JP2001016059A - 圧電共振子の群遅延特性の調整方法 - Google Patents
圧電共振子の群遅延特性の調整方法Info
- Publication number
- JP2001016059A JP2001016059A JP2000021500A JP2000021500A JP2001016059A JP 2001016059 A JP2001016059 A JP 2001016059A JP 2000021500 A JP2000021500 A JP 2000021500A JP 2000021500 A JP2000021500 A JP 2000021500A JP 2001016059 A JP2001016059 A JP 2001016059A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group delay
- piezoelectric resonator
- piezoelectric
- delay characteristic
- adjusting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 32
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 32
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 9
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 14
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 238000012552 review Methods 0.000 description 2
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/171—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator implemented with thin-film techniques, i.e. of the film bulk acoustic resonator [FBAR] type
- H03H9/172—Means for mounting on a substrate, i.e. means constituting the material interface confining the waves to a volume
- H03H9/175—Acoustic mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/58—Multiple crystal filters
- H03H9/60—Electric coupling means therefor
- H03H9/605—Electric coupling means therefor consisting of a ladder configuration
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/178—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of a laminated structure of multiple piezoelectric layers with inner electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
- H03H9/132—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials characterized by a particular shape
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/177—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of the energy-trap type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電気特性の劣化を伴うことなく、簡単に群遅
延特性を調整することができる、圧電共振子の群遅延特
性の調整方法を得る。 【解決手段】 絶縁体基板１２上に配置された圧電共振
子３２，３４，３６，３８をラダー型に接続することに
よって、圧電フィルタ１０を構成する。圧電共振子３２
〜３８の群遅延特性を調整できるように、ヤング率が１
００ＭＰａ以下である複数の大きさのシリコンシート６
２を準備しておく。圧電共振子３２〜３８のそれぞれの
特性を測定し、所望の群遅延特性を得るのに適当な大き
さのシリコンシート６２を選択し、それぞれの圧電共振
子に貼付する。
延特性を調整することができる、圧電共振子の群遅延特
性の調整方法を得る。 【解決手段】 絶縁体基板１２上に配置された圧電共振
子３２，３４，３６，３８をラダー型に接続することに
よって、圧電フィルタ１０を構成する。圧電共振子３２
〜３８の群遅延特性を調整できるように、ヤング率が１
００ＭＰａ以下である複数の大きさのシリコンシート６
２を準備しておく。圧電共振子３２〜３８のそれぞれの
特性を測定し、所望の群遅延特性を得るのに適当な大き
さのシリコンシート６２を選択し、それぞれの圧電共振
子に貼付する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は圧電共振子の群遅
延特性の調整方法に関し、特にたとえば、ラダー型フィ
ルタなどに用いられる圧電共振子の群遅延特性の調整方
法に関する。
