JPH11330902A - ラダー型圧電フィルタ - Google Patents

ラダー型圧電フィルタ

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JPH11330902A
JPH11330902A JP10127223A JP12722398A JPH11330902A JP H11330902 A JPH11330902 A JP H11330902A JP 10127223 A JP10127223 A JP 10127223A JP 12722398 A JP12722398 A JP 12722398A JP H11330902 A JPH11330902 A JP H11330902A
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JP
Japan
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resonators
resonator
vibration mode
ladder
parallel
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JP10127223A
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Takashi Yamamoto
隆 山本
Yasushi Funaki
裕史 舟木
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/54Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/58Multiple crystal filters
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
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    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1014Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
    • H03H9/1028Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being held between spring terminals
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
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    • H03H9/58Multiple crystal filters
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    • H03H9/605Electric coupling means therefor consisting of a ladder configuration
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Abstract

(57)【要約】 【課題】直列共振子に長さ振動モード素子を用い、並列
共振子に拡がり振動モード素子を用いたラダー型圧電フ
ィルタにおいて、直列共振子の容量値を簡単にかつ自在
に調整できるようにし、任意の減衰量を得ること。 【解決手段】直列共振子4,5に長さ振動モードを利用
した短冊形の圧電振動子を用い、並列共振子2,3に拡
がり振動モードを利用した略正方形の圧電振動子を用
い、直列共振子4,5と並列共振子2,3とを端子6〜
10によって梯子形の回路を形成するように接続する。
直列共振子4,5の一方主面の長さ方向の対称位置に、
電極を分離する2本の溝4c,5cを短辺方向に設けて
両主面電極間の容量を調整する。直列共振子4,5の他
方主面の電極上に、長さ方向のほぼ中央位置に導電性材
料よりなる支持部材4d,5dを短辺方向に取り付け
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は直列共振子と並列共
振子とを梯子形の回路を形成するよう接続してなるラダ
ー型圧電フィルタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のラダー型圧電フィルタの場合、直
