DE4226710A1 - Halbleiterspeichereinrichtung und betriebsverfahren fuer eine solche - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Halbleiterspei­ chereinrichtung und ein Betriebsverfahren für eine solche und insbesondere auf den Aufbau einer ein Wortleitungsansteuer­ signal, das auf eine ausgewählte Wortleitung zu übertragen ist, erzeugenden Schaltung.

Fig. 12 zeigt schematisch einen Gesamtaufbau einer herkömmli­ chen dynamischen Halbleiterspeichereinrichtung. In Fig. 12 weist die dynamische Halbleiterspeichereinrichtung 500 ein Speicherzellenfeld 501 mit in einer Matrix aus Zeilen und Spal­ ten angeordneten dynamischen Speicherzellen, einen Adreßpuffer 502, der extern angelegte Adreßsignale A0 bis An aufnimmt und interne Adreßsignale erzeugt, einen Zeilenadreßdekoder 503, der das vom Adreßpuffer 502 erzeugte Zeilenadreßsignal dekodiert und eine entsprechende Zeile im Speicherzellenfeld 501 aus­ wählt, und einen Wortteiber 504, der auf einen Ausgang des Zei­ lenadreßdekoders 503 anspricht, um das Potential der in der entsprechenden Zeile angeordneten Wortleitung anzuheben, auf.

Der Worttreiber 504 überträgt ein Wortleitungsansteuersignal, das von einer Wortleitungsansteuersignalerzeugungsschaltung 505 geliefert wird, auf die der durch den Zeilenadreßdekoder 503 ausgewählten Zeile entsprechende Wortleitung.

Die Halbleiterspeichereinrichtung 500 enthält weiter einen Spaltenadreßdekoder 506, der ein vom Adreßpuffer 502 geliefer­ tes internes Spaltenadreßsignal dekodiert und eine ausgewählte Spalte im Speicherzellenfeld 501 auswählt, einen Leseverstär­ ker, der Daten von Speicherzellen in der ausgewählten Zeile im Speicherzellenfeld 501 nachweist und verstärkt, und ein I/O(Ein-/Ausgangs)-Gatter, das die durch den Spaltenadreßdeko­ der 506 ausgewählte Spalte mit einer I/O(Ein-/Ausgangs)-Schal­ tung 508 verbindet. In Fig. 12 sind der Leseverstärker und das I/O-Gatter durch einen Block 507 dargestellt.

Die Halbleiterspeichereinrichtung 500 enthält weiter einen Taktpuffer 509, der in Reaktion auf extern angelegte Steuersi­ gnale *RAS (Zeilenadreßabtastsignal), *CAS (Spaltenadreßabtast­ signal) und *W (Schreibfreigabesignal) ein internes Steuersi­ gnal erzeugt, und eine Wortleitungansteuersignalerzeugungs­ schaltung 505, die in Reaktion auf ein vom Taktpuffer 509 geliefertes internes Zeilenadreßabtastsignal /RAS das Wortlei­ tungsansteuersignal erzeugt. Die Wortleitungsansteuersignal­ erzeugungsschaltung 505 enthält eine RX-Erzeugungsschaltung 511, die auf ein internes Zeilandreßabtastsignal /RAS an­ spricht, um ein Wortleitungsansteuersignal RX auf Versorgungs­ spannungspegel zu erzeugen, und eine Anhebeschaltung 512, die ein durch die RX-Erzeugungsschaltung 511 erzeugtes Signal anhebt. Das durch die Anhebeschaltung 512 angehobene Ansteuersignal wird über den Worttreiber 504 auf die ausge­ wählte Wortleitung (ausgewählte Zeile) übertragen.

Beim Datenschreibbetrieb erzeugt die I/O-Schaltung 508 aus ex­ ternen Schreibdaten D/Q interne Schreibdaten und überträgt die­ selben zum Block 507. Im Datenlesebetrieb erzeugt die I/O- Schaltung 508 entsprechend den über den Block 507 gelesenen in­ ternen Lesedaten externe Lesedaten D/Q. Die I/O-Schaltung 508 kann einen Aufbau haben, bei dem ein Eingabepuffer zum Schreiben der Daten und ein Ausgabepuffer zum Lesen der Daten unabhängig voneinander und jeweils mit unterschiedlichen An­ schlüssen verbunden sind. Dieser Eingabepuffer und Ausgabepuf­ fer können aber auch mit demselben Anschluß verbunden sein.

Der Adreßpuffer 502 spricht auf ein internes Steuersignal (/RAS und /CAS) an, das vom Taktpuffer 509 geliefert wird, um das in­ terne Zeilenadreßsignal und das interne Spaltenadreßsignal zu erzeugen. Der Zeilenadreßdekoder 503 und der Spaltenadreßdeko­ der 506 sprechen auf interne Steuersignale /RAS bzw. /CAS an, um die angelegten internen Adreßsignale zu dekodieren. Der Adreßpuffer 502 empfängt als Adreßsignal AO bis An das Zeilen­ adreßsignal und das Spaltenadreßsignal im Zeitteilungs-Multi­ plexbetrieb. Alternativ dazu kann der Adreßpuffer 502 das Zei­ lenadreßsignal und das Spaltenadreßsignal gleichzeitig empfan­ gen, und der Taktpuffer 509 kann ein Chipauswahlsignal *CS em­ pfangen, das eine Zeitfolge bzw. ein Timing des Abtastens eines Adreßsignales des Adreßpuffers 502 bestimmt.

Die I/O-Schaltung 508 spricht auf ein vom Taktpuffer 509 gelie­ fertes internes Schreibsteuersignal /WE an, um die internen Schreibdaten oder externen Lesedaten zu erzeugen.

Die Halbleiterspeichereinrichtung enthält weiter eine Lesever­ stärkeransteuerschaltung 510, die einen im Block 507 enthalte­ nen Leseverstärker in Reaktion auf das interne Zeilenadreßab­ tastsignal /RAS ansteuert. Die Leseverstärkeransteuerschaltung 510 spricht auf das interne Zeilenadreßabtastsignal /RAS an, um den im Leseverstärker-/I/O-Gatter-Block 507 enthaltenen Lese­ verstärker anzusteuern.

Fig. 13 zeigt einen speziellen Aufbau des Speicherzellenfeldes 501 und des Leseverstärker-/I/O-Gatter-Blockes 507, die in Fig. 12 gezeigt sind. Das Speicherzellenfeld 501 weist eine Mehrzahl von Bitleitungspaaren auf, von denen jedes mit den Speicherzellen einer Spalte verbunden ist, und eine Mehrzahl von Wortleitungen, von denen jede mit den Speicherzellen einer Zeile verbunden ist. Fig. 13 zeigt repräsentativ ein Paar von Bitleitungen BL und /BL und zwei Wortleitungen WL1 und WL2. Nach Fig. 13 enthält das Speicherzellenfeld 501 eine an der Kreuzung einer Bitleitung BL und einer Wortleitung WL1 angeord­ nete Speicherzelle MC1, eine an der Kreuzung der Bitleitung/BL mit der Wortleitung WL2 angeordnete Speicherzelle MC2 und eine Vorladungs-/Egalisierungsschaltung PE, die auf ein Vorladungs- /Egalisierungssignal ΦPR anspricht, um die Potentiale der Bit­ leitungen BL und /BL auf ein vorbestimmtes Potential VBL zu egalisieren und vorzuladen.

Die Speicherzelle MC1 enthält einen Kondensator C1, der Infor­ mation speichert, und einen n-Kanal-MOS-Transistor (Feldeffekt­ transistor mit isoliertem Gate) NT4, der auf das Signalpoten­ tial auf der Wortleitung WL1 anspricht, um den Kondensator C1 elektrisch mit der Bitleitung BL zu verbinden. Der Kondensator C1 hat eine mit der Drain des Transistors NT4 verbundene Elek­ trode (Speicherknoten), und seine andere Elektrode (Zellplatte) ist mit einem vorbestimmten Potential VG verbunden.

Die Speicherzelle MT2 enthält einen Kondensator C2 zum Speichern von Information und einen n-Kanal-MOS-Transistor NT5, der auf das Signalpotential auf der Wortleitung WL2 anspricht, um elektrisch den Kondensator C2 mit der Bitleitung /BL zu ver­ binden. Die Vorladungs-/Egalisierungsschaltung PE enthält einen n-Kanal-MOS-Transistor NT1, der auf ein Vorladungs-/Egalisie­ rungssignal ΦPR anspricht, um das vorbestimmte Vorladungspoten­ tial VBL auf die Bitleitung BL zu übertragen, und einen n-Kanal-MOS-Transistor NT3, der auf das Vorladungs-/Egalisie­ rungssignal ΦPR anspricht, um das Vorladungspotential VBL auf die Bitleitung /BL zu übertragen, sowie einen n-Kanal-MOS-Tran­ sistor NT2, der auf das Vorladungs-/Egalisierungssignal ΦPR an­ spricht, um elektrisch die Bitleitung BL und die Bitleitung /BL zu verbinden.

