes durch die Leitung 2 zurückbleibenden Flüssigkeitsresten über eine Leitung 5 mit Unterdruck beaufschlagt werden. Es wird eine Schaltung vorgeschlagen, welche die Tropfenabsaugeinrichtung 1 nur in Betrieb setzt, z.B. die Kammer 3 mit Unterdruck beaufschlagt, wenn der Flüssigkeitsstrom durch die Leitung 2 durch ein der Leitung 2 zugeordnetes Absperrorgan unterbrochen ist.

Claims (12)

  1. Anordnung, um das Nachtropfen von Flüssigkeit aus der Austrittsöffnung (6) einer Leitung (2) zu verhindern, wenn der Flüssigkeitsstrom in der Rohrleitung (2) unterbrochen worden ist, wobei im Bereich der Austrittsöffnung (6) der Leitung (2) eine Einrichtung (1) vorgesehen ist, die im Bereich der Austrittsöffnung (6) verbliebene Flüssigkeit von der Austrittsöffnung (6) durch Absaugen entfernt dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (1) eine mit Unterdruck beaufschlagbare, die Leitung umgebende Kammer (3) aufweist, die über wenigstens eine im Abstand von der Austrittsöffnung (6) der Leitung (2) angeordnete Durchgangsöffnung (7) mit dem Innenraum der Leitung (2) in Verbindung steht.
  2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammer (3) mit Abstand vor der Austrittsöffnung (6) der Leitung (2) vorgesehen ist.
  3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammer (3) von einem im Bereich der Austrittsöffnung (6) der Leitung (2) angeordneten Gehäuse (4) begrenzt ist.
  4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß an das Gehäuse (4) eine zu einer Unterdruck erzeugenden Einrichtung (12) führende Leitung (5) angeschlossen ist.
  5. Anordnung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammer (3) und das Gehäuse (4) rings um die Leitung (2) angeordnet ist.
  6. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß über den Umfang der Leitung (2) verteilt mehrere Durchgangsöffnungen (7) vorgesehen sind.
  7. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Absperrorgan (13) in der Leitung (2) wirkmäßig mit einem Absperrorgan (14) in der Rohrleitung (5), die zur Unterdruckeinrichtung (12) führt, verbunden ist, derart, daß das in der Unterdruckleitung (5) vorgesehene Absperrorgan (14) geöffnet ist, wenn das Absperrorgan (13) in der Leitung (2) geschlossen ist.
  8. Anordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterdruck erzeugende Einrichtung eine eine Venturidüse (12) aufweisende Einrichtung ist.
  9. Anordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß in der zur Unterdruckeinrichtung (12) führenden Leitung (5) ein Tropfenabscheider (16) vorgesehen ist.
  10. Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß von dem Tropfenabscheider (16) eine Leitung (18) ausgeht, über die Flüssigkeit entsorgt wird.
  11. Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß von dem Tropfenabscheider (16) eine Leitung (19) ausgeht, über die Flüssigkeit dem Flüssigkeitskreislauf wieder zugeführt wird.
  12. Anordnung nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß in der Wirkverbindung zwischen dem Absperrorgan (13) in der Leitung (2) und dem Absperrorgan (14) in der zur Unterdruckeinrichtung (12) führenden Leitung (5) ein Zeitverzögerungsglied vorgesehen ist.
EP98115683A 1997-09-18 1998-08-20 Anordnung zum verhindern des Nachtropfens von Flüssigkeiten aus einer Abgabeöffnung Expired - Lifetime EP0906888B1 (de)

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AT157897 1997-09-18
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EP0906888A1 EP0906888A1 (de) 1999-04-07
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