延特性の調整方法に関し、特にたとえば、ラダー型フィ
ルタなどに用いられる圧電共振子の群遅延特性の調整方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、圧電共振子の群遅延特性を調整す
るためには、たとえば図９に示すように、圧電共振子１
の上面や下面などに未硬化のシリコンオイルやシリコン
ゴムなどの合成樹脂材２を塗布し、熱硬化させることに
より調整を行っていた。このように、圧電共振子１に柔
らかい材料を付着させることにより、Ｑｍ特性をダンピ
ングし、群遅延特性を調整することができる。
るためには、たとえば図９に示すように、圧電共振子１
の上面や下面などに未硬化のシリコンオイルやシリコン
ゴムなどの合成樹脂材２を塗布し、熱硬化させることに
より調整を行っていた。このように、圧電共振子１に柔
らかい材料を付着させることにより、Ｑｍ特性をダンピ
ングし、群遅延特性を調整することができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、未硬化
の材料を圧電共振子に塗布する場合、塗布量の管理が難
しく、塗布量に１０％程度のばらつきが生じていた。ま
た、未硬化材料では、量的なコントロールが困難であ
り、各圧電共振子の初期の群遅延特性に応じて選択的に
調整を行うことが難しかった。そのため、圧電共振子の
群遅延特性の初期状態により、先行試作が必要であった
り、定期的に未硬化材料の塗布量の見直しを行う必要が
あった。さらに、未硬化材料では、圧電共振子に付着す
る部分の特定が困難であり、図９に示すように、圧電共
振子の側面に合成樹脂材が流れる場合がある。このよう
に、圧電共振子の所定の位置に合成樹脂材を塗布できな
いと、未硬化樹脂の付着部分によっては、圧電共振子を
用いた圧電フィルタなどの特性が劣化する場合があっ
た。また、未硬化材料を用いると、塗布後に熱硬化させ
る作業が必要であり、調整が面倒であるとともに、熱に
よる圧電共振子の特性劣化の恐れもある。
の材料を圧電共振子に塗布する場合、塗布量の管理が難
しく、塗布量に１０％程度のばらつきが生じていた。ま
た、未硬化材料では、量的なコントロールが困難であ
り、各圧電共振子の初期の群遅延特性に応じて選択的に
調整を行うことが難しかった。そのため、圧電共振子の
群遅延特性の初期状態により、先行試作が必要であった
り、定期的に未硬化材料の塗布量の見直しを行う必要が
あった。さらに、未硬化材料では、圧電共振子に付着す
る部分の特定が困難であり、図９に示すように、圧電共
振子の側面に合成樹脂材が流れる場合がある。このよう
に、圧電共振子の所定の位置に合成樹脂材を塗布できな
いと、未硬化樹脂の付着部分によっては、圧電共振子を
用いた圧電フィルタなどの特性が劣化する場合があっ
た。また、未硬化材料を用いると、塗布後に熱硬化させ
る作業が必要であり、調整が面倒であるとともに、熱に
よる圧電共振子の特性劣化の恐れもある。
【０００４】それゆえに、この発明の主たる目的は、特
性の劣化を伴うことなく、簡単に群遅延特性を調整する
ことができる、圧電共振子の群遅延特性の調整方法を提
供することである。
性の劣化を伴うことなく、簡単に群遅延特性を調整する
ことができる、圧電共振子の群遅延特性の調整方法を提
供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、ヤング率１
００ＭＰａ以下である複数の大きさの成形物を準備する
工程と、圧電共振子の初期の群遅延特性を測定する工程
と、測定された初期の群遅延特性から所望の群遅延特性
に調整するために圧電共振子に適する大きさの成形物を
選択する工程と、選択された成形物を圧電共振子に貼付
する工程とを含む、圧電共振子の群遅延特性の調整方法
である。また、この発明は、先行試験として圧電共振子
の群遅延特性を測定する工程と、測定した群遅延特性に
基づいて、後に作製される圧電共振子が所望の群遅延特
性となるように調整するのに適すると考えられる大きさ
のヤング率１００ＭＰａ以下である成形物を準備する工
程と、圧電共振子に成形物を貼付する工程とを含む、圧
電共振子の群遅延特性の調整方法である。これらの圧電
共振子の群遅延特性の調整方法において、成形物とし
て、片面に粘着部分を有するシリコンシートを用いるこ
とができる。また、成形物として、予め硬化した合成樹
脂材を用いてもよい。
００ＭＰａ以下である複数の大きさの成形物を準備する
工程と、圧電共振子の初期の群遅延特性を測定する工程
と、測定された初期の群遅延特性から所望の群遅延特性
に調整するために圧電共振子に適する大きさの成形物を
選択する工程と、選択された成形物を圧電共振子に貼付
する工程とを含む、圧電共振子の群遅延特性の調整方法
である。また、この発明は、先行試験として圧電共振子
の群遅延特性を測定する工程と、測定した群遅延特性に
基づいて、後に作製される圧電共振子が所望の群遅延特
性となるように調整するのに適すると考えられる大きさ
のヤング率１００ＭＰａ以下である成形物を準備する工
程と、圧電共振子に成形物を貼付する工程とを含む、圧
電共振子の群遅延特性の調整方法である。これらの圧電
共振子の群遅延特性の調整方法において、成形物とし
て、片面に粘着部分を有するシリコンシートを用いるこ
とができる。また、成形物として、予め硬化した合成樹
脂材を用いてもよい。
【０００６】ヤング率１００ＭＰａ以下の成形物を圧電
共振子に貼付することにより、圧電共振子のＱｍ特性が
ダンピングされ、群遅延特性を調整することができる。
このとき、すでに硬化した成形物を用いることにより、
圧電共振子への付着量をコントロールすることができ
る。また、複数の大きさの成形物を準備しておき、圧電
共振子の初期の群遅延特性から貼付すべき成形物を選択
し、その成形物を貼付することにより、各圧電共振子に
合わせて選択的に群遅延特性を調整することができる。