Der Leseverstärker /IO-Gatter-Block 507 enthält einen p-Kanal- Leseverstärker PSA, der das Potential der Bitleitung BL oder /BL mit höherem Potential auf einen hohen Pegel des Betriebs­ spannungspotentialpegels VCC auflädt, einen n-Kanal-Lesever­ stärker NSA, der das Potential der Bitleitung BL oder /BL mit einem niedrigen Potential auf Massepotential entlädt, und n- Kanal-MOS-Transistoren NT8 und NT9, die auf ein Spaltenauswahl­ signal Yi vom Spaltenadreßdekoder ansprechen, um die Bitleitun­ gen BL und /BL mit internen Datenleitungen DB und /DB zu ver­ binden. Die Transistoren NT8 und NT9 bilden ein IO-Gatter IOG.

Der p-Kanal-Leseverstärker PSA enthält kreuzgekoppelte p-Kanal- MOS-Transistoren PT1 und PT2. Die Drain des Transistors PT1 ist mit der Bitleitung BL und dem Gate des Transistors PT2 verbun­ den, sein Gate ist mit der Bitleitung /BL und der Drain des Transistors PT2 verbunden, und seine Source ist mit einer Signalleitung 550 verbunden. Das Gate des Transistors PT2 ist mit der Drain des Transistors PT1 und der Bitleitung BL ver­ bunden, seine Drain ist mit dem Gate des Transistors PT1 und der Bitleitung /BL verbunden, und seine Source ist mit der Si­ gnalleitung 550 verbunden.

Der n-Kanal-Leseverstärker NSA enthält n-Kanal-MOS-Transistoren NT6 und NT7, deren Gates und Drains kreuzgekoppelt sind. Die Drain des Transistors NT6 ist mit der Bitleitung BL verbunden, seine Source ist mit einer Signalleitung 551 verbunden, und sein Gate ist mit der Bitleitung /BL verbunden. Das Gate des Transistors NT7 ist mit der Bitleitung BL verbunden, seine Drain ist mit der Bitleitung /BL verbunden, und seine Source ist mit der Signalleitung 551 verbunden.

Die Leseverstärkeransteuerschaltung 510 enthält eine Lesever­ stärkeraktivierungssignalerzeugungsschaltung 513, die auf ein vom Taktpuffer 509 geliefertes internes Zeilenadreßabtastsignal /RAS anspricht, um Leseverstärkeraktivierungssignale /ΦSP und ΦSN erzeugen, und eine Leseverstärkeraktivierungsschaltung 514, die auf die Leseverstärkeraktivierungssignale /ΦSP und ΦSN an­ spricht, um die Leseverstärker PSA und NSA zu aktivieren. Die Leseverstärkeraktivierungsschaltung 514 enthält einen p-Kanal- MOS-Transistor PT3, der auf das Leseverstärkeraktivierungssi­ gnal /ΦSP anspricht, um die Signalleitung 550 bis auf Versor­ gungsspannungspegel VCC aufzuladen, und einen n-Kanal-MOS-Tran­ sistor NT10, der auf das Leseverstärkeraktivierungssignal ΦSN anspricht, um die Signalleitung 551 mit Massepotential zu verbinden.

Fig. 14 zeigt einen Aufbau einer Schaltung zur Wortleitungsan­ steuerung. In Fig. 14 enthält der Taktpuffer 509 einen RAS- Puffer 609, der ein extern angelegtes Zeilenadreßabtastsignal *RAS aufnimmt und ein internes Zeilenadreßabtastsignal /RAS erzeugt. Der RAS-Puffer 609 kann ein internes Zeilenadreßab­ tastsignal RAS mit positiver Logik erzeugen. Die RX-Erzeugungs­ schaltung 511 enthält eine Inverterschaltung 610, die das interne Zeilenadreßabtastsignal /RAS invertiert, einen n-Kanal- MOS-Transistor NT20, der auf einen Ausgang mit der Inverter­ schaltung 610 anspricht, um einen Ausgangsknoten NO auf den Pegel des Spannungsversorgungspotentials VCC aufzuladen, eine Verzögerungsschaltung 611, die das interne Zeilenadreßabtast­ signal /RAS um eine vorbestimmte Zeit verzögert, und einen n- Kanal-MOS-Transistor NT21, der auf einen Ausgang der Verzö­ gerungsschaltung 611 anspricht, um den Ausgangsknoten NO auf Massepotential zu entladen. Anstelle der Inverterschaltung 610 und des n-Kanal-MOS-Transistors NT2 kann ein p-Kanal-MOS-Tran­ sistor verwendet werden, der an seinem Gate das interne Zeilen­ adreßabtastsignal /RAS empfängt.

Der Transistor NT20 hat eine Stromsteuerfähigkeit, die größer ist als diejenige des Transistors NT21. Wenn das Signal /RAS auf niedrigen Pegel, das heißt aktiven Zustand, abfällt, wird der Transistor NT20 leitend, und damit wird der Ausgangsknoten NO auf Versorgungsspannungspotential VCC, das heißt hohen Pegel, aufgeladen. Nach einer vorbestimmten Zeitspanne wird der n-Kanal-MOS-Transistor 21 ausgeschaltet. Wenn das Signal /RAS auf hohen Pegel, das heißt in aktiven Zustand, ansteigt, wird der Transistor NT20 ausgeschaltet. Zu dieser Zeit ist der Ausgang der Verzögerungsschaltung 611 noch auf niedrigem Pegel, und der Transistor NT20 im Aus-Zustand. In diesem Zustand verbleibt daher der Ausgangsknoten NO auf hohem Pegel. Nach einer vorbestimmten Zeitspanne geht der Ausgang der Verzöge­ rungsschaltung 611 auf den hohen Pegel über, und der Transistor NT21 wird eingeschaltet, so daß der Ausgangsknoten NO auf Mas­ sepotentialpegel, das heißt niedrigen Pegel, entladen wird, weil der Transistor NT20 aus ist.

Die Anhebeschaltung 512 enthält eine Verzögerungsschaltung 612, die den Ausgang der RX-Erzeugungsschaltung 511 um eine vorbe­ stimmte Zeitspanne verzögert, und eine Anhebekapazität 613, die auf den Ausgang der Verzögerungsschaltung 612 anspricht und das Wortleitungsansteuersignal RX anhebt. Die Verzögerungsschal­ tung 612 enthält eine gerade Anzahl von Kaskaden-Inverterschal­ tungen IV. Der Kondensator 613 hebt infolge seiner Kapazitäts­ koppelung das Potential des Wortleitungsansteuersignals RX auf hohen Pegel weiter an. Der Zeilenadreßdekoder 503 enthält Zei­ lendekoderschaltungen 603, von denen jede entsprechend der Wortleitung angeordnet ist. Eine Zeilendekoderschaltung 603 wird angewählt, um ein Zeilenauswahlsignal auf hohem Pegel zu erzeugen, wenn die angelegten internen Adreßsignale eine vor­ bestimmte Kombination logischer Werte "0" und "1" haben.

Der Worttreiber 504 enthält Ansteuer- bzw. Treiberschaltungen 604, von denen jede entsprechend der Wortleitung angeordnet ist. Jede Ansteuerschaltung 604 enthält einen n-Kanal-MOS-Tran­ sistor NT30, der auf einen Ausgang der Zeilendekoderschaltung 603 anspricht, um das Wortleitungsansteuersignal RX auf eine entsprechende Wortleitung WL zu übertragen, und einen n-Kanal- MOS-Transistor NT31, der auf ein Rückstell- bzw. Reset-Signal anspricht (das im allgemeinen im Ansprechen auf das interne Zeilenadreßabtastsignal /RAS über einen - nicht gezeigten - Er­ zeugungspfad erzeugt wird), um das Potential der Wortleitung WL auf Massepotential zu entladen. Wenn das Wortleitungsansteuer­ signal RX auf oder über das Versorgungsspannungspotential an­ gehoben wird, wird infolge der Kapazitätskoppelung zwischen Gate und Drain und zwischen Gate und Source das Gatepotential des Transistors NT30 auf einen Pegel angehoben, der gleich dem oder höher als der angehobene Pegel des Wortleitungsansteuer­ signales ist. Dadurch wird das angehobene Wortleitungsansteuer­ signal RX über den Transistor NT30 auf die Wortleitung WL über­ tragen.

Nachfolgend wird der Betrieb der in den Fig. 12 bis 14 gezeigten Halbleiterspeichereinrichtung kurz unter Bezugnahme auf das Betriebswellenformdiagramm der Fig. 15 beschrieben.

