EP0906888A1 - Anordnung zum verhindern des Nachtropfens von Flüssigkeiten aus einer Abgabeöffnung - Google Patents

Anordnung zum verhindern des Nachtropfens von Flüssigkeiten aus einer Abgabeöffnung Download PDF

Info

Publication number
EP0906888A1
EP0906888A1 EP98115683A EP98115683A EP0906888A1 EP 0906888 A1 EP0906888 A1 EP 0906888A1 EP 98115683 A EP98115683 A EP 98115683A EP 98115683 A EP98115683 A EP 98115683A EP 0906888 A1 EP0906888 A1 EP 0906888A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
line
liquid
arrangement according
chamber
outlet opening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP98115683A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0906888B1 (de
Inventor
Franz Sumnitsch
Willibald Pirker
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lam Research AG
Original Assignee
SEZ AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SEZ AG filed Critical SEZ AG
Publication of EP0906888A1 publication Critical patent/EP0906888A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0906888B1 publication Critical patent/EP0906888B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67C—CLEANING, FILLING WITH LIQUIDS OR SEMILIQUIDS, OR EMPTYING, OF BOTTLES, JARS, CANS, CASKS, BARRELS, OR SIMILAR CONTAINERS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; FUNNELS
    • B67C3/00—Bottling liquids or semiliquids; Filling jars or cans with liquids or semiliquids using bottling or like apparatus; Filling casks or barrels with liquids or semiliquids
    • B67C3/02—Bottling liquids or semiliquids; Filling jars or cans with liquids or semiliquids using bottling or like apparatus
    • B67C3/22—Details
    • B67C3/26—Filling-heads; Means for engaging filling-heads with bottle necks
    • B67C3/2608—Filling-heads; Means for engaging filling-heads with bottle necks comprising anti-dripping means

Definitions

  • the invention relates to an arrangement for preventing Leakage of liquids from line openings.
  • Such Lines are used, for example, in manufacturing from semiconductor wafers to these treatment liquids to apply.
  • Such lines are e.g. in etching devices as described in EP 0 444 714 B are used.
  • Valves are often used which suck back a small amount of liquid when closing.
  • these valves with a 1 ⁇ 4-inch hose (inside diameter approx. 5 mm, cross section approx. 0.2 cm 2 )
  • suck-back valves suck the liquid column back approx. 10 cm, which is approx. 2 ml liquid.
  • a 1 ⁇ 4 inch hose results in a flow rate of approx. 2 m / sec. Since silicon wafers are getting bigger (currently diameters up to 300 mm), an ever increasing volume flow is necessary for the treatment. Volume flows of up to 6 l / min are currently required.
  • a dosing device is known from EP 402 535 B1 a valve, an adjustable piston and at the outlet opening has a porous insert.
  • the piston moves after the Closing the valve away from the outlet opening, so that in the Area of the outlet opening creates negative pressure, the liquid should prevent dripping out of the outlet opening.
  • DD 250 846 A3 there is a chamber valve for drip-free Closing liquid containers described, the of of the liquid to be dosed through a chamber Cuff is formed.
  • the cuff is open Valve compressed (small interior of the chamber) and at closed valve stretched (large interior of the chamber).
  • the chamber is created by increasing its volume when Closing the valve (stretching the cuff) a negative pressure, causing the liquid to withdraw from the exit opening becomes.
  • the liquid remains with the valve according to DD 250 846 A3 in the chamber of the valve and / or in the area between the outlet opening and valve. Gassing liquids would drip this facility anyway.
  • the object of the invention is to provide an arrangement with which the dripping, even with high volume flow and / or when conveying liquids containing gas, is reliably prevented.
  • the above object is reliable solved and dripping from line openings in particular even with high volume flow and in the case of gas containing Liquids reliably prevented, as liquid is immediate is sucked away in front of the outlet opening of the line, so that liquid no longer comes out of the opening of the line can leak (drip).
  • this is all about Exit opening provided a chamber that in due course is subjected to negative pressure.
  • FIG. 1 shows a section of an arrangement according to the invention, a section along the line B-B in Fig. 2, Fig. 2 along the line A-A in Fig. 1 and Fig. 3, for example Embodiment of the circuit of the arrangement according to the invention.
  • shut-off device cf. FIG. 3
  • suction valve suction-back valve
  • the line 2 is one Device 1 assigned, which is used to prevent dripping Liquid from the outlet opening 6 to the line 2 prevent.
  • On the housing 4 is one Line 5 connected via the negative pressure in the chamber 3 can be generated.
  • the line 5 with a Vacuum source (see. Fig. 3) connected, in which to Vacuum source leading line 5 shut-off devices provided could be.
  • the through openings 7 In the wall of line 2 are in the area of Chamber 3 several through openings 7 (in principle, one is sufficient only through opening 7) is provided.
  • the through openings 7 can be designed as a perforation, that is a very have a small diameter.
  • the distance of the area, in which the through openings 7 are provided in the pipeline 2 are, from the outlet opening 6 of the line 2 can be any be chosen small.
  • measures can be provided with which the Passages 7 closed in the wall of line 2 when liquid flows through line 2.
  • Such Measures can be shut-off devices, e.g. in form of a relative to the end of the line 2 rotatable sleeve in which Holes are provided. If the sleeve is turned so that the holes in the sleeve are aligned with the passage opening 7, acts the negative pressure in the chamber 3 for suction of liquid residues.
  • FIG. 3 A possible circuit, like the device 1 only when needed made effective, that is, the chamber 3 is subjected to negative pressure can be shown in Fig. 3.
  • Line 8 is a compressed air line that divides into two branches.
  • the simultaneous shutdown of the liquid flow 9 in the Line 2 and switching on the negative pressure in chamber 3 can be ensured in the following way.
  • Via a venturi nozzle 12 is with the compressed air flow 11 in one branch of the Compressed air line 8 generates a suction stream 10 that the chamber 3 applied with negative pressure.
  • the valve 13 for the liquid flow can, but does not have to be designed as a return valve.
  • the vacuum can be generated by a vacuum pump.
  • the suction flow is via its own valve switched. The simultaneous shutdown of the liquid flow and switching on of the suction flow takes place in this Case e.g. electric.
  • Droplet suction device 1 To prevent liquid from dripping out of the outlet opening 6 to prevent a line 2 is the end of line 2 one Droplet suction device 1 assigned.
  • the droplet suction device 1 has a housing 4, which is the end of the line 2 surrounds to form a chamber 3.
  • Chamber 3 stands with the inside of the line 2 through openings 7 in Connection and can be used for suction in the area of the outlet opening 6 after switching off the liquid flow through the line 2 remaining liquid residues a line 5 are subjected to negative pressure. It will proposed a circuit which the droplet suction device 1 only starts up, e.g. the chamber 3 with negative pressure acted upon when the liquid flow through line 2 interrupted by a shut-off device assigned to line 2 is.

