EP0906888A1 - Device for preventing dripping of liquid from a dispensing orifice - Google Patents

Device for preventing dripping of liquid from a dispensing orifice Download PDF

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EP0906888A1
EP0906888A1 EP98115683A EP98115683A EP0906888A1 EP 0906888 A1 EP0906888 A1 EP 0906888A1 EP 98115683 A EP98115683 A EP 98115683A EP 98115683 A EP98115683 A EP 98115683A EP 0906888 A1 EP0906888 A1 EP 0906888A1
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EP
European Patent Office
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line
liquid
arrangement according
chamber
outlet opening
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EP98115683A
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Franz Sumnitsch
Willibald Pirker
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Lam Research AG
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SEZ AG
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67C—CLEANING, FILLING WITH LIQUIDS OR SEMILIQUIDS, OR EMPTYING, OF BOTTLES, JARS, CANS, CASKS, BARRELS, OR SIMILAR CONTAINERS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; FUNNELS
    • B67C3/00—Bottling liquids or semiliquids; Filling jars or cans with liquids or semiliquids using bottling or like apparatus; Filling casks or barrels with liquids or semiliquids
    • B67C3/02—Bottling liquids or semiliquids; Filling jars or cans with liquids or semiliquids using bottling or like apparatus
    • B67C3/22—Details
    • B67C3/26—Filling-heads; Means for engaging filling-heads with bottle necks
    • B67C3/2608—Filling-heads; Means for engaging filling-heads with bottle necks comprising anti-dripping means

Definitions

  • the invention relates to an arrangement for preventing Leakage of liquids from line openings.
  • Such Lines are used, for example, in manufacturing from semiconductor wafers to these treatment liquids to apply.
  • Such lines are e.g. in etching devices as described in EP 0 444 714 B are used.
  • Valves are often used which suck back a small amount of liquid when closing.
  • these valves with a 1 ⁇ 4-inch hose (inside diameter approx. 5 mm, cross section approx. 0.2 cm 2 )
  • suck-back valves suck the liquid column back approx. 10 cm, which is approx. 2 ml liquid.
  • a 1 ⁇ 4 inch hose results in a flow rate of approx. 2 m / sec. Since silicon wafers are getting bigger (currently diameters up to 300 mm), an ever increasing volume flow is necessary for the treatment. Volume flows of up to 6 l / min are currently required.
  • a dosing device is known from EP 402 535 B1 a valve, an adjustable piston and at the outlet opening has a porous insert.
  • the piston moves after the Closing the valve away from the outlet opening, so that in the Area of the outlet opening creates negative pressure, the liquid should prevent dripping out of the outlet opening.
  • DD 250 846 A3 there is a chamber valve for drip-free Closing liquid containers described, the of of the liquid to be dosed through a chamber Cuff is formed.
  • the cuff is open Valve compressed (small interior of the chamber) and at closed valve stretched (large interior of the chamber).
  • the chamber is created by increasing its volume when Closing the valve (stretching the cuff) a negative pressure, causing the liquid to withdraw from the exit opening becomes.
  • the liquid remains with the valve according to DD 250 846 A3 in the chamber of the valve and / or in the area between the outlet opening and valve. Gassing liquids would drip this facility anyway.
  • the object of the invention is to provide an arrangement with which the dripping, even with high volume flow and / or when conveying liquids containing gas, is reliably prevented.
  • the above object is reliable solved and dripping from line openings in particular even with high volume flow and in the case of gas containing Liquids reliably prevented, as liquid is immediate is sucked away in front of the outlet opening of the line, so that liquid no longer comes out of the opening of the line can leak (drip).
  • this is all about Exit opening provided a chamber that in due course is subjected to negative pressure.
  • FIG. 1 shows a section of an arrangement according to the invention, a section along the line B-B in Fig. 2, Fig. 2 along the line A-A in Fig. 1 and Fig. 3, for example Embodiment of the circuit of the arrangement according to the invention.
  • shut-off device cf. FIG. 3
  • suction valve suction-back valve
  • the line 2 is one Device 1 assigned, which is used to prevent dripping Liquid from the outlet opening 6 to the line 2 prevent.
  • On the housing 4 is one Line 5 connected via the negative pressure in the chamber 3 can be generated.
  • the line 5 with a Vacuum source (see. Fig. 3) connected, in which to Vacuum source leading line 5 shut-off devices provided could be.
  • the through openings 7 In the wall of line 2 are in the area of Chamber 3 several through openings 7 (in principle, one is sufficient only through opening 7) is provided.
  • the through openings 7 can be designed as a perforation, that is a very have a small diameter.
  • the distance of the area, in which the through openings 7 are provided in the pipeline 2 are, from the outlet opening 6 of the line 2 can be any be chosen small.
  • measures can be provided with which the Passages 7 closed in the wall of line 2 when liquid flows through line 2.
  • Such Measures can be shut-off devices, e.g. in form of a relative to the end of the line 2 rotatable sleeve in which Holes are provided. If the sleeve is turned so that the holes in the sleeve are aligned with the passage opening 7, acts the negative pressure in the chamber 3 for suction of liquid residues.
  • FIG. 3 A possible circuit, like the device 1 only when needed made effective, that is, the chamber 3 is subjected to negative pressure can be shown in Fig. 3.
  • Line 8 is a compressed air line that divides into two branches.
  • the simultaneous shutdown of the liquid flow 9 in the Line 2 and switching on the negative pressure in chamber 3 can be ensured in the following way.
  • Via a venturi nozzle 12 is with the compressed air flow 11 in one branch of the Compressed air line 8 generates a suction stream 10 that the chamber 3 applied with negative pressure.
  • the valve 13 for the liquid flow can, but does not have to be designed as a return valve.
  • the vacuum can be generated by a vacuum pump.
  • the suction flow is via its own valve switched. The simultaneous shutdown of the liquid flow and switching on of the suction flow takes place in this Case e.g. electric.
  • Droplet suction device 1 To prevent liquid from dripping out of the outlet opening 6 to prevent a line 2 is the end of line 2 one Droplet suction device 1 assigned.
  • the droplet suction device 1 has a housing 4, which is the end of the line 2 surrounds to form a chamber 3.
  • Chamber 3 stands with the inside of the line 2 through openings 7 in Connection and can be used for suction in the area of the outlet opening 6 after switching off the liquid flow through the line 2 remaining liquid residues a line 5 are subjected to negative pressure. It will proposed a circuit which the droplet suction device 1 only starts up, e.g. the chamber 3 with negative pressure acted upon when the liquid flow through line 2 interrupted by a shut-off device assigned to line 2 is.

