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ALLGEMEINER
STAND DER TECHNIK
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Die vorliegende Erfindung betrifft
ein piezoelektrisches Bauelement und insbesondere einen piezoelektrischen
Resonator, der ein Substrat und mindestens einen piezoelektrischen
Resonator umfasst, der auf einer Oberfläche des Substrates angeordnet wird.
Das piezoelektrische Bauelement nutzt die mechanische Vibration
eines piezoelektrischen Elementes zum Beispiel und wird als ein
Oszillator, insbesondere ein spannungsgesteuerter Oszillator, ein
Diskriminator, ein Filter und so weiter verwendet.
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13 ist
eine Schnittansicht eines wesentlichen Abschnittes einer Struktur
zur Abstützung
eines piezoelektrischen Resonators auf einem Substrat in einem herkömmlichen
piezoelektrischen Bauelement 1, das die vorliegende Erfindung
betrifft. Das piezoelektrische Bauelement 1 enthält einen
piezoelektrischen Resonator 2, welcher ein piezoelektrisches
Substrat 3 enthält,
welches zum Beispiel die Form eines flachen Blockes aufweist, der
rechteckige Hauptflächen
(vorderseitige und rückseitige
Oberfläche)
aufweist. Das piezoelektrische Substrat 3 wird längs der
Richtung seiner Dicke zum Beispiel polarisiert. Die Elektroden 4a und 4b werden
entsprechend auf der vorderseitigen und rückseitigen Oberfläche des
piezoelektrischen Substrates 3 gebildet. Wenn ein Signal
zwischen den Elektroden 4a und 4b zugeführt wird,
wird ein elektrisches Feld an dem piezoelektrischen Substrat 3 längs der
Richtung der Dicke des piezoelektrischen Substrates 3 angelegt
und das piezoelektrische Substrat 3 schwingt in der Längsrichtung.
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Der piezoelektrische Resonator 2 wird
auf einem isolierenden Substrat 5 abgestützt, das
eine vordefinierte Strukturelektrode 6 auf seiner Oberfläche aufweist.
Der piezoelektrische Resonator 2 weist seinen Knotenabschnitt
auf, der auf dem isolierenden Substrat 5 durch ein Befestigungselement 7 abgestützt wird,
das aus einem elektrisch leitenden Kleber oder dergleichen gebildet
wird. Das Befestigungselement 7 wird durch Aufbringen eines
elektrisch leitenden Klebers auf der rückseitigen Oberfläche des
piezoelektrischen Resonators 2 von einem Ende bis zum anderen
Ende desselben in der Querrichtung und in der Mitte in der Längsrichtung
gebildet. In diesem herkömmlichen
piezoelektrischen Bauelement wird das Befestigungselement 7 auf
der rückseitigen Oberfläche des
piezoelektrischen Substrates 3 durch Belichtung unter Verwendung
einer Metallmaske zum Beispiel gebildet. Der piezoelektrische Resonator 2 und
das isolierende Substrat 5 werden miteinander durch das
Befestigungselement 7 verbunden. Die Elektrode 4b auf
der Rückseite
des piezoelektrischen Resonators 2 und die Strukturelektrode 6 auf
der vorderseitigen Oberfläche
des isolierenden Substrates 5 werden dadurch mechanisch
und elektrisch verbunden.
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Jedoch in der Struktur zur Abstützung des
piezoelektrischen Resonators 2 auf dem isolierenden Substrat 5,
wie in 13 gezeigt ist,
wird das Befestigungselement 7 zum Beispiel durch mechanische Spannung
wie zum Beispiel Oberflächenspannung abgerundet,
so dass die Fläche
des Kontaktes zwischen dem piezoelektrischen Resonator 2 und
dem isolierenden Substrat 5 klein ist. Das heißt, die
Kontaktierungsfestigkeit zwischen der Elektrode 4b auf der
rückseitigen
Oberfläche
des piezoelektrischen Resonators 2 und der Strukturelektrode 6 auf
dem isolierenden Substrat 5 verringert sich. Entsprechend ist
die elektrische Verbindung zwischen dem piezoelektrischen Resonator 2 und
der Strukturelektrode 6 schwach. Mitunter ergibt sich daher
eine unerwünschte
Zuverlässigkeit
des piezoelektrischen Bauelementes 1. Außerdem ist
in der herkömmlichen Stützstruktur,
die in 13 gezeigt ist,
die Dicke des Befestigungselementes 7 gering und der piezoelektrische
Resonator 2 und das isolierende Substrat 5 werden
sehr dicht zueinander angeordnet, wenn der piezoelektrische Resonator 2 auf
dem isolierenden Substrat 5 abgestützt wird. Unter solch einer
Bedingung besteht ein Risiko des Mitschwingens des isolierenden
Substrates 5 mit der Vibration des piezoelektrischen Resonators 2,
um eine unnötige
Reaktion der elektrischen Eigenschaften des piezoelektrischen Resonators 2 hervorzurufen.
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Ein piezoelektrisches Bauelement,
das Merkmale gemäß dem Oberbegriff
von Anspruch 1 aufweist, ist in EP-A-0 626 212 beschrieben.
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KURZDARSTELLUNG
DER ERFINDUNG
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Aus der Sicht der oben beschriebenen
Probleme ist eine Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung, ein piezoelektrisches
Bauelement bereitzustellen, das zum Verbinden eines Substrates und
eines piezoelektrischen Resonators mit einer hohen Verbindungsfestigkeit
fähig ist
und verbesserte elektrische Zuverlässigkeit aufweist.
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Diese Aufgabe wird mit einem piezoelektrischen
Bauelement erreicht, das die Merkmale von Anspruch 1 aufweist. Die
Unteransprüche
sind auf die bevorzugten Ausführungsformen
gerichtet.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung
wird das Stützelement
verwendet, so dass die Verbindungsfläche zwischen dem Stützelement
und dem piezoelektrischen Resonator durch die ersten Stützmittel
und die Verbindungsfläche
zwischen dem Stützelement und
dem Substrat durch die zweiten Stützmittel bezüglich der
Verbindungsfläche
in der herkömmlichen Struktur
angemessen vergrößert werden
können.
Die Festigkeit der Verbindung zwischen dem Substrat und dem piezoelektrischen
Resonator wird dadurch vergrößert. Folglich
wird die elektrische Verbindung dazwischen stabilisiert, folglich
wird ermöglicht,
ein piezoelektrisches Bauelement zu erhalten, das eine verbesserte
elektrische Zuverlässigkeit
aufweist. Das Stützelement
kann flache Oberflächen
entsprechend aufweisen, die dem Substrat und dem piezoelektrischen
Resonator gegenüberstehen.