また、先行試験によって圧電共振子の初期の群遅延特性
を測定し、後に作製される圧電共振子に貼付するのに適
当であると考えられる大きさの成形物を準備しておけ
ば、その成形物を圧電共振子に貼付することにより、群
遅延特性を調整することができる。これらの方法では、
すでに硬化した成形物が用いられるため、圧電共振子へ
の付着部分を特定することができ、他の部分に流れたり
しないため、特性劣化を防止することができる。また、
圧電共振子に成形物を貼付したのちに熱処理を行う必要
がない。このような方法に用いられる成形物として、片
面に粘着部分を有するシリコンシートを用いれば、所定
の大きさにシリコンシートを切断しておくことにより、
圧電共振子へのシリコンシートの貼付が簡単である。さ
らに、シート状でなくても、所定の大きさに成型した合
成樹脂材を用いても、同様の効果を得ることができる。
共振子に貼付することにより、圧電共振子のＱｍ特性が
ダンピングされ、群遅延特性を調整することができる。
このとき、すでに硬化した成形物を用いることにより、
圧電共振子への付着量をコントロールすることができ
る。また、複数の大きさの成形物を準備しておき、圧電
共振子の初期の群遅延特性から貼付すべき成形物を選択
し、その成形物を貼付することにより、各圧電共振子に
合わせて選択的に群遅延特性を調整することができる。
また、先行試験によって圧電共振子の初期の群遅延特性
を測定し、後に作製される圧電共振子に貼付するのに適
当であると考えられる大きさの成形物を準備しておけ
ば、その成形物を圧電共振子に貼付することにより、群
遅延特性を調整することができる。これらの方法では、
すでに硬化した成形物が用いられるため、圧電共振子へ
の付着部分を特定することができ、他の部分に流れたり
しないため、特性劣化を防止することができる。また、
圧電共振子に成形物を貼付したのちに熱処理を行う必要
がない。このような方法に用いられる成形物として、片
面に粘着部分を有するシリコンシートを用いれば、所定
の大きさにシリコンシートを切断しておくことにより、
圧電共振子へのシリコンシートの貼付が簡単である。さ
らに、シート状でなくても、所定の大きさに成型した合
成樹脂材を用いても、同様の効果を得ることができる。
【０００７】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は複数の圧電体共振子を用い
た圧電フィルタであり、ここに用いられる圧電体共振子
にこの発明の方法が適用される。圧電フィルタ１０は、
絶縁体基板１２を含む。絶縁体基板１２上には、４つの
パターン電極１４，１６，１８，２０が形成される。パ
ターン電極１４，１６，１８は、絶縁体基板１２の一端
側に引き出され、パターン電極２０は、絶縁体基板１２
の他端側において、絶縁体基板１２の端部に沿って延び
るように形成される。
た圧電フィルタであり、ここに用いられる圧電体共振子
にこの発明の方法が適用される。圧電フィルタ１０は、
絶縁体基板１２を含む。絶縁体基板１２上には、４つの
パターン電極１４，１６，１８，２０が形成される。パ
ターン電極１４，１６，１８は、絶縁体基板１２の一端
側に引き出され、パターン電極２０は、絶縁体基板１２
の他端側において、絶縁体基板１２の端部に沿って延び
るように形成される。
【０００９】さらに、パターン電極１４，１６，１８と
パターン電極２０との間において、間隔を隔てて配置さ
れる５つのランド２２，２４，２６，２８，３０が形成
される。１番目のランド２２はパターン電極１４に接続
され、２番目および５番目のランド２４，３０はパター
ン電極２０に接続され、３番目のランド２６はパターン
電極１６に接続され、４番目のランド２８はパターン電
極１８に接続される。
パターン電極２０との間において、間隔を隔てて配置さ
れる５つのランド２２，２４，２６，２８，３０が形成
される。１番目のランド２２はパターン電極１４に接続
され、２番目および５番目のランド２４，３０はパター
ン電極２０に接続され、３番目のランド２６はパターン
電極１６に接続され、４番目のランド２８はパターン電
極１８に接続される。
【００１０】これらのランド２２〜３０上に、４つの圧
電共振子３２，３４，３６，３８が取り付けられる。圧
電共振子３２は、図２に示すように、直方体状の基体４
０を含む。基体４０は、複数の圧電体層４２と内部電極
４４とを積層することによって形成される。このとき、
圧電体層４２および内部電極４４の面は、基体４０の長
手方向に直交する向きとなるように配置される。そし
て、１つの内部電極４４の両側において隣接する圧電体
層４２は、互いに逆向きとなるように、基体４０の長手
方向に向かって分極される。
電共振子３２，３４，３６，３８が取り付けられる。圧
電共振子３２は、図２に示すように、直方体状の基体４
０を含む。基体４０は、複数の圧電体層４２と内部電極
４４とを積層することによって形成される。このとき、
圧電体層４２および内部電極４４の面は、基体４０の長
手方向に直交する向きとなるように配置される。そし
て、１つの内部電極４４の両側において隣接する圧電体
層４２は、互いに逆向きとなるように、基体４０の長手
方向に向かって分極される。
【００１１】基体４０の１つの側面には、幅方向の中央
部において長手方向に延びる溝４６が形成される。溝４
６の一方側においては、内部電極４４の露出部が１つお
きに絶縁体４８で被覆される。また、溝４６の他方側に
おいては、絶縁体４８で被覆されていない内部電極４４
の露出部が、絶縁体５０で被覆される。したがって、溝
４６の両側において、異なる内部電極４４が絶縁体４
８，５０で被覆される。さらに、溝４６の両側には、そ
れぞれ外部電極５２，５４が形成される。したがって、
外部電極５２，５４には、隣接する内部電極４４が交互
に接続される。
部において長手方向に延びる溝４６が形成される。溝４
