DE60206939T2 - Spiraluhrwerkfeder und Verfahren zu deren Herstellung - Google Patents

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft das Regulierorgan von Uhrwerken, die so genannte Spiralunruh. Insbesondere betrifft sie einerseits eine zur Ausrüstung der Unruh eines mechanischen Uhrwerks bestimmte Spiralfeder, und andererseits ein Verfahren zur Herstellung dieser Spiralfeder.
  • Bezugnehmend auf die vorgängige, am 7. Juni 2001 eingereichte Patentanmeldung DE-A-101 27 733, hat der Anmelder aus eigenem Antrieb die Tragweite der vorliegenden Patentanmeldung eingeschränkt und für Deutschland separate Patentansprüche aufgeführt.
  • Das Regulierorgan der mechanischen Uhren besteht aus einem Schwungrad, der so genannten Unruh, und einer spiralförmigen Feder, die so genannte Spiralfeder oder Spirale, die an einem Ende an der Unruhwelle, und am anderen Ende an einer Brücke, dem so genannten Unruhkloben befestigt ist, in dem die Unruhwelle gelagert ist.
  • Die Spiralunruh schwingt um ihre Gleichgewichtsposition, bzw. ihren Totpunkt. Beim Verlassen dieser Position bewirkt die Unruh das Vorspannen der Spirale, wodurch ein Rückholdrehmoment erzeugt wird, das die Spirale, nach ihrer Freigabe, zur Rückkehr in ihre Gleichgewichtsposition veranlasst. Da der Unruh hiermit eine gewisse Geschwindigkeit und damit eine kinetische Energie verliehen wird, schwingt sie über ihren Totpunkt hinaus, bis das Gegendrehmoment der Spirale sie anhält und zum Rückschwingen zwingt. Die Spirale reguliert somit die Schwingungsperiode der Unruh.
  • Genauer betrachtet, ist die bisher in mechanische Uhrwerke eingebaute Spiralfeder ein um 12 bis 15 Windungen in Form einer Archimedesspirale aufgerolltes elastisches Metallband mit rechteckigem Querschnitt. Es sei daran erinnert, dass die Spirale im Wesentlichen durch ihr Rückholdrehmoment gekennzeichnet ist, das in erster Annäherung durch folgende Formel ausgedrückt wird: M = E/L(w3·t/12·φ) wobei
    • – E: Elastizitätsmodul des Bandes [N/m2]
    • – t: Dicke der Spiralfeder
    • – w: Breite der Spiralfeder
    • – L: Länge der Spiralfeder
    • – φ: Torsionswinkel (Rotation der Unruhwelle)
  • Verständlicherweise muss die Rückholkonstante bzw. Steifigkeit einer Spirale C = M/φ,die das Rückholdrehmoment je Torsionswinkeleinheit kennzeichnet, unter jeder Bedingung, insbesondere betreffend Temperatur und Magnetfeld, möglichst konstant sein.
  • Derzeitig werden komplexe Legierungen verwendet, sowohl aufgrund der Anzahl der Komponenten (Eisen, Kohlenstoff, Nickel, Chrom, Wolfram, Molybdän, Beryllium, Niobium ...), als auch der angewandten metallurgischen Verfahren. Angestrebt wird die Erzielung eines Selbstausgleichs der Elastizitätsmodulschwankungen des Metalls durch Kombination zweier gegensätzlicher Einflüsse, bzw. jene der Temperatur und der magnetischen Konstriktion (Kontraktion der magnetischen Körper bei deren Magnetisierung).
  • Die heutigen Metallspiralen sind schwierig herzustellen. Zuallererst, weil die spezifischen mechanischen Eigenschaften des Metalls infolge der Komplexität der zur Erzeugung der Legierungen angewandten Verfahren von einer Produktion zur anderen nicht konstant sind, und dann, weil die Einregulierung, d. h. die zur Erzielung einer jederzeit möglichst genauen Uhrzeitanzeige angewandte Technik umständlich und zeitraubend ist, wobei Arbeitsgänge mit zahlreichen manuellen Eingriffen notwendig sind und viele fehlerhafte Teile zum Ausschuss gezählt werden müssen. Aus diesen Gründen ist die Produktion kostspielig und die Aufrechterhaltung eines hohen Qualitätsniveaus eine ständige Herausforderung.
  • Des Weiteren ist das Dokument JP-A-06117470 bekannt. Darin ist eine aus Einkristallsilizium hergestellte spiralförmige Feder beschrieben, die so dimensioniert ist, dass sie eine konstante Rückholkonstante aufweist, um ein hochgenaues elektrisches Messgerät auszurüsten. Dieses Dokument lässt allemal nichts über die Temperaturstabilität der Rückholkonstante dieser Feder verlauten, die deshalb auch nicht direkt als Spiralfeder in einem Uhrwerk verwendbar ist.
  • Mit der vorliegenden Erfindung wird zwecks Behebung dieser Nachteile eine Spirale vorgeschlagen, deren Empfindlichkeit gegenüber Temperaturschwankungen und Magnetfeldern auf ein Minimum reduziert ist. Zudem unterliegen die ausgelieferten Spiralen, dank fertigungstechnischer Verfahren, die eine vollkommene Nachvollziehbarkeit gewährleisten, keinen Qualitätsschwankungen.
