TW461179B - Ladder-type piezoelectric filter - Google Patents

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946 1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 i、發明説明（I ) 發明之背景 - L發明之領域 本發明乃關於一梯型壓電濾波器，其中，串聯及並聯 .之共振器彼此連接以界定一梯型電路。 2·相關技術之敘述 在一傳統梯型壓電濾波器中，串聯共振器及並聯共振 器係由方形壓電共振器所限定，該共振器適於在形振動模 式振動及在濾波器之厚度方向彼此成疊積。因此，梯型壓 電濾波器包括一盒體及終端，有一相當大之垂直尺寸，其 由共振器之總厚度決定。串聯共振器之厚度大於並聯共振 器之厚度，俾串聯共振器之厚度顯著增加濾波器之總垂直 尺寸。 爲解決上述問題，如日本專利申請公開號碼6-164307 所揭示，曾有建議一梯型壓電濾波器，其中，矩形壓電共 振器適於在縱向振動模式振動，被用來作爲串聯共振器， 方形壓電共振器適於在方形振動模式振動，被用來作爲並 聯共振器’串聯共振器以並肩（side-by-side)方式配置，因 此可以降低濾波器之總厚度或垂直尺寸。 在梯型壓電濾波器中，每一梯級之通帶外衰減(此後稱 ^帶外衰減)與在梯級中之串聯共振器及並聯共振器之電容 間之比値有關。此一衰減可經由改變串聯共振器或並聯共 振器之電容，而調整至一預定値。但無論是串聯共振器或 並聯共振器之電容作改變，共振器之外部尺寸(厚度，長度 .及寬度)勢必改變。因此，製造方法變成極端複雜，終端及 尺度適.用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 2937公釐） ；---^__^--Γ—---裝-------訂----^---線 (請先閱讀背面之注意事項再垠ί奉頁) , 461179 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（7 ) 盒體之形狀必須依照共振器尺寸之改變而改變，因而導致 成本增加。 本發明槪述 爲克服上述問題’本發明之較佳實施例提供一梯型壓 電濾波器，其中之串聯共振器由適於在縱向振動模式振動 之元件所限定’及並聯共振器由適於在方形振動模式振動 之元件所限定’該濾波器之構造可使串聯共振器之電容達 到簡單而無限制之調整’俾達成任何所期望之衰減。 本發明之較佳實施例提供一梯型壓電濾波器，其包括 適於在縱向振動模式振動之串聯共振器，每一串聯共振器 包括一壓電共振器，其具有一對主要表面配置在彼此之對 方，及一對電極配置在一對主要表面上;及適於在方形振動 模式中振動之並聯共振器’每一並聯共振器包括一壓電共 振器，其具有一對主要表面配置成彼此相對，及分別配置 在一對主要表面上之一對電極；串聯共振器及並聯共振器彼 此連接以限定一梯型電路，其中在每一串聯共振器之一主 要表面上與串聯共振器之中心線成對稱位置配置一對槽溝 ，該中心線與串聯共振器之縱向垂直，俾該對槽溝可沿與 串聯共振器中心線成平行之方向延伸，及將在一主要表面 之電極分開，因而可調整配置在串聯共振器之一對主要表 面上之一對電極間之電容。 當分隔電極之一對槽溝備於串聯共振器之一主要表面 時，如上所述，一對槽溝間之區域可決定電容。因此，改 變槽溝之相對位置可容易及自由調整串聯共振器之有效電 本紙張尺度適用中國國家榡準（CMS ) Μ規格（210 X 297公釐） — Γί_——.--裝-----丨訂-------線 (請先閲讀背面之注意事項再本頁) /. 4 6 1179 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（h ) 極區域。換言之，電容可自由調整。如上所述改變槽溝之 、位置可獲得任何希望之電容，而串聯共振器之外淨形狀保 持不變。結果，在製造程序中，僅增加以上述方式形成槽 溝之一步驟。此外，由於串聯共振器之外部尺寸不變，相 同之終端及盒體可用來作爲日後製造之所有濾波器之共同 元件。 