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

Um das Nachtropfen von Flüssigkeit aus der Austrittsöffnung (6) einer Leitung (2) zu verhindern, ist dem Ende der Leitung (2) eine Tropfenabsaugeinrichtung (1) zugeordnet. Die Tropfenabsaugeinrichtung (1) besitzt ein Gehäuse (4), welches das Ende der Leitung (2) unter Ausbilden einer Kammer (3) umgibt. Die Kammer (3) steht mit dem Inneren der Leitung (2) über Durchgangsöffnungen (7) in Verbindung und kann zum Absaugen von im Bereich der Austrittsöffnung (6) nach dem Abschalten des Flüssigkeitsstromes durch die Leitung (2) zurückbleibenden Flüssigkeitsresten über eine Leitung (5) mit Unterdruck beaufschlagt werden. Es wird eine Schaltung vorgeschlagen, welche die Tropfenabsaugeinrichtung (1) nur in Betrieb setzt, z.B. die Kammer (3) mit Unterdruck beaufschlagt, wenn der Flüssigkeitsstrom durch die Leitung (2) durch ein der Leitung (2) zugeordnetes Absperrorgan unterbrochen ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Verhindern des Nachtropfens von Flüssigkeiten aus Leitungsöffnungen. Solche Leitungen werden beispielsweise verwendet, um bei der Fertigung von Halbleiterwafern auf diese Behandlungsflüssigkeiten aufzubringen. Solche Leitungen (Eluierungseinheiten) werden z.B. in Ätzvorrichtungen, wie sie in der EP 0 444 714 B beschrieben sind, verwendet.
Eine andere Anwendung von Leitungen, bei welchen das Nachtropfen verhindert werden soll, sind beispielsweise Füllanlagen in der Getränkeindustrie.
Bei Vorschlägen zur Lösung des Problems des Nachtropfens ist zu berücksichtigen, daß die Maßnahmen, den konstanten Volumenstrom und die konstante Fließgeschwindigkeit der Flüssigkeit aus der Leitung nicht beeinträchtigen darf und daß sowohl das Einschalten, als auch das Ausschalten des Flüssigkeitsstromes ohne (wesentliche) Zeitverzögerung erfolgen muß. Angestrebt ist es, daß die aus der Leitung austretende Flüssigkeitssäule ohne Nachtropfen abreißt, wenn beispielsweise ein Absperrorgan geschlossen wird. Nachtropfen ist unerwünscht, da im Bereich der Halbleitertechnik einzelne Tropfen auf der Oberfläche eines Halbleiterwafers (Siliziumwafers) ein unregelmäßiges Prozeßergebnis zur Folge hätten. So kann beispielsweise ein Tropfen einer Ätzsäure zu einer unerwünschten Ätzspur führen. In der Getränkeindustrie ist das Nachtropfen nachteilig, weil die Gebinde, in die ein Getränk abgefüllt wird, außen durch nachtropfendes Getränk verschmutzt werden, so daß diese unansehnlich werden (meist sind Säfte klebrig!)
Zur Lösung des geschilderten Problems sind bisher verschiedene Vorschläge gemacht worden. Häufig werden Ventile verwendet, die beim Schließen eine geringe Menge an Flüssigkeit zurücksaugen. Diese Ventile (sogenannte suck-back-Ventile) saugen bei einem ¼-Zoll-Schlauch (Innendurchmesser ca. 5 mm, Querschnitt ca. 0,2 cm2) die Flüssigkeitssäule etwa 10 cm zurück, das sind etwa 2 ml Flüssigkeit. Bei einem Volumenstrom von 2,5 l/min ergibt sich bei einem ¼-Zoll-Schlauch eine Fließgeschwindigkeit von ca. 2 m/sek. Da Siliziumwafer immer größer werden (derzeit Durchmesser bis 300 mm), wird für die Behandlung ein immer größerer Volumenstrom notwendig. Derzeit werden Volumenströme bis zu 6 l/min verlangt. Dies erfordert bei einem ¼-Zoll-Schlauch eine Fließgeschwindigkeit von annähernd 5 m/sek, was zusätzliche Probleme mit sich bringt (hoher Druckverlust in der Leitung, starke Verzögerungen beim Fließen der Flüssigkeitssäule beim Abschalten). Um dies zu vermeiden, geht man