６の一方側においては、内部電極４４の露出部が１つお
きに絶縁体４８で被覆される。また、溝４６の他方側に
おいては、絶縁体４８で被覆されていない内部電極４４
の露出部が、絶縁体５０で被覆される。したがって、溝
４６の両側において、異なる内部電極４４が絶縁体４
８，５０で被覆される。さらに、溝４６の両側には、そ
れぞれ外部電極５２，５４が形成される。したがって、
外部電極５２，５４には、隣接する内部電極４４が交互
に接続される。
【００１２】他の圧電共振子３４，３６，３８について
も、圧電共振子３２と同様の構造を有している。このよ
うな圧電共振子では、外部電極５２，５４を入出力端子
として信号を入力することにより、内部電極４４間に電
界が印加される。このとき、内部電極４４は、交互に外
部電極５２，５４に接続されているため、隣接する圧電
体層４２には、互いに逆向きの電界が印加される。隣接
する圧電体層４２は、互いに逆向きに分極されているた
め、このような入力信号により、基体４０は全体として
長さ振動モードで振動する。
も、圧電共振子３２と同様の構造を有している。このよ
うな圧電共振子では、外部電極５２，５４を入出力端子
として信号を入力することにより、内部電極４４間に電
界が印加される。このとき、内部電極４４は、交互に外
部電極５２，５４に接続されているため、隣接する圧電
体層４２には、互いに逆向きの電界が印加される。隣接
する圧電体層４２は、互いに逆向きに分極されているた
め、このような入力信号により、基体４０は全体として
長さ振動モードで振動する。
【００１３】このような長さ振動モードの圧電共振子３
２，３４，３６，３８が、図３に示すように、直列およ
び並列となるようにラダー型に接続されている。この場
合、４つの圧電共振子３２〜３８の外部電極５２，５４
の中央部に導電部材５６（図１）が形成され、この導電
部材５６が５つのランド２２〜３０に接続される。この
ように、４つの圧電共振子３２〜３８を絶縁体基板１２
から浮かせることによって、圧電共振子３２〜３８の振
動のための空間を確保することができる。さらに、絶縁
体基板１２上には、圧電共振子３２〜３８を覆うように
して、金属製のキャップ５８（図１）が被せられる。な
お、キャップ５８によってパターン電極１４〜２０が短
絡しないように、絶縁体基板１２上のキャップ５８が接
触する部分に、絶縁膜が形成される。
２，３４，３６，３８が、図３に示すように、直列およ
び並列となるようにラダー型に接続されている。この場
合、４つの圧電共振子３２〜３８の外部電極５２，５４
の中央部に導電部材５６（図１）が形成され、この導電
部材５６が５つのランド２２〜３０に接続される。この
ように、４つの圧電共振子３２〜３８を絶縁体基板１２
から浮かせることによって、圧電共振子３２〜３８の振
動のための空間を確保することができる。さらに、絶縁
体基板１２上には、圧電共振子３２〜３８を覆うように
して、金属製のキャップ５８（図１）が被せられる。な
お、キャップ５８によってパターン電極１４〜２０が短
絡しないように、絶縁体基板１２上のキャップ５８が接
触する部分に、絶縁膜が形成される。
【００１４】このような圧電フィルタ１０では、直列用
の圧電共振子３２，３８と並列用の圧電共振子３４，３
６との容量比によって減衰量が影響される。そのため、
圧電フィルタ１０においては、所望の特性を得るため
に、並列用の圧電共振子３４，３６の容量が直列用の圧
電共振子３２，３８の容量より大きくなるように設計さ
れている。
の圧電共振子３２，３８と並列用の圧電共振子３４，３
６との容量比によって減衰量が影響される。そのため、
圧電フィルタ１０においては、所望の特性を得るため
に、並列用の圧電共振子３４，３６の容量が直列用の圧
電共振子３２，３８の容量より大きくなるように設計さ
れている。
【００１５】これらの圧電フィルタ１０の群遅延特性を
調整するために、圧電共振子３２〜３８に成形物が貼付
され、個々の圧電共振子３２〜３８の群遅延特性が調整
される。成形物としては、ヤング率１００ＭＰａ以下の
ものが用いられる。このような成形物としては、たとえ
ば図４に示すように、片面に粘着部分６０を有するシリ
コンシート６２などが用いられる。そして、図５に示す
ように、圧電フィルタ１０を構成する圧電共振子３２〜
３８の上面にシリコンシート６２を貼付することによ
り、各圧電共振子３２〜３８のＱｍがダンピングされ、
群遅延特性が調整される。このように、各圧電共振子３
２〜３８の群遅延特性を調整することにより、圧電フィ
ルタ１０の群遅延特性が所望の特性となるように調整す
ることができる。
調整するために、圧電共振子３２〜３８に成形物が貼付
され、個々の圧電共振子３２〜３８の群遅延特性が調整
される。成形物としては、ヤング率１００ＭＰａ以下の
ものが用いられる。このような成形物としては、たとえ
ば図４に示すように、片面に粘着部分６０を有するシリ
コンシート６２などが用いられる。そして、図５に示す
ように、圧電フィルタ１０を構成する圧電共振子３２〜
３８の上面にシリコンシート６２を貼付することによ
り、各圧電共振子３２〜３８のＱｍがダンピングされ、
群遅延特性が調整される。このように、各圧電共振子３
２〜３８の群遅延特性を調整することにより、圧電フィ
ルタ１０の群遅延特性が所望の特性となるように調整す
ることができる。
【００１６】この場合、あらかじめ複数の大きさのシリ
コンシート６２をプレスしておき、大きさごとに分類し
たものが準備される。そして、絶縁体基板１２上に取り
付けられた圧電共振子３２〜３８に測定用プローブなど
を接続し、電気特性が測定される。したがって、図１に
は示されていないが、個々の圧電共振子３２〜３８の電
気特性を測定できるようなパターン電極の配置となるよ
うに、基板設計を行う必要がある。個々の圧電共振子３
２〜３８について、測定された電気特性から、所望の特
