DE69732291T2 - Verfahren und apparat zum programmieren von anti-sicherungen mittels einer intern generierten programmierspannung - Google Patents

Verfahren und apparat zum programmieren von anti-sicherungen mittels einer intern generierten programmierspannung Download PDF

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Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die Erfindung betrifft das Programmieren von Anti-Fuses in Halbleiterschaltungen, insbesondere ein Verfahren und eine Schaltung zum Programmieren einer Anti-Fuse mit einer ausreichend hohen Spannung, um der programmierten Anti-Fuse einen durchgehend geringen Widerstand zu verleihen, ohne dabei andere Komponenten der integrierten Schaltung überzubeanspruchen.
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Anti-Fuses sind eine übliche Komponente in herkömmlichen integrierten Schaltungen. Eine Anti-Fuse ist ein Schaltungselement, das normalerweise einen offenen Schaltkreis bildet, bis sie programmiert ist, zu welchem Zeitpunkt die Anti-Fuse einen relativ Widerstandswert annimmt. Anti-Fuses werden üblicherweise dazu benutzt, selektiv gewisse Merkmale integrierter Schaltungen freizugeben und Reparaturen in integrierten Schaltungen durchzuführen. Reparaturen von integrierten Schaltungen werden typischerweise dadurch bewerkstelligt, dass Anti-Fuses "durchgebrannt" werden, um defekten Teilen der integrierten Schaltung zu signalisieren, dass sie durch redundante Schaltungselemente ersetzt werden. Beispielsweise lässt sich eine defekte Reihe von Speicherzellen innerhalb des Arrays eines dynamischen Schreib-/Lese-Speichers durch eine redundante Reihe von Zellen ersetzen, die zu diesem Zweck vorgesehen ist.
  • Herkömmliche Anti-Fuses sind im Aufbau Kondensatoren insofern ähnlich, als sie ein Paar leitender Platten oder Beläge besitzen, die voneinander durch ein Dielektrikum oder einen Isolator getrennt sind. Typischerweise sind Anti-Fuses gekennzeichnet durch die Beschaffenheit des Dielektrikums, bei dem es sich z. B. um Oxid oder Nitrid handelt. Anti-Fuses werden programmiert oder "durchgebrannt", indem man zwischen die Beläge eine Differenzspannung legt, die ausreicht, zu einem Durchschlag des Dielektrikums zu führen und mithin die Beläge zu veranlassen, einander zu kontaktieren. Typischerweise wird diese relativ hohe Programmierspannung extern über Anschlüsse an den Chip gelegt, die normalerweise für andere Zwecke verwendet werden. Beispielsweise kann in einem DRAM eine hohe Spannung an einen der Datenbitanschlüsse gelegt werden, nachdem die integrierte in einen Programmiermodus gebracht wurde, indem z. B. eine vorbestimmte Kombination von Bits an andere Anschlüsse der integrierten Schaltung gelegt wird.
  • Die US-5 316 971 zeigt ein Verfahren zum Programmieren von Anti-Fuses durch abwechselndes Anlegen positiver und negativer Programmierimpulse an die Anschlüsse einer Anti-Fuse. Gemäß der Offenbarung dieser Schrift werden die abwechselnden Impulse zwischen einem Mal und 1000 Mal angelegt.
  • Die EP-A-0 436 247 offenbart eine Schaltung zum Codieren von Kennungsinformation durch Anlegen eines positiven und eines negativen Potentials an einen ersten bzw. einen zweiten Anschluss einer Anti-Fuse. Beide Potentiale werden von externen Spannungsquellen angelegt.