Wenn das interne Zeilenadreßabtastsignal *RAS auf niedrigen Pegel abfällt, tritt die Halbleiterspeichereinrichtung in den Speicherzyklus ein. In Reaktion auf das Abfallen des Signales *RAS fällt das Vorlade-/Egalisierungssignal ΦPR auf niedrigen Pegel ab. Der Erzeugungspfad für das Signal ΦPR ist nicht gezeigt. In Reaktion darauf wird die Vorladungs-/Egalisierungs­ schaltung PE deaktiviert, und die Transistoren NT1 bis NT3 werden ausgeschaltet. Die Bitleitungen BL und /BL werden in schwimmenden Zustand auf Vorladungspotential VBL (allgemein auf einen Pegel von VCC/2) gebracht.

Dann erzeugt die Wortleitungsansteuersignalerzeugungsschaltung 505 ein Wortleitungsansteuersignal RX, das durch die Anhebe­ schaltung 512 weiter auf einen Pegel angehoben wird, der gleich dem oder größer als der Pegel der Stromversorgungsspannung VCC ist.

Indessen tastet der Adreßpuffer 502 angelegte Adreßsignale A0 bis An ab und speichert sie zwischen, um interne Zeilenadreß­ signale zu erzeugen. Der Zeilenadreßdekoder 503 dekodiert die internen Zeilenadreßsignale, womit eine Zeilendekoderschaltung 603 und eine Ansteuerschaltung 504 ausgewählt werden. Das Wort­ leitungsansteuersignal RX, das von der Wortleitungsansteuersi­ gnalerzeugungsschaltung 505 geliefert wird, wird über die An­ steuerschaltung 504 auf die entsprechende Wortleitung WL über­ tragen.

Wenn das Potential der Wortleitung WL (es sei angenommen, daß die Wortleitung WL1 ausgewählt ist) ansteigt, wird der Transi­ stor NT4 der Speicherzelle MC1 eingeschaltet, und damit werden die im Kondensator C1 angesammelten Ladungen auf die Bitleitung BL übertragen. Wenn die Speicherzelle MC1 die Information "0" gespeichert hat, erniedrigt sich das Potential der Bitleitung BL geringfügig unter das Vorladungspotential, wie in Fig. 4 gezeigt. Die Bitleitung /BL behält das Vorladungspotential VBL bei.

Dann erzeugt die Leseverstärkeraktivierungssignalerzeugungs­ schaltung 510 Leseverstärkeraktivierungssignale ΦSN und /ΦSP, um die Leseverstärkeraktivierungsschaltung 514 zu aktivieren, und dann arbeiten die Leseverstärker PSA und NSA. Infolgedessen wird eine geringfügige Potentialdifferenz, die zwischen den Bitleitungen BL und /BL erzeugt wurde, verstärkt, so daß das Potential der Bitleitung BL auf Massepotentialpegel übergeht und das Potential der Bitleitung /BL auf den Spannungsver­ sorgungspegel VCC übergeht.

Dann geht das extern angelegte Spaltenadreßabtastsignal *CAS in den aktiven Zustand, und der Adreßpuffer 502 erzeugt die inter­ nen Spaltenadreßsignale, die an den Spaltenadreßdekoder 506 an­ gelegt werden. Der Spaltenadreßdekoder 506 dekodiert die ange­ legten internen Adreßsignale, um ein Spaltenauswahlsignal Yi zu erzeugen, das die entsprechende Spalte im Speicherzellenfeld 501 auswählt. Dadurch werden die Bitleitungen BL und /BL über das IO-Gatter IOG mit den internen Datenleitungen DB bzw. /DB verbunden.

Im Datenschreibbetrieb ist das Schreibbefehlssignal /WE im ak­ tiven Zustand, das heißt auf niedrigem Pegel. Die I/O-Schaltung 508 überträgt die internen Schreibdaten auf interne Datenlei­ tungen DB und /DB und dann auf die entsprechenden Bitleitungen BL und /BL, und der Wert wird in die Speicherzelle MCl einge­ schrieben.

Beim Datenlesevorgang werden die Potentiale der Bitleitungen BL und /BL auf die internen Datenleitungen DB und /DB und dann in die I/O-Schaltung 508 übertragen, durch die der externe Ausle­ sewert D/Q gebildet wird. Die Schreib-Zeitfolge beim Daten­ schreibbetrieb wird durch die Steuersignale *CAS und *WE be­ stimmt. Allgemein wird, wenn beide Signale *CAS und *WE auf dem niedrigen Pegel des aktiven Zustandes sind, der externe Schreibwert aufgenommen, und der interne Schreibwert wird er­ zeugt und auf die internen Datenleitungen DB und /DB übertragen.

Wie in Fig. 13 gezeigt, enthält die dynamische Speicherzelle einen MOS-Transistor und einen Kondensator. Der MOS-Transistor erlaubt den Durchgang einer Spannung Vg-Vth, die um die Schwellspannung Vth niedriger ist als seine Gatespannung Vg. Wenn das Potential der Wortleitung WL auf Versorgungsspannungs­ pegel VCC ist, wird auf den Speicherzellenkondensator als Si­ gnal auf (VCC-Vth)-Pegel übertragen, auch dann, wenn das Po­ tential auf der Bitleitung auf dem hohen Pegel VCC der Versor­ gungsspannung ist.

Beim Wortleitungsauswahlvorgang werden die im Speicherzellen­ kondensator angesammelten Ladungen auf die entsprechende Bit­ leitung übertragen. Das Vorladungspotential VBL ist allgemein VCC/2. Der niedrige Pegel der Bitleitung ist der Massepoten­ tialpegel. Daher werden der hohe Pegel und der niedrige Pegel der Lesespannung auf der Bitleitung (das heißt der auf der Bit­ leitung vor dem Beginn des Betriebs der Leseverstärker erschei­ nenden Spannung) bezüglich der Vorladungsspannung asymmetrisch, was zu einem ungenügenden Betriebsrahmen des Leseverstärkers führt.

Aus diesem Grunde wird das Potential der ausgewählten Wortlei­ tung auf oder über den Wert VCC+Vth angehoben, um das Signal auf VCC-Pegel im Speicherzellenkondensator ohne einen Verlust zu speichern. Dies ermöglicht das Speichern der Daten auf hohem Pegel im Speicherzellenkondensator ohne einen Signalverlust. Dadurch kann die Lesespannung auf hohem Pegel mit einem hinrei­ chenden Wert erhalten werden, und die Lesespannung auf hohem Pegel und die Lesespannung auf niedrigem Pegel können bezüglich des Vorladungspotentials asymmetrisch sein, so daß der Lesever­ stärker zuverlässig ohne Fehlfunktionen den Lesevorgang ausfüh­ ren kann.

Infolge des Anhebens des Wortleitungsansteuersignales RX auf oder über VCC steigt die Anstiegsgeschwindigkeit des Wortlei­ tungspotentials an, und daher können die Speicherzellenwerte auf die Bitleitung mit hoher Geschwindigkeit ausgelesen werden. Damit kann der Zeitpunkt des Aktivierens des Leseverstärkers früher eingestellt werden, und damit kann die Zugriffszeit ver­ ringert werden.

Um das Wortleitungsansteuersignal RX anzuheben, wird eine Wort­ leitungsansteuersignalerzeugungsschaltung - wie sie z. B. in Fig. 3 gezeigt ist - verwendet. Die Anhebeschaltung in der Wortleitungansteuersignalerzeugungsschaltung legt ein Verzöge­ rungssignal des Wortleitungsansteuersignales an eine der Elek­ troden eines Kondensators 613, so daß das Potential der ande­ ren Elektrode des Kondensators 613 durch die Kapazitätskoppe­ lung angehoben wird, und damit wird der hohe Pegel des Wort­ leitungsansteuersignales RX auf einen Pegel angehoben, der gleich der Versorgungsspannung VCC oder höher als diese ist.

Bei dem in Fig. 14 gezeigten Aufbau wird das Potentialniveau des Wortleitungsansteuersignales RX immer auf oder über die Be­ triebsspannung VCC angehoben, während das externe Zeilenadreß­ abtastsignal *RAS auf niedrigem Pegel und die Halbleiterspei­ chereinrichtung im Speicherzyklus ist. Wenn die Integrations­ dichte der dynamischen Halbleiterspeichereinrichtung auf eine höhere Stufe gehoben wird, haben ihre Elemente geringere Ab­ messungen. In diesem Falle wird die Zuverlässigkeit der Wort­ leitung eine Angelegenheit von Bedeutung. Wenn die Dicke des Gateisolierfilmes unter der Wortleitung mit der Miniaturisie­ rung der Elemente geringer wird und eine hohe Spannung an die Wortleitung angelegt wird, wird es zunehmend wahrscheinlich, daß der Gateisolierfilm einen dielektrischen Durchbruch erlei­ det. Die Miniaturisierung der Elemente verringert auch die Lei­ tungsbreite der Wortleitung, und deshalb kann die Wortleitung selbst infolge von Elektromigration, Spannungsmigration o. ä., die durch diese hohe Spannung verursacht werden, zer­ stört werden.

