DE69724869T2 - Piezoelektrisches Bauelement - Google Patents

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Jiro Nagaokakyo-shi Inoue
Takashi Nagaokakyo-shi Yamamoto
Tetsuo Nagaokakyo-shi Takeshima
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft im Allgemeinen piezoelektrische Baugruppen und insbesondere eine piezoelektrische Baugruppe, welche wenigstens einen piezoelektrischen Resonator, wie beispielsweise einen Oszillator, einen Diskriminator oder einen Filter, umfasst.
  • 13 ist eine perspektivische Ansicht einer herkömmlichen piezoelektrischen Baugruppe 1. Die piezoelektrische Baugruppe 1 schließt einen Stützträger 2 ein, auf welchem die Musterelektroden 3a und 3b ausgebildet sind. Ein piezoelektrischen Resonator 4 wird auf diesem Stützträger 2 gehalten. Der piezoelektrische Resonator 4 schließt beispielsweise einen Schwingungskörper 5 mit ein, welcher aus einem piezoelektrischen Material gebildet ist, sowie die externen Elektroden 6a und 6b, welche auf den zwei gegenüberstehenden Oberflächen des Schwingungskörpers 5 ausgebildet sind. Wenn ein Signal zwischen den externen Elektroden 6a und 6b eingegeben wird, wird eine Schwingung in einem longitudinalen Modus im Schwingungskörper 5 erregt. Ein Stützglied 7 ist beispielsweise aus einem elektrisch leitenden Material auf der Musterelektrode 3a ausgebildet. Ein zentraler Abschnitt des piezoelektrischen Resonators 4 wird durch das Stützglied 7 gestützt. Gleichzeitig sind die externe Elektrode 6a des piezoelektrischen Resonators 4 und die Musterelektrode 3a durch das Stützglied 7 elektrisch miteinander verbunden. Die andere externe Elektrode 6b des piezoelektrischen Resonators 4 ist durch einen Anschlussdraht 8 an die Musterelektrode 3b angeschlossen.
  • Um in der auf diese Weise aufgebauten piezoelektrischen Baugruppe 1 die gewünschten elektrischen Eigenschaften zu erzielen, werden die Resonanzfrequenz, der Polarisationsgrad und die Kapazität zwischen den Anschlüssen des piezoelektrischen Resonators 4 usw. gemäß der Größenbemessung des piezoelektrischen Resonators 4 und den Betriebsbedingungen ausgelegt.
  • Der piezoelektrische Resonator weist jedoch einen spezifischen mechanischen Qualitätsfaktor Qm entsprechend dem verwendeten piezoelektrischen Material auf. Zum Einstellen von Qm auf den gewünschten Wert war es deshalb nötig, ein optimales piezoelektrisches Material für die Einstellung des gewünschten Werts oder ein piezoelektrisches Material zu entwickeln, welches in der Lage ist, einen Wert einzustellen, welcher nahe am gewünschten Wert liegt. Gewöhnlich ist eine lange Zeitdauer für die Entwicklung eines piezoelektrischen Materials erforderlich. Falls ein piezoelektrisches Material verwendet wird, welches in der Lage ist, einen Wert einzustellen, welcher ungleich dem gewünschten Wert ist, aber nahe daran liegt, ist es nötig, einen Bereich zu tolerieren, welcher nicht der Zieleigenschaft entspricht.
  • US-A-5 406 682 offenbart ein Verfahren der nachgiebigen Befestigung eines piezoelektrischen Geräts auf einem Träger. Bei diesem Verfahren werden die äußeren Abschnitte eines piezoelektrischen Elements selektiv metallbeschichtet. Als nächstes wird eine Aluminiumschicht selektiv auf dem piezoelektrischen Element verteilt. Hiernach wird ein unausgehärtetes, leitendes, nachgiebiges Material auf einem Träger angeordnet und verbunden. Danach wird das piezoelektrische Element auf dem leitenden, nachgiebigen Material derartig angeordnet und verbunden, dass sich aufgrund der Aushärtung des leitenden, nachgiebigen Materials eine nachgiebige Befestigung bildet, welche die äußeren, metallbeschichteten Abschnitte des piezoelektrischen Elements mit dem Träger verbindet.
  • EP-A-0 626 212 offenbart eine Haltestruktur für ein piezoelektrisches Element. In dieser Patentschrift wird auf die japanische Gebrauchsmuster-Offenlegungsschrift 20422/1993 Bezug genommen, welche eine Haltestruktur des piezoelektrischen Vibrators vorschlägt, wobei Vorsprünge aus elektrisch leitendem, rechteckigem Gummi um einen Schwingungsknotenpunkt eines piezoelektrischen Vibrators herum ausgebildet sind und der piezoelektrische Vibrator an den Vorsprüngen gehalten wird.
  • KURZFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Mit Hinblick auf das oben beschriebene Problem ist es eine Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung eine piezoelektrische Baugruppe bereitzustellen, welche einen gewünschten Qm unter Verwendung eines gegenwärtig verfügbaren piezoelektrischen Materials aufweist.
  • Zur Erfüllung dieser Aufgabe wird gemäß der vorliegenden Erfindung eine piezoelektrische Baugruppe der oben stehenden Art bereitgestellt, welche dadurch gekennzeichnet ist, dass ein gummiähnliches, elastisches Material als ein Füllstoff zwischen dem piezoelektrischen Resonator und einem Träger, welcher ihn hält, bereitgestellt wird.
  • Bei der oben beschriebenen piezoelektrischen Baugruppe kann der piezoelektrische Resonator Schwingungen in einem longitudinalen Schwingungsmodus erregen.
  • Bei der oben beschriebenen piezoelektrischen Baugruppe kann der piezoelektrische Resonator ferner einen Stützträger zur Halterung des piezoelektrischen Resonators umfassen, und das gummiähnliche, elastische Material wird als ein Füllstoff zwischen dem piezoelektrischen Resonator und dem Stützträger bereitgestellt.
  • Bei der oben beschriebenen piezoelektrischen Baugruppe kann das gummiähnliche, elastische Material auch auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Resonators gegenüber einer anderen Oberfläche des piezoelektrischen Resonators bereitgestellt werden, welche dem Stützträger gegenüberliegt.
  • Bei der oben beschriebenen piezoelektrischen Baugruppe kann das gummiähnliche, elastische Material ein elektrisch leitendes Material umfassen.
  • Bei der oben beschriebenen piezoelektrischen Baugruppe können die mehreren piezoelektrischen Resonatoren auf dem Stützträger zur Bildung eines Abzweigfilters kettenförmig verbunden sein.
  • Bei der oben beschriebenen piezoelektrischen Baugruppe kann der piezoelektrische Resonator ein piezoelektrischer Resonator sein, welcher ein Basisglied umfasst, welches eine Längsrichtung, einen aktiven Abschnitt, welcher aus einem polarisierten, piezoelektrischen Glied zusammengesetzt ist und wenigstens einen Teil des Basisglieds bildet, und ein externes Elektrodenpaar aufweist, welches mit dem aktiven Abschnitt bereitgestellt wird, wobei wenigstens ein internes Elektrodenpaar im aktiven Abschnitt derartig angeordnet ist, dass die internen Elektroden senkrecht zur Längsrichtung des Basisglieds liegen bzw. mit dem externen Elektrodenpaar verbunden sind, wobei der aktive Abschnitt in der Längsrichtung des Basisglieds polarisiert ist und eine Basisschwingung im longitudinalen Modus erregt wird, wenn ein elekt risches Feld in der Längsrichtung des Basisglieds über die internen Elektroden angelegt wird.
  • Beim oben beschriebenen piezoelektrischen Resonator kann ein inaktiver Abschnitt, in welchem keine Schwingung erregt wird, wenn das elektrische Feld angelegt wird, den anderen Teil des Basisglieds bilden.
  • Die Schwingungslast auf dem piezoelektrischen Resonator wird durch das Bereitstellen eines gummiähnlichen, elastischen Materials gesteigert, welches auf dem piezoelektrischen Resonator beispielsweise zwischen dem piezoelektrischen Resonator und dem Stützträger oder auf der Oberfläche des piezoelektrischen Resonators, welche vom Stützträger entfernt ist, oder sowohl zwischen dem piezoelektrischen Resonator und dem Stützträger als auch auf der Oberfläche des piezoelektrischen Resonators, welche vom Stützträger entfernt ist, bereitgestellt ist. Falls ein elektrisch leitendes Material als das gummiähnliche, elastische Material verwendet wird, welches zwischen dem piezoelektrischen Resonator und dem Stützträger bereitgestellt wird, kann die Zuverlässigkeit der elektrischen Verbindung zwischen den Elektroden auf dem Stützträger und dem piezoelektrischen Resonator verbessert werden.