  • Gemäß Prog. 38Th Midwest Symposium on Circuits and Systems, VI. 1.1, Seiten 294-7, IEEE 13.8.95 werden Programmierimpulse an beide Anschlüsse einer Anti-Fuse seitens einer externen Spannungsquelle angelegt. Diese Schrift offenbart speziell die Bereitstellung von unterschiedlichen Spannung zum Betreiben eines Flash-Speichers durch eine interne Schaltung. Obschon herkömmliche Anti-Fuses, wie sie oben beschrieben wurden, bei zahlreichen Anwendungen gut funktioniert haben, weisen sie dennoch mehrere Unzulänglichkeiten auf, insbesondere dann, wenn sie in modernen integrierten Schaltung hoher Dichte eingesetzt werden. Insbesondere schwankt der programmierte Widerstand der Anti-Fuses in einem beträchtlichen Bereich, und der programmierte Widerstand ist häufig viel höher, als es erwünscht ist. Beispielsweise ist in einigen Fällen der programmierte Widerstand hoch genug, damit eine an die Anti-Fuse angeschlossene Schaltung fälschlich feststellt, dass die Anti-Fuse einen offenen Schaltkreis bildet. Es ist allgemein bekannt, dass das Programmieren von Anti-Fuses mit einer höheren Spannung sowohl den programmierten Widerstand senkt als auch zu einem gleichförmigeren Widerstand führt. Allerdings wird der Betrag der an Anti-Fuses anzulegenden Pro grammierspannung deutlich begrenzt durch das Vorhandensein anderer Schaltungselemente innerhalb der integrierten Schaltung. Da insbesondere die Anschlüsse, an die die Programmierspannung angelegt wird, typischerweise anderen Funktionen dient, können übermäßige Programmierspannung leicht zu einem Durchbruch der Gateoxidschichten von MOSFETs führen, die an einen solchen Anschluss gekoppelt sind, wodurch dieser Transistor dann defekt wird. Das Problem des durch Programmierspannungen verursachten Durchbruchs der Gateoxidschicht von MOSFET wird noch verstärkt durch den großen Umfang von Betriebsspannungen typischer integrierter Schaltkreise. Beispielsweise sind moderne integrierte Schaltungen in der Lage, mit einer Versorgungsspannung von 3,3 Volt zu arbeiten, um die Leistungsaufnahme zu minimieren, dennoch müssen die Schaltungen in der Lage sein, auch mit der üblichen Versorgungsspannung von 5 Volt zu arbeiten.
  • Übermäßige Programmierspannungen übersteigen möglicherweise auch die Durchbruchspannung von Bipolartransistoren, die an die Eingangsanschlüsse der integrierten Schaltung angeschlossen sind, um einen elektrostatischen Entladungsschutz (ESD) für die übrigen Komponenten in der integrierten Schaltung zu bilden. Während sich dieses Problem in gewissem Umfang dadurch beherrschen lässt, dass man die Durchbruchspannung der bipolaren ESD-Schutztransistoren erhöht, wird dadurch aber auch die Sicherheitsgrenze des ESD-Schutzes gesenkt. Während das Problem des Durchbruchs von Gateoxidschichten von MOSFETs und das Übersteigen der Durchbruchspannung von bipolaren ESD-Schutztransistoren in gewissem Umfang gemildert werden könnte durch den Einsatz von Spezialanschlüssen zum Programmieren von Anti-Fuses, bleibt das Problem dennoch bestehen, weil es schwierig ist, die Programmierspannung von Substrat der integrierten Schaltung zu trennen. Wenn die Programmierspannung an das Substrat der integrierten Schaltung gelangt, könnten übergroße Spannungen immer noch an die Gateoxidschichten der MOSFETs gelangen, obschon die Programmierspannung nicht direkt an die Gates der Transistoren gelangt sind.
  • Eine herkömmliche Schaltung 10 zum Programmieren und zum Lesen des Zustands einer Anti-Fuse ist in 1 dargestellt. Wie 1 zeigt, hat eine Anti-Fuse 12 die Form eines NMOS-Transistors 12, dessen Gate an die Schaltungsmasse am Eingang CGRN und dessen Source und Drain zusammengeschaltet sind. Allerdings lassen sich andere Varianten von Anti-Fuses, beispielsweise durch ein Dielektrikum voneinander getrennte parallele Platten ebenfalls programmieren und Lesen mit Hilfe der in 1 gezeigten Schaltung. Die Schaltung 10 empfängt außerdem ein aktiv niedriges Programmiereingangssignal PRG* und eine aktiv niedrige Abgleit-Eingangsgröße AM*, die an die Eingänge eines NOR-Gatters 14 gelegt werden. Der Ausgang des NOR-Gatters 14 wird an das Gate eines NMOS-Transistors 16 gelegt, der zwischen Masse einerseits und über einen NMOS-Transistor 18 an der Anti-Fuse 12, andererseits, liegt. Das Gate des NMOS-Transistors 18 ist auf die Versorgungsspannung vorgespannt, so dass der NMOS-Transistor 18 immer dann leitend ist, wenn der NMOS-Transistor 16 leitend ist. Beim Normalbetrieb allerdings sind PRG* und/oder AM* auf hohem Wert, so dass der NMOS-Transistor 16 ausgeschaltet ist, wodurch die Anti-Fuse wirksam von Masse getrennt wird.