性を得ることができる大きさのシリコンシート６２が選
択される。そして、選択された大きさのシリコンシート
６２が、圧電共振子３２〜３８の上面に貼付される。こ
のように、各圧電共振子３２〜３８の特性を調整するこ
とにより、圧電フィルタ１０の群遅延特性を一定の範囲
内でコントロールすることができる。なお、シリコンシ
ート６２を選択する際に、あらかじめ複数の大きさのも
のを準備する代わりに、大きいシリコンシートから必要
な大きさとなるように打ち抜いて用いてもよい。
コンシート６２をプレスしておき、大きさごとに分類し
たものが準備される。そして、絶縁体基板１２上に取り
付けられた圧電共振子３２〜３８に測定用プローブなど
を接続し、電気特性が測定される。したがって、図１に
は示されていないが、個々の圧電共振子３２〜３８の電
気特性を測定できるようなパターン電極の配置となるよ
うに、基板設計を行う必要がある。個々の圧電共振子３
２〜３８について、測定された電気特性から、所望の特
性を得ることができる大きさのシリコンシート６２が選
択される。そして、選択された大きさのシリコンシート
６２が、圧電共振子３２〜３８の上面に貼付される。こ
のように、各圧電共振子３２〜３８の特性を調整するこ
とにより、圧電フィルタ１０の群遅延特性を一定の範囲
内でコントロールすることができる。なお、シリコンシ
ート６２を選択する際に、あらかじめ複数の大きさのも
のを準備する代わりに、大きいシリコンシートから必要
な大きさとなるように打ち抜いて用いてもよい。
【００１７】このような調整方法を採用すれば、良好な
群遅延特性を有する圧電フィルタ１０を得ることができ
る。また、群遅延特性を調整するために、先行試験や定
期的な見直し作業などを省略することができ、工程の合
理化を図ることができる。さらに、シリコンシート６２
を使用しているため、圧電共振子３２〜３８にシリコン
シート６２を貼付したのちに硬化させる工程も省略する
ことができ、加熱による特性変化を防止することができ
る。
群遅延特性を有する圧電フィルタ１０を得ることができ
る。また、群遅延特性を調整するために、先行試験や定
期的な見直し作業などを省略することができ、工程の合
理化を図ることができる。さらに、シリコンシート６２
を使用しているため、圧電共振子３２〜３８にシリコン
シート６２を貼付したのちに硬化させる工程も省略する
ことができ、加熱による特性変化を防止することができ
る。
【００１８】このような調整方法で群遅延特性を調整す
る前後の圧電フィルタの特性を図６および図７に示す。
図６に示す調整前の圧電フィルタでは、群遅延リップル
が存在するのに対して、図７に示す調整後の圧電フィル
タでは、群遅延リップルが小さくなり、フラットな群遅
延特性が得られている。このように、圧電共振子にやわ
らかいシリコンシートを貼付することにより、圧電共振
子のＱｍ特性をダンピングすることができ、群遅延リッ
プルの小さい圧電フィルタを得ることができる。
る前後の圧電フィルタの特性を図６および図７に示す。
図６に示す調整前の圧電フィルタでは、群遅延リップル
が存在するのに対して、図７に示す調整後の圧電フィル
タでは、群遅延リップルが小さくなり、フラットな群遅
延特性が得られている。このように、圧電共振子にやわ
らかいシリコンシートを貼付することにより、圧電共振
子のＱｍ特性をダンピングすることができ、群遅延リッ
プルの小さい圧電フィルタを得ることができる。
【００１９】なお、本願発明において、効果を発揮する
成形物のヤング率は１００ＭＰａ以下であるが、より好
ましくは、ヤング率が０．１〜１０ＭＰａの範囲内のも
のである。その一例として、図７にはヤング率がほぼ１
ＭＰａのシリコンシートを用いた場合の特性図を示して
あるが、成形物のヤング率が０．１〜１０ＭＰａの範囲
内にあれば、図７とほぼ同程度の特性を得ることができ
る。ただし、成形物のヤング率が１００ＭＰａを超える
と、圧電共振子の振動が阻害されるため、ヤング率が高
い成形物は、群遅延特性の調整には使用することができ
ない。
成形物のヤング率は１００ＭＰａ以下であるが、より好
ましくは、ヤング率が０．１〜１０ＭＰａの範囲内のも
のである。その一例として、図７にはヤング率がほぼ１
ＭＰａのシリコンシートを用いた場合の特性図を示して
あるが、成形物のヤング率が０．１〜１０ＭＰａの範囲
内にあれば、図７とほぼ同程度の特性を得ることができ
る。ただし、成形物のヤング率が１００ＭＰａを超える
と、圧電共振子の振動が阻害されるため、ヤング率が高
い成形物は、群遅延特性の調整には使用することができ
ない。
【００２０】さらに、圧電フィルタ１０に用いられる圧
電共振子について、あらかじめ先行試験を行うことによ
り初期の群遅延特性を把握し、後に作製される圧電共振
子が所望の群遅延特性に近づくと考えられる一定の大き
さのシリコンシート６２を準備してもよい。そして、圧
電フィルタ１０を構成する各圧電共振子３２〜３８に、
準備したシリコンシート６２を貼付することにより、圧
電フィルタ１０の群遅延特性を一定の範囲内でコントロ
ールすることができる。
電共振子について、あらかじめ先行試験を行うことによ
り初期の群遅延特性を把握し、後に作製される圧電共振
子が所望の群遅延特性に近づくと考えられる一定の大き
さのシリコンシート６２を準備してもよい。そして、圧
電フィルタ１０を構成する各圧電共振子３２〜３８に、
準備したシリコンシート６２を貼付することにより、圧
電フィルタ１０の群遅延特性を一定の範囲内でコントロ
ールすることができる。
【００２１】このような調整方法では、個々の圧電共振
子について測定した電気特性に応じてシリコンシート６
２を選択し、それを貼付する方法に比べて、細かい調整
は困難であるが、圧電フィルタ１０の群遅延特性を良好
にすることが可能である。また、このような方法によっ
ても、圧電共振子３２〜３８にシリコンシート６２を貼