Bei einigen Betriebsarten wie dem Seitenmodus und dem stati­ schen Spaltenmodus der Halbleiterspeichereinrichtung verbleibt das externe Zeilenadreßabtastsignal *RAS für eine extrem lange Zykluszeitspanne im aktiven Zustand. Während einer solchen langen Zeitspanne tRAS (der Zeitspanne, für die das Signal RAS im aktiven Zustand ist), bei der der Betriebszyklus der Ein­ richtung extrem lang ist, ist die Spannung auf dem angehobenen Pegel während der gesamten Zyklusdauer ständig an die Wortlei­ tung angelegt. Wenn die angehobene Spannung für eine lange Zeitspanne an die Wortleitung angelegt ist, ist es wahrschein­ lich, daß sich die Durchbruchsspannung der Wortleitung verrin­ gert, was zu einer geringen Zuverlässigkeit der Wortleitung führt.

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine dynamische Halbleiterspei­ chereinrichtung mit einer Wortleitung hoher Zuverlässigkeit sowie ein Betriebsverfahren für eine solche Halbleiterspeicher­ einrichtung anzugeben.

Eine Halbleiterspeichereinrichtung entsprechend der Erfindung enthält eine Wortleitungsansteuersignalerzeugungsschaltung zur Erzeugung eines Wortleitungsansteuersignales, das auf eine aus­ gewählte Wortleitung übertragen wird, eine auf ein anderes Signal als das Wortleitungsansteuersignal ansprechende Bestim­ mungsschaltung zur Bestimmung dessen, ob ein Pegel des Wortlei­ tungsansteuersignales, das durch die Wortleitungsansteuersi­ gnalerzeugungsschaltung erzeugt wird, angehoben werden sollte, und eine Anhebeschaltung, die auf das erzeugte Wortleitungsan­ steuersignal und einen Ausgang der Bestimmungsschaltung an­ spricht und das erzeugte Wortleitungsansteuersignal weiter anhebt.

Die Bestimmungsschaltung bestimmt, ob das Wortleitungsansteuer­ signal angehoben werden sollte, und die Anhebeschaltung hebt das Wortleitungsansteuersignal entsprechend dem Ergebnis der Bestimmung durch die Bestimmungsschaltung an. Dementsprechend wird das Wortleitungsansteuersignal nur für eine notwendige Zeitspanne angehoben, und damit ist nicht ständig bzw. konti­ nuierlich eine hohe Spannung an die Wortleitung angelegt, so daß die Zuverlässigkeit der Wortleitung verbessert wird.

Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich aus der Erläuterung von Ausführungsbeispielen anhand der Figuren.

Von den Figuren zeigen:

Fig. 1 schematisch den Aufbau einer Wortleitungsansteu­ ersignalerzeugungsschaltung, die in einer dyna­ mischen Halbleiterspeichereinrichtung entsprechend der Erfindung Verwendung findet,

Fig. 2 einen speziellen Aufbau einer Wortleitungsansteu­ ersignalerzeugungsschaltung,

Fig. 3 ein Signalwellenformdiagramm, das den Betrieb der Wortleitungsansteuersignalerzeugungsschaltung nach Fig. 2 zeigt,

Fig. 4 ein weiteres Beispiel des Aufbaues einer Wortlei­ tungsansteuersignalerzeugungsschaltung,

Fig. 5A und 5B ein Signalwellenformdiagramm für den Betrieb der in Fig. 4 gezeigten Wortleitungsansteuersignaler­ zeugungsschaltung,

Fig. 6 ein Signalwellenformdiagramm, das schematisch den Betrieb einer Wortleitungsansteuersignalerzeu­ gungsschaltung nach einer weiteren Ausführungsform zeigt,

Fig. 7 einen Aufbau einer Anhebeschaltung, die in der Wortleitungsansteuersignalerzeugungsschaltung ver­ wendet wird, die eine Betriebswellenform nach Fig. 6 aufweist,

Fig. 8 ein Signalwellenformdiagramm für den Betrieb der in Fig. 7 gezeigten Anhebeschaltung,

Fig. 9 den Aufbau einer Bestimmungsschaltung, die in Kom­ bination mit der Anhebeschaltung nach Fig. 6 ver­ wendet wird,

Fig. 10 den Aufbau einer Anhebeschaltung in einer Wortlei­ tungsansteuersignalerzeugungsschaltung einer ande­ ren Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 11 ein Signalwellenformdiagramm, das den Betrieb der Anhebeschaltung nach Fig. 7 zeigt,

Fig. 12 schematisch den Gesamtaufbau einer herkömmlichen dynamischen Halbleiterspeichereinrichtung,

Fig. 13 einen speziellen Aufbau eines Speicherzellenfeldes und eines Leseverstärkers ebenso wie des IO-Gat­ terblockes nach Fig. 12,

Fig. 14 einen speziellen Aufbau eines Taktpuffers und einer herkömmlichen Wortleitungsansteuersignaler­ zeugungsschaltung, und

Fig. 15 ein Signalwellenformdiagramm, das den Betrieb der dynamischen Halbleiterspeichereinrichtung nach den Fig. 12 bis 14 verdeutlicht.

Fig. 1 zeigt schematisch den Aufbau einer Wortleitungsansteu­ ersignalerzeugungsschaltung, die in einer dynamischen Halblei­ terspeichereinrichtung entsprechend der Erfindung verwendet wird. Eine in Fig. 1 gezeigte Wortleitungsansteuersignaler­ zeugungsschaltung 705 kann auf die dynamische Halbleiterspei­ chereinrichtung nach den Fig. 12 und 14 angewandt werden. Die in Fig. 1 gezeigte Wortleitungsansteuersignalerzeugungs­ schaltung 705 kann anstelle der Wortleitungsansteuersignaler­ zeugungsschaltung 505 in den Fig. 12 und 14 eingesetzt werden.

In Fig. 1 enthält die Wortleitungsansteuersignalerzeugungs­ schaltung 705 eine RX-Erzeugungsschaltung 511, die auf ein in­ ternes Zeilenadreßabtastsignal /RAS durch Erzeugung eines Wort­ leitungsansteuersignales RX anspricht, eine Bestimmungsschal­ tung 701, die auf ein anderes Signal als das Wortleitungsan­ steuersignal RX anspricht und bestimmt, ob der Pegel des Wort­ leitungsansteuersignales weiter angehoben werden sollte, sowie eine Anhebeschaltung 702, die auf einen Ausgang einer Bestim­ mungsschaltung 701 und das Wortleitungsansteuersignal RX an­ spricht, um das Wortleitungsansteuersignal RX weiter anzuheben. Die Bestimmungsschaltung 701 bestimmt, ob das Wortleitungssteu­ ersignal RX entsprechend der Versorgungsspannung oder dem ex­ ternen Steuersignal angehoben werden sollte.

Die Anhebeschaltung 702 hebt das Wortleitungsansteuersignal RX nur an, wenn die Bestimmungsschaltung 701 bestimmt, daß das Wortleitungsansteuersignal angehoben werden sollte. Damit wird das Wortleitungsansteuersignal RX nur dann auf oder über die Betriebsspannung VCC angehoben, wenn dies erforderlich ist. Da­ mit wird nicht unnötig eine hohe Spannung an die Wortleitung angelegt, so daß die Zuverlässigkeit der Wortleitung erhöht wird.

Fig. 2 zeigt einen speziellen Aufbau einer Wortleitungsansteu­ ersignalerzeugungsschaltung, die in der dynamischen Halbleiter­ speichereinrichtung Verwendung findet.

Fig. 2 zeigt den Aufbau der Bestimmungsschaltung 701 und der Anhebeschaltung 702. Die Bestimmungsschaltung 701 enthält eine Potentialnachweisschaltung 710 zum Nachweis des Pegels der Be­ triebsspannung VCC und zwei Inverterschaltungen 10 und 11, die kaskadenartig geschaltet sind und auf einen Ausgang der Poten­ tialnachweisschaltung 710 ansprechen, um zu bestimmen, ob das Wortleitungsansteuersignal RX angehoben werden soll.

Die Potentialnachweisschaltung 710 enthält diodenmäßig geschal­ tete n-Kanal-MOS-Transistoren 20, 21 und 22, die in Reihe zwi­ schen das Stromversorgungspotential VCC und einen Knoten N3 geschaltet sind, einen n-Kanal-MOS-Transistor 23, der in Reak­ tion auf ein Triggersignal RXT eingeschaltet wird, und einen Widerstand 30, der zwischen den Transistor 23 und Massepoten­ tial gelegt ist. Der Widerstand des Widerstandes 30 ist größer als der Ein-Widerstand der Transistoren 20 und 22. Wenn der Transistor 23 durch das Triggersignal RXT eingeschaltet wird, fließt der Strom durch die Potentialnachweisschaltung 710, und das Potential des Knotens N3 geht auf VCC-3Vth. Vth ist die Schwellspannung der Transistoren 20 bis 22. Die Inverterschal­ tung 11 invertiert und verstärkt das Signalpotential des Knotens N3. Die Inverterschaltung 10 invertiert und verstärkt den Ausgang der Inverterschaltung 11. Die Anhebeschaltung 702 enthält eine NAND-Schaltung 40, die den Ausgang der Bestim­ mungsschaltung 701 und das von der RX-Erzeugungsschaltung 511 gelieferte Wortleitungsansteuersignal RX empfängt, und einen Anhebekondensator 5, der auf einen Ausgang der NAND-Schaltung 40 anspricht, um das auf eine Signalleitung 50 übertragene Wortleitungsansteuersignal anzuheben. Der Ausgang der NAND- Schaltung 40 ist nur dann auf niedrigem Pegel, wenn ihre beiden Eingangsimpulse auf hohem Pegel sind.