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)

Abstract

The device has a chamber (3) connected to the interior of a conduit (2) via through passage apertures (7) and can be fed with vacuum in order to suck away a conduit (5) residual fluid remaining in the feed conduit in the area of an outlet aperture (6). A circuit sets the suction device (1) in action, e.g. feeding the chamber with vacuum, when the fluid flow through the conduit is interrupted by a cutoff conduit.

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Verhindern des Nachtropfens von Flüssigkeiten aus Leitungsöffnungen. Solche Leitungen werden beispielsweise verwendet, um bei der Fertigung von Halbleiterwafern auf diese Behandlungsflüssigkeiten aufzubringen. Solche Leitungen (Eluierungseinheiten) werden z.B. in Ätzvorrichtungen, wie sie in der EP 0 444 714 B beschrieben sind, verwendet.The invention relates to an arrangement for preventing Leakage of liquids from line openings. Such Lines are used, for example, in manufacturing from semiconductor wafers to these treatment liquids to apply. Such lines (elution units) are e.g. in etching devices as described in EP 0 444 714 B are used.

Eine andere Anwendung von Leitungen, bei welchen das Nachtropfen verhindert werden soll, sind beispielsweise Füllanlagen in der Getränkeindustrie.Another application of pipes in which dripping should be prevented, for example, filling systems in the beverage industry.

Bei Vorschlägen zur Lösung des Problems des Nachtropfens ist zu berücksichtigen, daß die Maßnahmen, den konstanten Volumenstrom und die konstante Fließgeschwindigkeit der Flüssigkeit aus der Leitung nicht beeinträchtigen darf und daß sowohl das Einschalten, als auch das Ausschalten des Flüssigkeitsstromes ohne (wesentliche) Zeitverzögerung erfolgen muß. Angestrebt ist es, daß die aus der Leitung austretende Flüssigkeitssäule ohne Nachtropfen abreißt, wenn beispielsweise ein Absperrorgan geschlossen wird. Nachtropfen ist unerwünscht, da im Bereich der Halbleitertechnik einzelne Tropfen auf der Oberfläche eines Halbleiterwafers (Siliziumwafers) ein unregelmäßiges Prozeßergebnis zur Folge hätten. So kann beispielsweise ein Tropfen einer Ätzsäure zu einer unerwünschten Ätzspur führen. In der Getränkeindustrie ist das Nachtropfen nachteilig, weil die Gebinde, in die ein Getränk abgefüllt wird, außen durch nachtropfendes Getränk verschmutzt werden, so daß diese unansehnlich werden (meist sind Säfte klebrig!)With suggestions to solve the problem of dripping to take into account that the measures, the constant volume flow and the constant flow rate of the liquid from the line must not interfere and that both that Switching on, as well as switching off the liquid flow must take place without (substantial) time delay. Aimed for is that the liquid column emerging from the line tears off without dripping, for example if a shut-off device is closed. Dripping is undesirable because of the area of semiconductor technology, individual drops on the surface of a semiconductor wafer (silicon wafer) is an irregular one Result of the trial. For example, a Drops of caustic acid lead to an undesirable etching trace. In the beverage industry, dripping is disadvantageous because the containers into which a drink is filled, through the outside dripping drink become dirty, so this become unsightly (mostly juices are sticky!)