付したのちに硬化させる工程が不要であり、加熱による
特性変化を防ぐことができる。なお、このような方法で
は、定期的に圧電共振子の初期特性を測定し、最適なシ
リコンシート６２の大きさを決定しておく必要がある。
子について測定した電気特性に応じてシリコンシート６
２を選択し、それを貼付する方法に比べて、細かい調整
は困難であるが、圧電フィルタ１０の群遅延特性を良好
にすることが可能である。また、このような方法によっ
ても、圧電共振子３２〜３８にシリコンシート６２を貼
付したのちに硬化させる工程が不要であり、加熱による
特性変化を防ぐことができる。なお、このような方法で
は、定期的に圧電共振子の初期特性を測定し、最適なシ
リコンシート６２の大きさを決定しておく必要がある。
【００２２】また、成形物としては、シート状のものに
限らず、あらかじめ硬化したヤング率１００ＭＰａ以下
の合成樹脂材を用いることができる。このような合成樹
脂材としては、たとえばヤング率１００ＭＰａ以下のウ
レタンやヤング率１００ＭＰａ以下のシリコンなどの成
形物を用いることができる。この場合、図８に示すよう
に、たとえば円形の成形物６４が、圧電共振子に貼付さ
れる。この場合も、上述のように、各圧電共振子の初期
特性に対応して成形物６４を選択してもよいし、先行試
験によって準備された成形物６４を貼付してもよい。こ
のとき、図８に示すように、圧電共振子の中央部のみな
らず、初期特性に対応して複数箇所に成形物６４を貼付
してもよい。もちろん、成形物６４の形状は４角形など
の多角形でもよく、その形状は任意に変更可能である。
限らず、あらかじめ硬化したヤング率１００ＭＰａ以下
の合成樹脂材を用いることができる。このような合成樹
脂材としては、たとえばヤング率１００ＭＰａ以下のウ
レタンやヤング率１００ＭＰａ以下のシリコンなどの成
形物を用いることができる。この場合、図８に示すよう
に、たとえば円形の成形物６４が、圧電共振子に貼付さ
れる。この場合も、上述のように、各圧電共振子の初期
特性に対応して成形物６４を選択してもよいし、先行試
験によって準備された成形物６４を貼付してもよい。こ
のとき、図８に示すように、圧電共振子の中央部のみな
らず、初期特性に対応して複数箇所に成形物６４を貼付
してもよい。もちろん、成形物６４の形状は４角形など
の多角形でもよく、その形状は任意に変更可能である。
【００２３】このように、ヤング率１００ＭＰａ以下の
柔らかい材料を用いることにより、群遅延特性を調整す
ることができる。しかも硬化した成形物を圧電共振子に
貼付するため、圧電共振子に付加される重量のばらつき
を１％以内にすることができ、正確な調整が可能であ
る。さらに、圧電共振子に貼付する部分の特定が可能で
あり、圧電共振子の特性を劣化させるような部分に付着
することがないので、成形物による特性劣化を防止する
ことができる。また、成形物を付加したのちに硬化のた
めの熱処理が不要であるため、熱による特性劣化を防ぐ
ことができる。
柔らかい材料を用いることにより、群遅延特性を調整す
ることができる。しかも硬化した成形物を圧電共振子に
貼付するため、圧電共振子に付加される重量のばらつき
を１％以内にすることができ、正確な調整が可能であ
る。さらに、圧電共振子に貼付する部分の特定が可能で
あり、圧電共振子の特性を劣化させるような部分に付着
することがないので、成形物による特性劣化を防止する
ことができる。また、成形物を付加したのちに硬化のた
めの熱処理が不要であるため、熱による特性劣化を防ぐ
ことができる。
【００２４】なお、圧電共振子としては、上述のような
積層型のものに限らず、単板状の基体の両面に電極を形
成し、電極間において基体を分極させた圧電共振子であ
っても、この発明の群遅延特性の調整方法を適用するこ
とができる。このように、この発明の調整方法は、圧電
共振子の種類を問わずに適用可能である。また、成形物
の貼付場所は、圧電共振子の上面に限らず、下面に成形
物を貼付してもよい。もちろん、この場合には、圧電共
振子の外部電極と絶縁体基板上のパターン電極との間の
電気的な接続を確保する必要がある。
積層型のものに限らず、単板状の基体の両面に電極を形
成し、電極間において基体を分極させた圧電共振子であ
っても、この発明の群遅延特性の調整方法を適用するこ
とができる。このように、この発明の調整方法は、圧電
共振子の種類を問わずに適用可能である。また、成形物
の貼付場所は、圧電共振子の上面に限らず、下面に成形
物を貼付してもよい。もちろん、この場合には、圧電共
振子の外部電極と絶縁体基板上のパターン電極との間の
電気的な接続を確保する必要がある。
【００２５】
【発明の効果】この発明によれば、熱処理などを行うこ
となく、簡単に圧電共振子の群遅延特性を調整すること
ができる。しかも、圧電共振子に付加する成形物の量の
ばらつきが少なく、正確な調整が可能である。また、圧
電共振子の所望の部分に成形物を貼付することができ、
成形物の付着場所による特性劣化を防ぐことができる。
さらに、成形物を硬化させるための熱処理が不要である
ため、熱による特性劣化を防ぐことができる。
となく、簡単に圧電共振子の群遅延特性を調整すること
ができる。しかも、圧電共振子に付加する成形物の量の
ばらつきが少なく、正確な調整が可能である。また、圧
電共振子の所望の部分に成形物を貼付することができ、
成形物の付着場所による特性劣化を防ぐことができる。
さらに、成形物を硬化させるための熱処理が不要である
ため、熱による特性劣化を防ぐことができる。
【図１】この発明の圧電共振子の調整方法によって群遅
延特性が調整される圧電フィルタの一例を示す分解斜視
図である。
延特性が調整される圧電フィルタの一例を示す分解斜視
図である。
【図２】図１に示す圧電フィルタに用いられる圧電共振
子の構造の一例を示す図解図である。
子の構造の一例を示す図解図である。
【図３】図１に示す圧電フィルタの回路図である。