  • Genauer betrachtet, betrifft die Erfindung eine zur Ausrüstung der Unruh eines mechanischen Uhrwerks bestimmte Spiralfeder, die durch ein spiralförmiges Federstäbchen gebildet wird, dessen Windungen eine Breite w und eine Dicke t aufweisen. Dieses Federstäbchen umfasst eine Seele aus Silizium und eine diese umschließende Außenschicht der Dicke ξ, die aus einem Material besteht, das einen ersten, dem Silizium entgegengesetzten Temperaturkoeffizienten des Elastizitätsmoduls aufweist.
  • Erfindungsgemäß ist das Maßverhältnis ξ/w so bestimmt, dass ein erster Temperaturkoeffizient (C1) der Rückholkonstante (C) von vorbestimmtem Wert erzielt wird.
  • Vorteilhafterweise ist die Außenschicht aus amorphem Siliziumoxid (SiO2) hergestellt.
  • Das Maßverhältnis ξ/w ist so bestimmt, dass der erste Temperaturkoeffizient (C1) der Rückholkonstante (C) minimalisiert wird, und entspricht vorzugsweise ungefähr 6% der Breite w des Federstäbchens.
  • Zur Minimalisierung des zweiten Temperaturkoeffizienten (C2) ist die Breite w des Federstäbchens in Abhängigkeit des die Orientierung jedes seiner Punkte in Polarkoordinaten bestimmenden Winkels θ periodisch moduliert. Vorteilhafterweise kann die Modulation auch so ausgeführt werden, dass die örtliche Biegesteifigkeit des Federstäbchens konstant ist.
  • Zur Optimierung des Temperaturverhaltens der Spiralfeder weisen die Dicke t des Federstäbchens, seine in der Spiralebene modulierte Breite w und die Dicke ξ der Siliziumoxidschicht Werte auf, für welche die Temperaturdrift der Rückholkonstante C innerhalb eines gegebenen Temperaturbereichs minimal ist.
  • Die Erfindung betrifft ebenfalls ein Verfahren zur Bestimmung der optimalen Abmessungen der eben definierten Spiralfeder. Dieses Verfahren umfasst die nachstehende Schrittfolge:
    • – Mathematische Formulierung der Steifigkeit der Spiralfeder in Abhängigkeit ihrer Dicke t, ihrer in der Spiralebene modulierten Breite w und der Dicke ξ der Siliziumoxydschicht, sowie der elastischen Anisotropie des Siliziums und der Temperatur,
    • – Berechnung des Temperaturverhaltens, bzw. insbesondere der zwei ersten Temperaturkoeffizienten (C1 und C2) der Rückholkonstante der Spiralfeder, für sämtliche möglichen Wertekombinationen der Parameter t, w, ξ innerhalb eines gegebenen Temperaturbereichs, und
    • – Aussonderung der Kombinationen von t, w, ξ, für welche die Temperaturdriften dieser Koeffizienten minimal sind.
  • Zum leichteren Verständnis der Erfindung soll die nachstehende Beschreibung beitragen, die der beigelegten Zeichnung gegenübersteht, deren Abbildungen folgendes veranschaulichen:
  • 1 stellt eine erfindungsgemäße Spiralfeder dar,
  • 2 zeigt in a ein Segment und in b einen Querschnitt dieser Spirale zur Veranschaulichung der in der Beschreibung verwendeten Parameterreferenzen, und
  • 3 veranschaulicht die Anisotropie des Elastizitätsmoduls in der Ebene {001} des Siliziums.
  • Die erfindungsgemäße, in den 1 und 2 in 10 dargestellte Spirale ist ein spiralförmiges Federstäbchen, das beispielsweise im Plasma-Bearbeitungsverfahren aus einer Platte {001} aus Einkristallsilizium herausgeschnitten wurde. Dieser Werkstoff ist unmagnetisch und beliebig gestaltbar sowie bei geringen Kosten herstellbar.
  • Leider muss festgestellt werden, dass es schwierig ist, eine Spiralfeder aus Silizium mit konstanter Rückholkonstante C zu erzielen, denn das Elastizitätsmodul E des Federstäbchens wird stark von der Temperatur beeinflusst. Es ist also unbedingt notwendig, diese Einwirkung auszugleichen.
  • Bei der Darstellung der Temperaturempfindlichkeit einer elastischen Struktur im mathematischen Modell, werden üblicherweise die Temperaturkoeffizienten der Rückholkonstante C dieser Struktur eingesetzt, und zwar so, wie sie in einer mathematischen Reihe des folgenden Typs erscheinen C = C0(1 + C1ΔT + C2ΔT2 ...),wobei C1 der Nennwert der Rückholkonstante C, und C1 und C2 deren erster, respektive zweiter Temperaturkoeffizient sind. Es werden hier nur die beiden ersten Koeffizienten einberechnet, da die nachfolgenden vernachlässigbar sind.
  • Es ist also verständlich, dass zur Erzielung einer möglichst temperaturunempfindlichen Rückholkonstante C eine Minimalisierung der Temperaturkoeffizienten C1 und C2 angestrebt wird.
  • Es soll daran erinnert werden, dass Einkristallsilizium eine Kristallanisotropie aufweist, wobei es in der Ebene {001} in Richtung <110> starrer als in Richtung <100> ist, was selbstverständlich die Biegesteifigkeit der Spirale 10 beeinflusst.