Zur Lösung des geschilderten Problems sind bisher verschiedene Vorschläge gemacht worden. Häufig werden Ventile verwendet, die beim Schließen eine geringe Menge an Flüssigkeit zurücksaugen. Diese Ventile (sogenannte suck-back-Ventile) saugen bei einem ¼-Zoll-Schlauch (Innendurchmesser ca. 5 mm, Querschnitt ca. 0,2 cm2) die Flüssigkeitssäule etwa 10 cm zurück, das sind etwa 2 ml Flüssigkeit. Bei einem Volumenstrom von 2,5 l/min ergibt sich bei einem ¼-Zoll-Schlauch eine Fließgeschwindigkeit von ca. 2 m/sek. Da Siliziumwafer immer größer werden (derzeit Durchmesser bis 300 mm), wird für die Behandlung ein immer größerer Volumenstrom notwendig. Derzeit werden Volumenströme bis zu 6 l/min verlangt. Dies erfordert bei einem ¼-Zoll-Schlauch eine Fließgeschwindigkeit von annähernd 5 m/sek, was zusätzliche Probleme mit sich bringt (hoher Druckverlust in der Leitung, starke Verzögerungen beim Fließen der Flüssigkeitssäule beim Abschalten). Um dies zu vermeiden, geht man zu größeren Schlauchdurchmessern (3/8-Zoll-Schlauch) über. Durch die größeren Schlauchdurchmesser sinkt die Fließgeschwindigkeit wieder auf die ursprünglichen 2 m/sek. Bei einem 3/8-Zoll-Schlauch (Innendurchmesser ca. 8 mm, Querschnitt ca. 0,5 cm2) entspricht das Rücksaugvolumen der suck-back-Ventile nur mehr einer Rücksaughöhe von 4 cm. Dies hat zur Folge, daß es bei größeren Leitungsquerschnitten zusammen mit der geringen Rücksaughöhe ungeachtet der Verwendung von suck-back-Ventilen immer wieder zu unerwünschtem Nachtropfen kommt. Dies insbesondere, weil sich der wegen der Oberflächenspannung am unteren Ende der Flüssigkeitssäule ausbildende Meniskus kippt, eine Luftblase nach oben wandert und Flüssigkeit nachtropft.Various proposals have so far been made to solve the problem described. Valves are often used which suck back a small amount of liquid when closing. With a ¼-inch hose (inside diameter approx. 5 mm, cross section approx. 0.2 cm 2 ), these valves (so-called suck-back valves) suck the liquid column back approx. 10 cm, which is approx. 2 ml liquid. With a volume flow of 2.5 l / min, a ¼ inch hose results in a flow rate of approx. 2 m / sec. Since silicon wafers are getting bigger (currently diameters up to 300 mm), an ever increasing volume flow is necessary for the treatment. Volume flows of up to 6 l / min are currently required. With a ¼-inch hose, this requires a flow speed of approximately 5 m / sec, which causes additional problems (high pressure loss in the line, severe delays in the flow of the liquid column when switching off). To avoid this, go to larger hose diameters (3/8 inch hose). Due to the larger hose diameter, the flow speed drops back to the original 2 m / sec. With a 3/8-inch hose (inner diameter approx. 8 mm, cross-section approx. 0.5 cm 2 ), the suction volume of the suck-back valves only corresponds to a suction height of 4 cm. As a result, undesirable dripping occurs again and again with larger pipe cross-sections, together with the low suction height, regardless of the use of suck-back valves. This is particularly so because the meniscus that forms at the lower end of the liquid column due to the surface tension tilts, an air bubble moves upwards and drips liquid.

Ein weiteres Problem ergibt sich beim Fördern von Gase enthaltenden Flüssigkeiten, bei dem es schon bei geringem Volumenstrom trotz der Anwendung von suck-back-Ventilen infolge der Blasenbildung in der Leitung zum Nachtropfen kommt.Another problem arises when conveying gases containing liquids, where it is already at a low level Volume flow despite the use of suck-back valves due to the formation of bubbles in the line for dripping is coming.

Aus der EP 402 535 B1 ist eine Dosiervorrichtung bekannt, die ein Ventil, einen verstellbaren Kolben und an der Austrittsöffnung einen porösen Einsatz aufweist.A dosing device is known from EP 402 535 B1 a valve, an adjustable piston and at the outlet opening has a porous insert.