  • Im Abzweigfilter, welcher durch das Verbinden mehrerer der piezoelektrischen Resonatoren in einer Kettenform gebildet wird, kann die Schwingungslast auf jedem piezoelektrischen Resonator, welcher den Abzweigfilter bildet, durch die Bereitstellung eines gummiähnlichen, elastischen Materials auf dem piezoelektrischen Resonator angepasst werden.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung kann der mechanische Qualitätsfaktor Qm des piezoelektrischen Resonators im Wesentlichen durch eine Steigerung der Schwingungslast auf dem piezoelektrischen Resonator durch das gummiähnliche, elastische Material wirksam verändert werden. Dementsprechend kann eine piezoelektrische Baugruppe, welche den gewünschten Qm aufweist, durch Anpassen der Menge des gummiähnlichen, elastischen Materials erzielt werden. Die Zuverlässigkeit der elektrischen Verbindung zwischen den Elektroden auf dem Stützträger und dem piezoelektrischen Resonator kann durch die Verwendung eines elektrisch leitenden Materials als das gummiähnliche, elastische Material zwischen dem piezoelektrischen Resonator und dem Stützträger verbessert werden. Folglich können verbesserte Eigenschaften der piezoelektrischen Baugruppe erzielt werden. Ein Abzweigfilter, welcher mehrere piezoelektrische Resonatoren und verbesserte Eigenschaften aufweist, kann auch durch Durchführung einer derartigen Qm-Anpassung hinsichtlich jedes piezoelektrischen Resonators erreicht werden.
  • Die oben beschriebenen und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden ausführlichen Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen offenkundig.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine auseinander gezogene perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen Resonators, welcher eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt;
  • 2 ist eine perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen Resonators, welcher in der in 1 gezeigten piezoelektrischen Baugruppe verwendet wird;
  • 3 ist ein Diagramm, welches die Struktur des in 2 gezeigten piezoelektrischen Resonators zeigt;
  • 4 ist eine Draufsicht einer Beschaffenheit, bei welcher die Isolierfilme auf einem Basisglied ausgebildet sind, welches im in 2 gezeigten piezoelektrischen Resonator verwendet wird;
  • 5 ist ein Diagramm einer Struktur unter Verwendung eines elektrisch leitenden, gummiähnlichen, elastischen Materials zwischen dem piezoelektrischen Resonator und dem Stützträger;
  • 6 ist eine Draufsicht eines wesentlichen Abschnitts einer piezoelektrischen Baugruppe unter Verwendung mehrerer piezoelektrischen Resonatoren zur Bildung eines Abzweigfilters gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 7 ist eine auseinander gezogene perspektivische Ansicht des wesentlichen Abschnitts des in 6 gezeigten Abzweigfilters;
  • 8 ist ein Ersatzschaltbild des in 6 gezeigten Abzweigfilters;
  • 9 ist ein Schaubild, welches die Beziehung zwischen einer Dämpfungseigenschaft und der Impedanzeigenschaften der seriellen und parallelen Resonatoren zeigt, welche im Abzweigfilter verwendet werden;
  • 10 ist ein Schaubild, welches die Eigenschaften des Abzweigfilters hinsichtlich der Anpassung von Qm sowohl der seriellen als auch der parallelen Resonatoren zeigt;
  • 11 ist ein Schaubild, welches die Eigenschaften des Abzweigfilters hinsichtlich der Anpassung von Qm der seriellen Resonatoren zeigt;
  • 12 ist ein Schaubild, welches die Eigenschaften des Abzweigfilters hinsichtlich der Anpassung von Qm der parallelen Resonatoren zeigt; und
  • 13 ist eine auseinander gezogene, perspektivische Ansicht einer herkömmlichen piezoelektrischen Baugruppe.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • 1 zeigt eine piezoelektrische Baugruppe 10, welche eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt. Die piezoelektrische Baugruppe 10 schließt einen Stützträger 12 mit ein, welcher aus einem isolierenden Material, wie beispielsweise Aluminiumoxid, zusammengesetzt ist. Zwei Aussparungen 14 sind in jeder der zwei gegenüberliegenden Seitenabschnitte des Stützträgers 12 ausgebildet: Zwei Musterelektroden 16 und 18 sind auf einer der zwei Hauptoberflächen des Stützträgers 12 ausgebildet. Die Musterelektrode 16 weist einen ersten Abschnitt auf, welcher zwischen einem gegenüberliegenden Aussparungspaar 14 ausgebildet ist, sowie einen zweiten Abschnitt, welcher derartig in L-Form ausgebildet ist, dass er sich entlang einem der oben stehenden, gegenüberliegenden Seiten des Stützträgers 12 und dann einem zentralen Abschnitt des Stützträgers 12 entgegen ausdehnt. Die Musterelektrode 18 weist einen ersten Abschnitt auf, welcher zwischen dem anderen, gegenüberliegenden Aussparungspaar 14 ausgebildet ist, sowie einen zweiten Abschnitt, welcher derartig in L-Form ausgebildet ist, dass er sich entlang der anderen gegenüberliegenden Seiten des Stützträgers 12 und dann einem zentralen Abschnitt des Stützträgers 12 entgegen ausdehnt. Die Enden der beiden Musterelektroden 16 und 18 am Zentrum des Stützträgers 12 sind derartig ausgebildet, dass sie einander gegenüberliegen und voneinander getrennt sind. Die ersten Abschnitte der Musterelektroden 16 und 18 werden derartig ausgebildet, dass sie sich bis an Positionen auf der anderen Hauptoberfläche des Stützträgers 12 über die Aussparungen 14 ausdehnen.