Ebenfalls, da das Stützelement
verwendet wird, können
das Substrat und der piezoelektrische Resonator passend mit Zwischenraum
voneinander angeordnet werden, wenn der piezoelektrische Resonator
in einer vordefinierten Position auf dem Substrat abgestützt wird. Folglich
sind das Substrat und der piezoelektrische Resonator nicht so dicht
zueinander wie in der herkömmlichen
Stützstruktur.
Durch diesen Abstand wird das Substrat an dem Mitschwingen mit der
Vibration des piezoelektrischen Resonators gehindert, indem so eine
unnötige
Reaktion der elektrischen Eigenschaften des piezoelektrischen Resonators
verhindert wird.
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Außerdem wird gemäß der vorliegenden
Erfindung die Verbindungslänge,
d. h. die Länge
entlang der Längsrichtung
des piezoelektrischen Resonators der Abschnitte des piezoelektrischen
Resonators und der ersten Stützmittel,
die miteinander verbunden werden, auf 25% oder weniger als die Länge des
piezoelektrischen Resonators eingestellt, wodurch verhindert wird,
dass die Stützmittel
als eine wesentliche Last auf den piezoelektrischen Resonator wirken,
um den Qualitätsfaktor
zu verringern.
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In dem piezoelektrischen Bauelement
der vorliegenden Erfindung werden die ersten Stützmittel für die Verbindung zwischen dem
piezoelektrischen Resonator und dem Stützelement verwendet, während die
zweiten Stützmittel
für die
Verbindung zwischen dem Stützelement
und dem Substrat verwendet werden. Wenn jedes der ersten und zweiten Stützmittel
durch einen elastischen elektrisch leitenden Kleber gebildet wird,
können
die ersten Stützmittel
den piezoelektrischen Resonator auf dem Stützelement unterstützen, während der
piezoelektrische Resonator und das Stützelement elektrisch verbunden
werden, und die zweiten Stützmittel
können
das Stützelement
auf dem Substrat unterstützen,
während
das Stützelement
und das Substrat elektrisch verbunden werden. Ebenfalls in dem piezoelektrischen
Bauelement gemäß der vorliegenden
Erfindung können
die ersten Stützmittel
für die
Verbindung zwischen dem piezoelektrischen Resonator und dem Substrat
den piezoelektrischen Resonator auf dem Substrat unterstützen, während der
piezoelektrische Resonator und das Substrat verbunden werden, wenn
es ein elektrisch leitender Kleber ist. Außerdem können sie, wenn die elektrisch
leitende Kleberschicht elastisch ist, eine Vibrationsableitung von
dem piezoelektrischen Resonator absorbieren. Das heißt, das
Substrat wird an dem Mitschwingen mit der Vibration des piezoelektrischen
Resonators gehindert. Folglich kann die unnötige Reaktion der elektrischen
Eigenschaften des piezoelektrischen Resonators zuverlässiger verhindert
werden.
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Wenn das Stützelement einen leitenden Abschnitt
aufweist, der darauf gebildet wird, kann es die elektrische Verbindung
zwischen dem piezoelektrischen Resonator und dem Substrat herstellen.
Ein leitender Abschnitt kann auf dem Stützelement gebildet werden,
um zum Beispiel zu ermöglichen,
dass eine vordefinierte Strukturelektrode auf dem Substrat und eine
vordefinierte Elektrode des piezoelektrischen Resonators miteinander
elektrisch verbunden werden, auch wenn das Stützelement aus einem Nichtleiter
gebildet wird.
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Als solch eine leitender Abschnitt
kann eine Metallfolie wie zum Beispiel eine Kupferfolie auf einem
Abschnitt des Stützelementes
außer
den Planflächen
bereitgestellt werden, die dem Substrat und dem piezoelektrischen
Resonator gegenüberstehen, um
eine elektrische Verbindung zwischen dem piezoelektrischen Resonator
und dem Substrat herzustellen.
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Die oben beschriebenen und andere
Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden
aus der folgenden detaillierten Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
der Erfindung mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen ersichtlich.
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KURZBESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht eines piezoelektrisches
Bauelementes, welches eine Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung darstellt;
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2 ist
eine vergrößerte fragmentarische Schnittansicht
eines wesentlichen Abschnittes des in 1 gezeigten
piezoelektrisches Bauelementes;
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3A und 3B sind grafische Darstellungen, die
ein Beispiel des Verfahrens der Befestigung eines Stützelementes
an einem piezoelektrischen Vibratorelement zeigen, das auf das in 1 und 2 gezeigte piezoelektrisches Bauelement
angewendet wird;
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3A ist
eine perspektivische Ansicht eines Muttersubstrates für das piezoelektrische
Vibratorelement mit einem Stützelement,
das mit dem Muttersubstrat verbunden wird;
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3B ist
eine vergrößerte perspektivische Ansicht
des piezoelektrischen Vibratorelementes mit dem Stützelement,
das durch Ausschneiden des Muttersubstrates längs der in 3A gezeigten Doppelpunkt-Strichlinien
erhalten wird und Leiter aufweist, die auf seinen Seitenflächen gebildet
werden;
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4 ist
ein Schaubild, das die Beziehung zwischen der Stärke der Resonanz und dem Verhältnis der
Länge der
verbundenen Abschnitte des piezoelektrischen Vibratorelementes und
des Stützelementes
zu der Gesamtlänge
des piezoelektrischen Vibratorelementes zeigt;
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5 ist
ein Schaubild, das die Beziehung zwischen dem Abstand zwischen dem
piezoelektrischen Vibratorelement und dem isolierenden Substrat
und dem Grad der Resonanz zwischen dem piezoelektrischen Vibratorelement
und dem isolierenden Substrat gezeigt;
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6 ist
eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen
Bauelementes, welches eine zweite Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung darstellt;
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7 ist
eine vergrößerte fragmentarische Schnittansicht
eines wesentlichen Abschnittes des in 6 gezeigten
piezoelektrisches Bauelementes;
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8A und 8B sind grafische Darstellungen, die
ein Beispiel des Verfahrens der Befestigung eines Leiters zeigen,
der auf einem Stützelement
gebildet wird, das in dem in 6 und 7 gezeigten piezoelektrischen
Bauelement gebildet wird;
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8A ist
eine perspektivische Ansicht des Muttersubstrates eines Stützelementes
mit Metallfolie, das auf zwei Hauptflächen des Muttersubstrates gebildet
wird;
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8B ist
eine vergrößerte perspektivische Ansicht
des Stützelementes,
das durch Ausschneiden des Muttersubstrates längs der in 8A gezeigten Doppelpunkt-Strichlinien
gebildet wird und Leiter aufweist, die auf seinen Seitenflächen gebildet werden;
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9 ist
eine Draufsicht eines wesentlichen Abschnittes eines piezoelektrischen
Bauelementes, welcher eine dritte Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung darstellt;
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10 ist
eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht des wesentlichen
Abschnittes des in 9 gezeigten
piezoelektrischen Bauelementes;
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11 ist
eine vergrößerte fragmentarische Schnittansicht
des Abschnittes des in 9 und 10 gezeigten piezoelektrischen
Bauelementes;
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12 ist
ein Schaltbild des in 9, 10 und 11 gezeigten piezoelektrischen Bauelementes;
und
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13 ist
eine Schnittansicht eines wesentlichen Abschnittes einer Struktur
zur Abstützung
eines piezoelektrischen Resonators auf einem Substrat in einem herkömmlichen
piezoelektrischen Bauelement.