在上述梯型壓電濾波器中，由導電材料所製之寞撐構 件最好備於串聯共振器之另一主表面上，槽溝即備於其上 ’或在串聯共振器之其他主表面上，在縱向之電極之中央 位置’俾支撐構件可與中心線平行延伸，該中心線與串聯 共振器之縱向實質上成垂直。 在裝配梯型濾波器時，串聯共振器之電極配置後與一 終端接觸’以建立與其成電接觸。但，備於終端上之突出 物與串聯共振器之表面成壓力接觸，串聯共振器可能斷裂 或電極表面可能受損。反之，如導電材料之支撐構件連接 在串聯共振器電極之表面，串聯共振器經由支撐構件與終 端成電連接，因此，上述問題得以避免。支撐構件可備於 一主要表面上，或在串聯共振器之二主要表面上。 在適於縱向振動模式中振動之元件情況下，即使槽溝 備於元件上，如上所述，或支撐構件連接在上述之元件上 ，元件之各種特性未受嚴重影響。但如槽溝與中心線不成 對稱，該中心線與元件之縱向垂直，亂真之輸出將有害地 增加。 在串聯共振器中形成槽溝最好在母基體形成步驟中執 _______ ________ S _________ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 ο X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再：W本頁〕 •裝. ,βτ 線 4Ί i ^ ozw ^ ^ wsx 1 b 1 ^ i睦I m I薄謀N i恭画； > 6 C淨 6D _麵 1 N f睦_ _ I簿課猫SB擁；_沙s画； 画 7 _ ——I i I i ^ ϋ ^ i ^s 1 ^ I w 1潘虜 f - s^l — ώκί ^ n^iin^i m r&N m 染； 1 ^ i ^ ^ I — t i ^ n w- s Φ i s ^ s a» I。齊f— _諸智」；^券皆 1_1 2.1 _Jw 1P1 私 画5 _ 一_|α\.Α. 一 ^ Is — ί i n uw ® i ®- I i 1 ^ w nt $ HHH — WHH ^ w- s s i - i Μ ϋ m ί* 薄 I ^E id-niimwmr M i mm 0 11^1¾iMisi o I 3 s' s 函 i i讲織s丨® _ _諸令」N i ^s B- ^

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-P >rj W7 461179 經濟部智蚝財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（<) 圖1-4爲本發明較佳實施例之梯型壓電瀘波器。 本較佳實施例爲一包括四個元件之梯型濾波器，該元 件構成圖5中之電路。盒體1中容納二並聯共振器2及3 、及一串聯共振器4及5、一輸入終端6、二輸出終端7及 8、一接地終端9、及一獨丛連接終端10。此等組件彼此疊 積、壓縮並由一蓋子11固定，盒體1由樹脂I2密封。 盒體1最好由熱塑膠樹脂製成俾有一盒狀外形。盒體 1有一開口部la位於一表面上(較佳實施例中之上方表面） 。肋狀物lb備於盒體1之四個內表面之各者上，俾肋狀部 lb可在深度方向延伸(垂直方向）。肋狀部lb位於每一並聯 共振器2及3、輸出終端8、接地終端9、及獨立連接終端 10之四個週圍側，因此可防止此等組件在盒體1中之旋轉 或移動。垂直槽溝lc備於二相對肋狀部lb之另一側。終 端6-9之引線部份6b-9b位於槽溝lc中以便定位。 每一並聯共振器2及3最好由一壓電共振器限定，而 該共振器具有實質上爲方形，並適於在方形模式中振動。 電極2a及2b分別配置在並聯共振器2之整個上方或整個 下方主表面之上。同理，電極3a及3b則分別形成在並聯 共振器3之整個上方主表面及整個下方主表面。 串聯共振器4及5最好爲實質上矩形壓電共振器’能 適於在縱向振動模式中振動。電極4a及4b(4b未示出)分 別配置在串聯共振器4之整個上及下主表面上。同理’電 極5a及5b(5b未示出)分別形成在串聯共振器5之整個上 及下表面。 -7 __ ----丨·-->1 I--裝----^----訂--------線 (請先閲讀背面之注意事項再·本頁) Γ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 461179 A7 B7 五、發明说明（k ) 如圖7所示，爲分開電極4a，一對槽溝4c分別備於 串聯共振器4之上方主表面上’與中心線成對稱位置’該 線與串聯共振器4之縱向成垂直，並沿串聯共振器4之較 短側延伸。