  • Das Elastizitätsmodul E(a) der Ebene {001} des Siliziums kann, wie im Fall der Rückholkonstante, durch eine mathematische Reihe des folgenden Typs ausgedrückt werden E(a) = E0 (a)(1 + E1 (a)ΔT + E2 (a)ΔT2),wobei E0 (a) der Nennwert des Elastizitätsmoduls E(a), und E1 (a) und E2 (a) dessen erster, respektive zweiter Temperaturkoeffizient sind. Diese drei Koeffizienten sind insbesondere in der 3 in Abhängigkeit der Orientierung in Bezug auf die kristallographischen Achsen dargestellt.
  • Der erste Temperaturkoeffizient E1 (a) des Elastizitätsmoduls ist stark negativ (ungefähr – 60 ppm/°C) und der Nennwert des Elastizitätsmoduls E0 (a) beträgt 148 GPa in Richtung <100> der Ebene {001}. Die Temperaturdrift einer Spiralfeder aus Silizium beträgt somit ungefähr 155 Sekunden/Tag im uhrentechnischen Bereich von 23° ± 15°C und ist somit nicht vereinbar mit den uhrentechnischen Anforderungen, die in der Größenordnung von 8 Sekunden/Tag liegen.
  • Um diese Drift auszugleichen, besteht die erfindungsgemäße Spirale 10 aus einer Seele 12 aus Silizium und einer Außenschicht 14 aus SiO2, deren erster Temperaturkoeffizient E1 (b) stark positiv ist. Er beträgt ungefähr +215 ppm/°C und der Steifigkeitsnennwert E0 (b) ungefähr 72,4 Gpa.
  • Diese durch thermische Oxidierung nach irgendeinem bekannten Verfahren erhaltene symmetrische Dreiblattstruktur ermöglicht demnach, auf die Temperaturstabilität der Gesamtsteifigkeit der Spirale in der planaren Biegungsebene einzuwirken.
  • Es kann aufgezeigt werden, dass bei einer in der Ebene {001} ausgeschnittenen Spiralfeder eine optimale Minimalisierung des ersten Temperaturkoeffizienten C1 der Rückholkonstante der Spirale bei einer ungefähr 6% der Spiralfederbreite betragenden Dicke der Oxidschicht 14 erzielt wird.
  • Erfindungsgemäß kann die Minimalisierung des zweiten Temperaturkoeffizienten C2 durch Modulation der Breite w der Spirale (entsprechend deren Abmessung in ihrer Abrollebene) in Abhängigkeit des entsprechenden, die Orientierung jedes der Spiralpunkte in Polarkoordinaten kennzeichnenden Winkels θ erzielt werden.
  • Wie in der 1 ersichtlich, kann die Modulation realisiert werden, indem die Spirale in der steiferen Richtung <110> dünner und in der weniger steifen Richtung <100> dicker bemessen wird. Damit kann die Anisotropie des Siliziums ausgeglichen und eine konstante örtliche Biegesteifigkeit erzielt werden, wobei von einer elastisch ausgewogenen Spirale die Rede ist.
  • Wird in diesem besonderen Fall mit wo eine Bezugsbreite der Spirale in der Ebene {001} bezeichnet, variiert die Breite w in Abhängigkeit des Winkels θ nach folgender Verhältnismäßigkeit:
    Figure 00070001
    wobei s 11 s 44 s 12 die drei dem Fachmann bekannten unabhängigen Elastizitätskoeffizienten des Siliziums in den kristallographischen Achsen sind, wie sie in der Publikation von C. Bourgeois und Al. "Design of resonators for the determination of the Temperature Coefficient of Elastic Constants of Moncrystalline Silicon" (Proc. 51th Annual Frequency Control Symposium, 1997, 791–799) definiert sind.
  • Im konkreteren Sinn ist es leicht verständlich, dass mehrere Parameter in untereinander abhängiger Weise mitwirken, und dass beispielsweise die mit einer gewissen Modulation der Breite w erzielte Verbesserung des Temperaturverhaltens nicht für alle Oxiddicken und Kristallorientationen der Spirale identisch sein wird.
  • Um die Bestimmung der Optimalwerte der verschiedenen Parameter zu erleichtern, besteht das erfindungsgemäße Verfahren darin, beispielsweise die Variabilität der Temperaturkoeffizienten der Rückholkonstante C einer Spirale wie die oben beschriebene, in Abhängigkeit dieser Parameter zu untersuchen.
  • Die bei der Bestimmung von C einbezogenen Parameter sind das Elastizitätsmodul E(a) des Siliziums, das Elastizitätsmodul E(b) des Siliziumoxids und die in der 2 veranschaulichten geometrischen Größen
    • – t = Spiraldicke (konstant) [m]
    • – w = Spiralbreite in der Ebene {001} [m]
    • – ξ = Oxiddicke (konstant} [m]
  • Gemäß der Theorie der Mehrblattstrukturen kann das äquivalente Elastizitätsmodul E der Biegesteifigkeit eines mit einer Siliziumoxydschicht überzogenen Siliziumstäbchens an einem örtlichen Querschnitt in einem mathematischen Modell nach folgender Verhältnismäßigkeit ausgedrückt werden
  • Figure 00080001
  • Da, im Fall der Spirale 10, ξ/w << 1 und ξ/t << 1, wird die Gleichung
  • Figure 00080002
  • Die Bestimmung der Rückholkonstante C der Spiralfeder und ihrer zwei ersten Temperaturkoeffizienten C1 und C2 erfolgt durch Integration, über die gesamte Spirallänge, der mathematischen Formulierung der örtlichen Spiralsteifigkeit, die ihrerseits im Abhängigkeitsverhältnis zu den mathematischen Formulierungen von E, t, w und ξ steht.