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BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Ein piezoelektrisches Bauelement,
welches als ein Oszillator verwendet wird und welches eine erste
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung darstellt, wird beschrieben.
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Bezug nehmend auf 1 enthält ein piezoelektrisches Bauelement 10 ein
isolierendes Substrat 12, das aus Aluminium oder dergleichen
hergestellt ist und die Form einer rechteckigen Platte aufweist. Zwei
Strukturelektroden 14 und 16 zum Beispiel werden
auf einer der zwei Hauptflächen
des isolierenden Substrates 12 (vorderseitige Oberfläche wie
in 1 gezeigt ist) gebildet,
indem sie passend mit Abstand voneinander angeordnet werden. Die
Strukturelektrode 14 wird aus einer Leitungselektrode 14a,
welche sich gerade längs
einer der kürzeren
Seiten der vorderseitigen Oberfläche
des isolierenden Substrates 12 von einem Ende bis zum anderen
Ende in der Querrichtung des isolierenden Substrates 12 erstreckt,
und einer Leitungselektrode 14b, welche sich gerade in
der Längsrichtung
des isolierenden Substrates 12 von einer Position in der
Nähe eines
Endes der Längsrichtung
der Leitungselektrode 14a erstreckt, gebildet.
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Die Strukturelektrode 16 wird
aus einer Leitungselektrode 16a, welche sich gerade längs der
anderen kürzeren
Seite der vorderseitigen Oberfläche des
isolierenden Substrates 12 von einem Ende bis zum anderen
Ende in der Querrichtung des isolierenden Substrates 12,
und einer Leitungselektrode 16b, welche sich gerade in
der Längsrichtung
des isolierenden Substrates 12 von einer Position in der
Nähe eines
Endes der Längsrichtung
der Leitungselektrode 16a erstreckt, gebildet.
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Die Strukturelektroden 14 und 16 weisen Verlängerungen
auf, die gebildet werden, um sich zu den Positionen auf der rückseitigen
Oberfläche
des iso lierenden Substrates 12 auf eine indirekte Weise zu
erstrecken, obgleich sie nicht dargestellt werden.
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Ein piezoelektrisches Vibratorelement 18, das
als ein piezoelektrischer Resonator verwendet wird, wird auf der
Vorderseite des isolierenden Substrates 12 bereitgestellt.
Das piezoelektrische Vibratorelement 18 enthält ein piezoelektrisches
Substrat 20, welches zum Beispiel ein piezoelektrisches
keramisches Element ist, das die Form eines flachen Blockes aufweist,
der rechteckige Hauptflächen
(vorderseitige und rückseitige
Oberfläche)
aufweist. Eine schwingende Elektrode 22a wird zum Beispiel
auf der gesamten vorderseitigen Oberfläche des piezoelektrisches Substrates 20 gebildet,
während
eine schwingende Elektrode 22b auf der gesamten rückseitigen Oberfläche des
piezoelektrischen Substrates 20 gebildet wird. Zum Beispiel
schwingt dieses piezoelektrische Vibratorelement 18 in
einem Längsschwingungsmodus
und verwendet einen piezoelektrischen Resonator.
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Dieses piezoelektrische Vibratorelement 18 wird
an dem isolierenden Substrat 12 in einer vordefinierten
Position durch ein Stützelement 24 und
eine erste und eine zweite elastische Kleberschicht 26 und 28 befestigt,
die dazwischen als erste und zweite Stützmittel geschaltet werden.
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Zum Beispiel wird das Stützelement 24 in
der Form eines kleinen flachen Blockes gebildet, der rechteckige
Hauptflächen
aufweist, und welcher aus einem Epoxidharz oder dergleichen hergestellt
ist.
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Das Stützelement 24 weist
ein Paar von ebenen gegenüberliegenden
Oberflächen 24a und 24b (Hauptflächen) auf.
Das Stützelement 24 wird
zwischen dem piezoelektrischen Vibratorelement 18 und dem
isolierenden Substrat 12 so angeordnet, dass die Planfläche 24a der
rückseitigen
Oberfläche
des piezoelektrischen Vibratorelementes 18 gegenübersteht,
während
die Planfläche 24b der
vorderseitigen Oberfläche
des isolierenden Substrates 12 gegenübersteht. Insbesondere wird
das Stützelement 24 im Wesentlichen
in der Mitte des piezoelektrischen Vibratorelementes 18 in
der Längsrichtung
positioniert, wie in 1 gezeigt
ist.