列共振子と並列共振子は共に拡がり振動モードを利用し
た正方形状の圧電振動子であり、これら共振子を厚み方
向に積層した構造のものが一般的である。そのため、ラ
ダー型圧電フィルタの高さは各共振子の厚みの総和によ
り規制され、ケースおよび端子を含むラダー型圧電フィ
ルタの全高が高くなるという問題があった。特に、直列
共振子は並列共振子に比べて板厚が厚く、フィルタの全
高に対する影響度が大きい。
【0003】このような問題を解消するものとして、直
列共振子に長さ振動モードを利用した短冊形の圧電振動
子を用いるとともに、並列共振子に拡がり振動モードを
利用した正方形の圧電振動子を用い、直列共振子を左右
に並列配置することで薄型化を実現したラダー型圧電フ
ィルタが提案されている(特開平6−164307号公
報)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ラダー型圧
電フィルタの場合、ラダー1段当たりの通過帯域外減衰
量は並列共振子の容量と直列共振子の容量との比で決定
される。通過帯域外減衰量を所望の値に調整するには、
いずれかの共振子の容量値を変えればよいが、いずれの
共振子の容量値を変更するにも、その外形寸法(厚み,
長さまたは幅)を変更しなければならない。そのため、
製造工程が複雑になるとともに、寸法変更に伴って端子
やケースの形状も変更しなければならず、コスト上昇を
招くという欠点があった。
【0005】そこで、本発明の目的は、直列共振子に長
さ振動モード素子を用い、並列共振子に拡がり振動モー
ド素子を用いたラダー型圧電フィルタにおいて、直列共
振子の容量値を簡単にかつ自在に調整できるようにし、
任意の減衰量を得ることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明は、直列共振子に長さ振動モ
ードを利用した圧電振動子を用いるとともに、並列共振
子に拡がり振動モードを利用した圧電振動子を用い、直
列共振子と並列共振子とを梯子形の回路を形成するよう
接続してなるラダー型圧電フィルタにおいて、直列共振
子の一方主面の長さ方向の対称位置に、電極を分離する
2本の溝を短辺方向に設けて両主面電極間の容量を調整
したものである。
【0007】直列共振子の一方主面の長さ方向の対称位
置に電極を分離する2本の溝を設けると、2本の溝で挟
まれた領域が容量値を決定する。したがって、この溝の
位置を変化させるだけで、直列共振子の電極面積を自在
に調整できる、換言すれば容量を自在に調整することが
できる。このように、直列共振子の外形を同じにしなが
ら、溝の位置を可変させるだけで任意の容量を得ること
ができるので、製造工程としては、溝の加工が増えるの
みであり、外形寸法が同じであるから、端子やケースは
同一のものを使用することができる。
【0008】請求項2のように、直列共振子の溝を設け
た主面、またはこの主面と対向する主面の電極上に、長
さ方向のほぼ中央位置に導電性材料よりなる支持部材を
短辺方向に取り付けるのが望ましい。すなわち、ラダー
型圧電フィルタを組み立てる際、直列共振子の電極を端
子と導通接触させる必要があるが、端子に形成した突起
を直列共振子の表面に圧接させると、直列共振子が破損
したり、電極面が傷つきやすい。これに対し、直列共振
子の電極面上に導電性の支持部材を取り付けておけば、
この支持部材を介して端子と容易に導通させることがで
きるので、上記のような問題を解消できる。なお、支持
部材は直列共振子の片面あるいは両面のいずれに設けて
もよい。
【0009】長さ振動モード素子の場合、上記のように
短辺方向に溝を形成したり、支持部材などを取り付けて
も、その振動特性に殆ど悪影響を与えないという性質が
ある。ただし、溝の位置は長さ方向の対称位置に設けな
いと、スプリアスが大きくなり、好ましくない。
【0010】直列共振子に溝を加工するには、マザー基
板の段階で加工するのが望ましい。つまり、電極を形成
したマザー基板にダイシングソー等で溝加工を行い、次
に単位素子に切り離す加工(カット)をすれば、簡単に
直列共振子を得ることができ、加工工程の増加は僅かで
済む。また、支持部材の形成についても、マザー基板の
段階で形成し、その後でカットすれば、加工コストは殆
ど増加しない。支持部材の形成方法としては、例えば導
電ペーストを印刷等の手法で直線状に形成し、これを硬
化させればよい。
【0011】
【発明の実施の形態】図1〜図4は本発明にかかるラダ
ー型圧電フィルタの一例を示す。この実施例は4素子の
ラダー型フィルタであり、図5に示すような回路を構成
している。ケース1内には、2個の並列共振子2,3、