Das Triggersignal RXT ist ein Signal zum Triggern der Erzeugung des Wortleitungsansteuersignals RX und wird zu einem früheren Zeitpunkt als das Wortleitungsansteuersignal RX aktiviert. Spe­ ziell wird bei der RX-Erzeugungsschaltung 511 zuerst in Reak­ tion auf das interne Zeilenadreßabtastsignal /RAS das Trigger­ signal RXT erzeugt, und dann wird in Reaktion auf das Trigger­ signal RXT das Wortleitungsansteuersignal RX erzeugt. Um das Signal RXT zu erzeugen, kann der z. B. in Fig. 15 gezeigte Aufbau mit einer "stromaufwärts" der Inverterschaltung 610 und der Verzögerungsschaltung 611 gelegenen Pufferschaltung ver­ sehen sein, und das Triggersignal RXT kann von einer "strom­ aufwärts" dieser Pufferschaltung gelegenen Stufe erzeugt werden. Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf das Betriebs- Wellenformdiagramm der Fig. 3 der Betrieb der in Fig. 2 ge­ zeigten Wortleitungsansteuersignalerzeugungsschaltung erklärt.

Zuerst wird der Betrieb für den Fall, daß die Betriebs- bzw. Stromversorgungsspannung VCC eine vorbestimmte Spannung (z. B. 5,5 V oder mehr) ist, beschrieben. Wenn das externe Zeilen­ adreßabtastsignal *RAS auf den niedrigen Pegel abfällt, erzeugt die RX-Erzeugungsschaltung 511 das Triggersignal RXT, und die Potentialnachweisschaltung 710 wird aktiviert. Dadurch geht das Potential des Knotens N3 auf VCC-3Vth. Da die Betriebsspan­ nung VCC die vorbestimmte Spannung (5,5 V) oder größer ist, wird durch die Inverterschaltung 11 bestimmt, daß das Poten­ tial des Knotens N3 auf hohem Pegel ist, und der Ausgang der Inverterschaltung 11 geht auf den niedrigen Pegel. Damit geht der Ausgang der Inverterschaltung 10 auf hohen Pegel.

Die RX-Erzeugungsschaltung 511 erzeugt, auf das Triggersignal RXT folgend, das Wortleitungsansteuersignal RX. Wenn das Wort­ leitungsansteuersignal RX auf den hohen Pegel ansteigt, geht der Ausgang der NAND-Schaltung 4 auf den niedrigen Pegel, weil beide Ausgänge der NAND-Schaltung 40 auf hohem Pegel sind. Da­ mit führt der Anhebekondensator 5 kein Anheben durch, und das Wortleitungsansteuersignal RX, das auf die Signalleitung 750 übertragen wird, ist auf Betriebsspannungspegel (siehe Fig. 3(II)).

Jetzt wird der Betrieb in dem Falle beschrieben, daß die Be­ triebsspannung VCC niedriger als die vorbestimmte Spannung ist (siehe Fig. 3(I)). Das Potential VCC - Vth des Knotens N3 wird durch die Inverterschaltung 11 als auf niedrigem Pegel befind­ lich bestimmt, und der Ausgang der Inverterschaltung 11 geht auf hohen Pegel. Entsprechend geht der Ausgang der Inverter­ schaltung 10 auf niedrigen Pegel. Die RX-Erzeugungsschaltung 511 erzeugt das Wortleitungsansteuersignal RX. Zu dieser Zeit wird, wenn die Verzögerungszeit durch die Inverterschaltungen 10 und 11 so bestimmt wird, daß die RX-Erzeugungsschaltung 511 Wortleitungsansteuersignale RX erzeugt, bevor der hohe/niedrige Zustand des Ausganges der Inverterschaltung 10 bestimmt wird, das auf die Signalleitung 750 übertragene Wortleitungsansteuer­ signal RX entsprechend den Ausgängen der Inverterschaltung 10 und der NAND-Schaltung 40 auf oder über den Pegel der Versor­ gungsspannung VCC angehoben. Der angehobene Pegel des Wortlei­ tungsansteuersignales RX ist durch das Verhältnis der Kapazi­ tät des Anhebekondensators 5 und der mit der Signalleitung 750 verknüpften Streukapazität bestimmt.

Nachdem die Signale RXT und RX erzeugt wurden, werden die Po­ tentiale der Knoten N1 und N2 definitiv. Der Bestimmungs- bzw. Definitionszeitpunkt des Potentials des Knotens N3 kann dem Er­ zeugungszeitpunkt des Signales RX vorhergehen oder ihm nach­ folgen, wenn die folgenden Bedingungen erfullt sind. Das Poten­ tial des Knotens N2 ist vor der Erzeugung des Signales RXT auf dem hohen Niveau des VCC-Pegels. Der Knoten N2, der vor der Erzeugung des Signales RX auf hohem Pegel war, fällt vorüber­ gehend infolge des Signales RX auf niedrigen Pegel ab.

Wie oben beschrieben, wird der Pegel der Versorgungsspannung VCC überwacht, und das Wortleitungsansteuersignal RX wird ent­ sprechend dem Pegel der Versorgungsspannung VCC wahlweise an­ gehoben. Damit wird die erhöhte Spannung nicht unnötigerweise an die Wortleitung angelegt, wenn die Versorgungsspannung VCC die hohe Spannung ist, so daß die Zuverlässigkeit der Wortlei­ tung verbessert wird.

Beispielsweise ist, wenn die normale Betriebsspannung der Halb­ leiterspeichereinrichtung in einem weiten Bereich von 1,6 V bis 3,6 V eingestellt ist, die maximale Spannung auf einen Wert von etwa 5,5 V gesetzt. Darin drückt sich eine der Tendenzen der Verringerung der Versorgungsspannung in den letzten Jahren aus. Wenn die Wortleitung angehoben wird, wenn an die Halbleiter­ speichereinrichtung eine Spannung oberhalb des maximalen Span­ nungspegels angelegt wird, kann eine übermäßig hohe Spannung an die Wortleitung angelegt werden, was deren Zuverlässigkeit be­ einträchtigt. In diesem Falle wird, wenn der in Fig. 2 gezeig­ te Aufbau verwendet wird, die Wortleitung nicht angehoben, wenn die Versorgungsspannung VCC 5,5 V oder mehr beträgt. Wenn die Versorgungsspannung 5,5 V oder mehr ist, ist das Wortleitungs­ ansteuersignal RX auf einem hinreichend hohen Pegel, so daß das Potential der Wortleitung schnell ansteigt, und die auf der Bitleitung erscheinende Lesespannung hat mit Sicherheit einen hinreichend großen Wert. Damit kann auch dann, wenn das Wort­ leitungsansteuersignal nicht angehoben wird, der Lesevorgang sicher ohne einen nachteiligen Einfluß auf den Zeitpunkt der Aktivierung des Leseverstärkers ausgeführt werden, und damit wird eine Zugriffsverzögerung verursacht.

Bei dem in Fig. 2 gezeigten Schaltungsaufbau wird das Wortlei­ tungsansteuersignal nicht angehoben, wenn die Betriebs- bzw. Versorgungsspannung VCC den vorbestimmten Wert von z. B. 5,5 V oder einen höheren Wert hat. Für die Halbleiterspeichereinrich­ tung wird ein beschleunigter Test, wie etwa ein Einbrenntest, ausgeführt. Bei dem Einbrenntest wird die Halbleiterspeicher­ einrichtung unter den Bedingungen einer hohen Spannung und hohen Temperatur betrieben, um ein infolge von Staubteilchen u. ä. ursprünglich defektes nach Enthüllung eines latenten De­ fektes auszusondern, womit ein potentiell fehlerhaftes Produkt repariert wird. Beim Einbrenntest ist es erforderlich, mit Ab­ sicht die Durchbruchsspannung der Wortleitung zu verschlech­ tern. Daher ist es, wenn in einem solchen Einbrenntest die Be­ triebsspannung VCC hoch gemacht wird, erforderlich, die Wort­ leitung anzuheben. Ein Aufbau zum selektiven Anheben der Wort­ leitung auf das Niveau der Betriebsspannung oder darüber auch im Falle eines solchen Betriebes mit hoher Spannung wird nach­ folgend beschrieben.

Fig. 4 zeigt einen Aufbau der Wortleitungsansteuersignaler­ zeugungsschaltung nach einer weiteren Ausführungsform der Er­ findung.