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An der Planfläche 24a, d. h. der
oberen Fläche
des Stützelementes 24,
wie in 1 ersichtlich ist,
wird ein elektrisch leitender Kleber 26a, der als erste
Stützmittel
durch Mischen eines Füllstoffes
eines elektrisch leitenden Materials wie zum Beispiel Silber in
einem elastischen wärmehärtbaren
Kunststoff wie zum Beispiel einem Silikon oder Epoxidharz hergestellt
wird, geklebt, wodurch die erste elektrisch leitende Kleberschicht 26 gebildet
wird. Die Planfläche 24a des
Stützelementes 24 wird
durch die erste elektrisch leitende Kleberschicht 26 mit
einem Schwingungsknotenbereich des piezoelektrischen Vibratorelementes 18 verbunden,
d. h. einem Abschnitt in der Mitte in der Längsrichtung des piezoelektrischen
Vibratorelementes 18. Insbesondere wird die Planfläche 24a des
Stützelementes 24 mit
einem Abschnitt der schwingenden Elektrode 22b des piezoelektrischen
Vibratorelementes 18 verbunden, der der Mitte in der Längsrichtung
entspricht. Die Verbindungslänge
W, d. h. die Länge
längs der
Längsrichtung
des piezoelektrischen Vibrators 18 des Abschnittes der
ersten elektrisch leitenden Kleberschicht 26 als die ersten
Stützmittel
und des Abschnittes des piezoelektrischen Resonators 18,
die miteinander verbunden werden, wird auf 25% oder weniger der
Gesamtlänge
L des piezoelektrischen Vibratorelementes 18 eingestellt.
In dieser Ausführungsform
wird das piezoelektrische Vibratorelement 18 so gebildet,
dass zum Beispiel seine Gesamtlänge L
ungefähr
4,0 mm, seine Breite ungefähr
0,6 mm und seine Dicke ungefähr
0,4 mm beträgt.
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Andererseits wird auf der vorderseitigen Oberfläche des
isolierenden Substrates 12 die zweite elektrisch leitende
Kleberschicht 28, die aus einem elektrisch leitenden Kleber 28a besteht,
als die zweiten Stützmittel
in der Position gebildet, die einem Substratabschnitt entspricht,
auf welchem das piezoelektrische Vibratorelement 18 befestigt
wird. In dieser Ausführungsform
wird der elektrisch leitende Kleber 28a an dem Endabschnitt
der Längsrichtung
der Leitungselektrode 16b der Strukturelektrode 16 auf der
Oberfläche
des isolierenden Substrates 12 geklebt. Als elektrisch
leitender Kleber 28a wird der gleiche elektrisch leitende
Kleber wie der elektrisch leitende Kleber 26a der die oben
beschriebenen ersten Stützmittel
bildet, verwendet.
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Die andere Planfläche 24b, d. h. die
untere Endfläche
des Stützelementes 24,
die mit dem piezoelektrischen Vibratorelement 18 verbunden
ist, wird an den elektrisch leitenden Kleber 28a geklebt,
der an die Oberfläche
des isolierenden Substrates 12 geklebt wird. Die schwingende
Elektrode 22a des piezoelektrischen Vibratorelementes 18 wird
mit der Strukturelektrode 14 auf dem isolierenden Substrat 12 durch
einen Leiterdraht 30 oder dergleichen verbunden. Der Leiterdraht 30 wird
zwischen einem Mittelabschnitt der Längsrichtung der schwingenden
Elektrode 22a und einem Endabschnitt der Längsrichtung der
Leitungselektrode 14b der Strukturelektrode 14 verbunden.
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Außerdem wird eine Metallkappe
(nicht gezeigt) oder dergleichen auf dem isolierenden Substrat 12 angeordnet.
Um zu verhindern, dass die Metallkappe auf die Strukturelektroden 14 und 16 kurzgeschlossen
wird, wird vorab isolierendes Harz auf das isolierende Substrat 12 und
die Strukturelektroden 14 und 16 aufgetragen.
Durch Bedecken mit der Metallkappe ist die Herstellung des piezoelektrischen Bauelementes 10 beendet.
In diesem piezoelektrischen Bauelement 10 werden die Abschnitte
(nicht gezeigt) der Strukturelektroden 14 und 16,
die gebildet werden, um sich von den Kanten des isolierenden Substrates 12 bis
zu den Positionen auf der rückseitigen
Oberfläche
des isolierenden Substrates 12 auf eine indirekte Weise
zu erstrecken, als Eingangs-/Ausgangsklemmen zum Anschließen an eine externe
Schaltung verwendet.
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Ein Beispiel des Verfahrens der Herstellung des
Stützelementes 24 dieser
Ausführungsform
wird nun mit Bezug hauptsächlich
auf 1 und 3 beschrieben.
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Zuerst wird ein Muttersubstrat 100 zur
Bildung des piezoelektrischen Vibratorelementes 18 hergestellt,
das so gebildet wird, um zum Beispiel eine Länge von 30 mm, eine Breite
von 4 mm und eine Dicke von 0,4 mm aufzuweisen. Ein formiertes Material 102 für das Stützelement 24,
das eine vordefinierte Größe in Länge, Breite
und Dicke aufweist und von einem Muttersubstrat (nicht gezeigt)
für das Stützelement 24 separat
von dem Muttersubstrat 100 abgetrennt werden kann, wird
mit einem Abschnitt einer Oberfläche
des Muttersubstrates 100 verbunden, der der Mitte in der
Querrichtung des Muttersubstrates 100 entspricht. Zum Beispiel
wird das formierte Material 102 gebildet, um eine Länge von
30 mm, eine Breite von 0,8 mm und eine Dicke von 0,25 mm aufzuweisen.
Das formiertes Material 102 wird mit dem Mittelabschnitt
des Muttersubstrates 100 durch einen elektrisch leitenden
Kleber 26a verbunden, wie in 3A gezeigt
ist. In dieser Ausführungsform
wird die Breite des formierten Materials 102 für das Stützelement 24 auf
etwa 0,8 mm, ungefähr
20 der Gesamtlänge
des piezoelektrischen Vibratorelementes 18 eingestellt.
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Danach wird das Muttersubstrat 100 längs mehrerer
Ebenen mit einem Rastermaß p
von 0,6 mm geschnitten, das der Breite des piezoelektrischen Vibratorelementes 18 entspricht,
wie durch die Doppelpunkt-Strichlinien in 3A angegeben ist. Das Muttersubstrat 100 wird
auf diese Weise in Stücke
geschnitten, wobei jedes die in 3B gezeigte Struktur
aufweist, indem so das piezoelektrische Vibratorelement 18 mit
dem Stützelement 24 hergestellt wird.
Das heißt,
mit einem Abschnitt einer Hauptfläche des piezoelektrischen Vibratorelementes 18,
der der Mitte in der Längsrichtung
des piezoelektrischen Vibratorelementes 18 (in einem Knotenpunkt)
entspricht, wird eine der gegenüberliegenden
Planflächen,
d. h. die Planfläche 24a des
Stützelementes 24,
durch die erste elektrisch leitende Kleberschicht 26 verbunden,
die aus dem elektrisch leitenden Kleber 26a (erste Stützmittel)
gebildet wird.