Bei der bekannten Vorrichtung bewegt sich der Kolben nach dem Schließen des Ventils von der Austrittsöffnung weg, so daß im Bereich der Austrittsöffnung Unterdruck entsteht, der Flüssigkeit daran hindern soll, aus der Austrittsöffnung herauszutropfen.In the known device, the piston moves after the Closing the valve away from the outlet opening, so that in the Area of the outlet opening creates negative pressure, the liquid should prevent dripping out of the outlet opening.

In der DD 250 846 A3 ist ein Kammerventil zum tropfenfreien Schließen von Flüssigkeitsbehältern beschrieben, dessen von der zu dosierenden Flüssigkeit durchströmte Kammer durch eine Manschette gebildet wird. Die Manschette ist bei offenem Ventil zusammengedrückt (kleiner Innenraum der Kammer) und bei geschlossenem Ventil gedehnt (großer Innenraum der Kammer). In der Kammer entsteht durch das Vergrößern ihres Volumens beim Schließen des Ventils (Dehnen der Manschette) ein Unterdruck, wodurch die Flüssigkeit von der Austrittsöffnung zurückgezogen wird.In the DD 250 846 A3 there is a chamber valve for drip-free Closing liquid containers described, the of of the liquid to be dosed through a chamber Cuff is formed. The cuff is open Valve compressed (small interior of the chamber) and at closed valve stretched (large interior of the chamber). In The chamber is created by increasing its volume when Closing the valve (stretching the cuff) a negative pressure, causing the liquid to withdraw from the exit opening becomes.

Die Flüssigkeit verbleibt beim Ventil nach DD 250 846 A3 in der Kammer des Ventils und/oder im Bereich zwischen Austrittsöffnung und Ventil. Gasende Flüssigkeiten würden bei dieser Einrichtung trotzdem nachtropfen.The liquid remains with the valve according to DD 250 846 A3 in the chamber of the valve and / or in the area between the outlet opening and valve. Gassing liquids would drip this facility anyway.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Anordnung zur Verfügung zu stellen, mit der das Nachtropfen, auch bei hohem Volumenstrom und/oder beim Fördern von Gas enthaltenden Flüssigkeiten, zuverlässig verhindert wird.The object of the invention is to provide an arrangement with which the dripping, even with high volume flow and / or when conveying liquids containing gas, is reliably prevented.

Gelöst wird diese Aufgabe mit einer Anordnung mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruches 1.This task is solved with an arrangement with the characteristics of independent claim 1.

Bevorzugte und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.Preferred and advantageous embodiments of the invention are Subject of the subclaims.

Mit der Erfindung wird die oben gestellte Aufgabe zuverlässig gelöst und ein Nachtropfen aus Leitungsöffnungen insbesondere auch bei hohem Volumenstrom und im Falle von Gas enthaltenden Flüssigkeiten zuverlässig verhindert, da Flüssigkeit unmittelbar vor der Austrittsöffnung der Leitung weggesaugt wird, so daß Flüssigkeit aus der Öffnung der Leitung nicht mehr austreten (nachtropfen) kann.With the invention, the above object is reliable solved and dripping from line openings in particular even with high volume flow and in the case of gas containing Liquids reliably prevented, as liquid is immediate is sucked away in front of the outlet opening of the line, so that liquid no longer comes out of the opening of the line can leak (drip).

In einer einfachen Ausführungsform ist hierzu rund um die Austrittsöffnung eine Kammer vorgesehen, die zu gegebener Zeit mit Unterdruck beaufschlagt wird.In a simple embodiment, this is all about Exit opening provided a chamber that in due course is subjected to negative pressure.

Vorteilhaft ist es hierbei, wenn im Bereich der Austrittsöffnung in der Wand der Leitung Löcher vorgesehen sind, durch die Flüssigkeit unter der Wirkung des in der rings um die Austrittsöffnung vorgesehenen Kammer herrschenden Unterdrucks abgesaugt wird. It is advantageous here if in the area of the outlet opening Holes are provided in the wall of the line through which Liquid under the effect of in the around the outlet opening provided chamber prevailing negative pressure is suctioned off.

Um unerwünschtes Abziehen von Flüssigkeit im Bereich des Endes der Leitung durch die mit Unterdruck beaufschlagte Kammer zu verhindern, wird Unterdruck in der Kammer am Ende der Leitung erst dann erzeugt, wenn das Fördern von Flüssigkeit durch die Leitung abgestoppt worden ist (oder knapp vorher), z.B. indem die Kammer erst beim Schließen des Absperrorgans in der Leitung, welche den Flüssigkeitsstrom durch die Leitung unterbricht, mit Unterdruck beaufschlagt wird.To prevent unwanted draining of liquid in the area of the end the line through the chamber pressurized with negative pressure prevent negative pressure in the chamber at the end of the line generated only when the conveyance of liquid through the Line has been stopped (or just before), e.g. by doing the chamber only when the shut-off element in the Pipe which is the flow of liquid through the pipe interrupts, negative pressure is applied.