2個の直列共振子4,5、1個の入力端子6、2個の出
力端子7,8、1個のアース端子9および1個の独立接
続端子10が収納され、蓋板11で押圧保持した上、樹
脂12で封止されている。
【0012】ケース1は熱可塑性樹脂によって一面(実
施例では上面)に開口部1aを有する略箱形状に形成さ
れたものであり、4つの内面にはそれぞれ深さ方向(上
下方向)に連続するリブ1bが突設されている。これら
リブ1bは、並列共振子2,3、出力端子8、アース端
子9および独立接続端子10の周囲4辺を位置決めし、
回転止めを行なう機能を有する。リブ1bの上端はケー
ス1の開口部1aより一段低く形成されている。また、
対向する2つの内面のリブ1bの両側には、上下方向の
溝1cが2本ずつ形成され、これら溝1cに上記端子6
〜9のリード部6b〜9bが嵌合され位置決めされてい
る。
【0013】並列共振子2,3は拡がり振動モードを利
用した略正方形の圧電振動子であり、その表裏両面には
電極2a,2bおよび3a,3bが全面に形成されてい
る。
【0014】直列共振子4,5は、長さ振動モードを利
用した短冊形の圧電振動子であり、その表裏主面には電
極4a,4bおよび5a,5b(4bおよび5bは図示
されていない)が全面に形成されている。直列共振子
4,5の上側主面には、図7に示すように電極4a,5
aを分離する2本の溝4c,5cが短辺方向に形成され
ている。各溝4c,5cと両端までの距離L1,L2は
互いに等しい。なお、溝4c,5cの深さは電極4a,
5aを分離するだけの深さがあればよく、必ずしも本実
施例のように圧電体部分まで切削する必要はない。下側
主面の電極4b,5b上には、長さ方向のほぼ中央位置
に導電性材料よりなる支持部材4d,5dが短辺方向に
取り付けられている。直列共振子4,5はケース1の底
部に左右に並列に配置されているため、従来の拡がり振
動モードの共振子を積層したラダー型フィルタ全体に比
べて厚みを小さくすることができる。
【0015】入力端子6は、ケース1の底面に配置され
る電極板部6aと、この電極板部6aに対して直角に折
曲されたリード部6bとを有しており、リード部6bは
上記のようにケース1の溝1cに嵌合され、ケース1の
開口部1aから突出している。電極板部6aの上面に
は、直列共振子4の支持部材4dが接触し、電気的に導
通している。
【0016】出力端子7は入力端子6と全く同一の形状
を有しており、ケース1の底面に配置される電極板部7
aと、この電極板部7aに対して直角に折曲されたリー
ド部7bとを有し、リード部7bはケース1の溝1cに
嵌合され、ケース1の開口部1aから突出している。電
極板部7aの上面には、直列共振子5の支持部材5dが
接触し、電気的に導通している。
【0017】他方の出力端子8は導電性ばね板よりな
り、並列共振子2,3とほぼ同様な面積を有する4角形
の電極板部8aと、この電極板部8aに対して直角に折
曲されたリード部8bとを有している。電極板部8aの
中心部には、一方の並列共振子2の上面電極2aに接触
する接触部8cが下方へ突き出し形成されており、電極
板部8aは下方に向かって球面状に湾曲している。その
ため、出力端子8は厚み方向のバネ性を有している。リ
ード部8bはケース1の溝1cに嵌合され、ケース1の
開口部1aから突出している。なお、出力端子7,8は
個別に設けられているが、これら出力端子7,8のリー
ド部7b,8bは外部の回路(例えばプリント基板)で
相互に接続される。
【0018】アース端子9は、並列共振子2,3とほぼ
同様な面積を有し、2枚重ねで折り畳んだ電極板部9a
と、この電極板部9aに対して直角に折曲されたリード
部9bとを有しており、リード部9bはケース1の溝1
cに嵌合され、ケース1の開口部1aから突出してい
る。電極板部9aの中心部には、並列共振子2の下面電
極2bに接触する接触部9cと、並列共振子3の上面電
極3aに接触する接触部9d(図3参照)とが上下方向
に突き出し形成されている。
【0019】独立接続端子10はリード部を有しない個
別の端子であり、並列共振子2,3とほぼ同様な面積を
有する4角形板状に形成されている。接続端子10の中
心部には、並列共振子3の下面電極3bに接触する接触
部10aが上方へ突き出し形成されており、上記接触部
10aと交差するように側辺と平行に伸びる凸ビード状
の接触部10b,10cが下方へ突き出し形成されてい
る。これら接触部10b,10cは直列共振子4,5の
上面電極4a,5aの中心位置、つまり2本の溝4c,
5cによって分断された中央の電極部分に幅方向に接触
している。
【0020】蓋板11はケース1と同様な熱可塑性樹脂