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In dem piezoelektrischen Bauelement 10 dieser
Ausführungsform
wird das Stützelement 24 gebildet
und mit dem Abschnitt des piezoelektrischen Vibratorelementes 18,
der der Mitte in der Längsrichtung
entspricht, und mit der Leitungselektrode 16b auf dem isolierenden
Substrat 12 durch die elektrisch leitenden Kleber 26a und 28a verbunden.
Bestimmte Abstände
werden auf diese Weise zwischen den Enden des piezoelektrischen
Vibratorelementes 18 und dem isolierenden Substrat 12 aufrechterhalten,
so dass die Vibration des piezoelektrischen Vibratorelementes 18 nicht
spürbar
durch das isolierende Substrat 12 behindert wird. Ebenfalls
wird der Mittelabschnitt des piezoelektrischen Vibratorelementes 18, der
einem Knoten entspricht, auf dem Stützelement 24 befestigt
und weist eine Verbindung zu dem Leiterdraht 30 auf. Dadurch
wird die Längsschwingung, die
in dem piezoelektrischen Vibratorelement 18 erregt wird,
nicht gedämpft.
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Insbesondere in dem piezoelektrischen
Bauelement 10 dieser Ausführungsform wird das piezoelektrische
Vibratorelement 18, das als ein piezoelektrischer Resonator
verwendet wird, in einer vordefinierten Position auf dem isolierenden
Substrat 12 durch das Stützelement 24 unterstützt und
durch elektrisch leitende Kleber 26a und 28a verbunden, die
auf die Planflächen 24a und 24b des Stützelementes 24 geklebt
werden. In dieser Verbindung wird die Planfläche 24a des Stützelementes 24 mit
dem piezoelektrischen Vibratorelement 18 durch die elektrisch
leitenden Kleber 26a verbunden, während die Planfläche 24b des
Stützelementes 24 mit
dem isolierenden Substrat 12 durch die anderen elektrisch leitenden
Kleber 28a verbunden wird. Daher kann die Verbindungsfläche zwischen
dem Stützelement 24 und
dem piezoelektrischen Vibratorelement 18 und zwischen dem
Stützelement 24 und
dem isolierenden Substrat 12 bezüglich der zum Beispiel in der
in 13 gezeigten herkömmlichen
Anordnung vergrößert werden.
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Als eine Folge wird die Festigkeit
der Verbindung zwischen dem isolierenden Substrat 12 und dem
piezoelektrischen Vibratorelement 18 verbessert und die
elektrische Verbindung zwischen dem isolierenden Substrat 12 und
dem piezoelektrischen Vibratorelement 18 wird stabilisiert,
indem so das piezoelektrische Bauelement 10 erhalten wird,
das verbesserte elektrische Zuverlässigkeit aufweist.
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Weil ein formiertes Material, das
separat hergestellt wurde, als das Stützelement 24 verwendet wird,
kann das Stützelement 24 eine
geeignete Dicke aufweisen, so dass das isolierende Substrat 12 und das
piezoelektrische Vibratorelement 18 passend mit Abstand
voneinander angeordnet werden können, wenn
das piezoelektrische Vibratorelement 18 mit dem isolierenden
Substrat 12 verbunden wird und auf ihm in einer vordefinierten
Position durch die elektrisch leitenden Kleber 26a und 28a unterstützt wird. Folglich
kann der Abstand zwischen dem isolierenden Substrat 12 und
dem piezoelektrischen Vibratorelement 18 auf einen geeigneteren
Wert in dem piezoelektrischen Bauelement 10 der vorliegenden
Erfindung als in dem herkömmlichen
piezoelektrischen Bauelement eingestellt werden, wodurch die Resonanz
des isolierenden Substrates 12 mit der Vibration des piezoelektrischen
Vibratorelementes 18 verhindert wird. Folglich ist es möglich, das
Auftreten einer unnötigen
Reaktion der elektrischen Eigenschaften des piezoe ektrischen Vibratorelementes 18 zu
verhindern.
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Außerdem kann, da ein formiertes
Material, das separat hergestellt wurde, als das Stützelement 24 verwendet
wird, das Stützelement 24 exakt
in der Form der gewünschten
Größe gebildet
werden und zu einem niedrigeren Preis hergestellt werden. Ebenfalls
kann das elektronische Bauelement stabil in den elektrischen Eigenschaften
durch Auswählen
der Art, der Qualität
und der Größe des formierten
Materials 24 hergestellt werden, ohne die Resonanz mit
dem piezoelektrischen Vibratorelement und eine Verringerung des
Qualitätsfaktor
hervorzurufen.
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Außerdem wird in dem piezoelektrischen Bauelement 10 dieser
Ausführungsform
die verbundene Struktur so gebildet, dass die Verbindungslänge der
verbundenen Abschnitte des piezoelektrischen Vibratorelementes 18 und
der ersten Stützmittel,
d. h. der ersten Kleberschicht 26, längs der Längsrichtung des piezoelektrischen
Vibratorelementes 18 nicht größer als 25% der Gesamtlänge des
piezoelektrischen Vibratorelementes 18 ist, und so, dass
die Fläche
des Kontaktes dazwischen ausreichend groß ist. Folglich wirken die
ersten Stützmittel,
d. h. die erste elektrisch leitende Schicht 26, und das
Stützmaterial 24 nicht
wie eine Last auf das piezoelektrische Vibratorelement 18, um den
Qualitätsfaktor
zu verringern.
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Ein Experiment, das von den Erfindern
der vorliegenden Erfindung durchgeführt wurde, lässt das
Folgende erkennen. Wenn die Länge
(Gesamtlänge)
des piezoelektrischen Vibratorelementes 18 in diesem piezoelektrisches
Bauelement 10 L ist und die Länge
des Abschnittes der ersten Stützmittel längs der
Längsrichtung
des piezoelektrischen Vibratorelementes 18, d. h. der ersten
elektrisch leitenden Kleberschicht 26 und des Abschnittes
des piezoelektrischen Vibratorelementes 18, die miteinander
verbunden werden, W ist, dann ist die Beziehung zwischen dem Qualitätsfaktor
und dem Verhältnis
W/L wie in 4 gezeigt
ist. Das heißt,
der Qualitätsfaktor verringert
sich, wenn das Verhältnis
W/L 25% übersteigt.
Wenn das Verhältnis
W/L nicht größer als
25% ist, verringert sich der Qualitätsfaktor nicht.