  • Dabei kann aufgezeigt werden, dass der erste Temperaturkoeffizient C1 im Wesentlichen von ξ, respektive der zweite Temperaturkoeffizient C2 vorwiegend von w abhängt.
  • In der Folge brauchen nur noch, mittels eines Computers, die jeweiligen Werte der Temperaturkoeffizienten C1 und C2 für alle der möglichen Wertekombinationen der Parameter t, w, ξ errechnet zu werden. Die Dreiergruppen t, w, ξ, für welche die Temperaturdrift der Rückholkonstante C der Spiralfeder innerhalb einer gegebenen Temperaturspanne minimal ist, werden aus der Gesamtheit der möglichen Wertkombinationen extrahiert.
  • Es kann nun die Dreiergruppe ausgewählt werden, die jener Spirale entspricht, deren durch die bereits gegebene Formel errechnete Rückholkonstante C am besten für die vorgesehene uhrentechnischen Anwendung geeignet ist.
  • Schließlich kann die Spirale gemäß den aus der Berechnung hervorgegangenen Angaben hergestellt werden.
  • Damit ergibt sich ein Lösungsvorschlag für eine Siliziumspirale, die eine auf das Minimum reduzierte Temperaturempfindlichkeit aufweist und eine einbaufertige Einheit bildet, die weder irgendwelche Regulierungs-, noch anderweitigen besonderen Handeingriffe erfordert.
  • Die vorangehende Beschreibung ist nur ein spezielles, bzw. nicht einschränkendes Beispiel einer erfindungsgemäßen Spirale auf Siliziumbasis. So führt denn auch der allein durch die Oxidschicht erzielte Temperaturausgleich zu einem zufriedenstellenden Ergebnis hinsichtlich einer Verwendung in Uhren der Mittelklasse, wobei die Modulation der Breite w fakultativ ist.

Claims (10)

  1. Zur Ausrüstung der Unruh einer mechanischen Uhr bestimmte Spiralfeder, die aus einem spiralförmigen, durch Ausschneiden aus einer Einkristall-Siliziumplatte {001} erhaltenen Stab (10) gebildet wird, der einen ersten (C1) und einen zweiten (C2) Temperaturkoeffizient der Rückholkonstante C der von ihm gebildeten Spiralfeder aufweist, deren Windungen eine Breite w und eine Dicke t aufweisen, wobei der besagte Stab einen Kern (12) aus Silizium und eine diesen Kern aus Silizium umschließende, eine Dicke ξ aufweisende Außenschicht (14) umfasst, die aus einem Material besteht, das einen ersten Temperaturkoeffizienten des Young-Moduls mit einem dem Silizium entgegengesetzten Vorzeichen aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass das Maßverhältnis ξ/w so bestimmt ist, dass ein erster Temperaturkoeffizient (C1) ihrer Rückholkonstante C mit einem vorbestimmten Wert erhalten wird.
  2. Spiralfeder nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die besagte Außenschicht (14) aus amorphem Siliziumoxid (SiO2) erzeugt wird.
  3. Spiralfeder nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Maßverhältnis ξ/w so bestimmt ist, dass der erste Temperaturkoeffizient (C1) ihrer Rückholkonstante C auf ein Minimum reduziert wird.
  4. Spiralfeder nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Maßverhältnis ξ/w ungefähr 0,06 beträgt.
  5. Spiralfeder nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Breite des besagten Stabes periodisch in Abhängigkeit des die Orientierung jedes ihrer Punkte in Polarkoordinaten bestimmenden Winkels θ moduliert ist, um den zweiten Temperaturkoeffizienten (C2) auf ein Minimum zu reduzieren.
  6. Spiralfeder nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Breite des besagten Stabes so moduliert ist, dass seine örtliche Biegesteifigkeit konstant ist, um den zweiten Temperaturkoeffizienten (C2) auf ein Minimum zu reduzieren.
  7. Spiralfeder nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Breitenmodulation nach folgender Formel umgesetzt wird
    Figure 00110001
    worin s11 s44 s22 die drei unabhängigen Elastizitätskoeffizienten des Siliziums in den kristallographischen Achsen sind.
  8. Spiralfeder nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass zur Minimalisierung des ersten (C1) und des zweiten (C2) Temperaturkoeffizienten die Dicke t des Stabes, seine Breite w in der Ebene {100} und die Dicke ξ der Siliziumoxidschicht Werte aufweisen, für welche die Temperaturdrift der Rückholkonstante C der Spiralfeder innerhalb eines gegebenen Zeitintervalls ein Minimum beträgt.
  9. Verfahren zur Bestimmung der optimalen Abmessungen der Spiralfeder nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass es darin besteht, nacheinander: – die Steifigkeit der Spiralfeder in Abhängigkeit ihrer Dicke t, ihrer in der Spiralebene modulierten Breite w, der Dicke ξ der Siliziumoxidschicht, der elastischen Anisotropie des Siliziums und der Temperatur mathematisch auszudrücken; – das Temperaturverhalten, insbesondere der beiden ersten Koeffizienten (C1, C2) der Rückholkonstante der Spiralfeder für alle möglichen Werte kombinationen der Parameter t, w, ξ in einem gegebenen Temperaturbereich zu berechnen; und – die Kombinationen von t, w, ξ festzuhalten, für welche die Temperaturdriften der besagten Koeffizienten (C1, C2) minimal sind.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass es schließlich darin besteht, die Breite w der Spiralfeder in jedem Punkt mit der Formel
    Figure 00120001
    zu berechnen, worin s11 s44 s12 die drei unabhängigen Elastizitätskoeffizienten des Siliziums in den kristallographischen Achsen sind.