Über die mit Unterdruck beaufschlagte Kammer abgesaugte Flüssigkeit, wodurch also das Nachtropfen zuverlässig verhindert wird, kann entsorgt oder dem Flüssigkeitskreislauf wieder zugeführt werden.Aspirated through the chamber charged with negative pressure Liquid, which reliably prevents dripping can be disposed of or returned to the fluid circuit be fed.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung der in den Zeichnungen gezeigten Ausführungsbeispiele der Erfindung Es zeigt: Fig. 1 einen Schnitt einer Anordnung gemäß der Erfindung, längs der Linie B-B in Fig. 2, Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie A-A in Fig. 1 und Fig. 3 eine beispielsweise Ausführungsform der Schaltung der erfindungsgemäßen Anordnung.Further details, features and advantages of the invention result from the following description of the in the Embodiments of the invention shown in the drawings 1 shows a section of an arrangement according to the invention, a section along the line B-B in Fig. 2, Fig. 2 along the line A-A in Fig. 1 and Fig. 3, for example Embodiment of the circuit of the arrangement according to the invention.

In den Fig. 1 und 2 ist das Austrittsende einer (Rohr-)Leitung 2 dargestellt. Flüssigkeit tritt aus der Leitung 2 über eine Öffnung 6 an deren Ende aus. Um den Flüssigkeitsstrom durch die Leitung 2 zu steuern, ist wenigstens ein Absperrorgan (vgl. Fig. 3) vorgesehen das beispielsweise als Rücksaugventil (suck-back-Ventil) ausgebildet ist.1 and 2 is the outlet end of a (pipe) line 2 shown. Liquid emerges from line 2 through a Opening 6 at the end. To keep the fluid flow through Controlling line 2 is at least one shut-off device (cf. FIG. 3) provided this, for example, as a suction valve (suck-back valve) is formed.

Mit (kurzem) Abstand von ihrem Ende 6 ist der Leitung 2 eine Einrichtung 1 zugeordnet, die dazu dient, das Nachtropfen von Flüssigkeit aus der Austrittsöffnung 6 der Leitung 2 zu verhindern.With a (short) distance from its end 6, the line 2 is one Device 1 assigned, which is used to prevent dripping Liquid from the outlet opening 6 to the line 2 prevent.

Im gezeigten Ausführungsbeispiel besteht die Einrichtung 1 zum Absaugen von Flüssigkeit (-stropfen) aus einem beispielsweise zylinderförmigen, rings um die Leitung 2 angeordneten Gehäuse 4, das nach außen hin eine sich rings um die Leitung 2 erstreckende Kammer 3 begrenzt. An das Gehäuse 4 ist eine Leitung 5 angeschlossen, über die in der Kammer 3 Unterdruck erzeugt werden kann. Hierzu ist die Leitung 5 mit einer Unterdruckquelle (vgl. Fig. 3) verbunden, wobei in der zur Unterdruckquelle führenden Leitung 5 Absperrorgane vorgesehen sein können. In der Wand der Leitung 2 sind im Bereich der Kammer 3 mehrere Durchgangsöffnungen 7 (im Prinzip genügt eine einzige Durchgangsöffnung 7) vorgesehen. Die Durchgangsöffnungen 7 können als Perforation ausgebildet sein, also einen sehr kleinen Durchmesser aufweisen. Der Abstand des Bereiches, in dem die Durchgangsöffnungen 7 in der Rohrleitung 2 vorgesehen sind, von der Austrittsöffnung 6 der Leitung 2 kann beliebig klein gewählt werden.In the exemplary embodiment shown, the device 1 for Aspiration of liquid (drops) from a for example cylindrical housing arranged around the line 2 4, the one around itself around the line 2 extending chamber 3 limited. On the housing 4 is one Line 5 connected via the negative pressure in the chamber 3 can be generated. For this purpose, the line 5 with a Vacuum source (see. Fig. 3) connected, in which to Vacuum source leading line 5 shut-off devices provided could be. In the wall of line 2 are in the area of Chamber 3 several through openings 7 (in principle, one is sufficient only through opening 7) is provided. The through openings 7 can be designed as a perforation, that is a very have a small diameter. The distance of the area, in which the through openings 7 are provided in the pipeline 2 are, from the outlet opening 6 of the line 2 can be any be chosen small.