zu größeren Schlauchdurchmessern (3/8-Zoll-Schlauch) über. Durch die größeren Schlauchdurchmesser sinkt die Fließgeschwindigkeit wieder auf die ursprünglichen 2 m/sek. Bei einem 3/8-Zoll-Schlauch (Innendurchmesser ca. 8 mm, Querschnitt ca. 0,5 cm2) entspricht das Rücksaugvolumen der suck-back-Ventile nur mehr einer Rücksaughöhe von 4 cm. Dies hat zur Folge, daß es bei größeren Leitungsquerschnitten zusammen mit der geringen Rücksaughöhe ungeachtet der Verwendung von suck-back-Ventilen immer wieder zu unerwünschtem Nachtropfen kommt. Dies insbesondere, weil sich der wegen der Oberflächenspannung am unteren Ende der Flüssigkeitssäule ausbildende Meniskus kippt, eine Luftblase nach oben wandert und Flüssigkeit nachtropft.
Ein weiteres Problem ergibt sich beim Fördern von Gase enthaltenden Flüssigkeiten, bei dem es schon bei geringem Volumenstrom trotz der Anwendung von suck-back-Ventilen infolge der Blasenbildung in der Leitung zum Nachtropfen kommt.
Aus der EP 402 535 B1 ist eine Dosiervorrichtung bekannt, die ein Ventil, einen verstellbaren Kolben und an der Austrittsöffnung einen porösen Einsatz aufweist.
Bei der bekannten Vorrichtung bewegt sich der Kolben nach dem Schließen des Ventils von der Austrittsöffnung weg, so daß im Bereich der Austrittsöffnung Unterdruck entsteht, der Flüssigkeit daran hindern soll, aus der Austrittsöffnung herauszutropfen.
In der DD 250 846 A3 ist ein Kammerventil zum tropfenfreien Schließen von Flüssigkeitsbehältern beschrieben, dessen von der zu dosierenden Flüssigkeit durchströmte Kammer durch eine Manschette gebildet wird. Die Manschette ist bei offenem Ventil zusammengedrückt (kleiner Innenraum der Kammer) und bei geschlossenem Ventil gedehnt (großer Innenraum der Kammer). In der Kammer entsteht durch das Vergrößern ihres Volumens beim Schließen des Ventils (Dehnen der Manschette) ein Unterdruck, wodurch die Flüssigkeit von der Austrittsöffnung zurückgezogen wird.
Die Flüssigkeit verbleibt beim Ventil nach DD 250 846 A3 in der Kammer des Ventils und/oder im Bereich zwischen Austrittsöffnung und Ventil. Gasende Flüssigkeiten würden bei dieser Einrichtung trotzdem nachtropfen.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Anordnung zur Verfügung zu stellen, mit der das Nachtropfen, auch bei hohem Volumenstrom und/oder beim Fördern von Gas enthaltenden Flüssigkeiten, zuverlässig verhindert wird.
Gelöst wird diese Aufgabe mit einer Anordnung mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruches 1.
Bevorzugte und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Mit der Erfindung wird die oben gestellte Aufgabe zuverlässig gelöst und ein Nachtropfen aus Leitungsöffnungen insbesondere auch bei hohem Volumenstrom und im Falle von Gas enthaltenden Flüssigkeiten zuverlässig verhindert, da Flüssigkeit unmittelbar vor der Austrittsöffnung der Leitung weggesaugt wird, so daß Flüssigkeit aus der Öffnung der Leitung nicht mehr austreten (nachtropfen) kann.
In einer einfachen Ausführungsform ist hierzu rund um die Austrittsöffnung eine Kammer vorgesehen, die zu gegebener Zeit mit Unterdruck beaufschlagt wird.
Vorteilhaft ist es hierbei, wenn im Bereich der Austrittsöffnung in der Wand der Leitung Löcher vorgesehen sind, durch die Flüssigkeit unter der Wirkung des in der rings um die Austrittsöffnung vorgesehenen Kammer herrschenden Unterdrucks abgesaugt wird.