よりなる略正方形の板よりなり、図4のようにケース1
の開口部1a、特にリブ1bを設けた部位より奥側に嵌
合し得る大きさに形成されている。そのため、蓋板11
の4辺にはリブ1bと係合する切欠溝11aが形成され
ている。切欠溝11aの内側部には、上方へ突出する溶
着用の突起部11bが突設されている。
【0021】次に、上記構成よりなるラダー型フィルタ
の組立方法を、図6に従って説明する。まず、図6の
(a)のように、ケース1の内部に並列共振子2,3、
直列共振子4,5、入力端子6、出力端子7,8、アー
ス端子9および独立接続端子10などの各部品を積層さ
せて収納する。そして、蓋板11をケース1の開口部1
aに嵌合させる。この段階では、出力端子8は殆ど圧縮
されておらず、蓋板11はやや浮き上がった状態にあ
る。次に、図6の(b)のように、プッシャPで蓋板1
1を上から押し込むことで出力端子8を撓ませ、部品同
士を圧接させる。この状態で、蓋板11の突起部11b
とケース1のリブ1bとをコテTなどを用いて熱溶着す
る。熱溶着以外に、超音波溶着を用いてもよい。熱溶着
すると、図6の(c)のように、蓋板11の突起部11
bとケース1のリブ1bとが溶着固定され、蓋板11は
抜け止めされる。その後、図6の(d)のように、蓋板
11とケース1の開口部1aとの間に形成される凹部に
液状樹脂12を注入し、固化させることで、ケース1の
内部を封止する。
【0022】一般にラダー型フィルタの場合、個々の部
品の厚みにバラツキがあると、部品同士の規定の接触圧
が得られなくなり、信頼性の低下を招く欠点があった。
これに対し、本実施例では、蓋板11をケース1の開口
部1aに嵌合させた際、蓋板11はその切欠溝11aが
リブ1bにガイドされて深さ方向(上下方向)に移動自
在であり、しかも溶着箇所は自由に変更できるので、プ
ッシャPで規定の接触圧になるまで蓋板11を押し込
み、その状態で蓋板11を溶着すれば、接触圧を常に一
定にでき、信頼性の高いラダー型フィルタを得ることが
できる。
【0023】また、従来のラダー型フィルタの場合、通
過帯域外減衰量(並列共振子の容量と直列共振子の容量
との比)を変更しようとすれば、並列共振子または直列
共振子の形状を変更しなければならず、変更が容易では
なかった。これに対し、上記実施例では、減衰量の変更
が直列共振子4,5の容量値を調整することで容易に行
なえる。その理由を以下に説明する。
【0024】図7に示すように、直列共振子4,5の容
量はその対向する電極の面積によって変化する。このと
き、下面電極4b,5bは全面電極であるから、電極面
積は変化しない。これに対し、上面電極4a,5aは横
断方向の2本の溝4c,5cによって3個の領域に分離
されており、両端の電極部分は電気的特性に寄与しない
ので、中央の電極部分のみが容量値を決定することにな
る。この中央の電極部分の長さ寸法をd、幅寸法をWと
すると、電極面積はd×Wとなる。Wは一定であるか
ら、長さ寸法をdを溝4c,5cの位置によって変更す
ることで、電極面積、ひいては容量値を自由に調整でき
る。つまり、直列共振子4,5の外形形状を変更せず
に、溝4c,5cの位置を変えるだけで容量値(通過帯
域外減衰量)を自由に調整できる。
【0025】図8は溝の位置と直列共振子4,5の容量
Cおよび電気機械結合係数Kとの関係を示したものであ
る。すなわち、溝4c,5cの位置が両端の場合(L1
/L=0%)には、容量値Cは最大であるが、溝が中心
部(50%)に近づくに従い、比例的に減少する。一
方、電気機械結合係数Kは溝の位置が両端と中心部との
中間(端面から全長の約12,5%の位置)で最大値を
とり、溝が中心部(50%)に近づくに従い小さくな
る。このように溝4c,5cの位置によってCとKの値
を最適な値に調整できることがわかる。
【0026】直列共振子4,5は、例えば図9に示すよ
うなマザー基板15から製造される。すなわち、マザー
基板15には長さ振動モードを励振できるように予め分
極処理が施されており、このマザー基板15の表裏両面
には全面に電極16,17が形成されている。マザー基
板15には一定方向にダイシングソーなどを用いて浅い
溝18が互いに平行に形成される。また、マザー基板1
5の裏面には、導電ペーストなどを用いて溝18と平行
に直線状に支持部材19が形成される。この支持部材1
9の形成方法としては、例えばスクリーン印刷法などを
用いることができる。支持部材19を形成した後、カッ
トラインC1およびC2に沿ってマザー基板15をカッ
トし、単位素子に分割すれば、直列共振子4,5を容易