  • Im normalen Betrieb ist der Schaltungsmasseingang CGRN mit Masse verbunden. Gelesen wird der Status der Anti-Fuse 12 dadurch, dass eine hohe Fuse-Leseeingangsgröße "FR" an einen NMOS-Transistor 30 gelegt wird. Der Drain des NMOS-Transistors 30 ist mit dem Drain eines PMOS-Transistors 32 verbunden, der im leitenden Zustand vorgespannt ist, so dass er im wesentlichen wie ein Widerstand wirkt, der zwischen der Versorgungsspannung und dem Drain des NMOS-Transistors 30 liegt. Wenn also die Eingangsgröße Fuse-Read FR einen hohen Wert annimmt, legt der NMOS-Transistor 30 die Versorgungsspannung über den PMOS-Transistor 32 an die Anti-Fuse 12. Der PMOS-Transistor 32 und die Anti-Fuse 12 bilden somit im wesentlichen einen Spannungsteiler mit einem Ausgang am Drain des PMOS-Transistors 32, der an den Eingang eines Negators 40 geführt ist.
  • Das Verhältnis von Kanallänge zum Kanalbreite des PMOS-Transistors 32 ist derart gewählt, dass, wenn die Anti-Fuse 12 durchgebrannt ist, am Eingang des Negators 40 ein niedriger logischer Pegel steht. Wenn hingegen die Anti-Fuse 12 nicht durchgebrannt ist, liegt am Eingang des Negators 40 ein logisch hoher Pegel. Das Ausgangssignal FOUT des Negators 40 liefert mithin eine Anzeige über den Zustand der Anti-Fuse 12, wenn an die Schaltung 10 ein hohes Eingangssignal Fuse-Read FR gelegt wird.
  • Soll die Anti-Fuse 12 programmiert werden, gehen sowohl die Programmiereingangsgröße PRG* und das Adressengegenstück AM* auf den Wert niedrig, wodurch das NOR-Gatter einen logisch hohen Wert am Ausgang erzeugt. Dieser logisch hohe Wert schaltet den NMOS-Transistor 16 ein, wodurch über den NMOS-Transistor 18 der Belag der durch Source und Drain des NMOS-Transistors gebildete Belag der Anti-Fuse 12 auf Masse gelegt wird. Dann wird eine positive Spannung an die Schaltungmasse CGRN gelegt, um dadurch an die Anti-Fuse 12 eine Spannung zu legen, deren Wert so groß ist wie die an den Schaltungsmasseeingang CGRN gelegte Programmierspannung.
  • Man erkennt, dass die in 1 gezeigte zum Stand der Technik zählende Schaltung in eine zusätzliche Schaltung integriert ist, die mit der Anti-Fuse 12 eine Schnittstelle bildet. Allerdings ist diese zusätzliche Schaltung aus Gründen der Knappheit und Klarheit weggelassen.
  • Der Hauptnachteil der in 1 gezeigten, zum Stand der Technik gehörenden Schaltung 10 besteht darin, dass die Differenzspannung an der Anti-Fuse 12 begrenzt ist auf den Wert der an den Schaltungsmasseingang CGRN gelegten Programmierspannung. Wenn die Programmierspannung ausreichend erhöht wird, um die Anti-Fuse auf einem relativ geringen Widerstandswert zu programmieren, so kann die Programmierspannung sehr wohl die Gateoxidschicht des MOSFETs (nicht dargestellt) in der integrierten Schaltung zum Druchbruch bringen oder die Durchbruchspannung der bipolaren Schutztransistoren gegen elektrostatische Entladung (ESD) übersteigen, so dass die Transistoren die Programmierspannung die Rückspannung der ESD-Transistoren begrenzt.
  • Das der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Problem ist die Schaffung eines Verfahrens und einer Vorrichtung zum Programmieren von Anti-Fuses mit einer relativ hohen Spannung und in der Weise, dass es zu keiner Be schädigung anderer Komponenten innerhalb einer integrierten Schaltung kommt.