Um unerwünschtes Abziehen von Flüssigkeit im Bereich des Endes der Leitung durch die mit Unterdruck beaufschlagte Kammer zu verhindern, wird Unterdruck in der Kammer am Ende der Leitung erst dann erzeugt, wenn das Fördern von Flüssigkeit durch die Leitung abgestoppt worden ist (oder knapp vorher), z.B. indem die Kammer erst beim Schließen des Absperrorgans in der Leitung, welche den Flüssigkeitsstrom durch die Leitung unterbricht, mit Unterdruck beaufschlagt wird.
Über die mit Unterdruck beaufschlagte Kammer abgesaugte Flüssigkeit, wodurch also das Nachtropfen zuverlässig verhindert wird, kann entsorgt oder dem Flüssigkeitskreislauf wieder zugeführt werden.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung der in den Zeichnungen gezeigten Ausführungsbeispiele der Erfindung Es zeigt: Fig. 1 einen Schnitt einer Anordnung gemäß der Erfindung, längs der Linie B-B in Fig. 2, Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie A-A in Fig. 1 und Fig. 3 eine beispielsweise Ausführungsform der Schaltung der erfindungsgemäßen Anordnung.
In den Fig. 1 und 2 ist das Austrittsende einer (Rohr-)Leitung 2 dargestellt. Flüssigkeit tritt aus der Leitung 2 über eine Öffnung 6 an deren Ende aus. Um den Flüssigkeitsstrom durch die Leitung 2 zu steuern, ist wenigstens ein Absperrorgan (vgl. Fig. 3) vorgesehen das beispielsweise als Rücksaugventil (suck-back-Ventil) ausgebildet ist.
Mit (kurzem) Abstand von ihrem Ende 6 ist der Leitung 2 eine Einrichtung 1 zugeordnet, die dazu dient, das Nachtropfen von Flüssigkeit aus der Austrittsöffnung 6 der Leitung 2 zu verhindern.
Im gezeigten Ausführungsbeispiel besteht die Einrichtung 1 zum Absaugen von Flüssigkeit (-stropfen) aus einem beispielsweise zylinderförmigen, rings um die Leitung 2 angeordneten Gehäuse 4, das nach außen hin eine sich rings um die Leitung 2 erstreckende Kammer 3 begrenzt. An das Gehäuse 4 ist eine Leitung 5 angeschlossen, über die in der Kammer 3 Unterdruck erzeugt werden kann. Hierzu ist die Leitung 5 mit einer Unterdruckquelle (vgl. Fig. 3) verbunden, wobei in der zur Unterdruckquelle führenden Leitung 5 Absperrorgane vorgesehen sein können. In der Wand der Leitung 2 sind im Bereich der Kammer 3 mehrere Durchgangsöffnungen 7 (im Prinzip genügt eine einzige Durchgangsöffnung 7) vorgesehen. Die Durchgangsöffnungen 7 können als Perforation ausgebildet sein, also einen sehr kleinen Durchmesser aufweisen. Der Abstand des Bereiches, in dem die Durchgangsöffnungen 7 in der Rohrleitung 2 vorgesehen sind, von der Austrittsöffnung 6 der Leitung 2 kann beliebig klein gewählt werden.
Wenn die Kammer 3 in dem Gehäuse 4 mit Unterdruck beaufschlagt ist, werden Flüssigkeitsreste, die nach dem Abstoppen des Flüssigkeitsstromes in der Leitung 2 im Bereich der Durchgangsöffnungen 7 zurückbleiben, durch die Durchgangsöffnungen 7 in die Kammer 3 und weiter durch die Leitung 5 abgesaugt. So wird ein Nachtropfen von Flüssigkeit aus der Austrittsöffnung 6 der Leitung 2 verhindert.
Um zu verhindern, daß Flüssigkeit, die aus der Austrittsöffnung 6 am Ende der Leitung 2 austreten soll, wenn z.B. eine Ätzflüssigkeit auf einem Halbleiterwafer aufgebracht wird, durch die Durchgangsöffnungen 7 und die Kammer 3 in die Leitung 5 abgesaugt wird, wird die Leitung 5 und damit die Kammer 3 nur im Bedarfsfall, also bei unterbrochenem Flüssigkeitsstrom mit Unterdruck beaufschlagt.