爲分開電極5a，一對槽溝5c備於串聯共振器5 之上方表面與中心線成對稱位置，該中心線CL與串聯共 振器5之縱向成垂直，並以串聯共振器5之較短側之方向 延伸。在一槽溝4c(5c)及串聯共振器4(5)之對應平行邊緣 間之距離L1最好等於另一槽溝4c(5c)及串聯共振器4(5)之 對應平行邊緣間之距離L2。槽溝4c(5c)應有一深度，俾槽 溝4c(5c)可將電極4a(5a)分爲三區域。雖然本較佳實施例 中，槽溝k(5c)係形成後延伸進入壓電本體’槽溝4c(5c) 不必延伸進入壓電本體。 由導電材料製成之支撐構件4d(5d)在電極4b(5b)之下 方主表面上形成，並在縱向之電極之一實質中心位置，俾 支撐構件4d(5d)可與串聯共振器4(5)之較短側爲實質上平 行延伸。由於串聯共振器4及5係以肩倂肩安排於盒體1 之底部，濾波器之總厚度與傳統之梯型濾波器相比係大舉 降低，因其中之適於在方形振動模式振動之共振器係疊堆 在一起。 輸入終端6有一電極板部份6a及引線部份6b，其係 則彎曲以便與電極板部份6a成垂直延伸。電極板部份6a 配置在盒體1之底表面。引線6b則裝在盒體1之對應槽溝 lc中’並自盒體！之開口 la突出。串聯共振器4之支撐 構件4d與電極板部份6a之上表面接觸，以與其建立電連 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNs ) A4規格（210 X 297公嫠） 1ΙΓ ^--L----裝-------訂------線 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) /, 01

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4皿3逮萍。馨圧黎— 7 r苗它南篮__商7P热 ϊ^ 一 S "β 。山 ί、薪 ,S 皿除 ¢1 NSDi κ丑5α篮練菌商誤$ TP Π >7 W-7 Λ7 461179 五、發明説明（《） 部份，一接觸部份9d向下突出以便與並聯共振器3 (圖3 )之上表面電極3a接觸。 獨立連接終端爲一無引線部份之單獨一終端，其爲 一方形板，其表面面積係實質上等於並聯共振器2及3之 表面積。自獨立連接終端10之下表面之中心部份，一接觸 部份l〇a向上突出以便與並聯共振器3之下方表面電極3b 接觸。脊形接觸部份l〇b及l〇c自獨立連接終端10之表面 向下突出，俾接觸部份l〇b及10c可沿一通過接觸部份 l〇b之一線延伸，並與獨立連接終端10之一側平行。接觸 部份10b ( 10〇與串聯共振器4 (5)之上表面電極4a ( 5a)之中心部份接觸。即，接觸部份10b ( 10c)與電極之 中心部份接觸，該部份由二槽溝4c (5c)自側部隔離。 通常爲方形之蓋子11宜由熱塑膠樹脂製成，其用以製 造盒體1。如圖4所示，蓋子11之大小可使其裝在盒體1 之開口部份la中，特別在開口 la之較深側，該處備有肋 部lb。爲此一深度安裝，在蓋子之四側之每一側宜備有一 凹隙Ua以與對應之肋部lb接合。供焊接之突出部lib自 每一凹隙11a之內緣向上伸出。 其次，裝配具有上述結構之梯型濾波器之方法將參考 圖6A—6D予以說明。 首先，如圖6A所示，諸如並聯共振器2及3、串聯共振 器4及5、輸入終端6及輸出終端7及8、接地終端9及獨 立連接終端10之元件均堆疊在盒體1內。培荖丄y子、11 裝在盒體1之開口部份la中。在此階段，輸出終端8稍作 I 訂 線 (請先閱it背面之注意事項再本頁)