  • Erreicht wird dies durch die Merkmale des Anspruchs 1 und des Anspruchs 5. Bevorzugte Ausführungsformen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren und der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Programmieren einer in einer integrierten Schaltung ausgebildeten Anti-Fuse wird eine positive Spannung an einen ersten Anschluss der Anti-Fuse gelegt, an einen zweiten Anschluss der Anti-Fuse wird eine negative Spannung gelegt. Im Ergebnis ist die an dem ersten und dem zweiten Anschluss der Anti-Fuse liegende Spannung größer als entweder die positive Spannung oder die negative Spannung. Eine der oder beide der positiven und negativen Spannungen können von entweder einer externen Quelle der integrierten Schaltung oder von einem Spannungerzeuger innerhalb der integrierten Schaltung angelegt werden. Eine positive oder eine negative Spannung kann intern dadurch erzeugt werden, dass eine erste Spannung, beispielsweise eine Versorgungsspannung der integrierten Schaltung, an einen ersten Belag eines Kondensators gelegt wird, während dessen zweiter Belag auf einer zweiten Spannung, beispielsweise Massepotential gehalten wird. Nach dem Ausladen des Kondensators wird dessen erster Belag auf eine dritte Spannung geschaltet, z. B. Massepotential, und der zweite Belag des Kondensators wird mit der Anti-Fuse verbunden. Vorzugsweise wird der Kondensator durch eine Startschaltung (Boot-Schaltung) aufgeladen, die einen ersten Negator enthält, der mit einem Eingang ein Programmsteuersignal empfängt, und dessen Ausgang an den ersten Belag des Kondensators gekoppelt ist. Der erste Negator koppelt den ersten Kondensatorbelag an die Versorgungsspannung, wenn das Programmsteuersignal nicht aktiv ist, er koppelt ihn auf Massepotential, wenn das Programmsteuersignal aktiv ist. Eine erste Schalteinrichtung ist mit dem zweiten Belag des Kondensators gekoppelt. Die erste Schalteinrichtung koppelt den zweiten Belag des Kondensators ansprechend auf ein von einem zweiten Negator erzeugtes erstes Steuersignal auf Massepotential. Der zweite Negator besitzt einen Eingang, der das Programmsteuersignal empfängt, ferner einen Ausgang, der das erste Steuersignal an die erste Schalteinrichtung gibt, wenn das Programmsteuersignal nicht aktiv ist. Eine zweite Schalteinrichtung empfängt mit einem Eingang das Programmsteuersignal. Die zweite Schalteinrichtung verbindet den zweiten Belag des Kondensators mit dem zweiten Anschluss der Anti-Fuse während zumindest eines Teils derjenigen Zeit, in der das Programmsteuersignal ist. Die Startschaltung enthält außerdem vorzugsweise eine Klemmschaltung, die zwischen dem zweiten Anschluss der Anti-Fuse und Masse liegt. Die Klemmschaltung verhindert, dass die Spannung am zweiten Anschluss der Anti-Fuse ansprechend darauf, dass der erste Kondensator über die Anti-Fuse aufgeladen wird, wesentlich über Massepotential ansteigt.
  • Obschon das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Programmieren von Anti-Fuses in integrierten Schaltung bei jedem Typ von integrierter Schaltung einsetzbar sind, werden sie vorteilhaft in dynamischen Schreib-/Lese-Speichern eingesetzt, die Bestandteil eines Computersystems sein können. Außerdem können das Verfahren und die Vorrichtung gemäß der Erfindung dazu dienen, sämtliche Typen von Anti-Fuses zu programmieren, darunter solche aus MOSFETs sowie solche, die durch leitende Platten oder Beläge gebildet sind, die voneinander durch ein Dielektrikum oder einen Isolierstoff getrennt sind.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine schematische Darstellung einer zum Stand der Technik gehörigen Schaltung zum Programmieren und zum Lesen einer Anti-Fuse.
  • 2 ist ein Blockdiagramm einer bevorzugten Ausführungsform eines Systems zum sicheren Programmieren einer Anti-Fuse mit einer relativ hohen Spannung.
  • 3 ist eine schematische Darstellung einer bevorzugten Ausführungsform einer Schaltung zum Implementieren des erfindungsgemäßen Programmiersystems nach 2.
  • 4A4H sind Impulsdiagramme von Wellenformen, die an verschiedenen Knoten der in 3 gezeigten Schaltung auftreten.
  • 5 ist ein Blockdiagramm eines Computersystems, das einen dynamischen Schreib-Lesespeicher aufweist, der von dem Programmierverfahren und der Programmiervorrichtung für Anti-Fuses gemäß der Erfindung Gebrauch macht.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • In 2 ist ein Blockdiagramm einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Programmiersystems 50 dargestellt. Ähnlich der bekannten Schaltung nach 1 empfängt eine erfindungsgemäße Programmierschaltung 50 einen aktiv niedrigen Programmiereingangswert PROG* und einen aktiv niedrigen Adressenanpass-Eingangswert AM* und decodiert die Signale unter Verwendung eines NOR-Gatters 52. Dessen Ausgang triggert eine Startschaltung 54, wenn die Anti-Fuse 12 programmiert werden soll, um dadurch an einen Belag der Anti-Fuse 12 eine negative Spannung rauszugeben. Die gegenüberliegende Platte der Anti-Fuse 12 wird mit dem Schaltungsmasseingang CGRN der Schaltung 50 verbunden. Insbesondere erzeugt die Startschaltung 54 die negative Spannung innerhalb der integrierten Schaltung. Im Ergebnis kann die Spannungsdifferenz an der Anti-Fuse 12 größer sein als irgendeine der Spannungen, die in der integrierten Schaltung auftreten. Beispielsweise kann sich an den Belägen der Anti-Fuse 12 eine Spannungsdifferenz von 8 Volt einstellen, indem man ein 5 Volt betragendes positives Signal an den Schaltungsmasseeingang CGRN legt, während die Startschaltung 54 ein 3 Volt betragendes negatives Signal an den anderen Belag der Anti-Fuse 12 gibt. Bezeichnenderweise beträgt die maximale Spannung, die an irgendeiner Komponente in der integrierten Schaltung gelegt wird, 5 Volt, wenn das Substrat auf Massepotential vorgespannt ist, d. h., 3 Volt weniger als die an die Anti-Fuse angelegte Programmierspannung. Im Ergebnis kann das erfindungsgemäße Programmiersystem 50 die Anti-Fuse 12 in konsistenter Weise auf einen relativ geringen Widerstandswert programmieren, ohne andere Schaltungsteile innerhalb der integrierten Schaltung in Gefahr zu bringen.