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Families Citing this family (110)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2842313B1 (fr) 2002-07-12 2004-10-22 Gideon Levingston Oscilliateur mecanique (systeme balancier et ressort spiral) en materiaux permettant d'atteindre un niveau superieur de precision, applique a un mouvement d'horlogerie ou autre instrument de precision
EP1445670A1 (de) * 2003-02-06 2004-08-11 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Spiralfeder der Resonatorunruh und Fabrikationsmethode
EP2224293B1 (de) * 2003-04-29 2012-07-18 Patek Philippe SA Genève Unruh und flache Spiralfeder für Uhrwerk
DE60333191D1 (de) * 2003-09-26 2010-08-12 Asulab Sa Spiralfeder-Unruh-Resonator mit Thermokompensation
GB0324439D0 (en) 2003-10-20 2003-11-19 Levingston Gideon R Minimal thermal variation and temperature compensating non-magnetic balance wheels and methods of production of these and their associated balance springs
EP1605182B8 (de) * 2004-06-08 2010-07-14 CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique S.A. - Recherche et Développement Unruh-Spiralfeder-Oszillator mit Temperaturkompensation
WO2006123095A2 (en) 2005-05-14 2006-11-23 Gideon Levingston Balance spring, regulated balance wheel assembly and methods of manufacture thereof
ATE416401T1 (de) 2005-06-28 2008-12-15 Eta Sa Mft Horlogere Suisse Verstärktes mikromechanisches teil
EP1791039A1 (de) * 2005-11-25 2007-05-30 The Swatch Group Research and Development Ltd. Spiralfeder aus athermisches Glas für ein Uhrwerk und Herstellungsverfahren dafür
EP1818736A1 (de) * 2006-02-09 2007-08-15 The Swatch Group Research and Development Ltd. Stossfeste Spiralrolle
TWI438588B (zh) * 2006-03-24 2014-05-21 Eta Sa Mft Horlogere Suisse 由絕緣材料製成的微機械零件及其製造方法
EP1837722B1 (de) * 2006-03-24 2016-02-24 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Mikromechanisches Bauteil aus Isoliermaterial und Herstellungsverfahren dafür
EP1837721A1 (de) * 2006-03-24 2007-09-26 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Mikromechanisches Bauteil aus Isoliermaterial und Herstellungsverfahren dafür
US8100579B2 (en) * 2006-09-08 2012-01-24 Gideon Levingston Thermally compensating balance wheel
DE102008029429A1 (de) 2007-10-18 2009-04-23 Konrad Damasko Verfahren zum Herstellen von mechanischen Funktionselementen für Uhrwerke sowie nach diesem Verfahren hergestelltes Funktionselement
DE602007013123D1 (de) * 2007-11-28 2011-04-21 Manuf Et Fabrique De Montres Et De Chronometres Ulysse Nardin Le Locle S A Mechanischer oszillator mit einem optimierten thermoelastischen koeffizienten
ATE474250T1 (de) 2008-03-20 2010-07-15 Nivarox Sa Monoblock-doppelspirale und ihr herstellungsverfahren
EP2104007A1 (de) * 2008-03-20 2009-09-23 Nivarox-FAR S.A. Monoblockspirale aus Material auf Siliziumbasis und ihr Herstellungsverfahren
EP2104008A1 (de) 2008-03-20 2009-09-23 Nivarox-FAR S.A. Monoblock-Regulierungsorgan und sein Herstellungsverfahren
EP2104005A1 (de) 2008-03-20 2009-09-23 Nivarox-FAR S.A. Composite-Unruh und Herstellungsverfahren dafür
EP2105807B1 (de) 2008-03-28 2015-12-02 Montres Breguet SA Monoblockspirale zur Erhöhung der Kurve und ihr Herstellungsverfahren
EP2107433B1 (de) 2008-04-02 2016-07-27 Manufacture et fabrique de montres et chronomètres, Ulysse Nardin Le Locle S.A. Montageverfahren eines Bauteils auf eine Welle
EP2151722B8 (de) * 2008-07-29 2021-03-31 Rolex Sa Spiralfeder für Spiralfeder-Unruh-Resonator
EP2196867A1 (de) * 2008-12-15 2010-06-16 Montres Breguet S.A. Spirale mit Kurvenerhöhung aus Material auf Siliziumbasis
WO2010088891A2 (de) * 2009-02-06 2010-08-12 Konrad Damasko Mechanisches schwingsystem für uhren sowie funktionselement für uhren
US10324419B2 (en) 2009-02-06 2019-06-18 Domasko GmbH Mechanical oscillating system for a clock and functional element for a clock
EP2233989A1 (de) 2009-03-24 2010-09-29 Manufacture et fabrique de montres et chronomètres Ulysse Nardin Le Locle SA Spiralfeder und ihre Reguliereinrichtung
EP2264553B1 (de) * 2009-06-19 2016-10-26 Nivarox-FAR S.A. Thermokompensierte Feder und ihr Herstellungsverfahren
EP2264552A1 (de) * 2009-06-19 2010-12-22 Nivarox-FAR S.A. Thermokompensierte Feder und ihr Herstellungsverfahren
EP2284629A1 (de) 2009-08-13 2011-02-16 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Thermokompensierter mechanischer Resonator
CH701846B8 (fr) * 2009-09-21 2015-06-15 Rolex Sa Spiral plat pour balancier d'horlogerie et ensemble balancier-spiral.