に製造できる。このように、溝加工や支持部材形成とい
った工程が追加されても、マザー基板15の段階でこれ
ら溝や支持部材を形成することで、直列共振子4,5の
全体の製造時間に占める割合を小さくできる。したがっ
て、製造コストの上昇は僅かですむ。
【0027】上記実施例では、直列共振子4,5の片面
に支持部材4d,5dを形成し、他面は接続端子10の
突起10b,10cで接触させるようにしたが、直列共
振子の表裏両面に支持部材を形成してもよい。この場合
には、接続端子10の突起10b,10cは不要とな
る。また、直列共振子4,5の支持部材を廃止し、入力
端子6と出力端子7に接続端子10の突起10b,10
cと同様な幅方向の突起を形成し、これら突起を直列共
振子4,5の下面電極の中央部に接触させてもよい。実
施例の場合には、ケース1内に収納された各部品を確実
に導通接触させるために出力端子8をばね端子とした例
を示したが、板ばねあるいはクッション材を別に設けて
もよい。
【0028】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、直列共振子に長さ振動モード素子を用い、並列
共振子に拡がり振動モード素子を用いたラダー型圧電フ
ィルタにおいて、直列共振子の一方主面の長さ方向の対
称位置に、電極を分離する2本の溝を短辺方向に設けて
両主面電極間の容量を調整したので、ラダー型フィルタ
の減衰量を自由に設定することができる。しかも、直列
共振子の外形を同じにしながら、溝の位置を可変させる
だけで任意の容量を得ることができるので、製造工程と
しては、溝の加工が増えるのみであり、外形寸法が同じ
であるから、端子やケースは同一のものを使用すること
ができる。したがって、多種類のラダー型フィルタを安
価に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかるラダー型圧電フィルタの一例の
分解斜視図である。
【図2】図1の圧電フィルタの組立状態の斜視図であ
る。
【図3】図2のIII −III 線断面図である。
【図4】樹脂を注入する前の図1の圧電フィルタの底面
図である。
【図5】図1の圧電フィルタの回路図である。
【図6】図1の圧電フィルタの組立方法を示す説明図で
ある。
【図7】直列共振子の一例の斜視図である。
【図8】直列共振子の溝の位置による容量および電気機
械結合係数の特性図である。
【図9】直列共振子の製造に用いられるマザー基板の一
例の斜視図である。
【符号の説明】
1 ケース 1a 開口部 1b リブ 2,3 並列共振子 4,5 直列共振子 4c,5c 溝 4d,5d 支持部材 6 入力端子 7,8 出力端子 9 アース端子 10 接続端子 11 蓋板 12 封止樹脂

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】直列共振子に長さ振動モードを利用した圧
    電振動子を用いるとともに、並列共振子に拡がり振動モ
    ードを利用した圧電振動子を用い、直列共振子と並列共
    振子とを梯子形の回路を形成するよう接続してなるラダ
    ー型圧電フィルタにおいて、直列共振子の一方主面の長
    さ方向の対称位置に、電極を分離する2本の溝を短辺方
    向に設けて両主面電極間の容量を調整したことを特徴と
    するラダー型圧電フィルタ。
  2. 【請求項2】上記直列共振子の上記溝を設けた主面、ま
    たはこの主面と対向する主面の電極上に、長さ方向のほ
    ぼ中央位置に導電性材料よりなる支持部材を短辺方向に
    取り付けたことを特徴とする請求項1に記載のラダー型
    圧電フィルタ。
JP10127223A 1998-05-11 1998-05-11 ラダー型圧電フィルタ Pending JPH11330902A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10127223A JPH11330902A (ja) 1998-05-11 1998-05-11 ラダー型圧電フィルタ
TW088105502A TW461179B (en) 1998-05-11 1999-04-07 Ladder-type piezoelectric filter
US09/290,502 US6121858A (en) 1998-05-11 1999-04-12 Piezoelectric ladder filter with series resonators having a pair of grooves and method of forming same