Wenn die Kammer 3 in dem Gehäuse 4 mit Unterdruck beaufschlagt ist, werden Flüssigkeitsreste, die nach dem Abstoppen des Flüssigkeitsstromes in der Leitung 2 im Bereich der Durchgangsöffnungen 7 zurückbleiben, durch die Durchgangsöffnungen 7 in die Kammer 3 und weiter durch die Leitung 5 abgesaugt. So wird ein Nachtropfen von Flüssigkeit aus der Austrittsöffnung 6 der Leitung 2 verhindert.When the chamber 3 is pressurized in the housing 4 is liquid residues, which after stopping the Liquid flow in line 2 in the area of the through openings 7 remain through the through openings 7 sucked into the chamber 3 and further through the line 5. So there is a dripping of liquid from the outlet opening 6 of line 2 prevented.

Um zu verhindern, daß Flüssigkeit, die aus der Austrittsöffnung 6 am Ende der Leitung 2 austreten soll, wenn z.B. eine Ätzflüssigkeit auf einem Halbleiterwafer aufgebracht wird, durch die Durchgangsöffnungen 7 und die Kammer 3 in die Leitung 5 abgesaugt wird, wird die Leitung 5 und damit die Kammer 3 nur im Bedarfsfall, also bei unterbrochenem Flüssigkeitsstrom mit Unterdruck beaufschlagt.To prevent liquid from coming out of the outlet 6 should exit at the end of line 2 if e.g. a Etching liquid is applied to a semiconductor wafer, through the through openings 7 and the chamber 3 in the Line 5 is suctioned off, the line 5 and thus the Chamber 3 only when necessary, i.e. when the liquid flow is interrupted pressurized with vacuum.

Alternativ können Maßnahmen vorgesehen sein, mit welchen die Durchtrittsöffnungen 7 in der Wand der Leitung 2 geschlossen werden, wenn Flüssigkeit durch die Leitung 2 strömt. Solche Maßnahmen können Absperreinrichtungen sein, z.B. in Form einer gegenüber dem Ende der Leitung 2 verdrehbaren Hülse, in der Löcher vorgesehen sind. Wenn die Hülse so verdreht wird, daß die Löcher in der Hülse mit der Durchtrittsöffnung 7 fluchten, wirkt der Unterdruck in der Kammer 3 zum Absaugen von Flüssigkeitsresten. Alternatively, measures can be provided with which the Passages 7 closed in the wall of line 2 when liquid flows through line 2. Such Measures can be shut-off devices, e.g. in form of a relative to the end of the line 2 rotatable sleeve in which Holes are provided. If the sleeve is turned so that the holes in the sleeve are aligned with the passage opening 7, acts the negative pressure in the chamber 3 for suction of liquid residues.

Eine mögliche Schaltung, wie die Einrichtung 1 nur bei Bedarf wirksam gemacht, also die Kammer 3 mit Unterdruck beaufschlagt werden kann, ist in Fig. 3 gezeigt.A possible circuit, like the device 1 only when needed made effective, that is, the chamber 3 is subjected to negative pressure can be shown in Fig. 3.

Durch die Leitung 2 fließt die Flüssigkeit. Die Leitung 8 ist eine Druckluftleitung, die sich in zwei Äste teilt. Das gleichzeitige Abschalten des Flüssigkeitsstroms 9 in der Leitung 2 und Einschalten des Unterdrucks in der Kammer 3 kann auf folgende Weise sichergestellt werden. Über eine Venturidüse 12 wird mit dem Druckluftstrom 11 in dem einen Ast der Druckluftleitung 8 ein Absaugstrom 10 erzeugt, der die Kammer 3 mit Unterdruck beaufschlagt. In dem Moment, in dem das Ventil 13 in der Leitung 2 für den Flüssigkeitsstrom abschaltet, öffnet das Ventil 14 für den Absaugstrom 10. Dies wird bei druckluftgesteuerten Ventilen durch Umschalten der Steuerluft von einem zum anderen Ventil mit einem Dreiwege-Ventil 15 erreicht. Das Ventil 13 für den Flüssigkeitsstrom kann, aber muß nicht als Rücksaugventil ausgeführt sein. Die Trennung von Gas und Flüssigkeit, in dem Mediumstrom der von der Einrichtung 1 mit der Kammer 3 kommt, erfolgt in an sich bekannter Weise, z.B. durch einen Tropfenabscheider 16. Die Abluft wird in den Abzug 17 geführt. Flüssigkeit wird entweder über eine Leitung 18 entsorgt oder über eine Leitung 19 dem Flüssigkeitskreislauf wieder zugeführt.The liquid flows through line 2. Line 8 is a compressed air line that divides into two branches. The simultaneous shutdown of the liquid flow 9 in the Line 2 and switching on the negative pressure in chamber 3 can be ensured in the following way. Via a venturi nozzle 12 is with the compressed air flow 11 in one branch of the Compressed air line 8 generates a suction stream 10 that the chamber 3 applied with negative pressure. The moment that Valve 13 in line 2 for the liquid flow switches off, opens the valve 14 for the suction flow 10. This will with compressed air controlled valves by switching the Control air from one valve to another with a three-way valve 15 reached. The valve 13 for the liquid flow can, but does not have to be designed as a return valve. The Separation of gas and liquid, in the medium flow that of the device 1 with the chamber 3 comes in itself known way, e.g. through a droplet separator 16. The Exhaust air is led into the fume cupboard 17. Liquid will either disposed of via a line 18 or via a line 19 Liquid circuit supplied again.