經濟部中央標準局員工消费合作社印I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4祝格（21〇X：Z97公釐） 461179 經濟部中央標準扃員工消费合作社印装 A7 ___ _B7_________ 五、發明説明（1 ) 丨· 壓縮’盍子Π爲稍微提起之狀態。 其次，如圖6B所示，蓋子11用推動機P向下壓以便 使輸出終端8彎曲或變形，以使元件在壓力下集在一起。 在此階段，蓋子11之突出部lib及盒體1之肋部lb用烙 鐵T或類似工具焊接一起。此情況下，做爲傳統焊接之預 備方案，超音波焊接亦可使用。 如圖6C所示，在焊接完成時，蓋子11之突出部lib 及盒體1之肋部lb固定在一起，故蓋子11可被防止脫離 〇 接著，如圖6 (d)所示，液體樹脂12注入由蓋子11 及盒體1之開口部份la所形成之中凹空間，並予以乾涸以 便將盒體1內部密封。 通常，在傳統梯型濾波器情況下，如在組件之厚度上 有變化，組件間即不能產生預定之接觸壓力，因而導致降 低之可靠度。對照之下，本發明之較佳實施例中，在安裝 蓋子11於盒體1之開口部份la之步驟期間，蓋子11可在 盒體1之深度方向自由移動（即在垂直方向），而凹隙 11a被肋部lb所導引，焊接位置可自由改變。因此，蓋子 11用推動器jB麗縮進人盒體..1，直到定篮饅房力’ 此時，蓋子11被焊接在盒體1上。經由此一作業，接觸壓 力始終不變，故可獲得高可靠度之梯型濾波器。 在傳統梯型濾波器中，爲了改變帶外衰減，串聯及並 聯共振器之形狀必須改變，導致極大困難。對比之下，上 述之較佳實施例中，衰減可由調整串聯共振器4及5之電 _ - · 1C4-一 ， ^ — J n I »·. ^ I I ^ ' 鱗 (請先閱讀背面之注意事項再^本頁) / 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ#見格（210X 297公釐） 461179 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（fO ) 容而予以改變。其理由敘述如下。 如圖7所示，每一串聯共振器4及5之電容之改變與 相對配置之電極之面積有關。在此較佳實施例中，由於下 方表面電極4b (5b)爲整個表面電極，電極之面積無法改 變。對比之下，上方表面電極4a (5a)係被二側向延伸之 槽溝4c (5c)分爲三區域。因此，電極部份之相對區域對 電容之改變無關，僅有電極之中央區域決定電容。電極之 面積由dXW代表，其中d爲電極部份中央區域之長度， W爲中央區域之寬度。因爲W爲固定的，電極之面積，即 .電容可由長度之改變而自由調整，亦可經由改變槽溝4c ( 5c)之位置而調整。即，電容（帶外衰減）可改變槽溝4c (5c)之位置而自由調整，而無需改變串聯共振器4 (5) 之外形。 圖8顯示槽溝位置、串聯共振器4 (5)之電容C及電 機械耦合因數K間之關係。 如圖8所示，如二槽溝4c (5c)備於相反末端（L1/ LX 100=0 (%))，電容C可達最大値。當槽溝接近中 .央部份（50% )，電容C則線性降低。另一方面，電機械 耦合因數K在槽溝提供在相反末端及中央部份間之中部位 置時爲最大値（自縱端表面測量之全長度之12 · 5%位置 )。此外，電機械耦合因數K在槽溝接近中央部份（50% )時降低。吾人了解C値及K値可經由改變槽溝4c (5c) 之位置而予以調整。 串聯共振器4及5係由母基體I5製成，如圖9所示。 __ _12____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4蜆格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再麥〆<'本頁) 裝· A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（lU 母基體15事先受到極化，故縱向振動模式可被激勵。電極 16安排成沿母基體15之整個上方表面延伸。電極17安排 成沿母基體15之整個下方表面延伸。淺槽溝18利用切割 鋸或類似工具在母基體15中形成，俾彼等可在某方向彼此 .平行延伸。支撐構件19經由導電糊安裝在母基體15之下 方袠面上，俾支撐構件19與槽溝18成平行之直線中延伸 。支撐構件19最好由篩網印刷或適當方法形成。在支撐構 件19形成之後，母基體15沿切割線C1及C2切割成單位 元件，俾串聯共振器4及5可易於製造。 如上所述，即使槽溝及支撐構件之形成步驟需要另外 執行，執行此等步驟所需時間可降至最低’因爲槽溝及支 撐構件係在母基體15構成期間所形成。