In Fig. 4 enthält die Bestimmungsschaltung 701 zusätzlich zur Potentialnachweisschaltung 710 und den Inverterschaltungen 10 und 11 eine Einbrennmodus-Nachweisschaltung 801, die auf ein extern angelegtes Einbrenntest-Bestimmungssignal *BI zum Nach­ weis der Vorbestimmung des Einbrenntestes anspricht. Die Ein­ brennmodus-Nachweisschaltung 801 spricht auf das extern ange­ legte Einbrennmodus-Bestimmungssignal *BI an, um interne Steu­ ersignale BI und /BI zu erzeugen. Die Einbrennmodus-Nachweis­ schaltung 801 kann so geschaltet sein, daß sie nur die Wahl des Einbrenntestes nachweist, wenn ein vorbestimmter Anschluß auf eine Spannung gleich oder über der Spannung für den Normalbe­ trieb gesetzt wird. Alternativ kann die Einbrennmodus-Nach­ weisschaltung 801 so gestaltet sein, daß die Bestimmung des Einbrenn-Testbetriebs auf der Grundlage der Zeitfolgen der ex­ ternen Steuersignale (z. B. *RAS, *CAS und *WE) bestimmt wird. In jedem beliebigen Aufbau spricht die Einbrennmodus-Nachweis­ schaltung 801 auf die externen Steuersignale an, um die Bestim­ mung bzw. Vorwahl des Einbrenntestes nachzuweisen, und erzeugt interne Steuersignale BI und /BI, die das Ergebnis dieses Nach­ weises ausdrücken.

Die Anhebeschaltung 702 enthält einen n-Kanal-MOS-Transistor 24, der auf das interne Steuersignal /BI anspricht, um elektrisch den Ausgang der NAND-Schaltung 40 und eine Elektrode des Anhebekondensators 5b zu verbinden, einen n-Kanal-MOS-Tran­ sistor 25, der auf ein internes Steuersignal BI anspricht, um das Wortleitungsansteuersignal RX auf die Signalleitung 750 zu übertragen, eine den Ausgang des Transistors 25 um eine vorbe­ stimmte Zeit verzögernde Verzögerungsschaltung 50 und einen auf einen Ausgang der Verzögerungsschaltung 50 ansprechenden Anhe­ bekondensator 5a zum weiteren Anheben des Wortleitungsansteu­ ersignales RX auf der Signalleitung 750.

Die internen Steuersignale BI und /BI sind im Einbrenntestbe­ trieb auf hohem bzw. niedrigem Pegel und im Normalbetrieb auf niedrigem bzw. hohem Pegel. Dann wird der Betrieb der Wortlei­ tungsansteuersignalerzeugungsschaltung nach Fig. 4 unter Be­ zugnahme auf ein Wellenformdiagramm der Fig. 5A und 5B wie unten folgt beschrieben. Zuerst wird unter Bezugnahme auf Fig. 5A die Betriebsweise, wenn der Einbrennmodus gewählt ist, be­ schrieben.

Wenn der beschleunigte Testbetrieb (Einbrenntest) gewählt ist, geht das interne Steuersignal BI auf hohen Pegel. Damit wird der Transistor 25 eingeschaltet, und der Transistor 24 wird ausgeschaltet.

Wenn das externe Zeilenadreßabtastsignal *RAS auf niedrigen Pegel in den aktiven Zustand geht, erzeugt die RX-Erzeugungs­ schaltung das Wortleitungsansteuersignal RX. Das Wortleitungs­ ansteuersignal RX wird über den Transistor 25 an die Verzöge­ rungsschaltung 50 angelegt. Das Pegel des Wortleitungsansteu­ ersignales RX auf der Signalleitung 750 wird durch den Anhebe­ kondensator 5a weiter bis auf oder über das Niveau der Be­ triebsspannung VCC angehoben.

Da der Transistor 24 im Aus-Zustand ist, wird der Ausgang der NAND-Schaltung 40 nicht auf den Anhebekondensator 5b übertragen. Deshalb wird der Ausgang der Bestimmungsschaltung 701 nicht zur Kenntnis genommen, und damit wird das Wortlei­ tungsansteuersignal RX im Einbrenntestbetrieb unabhängig vom Pegel der Versorgungsspannung VCC angehoben.

Im Normalbetrieb ist das interne Steuersignal BI auf niedrigem Pegel, wie in Fig. 5B gezeigt. In diesem Falle ist der Tran­ sistor 25 im Aus-Zustand, und der Transistor 24 ist im Ein- Zustand. Das Wortleitungsansteuersignal RX wird nicht an die Verzögerungsschaltung 50 übertragen, und der Anhebekondensator 5a führt keinen Anhebevorgang aus. Damit wird im Normalbetrieb der Anhebevorgang für das Wortleitungsansteuersignal RX selek­ tiv entsprechend dem Ausgang der Bestimmungsschaltung 701, das heißt dem Pegel der Betriebsspannung VCC ausgeführt, da der Transistor 24 im Ein-Zustand ist.

Bei dem in Fig. 4 gezeigten Aufbau wird der Einbrenntest unab­ hängig von dem Betriebsspannungspegel unter Anheben des Wort­ leitungspegels ausgeführt. Der in Fig. 4 gezeigte Aufbau kann nicht nur in dem beschleunigten Test - wie dem Einbrenntest - verwendet werden, sondern auch in dem Falle, daß es unabhängig vom Pegel der Versorgungsspannung VCC erforderlich ist, die Wortleitung auf oder über den Pegel der Versorgungsspannung anzuheben.

Wenn das Wortleitungsansteuersignal RX durch den in den Fig. 2 und 6 gezeigten Aufbau angehoben wird, fällt die Zeitdauer für das Anheben im wesentlichen mit der Zeitdauer zusammen, für die das interne Zeilenadreßabtastsignal /RAS auf niedrigem Pegel ist. In einem langen Betriebszyklus wie etwa Seitenbe­ trieb bzw. -modus oder dem statischen Spaltenbetrieb ist an die Wortleitung für eine lange Zeitdauer eine hohe Spannung angelegt.

Das Anheben des Potentialniveaus der Wortleitung ist insbeson­ dere erforderlich für eine Zeitspanne von der Auswahl einer Wortleitung bis zur Aufnahme des Betriebes der Leseverstärker zur Erhaltung einer hinreichend großen Lesespannung mit hoher Geschwindigkeit, und für eine Wiederaufbauperiode zum Wieder­ einschreiben der auf die Bitleitung gelesenen Daten in die Speicherzelle. Speziell ist das Anheben des Potentialniveaus der Wortleitung - wie in Fig. 6 gezeigt - für eine vorbestimm­ te Zeitspanne T1 gefordert, in der das externe Steuersignal *RAS anfällt, und für eine vorbestimmte Zeitspanne T2, in der das externe Zeilenadreßtastsignal *RAS ansteigt. Die Periode T1 kann vor dem Beginn des Lesevorganges durch die Leseverstärker beendet sein, oder sie kann beendet werden, wenn der Lesever­ stärker den Lesevorgang durch hinreichendes Verstärken der Po­ tentialdifferenz zwischen den Bitleitungen vollständig ausführt.

Fig. 7 zeigt einen Aufbau der Anhebeschaltung in der Wortlei­ tungsansteuersignalerzeugungsschaltung nach einer weiteren Aus­ führungsform. Die Anhebeschaltung 702 nach Fig. 7 enthält eine NAND-Schaltung 40a, die ein internes Steuersignal RAS (I) und das Wortleitungsansteuersignal RX auf der Signalleitung 750 er­ hält, eine Inverterschaltung 10a, die einen Ausgang der NAND- Schaltung 40a empfängt, eine Verzögerungsschaltung 50a, die einen Ausgang der Inverterschaltung 10a um eine vorbestimmte Zeit verzögert, und einen Anhebekondensator 5a, der in Reaktion auf einen Ausgang der Verzögerungsschaltung 50a das Wortlei­ tungsansteuersignal RX auf der Signalleitung 750 anhebt. Das interne Steuersignal RAS (I) wird in Reaktion auf das Abfallen des externen Zeilenadreßabtastsignales *RAS auf hohen Pegel ge­ setzt, und es wird in Reaktion auf das Leseverstärkeraktivie­ rungssignal oSN auf niedrigen Pegel rückgesetzt. Der "Pfad" (die Folge) der Schaltungen 40a, 10a und 50a und der Anhebeka­ pazität 5a hebt das Wortleitungsansteuersignal RX für eine Zeitspanne vom Abfallen des externen Zeilenadreßabtastsignales *RAS bis zum Lesevorgang an.