【図４】圧電共振子の群遅延特性の調整に用いられるシ
リコンシートを示す図解図である。
リコンシートを示す図解図である。
【図５】図４に示すシリコンシートを圧電共振子の上面
に貼付した状態を示す図解図である。
に貼付した状態を示す図解図である。
【図６】圧電共振子にシリコンシートを貼付する前の圧
電フィルタの減衰量と群遅延特性とを示す特性図であ
る。
電フィルタの減衰量と群遅延特性とを示す特性図であ
る。
【図７】圧電共振子にシリコンシートを貼付した後の圧
電フィルタの減衰量と群遅延特性とを示す特性図であ
る。
電フィルタの減衰量と群遅延特性とを示す特性図であ
る。
【図８】この発明の群遅延特性の調整方法の他の例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図９】従来の圧電共振子の群遅延特性の調整方法とし
て未硬化の合成樹脂材を圧電共振子に塗布した状態を示
す斜視図である。
て未硬化の合成樹脂材を圧電共振子に塗布した状態を示
す斜視図である。
１０ 圧電フィルタ １２ 絶縁体基板 １４，１６，１８，２０ パターン電極 ２２，２４，２６，２８，３０ ランド ３２，３４，３６，３８ 圧電共振子 ６２ シリコンシート ６４ 成形物
Claims (4)
- 【請求項１】 ヤング率１００ＭＰａ以下である複数の
大きさの成形物を準備する工程、 圧電共振子の初期の群遅延特性を測定する工程、 測定された前記初期の群遅延特性から所望の群遅延特性
に調整するために前記圧電共振子に適する大きさの前記
成形物を選択する工程、および選択された前記成形物を
前記圧電共振子に貼付する工程を含む、圧電共振子の群
遅延特性の調整方法。 - 【請求項２】 先行試験として圧電共振子の群遅延特性
を測定する工程、測定した前記群遅延特性に基づいて、
後に作製される圧電共振子が所望の群遅延特性となるよ
うに調整するのに適すると考えられる大きさのヤング率
１００ＭＰａ以下である成形物を準備する工程、および
前記圧電共振子に前記成形物を貼付する工程を含む、圧
電共振子の群遅延特性の調整方法。 - 【請求項３】 前記成形物は片面に粘着部分を有するシ
リコンシートである、請求項１または請求項２に記載の
圧電共振子の群遅延特性の調整方法。 - 【請求項４】 前記成形物は予め硬化した合成樹脂材で
ある、請求項１または請求項２に記載の圧電共振子の群
遅延特性の調整方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000021500A JP2001016059A (ja) | 1999-04-26 | 2000-01-31 | 圧電共振子の群遅延特性の調整方法 |
| KR1020000021619A KR100319810B1 (ko) | 1999-04-26 | 2000-04-24 | 압전 공진자의 군지연 특성의 조정방법 |
| US09/559,231 US6366181B1 (en) | 1999-04-26 | 2000-04-25 | Adjusting method for group-delay characteristics of piezoelectric resonators |
| CN00108267A CN1130821C (zh) | 1999-04-26 | 2000-04-26 | 压电谐振器群延迟特性的调节方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11759699 | 1999-04-26 | ||
| JP11-117596 | 1999-04-26 | ||
| JP2000021500A JP2001016059A (ja) | 1999-04-26 | 2000-01-31 | 圧電共振子の群遅延特性の調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001016059A true JP2001016059A (ja) | 2001-01-19 |
Family
ID=26455694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000021500A Pending JP2001016059A (ja) | 1999-04-26 | 2000-01-31 | 圧電共振子の群遅延特性の調整方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6366181B1 (ja) |
| JP (1) | JP2001016059A (ja) |
| KR (1) | KR100319810B1 (ja) |
| CN (1) | CN1130821C (ja) |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5520052A (en) * | 1978-07-28 | 1980-02-13 | Noto Denshi Kogyo Kk | Piezoelectric filter |
| JPS639141Y2 (ja) * | 1980-10-22 | 1988-03-18 | ||
| JPH05145372A (ja) * | 1991-11-16 | 1993-06-11 | Murata Mfg Co Ltd | ラダー型フイルタ |
| JPH0588029U (ja) * | 1992-04-24 | 1993-11-26 | 日本特殊陶業株式会社 | 梯子型電気濾波器 |
| DE69630827T2 (de) * | 1995-01-19 | 2004-05-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma | Piezoelektrisches Filter, sein Herstellungsverfahren und Zwischenfrequenzfilter |