  • Obschon die in 2 dargestellte bevorzugte Ausführungsform von einer Startschaltung 54 Gebrauch macht, die durch Decodieren der Programmier- und Adressensignal mit Hilfe eines NOR-Gatters getriggert wird, erkennt der Fachmann, dass auch andere Methoden eingesetzt werden können, beispielsweise kann ein anderes Gatter als das NOR-Gatter 52 verwendet werden, und es nicht einmal notwendig, irgendeinen Gattertyp zu verwenden, wenn nicht die Notwendigkeit besteht, zwei oder mehr Eingangssignale zu decodieren, um die zu programmierende Anti-Fuse 12 eindeutig zu identifizieren. Obschon die Startschaltung 54 eine negative Spannung erzeugt, versteht sich, dass diese Schaltung eine positive Spannung erzeugen kann, wenn an den Schaltungsmasseingang CGRN eine negative Spannung gelegt wird. Außerdem können Spannungen entgegengesetzter Polarität extern erzeugt und an die Anti-Fuse 12 gelegt werden.
  • Eine bevorzugte Ausführungsform einer Anti-Fuse-Programmierschaltung zum Implementieren des in 2 gezeigten Systems ist in 3 gezeigt. Die Schaltung nach 3 verwendet das NOR-Gatter 52 aus 2 und die Anti-Fuse 12 aus 2, und deshalb sind diese Komponenten in 3 mit gleichen Bezugszeichen versehen. Soll die Anti-Fuse 12 nicht programmiert werden, wird der Schaltungsmasseeingang CGND auf niedrigem Potential, z. B. Null Volt gehalten. Außerdem ist das aktiv niedrige Programmiereingangssignal PROG* hoch, und es gibt keine Adressenabgleichung, so dass das aktiv niedrige Adressenabgleicheingangssignal AM* ebenfalls hoch ist. Damit ist das Ausgangssignal des NOR-Gatters 52 niedrig und veranlasst damit, dass das Ausgangssignal jedes der beiden Negatoren 60, 62 hoch ist. Das hohe Signal am Ausgang des Negators 60 wird an einen Belag eines Kondensators 64 gelegt. Das hohe Signal am Ausgang des anderen Negators 62 wird an das Gate eines NMOS-Transistors 68 gelegt, um diesen einzuschalten. Dann legt der Transistor 68 den anderen Belag des Kondensators 64 auf Masse. Wenn die Anti-Fuse 12 also nicht zu programmieren ist, wird der Kondensator 64 auf die Versorgungsspannung aufgeladen.
  • Das niedrige Eingangssignal des NOR-Gatters 52 wird ebenfalls an das Gatter eines weiteren NMOS-Transistors 70 gelegt, um diesen auszuschalten. Wenn also die Anti-Fuse 12 nicht programmiert wird, trennt der NMOS-Transistor 70 den Kondensator 64 und den NMOS-Transistor 68 von der Anti-Fuse 12. Ein NMOS-Transistor 74 wird dadurch kontinuierlich eingeschaltet, dass die Versorgungsspannung an sein Gate gelegt wird, so dass der untere Belag der Anti-Fuse 12 auf Massepotential vorgespannt wird. Deshalb lässt sich der Zustand der Anti-Fuse 12 mit mehreren konventionellen Mitteln erkennen, wenn die Anti-Fuse nicht programmiert ist.
  • Soll die Anti-Fuse 12 programmiert werden, nimmt das Programmiereingangssignal PROG* einen niedrigen Pegel an, und an die integrierte Schaltung werden passende Adressensignale angelegt, um einen Adressenabgleich hervorzurufen, demzufolge das Adressenabgleich-Eingangssignal AM* ebenfalls einen niedrigen Wert annimmt. Dadurch gibt das NOR-Gatter 52 ein hohes Signal aus und bewirkt, dass die Ausgangssignale der beiden Negatoren 60, 62 einen niedrigen Wert annehmen. Der niedrige Wert am Ausgang des Negators 60 bewirkt, dass die obere Platte des Kondensators 64 sofort von der Versorgungsspannung auf Null Volt übergeht. Da die Spannung am Kondensator 64 nicht springen kann, geht die Spannung am anderen Belag des Kondensators 64 von Null Volt auf einen negativen Spannungswert, erreicht die Spannung am unteren Belag des Kondensators 64 nicht den negativen Wert der Versorgungsspannung, da sie von dem Substrat in den meisten integrierten Schaltungsanwendungen geklemmt wird. Allerdings erreicht der untere Belag des Kondensators 64 dennoch einen beträchtlich negativen Spannungswert.