EP2337221A1 (de) * 2009-12-15 2011-06-22 The Swatch Group Research and Development Ltd. Thermokompensierter Resonator mindestens ersten und zweiten Grades
GB201001897D0 (en) 2010-02-05 2010-03-24 Levingston Gideon Non magnetic mateial additives and processes for controling the thermoelastic modulus and spring stiffness within springs for precision instruments
EP2395661A1 (de) 2010-06-10 2011-12-14 The Swatch Group Research and Development Ltd. Temperaturkompensierter Resonator mit reduzierten Temperaturkoeffizienten erster und zweiter Ordnung
US8562206B2 (en) 2010-07-12 2013-10-22 Rolex S.A. Hairspring for timepiece hairspring-balance oscillator, and method of manufacture thereof
EP2423764B1 (de) 2010-08-31 2013-03-27 Rolex S.A. Vorrichtung zum Messen des Drehmomentes einer Spirale
EP2738628B1 (de) 2011-03-09 2016-01-06 Rolex Sa Armbanduhr mit Atomoszillator
CH704649B1 (fr) 2011-03-23 2019-04-15 Lvmh Swiss Mft Sa Elément oscillant pour organe réglant horloger.
CH704906B1 (fr) * 2011-05-09 2020-06-30 Lvmh Swiss Mft Sa C/O Zenith Succursale De Lvmh Swiss Mft Sa Ressort spiral en silicium pour montre mécanique.
EP2761380B1 (de) 2011-09-29 2023-05-31 Rolex S.A. Einteilige anordnung aus einer spiralfeder und spannzange
EP2590325A1 (de) 2011-11-04 2013-05-08 The Swatch Group Research and Development Ltd. Thermokompensierter Resonator aus Keramik
EP2597536A1 (de) * 2011-11-25 2013-05-29 CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement Verbesserte Spiralfeder, und Herstellungsverfahren dieser Spiralfeder
EP2680090A1 (de) * 2012-06-28 2014-01-01 Nivarox-FAR S.A. Triebfeder für Uhr
CN104583880B (zh) 2012-07-06 2018-07-13 劳力士有限公司 处理钟表组件表面的方法和由这种方法得到的钟表组件
EP2687917A3 (de) * 2012-07-17 2018-01-24 Master Dynamic Limited Spiralfeder für Uhr und Spiralfederausgestaltung für Konzentrizität
CH707060B1 (fr) * 2012-10-04 2017-05-31 Swatch Group Res & Dev Ltd Afficheur horloger lumineux.
WO2014075859A1 (fr) * 2012-11-16 2014-05-22 Nivarox-Far S.A. Résonateur moins sensible aux variations climatiques
EP2765705B1 (de) 2013-02-07 2015-08-19 The Swatch Group Research and Development Ltd. Durch ein Metall mit Formgedächtnis thermokompensierter Resonator
CH707797A1 (fr) 2013-03-28 2014-09-30 Silicior Sa Procédé de fabrication d'une pièce micro-mécanique essentiellement plane, et pièce micro-mécanique comportant au moins une portion formée d'oxyde de silicium.
DE102013104248B3 (de) * 2013-04-26 2014-03-27 Damasko Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Spiralfeder für mechanische Uhrwerke
WO2014203085A1 (de) 2013-06-21 2014-12-24 Damasko Uhrenmanufaktur KG Schwingsystem für mechanische uhrwerke, verfahren zur herstellung einer spiralfeder und spiralfeder
WO2014203086A1 (de) 2013-06-21 2014-12-24 Damasko Uhrenmanufaktur KG Schwingsystem für mechanische uhrwerke, spiralfeder und verfahren zu deren herstellung
CH708231B1 (fr) 2013-06-27 2017-03-15 Nivarox Far Sa Ressort d'horlogerie en acier inoxydable austénitique.