Die Anhebeschaltung 702 enthält weiter eine NAND-Schaltung 40b, die das interne Steuersignal /RAS (II) und das Wortleitungsan­ steuersignal RX auf der Signalleitung 750 empfängt, eine einen Ausgang der NAND-Schaltung 40b aufnehmende Inverterschaltung 10b, eine Verzögerungsschaltung 50b zum Verzögern eines Ausgan­ ges der Inverterschaltung 10b um eine vorbestimmte Zeitdauer und einen Anhebekondensator 5b, der auf einen Ausgang der Ver­ zögerungsschaltung anspricht, um das Wortleitungsansteuersignal RX auf der Signalleitung 750 anzuheben. Das interne Steuersi­ gnal/RAS (II) wird in Reaktion auf das Abfallen des externen Zeilenadreßabtastsignales *RAS auf niedrigen Pegel gesetzt, und es wird in Reaktion auf den Anstieg des externen Zeilenadreß­ abtastsignales *RAS wieder auf hohen Pegel gesetzt. Die Folge der Schaltungen 40b, 10b und 50b und des Kondensators bzw. der Kapazität 5b hebt das Wortleitungsansteuersignal RX für eine vorbestimmte Zeitdauer an, in der das externe Zeilenadreßab­ tastsignal *RAS ansteigt. Bei dem in Fig. 7 gezeigten Aufbau können, wenn die NAND-Schaltung 40 und die Inverterschaltung 10 auf demselben Pfad eine hinreichende lange Verzögerungszeit liefern, die Verzögerungsschaltungen 50a und 50b weggelassen werden. Der Betrieb der in Fig. 3 gezeigten Verzögerungsschal­ tung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf ein Betriebs-Wellen­ formdiagramm in Fig. 8 erklärt.

Wenn das externe Zeilenadreßabtastsignal *RAS auf niedrigem Pegel abfällt, steigt das interne Steuersignal RAS (I) auf hohen Pegel an, und das interne Steuersignal /RAS (II) fällt auf niedrigen Pegel ab. Dann erzeugt in Reaktion auf das Ab­ fallen des externen Zeilenadreßabtastsignales *RAS auf nie­ drigem Pegel die RX-Erzeugungsschaltung das Wortleitungsan­ steuersignal RX. In Reaktion darauf fällt der Ausgang der NAND- Schaltung 40a auf niedrigen Pegel ab, und der Pegel des Wort­ leitungsansteuersignales RX auf der Signalleitung 750 wird bis auf oder über das Niveau der Versorgungsspannung VCC durch die Inverterschaltung 10a und die Verzögerungsschaltung 50a ange­ hoben.

Wenn nach dem Vorgang des Auswählens der Wortleitung eine vor­ bestimmte Zeit verstrichen ist, wird in Reaktion auf den Über­ gang des externen Zeilenadreßabtastsignales *RAS auf niedrigen Pegel von der Leseverstärkeransteuerschaltung das Leseverstär­ keraktivierungssignal ΦSN erzeugt. Damit wird in dem Bitlei­ tungspaar der Lesevorgang ausgeführt.

Wenn das Leseverstärkeraktivierungssignal ΦSN auf hohen Pegel ansteigt, fällt das interne Steuersignal RAS (I) auf niedrigen Pegel ab, und der Pegel des Wortleitungsansteuersignales RX auf der Signalleitung 750 fällt infolge der Kapazitätskoppelung über die Anhebekapazität 5a auf das Niveau der Versorgungsspan­ nung VCC ab. Nach dem Ausführen des Schreibens oder Lesens der Daten steigt das externe Steuersignal *RAS auf hohen Pegel an. In Reaktion auf den Anstieg des externen Zeilenadreßabtastsi­ gnales *RAS steigt das interne Steuersignal /RAS (II) auf hohen Pegel an, und der Ausgang der NAND-Schaltung 40b fällt auf den niedrigen Pegel. In Reaktion darauf wird das Wortleitungsan­ steuersignal RX auf der Signalleitung 750 durch die Inverter­ schaltung 10b, die Verzögerungsschaltung 50b und den Anhebekon­ densator 5b bis auf oder über den Versorgungsspannungspegel VCC angehoben. Während dieses Vorganges wird die Wiederherstellung des Inhaltes jeder Speicherzelle ausgeführt. Nachdem das Wort­ leitungsansteuersignal RX auf niedrigen Pegel abgefallen ist, fällt das Leseverstärkeraktivierungssignal ΦSN auf den niedri­ gen Pegel. Damit ist ein Speicherzyklus beendet.

Fig. 9 zeigt einen Schaltungsaufbau zur Erzeugung der internen Steuersignale /RAS (II) und RAS (I). Das interne Steuersignal /RAS (II) wird vom RAS-Puffer 609 erzeugt. Der RAS-Puffer 609 führt eine Pufferverarbeitung des externen Zeilenadreßabtast­ signales *RAS aus, um das interne Steuersignal /RAS (II) zu er­ zeugen. Der RAS-Puffer 609 führt auch die Pufferverarbeitung des externen Zeilenadreßabtastsignales *RAS aus, um das interne Steuersignal RAS zu erzeugen. Das interne Steuersignal RAS ist ein zum internen Steuersignal /RAS (II) komplementäres Signal.

Das interne Steuersignal RAS (I) wird von der Steuersignaler­ zeugungsschaltung 76 erzeugt. Die Steuersignalerzeugungsschal­ tung 670 ist beispielsweise aus einer UND-Schaltung gebildet, die an ihrem Wahr-Eingang das interne Steuersignal RAS vom RAS- Puffer 609 und außerdem an ihrem Falsch-Eingang das Lesever­ stärkeraktivierungssignal ΦSN von der Leseverstärkeransteuer­ schaltung 510 aufnimmt. Die Leseverstärkeransteuerschaltung 510 spricht auf das interne Steuersignal RAS, das vom RAS-Puffer 609 geliefert wird, an und erzeugt das Leseverstärkeraktivie­ rungssignal ΦSN, wenn eine vorbestimmte Zeitspanne verstrichen ist, nachdem die RX-Erzeugungsschaltung 511 das Wortleitungsan­ steuersignal RX erzeugt hat.

Bei dem in Fig. 9 gezeigten Aufbau kann die Steuersignaler­ zeugungsschaltung 670 so aufgebaut sein, daß sie das p-Kanal- Leseverstärkeraktivierungssignal ΦSP anstelle des Lesever­ stärkeraktivierungssignales ΦSN, das von der Leseverstärker­ ansteuerschaltung 510 geliefert wird, aufnimmt. Die Steuer­ signalerzeugungsschaltung 670 erzeugt das interne Steuersignal RAS (I) in Reaktion auf das Leseverstärkeraktivierungssignal ΦSN. Der Anstiegs-Zeitpunkt des internen Steuersignales RAS (I) kann der Beendigung des Lesevorganges vorangehen oder nachfol­ gen. Bei dem in Fig. 13 gezeigten Aufbau ist die Bestimmungs­ schaltung durch den RAS-Puffer 609 und die Steuersignalerzeu­ gungsschaltung 670 gebildet.

Fig. 10 zeigt einen Aufbau der Anhebeschaltung nach einer wei­ teren Ausführungsform der Erfindung. Die in Fig. 10 gezeigte Anhebeschaltung enthält zusätzlich zu den in Fig. 7 gezeigten Bestandteilen der Anhebeschaltung eine NAND-Schaltung 40c, die das Wortleitungsansteuersignal RX auf der Signalleitung 750 und das Schreibfreigabesignal WE aufnimmt, eine Inverterschaltung 10c, die einen Ausgang der NAND-Schaltung 40c aufnimmt, eine Verzögerungsschaltung 50c, die einen Ausgang der Inverterschal­ tung 10c aufnimmt, und einen Anhebekondensator 5c, der auf den Ausgang der Verzögerungsschaltung 50c anspricht, um das Wort­ leitungsansteuersignal RX auf der Signalleitung 750 anzuheben.

Bei dem in Fig. 14 gezeigten Aufbau wird, wenn das interne Schreibfreigabesignal WE erzeugt wird, der Pegel des Wortlei­ tungsansteuersignales RX angehoben. Wenn das Schreibfreigabe­ signal WE aktiviert wird, erzeugt die Schreibschaltung (508 in Fig. 12) interne Schreibdaten, die an die internen Datenbusse DB und /DB in Fig. 13 übertragen werden. Dann werden die in­ ternen Schreibdaten über das ausgewählte IO-Gatter IOG an ein ausgewähltes Bitleitungspaar übertragen. Das Schreibfreigabe­ signal WE kann in Reaktion auf das extern angelegte Schreib­ freigabesignal *WE erzeugt werden, oder es kann aus einem in der Halbleiterspeichereinrichtung zu einem vorbestimmten Zeit­ punkt erzeugten Einzelimpulssignal gebildet sein. Obwohl die Betriebsweise von dem Erzeugungszeitpunkt des Schreibfreigabe­ signals WE abhängt, arbeitet die so wie in Fig. 10 aufgebaute Anhebeschaltung auf eine solche Weise, wie es in dem Betriebs- Wellenformdiagramm der Fig. 11 gezeigt ist, das Wortleitungs­ ansteuersignal RX wird in Reaktion auf das Schreibfreigabe­ signal WE auf oder über den Versorgungsspannungspegel angeho­ ben, und der angehobene Pegel wird in Reaktion auf das interne Steuersignal /RAS (II) weiter angehoben. Damit kann das Signal auf dem hohen Pegel der Versorgungsspannung VCC zuverlässiger in die ausgewählte Speicherzelle eingeschrieben werden.