CN99106735A CN1235411A (zh) 1998-05-11 1999-05-11 梯型压电滤波器
KR1019990016725A KR19990088172A (ko) 1998-05-11 1999-05-11 사다리형압전필터

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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006121886A (ja) * 2004-09-22 2006-05-11 Fuji Photo Film Co Ltd 駆動装置、レンズユニット、光量制御装置、及び撮像装置
US7492077B2 (en) * 2005-05-13 2009-02-17 Xinetics, Inc. Actuator for deformable optical component
US8079475B2 (en) * 2008-01-24 2011-12-20 Sonoco Development, Inc. Blister package
CN103455683B (zh) * 2013-09-12 2017-02-15 诺思(天津)微系统有限公司 一种压电声波滤波器的设计和布局方法
CN110268236B (zh) * 2017-02-13 2021-08-24 高级波传感器有限责任公司 测量单元

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5657524U (ja) * 1979-10-09 1981-05-18
US4431938A (en) * 1981-12-09 1984-02-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Grooved piezoelectric resonating element and a mounting therefore
CA1214835A (en) * 1982-12-28 1986-12-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric resonator
JPS60169927U (ja) * 1984-04-17 1985-11-11 株式会社村田製作所 ラダ−型フイルタ
JP3193403B2 (ja) * 1991-07-18 2001-07-30 日本特殊陶業株式会社 梯子型圧電フィルタ
JPH0690136A (ja) * 1992-09-07 1994-03-29 Murata Mfg Co Ltd ラダー用フィルタおよびその製造方法
JPH06152316A (ja) * 1992-11-05 1994-05-31 Murata Mfg Co Ltd ラダー型フィルタ
JPH06164307A (ja) * 1992-11-20 1994-06-10 Ngk Spark Plug Co Ltd 梯子型電気濾波器
JP3094717B2 (ja) * 1993-02-09 2000-10-03 株式会社村田製作所 圧電共振部品
JPH077367A (ja) * 1993-06-16 1995-01-10 Tdk Corp 圧電共振部品
JPH07235859A (ja) * 1993-12-28 1995-09-05 Kyocera Corp ラダー型フィルタ
JPH07240661A (ja) * 1994-02-25 1995-09-12 Ngk Spark Plug Co Ltd 高周波用ラダー型圧電フィルタ
JPH07240660A (ja) * 1994-02-25 1995-09-12 Murata Mfg Co Ltd ラダー型フィルタ
JPH0818382A (ja) * 1994-06-27 1996-01-19 Murata Mfg Co Ltd 圧電部品
JPH08237073A (ja) * 1995-02-27 1996-09-13 Tdk Corp ラダー型セラミックフィルタ
JP3077551B2 (ja) * 1995-03-03 2000-08-14 株式会社村田製作所 圧電共振部品
JPH10107579A (ja) * 1996-08-06 1998-04-24 Murata Mfg Co Ltd 圧電部品
JP3570599B2 (ja) * 1997-01-14 2004-09-29 株式会社村田製作所 圧電素子およびその製造方法

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