In einer anderen Ausführungsform der Erfindung (nicht gezeigt) kann der Unterdruck durch eine Vakuumpumpe erzeugt werden. In diesem Fall wird der Absaugstrom über ein eigenes Ventil geschaltet. Das gleichzeitige Abschalten des Flüssigkeitsstroms und Einschaltung des Absaugstroms erfolgt in diesem Fall z.B. elektrisch.In another embodiment of the invention (not shown) the vacuum can be generated by a vacuum pump. In In this case, the suction flow is via its own valve switched. The simultaneous shutdown of the liquid flow and switching on of the suction flow takes place in this Case e.g. electric.

Für beide Ausführungsformen gilt, daß das gleichzeitige Schalten von Flüssigkeitsstrom und Absaugstrom auch ein um eine Zeitspanne, z.B. um ein paar Sekunden zeitversetzt erfolgen kann. Bevorzugt ist, daß das Absaugen von Flüssigkeit über die Kammer 3 kurz vor dem Abschalten des Flüssigkeitsstromes durch die Leitung 2 aktiviert wird. For both embodiments, the same applies Switching liquid flow and suction flow also on a period of time, e.g. delayed by a few seconds can be done. It is preferred that the suction of liquid via chamber 3 shortly before switching off the liquid flow is activated by line 2.

Durch das seitliche Absaugen wird bei der Erfindung der nach unten weisende Meniskus der Flüssigkeitssäule immer wieder neu gebildet, auch wenn der Meniskus "kippt", so daß keine Luftblase entstehen kann, die nach oben wandert und Flüssigkeit nachtropfen kann.By side suction in the invention of the Meniscus of the liquid column pointing below again and again formed, even if the meniscus "tilts" so that none Air bubble can form, which migrates upward and liquid can drip.

Zusammenfassend kann ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wie folgt dargestellt werden:In summary, an embodiment of the invention can be like are represented as follows:

Um das Nachtropfen von Flüssigkeit aus der Austrittsöffnung 6 einer Leitung 2 zu verhindern, ist dem Ende der Leitung 2 eine Tropfenabsaugeinrichtung 1 zugeordnet. Die Tropfenabsaugeinrichtung 1 besitzt ein Gehäuse 4, welches das Ende der Leitung 2 unter Ausbilden einer Kammer 3 umgibt. Die Kammer 3 steht mit dem Inneren der Leitung 2 über Durchgangsöffnungen 7 in Verbindung und kann zum Absaugen von im Bereich der Austrittsöffnung 6 nach dem Abschalten des Flüssigkeitsstromes durch die Leitung 2 zurückbleibenden Flüssigkeitsresten über eine Leitung 5 mit Unterdruck beaufschlagt werden. Es wird eine Schaltung vorgeschlagen, welche die Tropfenabsaugeinrichtung 1 nur in Betrieb setzt, z.B. die Kammer 3 mit Unterdruck beaufschlagt, wenn der Flüssigkeitsstrom durch die Leitung 2 durch ein der Leitung 2 zugeordnetes Absperrorgan unterbrochen ist.To prevent liquid from dripping out of the outlet opening 6 to prevent a line 2 is the end of line 2 one Droplet suction device 1 assigned. The droplet suction device 1 has a housing 4, which is the end of the line 2 surrounds to form a chamber 3. Chamber 3 stands with the inside of the line 2 through openings 7 in Connection and can be used for suction in the area of the outlet opening 6 after switching off the liquid flow through the line 2 remaining liquid residues a line 5 are subjected to negative pressure. It will proposed a circuit which the droplet suction device 1 only starts up, e.g. the chamber 3 with negative pressure acted upon when the liquid flow through line 2 interrupted by a shut-off device assigned to line 2 is.