Bei der oben beschriebenen dynamischen Halbleiterspeicher­ einrichtung wurde beschrieben, daß die Adreßsignale auf Zeit­ teilungs-Multiplex-Art angelegt werden, und das externe Zei­ lenadreßabtastsignal wird als Speicherzyklus-Bestimmungssignal verwendet. Wenn jedoch das Zeilenadreßsignal und das Spalten­ adreßsignal parallel angelegt werden, wird der Speicherzyklus durch das Chipauswahlsignal *CS bestimmt. In diesem Falle wird das Chipauswahlsignal *CS anstelle des geschriebenen Zeilen­ adreßabtastsignales *RAS verwendet. Ein Adressenänderungsnach­ weissignal ATD kann ebenfalls anstelle des Signals *RAS ver­ wendet werden.

Die dynamische Halbleiterspeichereinrichtung kann eine andere Halbleiterspeichereinrichtung als ein DRAM (dynamischer Direkt­ zugriffsspeicher) sein, etwa ein virtueller statischer Direkt­ zugriffsspeicher (VSRAM) oder ein pseudostatischer Direktzu­ griffsspeicher (PSRAM). Die Erfindung kann auf eine beliebige Halbleiterspeichereinrichtung angewandt werden, bei der das Potential der Wortleitung während des Speicherzugriffs auf oder über das Betriebsspannungsniveau angehoben wird. Sowohl der pseudostatische RAM als auch der virtuelle statische RAM haben denselben Aufbau wie der DRAM, das heißt einen Ein-Transistor- Ein-Kondensator-Speicherzellaufbau, aber sie arbeiten auf eine solche Weise, daß das Adreßsignal auf nicht-gemultiplexte Art und Weise angelegt wird. Der pseudostatische RAM enthält intern einen Auffrischadreßzähler und führt das Auffrischen während seines Betriebes entsprechend einem Auffrisch-Befehl aus. Während der Bereitschaft ("stand by") wird die externe Auffrischsteuerung nicht ausgeführt, und das Auffrischen wird intern ausgeführt. Der virtuelle statische RAM führt die Auffrischsteuerung in jedem Falle intern aus.

Entsprechend der Erfindung wirkt - wie oben beschrieben - der Betriebsspannungspegel oder ein extern angelegtes Signal dahin­ gehend, daß das Wortleitungsansteuersignal wahlweise angehoben wird, so daß die Wortleitung nicht unnötigerweise auf hoher Spannung gehalten wird. Damit wird die Durchbruchsspannung der Wortleitung nicht verschlechtert, und es kann eine Halbleiter­ speichereinrichtung mit hoher Zuverlässigkeit erhalten werden.

Claims (12)

1. Halbleiterspeichereinrichtung mit einer Mehrzahl von Wort­ leitungen (WL1, WL2; WL), mit deren jeder eine Zeile von Spei­ cherzellen verbunden ist, mit:
einer Wortleitungsansteuersignalerzeugungseinrichtung (511) zum Erzeugen eines Wortleitungsansteuersignales, das auf eine aus­ gewählte Wortleitung übertragen werden soll,
einer Bestimmungseinrichtung (701), die auf ein anderes Signal als das Wortleitungsansteuersignal anspricht und bestimmt, ob ein erzeugtes Wortleitungsansteuersignal weiter angehoben werden sollte, und
einer Anhebeeinrichtung (702), die auf die Bestimmungseinrich­ tung anspricht, um das erzeugte Wortleitungsansteuersignal wei­ ter anzuheben.

2. Halbleiterspeichereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Bestimmungseinrichtung (701) aufweist:
eine Nachweiseinrichtung (710) zum Nachweis eines Niveaus des von einer Stromversorgungsquelle zur Halbleiterspeichereinrich­ tung gelieferten Potentials und
eine Entscheidungseinrichtung (10, 11), die auf die Nachweis­ einrichtung anspricht und das Anheben durch die Anhebeeinrich­ tung (702) verhindert, wenn nachgewiesen wird, daß das Poten­ tialniveau über einem vorbestimmten Niveau liegt.

3. Halbleiterspeichereinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (24, 25, 50, 5a), die auf ein spezielles Betriebsweisenbezeichnungssignal (BI, /BI) anspricht und es der Anhebeeinrichtung (702) ermöglicht, unter Ignorierung des Ausganges der Bestimmungseinrichtung das er­ zeugte Wortleitungsansteuersignal weiter anzuheben.

4. Halbleiterspeichereinrichtung nach Anspruch 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das spezielle Betriebsweisenbezeichnungssi­ gnal angibt, daß ein Einbrenn-Testbetriebsmodus gewählt ist.

5. Halbleiterspeichereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestimmungseinrichtung (701) eine Einrichtung (510, 609, 670) aufweist, die auf ein Spei­ cherzyklusbestimmungssignal (*RAS) und ein Leseverstärkerakti­ vierungssignal (ΦSN) zum Aktivieren des Lesens der Daten der ausgewählten Speicherzellen durch die Leseverstärker anspricht, zur Bestimmung dessen, daß das erzeugte Wortleitungsansteuer­ signal weiter angehoben werden sollte.

6. Halbleiterspeichereinrichtung nach Anspruch 5, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Bestimmungseinrichtung (510, 609, 670) eine erste Nachweiseinrichtung (510, 670), die auf das Spei­ cherzyklusbestimmungssignal und das Leseverstärkeraktivierungs­ signal anspricht, zum Nachweis einer ersten Zeitspanne für die Erzeugung des Wortleitungsansteuersignales bis zur Vollendung eines Lesevorganges durch die Leseverstärker, um die Anhebeein­ richtung zu aktivieren, und eine zweite Nachweiseinrichtung (609), die auf das Speicherzyklusbestimmungssignal anspricht, zum Nachweisen einer zweiten Zeitspanne eines Wiederherstel­ lungsvorganges wiederhergestellter Daten der ausgewählten Spei­ cherzelle in den ausgewählten Speicherzellen zur Aktivierung der Anhebeeinrichtung aufweist.

7. Halbleiterspeichereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestimmungseinrichtung (701) eine Nachweiseinrichtung (40c) aufweist, die auf ein Schreibimpulssignal (WE) anspricht, zum Nachweis der Erzeugung des Schreibimpulssignales zur Aktivierung der Anhebeeinrichtung (702).

8. Betriebsverfahren für eine Halbleiterspeichereinrichtung mit einer Mehrzahl von Wortleitungen, mit denen Speicherzellen ver­ bunden sind, mit den Schritten:
Erzeugen eines Wortleitungsansteuersignales, das zu einem ersten Zeitpunkt auf eine ausgewählte Wortleitung übertragen werden soll,
Bestimmen dessen, ob das so erzeugte Wortleitungsansteuersignal weiter angehoben werden sollte, in Reaktion auf eine sich vom Wortleitungsansteuersignal unterscheidende Angabe, und
weiteres Anheben des erzeugten Wortleitungsansteuersignales entsprechend dem Ergebnis der Bestimmung im Schritt des Bestim­ mens.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt des Bestimmens die Schritte des Nachweisens eines Potentialniveaus einer Betriebsspannung der Halbleiterspeicher­ einrichtung und des Nachweisens dessen, daß der Anhebevorgang nicht ausgeführt werden sollte, wenn das Potentialniveau ober­ halb eines vorbestimmten Potentialniveaus liegt, aufweist.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt des Bestimmens weiter die Schritte des Nachweisens eines Befehles für eine spezielle Betriebsweise der Speicher­ einrichtung und des Bestimmens dessen, daß das Wortleitungs­ ansteuersignal, wenn der Befehl für die spezielle Betriebsweise nachgewiesen wird, unabhängig vom nachgewiesenen Potentialni­ veau der Betriebsspannung weiter angehoben werden sollte, aufweist.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Schritt des Bestimmens die Schritte des Nachweisens einer ersten Zeitspanne von der Erzeugung des Wort­ leitungsansteuersignales bis zur Vollendung eines Lesevorganges und einer zweiten Zeitspanne vom Beginn eines Wiederherstel­ lungsvorganges bis zur Deaktivierung des Wortleitungsansteuer­ signales und des Bestimmens dessen, daß der Anhebevorgang nur in der ersten und zweiten Zeitspanne ausgeführt werden sollte, aufweist.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Schritt des Bestimmens die Schritte des Nachweisens der Erzeugung eines Schreibaktivierungssignales, das das Schreiben von Daten in eine ausgewählte Speicherzelle anweist, und des Bestimmens dessen, daß der Anhebevorgang aus­ geführt werden sollte, wenn die Erzeugung des Schreibaktivie­ rungssignales nachgewiesen wird, aufweist.