  • Der niedrige Wert am Ausgang des Negators 62 schaltet den NMOS-Transistor 68 aus, und der hohe Wert am Ausgang des NOR-Gatters 52 schaltet den MOS-Transistor 70 ein. Damit wird die negative Spannung am Kondensator 64 an den unteren Belag der Anti-Fuse 10 gelegt. Gleichzeitig wird eine positive Spannung an den Massepotentialeingang CGND gelegt, wodurch eine Programmierspannung an der Anti-Fuse 12 ansteht, die so groß ist wie die Differenz zwischen der positiven Programmierspannung und der negativen Spannung am Kondensator 64. Diese relativ große Spannung reicht aus, um die Anti-Fuse 12 konsistent auf eine relativ niedrige Impedanz zu programmieren.
  • Während der Zeit, in der die Anti-Fuse 12 durchgebrannt wird, gelangt die positive Programmierspannung vom CGND-Eingang über die Anti-Fuse 12 und den Transistor 70 an den Kondensator 64. Der Kondensator 64 wird dann in Richtung der positiven Spannung aufgeladen. Wenn allerdings die Spannung am Kondensator 64 auf Null Voll geladen ist, wird sie dort von dem MOS-Transistor 74 geklemmt, so dass die Spannung an der Anti-Fuse 12 nicht weiter abnimmt. Auf diese Weise hält die erfindungsgemäße Schaltung eine Programmierspannung von mindestens der an den Schaltungsmasseeingang CGND angelegten positiven Spannung für eine unendliche Zeit, die nicht in Beziehung steht zur Aufladungszeit des Kondensators 64, während die Anti-Fuse programmiert wird.
  • Nachdem Durchbrennen der Anti-Fuse 12 gehen die Eingänge PROG* und AM* auf einen hohen Wert, um dadurch erneut den Kondensator 64 aufzuladen und den NMOS-Transistor 70 abzuschalten und so den Kondensator 64 von der Anti-Fuse 12 zu trennen.
  • Die an verschiedenen Knoten in der Schaltung nach 3 vorhandenen Wellenformen sind in den 4AH als Impulsdiagramme dargestellt. Wie in 4A zu sehen ist, geht der Schaltungsmasseeingang CGND im Zeitpunkt τ0 zu von 0 auf 9 Volt hoch. Gleichzeitig gehen das Programmeingangssignal PROG* und das Adressenabgleichsignal AM* auf niedrigen Wert, wie in den 4B bzw. 4C gezeigt ist. Der Ausgang des NOR-Gates 52, das ist der Knoten A, geht dann gemäß 4D auf hohen Wert. Dieser Niedrig-Hoch-Übergang bewirkt dass die Ausgangssignale der Negatoren 60, 61, das sind die Knoten B bzw. D, gemäß den 4F und E auf niedrigen Wert gehen. Die Spannung am unteren Belag des Kondensators 64, das ist der Knoten C, folgt dann dem Ausgang des Negators 60, wie in 4G gezeigt ist. Die Spannung am unteren Belag des Kondensators 64 fällt von 0 Volt auf etwa –1,7 Volt ab, wie in 4G gezeigt ist. Schließlich wird gemäß 4H die auf einen positiven Wert gehende Vorderflanke von CGND (4A) kapazitiv über die Anti- Fuse 12 gekoppelt und bewirkt damit, dass die Spannung am unteren Belag der Anti-Fuse 12, das ist am Knoten E, zunächst ansteigt. Anschließend wird die Spannung am unteren Belag der Anti-Fuse 12 von dem Knoten C auf etwa –1,6 Volt heruntergezogen. Es sei auch erwähnt, dass der MOS-Transistor 74 ein Langkanal-Bauelement ist und einen ausreichend großen Widerstand bietet, demzufolge der Transistor 74 den Kondensator 64 nicht erheblich entlädt. Die Spannungen am Kondensator 64 (Knoten C), angelegt an die Anti-Fuse 12 (Knoten E) nehmen linear zu, wenn der Kondensator 64 durch die nicht durchgebrannte Anti-Fuse 12 aufgeladen wird. Allerdings steigt die Spannung am unteren Belag der Anti-Fuse niemals über 5 Volt an, wie in 4H zu sehen ist.