Alternativ können Maßnahmen vorgesehen sein, mit welchen die Durchtrittsöffnungen 7 in der Wand der Leitung 2 geschlossen werden, wenn Flüssigkeit durch die Leitung 2 strömt. Solche Maßnahmen können Absperreinrichtungen sein, z.B. in Form einer gegenüber dem Ende der Leitung 2 verdrehbaren Hülse, in der Löcher vorgesehen sind. Wenn die Hülse so verdreht wird, daß die Löcher in der Hülse mit der Durchtrittsöffnung 7 fluchten, wirkt der Unterdruck in der Kammer 3 zum Absaugen von Flüssigkeitsresten.
Eine mögliche Schaltung, wie die Einrichtung 1 nur bei Bedarf wirksam gemacht, also die Kammer 3 mit Unterdruck beaufschlagt werden kann, ist in Fig. 3 gezeigt.
Durch die Leitung 2 fließt die Flüssigkeit. Die Leitung 8 ist eine Druckluftleitung, die sich in zwei Äste teilt. Das gleichzeitige Abschalten des Flüssigkeitsstroms 9 in der Leitung 2 und Einschalten des Unterdrucks in der Kammer 3 kann auf folgende Weise sichergestellt werden. Über eine Venturidüse 12 wird mit dem Druckluftstrom 11 in dem einen Ast der Druckluftleitung 8 ein Absaugstrom 10 erzeugt, der die Kammer 3 mit Unterdruck beaufschlagt. In dem Moment, in dem das Ventil 13 in der Leitung 2 für den Flüssigkeitsstrom abschaltet, öffnet das Ventil 14 für den Absaugstrom 10. Dies wird bei druckluftgesteuerten Ventilen durch Umschalten der Steuerluft von einem zum anderen Ventil mit einem Dreiwege-Ventil 15 erreicht. Das Ventil 13 für den Flüssigkeitsstrom kann, aber muß nicht als Rücksaugventil ausgeführt sein. Die Trennung von Gas und Flüssigkeit, in dem Mediumstrom der von der Einrichtung 1 mit der Kammer 3 kommt, erfolgt in an sich bekannter Weise, z.B. durch einen Tropfenabscheider 16. Die Abluft wird in den Abzug 17 geführt. Flüssigkeit wird entweder über eine Leitung 18 entsorgt oder über eine Leitung 19 dem Flüssigkeitskreislauf wieder zugeführt.
In einer anderen Ausführungsform der Erfindung (nicht gezeigt) kann der Unterdruck durch eine Vakuumpumpe erzeugt werden. In diesem Fall wird der Absaugstrom über ein eigenes Ventil geschaltet. Das gleichzeitige Abschalten des Flüssigkeitsstroms und Einschaltung des Absaugstroms erfolgt in diesem Fall z.B. elektrisch.
Für beide Ausführungsformen gilt, daß das gleichzeitige Schalten von Flüssigkeitsstrom und Absaugstrom auch ein um eine Zeitspanne, z.B. um ein paar Sekunden zeitversetzt erfolgen kann. Bevorzugt ist, daß das Absaugen von Flüssigkeit über die Kammer 3 kurz vor dem Abschalten des Flüssigkeitsstromes durch die Leitung 2 aktiviert wird.
Durch das seitliche Absaugen wird bei der Erfindung der nach unten weisende Meniskus der Flüssigkeitssäule immer wieder neu gebildet, auch wenn der Meniskus "kippt", so daß keine Luftblase entstehen kann, die nach oben wandert und Flüssigkeit nachtropfen kann.
Zusammenfassend kann ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wie folgt dargestellt werden:
Um das Nachtropfen von Flüssigkeit aus der Austrittsöffnung 6 einer Leitung 2 zu verhindern, ist dem Ende der Leitung 2 eine Tropfenabsaugeinrichtung 1 zugeordnet. Die Tropfenabsaugeinrichtung 1 besitzt ein Gehäuse 4, welches das Ende der Leitung 2 unter Ausbilden einer Kammer 3 umgibt. Die Kammer 3 steht mit dem Inneren der Leitung 2 über Durchgangsöffnungen 7 in Verbindung und kann zum Absaugen von im Bereich der Austrittsöffnung 6 nach dem Abschalten des Flüssigkeitsstromes durch die Leitung 2 zurückbleibenden Flüssigkeitsresten über eine Leitung 5 mit Unterdruck beaufschlagt werden. Es wird eine Schaltung vorgeschlagen, welche die Tropfenabsaugeinrichtung 1 nur in Betrieb setzt, z.B. die Kammer 3 mit Unterdruck beaufschlagt, wenn der Flüssigkeitsstrom durch die Leitung 2 durch ein der Leitung 2 zugeordnetes Absperrorgan unterbrochen ist.