因此僅增加少許製 -造時間及成本。 上述較佳實施例中，，支撐構件4d (5d)係備於串聯共 振器4 ( 5)之下方主表面上，串聯共振器4 ( 5)之上方主 表面與連接終端之突出部10b ( 10c)接觸。或者，支 撐構件可備於串聯共振器之每—上方及下方表面。在此情 況下，連接終端10之突出部10b及10c可不再需要。 或者，下列結構亦可使用：串聯共振器4及5之支撐 構件可予省略；一橫向延伸突出部’其形狀與連接終端10 之突出部10b及10c相同’備於每一輸入終端6及輸出終 端7之上方表面上；及突出部安排成與串聯共振器4及5 之下方表面電極之中央部份接觸。 在本較佳實施例中’輸出終端8可具彈性，故可在盒 (請先閱讀背面之注意事項再珍"本頁) -d 丁 % 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4祝格（2i〇X297公慶） 46 1 9 趣濟部中夬椽率局員工增費合作·社印製 A7 B7 五、發明説明（W) 11 1中之組件間獲得可靠導電接觸。但，一彈簧板或襯墊 材料可與終端分離而提供。 自以上說明可明顯了解，本發明提供一梯型壓電濾波 器’其包括適於在縱向振動模式振動之串聯共振器，及適 於在方形振動模式中振動之並聯共振器。在此梯型壓電濾 波器中，在串聯共振器之—主表面上與中心線成對稱之位 ® ’備有二電極分開槽溝，該中心線與串聯共振器之縱向 實質上成垂直，俾一對槽溝可沿與串聯共振器之中心線成 平行之方向延伸，以便調整一對主表面之電極間之電容。 結果，梯型壓電濾波器之衰減可準確而容易地設定在一理 想値。 此外，任何理想之電容可僅以改變槽溝之位置而達成 ’而串聯共振器之外形可保持不變。因此，在製造過程中 ，僅需額外執行形成槽溝之步驟。由於串聯共振器之外部 大小保持不變，相同之盒體及終端可在不词型式之梯型濾 + .波器中共用，俾不同型式之梯型濾波器可以低成本製造。 本發明已以較佳實施例顯示及說明如上，精於此技藝 之人士將可了解在形式上及細節上可有其他之改變，而不 致有悖離本發明之精神。 (請先閱讀背面之注意事項再够X'本頁) -- i 線--- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八私見格（2IOX297公釐）

Claims (1)

1. 、申請專利範圍 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 h〜種梯型壓電濾波器，包含： 適於在縱向振動模式中振動之串聯共振器，每一串聯 共振器包含一壓電共振器，其具有一對主表面成彼此相對 ’及一對分別配置在該對主表面上之電極；及 適於在方形振動模式中振動之並聯共振器，每一並聯 共振器包含一壓電共振器，其具有一對主表面成彼此相對 配置，及分別配置在該對主表面上之一對電極;此等串聯共 振器及並聯共振器彼此連接，俾界定一梯型電路，其中 一對槽溝分別備於每一串聯共振器之一主表面上，於 與中心線成對稱之位置，該中心線實質上與各串聯共振器 之縱向成垂直，俾該對槽溝於與各串聯共振器之中心線實 質上平行之方向延伸，及將一主表面上之電極分隔’以調 整在各串聯共振器之該對主表面上配置之該對電極間之電 容。 2. 如申請專利範圍第1項之梯型壓電濾波器’其中每 —串聯共振器具有一矩形之形狀，及具有一較寬度爲大之 長度。 3. 如申請專利範圍第1項之梯型壓電濾波器，其中每 —並聯共振器具有一實質上方形之形狀，及具有一與寬度 相等之長度。 4. 如申請專利範圍第1項之梯型壓電濾波器，其中每 一串聯共振器包括一壓電基體’且電極配置在壓電基體上 ，其中槽溝延伸通過該電極。 5. 如申請專利範圍第4項之梯型壓電濾波器，其中之 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4現格（210X297公嫠） ! j I n -訂 111 線 (請先閱讀背面之注意事項再^r本頁) / 6 4 117 9 、申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 槽溝延f丨 6.$ 槽溝實 7.$ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 該壓電基體。 專利範圍第4項之梯型壓電濾波器，其中之 $該壓電基體之相對邊緣成平行延伸。 、、 ik專利範圍第4項之梯型壓電濾波器 槽溝沿該懕電基體之全寬度延伸。 、 如申睛專利範圍第4項之梯型壓電濾波器 槽'溝位於該壓電基體之相對末端區域，並以實質上相同之 距離自顧轉體之循邊緣分開。 片9·如申請專利範圍第1項之梯型壓電濾波器，其中在 第個串聯共振器中之槽溝係與第二個串聯共振器中之槽 溝對齊。 r 10,如申請專利範圍第1項之梯型壓電濾波器，其中一 導電材料作成之支撐構件備於串聯共振器之一主表面上之 電極上，其上備有槽溝，或在串聯共振器之另一主表面上 ，並在縱向電極之中央位置，俾支撐構件可實質上與中心 線成平行延伸，該中心線係實質上與串聯共振器之縱向成 垂直。 11.一種構成梯型壓電濾波器之方法，包含下列步‘驟： 構成一母基體， 在母基體之第一主表面上形成第一電極； 在母基體之第二主表面上形成第二電極； 一 在第一主表面上形成槽溝，俾槽溝係實質上彼此2

   延伸；及 其中之 其中之 沿係實質上與槽溝平行及實質上垂直之方向之 線切割 (請先閲讀背面之注意事項再本頁) 裝. -、-·β· •線· 本紙張尺度適用中國國家棵準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 4 117 9 έ88 __§__ 六、申請專利範圍 母基體，以形成濾波器單元元件。 12. 如申請專利範圍第11項之方法，尙包含在切割母 基體之步驟前，在母基體之第二主表面上形成支撐構件之 步驟。 13. 如申請專利範圍第12項之方法，其中之支撐構件 係實質上與槽溝平行延伸。 14. 如申請專利範圍第11項之方法，其中之母基體用 來產生複數個串聯共振器，此方法尙包含下列步驟： 提供一盒體； 、 形成適於在方形振動模式振動之並聯共振器，每一並 聯共振器包含一壓電共振器，其具有一對彼此相對之主表 面，及一對分別配置在該對主表面上之電極； 疊積串聯共振器及並聯共振器於盒體中； 將串聯共振器與並聯共振器彼此連接，以界定一梯型 電路；其中 每一串聯共振器包括一對槽溝，其分別備於每一串聯 共振器之第一主表面上，並係在與一中心線成對稱之位置 ，該中心線係實質上與各串聯共振器之縱向垂直，俾該對 槽溝可與各串聯共振器之中心線成實質上平行延伸，及將 一主表面上之電極分隔，以調整分別配置在各串聯共振器 之該對主表面上之該對電極間之電容。 15. 如申請專利範圍第14項之方法，其中每一串聯共 振器有一實質上爲矩形之形狀及大於寬度之長度。 16. 如申請專利範圍第14項之方法，其中每一並聯共 (請先閱讀背面之注意事項再t本頁) ----；----Γ ：--： J----.裝------，訂-------線 I · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 \紙張纽逋元中國國家梯準（CNS ) Α4規格(210X297公釐) 46 1 1 7 9 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 振器有一實質上爲方形之形狀及有一實質上與寬度相等之 長度。 Π.如申請專利範圍第’14項之方法，其中每一串聯共 振器包括一壓電基體，電極係配置在壓電基體之上，其中 槽溝通極延伸。 18. 靑專利範圍第π項之方法，其中槽溝延伸進 入該壓電^卜 19. 如申g靑專利範圍第17項之方法，其中槽溝與該壓 電基體之枏對邊緣成大致平行延伸。 20. 如申請專利範圍第Π項之方法，其中槽溝沿該壓 電基體之全寬度延伸。 21·如申請專利範圍第17項之方法，其中之槽溝位於 該壓電基體之相對末端區域，並以實質上相同距離自壓電 基體之相對邊緣分隔。 22.如申請專利範圍第I4項之方法，其中在第一個串 聯共振器中之槽溝與第二個串聯共振器中之槽溝對齊。 “---II:----裝------.訂--------線 (請先閱讀背面之注意事項再衡寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消貪合作社印製 I紙 本 適 辨 釐 74Γ 9