  • Ein piezoelektrischer Resonator 20 wird auf den Enden der Musterelektroden 16 und 18 in der Mitte des Stützträgers 12 befestigt. Der piezoelektrische Resonator 20 schließt ein Basisglied 22 mit ein, welches beispielsweise die Form eines rechteckigen Blocks aufweist, wie in 2 gezeigt. Das Basisglied 22 wird beispielsweise aus einem piezoelektrischen Keramikmaterial ausgebildet. Mehrere interne Elektroden 24 sind im Basisglied 22 ausgebildet, wie in 3 gezeigt. Jede interne Elektrode 24 ist so ausgebildet, dass ihre Hauptoberflächen senkrecht zur Längsrichtung des Basisglieds 22 stehen. Das Basisglied 22 ist entlang seiner Längsrichtung polarisiert, so dass ein Paar seiner Abschnitte auf den sich gegenüberliegen Seiten jeder internen Elektrode 24 in gegenüberstehenden Richtungen polarisiert ist, wie durch die Pfeile in 3 angezeigt wird. Das Basisglied 22 ist jedoch an den gegenüberliegenden Enden in der Längsrichtung nicht polarisiert.
  • In einer Seitenfläche des Basisglieds 22 ist eine Rille 25 derart ausgebildet, dass sie sich in Längsrichtung des Basisglieds 22 erstreckt. Die Rille 25 ist in der Mitte der Breitenrichtung des Basisglieds 22 ausgebildet, um die Seitenfläche des Basisglieds 22 zu halbieren. Wie in 4 gezeigt, sind auf der Seitenfläche, durch die Rille 25 geteilt, die erste Isolierfolie 26 und die zweite Isolierfolie 28 ausgebildet. Die Ränder der internen Elektroden 24, welche in einem der zwei Abschnitte der Seitenfläche des Basisglieds 22 bloßliegen und durch die Rille 25 halbiert sind, sind abwechselnd durch die erste Isolierfolie 26 abgedeckt und nicht abgedeckt. Die Ränder der internen Elektroden 24, welche im anderen der zwei Abschnitte der Seitenfläche des Basisglieds 22 bloßliegen, durch die Rille 25 halbiert sind und gegenüber von denjenigen liegen, welche durch die erste Isolierfolie 26 nicht abgedeckt sind, sind durch die zweite Isolierfolie 28 abgedeckt.
  • Die externen Elektroden 30 und 32 sind ferner auf den Abschnitten des Basisglieds 22 ausgebildet, auf welchen die erste und die zweite Isolierfolie 26 und 28 ausgebildet sind, d.h. auf den gegenüberliegenden Seiten der Rille 25, so dass die internen Elektroden 24, welche nicht durch die erste Isolierfolie 26 abgedeckt sind, mit der externen Elektrode 30 verbunden sind, während die internen Elektroden 24, welche nicht durch die zweite Isolierfolie 28 abgedeckt sind, mit der externen Elektrode 32 verbunden sind. Das bedeutet, dass bei jedem benachbarten Paar der internen Elektroden 24 eine mit der externen Elektrode 30 oder 32 verbunden ist, während die Andere mit der externen Elektrode 32 oder 30 verbunden ist.
  • Bei diesem piezoelektrischen Resonator 20 werden die externen Elektroden 30 und 32 als Eingabe/Ausgabe-Elektroden verwendet. Wenn der piezoelektrische Resonator 20 arbeitet, wird ein elektrisches Feld an den Abschnitt zwischen jedem benachbarten Paar der internen Elektroden 24 angelegt, welche einen Abschnitt des Basisglieds 22 außer den gegenüberliegenden Endabschnitten definieren. Das Basisglied 22 wird dadurch in diesem Abschnitt piezoelektrisch aktiv. Das Basisglied 22 wird jedoch nicht in den gegenüberliegenden Endabschnitten piezoelektrisch aktiviert, weil das Basisglied 22 in den gegenüberliegenden Endabschnitten nicht polarisiert ist und weil kein elektrisches Feld an den gegenüberliegenden Endabschnitten angelegt wird, da auf den in den gegenüberliegenden Endoberflächen des Basisglieds 22 keine Elektroden ausgebildet sind. Folglich ist der zentrale Abschnitt des Basisglieds 22 als ein aktiver Abschnitt 36 ausgebildet, welcher durch ein Eingabesignal aktiviert wird, während die gegenüberliegenden Endabschnitte des Basisglieds 22 als inaktive Abschnitte 38 ausgebildet sind, welche nicht durch ein Eingabesignal aktiviert werden. Jeder inaktive Abschnitt 38 ist als ein Abschnitt definiert, bei welchem keine Antriebskraft durch ein Eingabesignal erzeugt wird. Dementsprechend kann ein elektrisches Feld an den Abschnitt zwischen jedem benachbarten Paar der internen Elektroden in den inaktiven Abschnitten 38 angelegt werden, falls der Abschnitt zwischen den internen Elektroden nicht polarisiert ist. Es kann auch eine Struktur zur Unterdrückung des Anlegens eines elektrischen Felds an manchen der polarisierten piezoelektrischen Schichten verwendet werden. Es ist nicht immer nötig, derartige inaktive Abschnitte 38 auszubilden; das gesamte Basisglied 22 kann als ein aktiver Abschnitt ausgebildet werden.