  • Ein Computersystem 80, welches von der erfindungsgemäßen Programmierschaltung 50 Gebrauch macht, ist in 5 gezeigt. Das Computersystem 80 enthält einen Mikroprozessor 82 herkömmlicher Ausgestaltung, angeschlossen an eine Eingabeeinrichtung wie beispielsweise eine Tastatur 84, und eine Ausgabeeinrichtung, z. B. eine Anzeige 86. Ferner ist der Mikroprozessor 82 über ein Bussystem 88 mit einem dynamischen Schreib-Lese-Speicher ("DRAM") 90 verbunden. Wie es bei dem DRAM 90 üblich ist, enthält dieser ein Array 92 aus Speicherzellen, außerdem eine redundante Reihe von Speicherzellen 94 zum Austauschen einer Reihe von Speicherzellen innerhalb des Arrays 92, wenn sich diese als defekt erweist. Die redundante Reihe 94 besitzt einen über die Anti-Fuse 12 auf Masse gelegten Freigabeeingang. Die Anti-Fuse 12 ist außerdem mit dem Ausgang der Programmierschaltung 50 verbunden. Wie oben erläutert wurde, gibt die Programmierschaltung 50 bei Erhalt eines Programmeingangssignals PROG* an die Anti-Fuse 12 eine negative Spannung aus, wenn der Mikroprozessor 82 eine vorbestimmte Adresse ausgibt, die von einer (nicht gezeigten) herkömmlichen Schaltung decodiert wird, um ein Adressenabgleichsignal AM* zu bilden. Das Programmeingangssignal PROG* wird von einem Programmgenerator 96 üblicherweise erzeugt, wenn die Anti-Fuse 12 programmiert werden soll. Da der Programmgenerator 96 in herkömmlicher Weise ausgebildet ist, wird auf eine detaillierte Erläuterung verzichtet, was der Klarheit und Knappheit dient. Es versteht sich für den Fach mann, dass der DRAM 90 eine große Menge zusätzlicher Schaltkreise enthält, die allerdings aus Gründen der Knappheit und Klarheit vorgelassen sind.
  • Aus dem oben Gesagten ist entnehmbar, dass zwar spezielle Ausführungsformen der Erfindung beschrieben wurden, um die Erfindung zu veranschaulichen, dass aber verschiedene Modifikationen möglich sind, ohne vom Schutzumfang der Erfindung abzuweichen, der durch die Ansprüche definiert ist. Die Erfindung ist also lediglich durch die beigefügten Ansprüche beschränkt.

Claims (14)

  1. Verfahren zum Programmieren einer Anti-Fuse (12), die in einer integrierten Schaltung ausgebildet ist und einen ersten und einen zweiten Anschluss besitzt, umfassend folgende Merkmale: Anlegen einer ersten Spannung an den ersten Anschluss der Anti-Fuse (12) von einer bezüglich der integrierten Schaltung (90) externen Quelle (CGND); Anlegen einer zweiten Spannung an den zweiten Anschluss der Anti-Fuse (12) von einer internen Quelle der integrierten Schaltung, wobei die erste und die zweite Spannung entgegengesetzte Polarität aufweisen, die zweite Spannung dadurch erzeugt wird, dass eine dritte Spannung an einen ersten Belag eines Kondensators (64) gelegt wird, während ein zweiter Belag des Kondensators (64) auf einer vierten Spannung gehalten wird, der erste Belag des Kondensators auf eine fünfte Spannung geschaltet wird und der zweite Belag des Kondensators mit der Anti-Fuse verbunden wird; und Zulassen einer Aufladung des Kondensators (64) durch die Anti-Fuse und Klemmen der Spannung am zweiten Belag des Kondensators auf eine vorbestimmte Spannung, nachdem der Kondensator auf die vorbestimmte Spannung aufgeladen wurde.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Anti-Fuse ein (MOSFET) ist, dessen Drain und Source an den einen Anschluss von dem ersten und dem zweiten Anschluss geschaltet sind, während sein Gate an den anderen Anschluss von dem ersten und dem zweiten Anschluss gekoppelt ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Anti-Fuse gebildet wird durch an den ersten bzw. den zweiten Anschluss gekoppelte erste und zweite leitende Platten, die voneinander durch ein nicht-leitendes Material getrennt sind.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die dritte Spannung im wesentlichen der Versorgungsspannung gleicht und die vierte und die fünfte Spannung Massepotential entsprechen.