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Im Allgemeinen ist in einem piezoelektrischen
Bauelement, das ein piezoelektrisches Vibratorelement verwendet,
das Substrat verantwortlich, um mit der Vibration des piezoelektrischen
Vibratorelementes mitzuschwingen, wenn der Abstand zwischen dem
piezoelektrischen Vibratorelement und dem Substrat klein ist, das
heißt
das piezoelektrische Vibratorelement und das Substrat zu dicht zueinander
angeordnet werden. Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben
experimentell herausgefunden, dass sich hinsichtlich des piezo elektrischen
Bauelementes 10 dieser Ausführungsform der Grad der Resonanz
zwischen dem piezoelektrischen Vibratorelement 18 und dem
isolierenden Substrat 12 vergrößert, so dass eine Resonanz
leicht dazwischen entstehen kann, wenn der Abstand G zwischen dem
piezoelektrischen Vibratorelement 18 und dem isolierenden
Substrat 12 in dem Bereich unter 0,2 mm liegt, wie in 5 gezeigt ist.
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In dem piezoelektrischen Bauelement 10 dieser
Ausführungsform
kann eine Vibrationsableitung von dem piezoelektrischen Vibratorelement 18 durch
die erste und die zweite elastische elektrisch leitende Kleberschicht 26 und 28 absorbiert
werden, die als die ersten und die zweiten Stützmittel gebildet werden. Das
heißt,
die Resonanz des isolierenden Substrates 12 mit der Vibration
des piezoelektrischen Vibratorelementes 18 kann begrenzt
werden, um den unerwünschten
Effekt des Hervorrufens einer unnötigen Reaktion der elektrischen
Eigenschaften des piezoelektrischen Vibratorelementes 18 zu
verringern.
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Das piezoelektrische Bauelement 10 dieser Ausführungsform
wird zum Beispiel als ein Oszillator oder Diskriminator durch Befestigung
auf einer Leiterplatte zusammen mit einem integrierten Schaltkreis
oder dergleichen verwendet. Das piezoelektrische Bauelement 10,
das wie oben beschrieben aufgebaut ist, wird dicht eingeschlossen
und durch die Metallkappe (nicht gezeigt) geschützt und kann daher als ein
Chipbauelement verwendet werden, das durch Aufschmelzlöten montierbar
ist.
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6 ist
eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen
Bauelementes 10, welches eine zweite Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung darstellt, und 7 ist eine
vergrößerte Schnittansicht
eines wesentlichen Abschnittes des in 6 gezeigten
elektronischen Bauelementes 10. Das unten beschriebene
piezoelektrische Bauelement 10 wird zum Beispiel als ein Diskriminator,
ein spannungsgesteuerter Oszillator oder ein Filter verwendet. Dieses
piezoelektrische Bauelement 10 unterscheidet sich von dem
oben beschriebenen piezoelektrischen Bauelement 10 dadurch,
dass die Leiter 40 und 42 für die elektrische Verbindung
der ersten Stützmittel,
die auf der oberen Fläche
des Stützelementes 24 gebildet
werden, und der zweiten Stützmittel,
die auf der unteren Oberfläche
des Stützelementes 24 gebildet werden,
auf den Seitenflächen
des Stützelementes 24 gebildet
werden. In 6 und 7 weisen die Abschnitte oder
Elemente, die durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet werden
oder die gleichen Namen wie die der in 1 bis 3 gezeigten
Ausführungsform
aufweisen, die gleichen oder ähnliche
Strukturen auf, und der Aufbau solcher gemeinsamer Abschnitte wird
nicht speziell beschrieben.
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Das piezoelektrische Bauelement 10 der
in 6 und 7 gezeigten Ausführungsform enthält das isolierende
Substrat 12. Die vordefinierten Strukturelektroden 14 und 16 werden
auf der vorderseitigen Oberfläche
des isolierenden Substrates 12 gebildet. Ein piezoelektrisches
Vibratorelement 32, das eine laminierte Struktur aufweist,
wird in einer vordefinierten Position mit dem isolierenden Substrat 12 verbunden
und auf ihm unterstützt.
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Das piezoelektrische Vibratorelement 32 enthält ein Basiselement 34,
das eine Längsform
aufweist, wie in 6 gezeigt
ist. Das Basiselement 34 wird aus einem piezoelektrischen
Material gebildet. Viele Elektroden (nicht gezeigt) werden in dem
Basiselement gebildet, indem sie so angeordnet werden, dass ihre
Hauptflächen
senkrecht zu der Längsrichtung
des Basiselementes sind. Folglich weist das Basiselement 34 eine
laminierte Struktur auf, in welcher viele piezoelektrische Schichten
und innere Elektroden abwechselnd laminiert werden. Die piezoelektrischen
Schichten werden längs
der Längsrichtung des
Basiselementes 34 so polarisiert, dass das Paar der piezoelektrischen
Schichten auf den gegenüberliegenden
Seiten jeder inneren Elektrode in entgegengesetzten Richtungen polarisiert
wird.
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Die Streifen der isolierenden Filme
(nicht gezeigt) werden in zwei Reihen auf einer Seitenfläche des
Basiselementes 34 gebildet. Eine Reihe der Streifen der
isolierenden Filme wird so gebildet, dass die inneren Elektroden,
die in der Seitenfläche
des Basiselementes 34 belichtet wurden, abwechselnd bedeckt
werden und unbedeckt von dem isolierenden Film bleiben. Die andere
Reihe der Streifen der isolierenden Filme wird so gebildet, dass
die inneren Elektroden bedeckt werden, die nicht mit den isolierenden
Filmen bedeckt wurden. Die äußere Elektroden 36 und 38 werden über den
so gebildeten zwei Reihen der Streifen der isolierenden Filme gebildet. Die
inneren Elektroden, die nicht mit der einen Reihe der isolierenden
Filme bedeckt wurden, werden mit der äußere Elektrode 36 verbunden,
während
die inneren Elektroden, die nicht mit der anderen Reihe des isolierenden
Films bedeckt wurden, mit der äußeren Elektrode 38 verbunden
werden.
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In dem piezoelektrischen Vibratorelement 32 werden
die piezoelektrischen Schichten in einem Mittelabschnitt des Basiselementes 34 polarisiert.
Wenn ein elektrisches Feld zwischen jedem Paar der inneren Elektroden
in dem Mittelabschnitt angelegt wird, werden die piezoelektrischen
Schichten piezoelektrisch aktiv gemacht. Andererseits werden die
zwei Endabschnitte des Basiselementes 34 an den gegenüberliegenden
Enden in der Längsrichtung
nicht polarisiert und in den Endabschnitten keine Elektroden gebildet.