Claims (15)

  1. Anordnung, um das Nachtropfen von Flüssigkeit aus der Austrittsöffnung (6) einer Leitung (2) zu verhindern, wenn der Flüssigkeitsstrom in der Rohrleitung (2) unterbrochen worden ist, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich der Austrittsöffnung (6) der Leitung (2) eine Einrichtung (1) vorgesehen ist, die im Bereich der Austrittsöffnung (6) verbliebene Flüssigkeit von der Austrittsöffnung (6) durch Absaugen entfernt.
  2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (1) eine mit Unterdruck beaufschlagbare Kammer (3) aufweist, die mit im Bereich der Austrittsöffnung (6) der Leitung (2) in Wirkverbindung steht.
  3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammer (3) mit Abstand vor der Austrittsöffnung (6) der Leitung (2) vorgesehen ist.
  4. Anordnung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die mit Unterdruck beaufschlagbare Kammer (3) über wenigstens eine Durchgangsöffnung (7) mit dem Innenraum der Leitung (2) in Verbindung steht.
  5. Anordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammer (3) von einem im Bereich der Austrittsöffnung (6) der Leitung (2) angeordneten Gehäuse (4) begrenzt ist.
  6. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß an das Gehäuse (4) eine zu einer Unterdruck erzeugenden Einrichtung (12) führende Leitung (5) angeschlossen ist.
  7. Anordnung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammer (3) und das Gehäuse (4) rings um die Leitung (2) angeordnet ist.
  8. Anordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchgangsöffnung (7) im Abstand von der Austrittsöffnung (6) der Leitung (2) angeordnet ist.
  9. Anordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß über den Umfang der Leitung (2) verteilt mehrere Durchgangsöffnungen (7) vorgesehen sind.
  10. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Absperrorgan (13) in der Leitung (2) wirkmäßig mit einem Absperrorgan (14) in der Rohrleitung (5), die zur Unterdruckeinrichtung (12) führt, verbunden ist, derart, daß das in der Unterdruckleitung (5) vorgesehene Absperrorgan (14) geöffnet ist, wenn das Absperrorgan (13) in der Leitung (2) geschlossen ist.
  11. Anordnung nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterdruck erzeugende Einrichtung eine eine Venturidüse (12) aufweisende Einrichtung ist.
  12. Anordnung nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß in der zur Unterdruckeinrichtung (12) führenden Leitung (5) ein Tropfenabscheider (16) vorgesehen ist.
  13. Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß von dem Tropfenabscheider (16) eine Leitung (18) ausgeht, über die Flüssigkeit entsorgt wird.
  14. Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß von dem Tropfenabscheider (16) eine Leitung (19) ausgeht, über die Flüssigkeit dem Flüssigkeitskreislauf wieder zugeführt wird.
  15. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß in der Wirkverbindung zwischen dem Absperrorgan (13) in der Leitung (2) und dem Absperrorgan (14) in der zur Unterdruckeinrichtung (12) führenden Leitung (5) ein Zeitverzögerungsglied vorgesehen ist.
EP98115683A 1997-09-18 1998-08-20 Anordnung zum verhindern des Nachtropfens von Flüssigkeiten aus einer Abgabeöffnung Expired - Lifetime EP0906888B1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT0157897A AT407385B (de) 1997-09-18 1997-09-18 Anordnung um das nachtropfen von flüssigkeiten aus leitungen zu verhindern
AT157897 1997-09-18
AT1578/97 1997-09-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0906888A1 true EP0906888A1 (de) 1999-04-07
EP0906888B1 EP0906888B1 (de) 2001-07-11

Family

ID=3516448

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP98115683A Expired - Lifetime EP0906888B1 (de) 1997-09-18 1998-08-20 Anordnung zum verhindern des Nachtropfens von Flüssigkeiten aus einer Abgabeöffnung

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6056208A (de)
EP (1) EP0906888B1 (de)
JP (1) JP3437773B2 (de)
KR (1) KR100493254B1 (de)
AT (1) AT407385B (de)
DE (1) DE59800986D1 (de)
TW (1) TW440539B (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106956790A (zh) * 2017-03-31 2017-07-18 长春北方化工灌装设备股份有限公司 一种基于内回流式充料枪的防爆灌装机器人系统
CN107619012A (zh) * 2017-09-29 2018-01-23 重庆尚洁日化用品有限公司 一种洗发水灌装机