DE102013114211B3 (de) * 2013-07-22 2014-10-09 Damasko Gmbh Spiralfeder für mechanische Uhrwerke
DE102013113380B3 (de) * 2013-11-27 2015-04-09 Damasko Gmbh Verfahren zur herstellung von funktionselementen für mechanische uhrwerke und funktionselement
WO2015087252A1 (de) 2013-12-11 2015-06-18 Damasko Gmbh Spiralfeder für mechanische uhrwerke
EP2884347A1 (de) * 2013-12-16 2015-06-17 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Spiralfeder mit Vorrichtung zum Verhindern der gegenseitigen Annäherung der Federwindungen
CN106104393A (zh) * 2014-01-29 2016-11-09 卡地亚国际股份公司 由在其组成中包含硅的陶瓷制成的热补偿的游丝和用于调节游丝的方法
EP2908183B1 (de) * 2014-02-14 2018-04-18 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Spiralfeder einer Uhr
EP2924514B1 (de) 2014-03-24 2017-09-13 Nivarox-FAR S.A. Uhrfeder aus austenitischem Edelstahl
DE102014106114A1 (de) 2014-04-30 2015-11-05 Damasko Uhrenmanufaktur KG Spiralfeder und Verfahren zu deren Herstellung und Uhrwerk
EP2952972B1 (de) 2014-06-03 2017-01-25 The Swatch Group Research and Development Ltd. Herstellungsverfahren einer Ausgleichsspiralfeder aus Verbundmaterial
DE102014119731A1 (de) 2014-06-26 2015-12-31 Damasko Uhrenmanufaktur KG Spiralfeder und Verfahren zu deren Herstellung und Uhrwerk
EP3002638B1 (de) 2014-09-08 2021-08-18 Richemont International S.A. Herstellungsverfahren einer thermokompensierten spiralfeder
FR3031639B1 (fr) * 2015-01-14 2018-03-09 Tronic's Microsystems Transducteur electromecanique integrant un element deformable de type resonateur ou membrane, et capteur de mesure integrant un tel transducteur
FR3032810B1 (fr) 2015-02-13 2017-02-24 Tronic's Microsystems Oscillateur mecanique et procede de realisation associe
HK1209578A2 (en) 2015-02-17 2016-04-01 Master Dynamic Ltd Silicon hairspring
EP3076245B1 (de) 2015-04-02 2021-03-17 CSEM Centre Suisse D'electronique Et De Microtechnique SA Dämpfungsvorrichtung, insbesondere für mikromechanische uhrkomponente
WO2016192957A1 (fr) * 2015-06-03 2016-12-08 Eta Sa Manufacture Horlogère Suisse Résonateur à réglage fin par raquetterie
EP3304216B1 (de) 2015-06-08 2022-04-27 Richemont International SA Thermokompensierte resonator für uhrwerk und verfahren zur herstellung einer solchen resonator
JP6629854B2 (ja) 2015-06-15 2020-01-15 シチズン時計株式会社 時計の調速装置
EP3317730A1 (de) 2015-07-03 2018-05-09 DAMASKO Uhrenmanufaktur KG Spiralfeder und verfahren zu deren herstellung
EP3159746B1 (de) 2015-10-19 2018-06-06 Rolex Sa Hochdotierte siliziumfeder für uhr
EP3181939B1 (de) * 2015-12-18 2019-02-20 CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement Herstellungsverfahren einer spiralfeder mit einer vorbestimmten steifigkeit durch zugabe von material
EP3181938B1 (de) 2015-12-18 2019-02-20 CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement Herstellungsverfahren einer spiralfeder mit einer vorbestimmten steifigkeit durch wegnahme von material
EP3181940B2 (de) 2015-12-18 2023-07-05 CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement Herstellungsverfahren einer spiralfeder mit einer vorbestimmten steifigkeit durch lokalisierte wegnahme von material
EP3190095B1 (de) 2016-01-08 2023-08-02 Richemont International SA Wärmekompensierter resonator, der ein glas umfasst
EP3208664B1 (de) * 2016-02-19 2023-08-16 Omega SA Uhrwerk oder uhr ohne magnetische signatur
EP3217229B1 (de) 2016-03-07 2020-01-01 Montres Breguet S.A. Regulierbares zusätzliches thermisches kompensationssystem
EP3088969B1 (de) 2016-03-17 2018-12-26 Sigatec SA Thermocompensierte spiralfeder und verfahren zu deren herstellung
KR102305812B1 (ko) * 2016-03-23 2021-09-29 파텍 필리페 에스아 쥬네브 시계를 위한 평형 바퀴 오실레이터
EP3285124B1 (de) 2016-08-17 2020-12-16 Tronic's Microsystems S.A Mechanischer resonator für uhrwerk, sowie herstellungsverfahren eines solchen resonators
EP3309624B1 (de) 2016-10-13 2019-09-04 Patek Philippe SA Genève Montageverfahren für uhrenkomponenten
EP3327151A1 (de) 2016-11-04 2018-05-30 Richemont International S.A. Resonator für uhr
EP3502785B1 (de) * 2017-12-21 2020-08-12 Nivarox-FAR S.A. Spiralfeder für uhrwerk, und ihr herstellungsverfahren
TWI774925B (zh) 2018-03-01 2022-08-21 瑞士商Ｃｓｅｍ瑞士電子及微技術研發公司 製造螺旋彈簧的方法
EP3534222A1 (de) * 2018-03-01 2019-09-04 Rolex Sa Herstellungsverfahren eines thermokompensierten oszillators
EP3543795A1 (de) 2018-03-20 2019-09-25 Patek Philippe SA Genève Herstellungsverfahren von uhrkomponenten aus silizium
TWI796444B (zh) 2018-03-20 2023-03-21 瑞士商百達翡麗日內瓦股份有限公司 用於製造精確剛度之時計熱補償游絲的方法
EP3543796A1 (de) 2018-03-21 2019-09-25 Nivarox-FAR S.A. Verfahren zur herstellung einer siliziumfeder
EP3608728B1 (de) * 2018-08-08 2022-02-16 Nivarox-FAR S.A. Thermokompensierte gefärbte feder, und ihr herstellungsverfahren
EP3663867A1 (de) 2018-12-05 2020-06-10 Cartier International AG Kompensierende spiralfeder für eine uhr oder grossuhr aus einer niob-molybdän-legierung
WO2020148626A1 (fr) 2019-01-16 2020-07-23 Patek Philippe Sa Geneve Procédé de brasage de composants horlogers
WO2021005564A1 (fr) 2019-07-10 2021-01-14 Patek Philippe Sa Geneve Ensemble horloger d'au moins deux éléments en contact
CH716603A1 (fr) 2019-09-16 2021-03-31 Sigatec Sa Procédé de fabrication de spiraux horlogers.