  • Der auf diese Weise aufgebaute piezoelektrische Resonator 20 ist auf den Musterelektroden 16 und 18 auf dem Stützträger 12 befestigt. Diesmal ist der piezoelektrische Resonator 20 mit den Musterelektroden 16 und 18 durch zwei Halteelemente 40 verbunden, welche aus einem elektrisch leitenden Material gebildet sind. Abschnitte der externen Elektroden 30 und 32 des piezoelektrischen Resonators 20, welche in der Mitte der Längsrichtung abgegrenzt sind, sind mit den Halteelementen 40 verbunden. Die Lücken zwischen dem piezoelektrischen Resonator 20 und dem Stützträger 12 sind mit einem gummiähnlichen, elastischen Material 42, wie beispielsweise Silikon-Kautschuk oder Urethan, aufgefüllt. Das gummiähnliche, elastische Material 44 wird ferner auf der oberen Oberfläche des piezoelektrischen Resonators 20 bereitgestellt. Es wird für diese gummiähnlichen, elastischen Materialien 42 und 44 ein gummiähnliches, elastisches Material verwendet, welches beispielsweise eine isolierende Eigenschaft aufweist.
  • Es wird eine Metallkappe 46 auf dem Stützträger 12 platziert. Zur Vermeidung von Kurzschlüssen zwischen der Metallkappe 46 und den Musterelektroden 16 und 18, wird vorher ein isolierender Kunststoff auf den Stützträger 12 und die Musterelektroden 16 und 18 angebracht. Mit dem Verschließen durch die Metallkappe 46 wird die Fertigung der piezoelektrischen Baugruppe 10 vervollständigt. Bei dieser piezoelektrischen Baugruppe 10 werden die Musterelektroden 16 und 18, welche so ausgebildet sind, dass sie sich über die Seitenflächen des Stützträgers 12 bis an die rückseitige Oberfläche des Stützträgers 12 erstrecken, als Eingabe/Ausgabe-Klemmen für den Anschluss an einen externen Schaltkreis verwendet.
  • Wenn ein Signal in diese piezoelektrische Baugruppe 10 durch die Musterelektroden 16 und 18 eingegeben wird, wird eine Spannung in gegenüberliegenden Richtungen an die piezoelektrischen Schichten im aktiven Abschnitt 36 angelegt, welche in gegenüberliegenden Richtungen polarisiert ist, so dass die piezoelektrischen Schichten sich als Ganzes in die gleiche Richtung ausdehnen und zusammenziehen. Dadurch wird eine Schwingung in der longitudinalen Grundschwingung mit einem Knoten entsprechend dem Zentrum des Basisglieds 22 erregt.
  • Bei dieser piezoelektrischen Baugruppe 10 fallen die Polarisierungsrichtung des aktiven Abschnitts 36, die Richtung jedes elektrischen Feldes gemäß einem Signal und die Schwingungsrichtung des aktiven Abschnitts 36 zusammen. Das bedeutet, dass der piezoelektrische Resonator 20 vom versteiften Typ ist. Der versteifte piezoelektrische Resonator 20 weist einen größeren elektro mechanischen Kopplungsfaktor als unversteifte piezoelektrische Resonatoren auf, bei welchen die Schwingungsrichtung nicht mit der Polarisierungsrichtung und der Richtung eines elektrischen Feldes zusammenfällt. Darum weist der versteifte piezoelektrische Resonator 20 eine größere Differenz ΔF zwischen der Resonanzfrequenz und der Antiresonanzfrequenz auf. Dies bedeutet, dass der piezoelektrische Resonator 20 Breitbandfrequenz-Eigenschaften erhält.