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6789748B2 (en) * 2001-02-14 2004-09-14 Valiant Corporation Water jet
US7320414B2 (en) * 2002-07-09 2008-01-22 Terrence Robert Davis Beverage dispense
JP2006010037A (ja) * 2004-06-29 2006-01-12 Smc Corp サックバックバルブ
JP2006010038A (ja) * 2004-06-29 2006-01-12 Smc Corp サックバックバルブ
US20060040111A1 (en) * 2004-08-20 2006-02-23 Dolechek Kert L Process chamber and system for thinning a semiconductor workpiece
US7288489B2 (en) * 2004-08-20 2007-10-30 Semitool, Inc. Process for thinning a semiconductor workpiece
US7193295B2 (en) * 2004-08-20 2007-03-20 Semitool, Inc. Process and apparatus for thinning a semiconductor workpiece
US20060046499A1 (en) * 2004-08-20 2006-03-02 Dolechek Kert L Apparatus for use in thinning a semiconductor workpiece
US7354649B2 (en) 2004-08-20 2008-04-08 Semitool, Inc. Semiconductor workpiece
WO2006119923A1 (de) * 2005-05-06 2006-11-16 Dieter Wurz Sprühdüse, sprühanordnung und verfahren zum betreiben einer sprühdüse und einer sprühanordnung
JP5440011B2 (ja) * 2009-07-31 2014-03-12 カシオ計算機株式会社 吐出ノズル、吐出装置及び塗布装置
US9873096B2 (en) * 2009-12-29 2018-01-23 Indian Oil Corporation Limited Feed nozzle assembly
TWI585885B (zh) * 2015-09-11 2017-06-01 辛耘企業股份有限公司 管尾關斷裝置以及基板處理裝置
US10023333B2 (en) * 2016-03-07 2018-07-17 The Procter & Gamble Company Vacuum assisted nozzle and apparatus
NL2019096B1 (en) 2017-06-20 2018-12-27 Suss Microtec Lithography Gmbh Nozzle tip adapter, nozzle assembly as well as nozzle
JP7312304B2 (ja) * 2018-09-21 2023-07-20 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置、及び基板処理方法
US10988363B1 (en) 2019-02-06 2021-04-27 Owens-Brockway Glass Container Inc. System for preventing dripping from nozzles in a container filling system
CN111960362B (zh) * 2020-07-28 2021-12-14 江苏源泉泵业股份有限公司 一种水泵式灌装设备
CN114572439B (zh) * 2022-04-07 2023-10-17 台州市祥珑食品容器科技股份有限公司 一种灌装管控制结构
CN114890366B (zh) * 2022-05-28 2024-05-24 佛山市晋雄实业有限公司 一种瓶装化妆品定量包装装置及方法
EP4375230A1 (de) * 2022-11-25 2024-05-29 Alfa Laval Corporate AB Füllvorrichtung zum füllen von behältern mit flüssigen produkten

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3792724A (en) * 1972-05-15 1974-02-19 Delamere & Williams Co Ltd Bag filling machine
GB2002331A (en) * 1977-08-09 1979-02-21 Albro Fillers & Eng Co Ltd Filling-nozzle wipers
EP0103484A2 (de) * 1982-09-13 1984-03-21 Laub, Herman, III Füllmaschine für schäumende Flüssigkeiten
DD250846A3 (de) 1985-08-30 1987-10-28 Colditz Veb Porzellan Kammerventil zum tropfenfreien schliessen von fluessigkeitsbehaeltern
EP0402535A1 (de) 1989-06-15 1990-12-19 Shikoku Kakoki Co., Ltd. Vorrichtung zum Verhindern des Nachtropfens der Füllelemente einer Füllmaschine für Flüssigkeiten
EP0444714A1 (de) 1987-11-09 1991-09-04 SEZ Semiconductor-Equipment Zubehör für die Halbleiterfertigung Gesellschaft m.b.H. Vorrichtung zum Behandeln scheibenförmiger Gegenstände
FR2665682A1 (fr) * 1990-08-13 1992-02-14 Colgate Palmolive Co Buse anti-goutte et procede de remplissage de poches souples.

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE250846C (de) *
US3583634A (en) * 1968-12-02 1971-06-08 Fmc Corp Spray nozzle
US4362572A (en) * 1981-06-25 1982-12-07 Burroughs Corporation Method and apparatus for cleaning ink jet printer heads
JPS58156567U (ja) * 1982-04-12 1983-10-19 トヨタ自動車株式会社 高粘弾性流体用ノズル
US4634027A (en) * 1985-01-04 1987-01-06 Mvm Valve Co., Inc. Liquid dispensing apparatus and an anti-drip valve cartridge therefor
US4911267A (en) * 1987-08-31 1990-03-27 Yohwa Trading Co., Ltd. Oiler with drippage preventing device
JPH0494589A (ja) * 1990-08-10 1992-03-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品固定用接着剤塗布装置
JPH04309460A (ja) * 1991-04-04 1992-11-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd クリームはんだ塗布装置
JPH06244543A (ja) * 1993-02-17 1994-09-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 接着剤塗布装置用の接着剤塗布ノズル
JPH0768208A (ja) * 1993-09-06 1995-03-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 間欠塗布装置
JPH0975818A (ja) * 1995-09-20 1997-03-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 塗布装置
US5756155A (en) * 1996-01-22 1998-05-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Combination nozzle and vacuum hood that is self cleaning
US5720433A (en) * 1996-01-30 1998-02-24 Dexter Corporation Draw back valve for a glue gun
DE19646006C2 (de) * 1996-11-07 2000-04-06 Hideyuki Kobayashi Düse zur Schnellgalvanisierung mit einer Galvanisierungslösungsabstrahl- und -ansaugfunktion
JP3940853B2 (ja) * 1997-03-11 2007-07-04 Ｓｍｃ株式会社 サックバックバルブ
JP3951150B2 (ja) * 1997-04-09 2007-08-01 Ｓｍｃ株式会社 サックバックバルブ