Daher werden die Endabschnitte nicht piezoelektrisch aktiv gemacht.
Folglich wird der Mittelabschnitt des Basiselementes 34 als
ein aktiver Abschnitt definiert, welcher piezoelektrisch aktiv ist, während die
zwei Endabschnitte des Basiselementes 34 als inaktive Abschnitte
definiert werden, welche piezoelektrisch inaktiv sind.
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Wenn ein Signal zwischen den zwei äußeren Elektroden 36, 38 angelegt
wird, wird ein elektrisches Wechselstromfeld in der Längsrichtung
des Basiselementes 34 an jeder der piezoelektrischen Schicht
in dem aktiven Abschnitt angelegt, um eine Ausdehnungs- und Kontraktionssteuerkraft
in der piezoelektrischen Schicht zu erzeugen, indem so die Vibration in
dem Longitudinalbasismode in dem gesamten Basiselement 34 erregt
wird.
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Die piezoelektrischen Schichten und
inneren Elektroden in dem Basiselement 34 können ersatzweise
in so einer Weise gebildet werden, dass die inneren Elektroden herausführende Abschnitte
aufweisen, die abwechselnd an einem Ende und dem anderen Ende gebildet
werden und sich zu den Endflächen
der piezoelektrischen Schichten erstrecken, die sich in einer Richtung
gegenüberstehen.
In einer Seitenfläche
des laminierten Körpers
des Basiselementes 34, das durch Laminierung der piezoelektrischen Schichten
und inneren Elektroden gebildet wird, die auf diese Weise gebildet
werden, werden die zwei Reihen der Elektrodenabschnitte belichtet,
wie in 10 gezeigt ist.
Die äußeren Elektroden 36 und 38 werden über belichteten
Abschnitten der inneren Elektroden gebildet. Die innere Elektrode
wird daher abwechselnd mit den äußeren Elektroden 36 und 38 verbunden.
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In diesem piezoelektrischen Bauelement 10 werden
die Leiter 40 und 42, die aus einer Metallfolie, z.
B. Kupferfolie, hergestellt sind, auf den gesamten Flächen eines
Paares von gegenüberliegenden
Planflächen
gebildet, anderen als den gegenüberliegenden
Planflächen 24a und 24b,
d. h. die Planflächen 24c und 24d des
Stützelementes 24.
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Ein Beispiel des Verfahrens der Herstellung der
Stützelemente 24,
die die Leiter 40 und 42 aufweisen, wird mit Bezug
hauptsächlich
auf 6 und 8 beschrieben.
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Zuerst wird ein Muttersubstrat 200 zur
Bildung des Stützelementes 24,
das aus einem Epoxidharzmaterial oder dergleichen hergestellt ist
und eine vordefinierte Größe aufweist,
vorbereitet. Danach werden die Folien 202 und 204 aus
einem Metall, z. B. Kupfer, auf den gesamten Flächen der zwei Hauptflächen des
Muttersubstrates 200 gebildet. Das Muttersubstrat 200 mit
Metallfolien 202 und 204 wird zum Beispiel längs einer
Gruppe von Ebenen geschnitten, die in einem vordefinierten Abstand
voneinander in der Querrichtung und längs einer anderen Gruppe von
Ebenen angeordnet sind, die in einem vordefinierten Abstand voneinander
in der Längsrichtung angeordnet
werden, wie durch die Doppelpunkt-Strichlinien in 8A angegeben ist. Die Stützelemente 24,
die jedes eine vordefinierte Größe aufweisen
und Leiter 40 und 42 aufweisen, die aus einer Metallfolie
auf seinen Seitenflächen
gebildet werden, wie zum Beispiel in 8B gezeigt
ist, werden auf diese Weise hergestellt.
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Die elektrisch leitenden Kleber 44a und 48a werden
an die Planflächen 24a der
Stützelemente 24 geklebt.
Andererseits werden die elektrisch leitenden Kleberschichten 46a und 50a an
die Leitungselektrode 16b der Strukturelektrode 16 und
die Leitungselektrode 14b der Strukturelektrode 14 entsprechend gelebt.
Die oberen Flächen
der Stützelemente 24 werden
mit den Abschnitten der rückseitigen
Oberfläche
des piezoelektrischen Vibratorelementes 32, die der Mitte
in der Längsrichtung
des piezoelektrischen Vibratorelementes 32 (ein Knotenpunkt)
entspricht, durch elektrisch leitende Kleber 44a und 48a verbunden.
Der elektrisch leitende Kleber 44a wird auf die äußere Elektrode 36 des
piezoelektrischen Vibratorelementes 38 geklebt, während der
elektrisch leitende Kleber 50a auf die andere äußere Elektrode 112 geklebt
wird.
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Ebenfalls werden die unteren Oberflächen der
Stützelemente 24 mit
dem isolierenden Substrat 12 in vordefinierten Positionen
durch elektrisch leitende Kleber 46a und 50a verbunden.
Die unteren Oberflächen
der Stützelemente 24,
die von den elektrisch leitenden Klebern 44a und 48a gegenüberliegend
sind, werden an die elektrisch leitenden Kleber 46a und 50a entsprechend
geklebt.
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Das heißt, in diesem piezoelektrischen
Bauelement 10 wird die äußere Elektrode 36 des
piezoelektrischen Vibratorelementes 32 mechanisch und elektrisch
mit der Strukturelektrode 16 auf dem isolierenden Substrat 12 durch
die erste elektrisch leitende Kleberschicht 44 (erste Stützmittel),
die Leiter 40 und 42 und die zweite elektrisch
leitende Kleberschicht 46 (zweite Stützmittel) verbunden. Ebenfalls
wird die äußere Elektrode 38 des
piezoelektrischen Vibratorelementes 32 mechanisch und elektrisch
mit der Strukturelektrode 14 auf dem isolierenden Substrat 12 durch
die erste elektrisch leitende Kleberschicht 48 (erste Stützmittel),
die Leiter 40 und 42 und die zweite elektrisch
leitende Kleberschicht 50 (zweite Stützmittel) verbunden.
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In dieser Ausführungsform wird die verbundene
Struktur gebildet, so dass die Verbindungslänge längs der Längsrichtung des piezoelektrischen Resonators 32 nicht
größer als
25% der Gesamtlänge
des piezoelektrischen Resonators 100 ist, und so dass die
Verbindungsfläche
groß genug
ist, wie die in der oben beschriebenen Ausführungsform.