Claims (15)

Anordnung, um das Nachtropfen von Flüssigkeit aus der Austrittsöffnung (6) einer Leitung (2) zu verhindern, wenn der Flüssigkeitsstrom in der Rohrleitung (2) unterbrochen worden ist, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich der Austrittsöffnung (6) der Leitung (2) eine Einrichtung (1) vorgesehen ist, die im Bereich der Austrittsöffnung (6) verbliebene Flüssigkeit von der Austrittsöffnung (6) durch Absaugen entfernt.Arrangement to prevent the dripping of liquid from the To prevent outlet opening (6) of a line (2) when the liquid flow in the pipeline (2) is interrupted has been characterized in that in the area of Outlet opening (6) of the line (2) a device (1) is provided in the area of the outlet opening (6) remaining liquid from the outlet opening (6) Suction removed. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (1) eine mit Unterdruck beaufschlagbare Kammer (3) aufweist, die mit im Bereich der Austrittsöffnung (6) der Leitung (2) in Wirkverbindung steht.Arrangement according to claim 1, characterized in that the Device (1) a chamber to which negative pressure can be applied (3) having in the area of the outlet opening (6) the line (2) is in operative connection. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammer (3) mit Abstand vor der Austrittsöffnung (6) der Leitung (2) vorgesehen ist.Arrangement according to claim 1, characterized in that the Chamber (3) at a distance from the outlet opening (6) Line (2) is provided. Anordnung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die mit Unterdruck beaufschlagbare Kammer (3) über wenigstens eine Durchgangsöffnung (7) mit dem Innenraum der Leitung (2) in Verbindung steht.Arrangement according to claim 2 or 3, characterized in that the pressurized chamber (3) over at least one through opening (7) with the interior the line (2) is connected. Anordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammer (3) von einem im Bereich der Austrittsöffnung (6) der Leitung (2) angeordneten Gehäuse (4) begrenzt ist.Arrangement according to one of claims 2 to 4, characterized characterized in that the chamber (3) from one in the area the outlet opening (6) of the line (2) arranged Housing (4) is limited. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß an das Gehäuse (4) eine zu einer Unterdruck erzeugenden Einrichtung (12) führende Leitung (5) angeschlossen ist.Arrangement according to claim 5, characterized in that the housing (4) generates a vacuum Device (12) leading line (5) is connected. Anordnung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammer (3) und das Gehäuse (4) rings um die Leitung (2) angeordnet ist.Arrangement according to claim 5 or 6, characterized in that the chamber (3) and the housing (4) around the Line (2) is arranged. Anordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchgangsöffnung (7) im Abstand von der Austrittsöffnung (6) der Leitung (2) angeordnet ist.Arrangement according to one of claims 4 to 7, characterized characterized in that the through opening (7) at a distance from the outlet opening (6) of the line (2) is. Anordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß über den Umfang der Leitung (2) verteilt mehrere Durchgangsöffnungen (7) vorgesehen sind.Arrangement according to one of claims 4 to 8, characterized characterized in that over the scope of the line (2) distributed several through openings (7) are provided. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Absperrorgan (13) in der Leitung (2) wirkmäßig mit einem Absperrorgan (14) in der Rohrleitung (5), die zur Unterdruckeinrichtung (12) führt, verbunden ist, derart, daß das in der Unterdruckleitung (5) vorgesehene Absperrorgan (14) geöffnet ist, wenn das Absperrorgan (13) in der Leitung (2) geschlossen ist.Arrangement according to one of claims 1 to 9, characterized characterized in that the shut-off device (13) in the line (2) effectively with a shut-off device (14) in the Pipe (5) leading to the vacuum device (12) is connected such that that in the vacuum line (5) provided shut-off device (14) is open when that Shut-off device (13) in line (2) is closed. Anordnung nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterdruck erzeugende Einrichtung eine eine Venturidüse (12) aufweisende Einrichtung ist.Arrangement according to one of claims 6 to 10, characterized characterized in that the vacuum generating device is a device having a Venturi nozzle (12). Anordnung nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß in der zur Unterdruckeinrichtung (12) führenden Leitung (5) ein Tropfenabscheider (16) vorgesehen ist.Arrangement according to one of claims 6 to 11, characterized characterized in that in the vacuum device (12) leading line (5) a droplet separator (16) is provided. Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß von dem Tropfenabscheider (16) eine Leitung (18) ausgeht, über die Flüssigkeit entsorgt wird.Arrangement according to claim 12, characterized in that a line (18) extends from the droplet separator (16), is disposed of in the liquid. Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß von dem Tropfenabscheider (16) eine Leitung (19) ausgeht, über die Flüssigkeit dem Flüssigkeitskreislauf wieder zugeführt wird.Arrangement according to claim 12, characterized in that a line (19) extends from the droplet separator (16), over the liquid to the liquid circuit again is fed. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß in der Wirkverbindung zwischen dem Absperrorgan (13) in der Leitung (2) und dem Absperrorgan (14) in der zur Unterdruckeinrichtung (12) führenden Leitung (5) ein Zeitverzögerungsglied vorgesehen ist.Arrangement according to one of claims 10 to 14, characterized characterized in that in the operative connection between the Shut-off device (13) in line (2) and the shut-off device (14) in the leading to the vacuum device (12) Line (5) a time delay element is provided.
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