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3792724A (en) * 1972-05-15 1974-02-19 Delamere & Williams Co Ltd Bag filling machine
GB2002331A (en) * 1977-08-09 1979-02-21 Albro Fillers & Eng Co Ltd Filling-nozzle wipers
EP0103484A2 (de) * 1982-09-13 1984-03-21 Laub, Herman, III Füllmaschine für schäumende Flüssigkeiten
DD250846A3 (de) 1985-08-30 1987-10-28 Colditz Veb Porzellan Kammerventil zum tropfenfreien schliessen von fluessigkeitsbehaeltern
EP0444714A1 (de) 1987-11-09 1991-09-04 SEZ Semiconductor-Equipment Zubehör für die Halbleiterfertigung Gesellschaft m.b.H. Vorrichtung zum Behandeln scheibenförmiger Gegenstände
EP0402535A1 (de) 1989-06-15 1990-12-19 Shikoku Kakoki Co., Ltd. Vorrichtung zum Verhindern des Nachtropfens der Füllelemente einer Füllmaschine für Flüssigkeiten
FR2665682A1 (fr) * 1990-08-13 1992-02-14 Colgate Palmolive Co Buse anti-goutte et procede de remplissage de poches souples.

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106956790A (zh) * 2017-03-31 2017-07-18 长春北方化工灌装设备股份有限公司 一种基于内回流式充料枪的防爆灌装机器人系统
CN106956790B (zh) * 2017-03-31 2020-12-29 长春融成智能设备制造股份有限公司 一种基于内回流式充料枪的防爆灌装机器人系统
CN107619012A (zh) * 2017-09-29 2018-01-23 重庆尚洁日化用品有限公司 一种洗发水灌装机

Also Published As

Publication number Publication date
US6056208A (en) 2000-05-02
KR19990029405A (ko) 1999-04-26
EP0906888B1 (de) 2001-07-11
TW440539B (en) 2001-06-16
DE59800986D1 (de) 2001-08-16
JPH11179265A (ja) 1999-07-06
ATA157897A (de) 2000-07-15
AT407385B (de) 2001-02-26
KR100493254B1 (ko) 2005-10-25
JP3437773B2 (ja) 2003-08-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0906888B1 (de) Anordnung zum verhindern des Nachtropfens von Flüssigkeiten aus einer Abgabeöffnung
DE3028528C2 (de) Automatische Umschaltvorrichtung für ein Flüssigkeitsabgabesystem mit zwei Sätzen zusammenfaltbarer Beutel
DE60310662T2 (de) Füllventil
DE3641644A1 (de) Durchflusskammer zum entfernen von gasblasen aus einer fluessigkeit
DE10309112B4 (de) Rücksaugventil
WO1982000348A1 (en) Metering device with ball valve and operating method
EP0056436B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Innenreinigen von Fässern oder dgl., insbesondere für Bierfässer
DE2745498C3 (de) Vorrichtung zur Steuerung eines Nachfüllens von Flüssigkeit in eine Reinigungsmischung
DE69814219T2 (de) Rücksaugventil
DE2918025A1 (de) Vorrichtung zum entgasen einer fluessigkeit
DE3213554A1 (de) Fluessigkeits-zuteilungsvorrichtung
DE2420634B2 (de) Hochdruck-Sprüh-Waschvorrichtung
DE10044307A1 (de) Füllorgan mit Nachtropfverhinderung
DE102016201342A1 (de) Vorrichtung und Dampflanze zum Aufschäumen und/oder Erwärmen von Milch
DE1625216B2 (de) Verfahren zur betriebssteuerung einer spritzvorrichtung fuer verschiedene reinigungsfluessigkeiten und vorrichtung zur ausfuehrung des verfahrens
DE3121619C2 (de) Schaltventil, insbesondere 3/2-Wegeventil
DE102018121341B4 (de) Strahlpumpe
DE2641941C2 (de) Selbsttätige Überfüllsicherung
EP1272412B1 (de) Verfahren zur wiederholten förderung von reinigungsflüssigkeit
EP0737644B1 (de) Abfülleinrichtung für Flüssigkeiten
DE673782C (de) Fuelleinrichtung
DE2831463A1 (de) Spuelvorrichtung fuer eine getraenke- entnahme-anlage
CH664697A5 (de) Dosiervorrichtung fuer feuerloeschschaum.
DE2753379C2 (de)
DE3842929C1 (en) Device for preventing the dispensing of filling material into a deformed tube

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE FR GB IT

AX Request for extension of the european patent

Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI

17P Request for examination filed

Effective date: 19990909

AKX Designation fees paid

Free format text: DE FR GB IT

17Q First examination report despatched

Effective date: 20000225

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): DE FR GB IT

REF Corresponds to:

Ref document number: 59800986

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20010816

ITF It: translation for a ep patent filed

Owner name: RACHELI & C. S.R.L.

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 20010921

ET Fr: translation filed
REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: IF02

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: CD

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: CA

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: CD

Ref country code: FR

Ref legal event code: CA

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20100823

Year of fee payment: 13

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20100819

Year of fee payment: 13

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20110820

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20110820

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20110820

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20130821

Year of fee payment: 16

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20130823

Year of fee payment: 16

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R119

Ref document number: 59800986

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R119

Ref document number: 59800986

Country of ref document: DE

Effective date: 20150303

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

Effective date: 20150430

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20150303

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20140901