  • Im piezoelektrischen Resonator 20 kann ΔF auf einen geeigneten Wert eingestellt werden, indem beispielsweise die Verhältnisse von aktiven Abschnitten 36 und von inaktiven Abschnitten 38 verändert werden und/oder indem die Position der Bildung des inaktiven Abschnitts 38 ausgewählt wird. Die Kapazität des piezoelektrischen Resonators 20 kann durch Veränderung der Anzahl der Schichten des aktiven Abschnitts 36 eingestellt werden. Dadurch kann leicht eine übereinstimmende Impedanz zwischen der piezoelektrischen Baugruppe 10 und einem externen Schaltkreis erreicht werden.
  • Bei jeder Verwendung der piezoelektrischen Baugruppe 10, z.B. der Verwendung als ein Diskriminator oder als ein Oszillator unter Verwendung eines piezoelektrischen Resonators 20 mit der oben beschriebenen Anordnung, wird ein Phasenwechsel bei einer Frequenz in der Umgebung der Resonanzfrequenz (Fr) und der Antiresonanzfrequenz (Fa) eingesetzt. Wenn jedoch der mechanische Qualitätsfaktor Qm des piezoelektrischen Resonators 20 unnötig groß ist, tritt wegen unnötiger Schwingung eine Welligkeit im Arbeitsbereich auf, welche die Eigenschaften des piezoelektrischen Resonators 20 ernsthaft beeinträchtigt. Deshalb ist die Dämpfung von Qm wichtig. Da der Qm des piezoelektrischen Resonators 20 selbst durch das piezoelektrische Material des Basisglieds 22 bestimmt wird, kann er nicht durch die Auswahl der Größe des Elements, der Anzahl der piezoelektrischen Schichten und so weiter gesteuert werden.
  • Bei dieser piezoelektrischen Baugruppe 10 wird Qm deshalb durch das gummiähnliche, elastische Material 42 gesteuert, welches die Lücken zwischen dem piezoelektrischen Resonator 20 und dem Stützträger 12 auffüllt, und durch das gummiähnliche, elastische Material 44, welches auf der oberen Oberfläche des piezoelektrischen Resonators 20 aufgebracht ist. Das bedeutet, dass die Schwingungslast auf dem piezoelektrischen Resonator 20 durch diese gummiähnlichen, elastischen Materialien 42 und 44 gesteigert wird, wodurch Qm des piezoelektrischen Resonators 20 im Wesentlichen wirksam gedämpft wird. Der gewünschte Wert für Qm kann durch Abstimmung der Mengen der gummiähnlichen, elastischen Materialien 42 und 44 erzielt werden, während die Eigenschaften der piezoelektrischen Baugruppe 10 gemessen werden.
  • Es ist nicht immer nötig, beide gummiähnlichen, elastischen Materialen 42 und 44 zu verwenden; es kann nur eins von ihnen verwendet werden. Die Verwendung nur des gummiähnlichen, elastischen Materials 42, welches die Lücken zwischen dem piezoelektrischen Resonator 20 und dem Stützträger 12 auffüllt, ist bei der Dämpfung von Qm wirksamer als die Verwendung nur des gummiähnlichen, elastischen Materials, welches auf der oberen Oberfläche des piezoelektrischen Resonators 20 aufgebracht ist. Dies ist deshalb der Fall, da das gummiähnliche, elastische Material 42 sowohl dem piezoelektrischen Resonator 20 als auch dem Stützträger 12 anhaftet, um wirksam Schwingungen des piezoelektrischen Resonators 20 zu dämpfen. Das gummiähnliche, elastische Material 42 verstärkt die Abstützung des piezoelektrischen Resonators 20. Die Einstellung von Qm durch Aufbringen des gummiähnlichen, elastischen Materials 44 auf die obere Oberfläche des piezoelektrischen Resonators 20 ist jedoch einfacher durchzuführen, falls Qm eingestellt wird, während die Eigenschaften der piezoelektrischen Baugruppe 10 gemessen werden.
  • Wenn die Mengen der gummiähnlichen, elastischen Materialien 42 und 44 erhöht werden, wird die Schwingungslast auf dem piezoelektrischen Resonator 20 gesteigert und der Qm-Dämpfungseffekt wird größer. Wenn der piezoelektrische Resonator 20 schwingt, weist er eine größere Verrückung an seinen gegenüberliegenden Enden auf, da er im longitudinalen Modus mit einem Knoten entsprechend seiner Mitte schwingt. Dementsprechend trägt ein Abschnitt des gummiähnlichen, elastischen Materials 42 oder 44, welcher jedem der gegenüberliegenden Enden des piezoelektrischen Resonators 20 näher ist, stärker zur Dämpfung von Qm bei.