| US6016024A (en) * | 1996-04-05 | 2000-01-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric component |
| US5939957A (en) * | 1996-07-26 | 1999-08-17 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | 6-elements ladder type piezoelectric filter |
-
2000
- 2000-01-31 JP JP2000021500A patent/JP2001016059A/ja active Pending
- 2000-04-24 KR KR1020000021619A patent/KR100319810B1/ko active IP Right Grant
- 2000-04-25 US US09/559,231 patent/US6366181B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-04-26 CN CN00108267A patent/CN1130821C/zh not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1271995A (zh) | 2000-11-01 |
| KR100319810B1 (ko) | 2002-01-05 |
| KR20000077073A (ko) | 2000-12-26 |
| US6366181B1 (en) | 2002-04-02 |
| CN1130821C (zh) | 2003-12-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7486006B2 (en) | Piezoelectric resonator having improved temperature compensation and method for manufacturing same | |
| US4786837A (en) | Composite conformable sheet electrodes | |
| DE102013201429B4 (de) | Temperatur gesteuerter akkustischer Resonator | |
| US8354332B2 (en) | Methods of forming micro-electromichanical resonators having boron-doped resonator bodies containing eutectic alloys | |
| WO2015025716A1 (ja) | 圧電共振子及びその製造方法 | |
| JPH0565807B2 (ja) | ||
| Assagra et al. | A new route to piezo-polymer transducers: 3D printing of polypropylene ferroelectrets | |
| US6111343A (en) | Piezoelectric resonator and electronic component including same | |
| EP0809356B1 (en) | Piezoelectric component | |
| JP2001016059A (ja) | 圧電共振子の群遅延特性の調整方法 | |
| EP3700228B1 (en) | Manufacturing method of a piezoelectric microphone with pillar structure | |
| JP2003217903A (ja) | 抵抗器とその製造方法及びその抵抗器を用いた温度センサー | |
| EP0874454A1 (en) | Piezoelectric resonator and electronic component device using the same | |
| EP0907240A2 (en) | Method of manufacturing piezoelectric resonator | |
| JPH104330A (ja) | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 | |
| JPH0131728B2 (ja) | ||
| CA1071751A (en) | Piezoelectric tuning device and method for making the same | |
| JP3261962B2 (ja) | 圧電電子部品の製造方法 | |
| JPH06249706A (ja) | 圧電型振動センサ | |
| JP3729059B2 (ja) | 圧電部品の製造方法 | |
| KR100280071B1 (ko) | 압전공진자및이를포함하는전자부품 | |
| CN116633304A (zh) | 一种声学谐振器及其制备方法、滤波器 | |
| JPS587705Y2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS61220510A (ja) | 薄膜圧電振動子 | |
| US6417599B2 (en) | Piezoelectric resonator, piezoelectric component, and producing method for the piezoelectric resonator |