  5. Programmierschaltung zum Programmieren einer Anti-Fuse (12) mit einem ersten und einem zweiten Anschluss, wobei die Programmierschaltung und die Anti-Fuse in einer gemeinsamen integrierten Schaltung (90) ausgebildet sind, die von einer Versorgungsspannung gespeist wird, umfassend folgende Merkmale: ein von außen zugänglicher Anschluss (CGND), der an den ersten Anschluss der Anti-Fuse (12) gekoppelt ist und der dazu ausgebildet ist, eine erste Programmierspannung vorbestimmter Polarität zu empfangen; und eine Startschaltung (54), die an den zweiten Anschluss der Anti-Fuse (12) angeschlossen ist und von einer Versorgungsspannung eine zweite Programmierspannung mit einer Polarität erzeugt, die der Polarität der ersten Programmierspannung entgegengesetzt ist, ansprechend auf ein Programmeingabesignal ("PROG"), wodurch eine der Differenz zwischen der ersten und der zweiten Programmierspannung entsprechende Spannung an den ersten und den zweiten Anschluss der Anti-Fuse gelegt wird, wobei die Startschaltung aufweist: einen Kondensator (64) mit einem ersten und einem zweiten Belag, einen ersten Negator (60), der mit einem Eingang ein Programmsteuersignal empfängt und mit einem Ausgang an den ersten Belag des Kondensators (64) angeschlossen ist, wobei der erste Negator den ersten Belag des Kondensators dann mit der Versorgungsspannung koppelt, wenn das Programmsteuersignal nicht aktiv ist, und mit Massepotential koppelt, wenn das Programmsteuersignal aktiv ist; eine erste Schalteinrichtung (68), die an zweiten Belag des Kondensators (64) angeschlossen ist und den zweiten Belag des Kondensators ansprechend auf ein erstes Steuersignal mit Massepotential verbindet; einen zweiten Negator (62), der mit einem Eingang das Programmsteuersignal empfängt und mit einem Ausgang an die erste Schalteinrichtung (68) angeschlossen ist, wobei der zweite Negator das erste Steuersignal an die erste Schalteinrichtung legt, wenn das Programmsteuersignal nicht aktiv ist; und eine zweite Schalteinrichtung (70), die mit einem Eingang das Programmsignal empfängt, und die den zweiten Belag des Kondensators (64) mit dem zweiten Anschluss der Anti-Fuse (12) während mindestens einem Teil der Zeit verbindet, in der das Programmsteuersignal aktiv ist.
  6. Programmierschaltung nach Anspruch 5, bei der die erste Programmierspannung eine positive Polarität und die zweite Programmierspannung eine negative Polarität ist.
  7. Programmierschaltung nach Anspruch 6, bei der die Startschaltung weiterhin eine Klemmschaltung aufweist, die zwischen dem zweiten Anschluss der Anti-Fuse und Masse liegt, und die verhindert, dass die Spannung am zweiten Anschluss der Anti-Fuse ansprechend darauf, dass der erste Kondensator über die Anti-Fuse aufgeladen wird, wesentlich über Massepotential ansteigt.
  8. Programmierschaltung nach Anspruch 5, bei der die Anti-Fuse ein MOSFET ist, dessen Drain und Source an einen Anschluss von dem ersten und dem zweiten Anschluss gekoppelt sind, und dessen Gate an den anderen Anschluss von dem ersten und dem zweiten Anschluss gekoppelt sind.
  9. Programmierschaltung nach Anspruch 5, bei der die Anti-Fuse gebildet wird durch eine erste und eine zweite leitende Platte, die an den ersten bzw. den zweiten Anschluss gekoppelt sind, wobei die Platten voneinander durch ein nicht-leitendes Material getrennt sind.
  10. Dynamischer Schreib-/Lese-Speicher, hergestellt auf einer durch eine Versorgungsspannung gespeisten integrierten Schaltung, umfassend: ein Array von Speicherzellen, die in Reihen und Spalten angeordnet sind; eine Anti-Fuse mit einem ersten und einem zweiten Anschluss; eine Funktionsschaltung (94), die mit der Anti-Fuse (12) gekoppelt ist und ansprechend auf die Programmierung der Anti-Fuse freigegeben wird; und eine Programmierschaltung (50) nach einem der Ansprüche 5 bis 9.
  11. Computersystem (80), umfassend: einen Prozessor (82); eine Eingabeeinrichtung (84); eine Ausgabeeinrichtung (86); und einen dynamischen Schreib-/Lese-Speicher ("DRAM") gemäß Anspruch 10.
  12. Computersystem nach Anspruch 11, bei dem die Eingabeeinrichtung eine Tastatur ist.
  13. Computersystem nach Anspruch 11, bei dem die Ausgabeeinrichtung eine Anzeige ist.
  14. Computersystem nach Anspruch 11, bei dem die Funktionsschaltung (94) mehrere redundante Speicherzellen enthält, die aktiviert werden, um Speicherzellen in dem Array zu ersetzen, wenn die Anti-Fuse programmiert ist.
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