  • Als das gummiähnliche, elastische Material 42 zwischen dem piezoelektrischen Resonator 20 und dem Stützträger 12 kann ein elektrisch leitendes, gummiähnliches, elastisches Material, wie beispielsweise elektrisch leitendes Silikon, verwendet werden. Wenn ein derartiges elektrisch leitendes Material als das gummiähnliche, elastische Material 42 verwendet wird, kann die Zuverlässigkeit jeder elektrischen Leitung zwischen der externen Elektrode 30 und der Muster elektrode 16 und die elektrische Leitung zwischen der externen Elektrode 32 und der Musterelektrode 18 verbessert werden. Wenn ein derartiges Material verwendet wird, wird ein isolierendes, gummiähnliches, elastisches Material 50 als ein Füllstoff an der Aussparung 25 derartig bereitgestellt, dass eine elektrische Leitung zwischen den zwei externen Elektroden 30 und 32 vermieden wird, wie in 5 gezeigt.
  • 6 ist eine Draufsicht eines wesentlichen Abschnitts einer piezoelektrischen Baugruppe 10, welche eine andere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt und welche durch die Verwendung mehrerer piezoelektrischer Resonatoren als ein Abzweigfilter angeordnet ist. 7 ist eine perspektivische Ansicht des wesentlichen Abschnitts dieser piezoelektrischen Baugruppe 10. Bei dieser piezoelektrischen Baugruppe 10 sind vier Musterelektroden 90, 92, 94 und 96 auf einem Stützträger 12 ausgebildet. Die Musterelektroden 90 bis 96 weisen erste bis fünfte Anschlussflächen auf, welche in einer Zeile in der Richtung von einem Ende zum anderen Ende des Stützträgers 12 angeordnet sind, wobei sie von einander räumlich getrennt sind. Die erste Anschlussfläche ist als ein Abschnitt der Musterelektrode 90, die zweite und fünfte Anschlussflächen sind als Abschnitte der Musterelektrode 92, die dritte Anschlussfläche ist als ein Abschnitt der Musterelektrode 94 und die vierte Anschlussfläche ist als ein Abschnitt der Musterelektrode 96 ausgebildet.
  • Die externen Elektroden 30 und 32 der piezoelektrischen Resonatoren 20a, 20b, 20c und 20d sind mit diesen Anschlussflächen durch Halteelemente 40 verbunden. Die piezoelektrischen Resonatoren 20a, 20b, 20c und 20d sind so befestigt, dass sie einen in 8 gezeigten Schaltkreis vom Abzweigtyp bilden. Auf dem Stützträger 12 wird eine Metallkappe (nicht gezeigt) platziert.
  • Diese piezoelektrische Baugruppe 10 wird als ein Abzweigfilter verwendet, welcher einen derartigen Schaltkreis vom Abzweigtyp, wie in 8 gezeigt, aufweist. Um einen derartigen Abzweigfilter auszubilden, werden zwei piezoelektrische Resonatoren 20a und 20c als serielle Resonatoren verwendet, während die anderen zwei piezoelektrischen Resonatoren 20b und 20d als parallele Resonatoren verwendet werden. Ein derartiger Abzweigfilter wird so ausgelegt, dass die parallelen Resonatoren 20b und 20d viel größere Kapazitäten aufweisen als die seriellen Resonatoren 20a und 20c. Bei einem Abzweigfilter wird eine Dämpfungseigenschaft durch eine Impedanzeigenschaft der seriellen Resonatoren 20a und 20c und durch eine Impedanzeigenschaft der parallelen Resonatoren 20b und 20d bestimmt, wie in 9 gezeigt.
  • Bei einem derartigen Abzweigfilter kann eine Gruppenlaufzeiteigenschaft (Gruppenlaufzeit (GDT)) durch Steuern von Qm der piezoelektrischen Resonatoren 20a bis 20d durch die gummiähnlichen, elastischen Glieder 42 und 44 gesteuert werden. Es wurden die Eigenschaften eines Abzweigfilters, welcher in der oben beschriebenen Weise ausgebildet war, untersucht. 10 zeigt die Eigenschaften, wenn der Qm jedes der seriellen und parallelen piezoelektrischen Resonatoren 20a bis 20d gedämpft wurde. 11 zeigt die Eigenschaften, wenn der Qm jedes der seriellen piezoelektrischen Resonatoren 20a und 20c gedämpft wurde. 12 zeigt die Eigenschaften, wenn der Qm jedes der parallelen piezoelektrischen Resonatoren 20b und 20d gedämpft wurde. Die gestrichelte Linie der 10 bis 12 zeigt die Gruppenlaufzeit vor der Aufbringung der elastischen Materialien, während die durchgezogene Linie die Gruppenlaufzeit nach der Aufbringung der elastischen Materialien zeigt.
  • Wie aus den 10, 11 und 12 verstanden werden kann, können die GDT-Abweichungen durch Dämpfung von Qm der piezoelektrischen Resonatoren 20a bis 20d verbessert werden, und der Verbesserungseffekt der GDT-Abweichungen ist insbesondere hoch, wenn die Faktoren Qm aller der piezoelektrischen Resonatoren 20a bis 20d gedämpft werden. Eine Veränderung der Amplitudeneigenschaft jedes Resonators wegen einer Veränderung des Qm wird nicht besprochen, da sie sehr klein ist.