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In dem piezoelektrischen Bauelement 10 dieser
Ausführungsform
werden die Leiter 40 und 42 entsprechend auf zwei
Seitenflächen 24c und 24d des
Stützelementes 24 gebildet.
Jedoch kann ein Leiter, der an Stelle der Leiter 40 und 42 verwendet
wird, nur auf einer der zwei Seitenflächen gebildet werden.
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Diese Ausführungsform verwendet die gleiche
Struktur zur Abstützung
des piezoelektrischen Vibratorelementes 32 auf dem isolierenden
Substrat 12 wie die in der ersten Ausführungsform und ist daher im
Wesentlichen der oben beschriebenen ersten Ausführungsform bezüglich der
Arbeitsweise und des Vorteils gleichwertig.
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9 ist
eine Draufsicht eines wesentlichen Abschnittes eines piezoelektrischen
Bauelementes 50, welches eine dritte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung darstellt, 10 ist
eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht des in 9 gezeigten Abschnittes
und 11 ist eine vergrößerte fragmentarische
Schnittansicht des in 10 gezeigten
Abschnittes. 12 ist
ein Schaltbild des in 9, 10 und 11 gezeigten piezoelektrischen Bauelementes.
Das piezoelektrische Bauelement 50, das unten als die dritte
Ausführungsform
beschrieben wird, ist ein Abzweigfilter, das zum Beispiel zum Beispiel
eine Kettenschaltung aufweist, wie zum Beispiel die in 12 gezeigte.
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In dem piezoelektrischen Bauelement 50 werden
vier Strukturelektroden 54, 56, 58 und 60 auf einem
isolierenden Substrat 52 gebildet. Die Strukturelektroden 54 bis 60 weisen
einen ersten bis fünften
Steg auf, die in einer Reihe in der Richtung von einem Ende zu dem
anderen Ende des Stützsubstrates 52 angeordnet
werden, während
sie mit Abstand voneinander angeordnet werden. Der erste Steg wird als
ein Abschnitt der Strukturelektrode 54 gebildet, der zweite
und der fünfte
Steg werden als Abschnitte der Strukturelektrode 56 gebildet,
der dritte Steg wird als ein Abschnitt der Strukturelektrode 58 gebildet und
der vierte Steg wird als ein Abschnitt der Strukturelektrode 60 gebildet.
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Ein Stützelement 62 wird
an dem ersten Steg befestigt. Zwei Stützelemente 64 und 66 werden
an dem zweiten Steg befestigt; zwei Stützelemente 68 und 70 an
dem dritten Steg; und zwei Stützelemente 72 und 74 an
dem vierten Steg. Ein Stützelement 76 wird
an dem fünften
Steg befestigt. Jedes der Stützelemente 62 bis 76 wird
mit dem Steg durch einen elektrisch leitenden Kleber oder dergleichen
verbunden. Die Stützelemente 62 bis 76 werden
in einer Reihe angeordnet, während
sie voneinander mit Abstand angeordnet werden.
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Die äußeren Elektroden 82 und 84 der
piezoelektrischen Vibratorelemente 80a, 80b, 80c und 80d,
die als piezoelektrische Resonatoren verwendet werden, werden an
den Stützelementen 62 to 76 befestigt.
In dieser Ausführungsform
wird eine Kettenschaltung, wie zum Beispiel die in 12 gezeigte, auf diese Weise gebildet.
Eine Metallkappe (nicht gezeigt) wird auf dem Stützsubstrat 52 angeordnet.
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In dem piezoelektrischen Bauelement 50 dieser
Ausführungsform
weisen die Stützelemente 62 bis 76 die
gleiche Struktur wie die des Stützelementes 24 auf, das
hinsichtlich der in 6 und 7 gezeigten Ausführungsform
beschrieben wird, und die piezoelektrischen Vibratorelemente 80a bis 80d weisen
die gleiche Struktur wie das piezoelektrische Vibratorelement 32 auf.
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Die Struktur zur Abstützung der
piezoelektrischen Vibratorelemente 80a bis 80d auf
dem isolierenden Substrat 52 durch Verwendung der Stützelemente 62 bis 76 ist
ebenfalls die gleiche wie die in der in 6 und 7 gezeigte
Ausführungsform.
Die Stützstruktur
wird hinsichtlich der Stützelemente 66 und 68 beispielhaft
beschrieben. Wie in 11 gezeigt
ist, wird ein Paar von Leitern 86a und 86b, die
aus einer Metallfolie hergestellt sind, wie zu Beispiel Kupferfolie,
entsprechend auf zwei Seitenflächen
jeder der Stützelemente 66 und 68 gebildet.
Die oberen Flächen
der Stützelemente 66 und 68 werden
entsprechend mit den äußeren Elektroden 82 und 84 des
piezoelektrischen Vibratorelementes 100b durch elastische
elektrisch leitende Kleberschichten 88, die als erste Stützmittel
bereitgestellt werden, verbunden. Die unteren Oberflächen der
Stützelemente 66 und 68 werden
entsprechend mit den Strukturelektroden 56 und 58 des
isolierenden Substrates 52 durch elastische elektrisch
leitende Kleberschichten 90, die als zweite Stützmittel
bereitgestellt werden, verbunden.
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Daher arbeitet das piezoelektrische
Bauelement 50 dieser Ausführungsform, die in 9,10 und 11 gezeigt
ist, in der gleichen Weise und ist ebenso vorteilhaft wie das piezoelektrische
Bauelement 10 der in 6 und 7 gezeigten Ausführungsform.
In dem in 9, 10 und 11 gezeigten piezoelektrischen Bauelement 50 ist,
da angrenzende zwei der Elektroden jeder des angrenzenden Paars
des piezoelektrischen Vibratorelementes an den zwei Stützelementen,
die auf einem Steg gebildet werden, befestigt werden, die Isolierung
zwischen den zwei Elektroden nicht nötig, und das angrenzende Paar
der piezoelektrischen Vibratorelemente kann dicht zueinander angeordnet
werden. Die piezoelektrischen Vibratorelemente können nicht dicht zueinander
sein, wenn sie durch die Befestigungsstruktur des piezoelektrischen Bauelementes 10,
das in 6 und 7 gezeigt ist, befestigt
werden. Daher kann das in 9, 10 und 11 gezeigte piezoelektrische Bauelement 50 in
der Gesamtgröße kleiner
sein.