CH716605A1 (fr) 2019-09-16 2021-03-31 Richemont Int Sa Procédé de fabrication d'une pluralité de résonateurs sur une plaquette.
EP3839642A1 (de) 2019-12-20 2021-06-23 Patek Philippe SA Genève Herstellungsverfahren von uhrenfedern und ätzmaske für ein solches verfahren
EP3839644A1 (de) * 2019-12-20 2021-06-23 Nivarox-FAR S.A. Flexible uhrwerkskomponente, insbesondere für oszillationsmechanismus, und eine solche komponente umfassendes uhrwerk
WO2021170473A1 (fr) 2020-02-25 2021-09-02 Rolex Sa Composant horloger en silicium pour pièce d'horlogerie
EP4030241A1 (de) 2021-01-18 2022-07-20 Richemont International S.A. Verfahren zur herstellung von uhrwerk-spiralfedern
EP4030243A1 (de) 2021-01-18 2022-07-20 Richemont International S.A. Verfahren zur kontrolle und zur herstellung von uhrwerk-spiralfedern
EP4039843A1 (de) 2021-02-04 2022-08-10 Richemont International S.A. Antiferromagnetische legierung, herstellungsverfahren dafür und aus der legiuerung hergestellte komponente eines uhrwerks
EP4202566A1 (de) * 2021-12-21 2023-06-28 Omega SA Kompensation der gangvariation in einer armbanduhr
EP4202576A1 (de) 2021-12-22 2023-06-28 Richemont International S.A. Verfahren zur kontrolle und herstellung von uhrwerk-spiralfedern
WO2023117350A1 (fr) 2021-12-22 2023-06-29 Richemont International Sa Procédé de controle et de fabrication de ressorts spiraux d'horlogerie
EP4212965A1 (de) 2022-01-14 2023-07-19 Richemont International S.A. Verfahren zur begrenzung der verformung einer uhrenkomponente aus silizium
EP4303668A1 (de) 2022-07-05 2024-01-10 Richemont International S.A. Verfahren zur bestimmung der steifigkeit einer spiralfeder
EP4310598A1 (de) 2022-07-18 2024-01-24 Richemont International S.A. Verfahren zur kontrolle und herstellung von uhrwerk-spiralfedern
EP4332686A1 (de) 2022-08-30 2024-03-06 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Spiralfeder für eine spiralunruh-einheit einer uhrwerke
EP4372479A1 (de) 2022-11-18 2024-05-22 Richemont International S.A. Verfahren zur herstellung von uhrenspiralfedern

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3696687A (en) * 1971-03-25 1972-10-10 Ametek Inc Plastic hairspring
IT985551B (it) * 1971-09-27 1974-12-10 Golay Bernard Sa Insieme comprendente una spirala destinata ad essere applicata ad un organo oscillante sottoposto all azione di mezzi che sincroniz zano la frequenza con quella di una frequenza pilota
CH871474A4 (de) * 1974-06-25 1977-02-28
JPS6188033A (ja) * 1984-10-04 1986-05-06 Kyocera Corp セラミツク製弾条体
US4922756A (en) * 1988-06-20 1990-05-08 Triton Technologies, Inc. Micro-machined accelerometer
CA2002138C (en) * 1988-11-08 1999-12-14 Susumu Yamamoto High-strength coil spring and method of producing same
JP2960112B2 (ja) * 1990-05-28 1999-10-06 株式会社東芝 微小変位装置
JPH04185698A (ja) * 1990-11-20 1992-07-02 Seiko Epson Corp 小型プリンタ装置の摺動部材表面構造
JPH06117470A (ja) * 1992-10-07 1994-04-26 Yokogawa Electric Corp 渦巻きバネ及び指示電気計器
FR2731715B1 (fr) * 1995-03-17 1997-05-16 Suisse Electronique Microtech Piece de micro-mecanique et procede de realisation
US6863435B2 (en) * 1997-08-11 2005-03-08 Seiko Epson Corporation Spring, mainspring, hairspring, and driving mechanism and timepiece based thereon
DE19743745A1 (de) * 1997-10-02 1999-04-08 Schlafhorst & Co W Auflösewalze für eine Offenend-Spinnvorrichtung
EP1039352B1 (de) * 1999-03-26 2003-10-08 Rolex Sa Selbstkompensierende Spiralfeder für Uhrwerkspiralfederunruh und Verfahren zur Behandlung derselben
WO2002004836A2 (en) * 2000-07-11 2002-01-17 Seiko Epson Corporation Spring, drive mechanism, device and timepiece using the spring
DE10127733B4 (de) * 2001-06-07 2005-12-08 Silicium Energiesysteme E.K. Dr. Nikolaus Holm Schrauben- oder Spiralfederelemente aus kristallinem, insbesondere einkristallinem Silicium

Also Published As

Publication number Publication date
ATE307990T1 (de) 2005-11-15
US7077562B2 (en) 2006-07-18
CN100360828C (zh) 2008-01-09
DE60206939D1 (de) 2005-12-01
EP1422436A1 (de) 2004-05-26
EP1422436B1 (de) 2005-10-26
AU2003271504A1 (en) 2004-06-18
JP2006507454A (ja) 2006-03-02
US20050281137A1 (en) 2005-12-22
WO2004048800A1 (fr) 2004-06-10
JP4515913B2 (ja) 2010-08-04
CN1717552A (zh) 2006-01-04
HK1067687A1 (en) 2005-04-15

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