  • Falls gummiähnliche, elastische Materialien 42 und 44 verwendet werden, kann, wie oben beschrieben, der mechanische Qualitätsfaktor Qm im Wesentlichen ohne Veränderung des piezoelektrischen Materials wirksam gesteuert werden. Bei den oben beschriebenen Ausführungsformen wird ein laminierter piezoelektrischer Resonator vom versteiften Typ als piezoelektrischer Resonator 20 in den oben beschriebenen piezoelektrischen Baugruppen 10 verwendet. Es kann jedoch ersatzweise ein unversteifter piezoelektrischer Resonator verwendet werden, bei welchem die Schwingungsrichtung nicht mit der Polarisationsrichtung und der Richtung eines elektrischen Feldes zusammenfällt. Auch in einem Fall, wo ein derartiger unversteifter piezoelektrischer Resonator, welcher zu longitudinalen Schwingungen fähig ist, verwendet wird, kann der Qm des piezoelektrischen Resonators durch das Verfahren der Steigerung der Schwingungslast unter Verwendung der gummiähnlichen, elastischen Glieder 42 und 44 gesteuert werden.
  • Auch bei einer piezoelektrischen Baugruppe unter Verwendung eines piezoelektrischen Resonators, welcher externe Elektroden aufweist, welche auf gegenüberliegenden Oberflächen eines Basisglieds ausgebildet sind, und auch unter Verwendung eines Anschlussdrahts, wie in 13 gezeigt, kann der Qm des piezoelektrischen Resonators durch Ausfüllen der Lücken zwischen dem piezoelektrischen Resonator und dem Stützträger durch ein gummiähnliches, elastisches Material und/oder durch Aufbringen eines gummiähnlichen, elastischen Materials auf der oberen Oberfläche des piezoelektrischen Resonators gesteuert werden.

Claims (7)

  1. Piezoelektrische Baugruppe (10) umfassend wenigstens einen piezoelektrischen Resonator (20) und ein gummiähnliches, elastisches Material (42, 44), welches auf dem piezoelektrischen Resonator (20) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die piezoelektrische Baugruppe (10) ferner einen Stützträger (12) zur Stützung des piezoelektrischen Resonators (20) umfasst, und das gummiähnliche, elastische Material (42) als ein Füllstoff zwischen dem piezoelektrischen Resonator (20) und dem Stützträger (12) vorgesehen ist.
  2. Piezoelektrische Baugruppe (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der piezoelektrische Resonator (20) Schwingungen in einem longitudinalen Schwingungsmodus erregt.
  3. Piezoelektrische Baugruppe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das gummiähnliche, elastische Material (44) auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Resonators (20) entgegengesetzt einer anderen Oberfläche des piezoelektrischen Resonators (20) vorgesehen ist, welche dem Stützträger (12) gegenüber liegt.
  4. Piezoelektrische Baugruppe (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das gummiähnliche, elastische Material (42, 44) ein elektrisch leitendes Material umfasst.
  5. Piezoelektrische Baugruppe (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere der piezoelektrischen Resonatoren (20a, 20b, 20c, 20d) auf dem Stützträger (12) zur Bildung eines Abzweigfilters kettenförmig verbunden sind.
  6. Piezoelektrische Baugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der piezoelektrische Resonator (10) ein Basisglied (22) umfasst, welches eine longitudinale Richtung, einen aktiven Ab schnitt (36), welcher aus einem polarisierten, piezoelektrischen Glied (22) zusammengesetzt ist und wenigstens einen Teil des Basisglieds (22) bildet, und ein externes Elektrodenpaar (30, 32) aufweist, welches mit dem aktiven Abschnitt (36) versehen sind, wobei wenigstens ein internes Elektrodenpaar (24) im aktiven Abschnitt (36) derart angeordnet ist, dass die internen Elektroden (14) senkrecht zur longitudinalen Richtung des Basisglieds (22) liegen bzw. mit dem externen Elektrodenpaar (30, 32) verbunden sind, wobei der aktive Abschnitt (36) in der longitudinalen Richtung des Basisglieds (22) polarisiert ist und eine Basisschwingung im longitudinalen Modus erregt wird, wenn ein elektrisches Feld in der longitudinalen Richtung des Basisglieds (22) über die internen Elektroden (14) angelegt wird.
  7. Piezoelektrische Baugruppe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass ein inaktiver Abschnitt (38), in welchem keine Schwingung erregt wird, wenn das elektrische Feld angelegt wird, den anderen Teil des Basisglieds (22) bildet.
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